JP2005283537A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device Download PDF

Info

Publication number
JP2005283537A
JP2005283537A JP2004102101A JP2004102101A JP2005283537A JP 2005283537 A JP2005283537 A JP 2005283537A JP 2004102101 A JP2004102101 A JP 2004102101A JP 2004102101 A JP2004102101 A JP 2004102101A JP 2005283537 A JP2005283537 A JP 2005283537A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
circuit
semiconductor device
request
phase adjustment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004102101A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Itakura
実 板倉
Shoji Kume
正二 久米
Katsutoshi Uehara
克利 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2004102101A priority Critical patent/JP2005283537A/en
Publication of JP2005283537A publication Critical patent/JP2005283537A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device allowing a functional test of the whole chip including an input circuit, an output circuit and a phase adjustment circuit when performing the functional test of the semiconductor device, allowing easy production of a test pattern, and allowing the functional test having a dense request similar to an operation state of an actual system. <P>SOLUTION: This semiconductor device has test logic inside it, and the input circuit and the output circuit of the semiconductor device has a terminal connected with a signal inputted and outputted by the incorporated test logic. Thereby, the functional test of the semiconductor device including the input circuit and the output circuit can be performed. The semiconductor device is provided with a means adding a skew to the signal outputted by the incorporated test logic to perform the functional test of the phase adjustment circuit. By equipping a means controlling the issued request, the production of the test pattern is facilitated, and the functional test having the dense request can be performed. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体装置に関し、特にテスト論理を当該半導体装置に内蔵させ、半導体装置の機能テストを実施する半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to a semiconductor device in which test logic is built in the semiconductor device and a function test of the semiconductor device is performed.

半導体装置のテスト方法の一般的な手法として、パターン発生器、応答圧縮器を半導体装置に内蔵させたBIST(Built In Self Test)と呼ばれる手法が広く用いられている。しかし、BISTは半導体装置に搭載された論理部やメモリ部などのコンポーネント単位でテストが行なわれるため、メモリ部の動作で発生するノイズによる論理部の動作不良など、実システム上でのみ発生するような不良を検出することが出来ないという問題がある。また、各コンポーネント毎の限界動作周波数と実システム上での半導体装置の限界動作周波数が異なるため、オーバーキル(良品を不良品と判定してしまう)や不良品を出荷してしまうという問題も生じる。このため、実システムでの動作状態と同様にチップ全体を動作させる機能テストが必要になる。   As a general method for testing a semiconductor device, a method called BIST (Built In Self Test) in which a pattern generator and a response compressor are built in the semiconductor device is widely used. However, since the BIST is tested in units of components such as a logic unit and a memory unit mounted on a semiconductor device, the operation of the logic unit due to noise generated by the operation of the memory unit may occur only on the actual system. There is a problem that it is impossible to detect a bad defect. In addition, since the limit operating frequency of each component and the limit operating frequency of the semiconductor device on the actual system are different, there is a problem that overkill (determining a non-defective product as a defective product) or a defective product is shipped. . For this reason, a function test is required to operate the entire chip in the same manner as in the actual system.

また、テスタと呼ばれる装置によりテストパターンデータを発生して半導体装置に入力し、半導体装置から出力されたデータと論理シミュレーションから得られた期待値とを比較判定する方法がある。この方法では、実システムでの動作状態と同様にチップ全体を動作させる機能テストが実施可能であるが、半導体装置の高速化、多ピン化により、非常に高価なテスタが必要となり、半導体装置テストのコストを増大させてしまうという問題がある。   In addition, there is a method in which test pattern data is generated by a device called a tester and input to the semiconductor device, and the data output from the semiconductor device is compared with the expected value obtained from the logic simulation. In this method, a functional test that operates the entire chip can be performed in the same way as the operating state in the actual system. However, due to the increase in the speed and the number of pins of the semiconductor device, a very expensive tester is required. There is a problem of increasing the cost.

そこで、特開2003−208797号公報に示されるように、内蔵のテスト論理を用いて半導体装置の機能テストを行なう方法が開示されている。   Therefore, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-208797, a method of performing a function test of a semiconductor device using a built-in test logic is disclosed.

特開2003−208797号公報JP 2003-208797 A

上記公報では、内蔵テスト論理が生成したリクエストはセレクタによってテスト対象である内部論理に入力され、内部論理からのレスポンスは半導体装置の出力回路の前から取り込む。このため、半導体装置の入力回路と出力回路はテスト対象外となってしまい、入力回路と出力回路が発生するノイズの影響がテストに反映されない。さらに、リクエストを入力するセレクタの前段に、半導体装置の入力信号のスキューをキャンセルするための位相調整回路等がある場合もテスト対象外となってしまい、全チップの機能テストが出来ないという問題がある。   In the above publication, the request generated by the built-in test logic is input to the internal logic to be tested by the selector, and the response from the internal logic is captured from before the output circuit of the semiconductor device. For this reason, the input circuit and the output circuit of the semiconductor device are excluded from the test target, and the influence of noise generated by the input circuit and the output circuit is not reflected in the test. Furthermore, if there is a phase adjustment circuit etc. for canceling the skew of the input signal of the semiconductor device in the preceding stage of the selector that inputs the request, it is also excluded from the test, and there is a problem that the function test of all the chips cannot be performed. is there.

さらに、実システムでプロセッサに接続されるキャッシュチップ等の半導体装置において、プロセッサが発行するリクエストに、発行中のリクエストの種類やリクエストのタグにより、半導体装置に発行できるリクエストが制限される場合がある。このような半導体装置の機能テストを前記公報で示されている内蔵テスト論理を用いて行なう場合、上記制限を満たすテストパターンの作成は複雑になる。また、リクエストの終了待ちのためのNOP命令を記述しなければならず、テストパターン中のリクエストの密度が低下し、テストが不十分になってしまう。   Furthermore, in a semiconductor device such as a cache chip connected to a processor in a real system, requests that can be issued to the semiconductor device may be limited depending on the type of request being issued and the request tag. . When such a function test of a semiconductor device is performed using the built-in test logic disclosed in the publication, it is complicated to create a test pattern that satisfies the above restrictions. In addition, a NOP instruction for waiting for the end of the request must be described, which reduces the density of requests in the test pattern and makes the test insufficient.

そこで、本発明の目的は、内蔵テスト論理を用いた半導体装置の機能テストにおいて、入力回路と出力回路、位相調整回路を含めた全チップの機能テストを行なうことができる半導体装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of performing a function test on all chips including an input circuit, an output circuit, and a phase adjustment circuit in a function test of the semiconductor device using the built-in test logic. is there.

また、本発明の他の目的は、テストパターンの作成を容易にし、実システムでの動作状態と同様にリクエストの密な機能テストを行なうことができる半導体装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of facilitating the creation of a test pattern and performing a function test with a high demand in the same manner as the operation state in an actual system.

本発明の一態様によれば、半導体装置内にテスト論理を備え、半導体装置の入力回路に、内蔵テスト論理が出力する信号を接続する入力端子を備え、さらに半導体装置の出力回路に内蔵テスト論理に接続する出力端子を備えることで、入力回路と出力回路を含めた半導体装置の機能テストを行なうことが出来るようにしたものである。   According to one embodiment of the present invention, a test logic is provided in a semiconductor device, an input terminal for connecting a signal output from the built-in test logic is provided in an input circuit of the semiconductor device, and a built-in test logic is provided in an output circuit of the semiconductor device. By providing an output terminal connected to, a function test of a semiconductor device including an input circuit and an output circuit can be performed.

さらに、内蔵テスト論理が出力する信号にスキューを付加する手段を設け、前記の入力回路の入力端子に接続することにより、位相調整回路の機能テストを行なうことが出来るようにしたものである。   Further, a means for adding a skew to the signal output from the built-in test logic is provided, and a function test of the phase adjustment circuit can be performed by connecting to the input terminal of the input circuit.

さらに、発行中のリクエストを記憶する手段と、記憶した発行中のリクエストによって発行するリクエストを制御する手段を備えることで、テストパターンの作成を簡単にし、リクエストの密な機能テストを行えるようにしたものである。   In addition, by providing a means to store the requests being issued and a means to control the requests issued by the stored requests being issued, it is possible to simplify the creation of test patterns and perform a dense function test of requests. Is.

実システムの動作状態と同様に、リクエストの密な全チップの機能テストを行なうことができ、オーバーキルや不良品を出荷してしまうという可能性を低減することが可能である。   Similar to the operating state of the actual system, it is possible to perform a function test of all the chips with a high request, and it is possible to reduce the possibility of overkill or shipping defective products.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1はキャッシュチップ100を中央に配置し、該キャッシュチップ100の外部にテスタ101を設けた構成例を示す図である。キャッシュチップ100にはテスト論理102が内蔵され、テスタ101からマイクロプログラムを読み込み、テスト論理102が処理を行なうことで機能テストを行なう。ここで、キャッシュチップ100の機能テストの説明を行なう前に、キャッシュチップ100の実システムにおける動作を説明する。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration example in which a cache chip 100 is arranged in the center and a tester 101 is provided outside the cache chip 100. A test logic 102 is built in the cache chip 100, a microprogram is read from the tester 101, and the test logic 102 performs processing to perform a function test. Here, before describing the function test of the cache chip 100, the operation of the cache chip 100 in the actual system will be described.

図2は実システムの構成図であり、キャッシュチップ100はプロセッサ200およびメインメモリコントローラ201に接続されている。キャッシュチップ100は実システムにおける通常動作では、プロセッサ200から出力されるリクエスト1を受けて以下に示す2通りの動作を実施する。   FIG. 2 is a configuration diagram of an actual system. The cache chip 100 is connected to the processor 200 and the main memory controller 201. In a normal operation in the real system, the cache chip 100 receives the request 1 output from the processor 200 and performs the following two operations.

(i)プロセッサ200からのリクエスト1を受けて、キャッシュチップ100は前記リクエスト1を処理する。次に、キャッシュチップ100はリクエスト1をリクエスト2としてメインメモリコントローラ201に転送する。メインメモリコントローラ201はリクエスト2を受信し、処理した後、キャッシュチップ100にレスポンス2を送信する。キャッシュチップ100はレスポンス2をレスポンス1としてプロセッサ200に送信する。   (I) Upon receiving request 1 from the processor 200, the cache chip 100 processes the request 1. Next, the cache chip 100 transfers the request 1 as the request 2 to the main memory controller 201. The main memory controller 201 receives the request 2 and processes it, and then transmits a response 2 to the cache chip 100. The cache chip 100 transmits the response 2 as the response 1 to the processor 200.

(ii)プロセッサ200からのリクエスト1を受けて、キャッシュチップ100は前記リクエスト1を処理する。その後、キャッシュチップ100はレスポンス1をプロセッサ200に対し送信する。   (Ii) In response to the request 1 from the processor 200, the cache chip 100 processes the request 1. Thereafter, the cache chip 100 transmits response 1 to the processor 200.

ここで、リクエスト1は図1に示すAddress/Control/Data103であり、リクエスト2はAddress/Control/Data104である。また、レスポンス1はControl/Data105であり、レスポンス2はControl/Data106である。   Here, the request 1 is the Address / Control / Data 103 shown in FIG. 1, and the request 2 is the Address / Control / Data 104 shown in FIG. Response 1 is Control / Data 105, and Response 2 is Control / Data 106.

また、実システムでは、前記通常動作を行なう前に、チップ間の通信を確実に行なうようにするため、各チップに内蔵する位相調整回路を動作させ、各チップ間の信号の位相調整を行なう。位相調整回路は、他のチップから送信される信号のスキューをキャンセルするため、信号の各ビットのディレイを調節し、安定して信号を受信できるようにする。   In an actual system, before performing the normal operation, in order to ensure communication between chips, a phase adjustment circuit built in each chip is operated to adjust the phase of a signal between the chips. The phase adjustment circuit adjusts the delay of each bit of the signal in order to cancel the skew of the signal transmitted from another chip so that the signal can be received stably.

図3は実システムにおける位相調整の処理の流れを示す。まず、プロセッサ→キャッシュチップ間の位相調整300において、プロセッサ200は特定のパターンの信号をキャッシュチップ100に送信し、キャッシュチップ100内のプロセッサ側位相調整回路107にて受信した信号のスキューを調整する。次のキャッシュチップ→プロセッサ間の位相調整301において、キャッシュチップ100内のプロセッサ側位相調整回路108にて特定のパターン信号を生成し、プロセッサ200に対し送信することで、プロセッサ200内にある位相調整回路にて信号のスキューを調整する。以下同様にキャッシュチップ→メインメモリコントローラ間の位相調整302、メインメモリコントローラ→キャッシュチップ間位相調整303を順に行ない、その後前記の通常動作が開始される。   FIG. 3 shows the flow of phase adjustment processing in the actual system. First, in the phase adjustment 300 between the processor and the cache chip, the processor 200 transmits a signal of a specific pattern to the cache chip 100 and adjusts the skew of the signal received by the processor side phase adjustment circuit 107 in the cache chip 100. . In the next phase adjustment 301 between the cache chip and the processor, the processor-side phase adjustment circuit 108 in the cache chip 100 generates a specific pattern signal and transmits it to the processor 200, whereby the phase adjustment in the processor 200 is performed. The skew of the signal is adjusted by the circuit. Similarly, the phase adjustment 302 between the cache chip and the main memory controller and the phase adjustment 303 between the main memory controller and the cache chip are sequentially performed, and then the normal operation is started.

次に、図1を用いて、キャッシュチップ100の通常動作テストについて説明する。通常動作テストはプロセッサ側位相調整のテストとメインメモリコントローラ側位相調整のテストを行ない、その後通常動作のテストを行なう。   Next, a normal operation test of the cache chip 100 will be described with reference to FIG. In the normal operation test, a processor-side phase adjustment test and a main memory controller-side phase adjustment test are performed, and then a normal operation test is performed.

まず、テスタ101にてプロセッサ側位相調整テスト用のマイクロプログラムを内蔵テスト論理102内のマイクロプログラム格納回路109に送信する。マイクロプログラム格納回路にはテストモードを切り替えるレジスタを備えており、転送されたマイクロプログラムによりプロセッサ側位相調整テストモードに切り替えられる。   First, the tester 101 transmits a processor-side phase adjustment test microprogram to the microprogram storage circuit 109 in the built-in test logic 102. The microprogram storage circuit is provided with a register for switching the test mode, and is switched to the processor side phase adjustment test mode by the transferred microprogram.

実行制御回路110はリクエスト生成回路111に対し、特定パターンの出力を指示する。リクエスト生成回路111から出力された特定パターンは、可変ディレイヤ112に入力される。   The execution control circuit 110 instructs the request generation circuit 111 to output a specific pattern. The specific pattern output from the request generation circuit 111 is input to the variable delay layer 112.

可変ディレイヤ112は実システム上のプロセッサ→キャッシュチップ間のスキューを模擬するための回路であり、リクエスト生成回路111からの信号の各ビットにディレイを付加する。各ビットのディレイ値の設定はマイクロプログラムに指定されており、実行制御回路110がその設定値を解釈し設定を行なう。可変ディレイヤ112の出力は入力回路113に入力される。   The variable delay layer 112 is a circuit for simulating the skew between the processor and the cache chip on the real system, and adds a delay to each bit of the signal from the request generation circuit 111. The setting of the delay value of each bit is specified in the microprogram, and the execution control circuit 110 interprets the setting value and sets it. The output of the variable delay layer 112 is input to the input circuit 113.

入力回路113内には、チップ外からのAddress/Control/Data103と可変ディレイヤ112の出力を選択するセレクタが設けられ、このセレクタによりスキューが付加された可変ディレイヤ112の出力信号がプロセッサ側位相調整回路に入力される。   The input circuit 113 is provided with a selector for selecting the output of the Address / Control / Data 103 and the variable delay 112 from the outside of the chip, and the output signal of the variable delay 112 to which the skew is added by this selector is a processor-side phase adjustment circuit. Is input.

さらに、実行制御回路110は、プロセッサ側位相調整回路107に対し、位相調整動作の開始を指示し、プロセッサ→キャッシュチップ間の位相調整300が実行される。実行制御回路110はプロセッサ側位相調整回路107の位相調整動作の完了を監視し、完了を検出すると、リクエスト生成回路111に特定パターンの出力の停止を指示する。また、テスト結果判定回路114に対しプロセッサ側位相調整回路107内に保持されている位相調整結果のデータを読み込むように指示し、テスト結果判定回路114は読み込んだ位相調整結果のデータから、位相調整動作が正しく行われたか判定する。   Further, the execution control circuit 110 instructs the processor-side phase adjustment circuit 107 to start the phase adjustment operation, and the phase adjustment 300 between the processor and the cache chip is executed. The execution control circuit 110 monitors the completion of the phase adjustment operation of the processor side phase adjustment circuit 107, and when the completion is detected, instructs the request generation circuit 111 to stop outputting the specific pattern. Further, the test result determination circuit 114 is instructed to read the phase adjustment result data held in the processor-side phase adjustment circuit 107, and the test result determination circuit 114 reads the phase adjustment result from the read phase adjustment result data. Determine if the operation was performed correctly.

次に実行制御回路110はプロセッサ側位相調整回路107に特定パターンの出力を指示する。プロセッサ側位相調整回路107が出力する特定パターンは出力回路115を通じテスト結果判定回路114に入力され、テスト結果判定回路114は特定パターンが正しくプロセッサ側位相調整回路107より出力されているかを判定する。   Next, the execution control circuit 110 instructs the processor-side phase adjustment circuit 107 to output a specific pattern. The specific pattern output from the processor-side phase adjustment circuit 107 is input to the test result determination circuit 114 through the output circuit 115, and the test result determination circuit 114 determines whether the specific pattern is correctly output from the processor-side phase adjustment circuit 107.

前記プロセッサ側位相調整回路107の位相調整動作の判定結果と特定パターンの判定結果より、テスト結果判定回路114はテストのPASS/FAILを判定し、外部のテスタ101に結果を出力する。   Based on the determination result of the phase adjustment operation of the processor side phase adjustment circuit 107 and the determination result of the specific pattern, the test result determination circuit 114 determines the PASS / FAIL of the test and outputs the result to the external tester 101.

テスタ101にてプロセッサ側位相調整テストのPASSを検出後、続いて、メインメモリコントローラ側位相調整テストを、プロセッサ側位相調整テストと同様に行なう。すなわち、テスタ101にてメモリコントローラ側位相調整テスト用のマイクロプログラムを内蔵テスト論理102内のマイクロプログラム格納回路109に送信し、メモリコントローラ側位相調整テストモードに切り替える。実行制御回路110はレスポンス生成回路116に対し、特定パターンの出力を指示し、出力された特定パターンは、可変ディレイヤ117に入力される。可変ディレイヤ117によってスキューが付加された特定パターンは、入力回路118に入力され、メインメモリコントローラ側位相調整回路108にて位相調整を行ない、その結果のデータをテスト結果判定回路114によって読み込む。また、メインメモリコントローラ側位相調整回路108の特定パターン出力のテストも、出力回路119を用いてプロセッサ側位相調整テストと同様に行なう。   After the PASS of the processor side phase adjustment test is detected by the tester 101, the main memory controller side phase adjustment test is subsequently performed in the same manner as the processor side phase adjustment test. That is, the tester 101 transmits a memory controller-side phase adjustment test microprogram to the microprogram storage circuit 109 in the built-in test logic 102 to switch to the memory controller-side phase adjustment test mode. The execution control circuit 110 instructs the response generation circuit 116 to output a specific pattern, and the output specific pattern is input to the variable delay layer 117. The specific pattern to which the skew is added by the variable delay layer 117 is input to the input circuit 118, the phase is adjusted by the main memory controller side phase adjustment circuit 108, and the result data is read by the test result determination circuit 114. Further, the test of the specific pattern output of the main memory controller side phase adjustment circuit 108 is also performed using the output circuit 119 in the same manner as the processor side phase adjustment test.

以上より、入力回路113、118に内蔵テスト論理102からの信号を入力し、出力回路115、119に内蔵テスト論理102に半導体装置の内部信号を出力させ、内蔵テスト論理102に可変ディレイヤ112、117を内蔵することにより、位相調整回路の機能テストを行なうことが可能となる。   As described above, a signal from the built-in test logic 102 is input to the input circuits 113 and 118, an internal signal of the semiconductor device is output to the built-in test logic 102 in the output circuits 115 and 119, and the variable delay layers 112 and 117 are output to the built-in test logic 102. By incorporating, it becomes possible to perform a function test of the phase adjustment circuit.

次に、キャッシュチップ100の通常動作テストについて説明する。通常動作テストにおける可変ディレイヤ112、117のディレイの設定とプロセッサ側位相調整回路107、メインメモリコントローラ側位相調整回路108は、それぞれ位相調整テスト終了時の状態を保持したまま行われる。すなわち、内蔵テスト論理102から各入力回路に入力されるリクエストには、実システムと通常動作時と同様なスキューが付加された状態で通常動作テストが行われる。   Next, a normal operation test of the cache chip 100 will be described. The delay settings of the variable delay layers 112 and 117 in the normal operation test, the processor-side phase adjustment circuit 107, and the main memory controller-side phase adjustment circuit 108 are performed while maintaining the state at the end of the phase adjustment test. That is, a normal operation test is performed on a request input from the built-in test logic 102 to each input circuit with a skew similar to that in the actual system and normal operation being added.

まず、テスタ101にて通常動作テスト用マイクロプログラムをマイクロプログラム格納回路109に送信し、通常動作テストのモードに切り替える。実行制御回路110は、マイクロプログラム格納回路109に格納されたマイクロプログラムを実行し、リクエスト生成回路111に、リクエストとデータの出力を指示する。ここで、リクエスト生成回路が生成するリクエストは、実システムでプロセッサ200がキャッシュチップ100に送信するリクエスト1に相当する。   First, the tester 101 transmits a normal operation test microprogram to the microprogram storage circuit 109 to switch to the normal operation test mode. The execution control circuit 110 executes the microprogram stored in the microprogram storage circuit 109 and instructs the request generation circuit 111 to output a request and data. Here, the request generated by the request generation circuit corresponds to request 1 transmitted from the processor 200 to the cache chip 100 in the real system.

図4はリクエスト生成回路111の構成図である。リクエスト生成回路111は、リクエスト発行判定回路400、発行中のリクエストの種類やタグ情報を記憶するリクエスト記憶回路401、位相調整テスト時に特定パターンを発生する特定パターン発生回路402、位相調整テスト時と通常動作テスト時でリクエスト出力407を切り替えるセレクタ403から構成されている。   FIG. 4 is a configuration diagram of the request generation circuit 111. The request generation circuit 111 includes a request issuance determination circuit 400, a request storage circuit 401 that stores the type of request being issued and tag information, a specific pattern generation circuit 402 that generates a specific pattern during a phase adjustment test, and a normal during a phase adjustment test The selector 403 switches the request output 407 during the operation test.

通常動作テスト実行時、実行制御回路110からのリクエスト発行命令404により、リクエスト発行判定回路400はリクエスト記憶回路401から、発行中のリクエストの種類とタグ情報を読み出し、リクエストが発行可能かどうか判定する。リクエストが発行可能であればリクエストを発行し、リクエスト記憶回路401に発行したリクエストの種類とタグ情報を書き込む。また、発行不可であれば、発行不可の要因となった発行中のリクエストがリクエスト記憶回路401から消去されるまでリクエストを保持したままNOP命令を発行し、さらに実行制御回路110にリクエスト発行停止信号406を出力し、実行制御回路110での新たなリクエスト発行命令404の出力を停止させる。レスポンス生成回路116から、リクエスト処理完了信号405が入力されると、リクエスト発行判定回路400は、終了したリクエストの情報をリクエスト記憶回路から消去する。   When a normal operation test is executed, the request issuance determination circuit 400 reads out the type of request being issued and tag information from the request storage circuit 401 according to a request issuance instruction 404 from the execution control circuit 110, and determines whether the request can be issued. . If the request can be issued, the request is issued and the type of the issued request and the tag information are written in the request storage circuit 401. If the request cannot be issued, a NOP instruction is issued while the request being held is erased from the request storage circuit 401, and the request issuance stop signal is sent to the execution control circuit 110. 406 is output, and the output of the new request issue command 404 in the execution control circuit 110 is stopped. When the request processing completion signal 405 is input from the response generation circuit 116, the request issuance determination circuit 400 deletes the information of the completed request from the request storage circuit.

リクエスト生成回路111から出力されたリクエストは可変ディレイヤ112、入力I/O113、プロセッサ側位相調整回路107を通じ通常論理に入力され、処理される。   The request output from the request generation circuit 111 is input to the normal logic through the variable delay 112, the input I / O 113, and the processor side phase adjustment circuit 107, and is processed.

また、キャッシュチップ100の出力信号であるAddress/Control/Data104とControl/Data105は、それぞれ出力回路119と出力回路115を通じて、レスポンス生成回路116、テスト結果判定回路114に出力される。   In addition, Address / Control / Data 104 and Control / Data 105, which are output signals of the cache chip 100, are output to the response generation circuit 116 and the test result determination circuit 114 through the output circuit 119 and the output circuit 115, respectively.

レスポンス生成回路116では、出力回路119からの信号に対し、実システムにおけるメインメモリコントローラ201の出力であるレスポンス2と同等のレスポンスを生成し、出力する。出力されたレスポンスは入力回路118、メインメモリコントローラ側位相調整回路108を通じ通常論理に入力され、処理される。また、出力回路115からの、実システムにおけるキャッシュチップ100のレスポンス1に相当する信号により、レスポンス生成回路116はリクエスト生成回路111に当該リクエストのリクエスト処理完了信号405を出力する。   The response generation circuit 116 generates and outputs a response equivalent to the response 2 that is the output of the main memory controller 201 in the actual system, in response to the signal from the output circuit 119. The output response is input to the normal logic through the input circuit 118 and the main memory controller side phase adjustment circuit 108 and processed. Further, in response to a signal corresponding to the response 1 of the cache chip 100 in the real system from the output circuit 115, the response generation circuit 116 outputs a request processing completion signal 405 of the request to the request generation circuit 111.

また、テスト結果判定回路114では、出力回路115、119から出力されたキャッシュチップ100のレスポンスがそれぞれ正しいかをチェックし、外部のテスタ101に結果を出力する。   Further, the test result determination circuit 114 checks whether the responses of the cache chip 100 output from the output circuits 115 and 119 are correct, and outputs the result to the external tester 101.

以上より、実システムでプロセッサ200がリクエスト1の発行を制御するように、リクエスト生成回路111でリクエストの発行を制御できるようになり、マイクロプログラム格納回路109に格納するマイクロプログラムからリクエスト発行待ちの命令を省くことが出来、リクエストの密な通常動作テストを行なうことが出来る。   As described above, the request generation circuit 111 can control the issuance of the request so that the processor 200 controls the issuance of the request 1 in the real system, and the instruction waiting for the request issuance from the microprogram stored in the microprogram storage circuit 109. Can be omitted, and a normal operation test with high demand can be performed.

本発明の半導体装置の実施例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the Example of the semiconductor device of this invention. 図1に示す半導体装置が実システムで動作する際の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram when the semiconductor device shown in FIG. 1 operates in an actual system. 実システムにおける位相調整の処理の流れを示す図である。It is a figure which shows the flow of the process of the phase adjustment in a real system. 内蔵テスト論理内のリクエスト生成回路のブロック図である。It is a block diagram of a request generation circuit in the built-in test logic.

符号の説明Explanation of symbols

100…キャッシュチップ、101…テスタ、102…内蔵テスト論理、107…プロセッサ側位相調整回路、108…メモリコントローラ側位相調整回路、110…実行制御回路、111…リクエスト生成回路、112…可変ディレイヤ、113…入力回路、114…テスト結果判定回路、115…出力回路、116…レスポンス生成回路、117…可変ディレイヤ、118…入力回路、119…出力回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Cache chip, 101 ... Tester, 102 ... Built-in test logic, 107 ... Processor side phase adjustment circuit, 108 ... Memory controller side phase adjustment circuit, 110 ... Execution control circuit, 111 ... Request generation circuit, 112 ... Variable delayer, 113 ... Input circuit, 114 ... Test result determination circuit, 115 ... Output circuit, 116 ... Response generation circuit, 117 ... Variable delay, 118 ... Input circuit, 119 ... Output circuit

Claims (3)

半導体装置において、該半導体装置内に内蔵テスト論理を備え、半導体装置の入力回路に、内蔵テスト論理が出力する信号を接続する入力端子を備え、さらに半導体装置の出力回路に内蔵テスト論理に接続する出力端子を備えることで、入力回路と出力回路を含めた半導体装置の機能テストを行なうことを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device includes a built-in test logic in the semiconductor device, an input circuit of the semiconductor device having an input terminal for connecting a signal output from the built-in test logic, and further connected to the built-in test logic in an output circuit of the semiconductor device A semiconductor device characterized in that a functional test of a semiconductor device including an input circuit and an output circuit is performed by providing an output terminal. 前記内蔵テスト論理が出力するリクエストとデータにスキューを付加する付加手段を設け、該付加手段を前記入力回路の入力端子に接続することにより、位相調整回路の機能テストを行なうことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。   An additional means for adding a skew to a request and data output from the built-in test logic is provided, and the additional means is connected to an input terminal of the input circuit to perform a function test of the phase adjustment circuit. Item 14. A semiconductor device according to Item 1. 半導体装置において、該半導体装置内に内蔵テスト論理を備え、機能テスト時に発行中のリクエストを記憶する手段と、記憶した発行中のリクエストによって発行するリクエストを制御する手段を備えることを特徴とする半導体装置。
A semiconductor device comprising: a built-in test logic in the semiconductor device; and means for storing a request being issued at the time of a function test; and means for controlling a request issued by the stored request being issued apparatus.
JP2004102101A 2004-03-31 2004-03-31 Semiconductor device Pending JP2005283537A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004102101A JP2005283537A (en) 2004-03-31 2004-03-31 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004102101A JP2005283537A (en) 2004-03-31 2004-03-31 Semiconductor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005283537A true JP2005283537A (en) 2005-10-13

Family

ID=35182060

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004102101A Pending JP2005283537A (en) 2004-03-31 2004-03-31 Semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005283537A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011128984A1 (en) * 2010-04-13 2011-10-20 富士通株式会社 Operation confirmation test method, operation confirmation test program, and clock distribution circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011128984A1 (en) * 2010-04-13 2011-10-20 富士通株式会社 Operation confirmation test method, operation confirmation test program, and clock distribution circuit
JP5422736B2 (en) * 2010-04-13 2014-02-19 富士通株式会社 Operation check test method, operation check test program, and clock distribution circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100320829B1 (en) Bist circuit for lsi memory
JP4044075B2 (en) Test circuit and test method for semiconductor integrated circuit
KR100858651B1 (en) Sequential semiconductor test apparatus
JP2010511229A (en) Circuit and method for testing multiple device systems
JP2005243176A (en) Semiconductor device and voltage control method
JP2007205933A (en) Semiconductor integrated circuit
US7315479B2 (en) Redundant memory incorporating serially-connected relief information storage
KR20140013893A (en) Method for training memory core at boot-up and memory system
JP2005283537A (en) Semiconductor device
JP4919768B2 (en) Integrated circuit device
JP2007335809A (en) Semiconductor device and method for controlling operation of semiconductor device
JP2007188931A (en) Semiconductor device
JP4009461B2 (en) Semiconductor device
JP2006155682A (en) Lsi test circuit
JP5625241B2 (en) Semiconductor device and test method thereof
JP2005345239A (en) Ic tester
JP4757196B2 (en) Memory system and test method thereof
JPH11109000A (en) Apparatus for testing connection of semiconductor device
JP2005180952A (en) Test circuit, semiconductor integrated circuit, and its manufacturing method
JP2720761B2 (en) Semiconductor integrated circuit test equipment
JP4985462B2 (en) Integrated circuit, integrated circuit operation test method, and operation test program
JP4761120B2 (en) Electronic equipment, image forming device
JP2006064588A (en) Electronic device and testing method
JP2000009816A (en) Semiconductor integrated circuit and method for testing it
JP2009079914A (en) Semiconductor integrated circuit

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060424

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060904

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090428

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090901