JP2005263538A - Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this - Google Patents
Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005263538A JP2005263538A JP2004076222A JP2004076222A JP2005263538A JP 2005263538 A JP2005263538 A JP 2005263538A JP 2004076222 A JP2004076222 A JP 2004076222A JP 2004076222 A JP2004076222 A JP 2004076222A JP 2005263538 A JP2005263538 A JP 2005263538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic sheet
- ceramic
- composite ceramic
- polyolefin
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、例えば積層セラミックコンデンサ等の製造に用いられる、複合セラミックシートの製造方法およびこれを用いたセラミック電子部品の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a composite ceramic sheet used for producing a multilayer ceramic capacitor, for example, and a method for producing a ceramic electronic component using the same.
図2は一般的な積層セラミックコンデンサ11の一部断面斜視図であり、セラミック誘電体層12と内部電極13とが交互に積層されて積層体を構成し、内部電極13はその端面が積層体の対向する両端面に交互に露出するよう積層されており、積層体の両端面に形成された一対の外部電極14に交互に接続されている。
FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view of a general multilayer ceramic capacitor 11, in which ceramic
以下に従来の積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。 A conventional method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor will be described below.
まず、セラミック誘電体層12となるチタン酸バリウムを主成分とする誘電体粉末にポリエチレンを添加して形成したセラミックシートを作製し、この上に印刷法により導電体層13となる金属ペーストを所望の形状に印刷する。次にこの導電体層13を作製したセラミックシートを導電体層13がセラミックシートを挟んで交互に対向するように複数枚積層して積層体を得る。
First, a ceramic sheet formed by adding polyethylene to dielectric powder mainly composed of barium titanate to be the ceramic
その後、この積層体を焼成し、導電体層13が露出した両端面に外部電極14を形成していた。
Then, this laminated body was baked, and the
なお、この出願の発明に関連し、キャリアシートを使用せずに原料から直接グリーンシートを作る方法に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
上記のようにポリエチレンをバインダとしてセラミックシートを形成した場合、一般的に用いられているポリエステルフィルムなどのキャリアシート上にセラミックスラリーを塗工(キャスティング)して得られる生シートと比較して、キャリアシートが不要であることや10μm以下の厚みであってもセラミックシートが単独で取扱いができるほどに高強度であるといった利点がある一方で、セラミックシート中に存在する空隙の比率が大きくなりやすく、金属ペーストを直接セラミックシートに印刷すると、金属成分がセラミックシートの内部まで浸入することとなる。また、バインダがポリエチレンであるため、セラミックシートの接着力が低く、積層時の加熱、加圧条件を精密にコントロールしなければ内部構造欠陥が発生しやすいという課題も有していた。 When a ceramic sheet is formed using polyethylene as a binder as described above, the carrier is compared with a raw sheet obtained by coating (casting) a ceramic slurry on a carrier sheet such as a commonly used polyester film. While there is an advantage that the sheet is unnecessary and the thickness is 10 μm or less, the ceramic sheet is strong enough to be handled alone, while the ratio of voids present in the ceramic sheet tends to be large, When the metal paste is printed directly on the ceramic sheet, the metal component penetrates into the ceramic sheet. Further, since the binder is polyethylene, the adhesive strength of the ceramic sheet is low, and there is a problem that internal structural defects are likely to occur unless the heating and pressurizing conditions during lamination are precisely controlled.
近年、積層セラミックコンデンサは高容量化を達成するために、セラミックシートの薄層化が図られており、高強度以外に金属成分の浸入を徹底的に抑制することが必要とされているが、これはセラミックシート中に浸入した金属成分によって導電体層間がショートし、積層セラミックコンデンサのショート不良を起こすという問題点を有しているからである。 In recent years, in order to achieve higher capacity of multilayer ceramic capacitors, the ceramic sheet has been made thinner, and it is necessary to thoroughly suppress the intrusion of metal components in addition to high strength. This is because there is a problem that the conductor layers are short-circuited by the metal component infiltrated into the ceramic sheet to cause a short circuit failure of the multilayer ceramic capacitor.
そこで本発明は薄層化したシートであっても、積層後にショート不良の少ない複合セラミックシートとその製造方法およびこれを用いたセラミック電子部品を提供することを目的とするものである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a composite ceramic sheet with few short-circuit defects after lamination, a manufacturing method thereof, and a ceramic electronic component using the same even if the sheet is thinned.
この目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。 In order to achieve this object, the present invention has the following configuration.
本発明の請求項1に記載の発明は、セラミック粉末とポリオレフィンとを含み内部に空隙を有するセラミックシートを準備する第1の工程と、少なくとも有機物を含むビヒクル溶液を準備する第2の工程と、前記セラミックシートの空隙部分および表面に前記ビヒクル溶液を充填する第3の工程とを備える複合セラミックシートの製造方法であり、得られたセラミックシートの上に金属ペーストを印刷したとしても金属成分がセラミックシート内に浸入することを抑制でき、この複合セラミックシートを使用したセラミック電子部品においてショート不良を著しく低減する複合セラミックシートを提供することができる。 The invention according to claim 1 of the present invention includes a first step of preparing a ceramic sheet containing ceramic powder and polyolefin and having voids therein, and a second step of preparing a vehicle solution containing at least an organic substance, A method of manufacturing a composite ceramic sheet comprising a void portion of the ceramic sheet and a third step of filling the vehicle solution on the surface, and the metal component is ceramic even if a metal paste is printed on the obtained ceramic sheet. It is possible to provide a composite ceramic sheet that can suppress intrusion into the sheet and significantly reduce short-circuit defects in a ceramic electronic component using the composite ceramic sheet.
請求項2に記載の発明は、セラミック粉末とポリオレフィンとを含み内部に空隙を有するセラミックシートを準備する第1の工程と、少なくとも有機物を含むビヒクル溶液を準備する第2の工程と、前記セラミックシート上に前記ビヒクル溶液を塗布する第3の工程と、第3の工程により得られる複合セラミックシート上に導電体層を形成する第4の工程と、この導電体層が前記複合セラミックシートを挟んで対向するように複数枚積層して積層体を得る第5の工程と、この積層体を焼成する第6の工程とを備えるセラミック電子部品の製造方法であり、ショート不良の少ないセラミック電子部品を提供することができる。
The invention according to
請求項3及び4に記載の発明は、有機物は少なくともポリビニルブチラール樹脂を含有することを特徴とし、高強度でかつ高密度な複合セラミックシートの製造方法を提供することができ、またショート不良の少ないセラミック電子部品を提供することができるものである。 The invention described in claims 3 and 4 is characterized in that the organic substance contains at least a polyvinyl butyral resin, can provide a method for producing a high-strength and high-density composite ceramic sheet, and has few short-circuit defects. A ceramic electronic component can be provided.
請求項5及び6に記載の発明は、有機物は、セラミック粉末とポリオレフィンとを含み内部に空隙を有するセラミックシートを溶解しないものであることを特徴とし、高強度でかつ高密度な複合セラミックシートの製造方法を提供することができ、またショート不良の少ないセラミック電子部品を提供することができるものである。
The invention according to
請求項7に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを加熱、加圧し空隙を減少させる工程を設ける請求項1に記載の複合セラミックシートの製造方法であり、ポリオレフィンを含有するセラミックシートは約60体積%の空隙を有しており、ビヒクル塗工後、セラミックシートを加熱、加圧することで空隙を15体積%〜35体積%にまで削減することができる。このことにより、高強度、高密度なセラミックシートを作製することができるものである。 Invention of Claim 7 provides the process of heating and pressurizing the composite ceramic sheet obtained at a 1st process and reducing a space | gap before the 2nd process of preparing the vehicle to apply | coat. This is a method for producing a composite ceramic sheet. A ceramic sheet containing polyolefin has a void of about 60% by volume. After coating the vehicle, the ceramic sheet is heated and pressurized to form a void of 15% to 35% by volume. % Can be reduced. As a result, a high-strength, high-density ceramic sheet can be produced.
請求項8に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを加熱、加圧し空隙を減少させる工程において、複合セラミックシートを2本のロール間に挟んで加熱、加圧する請求項7に記載の複合セラミックシートの製造方法であり、複合セラミックシートを連続的に加熱、加圧することができるため量産性良く高強度、高密度なセラミックシートを作製することができる。 According to an eighth aspect of the present invention, in the step of heating and pressurizing the composite ceramic sheet obtained in the first step before the second step of preparing the vehicle to be coated to reduce the voids, two composite ceramic sheets are provided. A method for producing a composite ceramic sheet according to claim 7, wherein the composite ceramic sheet is heated and pressed by being sandwiched between rolls, and the composite ceramic sheet can be continuously heated and pressed. A sheet can be produced.
請求項9に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを2本のロール間に挟んで加熱、加圧し空隙を減少させる工程において、2本のロールのうち一方の温度はポリオレフィンの軟化点の温度以上でありかつもう一方のロールの温度はポリオレフィンの軟化点の温度以下である請求項8に記載の複合セラミックシートの製造方法であり、複合セラミックシートを切らすことなく高い温度で連続的に加熱、加圧することができるため量産性良く高強度、高精度なセラミックシートを作製することができる。 The invention according to claim 9 is a step of reducing the voids by heating and pressurizing the composite ceramic sheet obtained in the first step between two rolls before the second step of preparing the vehicle to be applied. 9. The method for producing a composite ceramic sheet according to claim 8, wherein one of the two rolls has a temperature equal to or higher than a softening point of the polyolefin and a temperature of the other roll equal to or lower than the softening point of the polyolefin. In addition, since the composite ceramic sheet can be continuously heated and pressed at a high temperature without being cut, a high-strength and high-precision ceramic sheet can be produced with high mass productivity.
請求項10に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを加熱、加圧し空隙を減少させる工程を設ける請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法であり、高強度、高密度なセラミックシートを作製することができ、ショート不良の少ないセラミック電子部品を提供することができるものである。 Invention of Claim 10 provides the process of heating and pressurizing the composite ceramic sheet obtained at a 1st process and reducing a space | gap before the 2nd process of preparing the vehicle to apply | coat. This is a method for producing a ceramic electronic component, which can produce a high-strength, high-density ceramic sheet and can provide a ceramic electronic component with few short-circuit defects.
請求項11に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを加熱、加圧し空隙を減少させる工程において、複合セラミックシートを2本のロール間に挟んで加熱、加圧する請求項10に記載のセラミック電子部品の製造方法であり、量産性良く高強度、高密度なセラミックシートを作製することができ、ショート不良の少ないセラミック電子部品を量産性良く提供することができるものである。 According to the eleventh aspect of the present invention, in the step of heating and pressurizing the composite ceramic sheet obtained in the first step before the second step of preparing the vehicle to be coated to reduce the voids, two composite ceramic sheets are provided. A method for producing a ceramic electronic component according to claim 10, wherein the ceramic electronic component is heated and pressurized by being sandwiched between rolls, and a ceramic sheet having a high strength and a high density can be produced with high mass productivity, and the short-circuit defect is small. Can be provided with high productivity.
請求項12に記載の発明は、塗布するビヒクルを準備する第2の工程の前に第1の工程で得られる複合セラミックシートを2本のロール間に挟んで加熱、加圧し空隙を減少させる工程において、2本のロールのうち一方のロールの温度はポリオレフィンの軟化点の温度以上でありかつもう一方のロールの温度はポリオレフィンの軟化点の温度以下である請求項11に記載の複合セラミックシートの製造方法であり、複合セラミックシートを切らすことなく高い温度で連続的に加熱、加圧することができるため量産性良く高強度、高密度なセラミックシートを作製することができ、ショート不良の少ないセラミック電子部品を量産性良く提供することができるものである。
The invention according to
請求項13〜14に記載の発明は、ポリオレフィンが網目構造でかつポリオレフィンとセラミック粉末とが層状に存在する請求項1に記載の複合セラミックシートの製造方法及び請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法であり、シート強度が高く取扱いが容易であるとともにセラミックスラリーが均等に分布しやすくなるため、このシートを用いて積層した場合にショート不良をより低減できる複合セラミックシートの製造方法を提供することができ、また、ショート不良の少ないセラミック電子部品を提供することができるものである。
The invention according to any one of
本発明の複合セラミックシートは、セラミック粉末とポリオレフィンを含み、高強度であるが内部に空隙を持つセラミックシート表面に有機物を含むビヒクルを充填したので、高強度でかつ高密度のセラミックシートを作製することが可能となり、この上に金属ペーストを印刷しても金属成分がセラミックシート内に浸入することを抑制することができるので、ショート不良を抑制でき、電子部品の歩留まりの向上に絶大なる効果をもたらすものである。さらに接着性の高いビヒクルの充填により、セラミックシートの接着力を著しく向上させることができ、従ってデラミネーションなどの内部構造欠陥の発生をも抑制できるものである。 The composite ceramic sheet of the present invention contains ceramic powder and polyolefin, and has a high strength but a ceramic sheet surface having voids inside, and is filled with a vehicle containing organic matter, so that a high strength and high density ceramic sheet is produced. It is possible to suppress the intrusion of metal components into the ceramic sheet even if a metal paste is printed on this, so that it is possible to suppress short-circuit defects and greatly improve the yield of electronic components. Is what it brings. Further, the filling of the highly adhesive vehicle can remarkably improve the adhesive strength of the ceramic sheet, and therefore can suppress the occurrence of internal structural defects such as delamination.
(実施の形態)
以下、一実施の形態を用いて、積層セラミックコンデンサを例に本発明の特に請求項1〜14に記載の発明について説明する。
(Embodiment)
Hereinafter, the invention according to the first to fourteenth aspects of the present invention will be described using an embodiment as an example of a multilayer ceramic capacitor.
図1は、本発明の一実施の形態におけるセラミックシートの作製工程を示す断面図であり、その構成は、チタン酸バリウム粉末、ポリエチレンを主成分とするセラミックシート1表面を加熱、加圧ローラー2によって処理してセラミックシート中の空隙を減少させた後、バインダ樹脂、可塑材、溶剤からなるビヒクル溶液3を転写ローラー4で塗布してセラミックシート表面の空隙および表面上に上記ビヒクル溶液からなる有機物5を充填し、乾燥機6で乾燥することで空隙が少なく高強度を有する複合セラミックシート7を得るものである。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a production process of a ceramic sheet according to an embodiment of the present invention. The construction is such that the surface of a ceramic sheet 1 mainly composed of barium titanate powder and polyethylene is heated and a
まず、重量平均分子量が400,000のポリエチレン樹脂と平均粒径0.5μmのチタン酸バリウムを主成分とするセラミック原料粉末とを用いて厚み3μmのセラミックシート1を準備する。このセラミックシート1は空隙率65%、空隙の80%以上が0.1μm以上の直径を持つ空隙であり、また超高分子量のポリオレフィン樹脂が網目構造に配向し、ポリエチレン樹脂とフィラーの役目を果たすセラミック粉末とが層状に存在する、いわゆるマトリックス的な組織構造を有しているために高強度である。さらに樹脂とセラミック粉末が層状に存在する構造のため、シート厚みが薄くなっても、セラミックスラリーを支持フィルム上に塗工して得られる一般的なセラミックシートに見られるようなピンホールなどの欠陥が少ない。 First, a ceramic sheet 1 having a thickness of 3 μm is prepared using a polyethylene resin having a weight average molecular weight of 400,000 and a ceramic raw material powder mainly composed of barium titanate having an average particle diameter of 0.5 μm. This ceramic sheet 1 is a void having a porosity of 65%, 80% or more of the voids having a diameter of 0.1 μm or more, and an ultra-high molecular weight polyolefin resin is oriented in a network structure to serve as a polyethylene resin and a filler. The ceramic powder has a high strength because it has a so-called matrix structure in which the ceramic powder is present in layers. Furthermore, because of the structure in which the resin and ceramic powder are present in layers, defects such as pinholes found in general ceramic sheets obtained by coating ceramic slurry on a support film even when the sheet thickness is reduced Less is.
上記セラミックシートを加熱、加圧ローラー2を用いて両面から加圧してセラミックシートの空隙率を25%に低減させる。
The ceramic sheet is heated and pressed from both sides using the
加熱、加圧ローラーの上部ローラーの温度は130〜150℃、下部ローラーの温度は80〜120℃の範囲で行う。 The temperature of the upper roller of the heating and pressure roller is 130 to 150 ° C, and the temperature of the lower roller is 80 to 120 ° C.
加熱、加圧ローラーの温度はポリエチレンの軟化温度130℃より高い方が空隙率を低下させやすいがセラミックシートが加圧により切れやすくなるため、下部ローラーの温度をポリエチレンの軟化温度より低くすることでセラミックシートを切れにくくすることができる。 When the temperature of the heating and pressure roller is higher than the softening temperature of polyethylene of 130 ° C, the porosity tends to decrease, but the ceramic sheet is likely to be cut by pressurization, so the temperature of the lower roller is made lower than the softening temperature of polyethylene. The ceramic sheet can be made difficult to cut.
加熱、加圧ローラーによりセラミックシートに加える圧力としてはローラー長さ当たりにして100〜300kg/cmの範囲で行う。 The pressure applied to the ceramic sheet by the heating and pressure roller is in the range of 100 to 300 kg / cm per roller length.
加圧により、セラミックシートが高密度化し、幅方向に伸びが発生する場合があるが、厚みばらつきが発生しない範囲であれば問題ない。しかしながら、圧力があまりにも高すぎる場合にはシートが破損してしまうもので、100〜200kg/cmがより好ましい。 Pressurization may increase the density of the ceramic sheet and cause elongation in the width direction, but there is no problem as long as thickness variation does not occur. However, if the pressure is too high, the sheet will be damaged, and 100 to 200 kg / cm is more preferable.
一方、ポリビニルブチラール樹脂、フタル酸エステル、酢酸ブチルなどの溶剤からなるビヒクル溶液3を作製する。ポリビニルブチラール樹脂は塊状になりやすいために、あらかじめビヒクルを1μm以下の径を持つフィルタを用い、濾過し、塊状の樹脂を除去しておくことが好ましい。 On the other hand, a vehicle solution 3 made of a solvent such as polyvinyl butyral resin, phthalate ester, or butyl acetate is prepared. Since polyvinyl butyral resin tends to be agglomerated, it is preferable to filter the vehicle in advance using a filter having a diameter of 1 μm or less to remove the agglomerated resin.
ビヒクル溶液3中の溶剤はポリエチレン樹脂を溶解しないものであり、またビヒクル溶液3中の有機成分のうち、少なくとも1種類はポリエチレン樹脂よりも低温で軟化するものを混入させることが重要である。 The solvent in the vehicle solution 3 does not dissolve the polyethylene resin, and it is important to mix at least one organic component in the vehicle solution 3 that softens at a lower temperature than the polyethylene resin.
この構成とすることによりセラミックシートの性状を均一に保ち、かつ積層時のシート同士の接着性に優れるセラミックシートを作製することができる。 By setting it as this structure, the ceramic sheet | seat which maintains the property of a ceramic sheet | seat uniformly and is excellent in the adhesiveness of the sheet | seat at the time of lamination | stacking can be produced.
次に、転写ローラー4を用いて、このビヒクル溶液をセラミックシート1にローラー転写して塗布を行い、両面表面部分の空隙及び表面にビヒクル液より成る有機物5を充填して、乾燥する。この時、ビヒクルの濃度、粘度やローラー周速とセラミックシートの相対速度などによって有機物5の充填量をコントロールすることができ、以上のような条件の選択により有機物5をセラミックシート100重量%に対して4重量%充填する。
Next, this vehicle solution is roller-transferred onto the ceramic sheet 1 using the transfer roller 4 and coated, and the
また、乾燥後の複合セラミックシート7に溶剤が残存していると、積層時にシートに伸びが発生するので全セラミックシート中の残存溶剤が1重量%以下となるように、乾燥を行わなければならない。 Further, if the solvent remains in the composite ceramic sheet 7 after drying, the sheet is stretched at the time of lamination. Therefore, the drying must be performed so that the residual solvent in the entire ceramic sheet is 1% by weight or less. .
乾燥後のセラミックシートの空隙率は2%〜10%程度に減少させることができる。このシート上に導電体層となるニッケルペーストをパターン状に印刷し、乾燥させる。ニッケルペースト中にはニッケル粉末の他、ポリビニルブチラールやアクリルなどの樹脂成分と酢酸ブチルなどの溶剤成分が含有されている。 The porosity of the ceramic sheet after drying can be reduced to about 2% to 10%. A nickel paste to be a conductor layer is printed on the sheet in a pattern and dried. In addition to nickel powder, the nickel paste contains a resin component such as polyvinyl butyral and acrylic and a solvent component such as butyl acetate.
ニッケル粉末の粒径は0.1μm〜0.4μmの範囲である。 The particle size of the nickel powder is in the range of 0.1 μm to 0.4 μm.
また、本発明の方法を用いない、従来の方法による比較例として上記空隙率が65%のセラミックシートに同様にニッケルペーストをパターン状に印刷したものを作製した。 Further, as a comparative example by a conventional method without using the method of the present invention, a ceramic sheet having a porosity of 65% was similarly printed with a nickel paste in a pattern.
このニッケルペーストが印刷された上記2種類の複数のセラミックシートを準備し、おのおの150枚積み重ね100℃、10MPaの条件で積層を行う。積層時の温度は、有機物5が軟化する温度以上、分解温度以下で行うことができる。
The two types of ceramic sheets printed with the nickel paste are prepared, and each of the 150 sheets is stacked and stacked under the conditions of 100 ° C. and 10 MPa. The temperature at the time of lamination | stacking can be performed above the temperature which the
さらに、90℃〜150℃、10MPa〜60MPaの範囲で本加圧を行う。このときの温度は有機物5の軟化点より高い温度以上であり、かつポリエチレン樹脂の軟化点より20℃高い温度を超えない温度範囲で行うことが重要である。また本加圧の方式としては静水圧プレスが好ましい。
Furthermore, this pressurization is performed in the range of 90 ° C. to 150 ° C. and 10 MPa to 60 MPa. It is important that the temperature at this time is higher than the softening point of the
次にこの2種類の積層体を3.2mm×1.6mmに切断し、窒素および水素を用いて1300℃で焼成し、焼結体の両端面に銅外部電極、ニッケルメッキ処理および錫メッキ処理を施し、積層セラミックコンデンサ試料が得られる。 Next, the two types of laminates are cut into 3.2 mm × 1.6 mm, fired at 1300 ° C. using nitrogen and hydrogen, and copper external electrodes, nickel plating treatment, and tin plating treatment on both end faces of the sintered body. To obtain a multilayer ceramic capacitor sample.
焼成後のセラミック層の厚みを測定すると、いずれの試料も2.5μmであった。 When the thickness of the ceramic layer after firing was measured, all the samples were 2.5 μm.
上記2種類の積層セラミックコンデンサについて、絶縁抵抗計を用いて測定電圧が10Vで抵抗値が106Ω以下のものをショートしているものと判断し、測定試料中に占めるショート試料個数をショート率とし、このショート率の比較を(表1)に示す。 For the above two types of multilayer ceramic capacitors, use an insulation resistance meter to determine that the measured voltage is 10V and the resistance value is 10 6 Ω or less. The comparison of the short-circuit rate is shown in (Table 1).
(表1)より、本発明の場合には、十分にショート率を低減させていることが分かる。また、従来の方式において発生したショート箇所を解析してみるとセラミック層をニッケルが貫通していることが確かめられており、本発明におけるショート率の低減はこのようなニッケルの貫通を抑制したためであることが裏付けられた。また、本発明の実施の形態における試料では、焼結体の内部にデラミネーションなどの欠陥は見られなかったが、従来の方法による比較例の試料では、100個中15個のデラミネーションが見られた。 (Table 1) shows that the short-circuit rate is sufficiently reduced in the present invention. In addition, when analyzing the short-circuited portion generated in the conventional method, it is confirmed that nickel penetrates the ceramic layer, and the reduction of the short-circuit rate in the present invention is due to the suppression of such nickel penetration. It was confirmed that there was. Further, in the sample according to the embodiment of the present invention, no defects such as delamination were observed inside the sintered body, but in the sample of the comparative example obtained by the conventional method, 15 of 100 delaminations were observed. It was.
なお、本実施の形態においては焼成後のセラミックの厚みが2.5μmであったが、焼成後の厚みが3μm以下で特に2μm以下の場合においてショート率の低減に効果を顕著に発揮するものである。 In this embodiment, the thickness of the fired ceramic is 2.5 μm. However, when the thickness after firing is 3 μm or less and particularly 2 μm or less, the effect of reducing the short-circuit rate is remarkably exhibited. is there.
また、本実施の形態ではセラミックシート1の両面にビヒクル液より成る有機物5を充填したが、有機物5がセラミックシート1の表または裏の片面に形成された場合でも同様の効果が得られる。さらに、ビヒクル液中にセラミックシートを含浸させた後表面のビヒクル液をふき取ってセラミックシート内部のみにビヒクル液より成る有機物を充填した場合や、また、転写工法を用いてセラミックシートの表面のみに有機物を充填した場合においても、上記と同様の効果が得られる。
In the present embodiment, both surfaces of the ceramic sheet 1 are filled with the
ビヒクル溶液としては、有機物からなるものを用いたが、ビヒクル中にセラミック粉末を含むものでもよい。 As the vehicle solution, an organic material is used, but the vehicle may contain ceramic powder.
また、ポリオレフィンとしてポリエチレン樹脂を用いた実施の形態を説明したが、ポリエチレン樹脂に限定されるものではなく、例えばポリプロピレンなどのポリオレフィン樹脂を用いた場合でも同様の効果が得られる。 Moreover, although embodiment using polyethylene resin as polyolefin was described, it is not limited to polyethylene resin, For example, the same effect is acquired even when polyolefin resin, such as a polypropylene, is used.
また、積層セラミックコンデンサを例に説明したが、バリスタ、サーミスタ、多層基板、フィルタなどのセラミック電子部品においても同様の効果が得られる。 Further, the multilayer ceramic capacitor has been described as an example, but the same effect can be obtained in a ceramic electronic component such as a varistor, thermistor, multilayer board, or filter.
本発明にかかる複合セラミックシートは、高強度でかつ高密度のセラミックシートを作製することが可能であり、この上に金属ペーストを印刷しても金属成分がセラミックシート内に浸入することを抑制することができるので、ショート不良を抑制できるという効果を有し、積層構造を有する電子部品等に有用である。 The composite ceramic sheet according to the present invention can produce a high-strength and high-density ceramic sheet, and even if a metal paste is printed thereon, the metal component is prevented from entering the ceramic sheet. Therefore, it has the effect of suppressing short-circuit defects and is useful for electronic parts having a laminated structure.
1 セラミックシート
2 加熱、加圧ローラー
3 ビヒクル溶液
4 転写ローラー
5 有機物
6 乾燥機
7 複合セラミックシート
11 積層セラミックコンデンサ
12 セラミック誘電体層
13 導電体層
14 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (14)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004076222A JP2005263538A (en) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004076222A JP2005263538A (en) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005263538A true JP2005263538A (en) | 2005-09-29 |
Family
ID=35088469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004076222A Pending JP2005263538A (en) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005263538A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104387087A (en) * | 2014-10-29 | 2015-03-04 | 安徽省皖捷液压科技有限公司 | Fluorite slag and medical stone composite ceramic nozzle and production method thereof |
-
2004
- 2004-03-17 JP JP2004076222A patent/JP2005263538A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104387087A (en) * | 2014-10-29 | 2015-03-04 | 安徽省皖捷液压科技有限公司 | Fluorite slag and medical stone composite ceramic nozzle and production method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5540450B2 (en) | Conductive paste composition for internal electrode, multilayer ceramic electronic component using the same, and manufacturing method thereof | |
JP2011204849A (en) | Method of manufacturing laminated ceramic electronic component | |
JP2001044071A (en) | Manufacture of ceramic electronic component | |
JP2005263538A (en) | Method for manufacturing composite ceramic sheet and method for manufacturing ceramic electronic parts using this | |
JP3042464B2 (en) | Manufacturing method of ceramic electronic components | |
JP2004179349A (en) | Laminated electronic component and its manufacturing method | |
JP4702972B2 (en) | Multilayer electronic component and manufacturing method thereof | |
KR100694922B1 (en) | Electronic device of ceramic | |
JPH1092226A (en) | Conductive composition | |
JP2005104769A (en) | Composite ceramic sheet, method for producing the same, and method for producing ceramic electronic component using the same | |
JP4483237B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
JP2001101926A (en) | Conductive paste, and laminated ceramic capacitor and method for manufacturing it | |
JP2005029411A (en) | Composite ceramic sheet, method for producing the same, and method for producing ceramic electronic component by using the same | |
JP3196713B2 (en) | Manufacturing method of ceramic electronic components | |
JP3527668B2 (en) | Manufacturing method of ceramic electronic components | |
JP3538348B2 (en) | Manufacturing method of ceramic electronic components | |
JP2004095687A (en) | Laminated ceramic capacitor and its manufacturing method | |
JP3720550B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor | |
JP2003017357A (en) | Method of manufacturing laminated ceramic electronic component | |
JP2002313673A (en) | Method of manufacturing ceramic electronic component | |
JP3042463B2 (en) | Manufacturing method of ceramic electronic components | |
JP3114513B2 (en) | Manufacturing method of laminated electronic components | |
JP2005310870A (en) | Method of manufacturing ceramic electronic component | |
KR20130069680A (en) | Conductive paste composition for inner electrode and multilayer ceramic capacitor using the same | |
JPS6258646B2 (en) |