JP2005283249A - 角度測定装置及び光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 処理時間の短縮化を図ることができる角度測定装置および光学測定装置を提供する。
【解決手段】画素検出処理によって抽出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する。そして、抽出された各画素A〜Dについて、それぞれの画素A〜D及び上記画素検出処理にて検出された画素Pを含めるように領域QA〜QDをそれぞれ指定する。領域指定処理にて指定された領域QA〜QDについてY軸方向について最大受光量とされる画素Pを算出し、これら画素P群の受光量分布をX軸方向について算出するとともに、Y軸方向について最大受光量とされる画素を算出し、これら画素群の受光量をX軸上の受光量分布として算出する。
【選択図】 図9
【解決手段】画素検出処理によって抽出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する。そして、抽出された各画素A〜Dについて、それぞれの画素A〜D及び上記画素検出処理にて検出された画素Pを含めるように領域QA〜QDをそれぞれ指定する。領域指定処理にて指定された領域QA〜QDについてY軸方向について最大受光量とされる画素Pを算出し、これら画素P群の受光量分布をX軸方向について算出するとともに、Y軸方向について最大受光量とされる画素を算出し、これら画素群の受光量をX軸上の受光量分布として算出する。
【選択図】 図9
Description
本発明は、角度測定装置及び光学測定装置に関する。
従来から知られている角度測定装置としてオートコリメーション法を利用してワークの傾角を検出するものがある。
その構成は、コリメータレンズにより平行光とされた投光素子からの光をハーフミラーを介してワークに照射し、このワークからの正反射光をハーフミラー及び集光レンズを介して撮像素子に照射するようになっている。
そして、撮像素子から出力された各画素の受光量に基づく撮像信号をメモリに記憶し、CPUにてメモリに記憶されている全画素に関する受光量情報から受光スポットを検出する。最後に、検出された受光スポットの位置と基準位置との関係からワークの傾角を測定するのである。
特開2001−304831公報
そして、撮像素子から出力された各画素の受光量に基づく撮像信号をメモリに記憶し、CPUにてメモリに記憶されている全画素に関する受光量情報から受光スポットを検出する。最後に、検出された受光スポットの位置と基準位置との関係からワークの傾角を測定するのである。
ところで、上記角度測定装置においても算出処理時間の短縮化が望まれているが、上記構成では、受光スポットを検出するために、全画素の受光量の情報を参照しているから算出処理時間の短縮化を図ることが困難である。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、処理時間の短縮化を図ることができる角度測定装置および光学測定装置を提供することを目的とする。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、処理時間の短縮化を図ることができる角度測定装置および光学測定装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を角度測定用記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項2の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を2つの被測定対象物に照射するとともに、それぞれの前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を角度測定用記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記2つの被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載のものにおいて、前記角度測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項4の発明は、請求項1または請求項2に記載のものにおいて、前記角度測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項5の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項6の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項7の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を2つの被測定対象物に照射するとともに、これらからの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面にそれぞれ照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記2つの被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項8の発明は、請求項6または請求項7に記載のものにおいて、前記角度測定用画素選択手段は、前記角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を選択するところに特徴を有する。
請求項9の発明は、請求項6または請求項7に記載のものにおいて、前記角度測定用画素選択手段は、前記角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を含むように領域を指定し、その領域内に含まれる画素の撮像信号を受信するように動作するところに特徴を有する。
請求項10の発明は、請求項6ないし請求項9のいずれかに記載のものにおいて、前記角度測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項11の発明は、請求項6ないし請求項9のいずれかに記載のものにおいて、前記角度測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項12の発明は、角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に..位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に..位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたところに特徴を有する。
請求項13の発明は、被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾角及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項1、請求項3及び請求項4のうちいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項1、請求項3及び請求項4のうちいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
請求項14の発明は、2つの被測定対象物に光を照射し、それらからの反射光に基づいてこれら被測定対象物の傾角及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
請求項15の発明は、請求項13または請求項14に記載の光学測定装置。前記距離測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項16の発明は、請求項13または請求項14に記載のものにおいて、前記距離測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項17の発明は、被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項5に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向で、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項5に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向で、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
請求項18の発明は、被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
請求項19の発明は、2つの被測定対象物に光を照射しそれらかの反射光に基づいてこれら被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
請求項20の発明は、請求項18または請求項19に記載のものにおいて、前記距離測定用画素選択手段は、前記距離測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を選択するところに特徴を有する。
請求項21の発明は、請求項18または請求項19に記載のものにおいて、前記距離測定用画素選択手段は、前記距離測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を含むように領域を指定し、その領域内に含まれる画素の撮像信号を受信するように動作するところに特徴を有する。
請求項22の発明は、請求項18ないし請求項22のいずれかに記載のものにおいて、前記距離測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項23の発明は、請求項18ないし請求項22のいずれかに記載のものにおいて、前記距離測定用受光中心位置検出手段は、前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出するところに特徴を有する。
請求項24の発明は、被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項12に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
前記請求項12に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されているところに特徴を有する。
<請求項1及び請求項13の発明>
請求項1及び請求項13の発明では、所定の閾値以上の受光量とされている画素を検出し、その検出された画素から受光中心位置(最大輝度位置、面積重心位置、体積重心位置)を検出するようにしている。このようにすれば全画素の受光量情報を参照することなく受光中心位置を検出することが出来るから、処理時間の短縮化を図ることができる。
請求項1及び請求項13の発明では、所定の閾値以上の受光量とされている画素を検出し、その検出された画素から受光中心位置(最大輝度位置、面積重心位置、体積重心位置)を検出するようにしている。このようにすれば全画素の受光量情報を参照することなく受光中心位置を検出することが出来るから、処理時間の短縮化を図ることができる。
<請求項2、請求項7、請求項14及び請求項19の発明>
例えば、2つの被測定対象物の傾角を同時に算出する場合、それぞれの受光スポット毎に領域を指定するようにすれば、参照する画素数が減少するから処理時間の短縮化を図ることができる。
例えば、2つの被測定対象物の傾角を同時に算出する場合、それぞれの受光スポット毎に領域を指定するようにすれば、参照する画素数が減少するから処理時間の短縮化を図ることができる。
<請求項3,10,15,22の発明>
上記発明では領域を構成する画素に関して交差2方向における受光量分布を算出し、その極大点に相当する画素を受光中心位置として検出する構成である。
より詳しくは、行方向及び列方向においてそれぞれの投影受光量分布を算出する。この投影受光量分布とは、それぞれの方向において、その方向と直交する方向から見た場合の受光量分布である。それぞれの方向における受光量分布を構成する受光量はその方向と直交する方向に並ぶ画素において最大の受光量とされている画素の受光量となる。この受光量分布をそれぞれの方向において算出し、算出された2つの受光量分布において極大点に相当する画素を受光中心位置として検出している。
このようにすれば、検出領域内のすべての画素の受光量を参照することなく受光中心位置を検出することができるから、一層高速な算出処理を行うことができる。
上記発明では領域を構成する画素に関して交差2方向における受光量分布を算出し、その極大点に相当する画素を受光中心位置として検出する構成である。
より詳しくは、行方向及び列方向においてそれぞれの投影受光量分布を算出する。この投影受光量分布とは、それぞれの方向において、その方向と直交する方向から見た場合の受光量分布である。それぞれの方向における受光量分布を構成する受光量はその方向と直交する方向に並ぶ画素において最大の受光量とされている画素の受光量となる。この受光量分布をそれぞれの方向において算出し、算出された2つの受光量分布において極大点に相当する画素を受光中心位置として検出している。
このようにすれば、検出領域内のすべての画素の受光量を参照することなく受光中心位置を検出することができるから、一層高速な算出処理を行うことができる。
<請求項4,11,16,23の発明>
上記発明では、多数の対象物の傾角を同時に検出する場合には好適な構成であり、正確に傾角の算出を行なうことができる。
上記発明では、多数の対象物の傾角を同時に検出する場合には好適な構成であり、正確に傾角の算出を行なうことができる。
<請求項5及び請求項17の発明>
上記発明では、検出された4つの画素についてそれぞれの画素を含んだ直線上の投影受光量分布を算出し、その極大点に相当する画素を受光中心位置として検出するようになっている。
このようにすればより一層高速な傾角算出処理を行なうことができる。
上記発明では、検出された4つの画素についてそれぞれの画素を含んだ直線上の投影受光量分布を算出し、その極大点に相当する画素を受光中心位置として検出するようになっている。
このようにすればより一層高速な傾角算出処理を行なうことができる。
<請求項6,7,8,9,18,19,20,21の発明>
このような構成では、受光中心位置の検出において不要な受光量情報が排除されて、処理時間の短縮化を図ることができる。
例えば、複数回にわたって測定動作を行ない、それぞれの結果に基づいての傾角または距離を算出する場合には、初回の測定動作において、撮像面における全画素を指定し、2回目以降の測定動作では、初回の測定動作における各画素の受光量を基に光照射面において受光中心位置の検出に必要な領域を指定するようにすればよい。このようにすることで、2回目以降の測定動作の処理時間を短縮化することができるという利点がある。
このような構成では、受光中心位置の検出において不要な受光量情報が排除されて、処理時間の短縮化を図ることができる。
例えば、複数回にわたって測定動作を行ない、それぞれの結果に基づいての傾角または距離を算出する場合には、初回の測定動作において、撮像面における全画素を指定し、2回目以降の測定動作では、初回の測定動作における各画素の受光量を基に光照射面において受光中心位置の検出に必要な領域を指定するようにすればよい。このようにすることで、2回目以降の測定動作の処理時間を短縮化することができるという利点がある。
<請求項12及び請求項24の発明>
画素選択手段にて受光中心位置の検出において不要な受光量の情報が排除し、この受光量の情報から、受光中心位置検出手段により4つの画素を検出し、それぞれの画素を含んだ直線上の投影受光量分布を算出してその極大点に相当する画素を受光中心位置として検出するようになっている。
このようにすればより一層高速な測定動作を行なうことができる。
画素選択手段にて受光中心位置の検出において不要な受光量の情報が排除し、この受光量の情報から、受光中心位置検出手段により4つの画素を検出し、それぞれの画素を含んだ直線上の投影受光量分布を算出してその極大点に相当する画素を受光中心位置として検出するようになっている。
このようにすればより一層高速な測定動作を行なうことができる。
<実施形態1>
請求項1,請求項2及び請求項3に係る角度測定装置の実施形態を図1ないし図11を参照して説明する。
本実施形態の角度測定装置1は、例えば、CCDカメラに搭載されている撮像素子W1とこの撮像素子W1の前面に配置されるカバーガラスW2(レンズ)との相対的な傾角(平行度)を検出したり、それぞれの絶対角度を検出するために用いられる。
請求項1,請求項2及び請求項3に係る角度測定装置の実施形態を図1ないし図11を参照して説明する。
本実施形態の角度測定装置1は、例えば、CCDカメラに搭載されている撮像素子W1とこの撮像素子W1の前面に配置されるカバーガラスW2(レンズ)との相対的な傾角(平行度)を検出したり、それぞれの絶対角度を検出するために用いられる。
<全体構成>
投光素子11(角度測定用投光手段)からの光をコリメータレンズ12により平行光に変換し、この平行光をハーフミラー13で反射させて、光軸LC上に並ぶ撮像素子W1及びカバーガラスW2の方向へ導く。撮像素子W1及びカバーガラスW2に照射された平行光はそれぞれ反射してハーフミラー13を透過し、収束レンズ14によって撮像素子15(角度測定用撮像手段)の撮像面15A上に集光されるように構成されている。そして、撮像素子15からの撮像信号Saはメモリ16に出力されるようになっている。また、撮像面15Aは複数の画素が行列(XY)方向へマトリクス状に配されて矩形形状に構成されている。尚、この撮像面15Aにおいて、図8における横方向をX軸、縦方向をY軸とする座標系を設定し、撮像面15Aの中央を原点Oと規定する。
投光素子11(角度測定用投光手段)からの光をコリメータレンズ12により平行光に変換し、この平行光をハーフミラー13で反射させて、光軸LC上に並ぶ撮像素子W1及びカバーガラスW2の方向へ導く。撮像素子W1及びカバーガラスW2に照射された平行光はそれぞれ反射してハーフミラー13を透過し、収束レンズ14によって撮像素子15(角度測定用撮像手段)の撮像面15A上に集光されるように構成されている。そして、撮像素子15からの撮像信号Saはメモリ16に出力されるようになっている。また、撮像面15Aは複数の画素が行列(XY)方向へマトリクス状に配されて矩形形状に構成されている。尚、この撮像面15Aにおいて、図8における横方向をX軸、縦方向をY軸とする座標系を設定し、撮像面15Aの中央を原点Oと規定する。
また、投光素子11及び撮像素子15の駆動及び駆動停止はCPU17から出力される制御信号Sb,Scにより切り換えられるようになっている。
設定手段18は2つのワークWの傾角測定を行なう単面測定モードと、2つのワークWの傾角測定を同時に行なう2面測定モードと、3つ以上のワークWの測定を同時に行なう多面測定モードとを切り替えるための操作部(図示せず)が設けられており、いずれか一つのモードを操作部により切替操作可能とされている。
尚、メモリ16には撮像素子15の撮像面15Aにおける1フレーム分の情報を記憶するための領域が確保されている。
設定手段18は2つのワークWの傾角測定を行なう単面測定モードと、2つのワークWの傾角測定を同時に行なう2面測定モードと、3つ以上のワークWの測定を同時に行なう多面測定モードとを切り替えるための操作部(図示せず)が設けられており、いずれか一つのモードを操作部により切替操作可能とされている。
尚、メモリ16には撮像素子15の撮像面15Aにおける1フレーム分の情報を記憶するための領域が確保されている。
本実施形態の構成は以上であり、続いて傾角算出動作についてCPU17の動作を中心にして説明する。
はじめに、設定手段18の操作部を操作して、2面測定モードに切り替える。そうすると、CPU17は撮像素子W1とカバーガラスW2の相対的な傾角(平行度)を算出するために、記憶処理(ステップS1)、画素検出処理(ステップS2)、領域指定処理(ステップS3)、受光中心位置検出処理(ステップS4)及び傾角検出処理(ステップS5)を行なう(図2参照)。
はじめに、設定手段18の操作部を操作して、2面測定モードに切り替える。そうすると、CPU17は撮像素子W1とカバーガラスW2の相対的な傾角(平行度)を算出するために、記憶処理(ステップS1)、画素検出処理(ステップS2)、領域指定処理(ステップS3)、受光中心位置検出処理(ステップS4)及び傾角検出処理(ステップS5)を行なう(図2参照)。
<記憶処理>
CPU17から投光素子11に駆動信号Sbを送信するとともに、撮像素子15に駆動信号Scを送信する(ステップS11)。そうすると撮像素子W1及びカバーガラスW2からの反射光が撮像素子15上で集光して撮像素子W1からの反射光による受光スポットS1及びカバーガラスW2による受光スポットS2が撮像面15Aにそれぞれ形成される。撮像素子15からは撮像面15Aを構成する各画素Pの受光量に関する情報(受光量情報)が撮像信号Saとしてメモリに送信され、受光量情報がメモリ16に記憶される(ステップS12)(図3及び図8(A)参照)。
CPU17から投光素子11に駆動信号Sbを送信するとともに、撮像素子15に駆動信号Scを送信する(ステップS11)。そうすると撮像素子W1及びカバーガラスW2からの反射光が撮像素子15上で集光して撮像素子W1からの反射光による受光スポットS1及びカバーガラスW2による受光スポットS2が撮像面15Aにそれぞれ形成される。撮像素子15からは撮像面15Aを構成する各画素Pの受光量に関する情報(受光量情報)が撮像信号Saとしてメモリに送信され、受光量情報がメモリ16に記憶される(ステップS12)(図3及び図8(A)参照)。
<画素検出処理>
メモリ16に記憶されている受光量情報から各画素Pの受光量を所定の閾値と順次比較する(ステップS21、ステップS22、ステップS25)。閾値を上回る受光量と判断された場合には、その画素Pに関する受光量情報を抽出する(ステップS22で「Y」、ステップS23)(図4及び図8(B)参照)。
メモリ16に記憶されている受光量情報から各画素Pの受光量を所定の閾値と順次比較する(ステップS21、ステップS22、ステップS25)。閾値を上回る受光量と判断された場合には、その画素Pに関する受光量情報を抽出する(ステップS22で「Y」、ステップS23)(図4及び図8(B)参照)。
<領域指定処理>
上記処理によって抽出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する(ステップS31)。
そして、抽出された各画素A〜Dについて、それぞれの画素A〜D及び上記画素検出処理にて検出された画素Pを含めるように検出領域QA〜QDをそれぞれ指定する(ステップS32)(図5及び図8(B)参照)。
上記処理によって抽出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する(ステップS31)。
そして、抽出された各画素A〜Dについて、それぞれの画素A〜D及び上記画素検出処理にて検出された画素Pを含めるように検出領域QA〜QDをそれぞれ指定する(ステップS32)(図5及び図8(B)参照)。
<受光中心位置検出処理>
上記領域指定処理にて指定された検出領域QA〜QDについてY軸方向について最大受光量とされる画素Pを算出し、これら画素P群の受光量分布をX軸方向について算出するとともに、Y軸方向について最大受光量とされる画素を算出し、これら画素群の受光量をX軸上の受光量分布として算出する(ステップS41)(図6及び図9参照)。
本実施形態では、検出領域QAと検出領域QCとは完全に重複しているため、受光量分布の算出は検出領域QAあるいは検出領域QCのいずれか一方について行なっており、また、検出領域QBと検出領域QCについては双方QB,QCを合成した検出領域においてX軸及びY軸方向における最大幅を受光量分布算出の対象域としている。
上記領域指定処理にて指定された検出領域QA〜QDについてY軸方向について最大受光量とされる画素Pを算出し、これら画素P群の受光量分布をX軸方向について算出するとともに、Y軸方向について最大受光量とされる画素を算出し、これら画素群の受光量をX軸上の受光量分布として算出する(ステップS41)(図6及び図9参照)。
本実施形態では、検出領域QAと検出領域QCとは完全に重複しているため、受光量分布の算出は検出領域QAあるいは検出領域QCのいずれか一方について行なっており、また、検出領域QBと検出領域QCについては双方QB,QCを合成した検出領域においてX軸及びY軸方向における最大幅を受光量分布算出の対象域としている。
尚、受光量分布算出の方法は上記以外にも、例えば、各検出領域QA〜QD毎にそれぞれ受光量分布を算出する方法や、検出領域間で重複する部分についてはいずれか一の検出領域について受光量分布の算出を行ない、他の検出領域についてはその重複する部分については受光量分布算出の対象から外すという方法を用いてもよい。
X軸方向及びY軸方向における受光量分布において、極大点RX,RYに相当する画素Pを受光スポットS1,S2の受光中心位置SA,SBとしてそれぞれ検出する(ステップS42)(図6及び図9参照)。
<傾角検出処理>
2つの受光中心位置SA,SBのうち一方の受光中心位置を基準として、他方の受光中心位置のベクトルを算出し(ステップS51)、そのベクトルから撮像素子W1とカバーガラスW2との相対角度(平行度)を算出する(ステップS52)。また、原点Oを基準位置として撮像素子W1、カバーガラスW2それぞれの傾角を算出するようにしてもよい。
2つの受光中心位置SA,SBのうち一方の受光中心位置を基準として、他方の受光中心位置のベクトルを算出し(ステップS51)、そのベクトルから撮像素子W1とカバーガラスW2との相対角度(平行度)を算出する(ステップS52)。また、原点Oを基準位置として撮像素子W1、カバーガラスW2それぞれの傾角を算出するようにしてもよい。
また、領域指定処理及び受光中心位置検出処理は以下のように行なってもよい。
まず領域指定処理においては、画素検出処理にて抽出された4つの画素A〜Dを外縁に含む矩形状の検出領域Q0を指定する。
そして、受光中心位置検出処理では、上記領域指定処理において指定された検出領域Q0内のX軸及びY軸上における受光量分布Dx,Dyを算出する。算出された受光量分布Dx,Dyから極大点Rx,Ryに相当する画素を受光中心位置SA,SBとして検出する。
本実施形態のように、受光スポットS1,S2が互いに近接状態にあるときには本来受光中心位置とはなり得ない画素P1,P2を検出する場合がある。このような誤検出を回避するために、受光中心位置との一応の検出がなされた画素については、その受光量を参照し、所定の閾値以上の受光量とされている場合には、その画素を受光中心位置SA,SBとして検出する。そうでない場合には、受光中心位置から除外する。
尚、上記説明によって、メモリ16が角度測定用記憶手段、CPU17が、角度測定用画素検出手段、角度測定用領域指定手段、角度測定用受光中心位置検出手段及び傾角算出手段として機能することは明らかである。
まず領域指定処理においては、画素検出処理にて抽出された4つの画素A〜Dを外縁に含む矩形状の検出領域Q0を指定する。
そして、受光中心位置検出処理では、上記領域指定処理において指定された検出領域Q0内のX軸及びY軸上における受光量分布Dx,Dyを算出する。算出された受光量分布Dx,Dyから極大点Rx,Ryに相当する画素を受光中心位置SA,SBとして検出する。
本実施形態のように、受光スポットS1,S2が互いに近接状態にあるときには本来受光中心位置とはなり得ない画素P1,P2を検出する場合がある。このような誤検出を回避するために、受光中心位置との一応の検出がなされた画素については、その受光量を参照し、所定の閾値以上の受光量とされている場合には、その画素を受光中心位置SA,SBとして検出する。そうでない場合には、受光中心位置から除外する。
尚、上記説明によって、メモリ16が角度測定用記憶手段、CPU17が、角度測定用画素検出手段、角度測定用領域指定手段、角度測定用受光中心位置検出手段及び傾角算出手段として機能することは明らかである。
本実施形態では、所定の閾値以上の受光量とされている画素Pを抽出し、その抽出された画素Pから受光スポットS1,S2の受光中心位置SA,SBを検出するようにしている。このようにすれば全画素の受光量を参照することなく受光中心位置SA,SBを検出することができるから、処理時間の短縮化を図ることができる。
また、上記実施形態のように、2つの対象物からの反射光により撮像面15Aに形成された受光スポットS1,S2の受光中心位置SA,SBを検出する場合には、それぞれの受光スポットS1,S2を構成する画素群毎に検出領域を指定する構成としている。このようにすれば、全画素の受光量情報を参照することなく2つの受光スポットS1,S2の受光中心位置SA,SBを検出できるから処理時間を一層短縮化することができる。
また、検出領域を構成する画素に関して直交2方向における受光量分布Dx,Dyを算出し、その極大点Rx,Ryに相当する画素の受光量を参照してから受光中心位置SA,SBを検出するようにしている。このようにすれば、本来受光中心位置とはならない画素P1,P2を受光スポットS1,S2の受光中心位置として誤検出することがないから、正確な傾角測定を行なうことができる。
<実施形態2>
請求項5に係る角度測定装置の実施形態について図12ないし図14を参照して説明する。尚上記実施形態1と同一の部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態は実施形態1と比べて領域指定処理が省略されているとともに、受光中心位置検出処理の処理が相違しているから、受光中心位置検出処理について説明する。
請求項5に係る角度測定装置の実施形態について図12ないし図14を参照して説明する。尚上記実施形態1と同一の部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態は実施形態1と比べて領域指定処理が省略されているとともに、受光中心位置検出処理の処理が相違しているから、受光中心位置検出処理について説明する。
<受光中心位置検出処理>
図12のフローチャートに示すように、まず画素検出処理によって検出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する(ステップS61)。そして、画素A,Bにおいて、これらの画素を含みX軸に平行な直線LA,LB上における受光量分布Dxを算出し(ステップS62)、さらに画素C,Dにおいて、これらの画素を含みY軸に平行な直線LC,LD上における受光量分布Dyを算出する(ステップS62)。
次に、算出された受光量分布Dx,Dyにおいて極大点Rx1,Rx2,Ry1,Ry2に相当する画素P1〜P4を検出する(ステップS64)。
図12のフローチャートに示すように、まず画素検出処理によって検出された画素Pのうち撮像面15AのX軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素A(Xmax),B(Xmin)を抽出するとともに、Y軸方向において座標値が最大及び最小となっている画素C(Ymax),D(Ymin)を抽出する(ステップS61)。そして、画素A,Bにおいて、これらの画素を含みX軸に平行な直線LA,LB上における受光量分布Dxを算出し(ステップS62)、さらに画素C,Dにおいて、これらの画素を含みY軸に平行な直線LC,LD上における受光量分布Dyを算出する(ステップS62)。
次に、算出された受光量分布Dx,Dyにおいて極大点Rx1,Rx2,Ry1,Ry2に相当する画素P1〜P4を検出する(ステップS64)。
最後に、画素P1〜P4を所定の閾値と比較し、この閾値を上回る受光量とされている画素を受光中心位置として検出する(ステップS65)。
そうすると、画素P1,P2は受光スポットS1,S2のいずれからも外れているために、その受光量は閾値を上回ることはなく、受光中心位置から除外される。一方、画素P3,P4については受光スポットS1,S2内に位置しているため、その受光量は閾値を上回ることとなり受光中心位置として検出されることとなる。
そうすると、画素P1,P2は受光スポットS1,S2のいずれからも外れているために、その受光量は閾値を上回ることはなく、受光中心位置から除外される。一方、画素P3,P4については受光スポットS1,S2内に位置しているため、その受光量は閾値を上回ることとなり受光中心位置として検出されることとなる。
また、上記ステップS65においては以下のような処理によって受光中心位置を検出すようにしてもよい。まず、画素P1〜画素P4の受光量を相互に比較し、これら画素P1〜P4のうち最も高い受光量とされている画素をを受光中心位置として検出する。そして、受光中心位置として検出された画素に対してそのX軸座標及びY軸座標共に異なる座標に位置する画素を受光中心位置として検出する。
上記実施形態によれば、検出された4つの画素についてそれぞれの画素を含んだ直線上の投影受光量分布を算出し、その極大点に相当する画素を受光中心位置として検出するようになっている。このようにすればより一層高速な傾角算出処理を行なうことができる。
<実施形態3>
次に、請求項4の発明に係る実施形態3を図15ないし図20を参照して説明する。本実施形態は4つの対象物W1〜W4についてそれぞれの相対角度(平行度)を検出したり、それぞれの絶対角度(原点Oを基準位置とする傾角)を検出するものである。尚、上記構成と同一部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
次に、請求項4の発明に係る実施形態3を図15ないし図20を参照して説明する。本実施形態は4つの対象物W1〜W4についてそれぞれの相対角度(平行度)を検出したり、それぞれの絶対角度(原点Oを基準位置とする傾角)を検出するものである。尚、上記構成と同一部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態においては4つのワークWについてそれぞれの傾角の測定を行なうから、測定に先だって設定手段18の操作部にて多面測定モードに切替操作しておく。これによって、後述する処理が行なわれることとなる。
図15に示すように、4つの対象物W1〜W4が光軸LC上に並べられた形態で配されており、それぞれの対象物W1〜W4からの正反射光が撮像素子15の撮像面15A上に集光して受光スポットS1〜S4が形成されるようになっている。
図15に示すように、4つの対象物W1〜W4が光軸LC上に並べられた形態で配されており、それぞれの対象物W1〜W4からの正反射光が撮像素子15の撮像面15A上に集光して受光スポットS1〜S4が形成されるようになっている。
<領域指定処理>
図2のフローチャートにおいて、領域指定処理及び受光中心位置検出処理が実施形態1と相違しており、これらの処理について以下に説明する。
<領域指定処理>
図17のフローチャートに示すように、X軸上において最大座標及び最小座標とされる画素A(Xmax)、B(Xmin)を検出するとともに、Y軸上において最大座標及び最小座標とされる画素C(Ymax,Ymin)を検出する(ステップS71)。
そして、上記処理によって検出された4つの画素A〜Dを外縁に含む矩形の検出領域Qを指定する(ステップS72、図18参照)。
図2のフローチャートにおいて、領域指定処理及び受光中心位置検出処理が実施形態1と相違しており、これらの処理について以下に説明する。
<領域指定処理>
図17のフローチャートに示すように、X軸上において最大座標及び最小座標とされる画素A(Xmax)、B(Xmin)を検出するとともに、Y軸上において最大座標及び最小座標とされる画素C(Ymax,Ymin)を検出する(ステップS71)。
そして、上記処理によって検出された4つの画素A〜Dを外縁に含む矩形の検出領域Qを指定する(ステップS72、図18参照)。
<受光中心位置検出処理>
指定された検出領域Qについて各走査線LXm(m=1,2,3・・・・n。図16において横方向に延びる直線である。)における受光量分布Dxmを算出する(ステップS81)。尚、受光量分布Dxmについては、走査線LX1上における画素群の受光量分布を図16に例示してある。
続いて、各走査線LXmにおける受光量分布Dxm(m=1,2,3・・・)において、極大点Rxm(m=1,2,3・・・)に相当する画素Pr(極大画素)を算出する(ステップS82)。そうすると、Y軸上において、画素Prが互いに隣接する部分が発生することとなる(図19参照)。
そして、これら互いに隣接する画素を画素群Prm(m=1,2,3・・・)としてひとまとめにして、Y軸方向における受光量分布Dyを算出する(ステップS83)。このとき、1まとめとされた画素群Prm毎にY軸方向における受光量分布Dyを算出し、極大点Ryに相当する画素を受光中心位置SA,SB,SC,SDとして検出する(ステップS84)。尚、Y軸方向における受光量分布Dyは画素群Pr3のみについて示してある。
最後に、傾角算出処理によって上記受光中心位置SA〜SD相互の位置関係から相対的な傾角(平行度)を算出する。また、原点Oを基準位置としてそれぞれの対象物W1〜W4の絶対角度を検出するようにしてもよい。
指定された検出領域Qについて各走査線LXm(m=1,2,3・・・・n。図16において横方向に延びる直線である。)における受光量分布Dxmを算出する(ステップS81)。尚、受光量分布Dxmについては、走査線LX1上における画素群の受光量分布を図16に例示してある。
続いて、各走査線LXmにおける受光量分布Dxm(m=1,2,3・・・)において、極大点Rxm(m=1,2,3・・・)に相当する画素Pr(極大画素)を算出する(ステップS82)。そうすると、Y軸上において、画素Prが互いに隣接する部分が発生することとなる(図19参照)。
そして、これら互いに隣接する画素を画素群Prm(m=1,2,3・・・)としてひとまとめにして、Y軸方向における受光量分布Dyを算出する(ステップS83)。このとき、1まとめとされた画素群Prm毎にY軸方向における受光量分布Dyを算出し、極大点Ryに相当する画素を受光中心位置SA,SB,SC,SDとして検出する(ステップS84)。尚、Y軸方向における受光量分布Dyは画素群Pr3のみについて示してある。
最後に、傾角算出処理によって上記受光中心位置SA〜SD相互の位置関係から相対的な傾角(平行度)を算出する。また、原点Oを基準位置としてそれぞれの対象物W1〜W4の絶対角度を検出するようにしてもよい。
本実施形態によれば、多数の対象物における相対傾角(平行度)またはそれぞれの対象物の絶対角度を検出する場合には好適な構成であり、正確に傾角の算出を行なうことができる。
<実施形態4>
請求項6ないし請求項12に係る角度測定装置の実施形態について図21ないし図26を参照して説明する。尚、上記実施形態1と同一の部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態の角度測定装置は、図21に示すように撮像素子15とメモリ16(角度測定用記記憶手段に相当)との間にコンパレータ18(角度測定用画素選択手段に相当)が介在されているところが実施形態1の構成と相違している。
コンパレータ18は撮像素子から出力される撮像信号Saを受信し、この撮像信号Saのレベルと所定の閾値とを比較し、所定の閾値を上回る撮像信号Saをデジタル信号に変換してメモリ16に送信するように構成されている。
請求項6ないし請求項12に係る角度測定装置の実施形態について図21ないし図26を参照して説明する。尚、上記実施形態1と同一の部分には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態の角度測定装置は、図21に示すように撮像素子15とメモリ16(角度測定用記記憶手段に相当)との間にコンパレータ18(角度測定用画素選択手段に相当)が介在されているところが実施形態1の構成と相違している。
コンパレータ18は撮像素子から出力される撮像信号Saを受信し、この撮像信号Saのレベルと所定の閾値とを比較し、所定の閾値を上回る撮像信号Saをデジタル信号に変換してメモリ16に送信するように構成されている。
以下、本実施形態の角度測定動作は、まず撮像素子15から出力された撮像信号Saはコンパレータ18にて所定の閾値と比較され、この閾値を上回る撮像信号Saはデジタル信号に変換されてメモリ16に記憶される。この後、領域指定処理、受光中心位置検出処理及び傾角算出処理を行なうこととなる。これらの処理は上記実施形態1または実施形態2に記載した処理を適用することにより可能であるから、詳細な説明については省略する。
本実施形態では、コンパレータ18によって、所定の閾値以上のレベルとされる撮像信号Saをメモリ16に記憶し、このメモリ16に記憶されている受光量に関する情報から撮像素子W1及びカバーガラスW2の相対的な傾角(平行度)あるいはそれぞれの絶対角度を算出するようにしている。これにより、受光中心位置の検出において不要な受光量情報が排除されて、処理時間の短縮化を図ることができる。
また、図22に示すように、上記実施形態3の構成にコンパレータ18を付加した構成としてもよい。このようにしても上記構成と同様の効果を得ることができる。
また、図22に示すように、上記実施形態3の構成にコンパレータ18を付加した構成としてもよい。このようにしても上記構成と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態においては、CPU17にコンパレータ18の機能を持たせるような構成であってもよい(図23及び図24参照)。
また、図25に示すような構成であってもよい。これは、撮像素子としてCMOSイメージセンサ19を配し、その光照射面19Aに撮像素子W1及びカバーガラスW2からの正反射光を照射させるようになっている。また、CPU17からはCMOSイメージセンサ19へ駆動信号Sc及び制御信号Sdを送信されるようになっている。
上記CMOSイメージセンサ19はCPU17からの駆動信号Scを受信することで、各画素の受光量に応じた撮像信号Sbを出力する。一方、制御信号Sdを受信したときには、この制御信号Sdにより指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素に関する撮像信号Sbを出力するようになっている。
CPU17は、CMOSイメージセンサ19に駆動信号Sc及び制御信号Sdを出力するようになっている。駆動信号ScはCMOSイメージセンサ19から撮像信号Sbを取り出す際に出力する信号である。また、制御信号Sdは光照射面19Aを構成する画素群において、所定の画素あるいは所定の検出領域内の画素を指定するための信号である。従って、制御信号Sdにて光照射面19Aにおける画素または検出領域を指定して、駆動信号ScをCMOSイメージセンサ19に送信すると、指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素からの撮像信号SbのみがCMOSイメージセンサ19から出力されるのである。
傾角算出動作においては、CMOSイメージセンサ19の光照射面19Aにおいて、受光スポットS1,S2が形成されている検出領域を指定する制御信号SdをCPU17からCOMSイメージセンサ19へ送信する。
そうすると、CMOSイメージセンサ19からは指定された検出領域内の画素の受光量に関する撮像信号SbがCPU17へ出力される。この後、上記実施形態1または実施形態2の処理を適用することにより撮像素子W1及びカバーガラスW2の傾角を算出することができる。
また、図26に示すように、上記実施形態3の構成において、撮像素子をCMOSイメージセンサ19により構成し、CPU17から出力される制御信号Sdによって指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素に関する撮像信号Sbを出力するように構成してもよい。
そうすると、CMOSイメージセンサ19からは指定された検出領域内の画素の受光量に関する撮像信号SbがCPU17へ出力される。この後、上記実施形態1または実施形態2の処理を適用することにより撮像素子W1及びカバーガラスW2の傾角を算出することができる。
また、図26に示すように、上記実施形態3の構成において、撮像素子をCMOSイメージセンサ19により構成し、CPU17から出力される制御信号Sdによって指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素に関する撮像信号Sbを出力するように構成してもよい。
上記構成は、例えば、複数回にわたって傾角算出動作を行ない、それぞれの結果に基づいて撮像素子W1及びカバーガラスの傾角を算出する場合には、初回の傾角算出動作において、制御信号Sdにより光照射面19Aにおける全画素を指定し、2回目以降の傾角算出動作では、初回の傾角算出動作における撮像信号Sbを基に光照射面19Aにおいて受光スポットS1,S2が含まれる検出領域を制御信号Sdにより指定するようにすればよい。このようにすることで、2回目以降の傾角算出動作の処理時間を短縮化することができるという利点がある。
<実施形態5>
請求項13〜請求項24に係る光学測定装置の実施形態について図27ないし図33を参照して説明する。本実施形態は、対象物W1の傾角及び距離を検出するものである。
本実施形態の構成は図27に示す通りであり、角度測定用レーザ光源111及び距離測定用レーザ光源121から出射された光をダイクロイックミラー131(光合流手段)、ビームスプリッタ132及びコリメータレンズ133(コリメータレンズ及び収束レンズに相当)を介してワークW(被測定対象物)に両者の光を照射し、正反射光をコリメータレンズ133、ビームスプリッタ132及びダイクロイックミラー134を介して例えば2次元CCDからなる角度測定用撮像素子112(角度測定用撮像手段)及び同じく2次元CCDからなる距離測定用撮像素子122(距離測定用受光手段)の撮像面に照射し、その照射位置に基づいてCPU104(測定手段)によりワークWの傾き及び距離が算出されるようになっている。尚、ワークWの表面は鏡面であっても非鏡面であってもよい。
請求項13〜請求項24に係る光学測定装置の実施形態について図27ないし図33を参照して説明する。本実施形態は、対象物W1の傾角及び距離を検出するものである。
本実施形態の構成は図27に示す通りであり、角度測定用レーザ光源111及び距離測定用レーザ光源121から出射された光をダイクロイックミラー131(光合流手段)、ビームスプリッタ132及びコリメータレンズ133(コリメータレンズ及び収束レンズに相当)を介してワークW(被測定対象物)に両者の光を照射し、正反射光をコリメータレンズ133、ビームスプリッタ132及びダイクロイックミラー134を介して例えば2次元CCDからなる角度測定用撮像素子112(角度測定用撮像手段)及び同じく2次元CCDからなる距離測定用撮像素子122(距離測定用受光手段)の撮像面に照射し、その照射位置に基づいてCPU104(測定手段)によりワークWの傾き及び距離が算出されるようになっている。尚、ワークWの表面は鏡面であっても非鏡面であってもよい。
両レーザ光源111,121はそれぞれ波長の異なる光を照射するようになっており、例えば、角度測定用レーザ光源111は波長λ1のレーザ光を出射するものとされており、一方、距離測定用レーザ光源121は波長λ2のレーザ光を出射するものとされている。また、両レーザ光源111,121にはそれぞれレーザ駆動回路113,123が接続されており,CPU104からの制御信号Sa,Sbに基づいてそれぞれのレーザ光源111,121に駆動電流Ia,Ibを供給する(角度測定用レーザ光源111及びレーザ駆動回路113により角度測定用投光手段を構成し、距離測定用レーザ光源及びレーザ駆動回路113により距離測定用投光手段を構成している)。なお、レーザ光源111,121は間欠的又は連続的に駆動することができる。
ダイクロイックミラー131は、波長λ1の光を透過させ、波長λ2の光を反射させるように構成されており、これによって、角度測定用レーザ光源111のレーザ光はこのダイクロイックミラー131を透過してビームスプリッタ132に向かうとともに、距離測定用レーザ光源121からの光はこのダイクロイックミラー131を反射してビームスプリッタ132に向かう。
また、角度測定用レーザ光源111からのレーザ光はダイクロイックミラー131の入射面に垂直に入射させており、距離測定用レーザ光源121からのレーザ光はダイクロイックミラー131の入射面に対して斜めに入射させるように構成している(前記距離測定用投光手段からの光が前記被測定対象物に対して斜めに照射されるように前記距離測定用投光手段が配する構成に相当)。これによって、角度測定用レーザ光源111の光線軸は光学系の光軸(基線軸)LC(L´C´)と平行とされるとともに、距離測定用レーザ光源121の光線軸は光学系の光軸LC(L´C´)に対して傾いた状態とされる。
また、角度測定用レーザ光源111からのレーザ光はダイクロイックミラー131の入射面に垂直に入射させており、距離測定用レーザ光源121からのレーザ光はダイクロイックミラー131の入射面に対して斜めに入射させるように構成している(前記距離測定用投光手段からの光が前記被測定対象物に対して斜めに照射されるように前記距離測定用投光手段が配する構成に相当)。これによって、角度測定用レーザ光源111の光線軸は光学系の光軸(基線軸)LC(L´C´)と平行とされるとともに、距離測定用レーザ光源121の光線軸は光学系の光軸LC(L´C´)に対して傾いた状態とされる。
ビームスプリッタ132を反射したレーザ光はコリメータレンズ133により平行光とされて、ワークWに照射される。このとき、角度測定用レーザ光源111からのレーザ光はワークWが傾きのない姿勢とされているときには、ワークWの表面に対して垂直に光が照射されているのに対して、距離測定用レーザ光源121からのレーザ光は光学系の光軸LC(L´C´)に対して傾いているので、ワークWの表面に対して斜めから光が照射されている。また、ワークWに照射されたレーザ光のスポット径はレーザ光源111のレーザ光よりもレーザ光源121のレーザ光のほうが小さくされており、かつ、レーザ光源121のレーザ光はレーザ光源111のレーザ光の照射範囲内に照射されるようになっている。
ワークWからの正反射光はそれぞれ、コリメータレンズ133により集光され、上記ダイクロイックミラー131と同様の特性を有するダイクロイックミラー134により、角度測定用レーザ光源111による正反射光(角度測定用正反射光)は角度測定用撮像素子112の撮像面に結像して集光スポットが形成される。また、距離測定用レーザ光源121による正反射光(距離測定用正反射光)はダイクロイックミラー134を反射して距離測定用撮像素子122の撮像面に照射される。この距離測定用撮像素子122の撮像面は正反射光の焦点位置Fよりも後方に配置されているため、撮像面上には所定の大きさの光像が形成される。ここで、距離測定用撮像素子122の撮像面を焦点位置Fに一致させなかったのは、ワークWの距離に応じて焦点位置Fに至るまでの光路が変化するので、その光像の位置からワークWの距離が算出できるからである。
角度測定用撮像素子112及び距離測定用撮像素子122は撮像面上に形成されている光像あるいは集光スポットに応じたディジタル信号列からなる撮像信号Sc,SdをCPU104に送信する。
CPU104は、前述したレーザ駆動回路113,123に制御信号Sa,Sbを送信するとともに、制御信号Saの送信に同期して角度測定用撮像素子112からの撮像信号Scを取り込み、制御信号Sbの送信に同期して距離測定用撮像素子122からの撮像信号Sdを取り込み、メモリ105に各画素の受光量に関する情報を記憶する。そして、メモリに記憶されている受光量に関する情報に基づいてワークWの傾きとコリメータレンズ133からワークWまでの距離とを測定する。
本実施形態の構成は以上であり、続いてその動作について説明する。
「傾き検出」
本実施形態では周知のオートコリメーション法を用いて傾き測定を行なう構成とされており、傾角算出処理については上記実施形態と同様であるため、説明を省略する。
「傾き検出」
本実施形態では周知のオートコリメーション法を用いて傾き測定を行なう構成とされており、傾角算出処理については上記実施形態と同様であるため、説明を省略する。
「距離測定」
距離測定では、上記の傾き測定により、ワークWの角度を検出した後、距離測定用撮像素子122からの撮像信号Sdに基づいて受光中心位置(本発明の距離測定用受光中心位置に相当)に相当する画素を光像として代表する。そして、傾き測定で算出された傾きに基づいて補正を行ない、光像と基準位置Raとの距離及び方向からワークWの距離を算出する。
尚、上記距離測定用撮像素子122に形成されている光像を検出するには、上記実施形態1ないし実施形態3のいずれかに記載されている角度(傾角)測定装置の記憶処理、画素検出処理、領域指定処理及び受光中心位置検出処理の動作を置き換えてこれらを実行することによりこれを検出することができるから、ここでは詳細な説明は省略することとする。
距離測定では、上記の傾き測定により、ワークWの角度を検出した後、距離測定用撮像素子122からの撮像信号Sdに基づいて受光中心位置(本発明の距離測定用受光中心位置に相当)に相当する画素を光像として代表する。そして、傾き測定で算出された傾きに基づいて補正を行ない、光像と基準位置Raとの距離及び方向からワークWの距離を算出する。
尚、上記距離測定用撮像素子122に形成されている光像を検出するには、上記実施形態1ないし実施形態3のいずれかに記載されている角度(傾角)測定装置の記憶処理、画素検出処理、領域指定処理及び受光中心位置検出処理の動作を置き換えてこれらを実行することによりこれを検出することができるから、ここでは詳細な説明は省略することとする。
例えば、ワークWが図27中の(1)の位置(距離d1、傾き角0)にある場合には(詳しくは図28参照)、角度測定用撮像素子112の撮像面に形成される集光スポットの位置S1は基準位置Raと一致するから、傾き角は0°と測定される。
また、距離測定用撮像素子122の撮像面で形成された光像L1の位置及び前記集光スポットの位置S1とに基づいて距離が測定され、その結果、距離がd1と測定される。
また、距離測定用撮像素子122の撮像面で形成された光像L1の位置及び前記集光スポットの位置S1とに基づいて距離が測定され、その結果、距離がd1と測定される。
ワークWが図27中の(2)の位置(距離d2、傾き角0)にある場合には(詳しくは図29参照)、角度測定用撮像素子122の撮像面に形成される集光スポットの位置S2は基準位置Raと一致するから、傾き角は0°と測定される。
また、距離測定用撮像素子112の撮像面に形成された光像L2の位置及び前期集光スポットの位置S2とに基づいて距離が測定され、その結果、距離がd2と測定される。
また、距離測定用撮像素子112の撮像面に形成された光像L2の位置及び前期集光スポットの位置S2とに基づいて距離が測定され、その結果、距離がd2と測定される。
ワークWが図27中の(3)の位置(距離d2、傾き角θ1)にある場合には(詳しくは図30参照)、角度測定用撮像素子112の撮像面に形成される受光スポットの位置S3は基準位置Raから距離dだけ離れているから、これに基づいて、傾き角θ1が測定される。
また、距離測定用撮像素子122の撮像面に形成される光像L3は(2)の位置の場合の光像L2と異なる位置に形成される。しかしながら、角度測定用撮像素子112の撮像面における集光スポットの位置S3の位置をも距離測定に関与しているから、結局、距離はd2と測定される。
また、距離測定用撮像素子122の撮像面に形成される光像L3は(2)の位置の場合の光像L2と異なる位置に形成される。しかしながら、角度測定用撮像素子112の撮像面における集光スポットの位置S3の位置をも距離測定に関与しているから、結局、距離はd2と測定される。
尚、本実施形態において、CPU104は角度測定用画素検出手段、距離測定用画素検出手段、角度測定用領域指定手段、距離測定用領域指定手段、角度測定用受光中心位置検出手段、距離測定用受光中心位置検出手段、傾角算出手段及び距離測定手段に相当し、メモリ105は、角度測定用記憶手段及び距離測定用記憶手段に相当する。
本実施形態によれば、ワークWからの正反射光に基づいて、距離及び傾きの測定を行なうように構成しているから、鏡面体または非鏡面体に拘わらずワークWの傾きおよび距離の測定を行うことができる。また、両レーザ光源111,121でそれぞれ異なる波長の光を出射するように構成し、ダイクロイックミラー131,134によりレーザ光を分離してそれぞれの撮像素子112,122の撮像面に照射されるように構成しているから、レーザ光が誤照射されることがない。
尚、本実施形態では、ワークWに照射されたレーザ光のスポット径はレーザ光源111のレーザ光よりもレーザ光源121のレーザ光のほうを小さくし、かつ、レーザ光源121のレーザ光はレーザ光源111のレーザ光の照射範囲内に照射されるように構成したことで、ワークWの距離及び傾きに拘わらず実質的にワークWに対するレーザ光の照射位置(測定位置)を一定にすることができる。
尚、本実施形態では、ワークWに照射されたレーザ光のスポット径はレーザ光源111のレーザ光よりもレーザ光源121のレーザ光のほうを小さくし、かつ、レーザ光源121のレーザ光はレーザ光源111のレーザ光の照射範囲内に照射されるように構成したことで、ワークWの距離及び傾きに拘わらず実質的にワークWに対するレーザ光の照射位置(測定位置)を一定にすることができる。
また、上記構成において、両レーザ光源111,121から同一波長のレーザ光を出射する構成とすることもできる。この場合には、それぞれのレーザ光源111,121交互にパルス点灯させるようにCPU104から制御信号Sa,Sbをレーザ駆動回路113,123に供給し、ダイクロイックミラー131,134に代わって例えばビームスプリッタを配置するようにすればよい。また、CPU104は前述したようにレーザ駆動回路113,123に制御信号Sa,Sbを送信するとともに、制御信号Saの送信に同期して角度測定用撮像素子112からの撮像信号Scを取り込み、制御信号Sbの送信に同期して距離測定用撮像素子122からの撮像信号Sdを取り込む。そして、撮像信号Sc,Sdに基づいてワークWの傾き及びコリメータレンズ133からワークWまでの距離を測定する構成とする。このようにすると、例えばレーザ光は交互に出射されることとなり、光の干渉が抑制され、測定精度が向上するという効果が得られる。
また、上記実施形態においては図31、図32に示すような構成とすることもできる。図31は、角度測定用撮像素子112・距離測定用撮像素子122とCPU104との間に、メモリ105(角度測定用記憶手段及び距離測定用記憶手段に相当)及びコンパレータ106(角度測定用画素選択手段及び距離測定用画素選択手段に相当)を介在させた構成を示している。
コンパレータ106は撮像素子112,122から出力される撮像信号Sc,Sdを受信し、この撮像信号Sc,Sdのレベルと所定の閾値とを比較し、所定の閾値を上回る撮像信号Sc,Sdをメモリ16に送信するように構成されている。
このような構成では、まず撮像素子112,122から出力された撮像信号Sc,Sdをコンパレータ106にて所定の閾値と比較し、この閾値を上回る撮像信号Sc,Sdがメモリ16に記憶する。そして、上記構成と同様に傾き検出及び距離測定の動作を行なう。このような構成とすれば、受光中心位置の検出において不要な受光量の情報が排除されて、処理時間の短縮化を図ることができる。
コンパレータ106は撮像素子112,122から出力される撮像信号Sc,Sdを受信し、この撮像信号Sc,Sdのレベルと所定の閾値とを比較し、所定の閾値を上回る撮像信号Sc,Sdをメモリ16に送信するように構成されている。
このような構成では、まず撮像素子112,122から出力された撮像信号Sc,Sdをコンパレータ106にて所定の閾値と比較し、この閾値を上回る撮像信号Sc,Sdがメモリ16に記憶する。そして、上記構成と同様に傾き検出及び距離測定の動作を行なう。このような構成とすれば、受光中心位置の検出において不要な受光量の情報が排除されて、処理時間の短縮化を図ることができる。
また、図32は、撮像素子としてCMOSイメージセンサ112’、122’を配されており、CPU17からはCMOSイメージセンサ112’、122’へ制御信号Se,Sfが送信されるようになっている。
上記CMOSイメージセンサ112’、122’はCPU17からの制御信号Se,Sfを受信したときには、この制御信号Se,Sfにより指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素に関する撮像信号Sc,Sdを出力するようになっている。
CPU17は、CMOSイメージセンサ112’、122’に制御信号Se,Sfを出力するようになっている。この制御信号Se,Sfは光照射面を構成する画素群において、所定の画素あるいは所定の検出領域内の画素を指定するための信号である。従って、制御信号Se,Sfにて光照射面における画素または検出領域を指定すると、指定された画素あるいは指定された検出領域内の画素からの撮像信号Sc,SdのみがCMOSイメージセンサ112’、122’から出力されるのである。
上記構成は、例えば、複数回にわたって傾角算出動作を行ない、それぞれの結果に基づいて撮像素子W1及びカバーガラスの傾角を算出する場合には、初回の動作において、制御信号Se,Sfにより光照射面における全画素を指定し、2回目以降の動作では、初回の動作で得られた撮像信号Sc,Sdを基に光照射面における検出領域を制御信号Se,Sfにて指定するようにすればよい。このようにすることで、2回目以降の動作の処理時間を短縮化することができるという利点がある。
さらに、図33に示すように、距離測定用撮像素子122の手前に発散レンズ135を配し、一旦集光したワークWからの正反射光を発散させるような構成としても良い。このようにすれば、撮像面に形成される光像がより大きくされるから、ワークWが変位したときの光像の移動量が大きくなり、結果として分解能が向上して高精度な測定を行うことができる。また、正反射光は発散レンズ135の周縁部に照射させることがより望ましい。これは、レンズ135の中心部分よりも周縁部分の方が収差が大きいために、正反射光がより一層発散されることで極めて高精度に測定することができる。
<第6実施形態>
次に、本発明の実施形態を図34を参照して説明する。本実施形態と上記実施形態4との相違は、角度測定用レーザ光源111とダイクロイックミラー131との間にコリメータレンズ114が配されているとともに、距離測定用レーザ光源121とダイクロイックミラー131との間にコリメータレンズ124が配されており、それぞれのレーザ光源111,121からの光が平行光に変えられてからダイクロイックミラー131に至るように構成されている。また、ダイクロイックミラー134とビームスプリッタ133との間に収束レンズ136が配されている。
次に、本発明の実施形態を図34を参照して説明する。本実施形態と上記実施形態4との相違は、角度測定用レーザ光源111とダイクロイックミラー131との間にコリメータレンズ114が配されているとともに、距離測定用レーザ光源121とダイクロイックミラー131との間にコリメータレンズ124が配されており、それぞれのレーザ光源111,121からの光が平行光に変えられてからダイクロイックミラー131に至るように構成されている。また、ダイクロイックミラー134とビームスプリッタ133との間に収束レンズ136が配されている。
このように構成することで、両レーザ光源111,121からのレーザ光をそれぞれのコリメータレンズ114,124により平行光に変えてからビームスプリッタ133に導く構成としているから、両レーザ光源111,121からビームスプリッタ133までの光学的距離の調整を行なう必要がなく装置内の光学系の組付け精度を緩やかにすることができるとともに、光学系の調整作業も簡略化することもできる。
<第7実施形態>
次に、本発明の実施形態を図35を参照して説明する。本実施形態と実施形態6との相違点は、ビームスプリッタ133に代わってS偏光を反射しP偏光を透過させる偏光ビームスプリッタ137を配し、さらに、この偏光ビームスプリッタ137とワークWとの間に1/4波長板138を設けたところにある。また、ワークWの表面は鏡面であることが望ましい。
次に、本発明の実施形態を図35を参照して説明する。本実施形態と実施形態6との相違点は、ビームスプリッタ133に代わってS偏光を反射しP偏光を透過させる偏光ビームスプリッタ137を配し、さらに、この偏光ビームスプリッタ137とワークWとの間に1/4波長板138を設けたところにある。また、ワークWの表面は鏡面であることが望ましい。
一般にレーザ光は直線偏光とされているから、両レーザ光源111,121からのレーザ光を偏光ビームスプリッタ137に照射すると、S偏光が反射して1/4波長板137に向かうとともに、P偏光は透過する。S偏光は1/4波長板138を透過することで円偏光に変えられてワークWに照射される。ワークWからの正反射光は円偏光のまま1/4波長板138を透過する。このときに円偏光からP偏光に変えられ、これによって偏光ビームスプリッタ137を透過してそれぞれの撮像素子112,122に照射される。
本実施形態のような構成とすることで光学的な損失を低減することが可能となり、鏡面体検出におけるS/N比を向上させることができる。また、レーザ光源111,121から出射される光は直線偏光であるから、直線偏光を出射させるための構成を極めて簡略化することができる。
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
(1)上記実施形態では、ワークWを2つ又は4つの場合を例示したが、ワークは1つであっても、5つ以上としてもよい。また、1つのワークについて測定を行ないたい場合には、設定手段の操作部にて単面測定モードに切替操作しればよい。この場合には、例えば実施形態3に示した多面測定と同様の処理が行なわれ、これによってワークWの測定が行なわれることとなる。
(2)また、上記実施形態では領域指定処理において矩形状の検出領域を指定する例を示したが、これ以外の形状とされる検出領域を指定してもよい。
(3)また、上記実施形態では、領域指定処理において、画素検出処理により検出されなかった画素を含んだ検出領域を指定していたが、これらの画素を含まずに画素検出処理にて抽出された画素のみで構成されるように検出領域を指定するようにしてもよい。
(2)また、上記実施形態では領域指定処理において矩形状の検出領域を指定する例を示したが、これ以外の形状とされる検出領域を指定してもよい。
(3)また、上記実施形態では、領域指定処理において、画素検出処理により検出されなかった画素を含んだ検出領域を指定していたが、これらの画素を含まずに画素検出処理にて抽出された画素のみで構成されるように検出領域を指定するようにしてもよい。
1…角度測定装置
15…撮像素子
15A…撮像面
16…メモリ
17…CPU(角度測定用記憶手段、角度測定用画素検出手段、角度測定用領域指定手段、角度測定用受光中心位置検出手段、傾角算出手段
15…撮像素子
15A…撮像面
16…メモリ
17…CPU(角度測定用記憶手段、角度測定用画素検出手段、角度測定用領域指定手段、角度測定用受光中心位置検出手段、傾角算出手段
Claims (24)
- 角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を角度測定用記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 角度測定用投光手段からの平行光を2つの被測定対象物に照射するとともに、それぞれの前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を角度測定用記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記2つの被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を角度測定用受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 前記角度測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角度測定装置。 - 前記角度測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の角度測定装置。 - 角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を受信して各画素の受光量に関する情報を記憶手段に記憶し、この受光量に関する情報に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記受光量に関する情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する角度測定用画素検出手段と、
前記角度測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 角度測定用投光手段からの平行光を2つの被測定対象物に照射するとともに、これらからの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面にそれぞれ照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記2つの被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの傾角を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記角度測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を受光中心位置として検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 前記角度測定用画素選択手段は、
前記角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を選択することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の角度測定装置。 - 前記角度測定用画素選択手段は、
前記角度測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を含むように領域を指定し、その領域内に含まれる画素の撮像信号を受信するように動作することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の角度測定装置。 - 前記角度測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれかに記載の角度測定装置。 - 前記角度測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を角度測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれかに記載の角度測定装置。 - 角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を行列方向へマトリクス状に画素が構成された角度測定用撮像手段の撮像面に照射させ、この角度測定用撮像手段から出力される撮像信号により得られる各画素の受光量に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置において、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する角度測定用画素選択手段と、
前記角度測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する角度測定用記憶手段と、
前記角度測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に..位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて角度測定用受光中心位置を検出する角度測定用受光中心位置検出手段と、
前記受光中心位置に基づいて前記測定対象物の傾角を算出する傾角算出手段とを備えたことを特徴とする角度測定装置。 - 被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾角及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項1、請求項3及び請求項4のうちいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。 - 2つの被測定対象物に光を照射し、それらからの反射光に基づいてこれら被測定対象物の傾角及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域を指定する距離測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。 - 前記距離測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項13または請求項14に記載の光学測定装置。 - 前記距離測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項13または請求項14に記載の光学測定装置。 - 被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項5に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記受光量情報から所定の閾値よりも高い受光量とされる画素を検出する距離測定用画素検出手段と、
前記距離測定用画素検出手段で検出された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向で、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。 - 被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素を含むように検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。 - 2つの被測定対象物に光を照射しそれらかの反射光に基づいてこれら被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項6ないし請求項11のいずれかに記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記2つの被測定対象物についてそれぞれの距離を同時に測定する2面測定モードを有し、当該2面測定モードに設定可能な設定手段と、
各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記設定手段にて2面測定モードに設定されたことを条件に前記距離測定用記憶手段にて受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記角度測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向で端部に位置する2つの画素及び列方向で端部に位置する2つの画素をそれぞれ含むようにして4つの検出領域指定する角度測定用領域指定手段と、
前記検出領域内における画素群の受光量に基づいて受光量分布を算出し、極大点に相当する2つの画素を距離測定用受光中心位置として検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記2つの測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。 - 前記距離測定用画素選択手段は、
前記距離測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を選択することを特徴とする請求項18または請求項19に記載の光学測定装置。 - 前記距離測定用画素選択手段は、
前記距離測定用撮像手段から出力される撮像信号を基に各画素の受光量を所定の閾値と比較し、当該所定の閾値を上回る受光量とされる画素を含むように領域を指定し、その領域内に含まれる画素の撮像信号を受信するように動作することを特徴とする請求項18または請求項19に記載の光学測定装置。 - 前記距離測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向に並ぶ画素群の受光量分布を算出するとともに、前記列方向における画素群の受光量分布を算出し、前記行方向及び前記列方向における受光量分布において極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項18ないし請求項22のいずれかに記載の光学測定装置。 - 前記距離測定用受光中心位置検出手段は、
前記検出領域のうち前記行方向または前記列方向に対して前記行方向または前記列方向における各画素の受光量分布を極大点に相当する画素(極大画素)を抽出するとともに、前記行方向または前記列方向において連接する極大画素のうちその受光量分布の極大点に相当する画素を距離測定用受光中心位置として検出することを特徴とする請求項18ないし請求項22のいずれかに記載の光学測定装置。 - 被測定対象物に光を照射しその反射光に基づいてこの被測定対象物の傾き及び距離を測定する光学測定装置であって、
前記請求項12に記載の角度測定装置を備えるとともに、
距離測定に用いる距離測定用投光手段と、
前記角度測定用投光手段及び前記距離測定用投光手段からの光を平行光に変えるコリメータレンズと、
前記コリメータレンズよりも前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側、又は、前記被測定対象物側に配され、前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段からの光を前記被測定対象物の方向に導くとともに、前記被測定対象物からの正反射光を前記角度測定用投光手段及び距離測定用投光手段側とは異なる方向に分岐させる分岐手段と、
前記正反射光を収束させる収束レンズと、
前記収束レンズにより収束された前記正反射光のうち前記距離測定用投光手段からの光による正反射光(距離測定用正反射光)の焦点位置から光軸方向に前後にずらして行列方向へマトリクス状に画素を構成した撮像面を配し、この撮像面に距離測定用正反射光を照射させる距離測定用撮像手段と、
前記距離測定用撮像手段の撮像面を構成する各画素の受光量に基づいて特定の画素を選択する距離測定用画素選択手段と、
前記距離測定用画素選択手段により選択された画素の受光量に関する情報を記憶する距離測定用記憶手段と、
前記距離測定用記憶手段に受光量に関する情報が記憶された画素のうち、前記距離測定用撮像手段の撮像面における行列方向であって、行方向における端部に位置する2つの画素を検出するとともに、列方向における端部に位置する2つの画素を検出し、前記行方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その行と同一行に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、前記列方向における端部として検出された画素についてそれぞれの画素を含み、かつ、その列と同一列に並ぶ画素群の受光量分布を算出し、両受光量分布の極大点に相当する画素を検出し、これら極大点として検出された画素に基づいて距離測定用受光中心位置を検出する距離測定用受光中心位置検出手段と、
前記角度測定用受光中心位置及び前記距離測定用受光中心位置に基づいて前記測定対象物の距離を算出する距離算出手段とを備え、
前記距離測定用投光手段から前記被測定対象物までの光路が基線軸に対して所定の角度を有するように配されていることを特徴とする光学測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004095943A JP2005283249A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 角度測定装置及び光学測定装置 |
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JP2004095943A JP2005283249A (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 角度測定装置及び光学測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=35181816
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JP (1) | JP2005283249A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103837097A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-06-04 | 上海久点触控计算机系统股份有限公司 | 一种基于图像处理的工件角度自动测量装置及测量方法 |
KR102166526B1 (ko) * | 2019-07-23 | 2020-10-15 | 충북대학교 산학협력단 | 원형 타겟과 ccd 카메라를 이용한 각도 측정 장치 및 방법 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004095943A patent/JP2005283249A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103837097A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-06-04 | 上海久点触控计算机系统股份有限公司 | 一种基于图像处理的工件角度自动测量装置及测量方法 |
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