JP2005277017A - 有機薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄膜トランジスタにおいて、基板10上に、ゲート電極20、ゲート絶縁層30、第1半導体層40、ソース又はドレイン電極50、絶縁層60、第2半導体層70及びドレイン又はソース電極80を設けた。
【選択図】 図2
Description
F.Garnier, Appl. Phys. Lett.,73巻、1721頁、1998年 N.Stutzmann, Science,299巻、1881頁、2003年 R.Parashkov, Appl. Phys. Lett.,82巻、4579頁、2003年
20 ゲート電極
30 ゲート絶縁層
40 第1半導体層
50 ドレインもしくはソース電極(第1電極)
60 絶縁層
70 第2半導体層
80 ソースもしくはドレイン電極(第2電極)
90 保護膜
Claims (7)
- 基板、ゲート電極、ゲート絶縁層、第1半導体層、ソース電極、ドレイン電極、絶縁層、第2半導体層、保護膜で構成され、ソース電極とドレイン電極が異なる工程で形成される薄膜トランジスタにあって、基板上の一部に該ゲート電極を設け、ゲート電極及び基板をゲート絶縁層により覆い、その絶縁層を覆うように第1半導体層が形成され、ソース電極とドレイン電極のうち最初に形成される第1電極が第1半導体層上にあってゲート電極に対応する領域の一部に形成され、第1電極の上を絶縁層が覆い、第1電極層上の絶縁層及び第1半導体層を第2半導体層で覆い、ソース電極とドレイン電極のうち後から形成される第2電極が第2半導体層上であって、少なくとも第1電極に対応する領域のうち、第1電極がゲート電極と重なり合っている領域を覆うように形成されることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記請求項1に記載の薄膜トランジスタであって、基板、ゲート電極、ゲート絶縁層、第1半導体層、ソースもしくはドレイン電極(第1電極)、絶縁層、第2半導体層、ドレインもしくはソース電極(第2電極)、保護膜の順で、順次積層されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタであって、キャリアがホールとなるp型トランジスタを形成させる場合、第1半導体層を形成する半導体材料は、ペンタセン、テトラセン、チオフェン、フタロシアニン、コロネン、オバレン、アントラセン若しくはこれらの末端が置換された誘導体、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリチエニレンビニレン、ポリフルオレン、ポリフルオレンチエニレン、ポリアニリン、ポリピロール、ポリアセチレン、ポリジアセチレン、ポリアズレン、ポリピレン又はこれらの末端若しくはその側鎖が置換された誘導体のポリマーから選択されることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記請求項3に記載の薄膜トランジスタであって、第2半導体層を形成する半導体材料は、正孔輸送材料である第1半導体層を形成する材料と同じもの又はトリフェニルアミン化合物、スチルベン化合物、ベンジジン化合物、ポリトリフェニルアミン化合物若しくはこれらの末端が置換された誘導体であるにより構成されることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記請求項1又は2に記載の薄膜トランジスタであって、キャリアが電子となるn型トランジスタを形成させる場合、第1半導体層を形成する半導体材料は、ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、フッ素化フタロシアニン、フラーレン又はこれらの末端が置換された誘導体の中から選択されることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記請求項5に記載の薄膜トランジスタであって、第2半導体層を形成する半導体材料は、電子輸送材料である第1半導体層を形成する材料と同じもの又はオキサジアゾール、トリアゾール、トリアジン、アルミキノリノール錯体若しくはこれらの末端が置換された誘導体により構成されることを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 上記第1電極上に形成される絶縁層は、SiO2、Al2O3又はパリレン、ポリイミド、ポリスチレン、ポリパラキシレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリビニルフェノール、プルラン、ポリシロキサン、シルセスキオキサン若しくはこれらの末端が置換された誘導体により構成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
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