JP2005303311A - Ceramic electronic component and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an external terminal electrode from fracturing when an aggregate electronic component in which a conductor for a terminal to be used as the external terminal electrode is installed in advance is divided to obtain a ceramic electronic component. <P>SOLUTION: By forming longitudinal through-holes 48 with reference to a raw ceramic molding 47, in which a plurality of conductors 45 for terminals to be used as external terminal electrodes are installed, a part in each of the conductors 45 for the terminals is exposed on the inside of the through holes 48. After the ceramic molding 47 is fired to be obtained a ceramic sinter, by dividing along cutting grooves 51 passing the through holes 48, the ceramic electronic component is taken out. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、セラミック電子部品およびその製造方法に関するもので、特に、セラミック電子部品の外部端子電極の形成態様および形成方法における改良に関するものである。   The present invention relates to a ceramic electronic component and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an improvement in an external terminal electrode forming mode and a forming method for a ceramic electronic component.

図15は、この発明にとって興味ある従来のセラミック電子部品1の外観を示す斜視図である(たとえば、特許文献1参照)。   FIG. 15 is a perspective view showing the appearance of a conventional ceramic electronic component 1 that is of interest to the present invention (see, for example, Patent Document 1).

セラミック電子部品1は、たとえば、コンデンサ、インダクタ、共振子、回路基板のような電子部品を構成するものであり、積層構造または単層構造を有するセラミック電子部品本体2を備えている。   The ceramic electronic component 1 constitutes an electronic component such as a capacitor, an inductor, a resonator, or a circuit board, and includes a ceramic electronic component body 2 having a laminated structure or a single layer structure.

電子部品本体2は、互いに対向する第1および第2の主面3および4とこれら第1および第2の主面3および4間を連結する4つの側面5、6、7および8とを有する直方体の形状をなしている。また、電子部品本体2の少なくとも1つの側面、たとえば側面5および7の各々には、複数の外部端子電極9が並んで設けられている。これら外部端子電極9は、側面5および7に設けられた、たとえば断面半円状の凹部10の内周面上に形成されている。   The electronic component body 2 has first and second main surfaces 3 and 4 that face each other and four side surfaces 5, 6, 7, and 8 that connect the first and second main surfaces 3 and 4. It has a rectangular parallelepiped shape. A plurality of external terminal electrodes 9 are provided side by side on at least one side surface of the electronic component body 2, for example, each of the side surfaces 5 and 7. These external terminal electrodes 9 are formed on the inner peripheral surface of the concave portion 10 having a semicircular cross section, for example, provided on the side surfaces 5 and 7.

このようなセラミック電子部品1は、次のようにして製造される。   Such a ceramic electronic component 1 is manufactured as follows.

まず、図16に示すように、生のセラミック成形体11が作製される。セラミック電子部品本体2が積層構造を有している場合には、セラミック成形体11を作製するにあたって、複数のセラミックグリーンシートを積層することが行なわれる。このセラミック成形体11は、ここから複数のセラミック電子部品1を取り出すことが意図されている。   First, as shown in FIG. 16, a raw ceramic molded body 11 is produced. When the ceramic electronic component body 2 has a laminated structure, a plurality of ceramic green sheets are laminated when the ceramic molded body 11 is produced. This ceramic molded body 11 is intended to take out a plurality of ceramic electronic components 1 from here.

次に、同じく図16に示すように、セラミック成形体11に複数の貫通孔12が設けられる。これら貫通孔12の各位置は、外部端子電極9の各々が設けられる位置に対応している。   Next, as shown in FIG. 16, the ceramic molded body 11 is provided with a plurality of through holes 12. Each position of these through holes 12 corresponds to a position where each of the external terminal electrodes 9 is provided.

次に、同じく図16に示すように、セラミック成形体11の一方の主面13または両方の主面13および14上に、切断溝15が形成される。図18において、切断溝15が両主面13および14上に形成されている状態がよく示されている。切断溝15は、後の工程において、複数のセラミック電子部品1を取り出そうとするとき、複数のセラミック電子部品1相互間の境界線に沿うブレイクをより容易にするためのものであり、たとえば、セラミック成形体11の厚みの約1/3〜1/6程度の深さをもって形成される。   Next, as shown in FIG. 16, a cutting groove 15 is formed on one main surface 13 or both main surfaces 13 and 14 of the ceramic molded body 11. In FIG. 18, the state in which the cutting groove 15 is formed on both the main surfaces 13 and 14 is well shown. The cutting groove 15 is used to facilitate break along the boundary line between the plurality of ceramic electronic components 1 when the plurality of ceramic electronic components 1 are to be taken out in a later process. It is formed with a depth of about 1/3 to 1/6 of the thickness of the molded body 11.

次いで、セラミック成形体11が焼成され、それによって、図17にその一部を断面図で示すようなセラミック焼結体16が得られる。   Next, the ceramic molded body 11 is fired, whereby a ceramic sintered body 16 whose part is shown in a sectional view in FIG. 17 is obtained.

次に、図17に示すように、貫通孔12の内周面上に、導電性ペースト17を付与することによって、外部端子電極9となるべき端子用導体18が形成される。この端子用導体18の形成のため、たとえばスクリーン印刷が適用される。すなわち、矢印19で示すように真空吸引が及ぼされた穴20を有する台21上に、穴20と貫通孔12とが位置合わせされた状態で、セラミック焼結体16が置かれ、スクリーン22に沿ってスキージ23を動作させることにより、導電性ペースト17が貫通孔12の内周面上に付与される。   Next, as shown in FIG. 17, a terminal conductor 18 to be the external terminal electrode 9 is formed on the inner peripheral surface of the through hole 12 by applying a conductive paste 17. For the formation of the terminal conductor 18, for example, screen printing is applied. That is, the ceramic sintered body 16 is placed on the screen 22 with the hole 20 and the through hole 12 being aligned on the base 21 having the hole 20 subjected to vacuum suction as indicated by an arrow 19. By operating the squeegee 23 along, the conductive paste 17 is applied on the inner peripheral surface of the through hole 12.

上述したスクリーン印刷工程において、必要に応じて、セラミック焼結体16の主面13上に、所定のパターンをもって導電性ペースト17が付与され、それによって、配線のための導体膜が形成される。   In the screen printing process described above, the conductive paste 17 is applied with a predetermined pattern on the main surface 13 of the ceramic sintered body 16 as necessary, thereby forming a conductor film for wiring.

次に、導電性ペースト17によって形成された端子用導体18および配線用導体膜が焼成される。   Next, the terminal conductor 18 and the wiring conductor film formed by the conductive paste 17 are fired.

なお、セラミック成形体11が積層構造を有している場合には、図17に示した工程は、この生のセラミック成形体11の状態で実施され、端子用導体18およびその他の配線用導体を形成する導電性ペースト17の焼成は、セラミック成形体11の焼成と同時に行なわれることがある。   When the ceramic molded body 11 has a laminated structure, the process shown in FIG. 17 is performed in the state of the raw ceramic molded body 11, and the terminal conductor 18 and the other wiring conductors are arranged. The conductive paste 17 to be formed may be fired at the same time as the ceramic molded body 11 is fired.

次に、端子用導体18の表面に、必要に応じて、ニッケル/金、ニッケル/錫、ニッケル/半田等のめっきが施される。   Next, the surface of the terminal conductor 18 is plated with nickel / gold, nickel / tin, nickel / solder or the like as necessary.

次に、必要に応じて、セラミック焼結体16の主面13上に、搭載部品が実装される。   Next, a mounting component is mounted on the main surface 13 of the ceramic sintered body 16 as necessary.

また、切断溝15の形成は、焼成前の図17に示した工程の後に行なわれたり、めっき工程の後または搭載部品実装後に行なわれたりする。   The cut groove 15 is formed after the step shown in FIG. 17 before firing, after the plating step, or after mounting the mounted component.

このようにして、図18に一部を示すように、貫通孔12の内周面上に端子用導体18が形成されたセラミック焼結体16が得られる。   In this way, as shown in part in FIG. 18, the ceramic sintered body 16 in which the terminal conductor 18 is formed on the inner peripheral surface of the through hole 12 is obtained.

次に、切断溝15に沿って、セラミック焼結体16がブレイクされ、それによって、複数のセラミック電子部品1が取り出される。図19には、取り出されたセラミック電子部品1の一部が拡大されて斜視図で示されている。図19において、貫通孔12の分割によって与えられた凹部10が図示されているとともに、端子用導体18の分割によって与えられた外部端子電極9が図示されている。   Next, the ceramic sintered body 16 is broken along the cut grooves 15, whereby a plurality of ceramic electronic components 1 are taken out. FIG. 19 is an enlarged perspective view of a part of the ceramic electronic component 1 taken out. In FIG. 19, the recess 10 given by the division of the through hole 12 is shown, and the external terminal electrode 9 given by the division of the terminal conductor 18 is shown.

セラミック焼結体16が、上述のように、ブレイクされるとき、端子用導体18が引張応力を伴いながら分断されるため、図19に示すように、外部端子電極9には、この分断によって露出する分断面24がもたらされる。   When the ceramic sintered body 16 is broken as described above, since the terminal conductor 18 is divided with a tensile stress, the external terminal electrode 9 is exposed by this division as shown in FIG. A dividing section 24 is provided.

しかしながら、上述したセラミック電子部品1またはその製造方法には、解決されるべき問題がある。   However, the above-described ceramic electronic component 1 or a manufacturing method thereof has a problem to be solved.

まず、外部端子電極9にもたらされた分断面24は、めっき膜によって覆われていないため、酸化等が生じやすく、そのため、半田付け性が悪くなり、その結果、外部端子電極9に対する良好な半田付けが阻害されることがある。   First, since the dividing surface 24 provided to the external terminal electrode 9 is not covered with the plating film, oxidation or the like is liable to occur, so that the solderability is deteriorated. Soldering may be hindered.

また、セラミック焼結体16をブレイクする際、貫通孔12の内周面上に形成された端子用導体18が引きちぎられるように分断されるため、必ずしも、中央で分断されるとは限らず、極端な場合には、一方に欠損が生じて断線不良がもたらされたり、さらには、セラミック焼結体16の一部とともに端子用導体18の一部が欠けるという致命的な不良がもたらされたりすることがある。   Further, when breaking the ceramic sintered body 16, since the terminal conductor 18 formed on the inner peripheral surface of the through hole 12 is divided so as to be torn off, it is not necessarily divided at the center. In an extreme case, a defect occurs on one side, resulting in a disconnection failure, or a fatal failure such that a portion of the terminal conductor 18 is missing together with a portion of the ceramic sintered body 16. Sometimes.

上述の問題を解決するため、端子用導体18の厚みおよびその上に形成されるめっき膜の厚みを薄くすることが有効であるが、このように厚みを薄くすると、断線不良につながることもある。   In order to solve the above-mentioned problem, it is effective to reduce the thickness of the terminal conductor 18 and the thickness of the plating film formed thereon, but if the thickness is reduced in this way, it may lead to disconnection failure. .

他方、セラミック焼結体16のブレイク後に外部端子電極9を形成するようにすれば、上述の問題は解消されるが、この場合には、生産性の低下という問題を引き起こす。   On the other hand, if the external terminal electrode 9 is formed after the ceramic sintered body 16 is broken, the above-mentioned problem is solved, but in this case, the problem of a decrease in productivity is caused.

また、前述したブレイク時の外部端子電極9における欠損の問題を解決するためには、端子用導体18は、図17によく示されているように、貫通孔12を充填するのではなく、中空の状態で形成されなければならない。そのため、貫通孔12の径をそれほど小さくすることができない。その結果、セラミック電子部品1の小型化を阻害してしまう。   Further, in order to solve the problem of the defect in the external terminal electrode 9 at the time of the break, the terminal conductor 18 is not filled with the through-hole 12 as shown in FIG. It must be formed in the state of Therefore, the diameter of the through hole 12 cannot be made so small. As a result, downsizing of the ceramic electronic component 1 is hindered.

また、図17に示すように、端子用導体18を形成するにあたって、台21の穴20の周辺部が導電性ペースト17によって汚されないようにしながら、端子用導体18を上述のように中空の状態で形成するためには、貫通孔12より大きい径を有する穴20を通して真空吸引を及ぼしながらスクリーン印刷する必要がある。このことから、形成された端子用導体18には、主面13および14上にまで延びる主面延長部25が必ず形成されることになる。しかしながら、主面延長部25の存在は、外部端子電極9の配置間隔を小さくすることを妨げ、その結果、セラミック電子部品1の小型化を阻害する。   Further, as shown in FIG. 17, when forming the terminal conductor 18, the terminal conductor 18 is made hollow as described above while preventing the peripheral portion of the hole 20 of the base 21 from being soiled by the conductive paste 17. Therefore, it is necessary to perform screen printing while applying vacuum suction through the hole 20 having a diameter larger than that of the through hole 12. For this reason, the main conductor extension 18 extending to the main surfaces 13 and 14 is necessarily formed on the formed terminal conductor 18. However, the presence of the main surface extension part 25 prevents the arrangement interval of the external terminal electrodes 9 from being reduced, and as a result, prevents the ceramic electronic component 1 from being downsized.

また、セラミック電子部品1は、少なくとも出荷する前に、その特性を測定しなければならない。しかしながら、セラミック電子部品1は、ブレイク前のセラミック焼結体16の段階では、外部端子電極9となる端子用導体18が隣り合うセラミック電子部品1間に跨って形成されているため、ブレイク後でないと、ここのセラミック電子部品1の特性を測定することができない。そのため、このような特性の測定を能率的に行なうことができない。   Further, at least the characteristics of the ceramic electronic component 1 must be measured before shipping. However, the ceramic electronic component 1 is not after the break because, in the stage of the ceramic sintered body 16 before the break, the terminal conductor 18 that becomes the external terminal electrode 9 is formed across the adjacent ceramic electronic components 1. And the characteristic of the ceramic electronic component 1 here cannot be measured. Therefore, such characteristics cannot be measured efficiently.

また、セラミック電子部品1が回路基板であるときなどにおいては、その電子部品本体2の主面3または4上に、別の電子部品が搭載されることがある。この場合、電子部品の搭載は、集合電子部品の状態にあるセラミック焼結体16に対して行なわれるのが能率的である。しかしながら、上述したように、集合電子部品の段階で特性の測定が不可能であるので、不良品となるセラミック電子部品1に対しても、電子部品の搭載が行なわれてしまい、そのため、このような搭載部品を無駄にしてしまうことがあり、コスト上不利である。
特開平8−37251号公報(段落0003、図7)
In addition, when the ceramic electronic component 1 is a circuit board, another electronic component may be mounted on the main surface 3 or 4 of the electronic component main body 2. In this case, it is efficient to mount the electronic component on the ceramic sintered body 16 in the state of the collective electronic component. However, as described above, since it is impossible to measure the characteristics at the stage of the collective electronic component, the electronic component is also mounted on the ceramic electronic component 1 which is a defective product. Costly parts may be wasted, which is disadvantageous in terms of cost.
JP-A-8-37251 (paragraph 0003, FIG. 7)

そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、セラミック電子部品の製造方法およびこの製造方法によって得られたセラミック電子部品を提供しようとすることである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic electronic component and a ceramic electronic component obtained by this manufacturing method, which can solve the above-described problems.

この発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、上述した技術的課題を解決するため、第1の局面では、外部端子電極となる複数の端子用導体が厚み方向の少なくとも一部において延びるように設けられた、生のセラミック成形体を作製する工程と、セラミック成形体の複数の端子用導体が配列される線に沿うように、セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成することによって、複数の端子用導体の各一部を1つの貫通孔の内面上に露出させる工程と、セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、セラミック焼結体を、貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、貫通孔の内面上に露出した端子用導体の一部をもって与えられた複数の外部端子電極が、貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程とを備えることを特徴としている。   In order to solve the above-described technical problem, a method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention is provided in the first aspect such that a plurality of terminal conductors serving as external terminal electrodes extend in at least part of the thickness direction. Between the first and second main surfaces of the ceramic molded body facing each other so as to be along a line in which a plurality of terminal conductors of the ceramic molded body are arranged, The step of exposing each part of the plurality of terminal conductors on the inner surface of one through-hole by forming a long through-hole penetrating, and firing the ceramic molded body, A step of obtaining a bonded body, and dividing the ceramic sintered body along a dividing line passing through the through hole, thereby providing a plurality of outer portions provided with a part of the terminal conductor exposed on the inner surface of the through hole. The terminal electrodes are arranged side by side in a notch formed by splitting of the through-hole, is characterized by comprising a step of taking out the ceramic electronic component.

上述のように製造されようとするセラミック電子部品が積層構造を有するものである場合には、セラミック成形体を作製する工程において、複数の端子用導体が厚み方向に貫通するように設けられたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層する工程が実施される。   When the ceramic electronic component to be manufactured as described above has a laminated structure, a ceramic provided with a plurality of terminal conductors penetrating in the thickness direction in the step of producing a ceramic molded body A step of laminating a plurality of ceramic green sheets including green sheets is performed.

上述の場合、セラミック成形体を作製する工程において、セラミックグリーンシートに、配線のための導体膜およびビアホール導体を形成する工程が実施されてもよい。   In the case described above, in the step of producing the ceramic molded body, a step of forming a conductor film for wiring and a via-hole conductor on the ceramic green sheet may be performed.

この発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、第2の局面では、生のセラミック成形体を作製する工程と、セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成する工程と、セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、セラミック成形体またはセラミック焼結体に対して、貫通孔の内面上に並ぶように、複数の外部端子電極を形成する工程と、セラミック焼結体を、貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、貫通孔の内面上に形成された複数の外部端子電極が、貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程とを備えることを特徴としている。   According to a second aspect of the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention, in the second aspect, a step of producing a raw ceramic molded body and a longitudinal direction penetrating between the first and second main surfaces of the ceramic molded body facing each other are provided. The step of forming a through hole, the step of obtaining a sintered ceramic body by firing the ceramic molded body, and the ceramic molded body or the ceramic sintered body aligned on the inner surface of the through hole A plurality of external terminal electrodes formed on the inner surface of the through hole are formed by dividing the ceramic sintered body along a dividing line passing through the through hole. And a step of taking out the ceramic electronic component provided side by side in the notch formed by dividing the hole.

上述したように、製造されようとするセラミック電子部品が積層構造を有するものである場合、セラミック成形体を作製する工程において、複数のセラミックグリーンシートを積層する工程が実施される。   As described above, when the ceramic electronic component to be manufactured has a laminated structure, a step of laminating a plurality of ceramic green sheets is performed in the step of producing the ceramic molded body.

上述の場合、セラミック成形体を作製する工程において、セラミックグリーンシートに、配線のための導体膜およびビアホール導体を形成する工程が実施されてもよい。   In the case described above, in the step of producing the ceramic molded body, a step of forming a conductor film for wiring and a via-hole conductor on the ceramic green sheet may be performed.

以上の第1および第2の局面のいずれにおいても、好ましくは、セラミック焼結体は、これを分割線に沿って分割することによって複数のセラミック電子部品を取り出せるようにされている、集合電子部品であり、セラミック焼結体を分割する工程は、この集合電子部品を分割する工程である。特に、第1の局面の場合には、貫通孔を形成する工程では、貫通導体を分割するように貫通孔が形成される。   In any of the first and second aspects described above, preferably, the ceramic sintered body is configured such that a plurality of ceramic electronic components can be taken out by dividing the ceramic sintered body along a dividing line. The step of dividing the ceramic sintered body is a step of dividing the collective electronic component. In particular, in the case of the first aspect, in the step of forming the through hole, the through hole is formed so as to divide the through conductor.

上述した好ましい実施態様において、集合電子部品を分割する工程の前に、集合電子部品の状態で各セラミック電子部品の特性を測定する工程が実施されることが好ましい。   In the preferred embodiment described above, it is preferable that a step of measuring characteristics of each ceramic electronic component in the state of the collective electronic component is performed before the step of dividing the collective electronic component.

この発明に係るセラミック電子部品の製造方法において、セラミック焼結体を分割する工程の前に、外部端子電極の表面にめっきを施す工程がさらに実施されてもよい。   In the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention, a step of plating the surface of the external terminal electrode may be further performed before the step of dividing the ceramic sintered body.

この発明は、また、上述したような製造方法によって得られた、セラミック電子部品にも向けられる。   The present invention is also directed to a ceramic electronic component obtained by the manufacturing method as described above.

この発明に係るセラミック電子部品の製造方法によれば、セラミック電子部品本体の少なくとも1つの側面上に、第1の主面から第2の主面にまで貫通する切欠きが設けられ、この切欠き内に、複数の外部端子電極が並んで設けられている、セラミック電子部品を製造することができる。   According to the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention, a notch penetrating from the first main surface to the second main surface is provided on at least one side surface of the ceramic electronic component main body. A ceramic electronic component in which a plurality of external terminal electrodes are provided side by side can be manufactured.

この発明の第1の局面による製造方法では、外部端子電極となる複数の端子用導体が厚み方向の少なくとも一部において延びるように設けられた、生のセラミック成形体を作製する工程と、セラミック成形体の複数の端子用導体が配列される線に沿うように、セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成することによって、複数の端子用導体の各一部を1つの貫通孔の内面上に露出させる工程と、セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、セラミック焼結体を、貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、貫通孔の内面上に露出した端子用導体の一部をもって与えられた複数の外部端子電極が、貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程とが実施されるので、以下のような効果が奏されることができる。   In the manufacturing method according to the first aspect of the present invention, a step of producing a raw ceramic molded body in which a plurality of terminal conductors to be external terminal electrodes are provided so as to extend in at least part of the thickness direction; By forming a long through-hole penetrating between the first and second main faces of the ceramic molded body facing each other so as to follow a line in which the plurality of terminal conductors of the body are arranged, A step of exposing each part of the conductor on the inner surface of one through hole, a step of obtaining a sintered ceramic body by sintering the ceramic molded body, A plurality of external terminal electrodes provided with a part of the terminal conductor exposed on the inner surface of the through hole are arranged in parallel in the notches formed by the division of the through hole. It is provided, since a step of taking out the ceramic electronic component is performed, it is possible the following effects can be attained.

まず、セラミック焼結体を分割するとき、外部端子電極が欠損したり、剥がれたりする不良が生じなくなり、得られたセラミック電子部品の品質の向上を期待することができる。   First, when the ceramic sintered body is divided, the defect that the external terminal electrode is lost or peeled off does not occur, and improvement in the quality of the obtained ceramic electronic component can be expected.

また、外部端子電極を与えるための端子用導体の径や配列ピッチを小さくすることができ、また、電子部品本体の主面上で延びる主面延長部を形成しないように外部端子電極を形成することができるので、外部端子電極を高密度に分布させることができ、そのため、得られたセラミック電子部品の小型化かつ配線の高密度化を図ることができる。   Further, the diameter and arrangement pitch of the terminal conductors for providing the external terminal electrodes can be reduced, and the external terminal electrodes are formed so as not to form the main surface extension extending on the main surface of the electronic component main body. Therefore, the external terminal electrodes can be distributed at a high density, so that the ceramic electronic component obtained can be miniaturized and the wiring density can be increased.

また、外部端子電極上にめっき膜が形成される場合、セラミック焼結体の分割後においても、このめっき膜をそのまま維持することができるので、外部端子電極において酸化等の問題が生じず、半田付け性の低下の問題にも遭遇しない。   In addition, when a plating film is formed on the external terminal electrode, the plating film can be maintained as it is even after the ceramic sintered body is divided. We do not encounter the problem of deterioration of stickiness.

また、セラミック焼結体が、これを分割することによって複数のセラミック電子部品を取り出せるようにされている、集合電子部品であるとき、分割前の段階であっても、各セラミック電子部品のための外部端子電極は、他のセラミック電子部品のための外部端子電極と電気的に独立した状態となっているので、集合電子部品の状態で、各セラミック電子部品の特性を測定することができる。したがって、このような特性測定工程を能率的に実施することができるとともに、不良品に対する以後の無駄な工程を実施しないようにすることができる。   In addition, when the ceramic sintered body is a collective electronic component that can take out a plurality of ceramic electronic components by dividing the ceramic sintered body, even if it is a stage before the division, Since the external terminal electrode is in an electrically independent state from external terminal electrodes for other ceramic electronic components, the characteristics of each ceramic electronic component can be measured in the state of the collective electronic component. Therefore, it is possible to efficiently carry out such a characteristic measurement process, and it is possible to prevent a subsequent useless process from being performed on defective products.

この発明の第2の局面による製造方法では、生のセラミック成形体を作製する工程と、セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成する工程と、セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、セラミック成形体またはセラミック焼結体に対して、貫通孔の内面上に並ぶように、複数の外部端子電極を形成する工程と、セラミック焼結体を、貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、貫通孔の内面上に形成された複数の外部端子電極が、貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程とが実施される。   In the manufacturing method according to the second aspect of the present invention, a step of producing a raw ceramic molded body and a step of forming a longitudinal through-hole penetrating between the first and second main surfaces of the ceramic molded body facing each other. A step of obtaining a sintered ceramic body by firing the ceramic molded body, and a plurality of external terminals so as to be aligned on the inner surface of the through hole with respect to the ceramic molded body or the ceramic sintered body. A plurality of external terminal electrodes formed on the inner surface of the through hole are formed by dividing the through hole by dividing the ceramic sintered body along the dividing line passing through the through hole and forming the electrode. And a step of taking out the ceramic electronic component provided side by side in the notch.

したがって、外部端子電極の径や配列ピッチを小さくできる点については、上述した第1の局面による製造方法の場合に比べると劣るが、上述した第1の局面による製造方法の場合と実質的に同様の効果が奏される。   Therefore, the diameter and arrangement pitch of the external terminal electrodes can be reduced compared to the manufacturing method according to the first aspect described above, but substantially the same as the manufacturing method according to the first aspect described above. The effect of.

また、第1の局面による製造方法によれば、外部端子電極を、セラミック電子部品本体の第1の主面から第2の主面にまで貫通しないように設けることが容易である。このような態様で外部端子電極を形成することにより、ここに付与される半田フィレットの高さを制御でき、そのため、このセラミック電子部品が高周波回路において用いられたとき、その特性を安定化させることができる。   Further, according to the manufacturing method of the first aspect, it is easy to provide the external terminal electrode so as not to penetrate from the first main surface to the second main surface of the ceramic electronic component main body. By forming the external terminal electrode in such a manner, the height of the solder fillet applied here can be controlled, and therefore, when this ceramic electronic component is used in a high frequency circuit, its characteristics are stabilized. Can do.

図1は、この発明の一実施形態による製造方法によって製造されるセラミック電子部品31の外観を示す斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a ceramic electronic component 31 manufactured by a manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

セラミック電子部品31は、セラミック電子部品本体32を備えている。電子部品本体32は、互いに対向する第1および第2の主面33および34とこれら第1および第2の主面33および34間を連結する4つの側面35、36、37および38とを有している。   The ceramic electronic component 31 includes a ceramic electronic component main body 32. The electronic component body 32 has first and second main surfaces 33 and 34 facing each other and four side surfaces 35, 36, 37, and 38 that connect the first and second main surfaces 33 and 34. doing.

また、電子部品本体32の少なくとも1つの側面、たとえば側面35および36の各々には、第1の主面33から第2の主面34にまで貫通する切欠き39が設けられ、これら切欠き39内には、複数の外部端子電極40が並んで設けられている。   Further, at least one side surface of the electronic component main body 32, for example, each of the side surfaces 35 and 36, is provided with a notch 39 penetrating from the first main surface 33 to the second main surface 34. Inside, a plurality of external terminal electrodes 40 are provided side by side.

この実施形態では、外部端子電極40は、第1の主面33から第2の主面34にまで貫通するように設けられている。また、切欠き39内には、複数の凹部41が並んで設けられ、上述の外部端子電極40は、この凹部41を埋めるように設けられている。   In this embodiment, the external terminal electrode 40 is provided so as to penetrate from the first main surface 33 to the second main surface 34. In addition, a plurality of recesses 41 are provided in the notch 39, and the external terminal electrode 40 described above is provided so as to fill the recesses 41.

また、電子部品本体32の第1の主面33上には、いくつかの外部導体膜42が形成されている。これら外部導体膜42は、特定の外部端子電極40と電気的に接続される。これら外部導体膜42に電気的に接続された状態で、図示しないが、搭載部品が主面33上に実装され、また、これら搭載部品を覆うように主面33上にはキャップが被せられることがある。   In addition, on the first main surface 33 of the electronic component main body 32, several external conductor films 42 are formed. These external conductor films 42 are electrically connected to specific external terminal electrodes 40. Although not shown, the mounted component is mounted on the main surface 33 while being electrically connected to the external conductor film 42, and the main surface 33 is covered with a cap so as to cover the mounted component. There is.

なお、図示しないが、電子部品本体32の第2の主面34上に、外部導体膜が形成されてもよい。   Although not shown, an external conductor film may be formed on the second main surface 34 of the electronic component main body 32.

また、外部導体膜40の露出する全表面は、めっき膜によって覆われていることが好ましい。   Further, it is preferable that the entire exposed surface of the external conductor film 40 is covered with a plating film.

このようなセラミック電子部品31を製造するため、図2ないし図4を参照して以下に説明するような工程が実施される。なお、以下に説明するセラミック電子部品31の製造方法は、電子部品本体32が積層構造を有している場合のものである。   In order to manufacture such a ceramic electronic component 31, steps described below with reference to FIGS. 2 to 4 are performed. In addition, the manufacturing method of the ceramic electronic component 31 demonstrated below is a thing in case the electronic component main body 32 has a laminated structure.

まず、図2(1)に示すように、セラミックグリーンシート43が用意される。そして、セラミックグリーンシート43の所定の位置に、複数の貫通する透孔44が配列された状態で設けられる。この実施形態では、透孔44は、矩形の断面形状を有している。   First, as shown in FIG. 2A, a ceramic green sheet 43 is prepared. A plurality of penetrating through holes 44 are arranged in a predetermined position on the ceramic green sheet 43. In this embodiment, the through hole 44 has a rectangular cross-sectional shape.

次に、図2(2)に示すように、各透孔44に導電性ペーストが充填され、それによって、端子用導体45がセラミックグリーンシート43の厚み方向に貫通するように設けられる。   Next, as shown in FIG. 2 (2), each through-hole 44 is filled with a conductive paste, whereby the terminal conductor 45 is provided so as to penetrate in the thickness direction of the ceramic green sheet 43.

次に、図2(3)に示すように、セラミックグリーンシート43上に、導電性ペーストをたとえばスクリーン印刷することによって、配線のための導体膜46が所定のパターンをもって形成される。この導体膜46は、セラミックグリーンシート43の積層されたときの位置によって、前述した外部導体膜42となることも、内部導体膜となることもある。   Next, as shown in FIG. 2 (3), a conductive film 46 for wiring is formed on the ceramic green sheet 43 with a predetermined pattern by, for example, screen printing a conductive paste. The conductor film 46 may be the aforementioned external conductor film 42 or an internal conductor film depending on the position when the ceramic green sheets 43 are laminated.

なお、導体膜46の形成は、端子用導体45を形成するための透孔44への導電性ペーストの充填工程と同時に実施されてもよい。   Note that the formation of the conductor film 46 may be performed simultaneously with the process of filling the conductive holes 46 with the conductive paste into the through holes 44 for forming the terminal conductors 45.

図2では図示しないが、セラミックグリーンシート43に、配線のためのビアホール導体が形成されることもある。このビアホール導体を形成するための貫通孔の形成は、図2(1)に示した透孔44を形成する工程と同時に実施され、この貫通孔への導電性ペーストの充填は、図2(2)に示した透孔44への導電性ペーストの充填と同時に実施されてもよい。   Although not shown in FIG. 2, via hole conductors for wiring may be formed on the ceramic green sheet 43. The formation of the through hole for forming the via-hole conductor is performed simultaneously with the step of forming the through hole 44 shown in FIG. 2 (1), and the filling of the conductive paste into the through hole is performed in FIG. It may be carried out simultaneously with the filling of the conductive paste into the through holes 44 shown in FIG.

次に、図2(3)に示したセラミックグリーンシート43を含む複数のセラミックグリーンシートが積層され、次いで積層方向にプレスされる。これによって、図3(1)に示すような生のセラミック成形体47が作製される。このセラミック成形体47では、複数の端子用導体45が厚み方向の少なくとも一部において延びるように設けられている。この実施形態では、端子用導体45は、セラミック成形体47の厚み方向を貫通するように設けられている。   Next, a plurality of ceramic green sheets including the ceramic green sheet 43 shown in FIG. 2 (3) are stacked and then pressed in the stacking direction. Thereby, a raw ceramic molded body 47 as shown in FIG. In the ceramic molded body 47, a plurality of terminal conductors 45 are provided so as to extend in at least a part of the thickness direction. In this embodiment, the terminal conductor 45 is provided so as to penetrate the thickness direction of the ceramic molded body 47.

次に、図3(2)に示すように、セラミック成形体47の複数の端子用導体45が配列される線に沿うように、長手の貫通孔48が形成される。この貫通孔48は、セラミック成形体47の互いに対向する第1および第2の主面49および50間を貫通している。   Next, as shown in FIG. 3B, a long through hole 48 is formed along a line in which the plurality of terminal conductors 45 of the ceramic molded body 47 are arranged. The through hole 48 passes between the first and second main surfaces 49 and 50 of the ceramic molded body 47 facing each other.

また、このような貫通孔48の形成によって、図5に拡大して示すように、複数の端子用導体45の各々は分割されるとともに、分割された複数の端子用導体45の各一部は、1つの貫通孔48の内面上に露出した状態となっている。そして、これら端子用導体45の分割されたそれぞれの部分が、外部端子電極40を与えている。   Further, as shown in an enlarged view in FIG. 5, each of the plurality of terminal conductors 45 is divided by the formation of such a through hole 48, and each of the plurality of divided terminal conductors 45 is It is in the state exposed on the inner surface of one through-hole 48. Each of the divided portions of the terminal conductor 45 provides an external terminal electrode 40.

次に、図3(2)に示すように、セラミック成形体47の一方の主面49または両主面49および50上に、切断溝51が形成される。この切断溝51は、後の分割工程で分割が実施される分割線に沿って形成されるもので、特定の切断溝51については、長手の貫通孔48を通る位置に延びている。切断溝51は、たとえば、セラミック成形体47の厚みの約1/3〜1/6程度の深さをもって形成される。   Next, as shown in FIG. 3B, the cutting groove 51 is formed on one main surface 49 or both main surfaces 49 and 50 of the ceramic molded body 47. The cutting groove 51 is formed along a dividing line that is divided in a subsequent dividing step, and the specific cutting groove 51 extends to a position passing through the long through hole 48. The cutting groove 51 is formed with a depth of about 1/3 to 1/6 of the thickness of the ceramic molded body 47, for example.

次に、セラミック成形体47は焼成され、それによって、図4に示すようなセラミック焼結体52が得られる。このとき、外部端子電極40を与える端子用導体45を構成する導電性ペーストも焼結する。セラミック焼結体52は、焼成による収縮が生じていることを除いて、セラミック成形体47と実質的に同様の外観を有している。   Next, the ceramic molded body 47 is fired, whereby a ceramic sintered body 52 as shown in FIG. 4 is obtained. At this time, the conductive paste constituting the terminal conductor 45 that gives the external terminal electrode 40 is also sintered. The ceramic sintered body 52 has substantially the same appearance as the ceramic molded body 47 except that shrinkage due to firing occurs.

次に、端子用導体45の分割によって与えられた外部端子電極40の表面に、ニッケル/金、ニッケル/錫、ニッケル/半田等のめっきが施される。このめっき工程において、セラミック焼結体52の外表面上に形成される外部導体膜42の表面にもめっきが施されてもよい。   Next, plating of nickel / gold, nickel / tin, nickel / solder or the like is performed on the surface of the external terminal electrode 40 given by the division of the terminal conductor 45. In this plating step, the surface of the outer conductor film 42 formed on the outer surface of the ceramic sintered body 52 may also be plated.

以上の工程を終えたとき、セラミック焼結体52における分割線に沿う切断溝51によって区画された各領域には、得ようとするセラミック電子部品31が構成され、これらセラミック電子部品31は、互いに他のものに対して電気的に独立した状態となっている。したがって、端子用導体45の分割によって与えられた外部端子電極40を端子として、個々のセラミック電子部品31の特性を測定することができる。   When the above steps are completed, the ceramic electronic component 31 to be obtained is configured in each region defined by the cutting groove 51 along the dividing line in the ceramic sintered body 52, and these ceramic electronic components 31 are mutually connected. It is in an electrically independent state from the others. Accordingly, the characteristics of the individual ceramic electronic components 31 can be measured using the external terminal electrode 40 given by the division of the terminal conductor 45 as a terminal.

このように、特性が測定された後、良品と判定されたセラミック電子部品31上には、必要に応じて、他の電子部品が搭載され、また、キャップが被せられる。   As described above, after the characteristics are measured, other electronic components are mounted on the ceramic electronic component 31 determined to be non-defective as necessary, and a cap is put thereon.

次に、複数のセラミック電子部品31を取り出すため、セラミック焼結体52は、切断溝51に沿ってブレイクされる。   Next, in order to take out the plurality of ceramic electronic components 31, the ceramic sintered body 52 is broken along the cut grooves 51.

このようにして、図1に示した状態にあるセラミック電子部品31が得られる。このセラミック電子部品31において、複数の外部端子電極40は、貫通孔48の内面上に露出した端子用導体45の一部をもって与えられたものであり、また、切欠き39は、貫通孔48の分割によって形成されたものであり、この切欠き39内に複数の外部端子電極40が並んで設けられている。   Thus, the ceramic electronic component 31 in the state shown in FIG. 1 is obtained. In the ceramic electronic component 31, the plurality of external terminal electrodes 40 are provided with a part of the terminal conductor 45 exposed on the inner surface of the through hole 48, and the notch 39 is formed in the through hole 48. A plurality of external terminal electrodes 40 are provided side by side in the cutout 39.

以上説明した実施形態に関して、以下のようないくつかの変形例が可能である。   With respect to the embodiment described above, several modifications as described below are possible.

上述した実施形態では、図5に示すように、外部端子電極40を与える外部導体膜42は、断面矩形の透孔44内に設けられたが、図6に示すように、外部導体膜42を与える端子用導体45は、断面円形の透孔44内に設けられてもよい。さらに、透孔44は、他の断面形状のものであってもよい。   In the embodiment described above, as shown in FIG. 5, the external conductor film 42 for providing the external terminal electrode 40 is provided in the through hole 44 having a rectangular cross section. However, as shown in FIG. The terminal conductor 45 to be provided may be provided in the through hole 44 having a circular cross section. Further, the through holes 44 may have other cross-sectional shapes.

図6において、図5に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   In FIG. 6, elements corresponding to the elements shown in FIG.

また、前述した実施形態では、透孔44を充填するように端子用導体45が形成されたが、図7に示すように、端子用導体45は、中空部分を中央に残しながら、透孔44の内周面に沿うように形成されてもよい。図7において、図5に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   In the above-described embodiment, the terminal conductor 45 is formed so as to fill the through hole 44. However, as shown in FIG. 7, the terminal conductor 45 has a through hole 44 while leaving a hollow portion at the center. It may be formed along the inner peripheral surface. In FIG. 7, elements corresponding to the elements shown in FIG. 5 are given the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図1には電子部品本体32の第2の主面34側が図示されないが、図8に示すように、外部端子電極40は、電子部品本体32の第2の主面34上にまで延びる延長部53を備えていてもよい。   Although the second main surface 34 side of the electronic component main body 32 is not shown in FIG. 1, the external terminal electrode 40 extends to the second main surface 34 of the electronic component main body 32 as shown in FIG. 8. 53 may be provided.

延長部53は、外部端子電極40を図示しない配線基板上の導電ランドに半田付けしようとするとき、半田の付与面積を広くし、そのため、セラミック電子部品31と配線基板との間での接合力を高めるように作用する。   The extension 53 widens the solder application area when the external terminal electrode 40 is to be soldered to a conductive land on a wiring board (not shown), so that the bonding force between the ceramic electronic component 31 and the wiring board is increased. Act to enhance.

このような延長部53は、セラミック成形体47またはセラミック焼結体52の段階で、導電性ペーストをスクリーン印刷することによって形成されることができる。なお、延長部53は、電子部品本体32の第1の主面33側に設けられてもよい。   Such an extension 53 can be formed by screen printing a conductive paste at the stage of the ceramic molded body 47 or the ceramic sintered body 52. The extension 53 may be provided on the first main surface 33 side of the electronic component main body 32.

図8において、図1等に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   In FIG. 8, elements corresponding to those shown in FIG. 1 and the like are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

また、前述した実施形態では、電子部品本体32の側面35および37の各々に、1つずつ、切欠き39が設けられたが、図9に示すように、側面35および37の各々に、2つずつ、切欠き39が設けられてもよい。さらに、切欠き39の数は任意の変更することができる。   Further, in the above-described embodiment, the cutout 39 is provided in each of the side surfaces 35 and 37 of the electronic component main body 32. However, as shown in FIG. Notches 39 may be provided one by one. Furthermore, the number of notches 39 can be arbitrarily changed.

図9では、外部導体膜42の図示が省略されているが、図9において、図1等に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。   In FIG. 9, illustration of the outer conductor film 42 is omitted, but in FIG. 9, elements corresponding to those shown in FIG.

また、前述した実施形態では、外部端子電極40は、電子部品本体32の第1の主面33から第2の主面34にまで貫通するように設けられたが、図10、図11および図12のそれぞれに示すように、外部端子電極40は、第1の主面33から第2の主面34にまで貫通しないように設けられてもよい。   In the embodiment described above, the external terminal electrode 40 is provided so as to penetrate from the first main surface 33 to the second main surface 34 of the electronic component main body 32, but FIG. 10, FIG. 11, and FIG. 12, the external terminal electrode 40 may be provided so as not to penetrate from the first main surface 33 to the second main surface 34.

図10では、外部端子電極40は、第1の主面33にまで届かないように設けられている。   In FIG. 10, the external terminal electrode 40 is provided so as not to reach the first main surface 33.

図11では、外部端子電極40は、第1および第2の主面33および34の双方に届かないように設けられている。   In FIG. 11, the external terminal electrode 40 is provided so as not to reach both the first and second main surfaces 33 and 34.

図12では、外部端子電極40は、第1の主面33にまで届かないように設けられているとともに、電子部品本体32の厚み方向に関して、2つの部分に分断された状態となっている。   In FIG. 12, the external terminal electrode 40 is provided so as not to reach the first main surface 33 and is divided into two parts in the thickness direction of the electronic component main body 32.

これら図10ないし図12に示すような態様で外部端子電極40を形成するためには、セラミック成形体47を得るための積層工程において、図2に示したような端子用導体45が設けられたセラミックグリーンシート43とこのような端子用導体が設けられていないセラミックグリーンシートとを混在させて積層するようにすればよい。   In order to form the external terminal electrode 40 in such a manner as shown in FIGS. 10 to 12, the terminal conductor 45 as shown in FIG. 2 is provided in the laminating process for obtaining the ceramic molded body 47. The ceramic green sheets 43 and the ceramic green sheets not provided with such terminal conductors may be mixed and laminated.

図10ないし図12に示した外部端子電極40によれば、電子部品本体32の第1の主面33には届かないように形成されているので、第1の主面33上で電子部品を搭載できる領域を広げることができる。また、これらセラミック電子部品31を配線基板上に半田を用いて実装したとき、外部端子電極40を覆うように半田フィレットが形成されるが、この半田フィレットの高さを制御することができる。セラミック電子部品31が高周波回路において用いられるとき、半田フィレットはインダクタンス成分として作用するため、このような半田フィレットの高さの制御は、インダクタンス成分の低減およびそのばらつきの低減に寄与させることができる。   Since the external terminal electrode 40 shown in FIGS. 10 to 12 is formed so as not to reach the first main surface 33 of the electronic component main body 32, the electronic component is mounted on the first main surface 33. The area that can be mounted can be expanded. Further, when these ceramic electronic components 31 are mounted on a wiring board using solder, a solder fillet is formed so as to cover the external terminal electrode 40, and the height of the solder fillet can be controlled. When the ceramic electronic component 31 is used in a high frequency circuit, the solder fillet acts as an inductance component. Therefore, such control of the height of the solder fillet can contribute to the reduction of the inductance component and the variation thereof.

特に、図11に示すように設けられた外部端子電極40によれば、電子部品本体32の第2の主面34にまで届かないように設けられているので、このセラミック電子部品31を実装する配線基板上の導電ランドとの間での不所望な短絡をより確実に防止することができる。   In particular, according to the external terminal electrode 40 provided as shown in FIG. 11, it is provided so as not to reach the second main surface 34 of the electronic component main body 32. Therefore, the ceramic electronic component 31 is mounted. An undesired short circuit with the conductive land on the wiring board can be prevented more reliably.

また、特に、図12に示した外部端子電極40によれば、第2の主面34側に位置する部分を配線基板との半田付けのために用いながら、第1の主面33側に位置する部分を、たとえば、第1の主面33を覆うように装着されるキャップとの半田接合のために用いることができる。   Further, in particular, according to the external terminal electrode 40 shown in FIG. 12, the portion located on the second main surface 34 side is used for soldering with the wiring board, while the portion located on the first main surface 33 side. The portion to be used can be used, for example, for solder joining with a cap mounted so as to cover the first main surface 33.

また、前述した実施形態では、切断溝51は、未焼成のセラミック成形体47の段階で形成されたが、切断溝51を形成する工程は任意に変更することができ、たとえば、焼結後のセラミック焼結体52の段階で切断溝51を形成するようにしてもよい。この場合、切断溝51の形成のために、たとえば、レーザやダイヤモンド刃を備えるスクライバを適用することができる。   In the above-described embodiment, the cutting groove 51 is formed at the stage of the unfired ceramic molded body 47. However, the process of forming the cutting groove 51 can be arbitrarily changed, for example, after sintering. The cutting groove 51 may be formed at the stage of the ceramic sintered body 52. In this case, for forming the cutting groove 51, for example, a scriber including a laser or a diamond blade can be applied.

また、図1に示したセラミック電子部品31においては、切欠き39および外部端子電極40が、側面35および37のみに設けられたが、さらに側面36および/または38に設けられてもよい。また、側面35〜38のいずれか1つにのみ、切欠き39および外部端子電極40が設けられてもよい。   In the ceramic electronic component 31 shown in FIG. 1, the notch 39 and the external terminal electrode 40 are provided only on the side surfaces 35 and 37, but may be further provided on the side surfaces 36 and / or 38. Moreover, the notch 39 and the external terminal electrode 40 may be provided only in any one of the side surfaces 35-38.

また、前述した実施形態では、電子部品本体32が積層構造を有していたが、単層構造を有する電子部品本体を備えるセラミック電子部品であっても、前述した製造方法を適用することができる。この場合には、図2に示したセラミックグリーンシート43と実質的に同様の構成を有するセラミック成形体に対して、図3および図4を参照して説明した製造方法を適用すればよい。   In the embodiment described above, the electronic component main body 32 has a laminated structure. However, the manufacturing method described above can be applied even to a ceramic electronic component including an electronic component main body having a single-layer structure. . In this case, the manufacturing method described with reference to FIGS. 3 and 4 may be applied to a ceramic molded body having a configuration substantially similar to that of the ceramic green sheet 43 shown in FIG.

また、前述した実施形態では、セラミック電子部品31を製造するため、集合電子部品としてのセラミック焼結体52を作製し、これを分割することによって複数のセラミック電子部品31を取り出すようにしたが、単に1つのセラミック電子部品を得るためのセラミック焼結体を作製し、このセラミック焼結体に設けられた長手の貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、セラミック焼結体の周囲部分を除去し、その結果、単に1つのセラミック電子部品を取り出すようにしてもよい。この場合には、長手の貫通孔は、端子用導体を分割するように形成される必要はなく、単に、貫通孔の内面上に端子用導体の一部が露出するように形成されれば足りる。   Further, in the embodiment described above, in order to manufacture the ceramic electronic component 31, the ceramic sintered body 52 as a collective electronic component is produced, and a plurality of ceramic electronic components 31 are taken out by dividing the ceramic sintered body 52. A ceramic sintered body for obtaining only one ceramic electronic component is produced, and the peripheral part of the ceramic sintered body is divided by dividing along a dividing line passing through a longitudinal through hole provided in the ceramic sintered body. As a result, only one ceramic electronic component may be taken out. In this case, the long through hole does not need to be formed so as to divide the terminal conductor, and it is sufficient if the long through hole is formed so that a part of the terminal conductor is exposed on the inner surface of the through hole. .

また、前述した実施形態では、セラミック成形体47に予め設けられていた端子用導体45から外部端子電極40を形成するようにしたが、以下に説明するように、外部端子電極の形成方法に関して変更してもよい。   In the above-described embodiment, the external terminal electrode 40 is formed from the terminal conductor 45 provided in advance in the ceramic molded body 47. However, as described below, the external terminal electrode forming method is changed. May be.

すなわち、図13に示すように、端子用導体を設けない状態で、生のセラミック成形体61を作製し、この生のセラミック成形体61の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔62を形成する。貫通孔62の内面には、セラミック成形体61の内部に形成された内部導体膜63の一部が露出している。   That is, as shown in FIG. 13, a raw ceramic molded body 61 is produced in a state where no terminal conductor is provided, and the raw ceramic molded body 61 penetrates between the first and second main surfaces facing each other. A longitudinal through-hole 62 is formed. A part of the inner conductor film 63 formed inside the ceramic molded body 61 is exposed on the inner surface of the through hole 62.

上述したセラミック成形体61を作製するにあたって、複数のセラミックグリーンシートを積層することが行なわれるが、これらセラミックグリーンシートの特定のものには、必要に応じて、配線のための導体膜およびビアホール導体が形成される。図13に図示した内部導体膜63は、この配線のための導体膜の一部である。   In producing the ceramic molded body 61 described above, a plurality of ceramic green sheets are laminated, and specific ones of these ceramic green sheets include a conductor film for wiring and a via-hole conductor as necessary. Is formed. The inner conductor film 63 shown in FIG. 13 is a part of the conductor film for this wiring.

次いで、セラミック成形体61における貫通孔62を通る線に沿って、図14に示すように、切断溝64が第1および/または第2の主面上に形成される。   Next, as shown in FIG. 14, a cutting groove 64 is formed on the first and / or second main surface along a line passing through the through hole 62 in the ceramic molded body 61.

また、上述した切断溝64の形成の後または前に、貫通孔62の内面上に並ぶように、複数の外部端子電極65が形成される。外部端子電極65は、内部導体膜63と電気的に接続されるように形成される。外部端子電極65の形成には、導電性ペーストが用いられ、この導電性ペーストをスクリーン印刷またはディスペンサ等によって付与することが行なわれる。   In addition, a plurality of external terminal electrodes 65 are formed so as to be arranged on the inner surface of the through hole 62 after or before the formation of the cutting groove 64 described above. The external terminal electrode 65 is formed so as to be electrically connected to the internal conductor film 63. A conductive paste is used to form the external terminal electrode 65, and this conductive paste is applied by screen printing or a dispenser.

次いで、生のセラミック成形体61は焼成され、それによって、焼結後のセラミック焼結体が得られる。このとき、外部端子電極65を形成する導電性ペーストも焼結する。   Next, the raw ceramic molded body 61 is fired, thereby obtaining a sintered ceramic sintered body. At this time, the conductive paste forming the external terminal electrode 65 is also sintered.

次に、外部端子電極65の表面に、ニッケル/金、ニッケル/錫、ニッケル/半田等のめっきが施される。   Next, the surface of the external terminal electrode 65 is plated with nickel / gold, nickel / tin, nickel / solder, or the like.

次に、セラミック焼結体は、切断溝64に沿ってブレイクされ、それによって、複数のセラミック電子部品が取り出される。このセラミック電子部品において、貫通孔62の内面上に形成された複数の外部端子電極65は、貫通孔62の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられた状態となる。   Next, the ceramic sintered body is broken along the cutting grooves 64, whereby a plurality of ceramic electronic components are taken out. In this ceramic electronic component, the plurality of external terminal electrodes 65 formed on the inner surface of the through hole 62 are arranged side by side in the notch formed by dividing the through hole 62.

なお、上述した製造方法において、外部端子電極65の形成は、焼結後のセラミック焼結体に対して実施されてもよい。この場合には、外部端子電極65に対して、別に焼付け工程を実施する必要がある。   In the manufacturing method described above, the external terminal electrode 65 may be formed on the sintered ceramic sintered body. In this case, it is necessary to perform a separate baking process on the external terminal electrode 65.

また、上述した製造方法は、積層構造を有する電子部品本体を備えるセラミック電子部品の製造に適用され、そのため、セラミック成形体61を作製するにあたり、複数のセラミックグリーンシートを積層することを行なったが、単層構造を有する電子部品本体を備えるセラミック電子部品の製造に対しても適用することができる。この場合には、セラミック成形体61を得るため、セラミックグリーンシートを積層する工程が不要である。   The manufacturing method described above is applied to the manufacture of a ceramic electronic component having an electronic component main body having a laminated structure. Therefore, when the ceramic molded body 61 is manufactured, a plurality of ceramic green sheets are stacked. The present invention can also be applied to the manufacture of ceramic electronic components including an electronic component body having a single-layer structure. In this case, in order to obtain the ceramic molded body 61, the process of laminating the ceramic green sheets is unnecessary.

この実施形態においても、集合電子部品の状態にあるセラミック焼結体の段階で、個々のセラミック電子部品の特性を測定することができる。   Also in this embodiment, characteristics of individual ceramic electronic components can be measured at the stage of the ceramic sintered body in the state of the collective electronic component.

この発明の一実施形態による製造方法によって製造されるセラミック電子部品31の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the ceramic electronic component 31 manufactured by the manufacturing method by one Embodiment of this invention. 図1に示したセラミック電子部品31の製造のために用意されるセラミックグリーンシート43に対して実施される工程を順次示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view sequentially illustrating steps performed on a ceramic green sheet 43 prepared for manufacturing the ceramic electronic component 31 shown in FIG. 1. 図2に示したセラミックグリーンシート43を含む複数のセラミックグリーンシートを積層して得られたセラミック成形体47に対して実施される工程を順次示す斜視図である。It is a perspective view which shows sequentially the process implemented with respect to the ceramic molded body 47 obtained by laminating | stacking several ceramic green sheets containing the ceramic green sheet 43 shown in FIG. 図3(2)に示したセラミック成形体47を焼成して得られたセラミック焼結体52を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the ceramic sintered compact 52 obtained by baking the ceramic molded object 47 shown in FIG.3 (2). 図3(2)に示したセラミック成形体47の一部を拡大して示す平面図である。FIG. 4 is an enlarged plan view showing a part of a ceramic molded body 47 shown in FIG. 図5に示した部分に対応する部分を示す図であって、端子用導体45の変形例を示している。FIG. 6 is a diagram illustrating a portion corresponding to the portion illustrated in FIG. 5, and illustrates a modification of the terminal conductor 45. 図5に示した部分の一部に対応する部分を拡大して示す平面図であり、端子用導体45の他の変形例を示している。FIG. 6 is an enlarged plan view showing a part corresponding to a part of the part shown in FIG. 5, and shows another modification of the terminal conductor 45. セラミック電子部品31の変形例を示す底面図である。FIG. 6 is a bottom view showing a modified example of the ceramic electronic component 31. セラミック電子部品31の他の変形例を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing another modification of the ceramic electronic component 31. セラミック電子部品31のさらに他の変形例を示す正面図である。FIG. 10 is a front view showing still another modification of the ceramic electronic component 31. セラミック電子部品31のさらに他の変形例を示す正面図である。FIG. 10 is a front view showing still another modification of the ceramic electronic component 31. セラミック電子部品31のさらに他の変形例を示す正面図である。FIG. 10 is a front view showing still another modification of the ceramic electronic component 31. セラミック電子部品の製造方法に関する他の実施形態を説明するためのセラミック成形体61の一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a part of ceramic molded object 61 for demonstrating other embodiment regarding the manufacturing method of a ceramic electronic component. 図13に示したセラミック成形体61に外部端子電極65を形成した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which formed the external terminal electrode 65 in the ceramic molded body 61 shown in FIG. この発明にとって興味ある従来のセラミック電子部品1の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the conventional ceramic electronic component 1 interesting for this invention. 図15に示したセラミック電子部品1を製造するために作製されるセラミック成形体11を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the ceramic molded object 11 produced in order to manufacture the ceramic electronic component 1 shown in FIG. 図16に示したセラミック成形体11を焼成して得られたセラミック焼結体16に対して端子用導体18を形成する工程を図解的に示す断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view schematically showing a process of forming a terminal conductor 18 on a ceramic sintered body 16 obtained by firing the ceramic molded body 11 shown in FIG. 16. 図17に示した端子用導体18が形成されたセラミック焼結体16の一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a part of ceramic sintered compact 16 in which the conductor 18 for terminals shown in FIG. 17 was formed. 図18に示すセラミック焼結体16を分割して得られたセラミック電子部品1の一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a part of ceramic electronic component 1 obtained by dividing | segmenting the ceramic sintered compact 16 shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

31 セラミック電子部品
32 セラミック電子部品本体
33 電子部品本体の第1の主面
34 電子部品本体の第2の主面
35〜38 電子部品本体の側面
39 切欠き
40,65 外部端子電極
41 凹部
42 外部導体膜
43 セラミックグリーンシート
44 透孔
45 端子用導体
46 導体膜
47,61 セラミック成形体
48,62 長手の貫通孔
49 セラミック成形体またはセラミック焼結体の第1の主面
50 セラミック成形体またはセラミック焼結体の第2の主面
51,64 切断溝(分割線)
52 セラミック焼結体
53 延長部
63 内部導体膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 Ceramic electronic component 32 Ceramic electronic component main body 33 1st main surface of an electronic component main body 34 2nd main surface of an electronic component main body 35-38 Side surface of an electronic component main body 39 Notch 40,65 External terminal electrode 41 Recessed part 42 External Conductor film 43 Ceramic green sheet 44 Through-hole 45 Terminal conductor 46 Conductor film 47, 61 Ceramic molded body 48, 62 Longitudinal through-hole 49 First main surface of ceramic molded body or ceramic sintered body 50 Ceramic molded body or ceramic Second main surface of sintered body 51, 64 Cutting groove (parting line)
52 Ceramic sintered body 53 Extension 63 Internal conductor film

Claims (12)

外部端子電極となる複数の端子用導体が厚み方向の少なくとも一部において延びるように設けられた、生のセラミック成形体を作製する工程と、
前記セラミック成形体の複数の前記端子用導体が配列される線に沿うように、前記セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成することによって、複数の前記端子用導体の各一部を1つの前記貫通孔の内面上に露出させる工程と、
前記セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、
前記セラミック焼結体を、前記貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、前記貫通孔の内面上に露出した前記端子用導体の一部をもって与えられた複数の外部端子電極が、前記貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程と
を備える、セラミック電子部品の製造方法。
A step of producing a raw ceramic molded body provided such that a plurality of terminal conductors serving as external terminal electrodes extend in at least part of the thickness direction;
By forming a longitudinal through-hole penetrating between the first and second main surfaces facing each other of the ceramic molded body so as to follow a line in which the plurality of terminal conductors of the ceramic molded body are arranged. Exposing a part of each of the plurality of terminal conductors on the inner surface of one through hole;
A step of obtaining a sintered ceramic body after sintering by firing the ceramic molded body;
A plurality of external terminal electrodes provided with a part of the terminal conductor exposed on the inner surface of the through hole by dividing the ceramic sintered body along a dividing line passing through the through hole, And a step of taking out the ceramic electronic component provided side by side in the notch formed by dividing the through hole.
前記セラミック成形体を作製する工程は、複数の前記端子用導体が厚み方向に貫通するように設けられたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層する工程を備える、請求項1に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The step of producing the ceramic molded body includes a step of laminating a plurality of ceramic green sheets including a ceramic green sheet provided so that the plurality of terminal conductors penetrate in the thickness direction. Manufacturing method of ceramic electronic components. 前記セラミック成形体を作製する工程は、前記セラミックグリーンシートに、配線のための導体膜およびビアホール導体を形成する工程を備える、請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to claim 2, wherein the step of producing the ceramic molded body includes a step of forming a conductor film and a via-hole conductor for wiring on the ceramic green sheet. 前記セラミック焼結体は、これを前記分割線に沿って分割することによって複数のセラミック電子部品を取り出せるようにされている、集合電子部品であり、前記セラミック焼結体を分割する工程は、前記集合電子部品を分割する工程であり、前記貫通孔を形成する工程では、前記貫通導体を分割するように前記貫通孔が形成される、請求項1ないし3のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The ceramic sintered body is a collective electronic component that can be taken out by dividing the ceramic sintered body along the dividing line, and the step of dividing the ceramic sintered body includes the steps of: The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein the through hole is formed so as to divide the through conductor in the step of dividing the collective electronic component, and in the step of forming the through hole. Production method. 前記集合電子部品を分割する工程の前に、前記集合電子部品の状態で各前記セラミック電子部品の特性を測定する工程をさらに備える、請求項4に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 4, further comprising a step of measuring characteristics of each ceramic electronic component in a state of the collective electronic component before the step of dividing the collective electronic component. 前記セラミック焼結体を分割する工程の前に、前記外部端子電極の表面にめっきを施す工程をさらに備える、請求項1ないし5のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   6. The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 1, further comprising a step of plating the surface of the external terminal electrode before the step of dividing the ceramic sintered body. 生のセラミック成形体を作製する工程と、
前記セラミック成形体の互いに対向する第1および第2の主面間を貫通する長手の貫通孔を形成する工程と、
前記セラミック成形体を焼成することによって、焼結後のセラミック焼結体を得る工程と、
前記セラミック成形体または前記セラミック焼結体に対して、前記貫通孔の内面上に並ぶように、複数の外部端子電極を形成する工程と、
前記セラミック焼結体を、前記貫通孔を通る分割線に沿って分割することによって、前記貫通孔の内面上に形成された複数の外部端子電極が、前記貫通孔の分割によって形成された切欠き内に並んで設けられている、セラミック電子部品を取り出す工程と
を備える、セラミック電子部品の製造方法。
Producing a raw ceramic molded body;
Forming a longitudinal through-hole penetrating between the first and second main surfaces facing each other of the ceramic molded body;
A step of obtaining a sintered ceramic body after sintering by firing the ceramic molded body;
Forming a plurality of external terminal electrodes so as to line up on the inner surface of the through hole with respect to the ceramic molded body or the ceramic sintered body;
By dividing the ceramic sintered body along a dividing line passing through the through hole, a plurality of external terminal electrodes formed on the inner surface of the through hole are formed into notches formed by dividing the through hole. And a step of taking out the ceramic electronic component provided side by side in the inside.
前記セラミック成形体を作製する工程は、複数のセラミックグリーンシートを積層する工程を備える、請求項7に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to claim 7, wherein the step of producing the ceramic molded body includes a step of laminating a plurality of ceramic green sheets. 前記セラミック成形体を作製する工程は、前記セラミックグリーンシートに、配線のための導体膜およびビアホール導体を形成する工程を備える、請求項8に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to claim 8, wherein the step of producing the ceramic molded body includes a step of forming a conductor film and a via-hole conductor for wiring on the ceramic green sheet. 前記セラミック焼結体は、これを前記分割線に沿って分割することによって複数のセラミック電子部品を取り出せるようにされている、集合電子部品であり、前記セラミック焼結体を分割する工程は、前記集合電子部品を分割する工程である、請求項7ないし9のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The ceramic sintered body is a collective electronic component that can be taken out by dividing the ceramic sintered body along the dividing line, and the step of dividing the ceramic sintered body includes: The method for manufacturing a ceramic electronic component according to any one of claims 7 to 9, which is a step of dividing the collective electronic component. 前記集合電子部品を分割する工程の前に、前記集合電子部品の状態で各前記セラミック電子部品の特性を測定する工程をさらに備える、請求項10に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 10, further comprising a step of measuring characteristics of each ceramic electronic component in a state of the collective electronic component before the step of dividing the collective electronic component. 請求項1ないし11のいずれかに記載の製造方法によって得られた、セラミック電子部品。   A ceramic electronic component obtained by the manufacturing method according to claim 1.
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