JP2005266283A - 微細構造の作製方法及び作製装置並びに光学素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡便に高精細な微細構造を作製することのできる微細構造の作製方法及び簡易な微細構造の作製装置並びにこの微細構造の作製装置によって作成された精度の高い光学素子を提供する。
【解決手段】 レーザー光源1から出射してマスタ6を通過したレーザー光10で被露光体8を露光して、被露光体8の表面に所定の露光パターンを形成する微細構造の作製方法であって、マスタ6は、レーザー光10に対して透明で、少なくとも一つの表面に周期性を有する1次元凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、マスタ6を通過したレーザー光10が被露光体8の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じるように形成され、レーザー光10は直線偏光であって、該直線偏光の偏光方位は該凹凸形状の溝と平行であり、マスタ6と被露光体8は接触しておらず、干渉パターンにより、被露光体8を露光するものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 レーザー光源1から出射してマスタ6を通過したレーザー光10で被露光体8を露光して、被露光体8の表面に所定の露光パターンを形成する微細構造の作製方法であって、マスタ6は、レーザー光10に対して透明で、少なくとも一つの表面に周期性を有する1次元凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、マスタ6を通過したレーザー光10が被露光体8の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じるように形成され、レーザー光10は直線偏光であって、該直線偏光の偏光方位は該凹凸形状の溝と平行であり、マスタ6と被露光体8は接触しておらず、干渉パターンにより、被露光体8を露光するものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、微細構造の作製方法及び作製装置並びに光学素子に関し、特に、安定かつ簡便に微細構造を作製することのできる微細構造の作製方法及び作製装置並びにこの微細構造の作製装置で作成された光学素子に関する。
従来の微細構造体の製造方法では、1つのレーザービーム等を2つのビームに分割して、これらの2つのビームを感光性材料(例えば、フォトレジスト)上で交差させることにより干渉パターンを発生させて感光性材料を露光した後に、現像処理を行って基板上に凹凸構造を形成していた(例えば、特許文献1参照)。
特開平6−281803号公報(図1、図4)
しかし、従来の微細構造の製造方法では(例えば、特許文献1参照)、露光中に干渉パターンが移動しないように極めて安定した露光環境を整備する必要があり、例えば空気のゆらぎや微小な振動等を排除しなければならなかった。このため、製造設備が大型化して製造コストも高くなるという問題点があった。
本発明は、簡便に高精細な微細構造を作製することのできる微細構造の作製方法及び簡易な微細構造の作製装置並びにこの微細構造の作製装置によって作成された精度の高い光学素子を提供することを目的とする。
本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光源から出射してマスタを通過したレーザー光で被露光体を露光して、被露光体の表面に所定の露光パターンを形成する微細構造の作製方法であって、マスタは、レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に周期性を有する1次元凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、マスタを通過したレーザー光が被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じるように形成され、レーザー光は直線偏光であって、該直線偏光の偏光方位は該凹凸形状の溝と平行であり、マスタと被露光体は接触しておらず、干渉パターンにより、被露光体を露光するものである。
レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタをレーザー光が通過することにより1又は複数の回折光を発生させ、これらの回折光が被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせる。このような干渉パターンを用いて露光することにより、広い焦点深度が得られマスタと被露光体の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。
レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタをレーザー光が通過することにより1又は複数の回折光を発生させ、これらの回折光が被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせる。このような干渉パターンを用いて露光することにより、広い焦点深度が得られマスタと被露光体の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光源から出射したレーザー光が、マスタの法線に対して斜め方向からマスタに入射し、該マスタによってレーザー光が少なくとも1つの回折光を含む複数のビームに分岐されるものである。
例えば、マスタの形成する凹凸形状を適当な形状に設計しておけば、マスタの法線に対して斜め方向から入射したレーザー光を、1本の透過光と1本の回折光に分岐することができる。このとき、透過光と回折光の強度をほぼ等しくすることにより、干渉パターンを鮮明にすることができ高精細な微細構造を作製することができる。
例えば、マスタの形成する凹凸形状を適当な形状に設計しておけば、マスタの法線に対して斜め方向から入射したレーザー光を、1本の透過光と1本の回折光に分岐することができる。このとき、透過光と回折光の強度をほぼ等しくすることにより、干渉パターンを鮮明にすることができ高精細な微細構造を作製することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光源から出射したレーザー光が、マスタの法線に対して平行にマスタに入射し、該マスタによってレーザー光が少なくとも2つの回折光を含む複数のビームに分岐されるものである。
例えば、マスタの形成する凹凸形状を適当な形状に設計しておけば、マスタの法線に対して平行に入射したレーザー光を、2本の等しい強度の回折光に分岐することができる。これにより、干渉パターンを鮮明にすることができ高精細な微細構造を作製することができる。
例えば、マスタの形成する凹凸形状を適当な形状に設計しておけば、マスタの法線に対して平行に入射したレーザー光を、2本の等しい強度の回折光に分岐することができる。これにより、干渉パターンを鮮明にすることができ高精細な微細構造を作製することができる。
また本発明に係る微細構造の作成方法は、マスタより発生させた所定の干渉パターンを、被露光体の裏面から照射するものである。
干渉パターンを被露光体の裏面から照射して、被露光体の表面を露光すれば、被露光体の一部が飛散してマスタを汚染することを防止できる。
干渉パターンを被露光体の裏面から照射して、被露光体の表面を露光すれば、被露光体の一部が飛散してマスタを汚染することを防止できる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、被露光体に感光性レジストが塗布されており、該感光性レジストを露光することにより所定の露光パターンを形成するものである。
被露光体に塗布された感光性レジストを露光することにより、所望の露光パターンを正確に形成することができる。また、以下に示すリフトオフ等を容易に行うことができるようになる。
被露光体に塗布された感光性レジストを露光することにより、所望の露光パターンを正確に形成することができる。また、以下に示すリフトオフ等を容易に行うことができるようになる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、上記の感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、リフトオフによって微細構造を作製するものである。
例えば、感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、アルミ等の金属を蒸着或いはスパッタし、感光性レジストをリフトオフ(剥離)すれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
例えば、感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、アルミ等の金属を蒸着或いはスパッタし、感光性レジストをリフトオフ(剥離)すれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、上記の感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、エッチングによって微細構造を作製するものである。
例えば、予め被露光体に金属膜を形成しておき、金属膜上に塗布された感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、金属膜をエッチングすれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
例えば、予め被露光体に金属膜を形成しておき、金属膜上に塗布された感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、金属膜をエッチングすれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、上記の感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、無電解めっきによって微細構造を作製するものである。
例えば、感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、アルミ等の金属を無電解めっきすれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
例えば、感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、アルミ等の金属を無電解めっきすれば、高精細な微細構造を容易に作成することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、上記の微細構造が、無機物からなるものである。
従来の有機材料の高分子物質を利用した光学素子(例えば、偏光板)では、高輝度の光を長時間照射すると特性が劣化してしまうが、本発明の微細構造の作製方法によって無機材料からなる微細構造を有する光学素子を作製すれば、耐光性に優れた光学素子を得ることができる。
従来の有機材料の高分子物質を利用した光学素子(例えば、偏光板)では、高輝度の光を長時間照射すると特性が劣化してしまうが、本発明の微細構造の作製方法によって無機材料からなる微細構造を有する光学素子を作製すれば、耐光性に優れた光学素子を得ることができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、上記の微細構造が、金属からなるものである。
本発明の微細構造の作製方法によって金属からなる微細構造を有する光学素子を作製すれば、更に耐光性に優れた光学素子(例えば、偏光板)を得ることができる。
本発明の微細構造の作製方法によって金属からなる微細構造を有する光学素子を作製すれば、更に耐光性に優れた光学素子(例えば、偏光板)を得ることができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光源から出射したレーザー光を、マスタ上で走査するものである。
レーザー光源から出射したレーザー光を、マスタ上で走査することにより、被露光体の広い範囲を露光することができる。
レーザー光源から出射したレーザー光を、マスタ上で走査することにより、被露光体の広い範囲を露光することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光源から出射したレーザー光を、マスタに対して固定して被露光体を一括露光するものである。
例えば、レーザー光源から径の広いレーザー光を出射して、レーザー光をマスタに対して固定して被露光体を一括露光すれば、被露光体の広い範囲を短時間で露光することができる。
例えば、レーザー光源から径の広いレーザー光を出射して、レーザー光をマスタに対して固定して被露光体を一括露光すれば、被露光体の広い範囲を短時間で露光することができる。
また本発明に係る微細構造の作製方法は、レーザー光の波長が、500nm以下であるものである。
500nm以下の波長のレーザー光を使用すれば、例えば周期が200nm程度の微細構造を作製することができ、可視光領域の光学素子(例えば、偏光板)等を作製することができる。
500nm以下の波長のレーザー光を使用すれば、例えば周期が200nm程度の微細構造を作製することができ、可視光領域の光学素子(例えば、偏光板)等を作製することができる。
本発明に係る微細構造の作製装置は、レーザー光源から出射してマスタを通過したレーザー光で被露光体が露光され、被露光体の表面に所定の露光パターンが形成される微細構造の作製装置であって、マスタと被露光体は、スペーサーによって互いに固定されており、マスタは、レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、1次元格子を形成し、マスタを通過したレーザー光を被露光体の表面で干渉させることにより所定の干渉パターンが生じるように形成され、レーザー光源から出射されたレーザー光がマスタに入射する際に、レーザー光の偏光方向が1次元格子を形成する凹凸形状と平行である直線偏光にし、マスタを通過したレーザー光が、光学素子で集光されずに直接被露光体を露光するようにしたものである。
レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタをレーザー光が通過することにより1又は複数の回折光を発生させ、これらの回折光が被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせる。このときマスタを通過したレーザー光が、反射ミラーやレンズ等の光学素子で集光されずに直接被露光体を露光するようにする。このような光学系を採用することにより、広い焦点深度が得られマスタと被露光体の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。さらに、レーザー光の偏光方向を、1次元格子を形成する凹凸形状と平行である直線偏光にしているため、干渉に寄与する偏光成分が多くなり鮮明な干渉パターンを得ることができる。また、マスタと被露光体がスペーサーによって互いに固定されているため、マスタと被露光体の相対位置がずれることがなく、干渉パターンのコントラストが高い状態で安定した露光を行うことができる。
レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタをレーザー光が通過することにより1又は複数の回折光を発生させ、これらの回折光が被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせる。このときマスタを通過したレーザー光が、反射ミラーやレンズ等の光学素子で集光されずに直接被露光体を露光するようにする。このような光学系を採用することにより、広い焦点深度が得られマスタと被露光体の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。さらに、レーザー光の偏光方向を、1次元格子を形成する凹凸形状と平行である直線偏光にしているため、干渉に寄与する偏光成分が多くなり鮮明な干渉パターンを得ることができる。また、マスタと被露光体がスペーサーによって互いに固定されているため、マスタと被露光体の相対位置がずれることがなく、干渉パターンのコントラストが高い状態で安定した露光を行うことができる。
また本発明に係る微細構造の作製装置は、上記のマスタ及び被露光体が平板状であって、マスタと被露光体が平行に配置されるものである。
マスタ及び被露光体が平板状で、マスタと被露光体が平行に配置されるため、被露光体の表面に容易に干渉パターンを生じさせることができ、広い焦点深度を得ることができる。
マスタ及び被露光体が平板状で、マスタと被露光体が平行に配置されるため、被露光体の表面に容易に干渉パターンを生じさせることができ、広い焦点深度を得ることができる。
本発明に係る光学素子は、上記のいずれかの微細構造の作製装置で作製された微細構造を有するものである。
例えば、金属等からなる1次元格子状の微細構造を、本発明の微細構造の作製装置で作成すれば、可視光領域で使用できる光学素子(偏光板、反射防止素子、波長板等)を容易かつ高精細に作製することができる。
例えば、金属等からなる1次元格子状の微細構造を、本発明の微細構造の作製装置で作成すれば、可視光領域で使用できる光学素子(偏光板、反射防止素子、波長板等)を容易かつ高精細に作製することができる。
実施形態1.
図1は、本発明の実施形態1に係る微細構造の作製装置の概略模式図である。なお図1では、微細構造の作製装置の要部のみを示しているが、図1に示される構成要素以外の構成要素を付加してもよい。
本実施形態1に係る微細構造の作製装置は、レーザー光源1、ビーム強度調整器2、反射ミラー3、偏光板4、1/2波長板5、マスタ6、スペーサ7、被露光体8、ステージ9を備えている。本実施形態1のレーザー光源1は、固体UV(紫外線)レーザーのYAG(Yttrium Aluminum Garnet)レーザーであり、波長266nmの第4高調波を出射する。なおこのレーザー光源1から出射されるレーザー光10は、径が1mmであるとする。レーザー光源1を出射したレーザー光10は、ビーム強度調整器2で適当な強度に調整される。
図1は、本発明の実施形態1に係る微細構造の作製装置の概略模式図である。なお図1では、微細構造の作製装置の要部のみを示しているが、図1に示される構成要素以外の構成要素を付加してもよい。
本実施形態1に係る微細構造の作製装置は、レーザー光源1、ビーム強度調整器2、反射ミラー3、偏光板4、1/2波長板5、マスタ6、スペーサ7、被露光体8、ステージ9を備えている。本実施形態1のレーザー光源1は、固体UV(紫外線)レーザーのYAG(Yttrium Aluminum Garnet)レーザーであり、波長266nmの第4高調波を出射する。なおこのレーザー光源1から出射されるレーザー光10は、径が1mmであるとする。レーザー光源1を出射したレーザー光10は、ビーム強度調整器2で適当な強度に調整される。
そしてビーム強度調整器2を透過したレーザー光10は、反射ミラー3で反射されて偏光板4の方向へ向きを変えられる。なお、レーザー光10の向きを変える必要がない場合には、反射ミラー3を設ける必要はない。反射ミラー3で反射されたレーザー光10は、偏光板4で特定の偏光方向の直線偏光光にされ、更に1/2波長板5によって偏光方向を所定の向き(後に詳述)に変えられる。
偏光板4、1/2波長板5を通過したレーザー光10はマスタ6に向かい、マスタ6の法線に対して斜め方向からマスタ6に入射する。マスタ6は例えば石英からなる平板状の基板であり、レーザー光10の入射する面の反対側の面に凹凸形状が形成されている。この凹凸形状は回折格子となっており、レーザー光10を所定の回折光(後に詳述)を含む複数のビームに分岐する。なおマスタ6を通過したレーザー光10は、一部が回折せずにまっすぐ透過する場合もある。また回折光は1つだけ発生する場合と、複数発生する場合があり、これらはマスタ6の設計条件(後に詳述)により異なる。
マスタ6を通過し、回折光や透過光となったレーザー光10は、平板状でマスタ6と平行又はほぼ平行に配置された被露光体8に照射される。このときレーザー光10は、複数の回折光同士又は回折光と透過光の間で干渉し、被露光体6の表面で所定の干渉パターンを生じるようになっている。なお本実施形態1では、マスタ6と被露光体8はスペーサー7で互いに固定されており、マスタ6と被露光体8の間隔は、例えば5mm以下で近接配置されている。このマスタ6と被露光体8の間隔は、使用するレーザーの空間コヒーレント、レーザービーム系、及びマスタ6の凹凸形状の設計条件に合わせて最適な間隔にするのが望ましい。
さらに、被露光体8、スペーサー7、マスタ6は、ステージ9上に載置されている。このステージ9は、後に示すようにマスタ6上でレーザー光10を走査するために、任意の方向に移動可能にするようにしてもよい。
さらに、被露光体8、スペーサー7、マスタ6は、ステージ9上に載置されている。このステージ9は、後に示すようにマスタ6上でレーザー光10を走査するために、任意の方向に移動可能にするようにしてもよい。
図2は、図1に示すマスタ6のレーザー光10が入射する部分の近辺を示した拡大模式図である。なお図2では、レーザー光10の光束を2本示しているが、これらは実際には1つの光束の中の特定の部分のレーザー光である。
図2に示すように、マスタ6の法線に対して斜め方向から入射したレーザー光10は、透過光(0次回折光)11と1次回折光12に分岐される。なお本実施形態1では、レーザー光10を透過光11と1次回折光12に分岐するようにしているが、被露光体8に以下に示すような1次元格子以外の形状を形成したい場合には、複数の回折光を生じさせるようにしてもよい。また透過光11と1次回折光以外に、多少他の回折光が混ざっていてもよい。
透過光11と1次回折光12は、被露光体8の表面で干渉することにより、所定の干渉パターンを生じる。ここで被露光体8は、例えば厚さ1mmのガラス等からなる基板8bの表面に厚さ200nmの感光性レジスト8aが塗布されたものであり、感光性レジスト8aが干渉パターンによって露光されることにより所定の露光パターンが形成される。
図2に示すように、マスタ6の法線に対して斜め方向から入射したレーザー光10は、透過光(0次回折光)11と1次回折光12に分岐される。なお本実施形態1では、レーザー光10を透過光11と1次回折光12に分岐するようにしているが、被露光体8に以下に示すような1次元格子以外の形状を形成したい場合には、複数の回折光を生じさせるようにしてもよい。また透過光11と1次回折光以外に、多少他の回折光が混ざっていてもよい。
透過光11と1次回折光12は、被露光体8の表面で干渉することにより、所定の干渉パターンを生じる。ここで被露光体8は、例えば厚さ1mmのガラス等からなる基板8bの表面に厚さ200nmの感光性レジスト8aが塗布されたものであり、感光性レジスト8aが干渉パターンによって露光されることにより所定の露光パターンが形成される。
図3は、図2に示すマスタ6のA部分の拡大断面図である。マスタ6の、レーザー光10の入射する面の反対側の面には凹凸形状が全面に形成されている。本実施形態1のマスタ6に形成される凹凸形状は、図3に示すような溝形状のもので、非常に細長い溝が多数形成されており、1次元格子を形成している。なお図3では、紙面手前側から紙面奥側に延びる細長い溝状の凹凸形状を示している。またこの凹凸形状の深さ及び周期は、ベクトル解析により最適設計されており、ほぼ透過光11と1次回折光12だけを発生させるようになっている。このような凹凸形状を有するマスタ6を使用することにより、被露光体8の表面に微細な1次元格子状の干渉パターンを形成することができる。
なお図2において、マスタ6に入射するレーザー光10は、その偏光方向が図3に示す1次元格子格子を形成する凹凸形状の溝と平行な直線偏光(以下、TE偏光という)としている。これは、透過光11と1次回折光12が干渉する際に、TE偏光と直角方向の成分(以下、TM偏光という)はあまり干渉に寄与しないが、TE偏光はほとんど干渉に寄与するからである。
なお図2において、マスタ6に入射するレーザー光10は、その偏光方向が図3に示す1次元格子格子を形成する凹凸形状の溝と平行な直線偏光(以下、TE偏光という)としている。これは、透過光11と1次回折光12が干渉する際に、TE偏光と直角方向の成分(以下、TM偏光という)はあまり干渉に寄与しないが、TE偏光はほとんど干渉に寄与するからである。
図4は、被露光体8を露光する際の状態を示す斜視図である。本実施形態1では、レーザー光源1から出射されるレーザー光10の径が1mmと小さく、例えば径が8インチの被露光体8を一括露光できないため、図4に示すようにレーザー光10をマスタ6上で走査することにより広い領域を露光する。なおこのとき、マスタ6及び被露光体8を固定してレーザー光10を移動させてもよく、レーザー光10を固定してマスタ6及び被露光体8を移動させるようにしてもよい。
図5は、図3に示すマスタ6に形成された凹凸形状の深さと透過光(0次回折光)11及び1次回折光12の強度の関係を示す図である。図3に示す凹凸形状の深さ及び周期は、ベクトル解析により最適設計されており、本実施形態1では周期が200nm、深さが180nmとなっている。なお図5では、TE偏光についての計算結果を示している。
図5に示すように、深さが約180nmの1次元格子を形成すれば透過光11と1次回折光12の強度がほぼ等しくなることが分かる。このように、透過光11と1次回折光12がほぼ等しい条件で干渉を起こすようにすれば、鮮明な干渉パターンが得られる。このときの透過光11及び1次回折光12の回折角度(マスタ6の法線とビームの角度)はそれぞれ42度であり、両者が干渉することにより被露光体8の表面に周期200nmの1次元格子の露光パターンを形成することができる。
なおこのマスタ6の凹凸形状は、例えば、石英基板上のレジストに電子ビームによってパターンを描画した後に、レジストパターンをマスクとして石英基板をイオンエッチングすることにより形成することができる。
図5に示すように、深さが約180nmの1次元格子を形成すれば透過光11と1次回折光12の強度がほぼ等しくなることが分かる。このように、透過光11と1次回折光12がほぼ等しい条件で干渉を起こすようにすれば、鮮明な干渉パターンが得られる。このときの透過光11及び1次回折光12の回折角度(マスタ6の法線とビームの角度)はそれぞれ42度であり、両者が干渉することにより被露光体8の表面に周期200nmの1次元格子の露光パターンを形成することができる。
なおこのマスタ6の凹凸形状は、例えば、石英基板上のレジストに電子ビームによってパターンを描画した後に、レジストパターンをマスクとして石英基板をイオンエッチングすることにより形成することができる。
本実施形態1では、レーザー光10に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタ6をレーザー光10が通過することにより透過光11及び1次回折光12を発生させ、これらの光が被露光体8の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせ、反射ミラーやレンズ等の光学素子で集光されずに直接被露光体8を露光するようにするため、広い焦点深度が得られマスタ6と被露光体8の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。
なお本実施形態1では、マスタ6により発生させた干渉パターンを被露光体8の表面から照射しているが、この干渉パターンを被露光体8の裏面から照射して、被露光体8の表面を露光してもよい。このように裏面から露光した場合には、被露光体8の一部が飛散してマスタ6を汚染することを防止することができる。
なお本実施形態1では、マスタ6により発生させた干渉パターンを被露光体8の表面から照射しているが、この干渉パターンを被露光体8の裏面から照射して、被露光体8の表面を露光してもよい。このように裏面から露光した場合には、被露光体8の一部が飛散してマスタ6を汚染することを防止することができる。
実施形態2.
図6は、本発明の実施形態2に係る微細構造の作製装置の概略模式図である。なお図6では、微細構造の作製装置の要部のみを示しているが、図6に示される構成要素以外の構成要素を付加してもよい。
なお本実施形態2に係る微細構造の作製装置のレーザー光源1は、ガスUV(紫外線)レーザーのエキシマレーザーであり、波長248nmのレーザー光10を出射する。なおこのレーザー光源1から出射されるレーザー光10は、径が200mmであるとする。また、レーザー光10はマスタ6の法線に対して平行にマスタ6に入射する。
その他の微細構造の作製装置の構成は、実施形態1の微細構造の作製装置と同様であり、説明を省略する。
図6は、本発明の実施形態2に係る微細構造の作製装置の概略模式図である。なお図6では、微細構造の作製装置の要部のみを示しているが、図6に示される構成要素以外の構成要素を付加してもよい。
なお本実施形態2に係る微細構造の作製装置のレーザー光源1は、ガスUV(紫外線)レーザーのエキシマレーザーであり、波長248nmのレーザー光10を出射する。なおこのレーザー光源1から出射されるレーザー光10は、径が200mmであるとする。また、レーザー光10はマスタ6の法線に対して平行にマスタ6に入射する。
その他の微細構造の作製装置の構成は、実施形態1の微細構造の作製装置と同様であり、説明を省略する。
図7は、図6に示すマスタ6のレーザー光10が入射する部分の近辺を示した拡大模式図である。なお図7では、レーザー光10の光束を2本示しているが、これらは実際には1つの光束の中の特定の部分のレーザー光である。
図7に示すように、マスタ6の法線に対して平行に入射したレーザー光10は、+1次回折光13と−1次回折光14に分岐される。なお本実施形態2では、レーザー光10を+1次回折光13と−1次回折光14に分岐するようにしているが、被露光体8に以下に示すような1次元格子以外の形状を形成したい場合には、複数の回折光を生じさせるようにしてもよい。
+1次回折光13と−1次回折光14は、被露光体8の表面で干渉することにより、所定の干渉パターンを生じる。ここで被露光体8は、例えば厚さ1mmのガラス等からなる基板8bの表面に厚さ200nmの感光性レジスト8aが塗布されたものであり、感光性レジスト8aが干渉パターンによって露光されることにより所定の露光パターンが形成される。
図7に示すように、マスタ6の法線に対して平行に入射したレーザー光10は、+1次回折光13と−1次回折光14に分岐される。なお本実施形態2では、レーザー光10を+1次回折光13と−1次回折光14に分岐するようにしているが、被露光体8に以下に示すような1次元格子以外の形状を形成したい場合には、複数の回折光を生じさせるようにしてもよい。
+1次回折光13と−1次回折光14は、被露光体8の表面で干渉することにより、所定の干渉パターンを生じる。ここで被露光体8は、例えば厚さ1mmのガラス等からなる基板8bの表面に厚さ200nmの感光性レジスト8aが塗布されたものであり、感光性レジスト8aが干渉パターンによって露光されることにより所定の露光パターンが形成される。
図8は、図7に示すマスタ6のB部分の拡大断面図である。マスタ6の、レーザー光10の入射する面の反対側の面には凹凸形状が全面に形成されている。本実施形態2のマスタ6に形成される凹凸形状は、実施形態1の凹凸形状と同様に溝形状のもので、非常に細長い溝が多数形成されており、1次元格子を形成している。なお図8では、紙面手前側から紙面奥側に延びる細長い溝状の凹凸形状を示している。またこの凹凸形状の深さ及び周期は、ベクトル解析により最適設計されており、+1次回折光13と−1次回折光14だけを発生させるようになっている。このような凹凸形状を有するマスタ6を使用することにより、被露光体8の表面に微細な1次元格子状の干渉パターンを形成することができる。
なお図7において、マスタ6に入射するレーザー光10は、実施形態1と同様に、その偏光方向が図8に示す1次元格子格子を形成する凹凸形状の溝と平行な直線偏光(以下、TE偏光という)としている。これは、透過光11と1次回折光12が干渉する際に、TE偏光と直角方向の成分(以下、TM偏光という)はあまり干渉に寄与しないが、TE偏光はほとんど干渉に寄与するからである。
なお図7において、マスタ6に入射するレーザー光10は、実施形態1と同様に、その偏光方向が図8に示す1次元格子格子を形成する凹凸形状の溝と平行な直線偏光(以下、TE偏光という)としている。これは、透過光11と1次回折光12が干渉する際に、TE偏光と直角方向の成分(以下、TM偏光という)はあまり干渉に寄与しないが、TE偏光はほとんど干渉に寄与するからである。
図9は、被露光体8を露光する際の状態を示す斜視図である。本実施形態2では、レーザー光源1から出射されるレーザー光10の径が200mmと大きいため、図9に示すように例えば径が8インチの被露光体8を一括露光できる。なおこのとき、レーザー光10をマスタ6及び被露光体8に対して固定する。
図10は、図8に示すマスタ6に形成された凹凸形状の深さと透過光(0次回折光)、+1次回折光13及び−1次回折光14の強度の関係を示す図である。図8に示す凹凸形状の深さ及び周期は、ベクトル解析により最適設計されており、本実施形態2では周期が400nm、深さが270nmとなっている。なお図10では、TE偏光についての計算結果を示している。
図10に示すように、深さが約270nmの1次元格子を形成すれば透過光の強度が最小となり+1次回折光13及び−1次回折光14の強度が最大となることが分かる。この例では、+1次回折光13と−1次回折光14以外に、僅かな0次回折光が混在しているが、その強度は十分に小さいため、干渉露光に影響を与えることはない。このように、透過光の強度が最小となり+1次回折光13と−1次回折光14の強度が最大となる条件で干渉を起こすようにすれば、鮮明な干渉パターンが得られる。このときの透過+1次回折光13及び−1次回折光14の回折角度(マスタ6の法線とビームの角度)はそれぞれ38度であり、両者が干渉することにより被露光体8の表面に周期200nmの1次元格子の露光パターンを形成することができる。
なおこのマスタ6の凹凸形状は、実施形態1と同様に、例えば、石英基板上のレジストに電子ビームによってパターンを描画した後に、レジストパターンをマスクとして石英基板をイオンエッチングすることにより形成することができる。
図10に示すように、深さが約270nmの1次元格子を形成すれば透過光の強度が最小となり+1次回折光13及び−1次回折光14の強度が最大となることが分かる。この例では、+1次回折光13と−1次回折光14以外に、僅かな0次回折光が混在しているが、その強度は十分に小さいため、干渉露光に影響を与えることはない。このように、透過光の強度が最小となり+1次回折光13と−1次回折光14の強度が最大となる条件で干渉を起こすようにすれば、鮮明な干渉パターンが得られる。このときの透過+1次回折光13及び−1次回折光14の回折角度(マスタ6の法線とビームの角度)はそれぞれ38度であり、両者が干渉することにより被露光体8の表面に周期200nmの1次元格子の露光パターンを形成することができる。
なおこのマスタ6の凹凸形状は、実施形態1と同様に、例えば、石英基板上のレジストに電子ビームによってパターンを描画した後に、レジストパターンをマスクとして石英基板をイオンエッチングすることにより形成することができる。
本実施形態2では、レーザー光10に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されているマスタ6をレーザー光10が通過することにより+1次回折光13及び−1次回折光14を発生させ、これらの光が被露光体8の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じさせ、反射ミラーやレンズ等の光学素子で集光されずに直接被露光体8を露光するようにするため、広い焦点深度が得られマスタ6と被露光体8の間のギャップの管理が極めて容易となり、広い範囲で露光が可能となる。また単純な光学系であるため、作製装置の小型化及び製造コストの低廉化を実現することができる。その他の効果は、実施形態1と同様である。
なお実施形態1及び実施形態2では、マスタ6に形成される凹凸形状が1次元格子状のものを示したが、例えば被露光体8に2次元格子状の露光パターンを形成したい場合には、凹凸形状を2次元格子状にすればよい。
さらに実施形態1ではレーザー光10の径を1mmとしているが、ビーム径を大きくして被露光体8を一括露光するようにしてもよい。また実施形態2において、ビーム径を小さくして、レーザー光10をマスタ6上で走査するようにしてもよい。
実施形態3.
図11は、本発明の実施形態3に係る光学素子を示した縦断面模式図である。なお図11に示す光学素子は、実施形態1及び実施形態2に係る微細構造の作製装置で作成された微細構造を有するものである。本実施形態3では、図1及び図6に示す微細構造の作製装置で被露光体8に露光パターンを形成した後の微細構造の作製方法についても説明する。
図11に示す光学素子20は、被露光体8の基板8bの表面に、アルミ等の金属又は無機物からなる微細構造21が形成されることにより構成されている。本実施形態3の光学素子20に形成された微細構造21は、図3及び図8に示される1次元格子状の凹凸形状を有したマスタ6を使用して作製されている。このため、微細構造21も非常に細長い溝形状が多数形成されており、1次元格子を形成している。
図11は、本発明の実施形態3に係る光学素子を示した縦断面模式図である。なお図11に示す光学素子は、実施形態1及び実施形態2に係る微細構造の作製装置で作成された微細構造を有するものである。本実施形態3では、図1及び図6に示す微細構造の作製装置で被露光体8に露光パターンを形成した後の微細構造の作製方法についても説明する。
図11に示す光学素子20は、被露光体8の基板8bの表面に、アルミ等の金属又は無機物からなる微細構造21が形成されることにより構成されている。本実施形態3の光学素子20に形成された微細構造21は、図3及び図8に示される1次元格子状の凹凸形状を有したマスタ6を使用して作製されている。このため、微細構造21も非常に細長い溝形状が多数形成されており、1次元格子を形成している。
ここで、図11に示すような微細構造21を有する光学素子20を作製する方法について説明する。
まず図2及び図7に示すように、凹凸形状が形成されたマスタ6を使用して被露光体8の表面のポジ型の感光性レジスト8aを露光して、1次元格子状の露光パターンを形成する。なお感光性レジスト8aは、ポジ型に限られるものではなく、ネガ型レジストを用いてもよい。そして、例えば露光されていない部分の感光性レジスト8aを除去し、感光性レジスト8aを多数の細長い壁状(厚み〜200nm)に残す。そしてこのレジストパターンの上から、例えばアルミ等の金属を感光性レジスト8aの間に厚さ150nmだけ蒸着して、感光性レジスト8aを剥離(リフトオフ)する。これにより、図11に示すような光学素子20が完成する。この光学素子20の微細構造21は、周期が200nmで、溝と壁の幅の比が1:1である。
まず図2及び図7に示すように、凹凸形状が形成されたマスタ6を使用して被露光体8の表面のポジ型の感光性レジスト8aを露光して、1次元格子状の露光パターンを形成する。なお感光性レジスト8aは、ポジ型に限られるものではなく、ネガ型レジストを用いてもよい。そして、例えば露光されていない部分の感光性レジスト8aを除去し、感光性レジスト8aを多数の細長い壁状(厚み〜200nm)に残す。そしてこのレジストパターンの上から、例えばアルミ等の金属を感光性レジスト8aの間に厚さ150nmだけ蒸着して、感光性レジスト8aを剥離(リフトオフ)する。これにより、図11に示すような光学素子20が完成する。この光学素子20の微細構造21は、周期が200nmで、溝と壁の幅の比が1:1である。
上記のリフトオフを利用した微細構造21の作製方法の他に、ドライエッチングを利用した微細構造21の作製方法もある。ドライエッチングを利用した微細構造21の作製方法では、図2及び図7に示す被露光体8の感光性レジスト8aと基板8bの間に予めアルミ等の金属膜(図2及び図7において図示せず)を形成しておく。そして、凹凸形状が形成されたマスタ6を使用して被露光体8の表面の感光性レジスト8aを露光して、1次元格子状の露光パターンを形成する。その後、例えば露光されていない部分の感光性レジスト8aを除去し、感光性レジスト8aを1次元格子状に残す。そして残った感光性レジスト8aをエッチングマスクとして金属膜をドライエッチングした後に、感光性レジスト8aをすべて除去する。これにより、図11に示すような微細構造21を有する光学素子20が完成する。
また、リフトオフを利用した微細構造21の作製方法に似たものに、めっきを利用した微細構造21の作製方法がある。この方法では、凹凸形状が形成されたマスタ6を使用して被露光体8の表面の感光性レジスト8aを露光して、1次元格子状の露光パターンを形成する。そして、例えば露光されていない部分の感光性レジスト8aを除去し、感光性レジスト8aを多数の細長い壁状に残す。そしてこのレジストパターンの上から、例えばアルミ等の金属を感光性レジスト8aの間に厚さ150nmだけ無電解めっきし、感光性レジスト8aを除去する。これにより、図11に示すような光学素子20が完成する。
図12は、本実施形態3の光学素子20を偏光板として利用した場合の斜視図である。偏光方向がランダムなランダム光22を本実施形態3の光学素子20に入射すると、微細構造21の溝の向きと平行な方向の偏光成分(以下、TE偏光という)は、微細構造21によって遮断されて透過せず、微細構造21の溝の向きと直角な偏光成分(以下、TM偏光という)のみが透過する。
図13は、図12に示す偏光板としての光学素子20の偏光分離特性を示した図である。図13では、横軸が微細構造21の周期とランダム光22の波長の比となっており、縦軸がTE偏光とTM偏光の透過光強度となっている。
図13に示すように、微細構造21の周期とランダム光22の波長の比がほぼ0〜0.5の範囲で、TM偏光が多く透過しTE偏光がほとんど透過していない。このため本実施形態3の光学素子20は、この範囲の波長の光に対して偏光板として利用することができる。なお本実施形態1の微細構造21の周期は200nmであるため、本実施形態3の光学素子20は、ほぼすべての可視光領域の光に対して偏光板として使用することができる。また微細構造21が、アルミ等の金属又は無機物から構成されているため、耐光性に優れており、例えば液晶プロジェクタへの応用も可能である。
図13に示すように、微細構造21の周期とランダム光22の波長の比がほぼ0〜0.5の範囲で、TM偏光が多く透過しTE偏光がほとんど透過していない。このため本実施形態3の光学素子20は、この範囲の波長の光に対して偏光板として利用することができる。なお本実施形態1の微細構造21の周期は200nmであるため、本実施形態3の光学素子20は、ほぼすべての可視光領域の光に対して偏光板として使用することができる。また微細構造21が、アルミ等の金属又は無機物から構成されているため、耐光性に優れており、例えば液晶プロジェクタへの応用も可能である。
また図11に示すような、光の波長より小さな構造を有する光学素子は、偏光板以外の光学素子としても利用することができる。例えば、本発明により石英基板上に作成された微細構造を光が透過すると、その偏光方位によって屈折率が異なるために構造性複屈折が起きる。このような微細構造は、1/2波長板や1/4波長板等の波長板としても使用できる。また光の波長より小さい構造を有する微細構造は、反射防止機能を持たせることもできるため、それを反射防止素子として使用することもできる。この場合、多層膜からなる反射防止素子と同様に、広い範囲の波長の光に対して反射防止効果を有する。
なおこれらの光学素子を作製するためには、マスタ6に形成される凹凸形状を最適に設計すればよい。
なおこれらの光学素子を作製するためには、マスタ6に形成される凹凸形状を最適に設計すればよい。
1 レーザー光源、2 ビーム強度調整器、3 反射ミラー、4 偏光板、5 1/2波長板、6 マスタ、7 スペーサ、8 被露光体、8a 感光性レジスト、8b 基板、9 ステージ、10 レーザー光、11 透過光(0次回折光)、12 1次回折光、13 +1次回折光、14 −1次回折光、20 光学素子、21 微細構造、22 ランダム光。
Claims (16)
- レーザー光源から出射してマスタを通過したレーザー光で被露光体を露光して、前記被露光体の表面に所定の露光パターンを形成する微細構造の作製方法であって、
前記マスタは、前記レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に周期性を有する1次元凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、前記マスタを通過したレーザー光が前記被露光体の表面で干渉することにより所定の干渉パターンを生じるように形成され、前記レーザー光は直線偏光であって、該直線偏光の偏光方位は該凹凸形状の溝と平行であり、前記マスタと前記被露光体は接触しておらず、
前記干渉パターンにより、前記被露光体を露光することを特徴とする微細構造の作製方法。 - 前記レーザー光源から出射したレーザー光が、前記マスタの法線に対して斜め方向からマスタに入射し、該マスタによってレーザー光が少なくとも1つの回折光を含む複数のビームに分岐されることを特徴とする請求項1記載の微細構造の作製方法。
- 前記レーザー光源から出射したレーザー光が、前記マスタの法線に対して平行にマスタに入射し、該マスタによってレーザー光が少なくとも2つの回折光を含む複数のビームに分岐されることを特徴とする請求項1記載の微細構造の作製方法。
- 前記マスタより発生させた前記所定の干渉パターンを、前記被露光体の裏面から照射することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- 前記被露光体に感光性レジストが塗布されており、該感光性レジストを露光することにより所定の露光パターンを形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- 前記感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、リフトオフによって微細構造を作製することを特徴とする請求項5記載の微細構造の作製方法。
- 前記感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、エッチングによって微細構造を作製することを特徴とする請求項5記載の微細構造の作製方法。
- 前記感光性レジストに所定の露光パターンを形成した後に、無電解めっきによって微細構造を作製することを特徴とする請求項5記載の微細構造の作製方法。
- 前記微細構造は、無機物からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- 前記微細構造は、金属からなることを特徴とする請求項9記載の微細構造の作製方法。
- 前記レーザー光源から出射したレーザー光を、前記マスタ上で走査することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- 前記レーザー光源から出射したレーザー光を、前記マスタに対して固定して被露光体を一括露光することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- 前記レーザー光の波長が、500nm以下であることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の微細構造の作製方法。
- レーザー光源から出射してマスタを通過したレーザー光で被露光体が露光され、前記被露光体の表面に所定の露光パターンが形成される微細構造の作製装置であって、
前記マスタと前記被露光体は、スペーサーによって互いに固定されており、
前記マスタは、前記レーザー光に対して透明で、少なくとも一つの表面に凹凸形状が形成されており、該凹凸形状は、1次元格子を形成し、前記マスタを通過したレーザー光を前記被露光体の表面で干渉させることにより所定の干渉パターンが生じるように形成され、
前記レーザー光源から出射されたレーザー光が前記マスタに入射する際に、レーザー光の偏光方向が前記1次元格子を形成する凹凸形状と平行である直線偏光にし、
前記マスタを通過したレーザー光が、光学素子で集光されずに直接被露光体を露光するようにしたことを特徴とする微細構造の作製装置。 - 前記マスタ及び前記被露光体は平板状であって、前記マスタと前記被露光体は平行に配置されることを特徴とする請求項14記載の微細構造の作製装置。
- 請求項14又は15に記載の微細構造の作製装置で作成された微細構造を有することを特徴とする光学素子。
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JP2011081154A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Hitachi Ltd | 光学素子および光学装置 |
-
2004
- 2004-03-18 JP JP2004078264A patent/JP2005266283A/ja not_active Withdrawn
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