JP2005259810A - 熱電素子内蔵の半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板に形成される熱電素子とを備える。この熱電素子は、半導体基板に形成される第1導電型領域と、第1導電型領域の一端に電気的に接続される1次電極と、第1導電型領域の他端に電気的に接続される2次電極とを備える。このような構成の半導体装置では、1次電極と2次電極との間に流れる電流によって発生する温度差を用いて、半導体基板の少なくとも一部に対して、冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施すことが可能になる。
【選択図】 図1
Description
特に、電子製品の冷却機構として、バルク型の熱電材料を用いたペルチェ素子がよく知られている。この種のバルク型ペルチェ素子は、被冷却物(ICパッケージなど)の外表面に、熱伝導率の高いペーストなどを介して貼り付けて使用される。
さらに、この薄膜型ペルチェ素子に、微細な被冷却物を確実に貼り付けることは難しく、『確実な接着方法』、『接着箇所の機械的歪みや機械的強度』、および『接着コスト』といった問題を解決しなければならなかった。
請求項1の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板に形成される熱電素子とを備える。
この熱電素子は、半導体基板に形成される第1導電型領域と、第1導電型領域の一端に電気的に接続される1次電極と、第1導電型領域の他端に電気的に接続される2次電極とを備える。このような構成の半導体装置では、1次電極と2次電極との間に流れる電流によって温度差が発生する。この温度差を用いて、半導体基板の少なくとも一部に対して、冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施すことが可能になる。
請求項2の発明は、請求項1の半導体装置において、熱電素子が、第2導電型領域、および3次電極を更に備える。
第2導電型領域は、2次電極と電気的に接続され、半導体基板に形成される。
3次電極は、第2導電型領域と電気的に接続される。
このような構成の半導体装置では、1次電極と3次電極との間に流れる電流によって発生する温度差を用いて、半導体基板の少なくとも一部に冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施すことが可能になる。
請求項3の発明は、請求項2の半導体装置において、第1導電型領域と2導電型領域との間に、電気的に分離する機能を有する接合分離を設けたことを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項2の半導体装置において、第1導電型領域と2導電型領域との間に、電気的に分離する機能を有するトレンチ構造を設けたことを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれか1項の半導体装置において、半導体基板に複数の熱電素子が形成され、複数の熱電素子が熱的にカスケード接続されていることを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項5の半導体装置において、半導体基板の面方向に複数の熱電素子が形成され、面方向に延在する熱伝導部を介して、複数の熱電素子が熱的にカスケード接続されていることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項1ないし請求項6のいずれか1項の半導体装置において、半導体基板には、熱電素子と熱的に接続された半導体回路が少なくとも一つ形成される。熱電素子が発生する温度差を用いて、この半導体回路に冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施す。
請求項8の発明は、請求項7の半導体装置において、半導体基板の温度を計測する温度センサと、温度センサの計測温度に応じて熱電素子に流す電流を変更して、半導体回路の温度をコントロールする温度制御回路とを備えたことを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項7または請求項8の半導体装置において、半導体回路は、遮光膜を備えた撮像素子回路であり、熱電素子を遮光膜に熱的に接続し、遮光膜を介して、撮像素子回路を冷却、熱流発生、または温度コントロールすることを特徴とする。
請求項10の発明は、請求項1ないし請求項9のいずれか1項の半導体装置において、熱電素子に発生する不要な熱量を、半導体基板の外部に排出する熱出力端子を備えたことを特徴とする。
請求項11の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板に形成される熱電素子とを備える。
熱電素子は、半導体基板に形成される第1導電型領域と、第1導電型領域の一端に電気的に接続される1次電極と、第1導電型領域の他端に電気的に接続される2次電極とを備える。このような構成の半導体装置は、1次電極と2次電極との間にかかる温度差を電気エネルギーに変換することが可能になる。
図1は、第1の実施形態における熱電素子2の平面図である。
図2[A]は、図1に示すD−D′部の断面図である。
図2[B]は、図1に示すE−E′部の断面図である。
図2[C]は、図1に示すF−F′部の断面図である。
以下、これらの図に基づいて、熱電素子2の構造について説明する。
まず、シリコンなどのN型半導体基板1に、P型ウェル3が形成される。このP型ウェル3の領域内に、N+型不純物領域4が形成される。一方、P型ウェル3の領域外に、N+型不純物領域4と平行するように、P+型不純物領域5が形成される。
このような不純物領域4,5の上面は、絶縁層15によって覆われる。N+型不純物領域4の一端には、この絶縁層15に設けたコンタクトホール6を介して、1次電極7がオーミック接触する。また、N+型不純物領域4の他端には、絶縁層15のコンタクトホール8を介して2次電極9がオーミック接触する。また、この2次電極9は、絶縁層15のコンタクトホール10を介して、P+型不純物領域5の一端にオーミック接触する。さらに、P+型不純物領域5の他端は、絶縁層15のコンタクトホール11を介して3次電極12にオーミック接触する。
なお、電極7,9,12の材料としては、アルミニウム,銅,タングステン,チタニウム,およびこれらの合金や化合物などが好ましい。
以下、発明と本実施形態との対応関係について説明する。なお、ここでの対応関係は、参考のために一解釈を例示するものであり、本発明を徒らに限定するものではない。
請求項記載の半導体基板は、N型半導体基板1に対応する。
請求項記載の熱電素子は、熱電素子2に対応する。
請求項記載の第1導電型領域は、N+型不純物領域4に対応する。
請求項記載の1次電極は、1次電極7に対応する。
請求項記載の2次電極は、2次電極9に対応する。
請求項記載の第2導電型領域は、P+型不純物領域5に対応する。
請求項記載の3次電極は、3次電極12に対応する。
請求項記載の接合分離は、N+型不純物領域4とP型ウェル3とのPN接合に対応する。
上記構成の熱電素子2を用いて、N型半導体基板1に熱流を発生させる場合、1次電極7をプラスにし、3次電極12をマイナスにした極性の電圧Vを、電流源回路や電圧源回路や温度制御回路などの駆動部から印加する。
この極性の電圧Vでは、N+型不純物領域4とP型ウェル3との間のPN接合が逆バイアスされ電気的に分離される。すると、P+型不純物領域5とN+型不純物領域4との間に内在するPNPNサイリスタ構造は逆阻止状態に安定する。その結果、不純物領域の間に漏れ電流は殆ど流れない。
したがって、上記極性の電圧Vの印加により、下記の経路を辿って電流が流れる。
このようなキャリア移動に伴って、2次電極9側を吸熱側とし、1次電極7および3次電極12側を加熱(放熱)側とする熱流がN型半導体基板1内に強制的に発生する。すなわち、熱電素子2は、あたかも熱のポンプ(ヒートポンプ)のように働く。
上記構成の熱電素子2に『熱から電気へのエネルギー変換』を発生させる場合、2次電極9を低温側に配置し、1次電極7および3次電極12側を高温側に配置すればよい。この温度差により生じる熱流によって、N+型不純物領域4内の多数キャリアである電子は、1次電極7側から2次電極9側へ拡散移動する。一方、P+型不純物領域5内の多数キャリアであるホールも、3次電極12側から2次電極9側へ拡散移動する。このような電荷移動に伴って、1次電極7をプラスとし、3次電極12(2次電極9)をマイナスとした電位差が発生する。
また、この電位差を半導体回路の駆動電圧やリファレンス電圧などに使用することにより、半導体装置の省電力化を図ることも可能になる。
図3は、第2の実施形態における熱電素子22の平面図である。
図4[A]は、図3に示すH−H′部の断面図である。
図4[B]は、図3に示すI−I′部の断面図である。
図4[C]は、図3に示すJ−J′部の断面図である。
以下、これらの図に基づいて、熱電素子22の構造について説明する。
まず、熱電素子22は、SOI半導体基板21に形成される。ここでは、SOI半導体基板21として、信越化学工業株式会社製のUNIBOND(登録商標)ウェハを使用する。このウェハは、表面下に埋込絶縁層34が設けられ、その埋込絶縁層34の上にシリコン単結晶の表面層が設けられる。
さらに、本実施形態では、トレンチ構造31の内壁や底に、酸化シリコンなどの絶縁膜31aを設け、その溝内にポリシリコンなどを充填している。
一方、P型不純物区画43は、P型不純物領域33と、その中央に設けた不純物濃度の更に高いP+型不純物領域5とから構成される。
このような不純物区画42,43の上面は、絶縁層15によって覆われる。N+型不純物領域4の一端には、この絶縁層15に設けたコンタクトホール6を介して、1次電極7がオーミック接触する。また、N+型不純物領域4の他端には、絶縁層15のコンタクトホール8を介して2次電極9がオーミック接触する。また、この2次電極9は、絶縁層15のコンタクトホール10を介して、P+型不純物領域5の一端にオーミック接触する。さらに、P+型不純物領域5の他端は、絶縁層15のコンタクトホール11を介して3次電極12にオーミック接触する。
以下、発明と本実施形態との対応関係について説明する。なお、ここでの対応関係は、参考のために一解釈を例示するものであり、本発明を徒らに限定するものではない。
請求項記載の半導体基板は、SOI半導体基板21に対応する。
請求項記載の熱電素子は、熱電素子22に対応する。
請求項記載の第1導電型領域は、N+型不純物領域4またはN型不純物区画42に対応する。
請求項記載の1次電極は、1次電極7に対応する。
請求項記載の2次電極は、2次電極9に対応する。
請求項記載の第2導電型領域は、P+型不純物領域5またはP型不純物区画43に対応する。
請求項記載の3次電極は、3次電極12に対応する。
請求項記載のトレンチ構造は、トレンチ構造31に対応する。
熱電素子22も、第1の実施形態と同様に、2次電極9を冷却側とし、1次電極7および3次電極12を加熱(放熱)側とする熱流をSOI半導体基板21内に発生させることができる。したがって、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
熱電素子22も、第1の実施形態と同様に、温度差を与えることによって電位差を発生させることができる。したがって、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
さらに、熱電素子22では、トレンチ構造31によって漏れ電流を防いでいるため、3次電極12側をプラス、1次電極7側をマイナスとした電位差を発生させても、熱電素子22には漏れ電流は発生しない。
したがって、2次電極9を高温側に配置し、1次電極7および3次電極12側を低温側に配置することも可能となり、正負の温度差を検出することが可能になる。
図5は、第3の実施形態における熱電モジュール50の平面図である。
図6は、図5に示すA−A′部の断面図である。
以下、これらの図に基づいて、熱電モジュール50の構造について説明する。
まず、熱電モジュール50は、上述した熱電素子22と同一タイプの熱電素子51〜53から構成される。
この内、熱電素子51と熱電素子52とは、隣り合う3次電極と1次電極とを1枚の電極54で兼ねることで、電気的に直列接続される。この直列接続に両端の電極55,または電極56から電流を流すと、熱電素子51,52それぞれの熱流が略同一の向きに近接して発生し、幅の広い熱流が生成される。
この熱流の最上流に位置する熱電素子53の2次電極74は、絶縁膜59を介して、金属膜などの熱伝導部75に熱的に接続される。この熱伝導部75は面方向に延在され、温度コントロールの対象である半導体回路Zと熱的に接続される。
本実施形態では、半導体基板60の面方向に熱伝導部58,72を延在させて、熱電素子の電極57,70,71,73に部分的に重ねることにより、従来無かった熱電素子の2次元的なカスケード接続を実現している。
図7は、第4の実施形態における、熱電素子を内蔵した撮像素子130の外観図である。
図8は、この撮像素子130の半導体基板120を示す平面図である。
以下、これらの図に基づいて、撮像素子130の構造について説明する。
まず、半導体基板120上には、受光素子群や転送回路などからなる撮像素子回路100が形成される。この撮像素子回路100を覆うように、金属膜などの遮光膜110がパターン形成される。この遮光膜110は、転送回路などの余計な入射光を遮るものである。
なお、熱出力端子133の出力熱の余剰分Taについては、電子カメラの筐体部や放熱フィンや放熱器や冷却機構などを介して外界に排熱される。
なお、上述した実施形態では、説明を簡明にするため、導電型および電流の向きを明記した。しかしながら、本発明はこれらの導電型や電流の向きに限定されるものではない。導電型や電流の向きを変更しても勿論かまわない。
2 熱電素子
3 P型ウェル
4 N+型不純物領域
5 P+型不純物領域
6,8,10,11 コンタクトホール
7 1次電極
9 2次電極
12 3次電極
15 絶縁層
21 SOI半導体基板
22 熱電素子
31 トレンチ構造
31a 絶縁膜
32 N型不純物領域
33 P型不純物領域
34 埋込絶縁層
42 N型不純物区画
43 P型不純物区画
50 熱電モジュール
51,52,53 熱電素子
57 1次電極
58,72,75 熱伝導部
59 絶縁膜
60 半導体基板
70,73,74 2次電極
77 トレンチ構造
100 撮像素子回路
101,102 熱電モジュール
105 温度制御回路
110 遮光膜
111,112 熱出力端子
120 半導体基板
130 撮像素子
131 フィルタカバー
133 熱出力端子
Z 半導体回路
D 温度センサ
Claims (11)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成される熱電素子とを備え、
前記熱電素子は、
前記半導体基板に形成される第1導電型領域と、
前記第1導電型領域の一端に電気的に接続される1次電極と、
前記第1導電型領域の他端に電気的に接続される2次電極と
を有し、
前記1次電極と前記2次電極との間に流れる電流によって発生する温度差を用いて、前記半導体基板の少なくとも一部に対して、冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施す
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記熱電素子は、
前記2次電極と電気的に接続され、前記半導体基板に形成される第2導電型領域と、
前記第2導電型領域と電気的に接続される3次電極とを更に備え、
前記1次電極と前記3次電極との間に流れる電流によって発生する温度差を用いて、前記半導体基板の少なくとも一部に冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施す
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記第1導電型領域と前記2導電型領域との間に、電気的に分離する機能を有する接合分離を設けた
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記第1導電型領域と前記2導電型領域との間に、電気的に分離する機能を有するトレンチ構造を設けた
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記半導体基板に複数の前記熱電素子が形成され、
複数の前記熱電素子が熱的にカスケード接続される
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記半導体基板の面方向に複数の前記熱電素子が形成され、
前記面方向に延在する熱伝導部を介して、複数の前記熱電素子が熱的にカスケード接続される
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記半導体基板には、前記熱電素子と熱的に接続された半導体回路が少なくとも一つ形成され、
前記熱電素子が発生する温度差を用いて、前記半導体回路に冷却、加熱、熱流発生、または温度コントロールを施す
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記半導体基板の温度を計測する温度センサと、
前記温度センサの計測温度に応じて前記熱電素子に流す電流を変更して、前記半導体回路の温度をコントロールする温度制御回路と
を備えたことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項7または請求項8に記載の半導体装置において、
前記半導体回路は、遮光膜を受光面に備えた撮像素子回路であり、
前記熱電素子を前記遮光膜に熱的に接続し、
前記遮光膜を介して、前記撮像素子回路を冷却、熱流発生、または温度コントロールする
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記熱電素子に発生する不要な熱量を、半導体基板の外部に排出する熱出力端子を備えた
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板に形成される熱電素子とを備え、
前記熱電素子は、
前記半導体基板に形成される第1導電型領域と、
前記第1導電型領域の一端に電気的に接続される1次電極と、
前記第1導電型領域の他端に電気的に接続される2次電極と、
を有し、
前記1次電極と前記2次電極との間にかかる温度差を電気エネルギーに変換する
ことを特徴とする熱電素子内蔵の半導体装置。
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