JP2005265441A - デジタルホログラフィを利用した変位分布計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、デジタルホログラムを再生する際、窓関数を用いて再生する。再生に当たり、変形前後のデータから物体表面の強度分布及び位相分布を求める。窓領域を単位として、変形前後の強度和を求め、強度和が最大となる画素の変形前後の位相差を当該画素における位相差とする。この処理を全画素について行い、物体全体の変形前後の位相差を求める。強度和が最大の窓領域のデータを用いることにより、一番明るい窓領域のデータを用いることになり、スペックルパターンに起因するノイズの影響を大幅に低減することができる。
【選択図】図1
Description
実験力学論文集,Vol.3 No2「位相シフトデジタルホログラフィを用いた面外変位計測」,2003年6月 Opt.Eng.42(5) 「Measurement of surface shape and deformation by phase-shifting image digital holography」2003年5月
さらに、本発明の別の目的は、分解能が低下することなく物体表面の位相分布を計測できる変位分布計測方法を提供することにある。
さらに、本発明の別の目的は、デジタルホログラムから鮮明な画像を再生する画像再生方法を提供することにある。
第1の状態から変形又は変位した第2の状態において、参照光の位相を所定量だけシフトさせながら前記物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞を記録して第2の状態におけるデジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態のデジタルホログラムに窓関数を用いて再生し、複数の窓領域について、第1の状態の強度分布及び位相分布を画素毎に求める工程と、
前記第2の状態におけるデジタルホログラムに前記窓関数と同一の窓関数を用いて再生し、複数の窓領域について、第2の状態の強度分布及び位相分布を画素毎に求める工程と、
前記第1の状態の強度分布と第2の状態の強度分布との強度和を各画素毎に各窓領域を単位として求める工程と、
前記第1の状態の位相分布と第2の状態の位相分布との間の位相差を各画素毎に求める工程と、
前記求められた強度和が最大となる窓領域の前記第1の状態の位相と第2の状態の位相との位相差を各画素毎に求める工程とを具えることを特徴とする。
Ao(x,y)=ao(x,y)exp{iφo(x,y)} (1)
Ar(x,y)=ar(x,y)exp[i{φr(x,y)+α}] (2)
ここで、ao(x,y),ar(x,y)は振幅分布、φo(x,y),φr(x,y)は位相分布、αはピエゾステージに取り付けたミラーにより変化させる参照光の位相シフト量で、α=0,π/2、π,3π/2である。
Ia(x,y)=ao(x,y)ar(x,y)cos{φo(x,y)-φr(x,y)-α} (3)
参照光に平行光を用いるために記録面での振幅は一定で位相の変化はなく、式(4)より記録面での物体光のみの振幅ao(x,y)が得られ、式(5)の関係式より位相φo(x,y)を求めることができる。ここで、x及びyは記録面における位置座標を規定する。
この位相と振幅より記録面での複素振幅分布g(x,y)を求めると次式のようになる。
g(x,y)=ao(x,y)exp{iφo(x,y)} (6)
次式にフレネル変換することにより得られ再生面における複素振幅を示す式を式(7)として示す。尚、X及びYは再生面における位置座標を示す。
ここで、u(X,Y)は再生面での複素振幅分布、Rは記録面と再生面の距離、kは波数(k=2π/λ)、Fはフーリエ変換を表す演算子である。この再生面の複素振幅分布の強度を求めることで再生像を得ることができる。式(7)のu(X,Y)について絶対値をとることにより、再生面における各画素の強度を得ることができ、偏角を求めることにより各画素の位相値が求められる。本発明では、再生処理において、記録面の強度分布及び位相分布を用い変位ないし変形前後の変位分布を位相情報として求める。
ホログラフィ干渉法の概念図を図3に示す。変形ないし変位前の物体光をAo(x,y)、変形後の物体光をA’o(x,y)とするとそれぞれ次式で表現できる。
Ao(x,y)=ao(x,y)exp{iφo(x,y)} (8)
A’o(x,y)=a’o(x,y)exp{iφ’o(x,y)} (9)
与えた変形が微小であれば、変形前と変形後の物体光の振幅の変化はなく、位相のみが変化するとみなすことができ、振幅と位相はそれぞれ次式で表すことができる。
a’o(x,y)=ao(x,y) (10)
φ’o(x,y)=φo(x,y)+Δφ(x,y) (11)
ここで、φo(x,y)は変形前の位相分布を示し、φ’o(x,y)は変形後の位相分布を示し、Δφ(x,y)は変形前後における位相変化量の分布を示す。また、物体表面の変形前後の変位量dと位相変化との関係は次式で表すことができる。
ここで、λは計測光の波長である。
φ=2πΔL/λ
注入電流を変化させた後の波長をλ+Δλとしたときの干渉縞の位相φ’は、以下の式で表すことができる。
φ’=2πΔL/(λ+Δλ)
位相φと位相φ’はそれぞれ注入電流を変化させる前及び変化後の位相である。注入電流を変化させてシフトする位相量Δφは、位相φと位相φ’との間の位相差であるため、
Δφ=φ−φ’
=2πΔL[1/λ−1/(λ+Δλ)]
と表すことができる。従って、Δλは注入電流の変化量で決定されるため、注入電流の変化により参照光を発生させる光学素子を機械的に変位させることなく位相シフトが可能になる。本発明では、半導体レーザの注入電流の変化を利用した位相シフト法により位相シフトさせながら干渉縞を記録して位相シフトデジタルホログラムを作成し、このデジタルホログラムを用い微細に変化する物体表面の画像再生或いは物体表面の微小な変位を計測する。
2 エキスパンダ
3 コリメータレンズ
4 ビームスプリッタ
5 物体
6 CCDカメラ
7 PZTステージ
8 ミラー
10 半導体レーザ
11 エキスパンダ光学系
12 楔
13 物体
14 CCDカメラ
15 ビームスプリッタ
Claims (6)
- 物体の像を位相シフトデジタルホログラフィによりデジタルホログラムとして記録し、記録したデジタルホログラムから物体の変位分布ないし変形分布を位相情報として計測する変位分布計測方法において、
第1の状態において、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第1の状態におけるデジタルホログラムを作成する工程と、
第1の状態から変形又は変位した第2の状態において、参照光の位相を所定量だけシフトさせながら前記物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録して第2の状態におけるデジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態のデジタルホログラムに窓関数をかけて再生し、複数の窓領域について、第1の状態の強度分布及び位相分布を画素毎に求める工程と、
前記第2の状態におけるデジタルホログラムに前記窓関数と同一の窓関数をかけて再生し、複数の窓領域について、第2の状態の強度分布及び位相分布を画素毎に求める工程と、
前記第1の状態の位相分布と第2の状態の位相分布との間の位相差を各画素毎に各窓領域を単位として求める工程と、
前記第1又は第2の状態の各画素の強度、又は第1の状態の強度と第2の状態の強度との強度和に基づいて前記位相差を各画素毎に選択する工程とを具えることを特徴とする変位分布計測方法。 - 請求項1に記載の変位分布計測方法において、さらに、前記第1の状態の強度分布と第2の状態の強度分布との強度和を各画素毎に各窓領域を単位として求める工程を有し、前記第1又は第2の状態の各画素の強度を用いる代わりに前記強度和を用い、求めた強度和に基づいて前記位相差を各画素毎に選択することを特徴とする変位分布計測方法。
- 請求項2に記載の変位分布計測方法において、前記求められた強度和が最大となる窓領域の画素を選択し、選択した画素における前記第1の状態の位相と第2の状態の位相との位相差を各画素毎に求める工程とを具えることを特徴とする変位分布計測方法。
- 請求項1又は2に記載の変位分布計測方法において、前記第1又は第2の状態の各画素の強度、又は第1の状態の各画素の強度と第2の状態の各画素の強度との強度和の大きさが上位m個(mは2以上の自然数)の窓領域を選択し、これら窓領域の画素について、強度又は強度和を重み付けに用いて求められた位相差の平均値を選択することを特徴とする変位分布計測方法。
- 前記第1の状態の強度分布及び位相分布を求める工程並びに第2の状態の強度分布及び位相分布を求める工程において、記録したデジタルホログラムから記録面における複素振幅分布を求め、求めた複素振幅分布をフレネル変換して再生面における複素振幅分布を求め、求めた再生面における複素振幅分布から強度分布及び位相分布を求めることを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の変位分布計測方法。
- 物体の像を位相シフトデジタルホログラフィによりデジタルホログラムとして記録し、記録したデジタルホログラムから物体の再生画像を得る画像再生方法において、
参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら物体の像を2次元撮像装置により撮像し、干渉縞をデジタルデータとして記録してデジタルホログラムを作成する工程と、
前記第1の状態のデジタルホログラムに窓関数をかけて再生し、複数の窓領域について、強度分布を画素毎に求める工程と、
前記複数の窓領域について、各画素の強度が最大となる窓領域の画素の強度値を選択して全体画像を再生することを特徴とする画像再生方法。
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