JP2005291988A - 配線パターンの検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 画像を用いて配線パターンを自動的に検査する際、配線パターン外観の欠陥部分を安定に検出し得る配線パターンの検査方法及び検査装置を提供することにある。
【解決手段】 配線パターン12が形成された基板14を含む検査対象物1を撮像して検査画像を得る。マスター画像と検査画像とを比較し、検査画像から少なくともマスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得る。差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する。輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、差異画像の輝度分布を求める。データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、差異画像の輝度分布が基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する。算出された数値を、しきい値と比較する。
【選択図】 図1
【解決手段】 配線パターン12が形成された基板14を含む検査対象物1を撮像して検査画像を得る。マスター画像と検査画像とを比較し、検査画像から少なくともマスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得る。差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する。輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、差異画像の輝度分布を求める。データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、差異画像の輝度分布が基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する。算出された数値を、しきい値と比較する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、配線パターンの検査方法及び検査装置に関する。
一般に、画像を用いて配線パターンを自動的に検査しようとする場合、通常は、配線パターンの外観像を撮影して得た画像信号を処理することにより配線パターン外観像の輝度分布を求め、あるしきい値を基準として2値化した2値画像を作成し、この2値画像に基づいて外観の不良の有無や不良の程度を検出する方法が知られている。例えば、検査対象の画像とマスター画像の2値化のエッジ情報よりエッジの距離を求め、その大きさで良否判定を行っていた。(特許文献1参照)。
特開平7−110863号公報
しかしながら、画像信号を2値化するためのしきい値を最適値に設定する必要があるが、これを自動的に最適値にすることは困難であり、本来良品とすべき半透明などの異物も不良として過剰な判定をしてしまう。そこで、配線パターンの外観の良否を検査する都度、しきい値を変化させる必要があった。
本発明の目的は、画像を用いて配線パターンを自動的に検査する際、配線パターン外観の欠陥部分を安定に検出し得る配線パターンの検査方法及び検査装置を提供することにある。
(1)本発明に係る配線パターンの検査方法は、配線パターンが形成された基板を含む検査対象物を撮像して検査画像を得ること、
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得ること、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定すること、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求めること、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出すること、及び、
算出された前記数値を、しきい値と比較すること、
を含み、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる。本発明によれば、検査対象物の画像の単純な2値化では分類が困難な異常であっても、異常部分を切り出し、その画像から画像特徴量を算出し、予め検査結果が判明している異常の画像特徴量を用いて、その画像の良否を検査しているため、正確な分類が可能となる。これにより、基準が定量化され、客観的な検査を効率的に行うことができる。さらに、過剰な不良判定が低減され、パターン外観の欠陥部分を安定に検出し得る。
(2)この配線パターンの検査装置は、
前記差異画像は、前記過不足部分の周囲の部分をさらに含んでもよい。
(3)本発明に係る配線パターンの検査装置は、配線パターンが形成された基板を含む検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像された検査対象物の検査画像を記憶する記憶手段と、
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得る第1の手段と、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する第2の手段と、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求める第3の手段と、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する第4の手段と、
算出された前記数値を、しきい値と比較する比較手段と、
を備え、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる。
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得ること、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定すること、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求めること、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出すること、及び、
算出された前記数値を、しきい値と比較すること、
を含み、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる。本発明によれば、検査対象物の画像の単純な2値化では分類が困難な異常であっても、異常部分を切り出し、その画像から画像特徴量を算出し、予め検査結果が判明している異常の画像特徴量を用いて、その画像の良否を検査しているため、正確な分類が可能となる。これにより、基準が定量化され、客観的な検査を効率的に行うことができる。さらに、過剰な不良判定が低減され、パターン外観の欠陥部分を安定に検出し得る。
(2)この配線パターンの検査装置は、
前記差異画像は、前記過不足部分の周囲の部分をさらに含んでもよい。
(3)本発明に係る配線パターンの検査装置は、配線パターンが形成された基板を含む検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像された検査対象物の検査画像を記憶する記憶手段と、
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得る第1の手段と、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する第2の手段と、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求める第3の手段と、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する第4の手段と、
算出された前記数値を、しきい値と比較する比較手段と、
を備え、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる。
以下に、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る配線パターンの検査方法及び検査装置を説明する図である。
本実施の形態では、配線パターン12を検査する。配線パターン12は、複数の配線から構成されている。配線パターン12は、基板14に形成されている。基板14は、樹脂等の絶縁体で形成されている。配線パターン12が形成された基板14を検査対象物(配線基板)1ということができる。
検査装置は、配線パターン12が形成された基板14を含む検査対象物1を撮像する撮像手段(例えば固体カメラ;CCDカメラ)50を有する。
検査装置は、撮像された画像の情報を処理して画像情報を生成するコンピュータ40を有する。さらに、コンピュータ40は、第1の手段、第2の手段、第3の手段、第4の手段、比較手段としての演算部42と、撮像された検査対象物1の検査画像10(図3参照)を記憶する記憶手段44とを備えている。
演算部42は、第1の手段として、検査対象物1が良品であることを判定する基準となるマスター画像20(図4参照)と検査画像10とを比較する。この比較により、検査画像10から少なくともマスター画像20に対する過不足部分を抜き出して差異画像18(図5参照)とする。また、第2の手段として、この差異画像18を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する。また、第3の手段として、この輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値である0(黒)〜255(白)の256段階のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、差異画像18の輝度分布ヒストグラムを求める。また、第4の手段として、差異画像18の輝度分布が基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する。言い換えると、差異画像18が基準輝度分布である基準画像38(図7参照)とどの程度似ているかを数値で表す。さらに、比較手段として、その算出された数値を、しきい値と比較する。
記憶手段44は、データ読み取り可能なRAM,ROM、磁気ディスクなどの記憶媒体(記録媒体)を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。記憶手段44は、画像記憶手段46と、単位空間データベース48とを備えている。
画像記憶手段46は、撮像手段50から取り込んだ画像を記憶する。また、必要に応じて各種の画像処理をおこなった後の画像も記憶する。
単位空間データベース48は、基準画像38を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、基準画像38において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる基準輝度分布の数学的に表記された特性を単位空間のデータベースとして記憶する。
検査装置は、ディスプレイ52を有する。ディスプレイ52は、例えばCRT(Cathode-Ray Tube)、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面などを表示する。ディスプレイ52には、この他にも、撮像手段50により撮像されたそれぞれの画像や、画像処理途中段階での処理状況の表示や、最終的に認識されたそれぞれの画像を表示することができる。
次に、上記の単位空間データベースに記憶される単位空間データベースの作成方法について詳細に説明する。図2は、本発明の実施の形態に係わる単位空間データベースの作成方法の流れを示すフローチャートである。
本実施の形態では、図2に示すように、まず、ステップS100は、検査対象物1が良品であることを判定する基準となる配線パターン22が形成された基板24を含むマスター品を撮像手段50により撮像し、得られたマスター画像20を画像記憶手段46に記憶する。このステップS100において得られたマスター画像20の一例を図4に示している。
次に、ステップS102は、配線パターン32が形成された基板34を含むサンプル品(気泡等、判定しようとする対象が含まれるもの)を撮像手段50により撮像し、得られたサンプル画像30を画像記憶手段46に記憶する。このステップS102において得られたサンプル画像30の一例を図6に示している。
次に、ステップS104は、ステップS100より得られたマスター画像20とステップS102より得られたサンプル画像30とを比較し、2つの画像の異なる部分を示すマスター品に対するサンプル品の差画像を抽出する。
次に、ステップS106は、ステップS104により得られたサンプル品の差画像を2値化処理し、サンプル品の2値化差画像を得る。2値化処理は、数階調の明暗で構成されるサンプル品の差画像を、所定のしきい値で白黒に2値化する。しきい値は撮像手段50に含まれる絞りの開閉などの条件によって変化するため、一概に言えないが、この実施例では、あらかじめ様々な配線パターン32が形成された基板34を含むサンプル品をセットし、検出対象にあったしきい値を設定するようにしている。
次に、ステップS108は、ステップS106により得られたサンプル品の2値化差画像の周囲の部分をさらに含むように膨張処理し、サンプル品の膨張差画像を得る。
次に、ステップS110は、ステップS108により得られたサンプル品の膨張差画像を使用して、サンプル画像30からサンプル品の膨張差画像に対応する部分を抽出することにより、サンプル画像30から少なくともマスター画像20に対する過不足部分を抜き出したサンプル品の差異画像である基準画像38を得る。さらに、この基準画像38を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する。本実施例の場合、輝度は8ビットの信号により0(黒)〜255(白)の256段階で表される。
次に、ステップS112は、ステップS110により求められた輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値である0(黒)〜255(白)の256段階のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、基準画像38の輝度分布を求める。この基準画像38の輝度分布ヒストグラムの一例を図8、図9に示す。図8は、配線パターン32及び基板34の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のもので、面積割合が各輝度に分散している。図9は、配線パターン32と同じ材料に対する画像のもので、輝度値255付近に面積割合が集中している。
次に、ステップS114は、ステップS112により求められたデータを使用して、それぞれの単位空間のデータベースを以下で説明するように算出する。サンプル品のデータYi,j(ただし、iはサンプル品の数でi=1,2,3・・・,s、jは輝度値の組数でj=1,2,3・・・,n)を用いて、以下のように基準化値yi,jを算出する。
ただし、miは以下の式で表される1つのサンプル品についての平均値、σiは1つのサンプル品についての標準偏差である。
次に、基準化したデータを用い、個々の項目のデータの相関を求める。組毎のk(本実施の形態の場合は200)個のサンプル品yi間のp番目の基準化値ypとq番目の基準化値yqとの相関係数rp,qを成分とする相関行列Rを求め、この相関行列Rから相関行列の逆行列A(=R−1)を求める。相関行列R及び相関行列の逆行列Aは以下のように表される。
次に、ステップS116は、ステップS114により求められた相関係数Rの逆行列Aの成分を単位空間データベース48に記憶する。例えば、基準画像38の基準輝度分布の数学的に表記された特性である配線パターン32及び基板34の少なくとも一方の上に形成された気泡に対する単位空間のデータベースとして記憶する。または、基準画像38の基準輝度分布の数学的に表記された特性である配線パターン32と同じ材料に対する単位空間のデータベースとして記憶する。
次に、本実施の形態に係わる配線パターンの検査方法を説明する。図10は、本発明の実施の形態に係わる配線パターンの検査方法の流れを示すフローチャートである。
本実施の形態では、図10に示すように、まず、ステップS120は、配線パターン12が形成された基板14を含む検査対象物1の配線パターン12及び基板14を撮像手段50により撮像して得られた検査画像10を画像記憶手段46に記憶する。このステップS120において得られた検査画像10の一例を図3に示している。
次に、ステップS122は、予め画像記憶手段46に記憶されている検査対象物1が良品であることを判定する基準となるマスター画像20とステップS120により得られた検査画像10とを比較し、2つの画像の異なる部分を示す差画像を得る。このステップS122において使用したマスター画像20の一例を図4に示している。
次に、ステップS124は、ステップS122により得られた差画像を2値化処理し、2値化差画像を得る。2値化処理は、数階調の明暗で構成される差画像を、所定のしきい値で白黒に2値化する。しきい値は撮像手段50に含まれる絞りの開閉などの条件によって変化するため、一概に言えないが、この実施例では、あらかじめ様々な配線パターン12が形成された基板14を含む検査対象物1をセットし、検出対象にあったしきい値を設定するようにしている。
次に、ステップS126は、ステップS124により得られた2値化差画像を使用し、白黒に2値化された2値化差画像の画素において、白の画素数を(面積値)算出する。
次に、ステップS128は、ステップS126により求められた画素数の状態を判定する。判定は、画素数が所定のしきい値未満である状態(マスター画像20と検査画像10との異なる部分の大きさが所定のしきい値未満であることから機能的に問題がない状態。)を「Yes」としてステップS146に進む。画素数が所定のしきい値以上である状態(マスター画像20と検査画像10との異なる部分の大きさが所定のしきい値以上であることから機能的に問題がある状態。)を「No」としてステップS130に進む。
次に、ステップS130は、ステップS128で「No」によりステップS122で得られた2値化差画像において、過不足部分の周囲の部分を含む膨張処理を施し、膨張差画像を得る。
次に、ステップS132は、ステップS130により得られた膨張差画像を使用して、検査画像10から膨張差画像に対応する部分を抽出することにより、検査画像10から少なくともマスター画像20に対する過不足部分を抜き出した差異画像18を得る。さらに、この差異画像18を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する。本実施例の場合、輝度は8ビットの信号により0(黒)〜255(白)の256段階で表される。
次に、ステップS134は、ステップS132により求められた輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値である0(黒)〜255(白)の256段階のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、差異画像18の輝度分布ヒストグラムを求める。この輝度分布ヒストグラムの一例を図11に示す。これは、検査対象物1に黒異物が載ったもので、輝度値0付近に面積割合が集中している。
次に、ステップS136は、ステップS134により求められたデータと、気泡に対する単位空間データベース48の成分apqとを用いて、差異画像18の輝度分布が基準輝度分布から離れる程度を示す数値であるマハラノビスの距離MD2を以下の式によって算出する。
次に、ステップS138は、ステップS136により求められた数値であるマハラノビスの距離MD2の状態を所定のしきい値(気泡)と比較する。比較は、マハラノビスの距離MD2が所定のしきい値(気泡)未満である状態(差異画像18は、配線パターン32及び基板34の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に似ていると判断できる状態。)を「Yes」としてステップS146に進む。マハラノビスの距離MD2が所定のしきい値(気泡)以上である状態(差異画像18は、配線パターン32及び基板34の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に似ていないと判断できる状態。)を「No」としてステップS140に進む。このステップS138において判定する所定のしきい値(気泡)の一例を図12に示している。気泡と金属をある程度区別することができる。しかし、金属と白異物が混在する。しきい値は撮像手段50に含まれる絞りの開閉などの条件によって変化するため、一概に言えないが、この実施例では、あらかじめ様々な配線パターン32が形成された基板34を含むサンプル品をセットし、検出対象にあったしきい値を設定するようにしている。
次に、ステップS140は、ステップS138により「No」と判断された場合、ステップS134で求められたデータと、基準画像38の基準輝度分布の数学的に表記された特性である配線パターン32と同じ材料に対する単位空間データベース48の成分apqを用いて以下の式によってマハラノビスの距離MD2を算出する。
次に、ステップS142は、ステップS140により求められた数値であるマハラノビスの距離MD2の状態を所定のしきい値(金属)と比較する。比較は、マハラノビスの距離MD2が所定のしきい値(金属)未満である状態(配線パターン32と同じ材料に似ていると判断できる状態。)を「Yes」としてステップS148に進む。マハラノビスの距離MD2が所定のしきい値(金属)以上である状態(配線パターン32と同じ材料である金属に似ていないと判断できる状態。)を「No」としてステップS144に進む。このステップS142において判定するしきい値(金属)の一例を図13に示している。白異物と金属をある程度区別することができる。しかし、金属中にはレアショートと呼ばれる、金属不良なのだが気泡と似たヒストグラム形状をもつものがあり、この単位空間では区別できない。しきい値は撮像手段50に含まれる絞りの開閉などの条件によって変化するため、一概に言えないが、この実施例では、あらかじめ様々な配線パターン32が形成された基板34を含むサンプル品をセットし、検出対象にあったしきい値を設定するようにしている。
次に、ステップS144は、ステップS142により「No」と判断された場合、金属による欠陥ではないという検査画像10に対して、検査漏れがないようにショート判定を行なう。このステップS144において判定するショートの画像の一例を図14に示している。
次に、ステップS146は、ステップS128により「Yes」、ステップS144により「No」と判断された場合、ディスプレイ52に「良品」を表示する。
次に、ステップS148は、ステップS142により「Yes」、ステップS144により「Yes」と判断された場合、ディスプレイ52に「不良品」を表示する。
以上説明したように、本発明の配線パターンの検査方法及び検査装置は、サンプル品の基準画像の単位空間と検査対象物の検査画像の輝度分布ヒストグラムからマハラノビスの距離を演算して、検査対象物の配線パターンを検査している。このため、官能評価等によって生じる検査に個人差や再現性の問題を解消でき、効率良く配線パターンの検査を行なうことができる、という効果が得られる。
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。さらに、本発明は、実施の形態で説明した技術的事項のいずれかを限定的に除外した内容を含む。あるいは、本発明は、上述した実施の形態から公知技術を限定的に除外した内容を含む。
1…検査対象物 10…検査画像 12…配線パターン 14…基板 18…差異画像 20…マスター画像 22…配線パターン 24…基板 30…サンプル画像 32…配線パターン 34…基板 38…基準画像 40…コンピュータ 42…演算部 44…記憶手段 46…画像記憶手段 48…単位空間データベース 50…撮像手段 52…ディスプレイ
Claims (3)
- 配線パターンが形成された基板を含む検査対象物を撮像して検査画像を得ること、
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得ること、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定すること、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求めること、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出すること、及び、
算出された前記数値を、しきい値と比較すること、
を含み、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる配線パターンの検査方法。 - 請求項1記載の配線パターンの検査方法において、
前記差異画像は、前記過不足部分の周囲の部分をさらに含む配線パターンの検査方法。 - 配線パターンが形成された基板を含む検査対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像された検査対象物の検査画像を記憶する記憶手段と、
前記検査対象物が良品であることを判定する基準となるマスター画像と前記検査画像とを比較し、前記検査画像から少なくとも前記マスター画像に対する過不足部分を抜き出して差異画像を得る第1の手段と、
前記差異画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定する第2の手段と、
前記輝度の測定値に基づいて、複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータからなる、前記差異画像の輝度分布を求める第3の手段と、
前記データと、基準画像の基準輝度分布の数学的に表記された特性と、を使用して、前記差異画像の輝度分布が前記基準輝度分布から離れる程度を示す数値を算出する第4の手段と、
算出された前記数値を、しきい値と比較する比較手段と、
を備え、
前記基準画像は、前記配線パターンと同じ材料に対する画像、前記基板と同じ材料に対する画像、前記検査対象物に載る場合があるものとして予め認識されている異物に対する画像、前記配線パターン及び前記基板の少なくとも一方の上に形成される場合があるものとして予め認識されている気泡に対する画像のいずれかであり、
前記基準輝度分布の数学的に表記された前記特性は、前記基準画像を複数の画素に区画したときの各画素の輝度を測定して得られた測定値に基づいて、前記基準画像において複数階調の輝度値のそれぞれが占める面積割合を示すデータから求められてなる配線パターンの検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004108884A JP2005291988A (ja) | 2004-04-01 | 2004-04-01 | 配線パターンの検査方法及び検査装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2010276481A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Alps Electric Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2019067365A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社リコー | 画像処理装置、画像処理システム、画像処理方法、及びプログラム |
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2004
- 2004-04-01 JP JP2004108884A patent/JP2005291988A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010276481A (ja) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Alps Electric Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2019067365A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社リコー | 画像処理装置、画像処理システム、画像処理方法、及びプログラム |
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