JP2005291938A - 受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 - Google Patents
受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005291938A JP2005291938A JP2004107844A JP2004107844A JP2005291938A JP 2005291938 A JP2005291938 A JP 2005291938A JP 2004107844 A JP2004107844 A JP 2004107844A JP 2004107844 A JP2004107844 A JP 2004107844A JP 2005291938 A JP2005291938 A JP 2005291938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- imaging
- light receiving
- angle
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【課題】 受光スポットのぶれ・揺らぎが生じる場合であっても、より正確な測定結果を得ることが可能な受光中心検出方法等を提供する。
【解決手段】 第1〜3の各閾値Th1,Th2,Th3に基づき面積重心位置P1,P2,P3(P1’,P2’,P3’)をそれぞれ算出し、これらを平均化した中心位置を受光中心位置N(N’)として決定する構成になっている。従って、受光スポットにぶれ・揺らぎによる受光中心位置Nの位置ずれを極力抑えることができ、正確な距離測定を行うことが可能となる。
【選択図】 図6
Description
体積重心位置={Σ(mI)/Σm}
I:上記面積重心位置の場合と同じ
m:上記各画素の受光量レベルに応じた係数
<構成A>「被測定物体に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定物体の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
角度測定に用いる角度測定用投光手段と、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を略平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定物体側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定物体の方向に導くとともに、前記被測定物体からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記角度測定用投光手段からの光による正反射光(角度測定用正反射光)を撮像面で受光し、その撮像面上の各画素毎の受光量に応じた撮像信号を出力する角度測定用撮像手段と、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)を撮像面で受光し、その撮像面上の各画素毎の受光量に応じた撮像信号を出力する距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記角度測定用撮像手段から出力された撮像信号に基づいて、その撮像面上における前記角度測定用反射光の受光中心位置を検出する角度測定用受光中心検出手段と、
前記距離測定用撮像手段から出力された撮像信号に基づいて、その撮像面上における前記距離測定用反射光の受光中心位置を検出する距離測定用受光中心検出手段と、
前記角度測定用受光中心検出手段で検出された受光中心位置に基づいて前記被測定物体の傾き角度を測定するとともに、前記角度測定用受光中心検出手段及び前記距離測定用受光中心検出手段によってそれぞれ検出された受光中心位置に基づいて前記被測定物体までの距離を測定する測定手段と、を備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定物体までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配された光学測定装置であって、
前記角度測定用受光中心検出手段及び前記距離測定用受光中心検出手段は、それに対応する前記反射光(角度測定用反射光、前記距離測定用反射光)について、前記撮像手段(角度測定用撮像手段、距離測定用撮像手段)からの撮像信号に基づき前記各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段において前記各閾値によって抽出された各画素群の受光量レベルに基づいて重心位置(面積重心位置または体積重心位置)をそれぞれ検出する重心位置検出手段と、
前記重心位置検出手段によって検出された複数の前記重心位置を平均化した中心位置を前記受光中心位置として決定する決定手段と、を備えて構成されていることを特徴とする光学測定装置。」
本構成によれば、撮像素子の撮像面上の各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出し、各画素群について重心位置(面積重心位置または体積重心位置)をそれぞれ検出し、これら複数の重心位置を平均化した中心位置を撮像面上における受光スポットの受光中心位置として決定する。
このように、互いにレベルの異なる複数の閾値に基づく複数の重心位置から平均化した中心位置を求めることで、受光スポットにぶれ・揺らぎによる測定誤差を抑えて、正確な測定結果を得ることができる。
本構成によれば、閾値設定手段によって、複数の閾値を、撮像手段にて検知可能な最低受光量レベル以上であって、撮像手段の撮像面上における最大受光量レベルよりレベル以下の範囲で自由に変更することができ、受光スポットのぶれ・揺らぎの特性に対して適切な閾値を設定することが可能となる。
本発明の請求項1〜3に対応する実施形態1について図1ないし図4を参照して説明する。
(1)全体構成
符号20は距離測定用レーザ光源であって、これにはレーザ駆動回路21が接続されている。このレーザ駆動回路21は、CPU11からの制御信号Saに基づいて距離測定用レーザ光源20に駆動電流Ibを供給し点灯動作を行わせる。なお、距離測定用レーザ光源20は間欠的または連続的に駆動することができる。
なお、収束レンズ23を正反射光L’の光路に沿って移動させるか、或いは収束レンズ23を特性が異なる他の収束レンズに交換することで正反射光L’の集光位置を調整することができる。
撮像素子24は撮像面上に形成される正反射光L’の受光スポットに応じたデジタル信号列からなる撮像信号SbをCPU11に送信する。CPU11は、前述したレーザ駆動回路21に制御信号Saを与えて距離測定用レーザ光源20をパルス点灯させる。また、CPU11は、制御信号Saの送信に同期して撮像素子24からの撮像信号Sbを取り込んでこれに基づき距離測定用正反射光L’の撮像面上における受光スポットの受光中心位置Nを検出し例えば収束レンズ23からワークWまでの距離測定を行う。この受光中心検出処理については後で詳説する。
本実施形態では、三角測距の原理を利用してワークWの距離を測定する。
まず、距離測定用レーザ光源20の点灯動作に同期して撮像素子24から送信された撮像信号Sbに基づき、後述する受光中心検出処理によって受光中心位置Nを検出する。そして受光中心位置Nと撮像素子24における基準位置Oとの離間間隔からワークWの距離を測定する。
例えば、被測定物体Wが図1中のAの位置(距離d1)にある場合には(詳しくは図2参照)、距離測定用レーザ光源20の点灯動作時に撮像素子24の撮像面上に形成される受光中心位置N1は基準位置Oからd1’(図中では受光中心位置N1と基準位置Oとが一致しているため図示せず)離れていることから、これに基づいて距離d1が測定される。
ワークWが図1中のCの位置(距離d3、傾き角度θ1度)にある場合には(詳しくは図4参照)、距離測定用レーザ光源20の点灯動作時に撮像素子24の撮像面上に形成される受光中心位置Nは基準位置Oからd3’離れていることから、これにより、距離d3と測定される。
さて、前述したように、外部からの振動により投光素子からの投光光軸がぶれたり、投光素子に対するAPC(Auto Power Control)制御の動作により投光状態が変動したり、被測定物体の位置変位により反射状態が変動したりすることがある。そして、これらの要因によって撮像手段の撮像面上の受光スポットにぶれ・揺らぎ(例えば受光スポットの形状や受光量分布が変動)が生じることがある(図5の左図参照)。本実施形態は、このような問題に対処するために、CPう11は、図6のフローチャートに示す受光中心検出処理を実行する。
面積重心位置={Σ(MI)/ΣM}
I:第K(閾値の数K=1,2,3)画素群の各画素の位置ベクトル
M:第K画素群の数
中心位置(X,Y)
X=(x1+x2+x3+・・・)/K
Y=(y1+y2+y3+・・・)/K
なお、第1画素群G1、第2画素群G2、第3画素群G3それぞれについて、次に示す式4を適用して体積重心位置P1,P2,P3を算出する構成であってもよい。
体積重心位置={Σ(mI)/Σm}
I:式2と同じ
m:上記各画素の受光量レベルに応じた係数
(1)図5の左図に、受光スポットにぶれ・揺らぎにより2パターンの受光量レベル分布U1,U2が示されている。ここで、従来のように1つの閾値、例えば第1閾値Th1によって面積重心位置を算出し、これを受光スポットの受光中心位置とした場合には、図5の右図に示すように、上記2パターンにおいて受光中心位置がP1(x1,y1),P1’(x1’,y1’)と大きくずれてしまうことがある。また、上述したサブピクセル法によっても同様に大きくずれてしまうことがある。
これに対して、本実施形態では、第1〜3の各閾値Th1,Th2,Th3に基づき面積重心位置P1,P2,P3(P1’,P2’,P3’)をそれぞれ算出し、これらを平均化した中心位置を受光中心位置N(N’)として決定する構成になっている。従って、受光スポットにぶれ・揺らぎによる受光中心位置Nの位置ずれを極力抑えることができ、正確な距離測定を行うことが可能となる。
距離測定装置の実施形態2について図8ないし図11を参照して説明する。尚、実施形態1と同一の部分については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態は、距離測定用レーザ光源20からの光をコリメータレンズ22により平行光に変換した後、当該平行光をワークWに照射し、ワークWの表面における拡散反射光LDを収束レンズ23にて集光して撮像素子24の撮像面に照射させる構成となっている。
また、上記撮像素子24は収束レンズ23を通過して収束光に変換された拡散反射光の集光位置Pよりも後側に配されており、収束レンズ23を透過し、発散した光を当該撮像素子24の撮像面に照射させるようになっている。
請求項1,4,5に係る角度測定装置の実施形態を図12を参照して説明する。
本実施形態の角度測定装置50は、オートコリメータ法を用いてワークWの傾き角度を測定するものである。
投光素子51(角度測定用投光手段)からの光をコリメータレンズ52により平行光に変換し、この平行光をハーフミラー53で反射させて、光軸LC上に位置するワークWの方向へ導く。ワークWに照射された平行光は正反射してハーフミラー53を透過し、収束レンズ54によって撮像素子55(角度測定用撮像手段)の撮像面55A上に集光されるように構成されている。そして、撮像素子55からの撮像信号SaはCPU56に出力されるようになっている。
本発明の請求項1,6(前述した構成A),7に係る光学測定装置の実施形態4を図13ないし図17を参照して説明する。
本実施形態は、ワークWの傾斜角度及び距離を測定するものであり、その構成は、図13に示す通りである。角度測定用レーザ光源111及び距離測定用レーザ光源121から出射された光をダイクロイックミラー131(光合流手段)、ビームスプリッタ132及びコリメータレンズ133(コリメータレンズ及び収束レンズに相当)を介してワークW(被測定物体)に両者の光を照射し、正反射光をコリメータレンズ133、ビームスプリッタ132及びダイクロイックミラー134(光分岐用ダイクロイックミラー)を介して例えば2次元CCDからなる角度測定用撮像素子112(角度測定用撮像手段)及び同じく2次元CCDからなる距離測定用撮像素子122(距離測定用撮像手段)の撮像面に照射し、その照射位置(受光中心位置)に基づいてCPU104によりワークWの傾き及び距離が算出されるようになっている。尚、ワークWの表面は鏡面であっても非鏡面であってもよい。
本実施形態の構成は以上であり、続いてその動作について説明する。
(1)傾き検出
本実施形態では周知のオートコリメーション法を用いて傾き測定を行なう構成とされており、ここでは、上記実施形態1で説明した図6の受光中心検出処理を実行し、受光中心位置を検出し、この受光中心位置によってワークWの傾きの方向と傾き角とを算出する。
距離測定では、まず上記の傾き測定により、ワークWの角度を検出する。そして、距離測定用撮像素子122からの撮像信号Sdに基づいて実施形態1で説明した図6に示す処理を実行して受光中心位置(重心位置)を検出する。そして、傾き測定で算出された傾きに基づいて補正を行ない、上記重心位置と基準位置との距離及び方向からワークWの距離を算出する。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
13,23…レーザ駆動回路
20,121…距離測定用レーザ光源
21…レーザ駆動回路
23,54…収束レンズ
24…撮像素子(撮像手段、距離測定用撮像手段)
50…角度測定装置
51,111…投光素子(角度測定用投光手段)
53…ハーフミラー(分岐手段)
55…撮像素子(撮像手段、角度測定用撮像手段)
55A…撮像面
112…角度測定用撮像素子(角度測定用撮像手段)
113,123…レーザ駆動回路
131,134…ダイクロイックミラー(分岐手段)
122…距離測定用撮像素子(距離測定用撮像手段)
132…ビームスプリッタ(分岐手段)
133…コリメータレンズ
134…ダイクロイックミラー
104…CPU(受光中心検出手段、抽出手段、重心位置検出手段、決定手段)
G1〜G3…画素群
N…受光中心位置
W…ワーク(被測定物体)
Claims (7)
- 投光手段から出射された光を撮像手段の撮像面に受光させ、その撮像手段から出力され前記撮像面上の各画素毎の受光量に応じた撮像信号に基づいて前記撮像面上での受光中心位置を検出する受光中心検出方法であって、
前記撮像手段からの撮像信号に基づき前記各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出する抽出処理と、
前記抽出処理において前記各閾値によって抽出された各画素群の受光量レベルに基づいて重心位置をそれぞれ検出する重心位置検出処理と、
前記重心位置検出処理によって検出された複数の前記重心位置を平均化した中心位置を前記受光中心位置として決定する決定処理と、を行うことを特徴とする受光中心検出方法。 - 被測定物体に光を投光する距離測定用投光手段と、
その距離測定用投光手段から投光され前記被測定物体で拡散反射または正反射した反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズを通過した光を撮像面で受光し、その撮像面上の各画像毎の受光量に応じた撮像信号を出力する距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段から出力された撮像信号に基づいて、前記撮像面上における前記反射光の受光中心位置を検出する受光中心検出手段とを備えるとともに、前記距離測定用投光手段から被測定物体までの投光光路と、前記被測定物体から前記距離測定用撮像手段までの反射光路とが所定の角度をなすよう構成され、
前記受光中心検出手段で検出された受光中心位置に基づいて前記被測定物体の距離を測定する距離測定装置において、
前記受光中心検出手段は、前記距離測定用撮像手段からの撮像信号に基づき前記各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段において前記各閾値によって抽出された各画素群の受光量レベルに基づいて重心位置をそれぞれ検出する重心位置検出手段と、
前記重心位置検出手段によって検出された複数の前記重心位置を平均化した中心位置を前記受光中心位置として決定する決定手段と、を備えて構成されていることを特徴とする距離測定装置。 - 前記複数の閾値が、前記撮像手段にて検知可能な最低受光量レベル以上であって、前記撮像手段の撮像面上における最大受光量レベルより低いレベル以下の範囲で設定される閾値設定手段が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の距離測定装置。
- 被測定物体に光を投光する角度測定用投光手段と、
その角度測定用投光手段から投光され前記被測定物体で正反射した反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズを通過した光を撮像面で受光し、その撮像面上の各画像毎の受光量に応じた撮像信号を出力する角度測定用撮像手段と、
前記角度測定用撮像手段から出力された撮像信号に基づいて、前記撮像面上における前記反射光の受光中心位置を検出する受光中心検出手段とを備え、
前記受光中心検出手段で検出された受光中心位置に基づいて前記被測定物体の傾き角度を測定する角度測定装置において、
前記受光中心検出手段は、前記角度測定用撮像手段からの撮像信号に基づき前記各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段において前記各閾値によって抽出された各画素の受光量レベルに基づいて重心位置をそれぞれ検出する重心位置検出手段と、
前記重心位置検出手段によって検出された複数の前記重心位置を平均化した中心位置を前記受光中心位置として決定する決定手段と、を備えて構成されていることを特徴とする角度測定装置。 - 前記複数の閾値が、前記撮像手段にて検知可能な最低受光量レベル以上であって、前記撮像手段の撮像面上における最大受光量レベルより低いレベル以下の範囲で設定される閾値設定手段が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の角度測定装置。
- 被測定物体に光を照射しその反射光に基づいて前記被測定物体の傾き角度及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記被測定物体に向けて略平行光としての光を照射する角度測定用投光手段と、
その角度測定用投光手段から投光され前記被測定物体で正反射した角度測定用反射光を収束させる収束レンズと、
その収束レンズを通過した光を撮像面で受光し、その撮像面上の各画像毎の受光量に応じた撮像信号を出力する撮像手段と、
前記角度測定用投光手段からの光の照射方向に対して所定角度傾いた方向から略平行光としての光を前記被測定物体に照射するよう配された距離測定用投光手段と、
その距離測定用投光手段から投光され前記被測定物体で拡散反射または正反射した距離測定用反射光を収束させる収束レンズと、
その収束レンズを通過した光を撮像面で受光し、その撮像面上の各画像毎の受光量に応じた撮像信号を出力する撮像手段と、
前記撮像手段から出力された撮像信号に基づいて、前記撮像面上における前記角度測定用反射光及び前記距離測定用反射光それぞれの受光中心位置を検出する受光中心検出手段と、を備え、
前記受光中心検出手段で検出された受光中心位置に基づいて前記被測定物体の傾き角度及び距離を測定する光学測定装置において、
前記受光中心検出手段は、前記角度測定用反射光及び前記距離測定用反射光それぞれについて、前記撮像手段からの撮像信号に基づき前記各画素での受光量レベルを、互いにレベルの異なる複数の閾値それぞれと比較し、それらの各閾値毎に、当該閾値以上の受光量レベルであった画素群を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段において前記各閾値によって抽出された各画素群の受光量レベルに基づいて重心位置をそれぞれ検出する重心位置検出手段と、
前記重心位置検出手段によって検出された複数の前記重心位置を平均化した中心位置を前記受光中心位置として決定する決定手段と、を備えて構成されていることを特徴とする光学測定装置。 - 前記複数の閾値が、前記撮像手段にて検知可能な最低受光量レベル以上であって、前記撮像手段の撮像面上における最大受光量レベルよりレベル以下の範囲で設定される閾値設定手段が設けられていることを特徴とする請求項6に記載の光学測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004107844A JP4339165B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004107844A JP4339165B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005291938A true JP2005291938A (ja) | 2005-10-20 |
JP4339165B2 JP4339165B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=35325023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004107844A Expired - Fee Related JP4339165B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4339165B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114235A1 (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Kyocera Corporation | 携帯電子機器及び地磁気センサ較正方法 |
WO2007114236A1 (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Kyocera Corporation | 携帯電子機器及び地磁気センサ較正方法 |
JP2008249521A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Konica Minolta Sensing Inc | 光学特性測定装置、光学特性測定方法 |
JP2010019836A (ja) * | 2008-06-13 | 2010-01-28 | Katsura Opto Systems:Kk | 変位チルトセンサ |
JP2014181909A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-29 | Ricoh Co Ltd | 撮像ユニット、測色装置、画像形成装置、測色システムおよび距離測定方法 |
JP2014194380A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Denso Wave Inc | レーザ測定装置 |
JP2015052573A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社東芝 | パターン計測装置及びパターン計測方法 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004107844A patent/JP4339165B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114235A1 (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Kyocera Corporation | 携帯電子機器及び地磁気センサ較正方法 |
WO2007114236A1 (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Kyocera Corporation | 携帯電子機器及び地磁気センサ較正方法 |
JP2008249521A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Konica Minolta Sensing Inc | 光学特性測定装置、光学特性測定方法 |
JP2010019836A (ja) * | 2008-06-13 | 2010-01-28 | Katsura Opto Systems:Kk | 変位チルトセンサ |
JP2014181909A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-29 | Ricoh Co Ltd | 撮像ユニット、測色装置、画像形成装置、測色システムおよび距離測定方法 |
JP2014194380A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Denso Wave Inc | レーザ測定装置 |
JP2015052573A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社東芝 | パターン計測装置及びパターン計測方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4339165B2 (ja) | 2009-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7800643B2 (en) | Image obtaining apparatus | |
US8675209B2 (en) | Optical displacement meter | |
CN104903680B (zh) | 控制三维物体的线性尺寸的方法 | |
JP4830061B2 (ja) | 3次元位置計測方法および3次元位置計測に用いる装置 | |
US11490068B2 (en) | Adaptive 3D-scanner with variable measuring range | |
KR101891182B1 (ko) | 자동초점 조절장치 | |
JP4500097B2 (ja) | 光学測定装置及び光学測定装置における距離算出方法 | |
JP2007093412A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP4339165B2 (ja) | 受光中心検出方法、距離測定装置、角度測定装置及び光学測定装置 | |
JP2016164557A (ja) | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | |
JP5789010B2 (ja) | 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械 | |
JP2015108582A (ja) | 3次元計測方法と装置 | |
US8441652B2 (en) | Profile measuring apparatus, method for measuring profile, and method for manufacturing product | |
JP2010014505A (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP4589648B2 (ja) | 光学測定装置及びこれらの距離測定方法 | |
JP2005017257A (ja) | 光学測定装置 | |
KR101487251B1 (ko) | 옵티컬 트랙킹 시스템 및 이를 이용한 트랙킹 방법 | |
US7345745B2 (en) | Optical device for measuring the displacement velocity of a first moving element with respect to a second element | |
JP4339166B2 (ja) | 角度測定装置及びその傾き角度測定方法 | |
JP2012181757A (ja) | 光学情報読み取り装置 | |
JP2005315573A (ja) | 角度測定装置及び角度調整装置並びに光学測定装置 | |
JP3945120B2 (ja) | 測距センサ及びその調整方法 | |
JP2004020536A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
WO2023171203A1 (ja) | 撮像装置 | |
JP2006189390A (ja) | 光学式変位測定方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070209 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070709 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090324 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090611 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090701 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120710 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710 Year of fee payment: 4 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130710 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |