JP2005277341A - 半導体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ECR装置12を用いてFeの多価イオンを生成し、生成された価数の異なる種々のFe多価イオンの中から、イオン分別電磁石20を用いて所望の価数の多価イオンを分別してSi基板22中に注入し、β−FeSi2を形成する。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、シリコン基板に対して深さ方向の結晶組成の制御が難しく、特に、シリコン基板表面でのFe原子のドーズ量と深さを同時に適切に制御することは難しく、従来のイオン注入法やその他の気相または液相中での結晶成長法等によっては、所望のβ−FeSi2素子が得られないものであった。
12 ECR装置
14 プラズマ生成室
16 引出電極
20 イオン分別電磁石
22 シリコン基板
23,24,25 電磁石
26 イオン照射部
28 スリット
30 ファラデーカップ
32 ターボ分子ポンプ
34 ターゲット基板
Claims (2)
- β−FeSi2から成る半導体の製造方法において、ECR装置を用いてFeまたはSiの多価イオンを生成し、生成された価数の異なる種々の多価イオンの中から所望の価数の多価イオンを分別して、分別された所定の価数の前記多価イオンを、β−FeSi2を形成する他方のSiまたはFeの基板中に注入することを特徴とする半導体の製造方法。
- 上記ECR装置を用いてFeの多価イオンを生成し、所定の価数の多価Feイオンを選択して、Si基板表面に注入することを特徴とする請求項1記載の半導体の製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0636735A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Japan Steel Works Ltd:The | 多価イオン注入法による基板製造装置および基板製造方法 |
JPH11284210A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Hitachi Ltd | 太陽電池および赤外光センサおよび熱電発電素子 |
JP2000123778A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
JP2001230443A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2003031790A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004092284A patent/JP2005277341A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0636735A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Japan Steel Works Ltd:The | 多価イオン注入法による基板製造装置および基板製造方法 |
JPH11284210A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Hitachi Ltd | 太陽電池および赤外光センサおよび熱電発電素子 |
JP2000123778A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
JP2001230443A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置 |
JP2003031790A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6010038284, 加藤 裕史他, "「ECR イオン源における鉄多価イオン生成と応用」", 日本物理学会講演概要集, 20030306, Vol. 58, No. 1−2, p. 136 * |
JPN6010069880, Katsumata H, et al., ""Synthesis of beta−FeSi2 for optical applications by Fe triple−energy ion implantation into Si(100)", THIN SOLID FILMS, 19960801, Vol. 282, No. 1−2, pp. 252−255 * |
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