JP2005259573A - Organic el panel and its manufacturing method - Google Patents

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Ikuo Kobayashi
郁夫 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a durable inexpensive organic EL element which prevents moisture or gas discharged from a color filter from penetrating, and also to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: The organic EL panel comprises a substrate, a color changing layer, a barrier layer containing ITO, a first electrode containing ITO, an organic layer containing a light emitting layer, and a second electrode accumulated in order on the substrate. The barrier layer and the first electrode are formed by a spattering method using the same ITO deposition apparatus. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、少なくとも一方が透光性の一対の電極によって少なくとも発光層を含む有機層を挟持してなる有機EL(electro luminescence)素子を基板上に配設し、前記有機EL素子を覆う封止部材を前記基板に接合してなる有機ELパネルとその製造方法に関するものである。   In the present invention, an organic EL (electroluminescence) element formed by sandwiching an organic layer including at least a light emitting layer by a pair of translucent electrodes, at least one of which is disposed on a substrate, and sealing the organic EL element The present invention relates to an organic EL panel formed by bonding a member to the substrate and a manufacturing method thereof.

有機EL素子を用いた表示器としての有機ELパネルは、自発光素子であるためバックライト照明が不要であり、それゆえ薄型化が可能で、視野角が広く、大型表示パネルに適することから実用化が進められている。   An organic EL panel as a display using an organic EL element is a self-luminous element and does not require backlighting. Therefore, it can be thinned, has a wide viewing angle, and is suitable for a large display panel. Is being promoted.

フルカラーで表示する有機ELパネルには、色変換の方法としてCCM(color changing media)方式やカラーフィルタ方式がとられる。CCM層(以下、CCMとする)やカラーフィルタは、総じて色変換層とされる。CCM方式は青色発光の有機EL素子を用いて、青色発光の光を緑色に、青色発光の光を赤色に、色変換する蛍光体からなるCCMを有機ELパネルに設けたものである。カラーフィルタ方式は、白色発光の有機EL素子を用いて、赤緑青の三原色からなるカラーフィルタを有機ELパネルに設けるものである。色変換層であるCCMやカラーフィルタを基板上に形成すると、各色のパターンごとに段差が生じるため、色変換層上に平坦化するための有機物質からなる平坦化層を設ける。   For organic EL panels displaying in full color, a CCM (color changing media) method or a color filter method is used as a color conversion method. The CCM layer (hereinafter referred to as CCM) and the color filter are generally color conversion layers. The CCM system uses a blue light emitting organic EL element, and a CCM made of a phosphor that converts blue light to green, blue light to red, and color conversion is provided on the organic EL panel. In the color filter method, a white light emitting organic EL element is used, and a color filter composed of three primary colors of red, green, and blue is provided on an organic EL panel. When a CCM or color filter which is a color conversion layer is formed on a substrate, a step is generated for each color pattern. Therefore, a flattening layer made of an organic material for flattening is provided on the color conversion layer.

有機物質からなる前記色変換層及び平坦化層は、有機ELパネルを駆動すると、駆動により発生する熱によって、水分やアウトガスを放出する。この水分やアウトガスは、有機EL素子にダメージを与え、非発光部であるダークスポット発生の原因となり、有機EL素子の寿命を短くする。   When the organic EL panel is driven, the color conversion layer and the flattening layer made of an organic material release moisture and outgas by heat generated by the driving. This moisture or outgas damages the organic EL element, causes dark spots that are non-light emitting portions, and shortens the life of the organic EL element.

そのため、特許文献1に開示されるように、酸化ケイ素を用いたバリア層によって色変換層を覆うことで、有機物質から発生する水分やアウトガスから有機EL素子を防御している。
特開平11−260562号公報
Therefore, as disclosed in Patent Document 1, the color conversion layer is covered with a barrier layer using silicon oxide to protect the organic EL element from moisture and outgas generated from an organic substance.
JP-A-11-260562

しかしながら、フルカラー表示の有機ELパネルは、多層構造となるために、各層毎に形成材料及び製造設備を必要とし、製造コストが増すという問題があった。   However, since the organic EL panel for full color display has a multi-layer structure, there is a problem that a forming material and a manufacturing facility are required for each layer, and manufacturing cost increases.

本発明は、このような問題に鑑み、色変換層を用いた有機ELパネル及び有機ELパネルの製造方法において、ITO(indium tin oxide)を含有するバリア層を有し、安価かつ長寿命な有機ELパネル及び有機ELパネルの製造方法を提供することを目的とする。   In view of such problems, the present invention has a barrier layer containing ITO (indium tin oxide) in an organic EL panel using a color conversion layer and a method for manufacturing the organic EL panel, and is an inexpensive and long-life organic material. An object is to provide an EL panel and a method for manufacturing an organic EL panel.

本発明は、前記課題を解決するために、基板と、色変換層と、ITOを含有するバリア層と、ITOを含有する第一の電極と、発光層を含む有機層と、第二の電極と、を備えることを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention provides a substrate, a color conversion layer, a barrier layer containing ITO, a first electrode containing ITO, an organic layer containing a light emitting layer, and a second electrode. And.

また、本発明は、請求項2に記載したように、前記基板上に、前記色変換層と、前記バリア層と、前記第一の電極と、前記有機層と、前記第二の電極と、が順次積層形成される。   According to the present invention, the color conversion layer, the barrier layer, the first electrode, the organic layer, and the second electrode are formed on the substrate as described in claim 2. Are sequentially stacked.

また、本発明は、請求項3に記載したように、色変換層とバリア層とが順次積層される基板と、第一の電極と有機層と第二の電極とが順次積層される支持基板と、からなる有機ELパネルにおいて、前記バリア層と前記第二の電極が対向するように前記基板と前記支持基板とを配設する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a support substrate in which a color conversion layer and a barrier layer are sequentially stacked, and a first electrode, an organic layer, and a second electrode are sequentially stacked. The substrate and the support substrate are disposed so that the barrier layer and the second electrode face each other.

また、本発明は、請求項4に記載したように、前記色変換層と前記バリア層との間に平坦化層を備える。   According to a fourth aspect of the present invention, a planarization layer is provided between the color conversion layer and the barrier layer.

また、本発明は、請求項5に記載したように、前記バリア層と前記第一の電極との間に前記バリア層と前記第一の電極とを絶縁する絶縁層を備える。   Moreover, this invention is equipped with the insulating layer which insulates the said barrier layer and said 1st electrode between the said barrier layer and said 1st electrode, as described in Claim 5.

また、本発明は、請求項6に記載したように、前記バリア層はスパッタリング法によって設けられる。   In the present invention, the barrier layer is provided by a sputtering method.

また、本発明は、請求項7に記載したように、基板と、色変換層と、バリア層と、第一の電極と、発光層を含む有機層と、第二の電極と、を備える有機ELパネルの製造方法であって、基板上に形成された色変換層上にITO成膜装置を用いてITOを含有するバリア層を形成するバリア層形成工程と、バリア層上に前記ITO成膜装置を用いてITOを含有する第一の電極を形成する第一の電極形成工程と、を含む。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an organic apparatus comprising: a substrate; a color conversion layer; a barrier layer; a first electrode; an organic layer including a light emitting layer; and a second electrode. A method for manufacturing an EL panel, comprising: forming a barrier layer containing ITO on a color conversion layer formed on a substrate using an ITO film forming apparatus; and forming the ITO film on the barrier layer Forming a first electrode containing ITO using an apparatus.

また、本発明は、請求項8に記載したように、前記基板上に、前記色変換層と、前記バリア層と、前記第一の電極と、前記有機層と、前記第二の電極と、を順次積層形成することを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   According to the present invention, as described in claim 8, on the substrate, the color conversion layer, the barrier layer, the first electrode, the organic layer, the second electrode, The organic EL panel manufacturing method according to claim 7, wherein the layers are sequentially stacked.

また、本発明は、請求項9に記載したように、前記基板上に、前記色変換層と前記色変換層を覆う前記バリア層とを順次積層形成し、支持基板上に、前記第一の電極と前記有機層と前記第二の電極とを形成し、前記バリア層と前記第二の電極とが対向するように前記基板と前記支持基板とを接着剤を介して配設してなる。   According to the present invention, the color conversion layer and the barrier layer covering the color conversion layer are sequentially stacked on the substrate, and the first substrate is formed on the support substrate. An electrode, the organic layer, and the second electrode are formed, and the substrate and the support substrate are disposed via an adhesive so that the barrier layer and the second electrode face each other.

また、本発明は、請求項10に記載したように、前記色変換層と前記バリア層との間に平坦化層を形成する平坦化層形成工程を含む。   According to a tenth aspect of the present invention, the method includes a planarization layer forming step of forming a planarization layer between the color conversion layer and the barrier layer.

また、本発明は、請求項11に記載したように、前記バリア層形成工程と前記第一の電極形成工程との間に、前記バリア層と前記第一の電極とを絶縁する絶縁層を形成する絶縁層形成工程を含む。   According to the present invention, an insulating layer that insulates the barrier layer from the first electrode is formed between the barrier layer forming step and the first electrode forming step. Including an insulating layer forming step.

また、本発明は、請求項12に記載したように、前記ITO成膜装置は、スパッタリング装置である。    In the present invention, as described in claim 12, the ITO film forming apparatus is a sputtering apparatus.

本発明は、色変換層を備える有機ELパネルに関し、色変換層に含有される有機物質から発生する水分やアウトガスが有機EL素子に侵入することを抑制し、耐久性が高く、安価な有機ELパネルとその製造方法を提供する。   The present invention relates to an organic EL panel including a color conversion layer, and suppresses intrusion of moisture and outgas generated from an organic substance contained in the color conversion layer into an organic EL element, and has high durability and is inexpensive. A panel and its manufacturing method are provided.

以下、添付図面に基づいて、本発明の実施形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の第一の実施形態を示す断面図である。有機ELパネル1は、基板2に積層体3を形成したものである。積層体3は、カラーフィルタ4と、平坦化層5と、バリア層6と、絶縁層7と、有機EL素子8とからなる。有機EL素子8は、第一の電極9と、発光層を含む有機層10と、第二の電極11と、を順次積層形成してなるものである。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention. The organic EL panel 1 is obtained by forming a laminate 3 on a substrate 2. The laminate 3 includes a color filter 4, a planarizing layer 5, a barrier layer 6, an insulating layer 7, and an organic EL element 8. The organic EL element 8 is formed by sequentially laminating a first electrode 9, an organic layer 10 including a light emitting layer, and a second electrode 11.

基板2は、ガラス材料や透光性の樹脂材料からなるものであり、有機EL素子8を配設する。有機EL素子8から発光する光Lは、基板2側から放出される。   The substrate 2 is made of a glass material or a translucent resin material, and the organic EL element 8 is disposed on the substrate 2. The light L emitted from the organic EL element 8 is emitted from the substrate 2 side.

カラーフィルタ4は、赤色色素を有する赤色フィルタ4aと、緑色色素を有する緑色フィルタ4bと、青色色素を有する青色フィルタ4cと、からなるものであり、基板2上に、印刷法やフォトリソグラフィー法等によって形成されるものである。各フィルタ4a,4b,4cは、透光性の樹脂材料に前記各色素をそれぞれ溶解または分散させてなるものである。また、各フィルタ4a,4b,4cは厚さが異なって形成されるために、フィルタ毎に段差が生じる。この状態のまま積層していくと、電極や配線が切断される恐れがあるので、カラーフィルタ4上に各フィルタ4a,4b,4cを平坦化するための有機物質からなる平坦化層5を設ける。   The color filter 4 includes a red filter 4a having a red pigment, a green filter 4b having a green pigment, and a blue filter 4c having a blue pigment. On the substrate 2, a printing method, a photolithography method, or the like. Is formed. Each of the filters 4a, 4b, and 4c is formed by dissolving or dispersing the respective dyes in a translucent resin material. Moreover, since each filter 4a, 4b, 4c is formed in different thickness, a level | step difference arises for every filter. If the layers are laminated in this state, the electrodes and the wiring may be cut. Therefore, the planarizing layer 5 made of an organic material for planarizing the filters 4a, 4b, and 4c is provided on the color filter 4. .

平坦化層5は、例えば、アクリル樹脂等をカラーフィルタ4上に塗布し、スピンコート法やスリットコート法等により形成される。   For example, the planarizing layer 5 is formed by applying an acrylic resin or the like on the color filter 4 and spin coating or slit coating.

平坦化層5上には、ITOからなるバリア層6が形成される。バリア層6は、ITO成膜装置を用いてスパッタリング法により形成される。   On the planarizing layer 5, a barrier layer 6 made of ITO is formed. The barrier layer 6 is formed by sputtering using an ITO film forming apparatus.

バリア層6は、カラーフィルタ4及び平坦化層5の有機物質から発生する水分及びアウトガスが有機層10に侵入するのを防ぐ障壁の役割を果たす。ITOは、水分やアウトガスを吸収しない。そのため、水分やアウトガスがバリア層6を介して有機EL素子8に侵入することがなく、有機EL素子8へのダメージを抑えることが可能となる。また、後で詳述する第一の電極9を形成するITO成膜装置と同じITO成膜装置によって同材料のITOを成膜するため、製造コストを抑えることが可能である。   The barrier layer 6 serves as a barrier that prevents moisture and outgas generated from the organic substances of the color filter 4 and the planarizing layer 5 from entering the organic layer 10. ITO does not absorb moisture or outgas. Therefore, moisture and outgas do not enter the organic EL element 8 through the barrier layer 6, and damage to the organic EL element 8 can be suppressed. In addition, since the same material ITO film is formed by the same ITO film forming apparatus that forms the first electrode 9 described later in detail, the manufacturing cost can be reduced.

絶縁層7は、例えば、アクリル樹脂等の絶縁材料からなり、フォトリソグラフィー法によって形成される。絶縁層7は、バリア層6と第一の電極9との絶縁を確保するために形成するものである。   The insulating layer 7 is made of an insulating material such as an acrylic resin, and is formed by a photolithography method. The insulating layer 7 is formed to ensure insulation between the barrier layer 6 and the first electrode 9.

陽極である第一の電極9は、バリア層6を形成したITO成膜装置と同じITO成膜装置を用いたスパッタリング法によりITOを絶縁層7上に積層してなる。   The first electrode 9 serving as an anode is formed by laminating ITO on the insulating layer 7 by a sputtering method using the same ITO film forming apparatus as that forming the barrier layer 6.

有機層10は、第一の電極9側から正孔注入層,正孔輸送層,発光層,電子輸送層及び電子注入層を蒸着法等によって順次積層形成され、膜厚100〜300nmの層状となるものである。本発明の実施形態にあっては、少なくとも発光層を有するものであればよい。   The organic layer 10 is formed by sequentially laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer from the first electrode 9 side by a vapor deposition method or the like. It will be. In the embodiment of the present invention, it is sufficient if it has at least a light emitting layer.

陰極である第二の電極11は、アルミニウム(Al)等の金属性の導電性材料を蒸着法やスパッタリング法等によって形成されるものであり、有機層10上に配設される。   The second electrode 11 that is a cathode is formed by depositing a metallic conductive material such as aluminum (Al) by vapor deposition or sputtering, and is disposed on the organic layer 10.

以上のように構成される有機ELパネル1は、バリア層6にITOを用いることでカラーフィルタ4及び平坦化層5から発生する水分及びアウトガスをバリア層6が障壁となって有機層10へ侵入することを抑制するため、有機EL素子8の長寿命化をはかることが可能となる。   The organic EL panel 1 configured as described above uses ITO as the barrier layer 6 so that moisture and outgas generated from the color filter 4 and the flattening layer 5 enter the organic layer 10 with the barrier layer 6 as a barrier. Therefore, it is possible to extend the lifetime of the organic EL element 8.

また、バリア層6及び第一の電極9において同材料のITOを用いることで、製造コストの低減が可能となる。   In addition, by using ITO of the same material for the barrier layer 6 and the first electrode 9, the manufacturing cost can be reduced.

また、バリア層6の形成工程及び第一の電極9の形成工程において、ITO成膜装置を共用とすることで、製造コストの低減が可能となる。   In addition, in the formation process of the barrier layer 6 and the formation process of the first electrode 9, it is possible to reduce the manufacturing cost by sharing the ITO film forming apparatus.

図2は、本発明の第二の実施形態を示す有機ELパネル1の断面図である。従来例及び第一の実施形態と同一もしくは相当箇所には同一符号を付し、その詳細な説明を省く。   FIG. 2 is a cross-sectional view of an organic EL panel 1 showing a second embodiment of the present invention. The same or corresponding parts as those in the conventional example and the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

有機ELパネル1は、封止部材である基板(以下、封止板とする)2と、積層体3と、支持基板12からなる。   The organic EL panel 1 includes a substrate (hereinafter referred to as a sealing plate) 2 that is a sealing member, a laminate 3, and a support substrate 12.

支持基板12は、ガラス材料からなる平板部材であり、有機EL素子8を支持する。   The support substrate 12 is a flat plate member made of a glass material, and supports the organic EL element 8.

有機EL素子8は、陽極である第一の電極9,有機層10及び陰極である第二の電極11からなり、封止基板12上に蒸着法等により積層形成される。第一の電極9には透光性の導電材料であるITOを用いる。   The organic EL element 8 includes a first electrode 9 serving as an anode, an organic layer 10 and a second electrode 11 serving as a cathode, and is formed on the sealing substrate 12 by a vapor deposition method or the like. The first electrode 9 is made of ITO, which is a translucent conductive material.

封止板2は、例えばガラス材料からなる平板部材をサンドブラスト,切削やエッチングにより、凹部13を形成してなるものである。封止板2の凹部13には、カラーフィルタ4,平坦化層5及びバリア層6が順次積層形成される。ITOを含有するバリア層6は、カラーフィルタ4及び平坦化層5を覆うように形成される。   The sealing plate 2 is formed by forming a recess 13 by sandblasting, cutting or etching a flat plate member made of, for example, a glass material. In the recess 13 of the sealing plate 2, the color filter 4, the planarization layer 5, and the barrier layer 6 are sequentially stacked. The barrier layer 6 containing ITO is formed so as to cover the color filter 4 and the planarization layer 5.

カラーフィルタ4,平坦化層5及びバリア層6が配設された封止板12は、例えば、紫外線硬化型の樹脂材料等からなる接着剤14を介して基板2上に気密的に配設され、封止板2と支持基板12とで積層体3を封止する。有機EL素子8で発光する光Lは、封止板2側から放出される。   The sealing plate 12 on which the color filter 4, the planarizing layer 5, and the barrier layer 6 are disposed is hermetically disposed on the substrate 2 via an adhesive 14 made of, for example, an ultraviolet curable resin material. The laminate 3 is sealed with the sealing plate 2 and the support substrate 12. The light L emitted from the organic EL element 8 is emitted from the sealing plate 2 side.

以上のように構成される有機ELパネル1は、ITOを含有するバリア層6を備えることで、カラーフィルタ4及び平坦化層5から発生する水分及びアウトガスが有機EL素子8に与えるダメージを抑制し、有機EL素子8の長寿命化をはかることが可能となる。   The organic EL panel 1 configured as described above includes the barrier layer 6 containing ITO, thereby suppressing damage to the organic EL element 8 caused by moisture and outgas generated from the color filter 4 and the planarization layer 5. It is possible to extend the life of the organic EL element 8.

また、バリア層6及び第一の電極9において同材料のITOを用いることで、製造コストの低減が可能となる。   In addition, by using ITO of the same material for the barrier layer 6 and the first electrode 9, the manufacturing cost can be reduced.

また、バリア層6の形成工程及び第一の電極9の形成工程において、ITO成膜装置を共用とすることで、製造コストの低減が可能となる。   In addition, in the formation process of the barrier layer 6 and the formation process of the first electrode 9, it is possible to reduce the manufacturing cost by sharing the ITO film forming apparatus.

なお、本発明の実施形態においては、カラーフィルタ4を用いたが、CCMでもよい。   In the embodiment of the present invention, the color filter 4 is used, but a CCM may be used.

また、本発明の実施形態においては、平坦化層5を設けたが、なくともよく任意である。   In the embodiment of the present invention, the planarization layer 5 is provided, but it is not necessary and is optional.

本発明の第一の実施形態を示す有機ELパネルの断面図。1 is a cross-sectional view of an organic EL panel showing a first embodiment of the present invention. 本発明の第二の実施形態を示す有機ELパネルの断面図。Sectional drawing of the organic electroluminescent panel which shows 2nd embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機ELパネル
2 基板(封止板)
4 色変換層(カラーフィルタ)
6 バリア層
9 第一の電極(陽極)
10 有機層
11 第二の電極(陰極)
12 支持基板
1 Organic EL panel 2 Substrate (sealing plate)
4 color conversion layer (color filter)
6 Barrier layer 9 First electrode (anode)
10 Organic layer 11 Second electrode (cathode)
12 Support substrate

Claims (12)

基板と、色変換層と、ITOを含有するバリア層と、ITOを含有する第一の電極と、発光層を含む有機層と、第二の電極と、を備えることを特徴とする有機ELパネル。   An organic EL panel comprising: a substrate; a color conversion layer; a barrier layer containing ITO; a first electrode containing ITO; an organic layer containing a light emitting layer; and a second electrode. . 前記基板上に、前記色変換層と、前記バリア層と、前記第一の電極と、前記有機層と、前記第二の電極と、が順次積層形成されることを特徴とする請求項1に記載の有機ELパネル。   2. The color conversion layer, the barrier layer, the first electrode, the organic layer, and the second electrode are sequentially stacked on the substrate. The organic EL panel described. 色変換層とバリア層とが順次積層される基板と、第一の電極と有機層と第二の電極とが順次積層される支持基板と、からなる有機ELパネルにおいて、
前記バリア層と前記第二の電極が対向するように前記基板と前記支持基板とを配設することを特徴とする有機ELパネル。
In an organic EL panel comprising a substrate in which a color conversion layer and a barrier layer are sequentially stacked, and a support substrate in which a first electrode, an organic layer, and a second electrode are sequentially stacked.
The organic EL panel, wherein the substrate and the support substrate are disposed so that the barrier layer and the second electrode face each other.
前記色変換層と前記バリア層との間に平坦化層を備えることを特徴とする請求項1または請求項3に記載の有機ELパネル。   The organic EL panel according to claim 1, further comprising a planarization layer between the color conversion layer and the barrier layer. 前記バリア層と前記第一の電極との間に前記バリア層と前記第一の電極とを絶縁する絶縁層を備えることを特徴とする請求項1または請求項3に記載の有機ELパネル。   The organic EL panel according to claim 1, further comprising an insulating layer that insulates the barrier layer and the first electrode between the barrier layer and the first electrode. 前記バリア層はスパッタリング法によって設けられることを特徴とする請求項1または請求項3に記載の有機ELパネル。   The organic EL panel according to claim 1, wherein the barrier layer is provided by a sputtering method. 基板と、色変換層と、バリア層と、第一の電極と、発光層を含む有機層と、第二の電極と、を備える有機ELパネルの製造方法であって、
基板上に形成された色変換層上にITO成膜装置を用いてITOを含有するバリア層を形成するバリア層形成工程と、バリア層上に前記ITO成膜装置を用いてITOを含有する第一の電極を形成する第一の電極形成工程と、を含むことを特徴とする有機ELパネルの製造方法。
An organic EL panel manufacturing method comprising a substrate, a color conversion layer, a barrier layer, a first electrode, an organic layer including a light emitting layer, and a second electrode,
A barrier layer forming step of forming a barrier layer containing ITO on the color conversion layer formed on the substrate using an ITO film forming device; and a first step of containing ITO on the barrier layer using the ITO film forming device. And a first electrode forming step of forming one electrode. A method for producing an organic EL panel, comprising:
前記基板上に、前記色変換層と、前記バリア層と、前記第一の電極と、前記有機層と、前記第二の電極と、を順次積層形成することを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   8. The color conversion layer, the barrier layer, the first electrode, the organic layer, and the second electrode are sequentially stacked on the substrate. Manufacturing method of organic EL panel. 前記基板上に、前記色変換層と前記色変換層を覆う前記バリア層とを順次積層形成し、支持基板上に、前記第一の電極と前記有機層と前記第二の電極とを形成し、前記バリア層と前記第二の電極とが対向するように前記基板と前記支持基板とを接着剤を介して配設してなることを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   The color conversion layer and the barrier layer covering the color conversion layer are sequentially laminated on the substrate, and the first electrode, the organic layer, and the second electrode are formed on a support substrate. The organic EL panel according to claim 7, wherein the substrate and the support substrate are disposed via an adhesive so that the barrier layer and the second electrode face each other. Method. 前記色変換層と前記バリア層との間に平坦化層を形成する平坦化層形成工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   The method of manufacturing an organic EL panel according to claim 7, further comprising a planarization layer forming step of forming a planarization layer between the color conversion layer and the barrier layer. 前記バリア層形成工程と前記第一の電極形成工程との間に、前記バリア層と前記第一の電極とを絶縁する絶縁層を形成する絶縁層形成工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   8. An insulating layer forming step of forming an insulating layer that insulates the barrier layer and the first electrode between the barrier layer forming step and the first electrode forming step. The manufacturing method of the organic electroluminescent panel of description. 前記ITO成膜装置は、スパッタリング装置であることを特徴とする請求項7に記載の有機ELパネルの製造方法。   The method for manufacturing an organic EL panel according to claim 7, wherein the ITO film forming apparatus is a sputtering apparatus.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2011040441A1 (en) * 2009-09-30 2011-04-07 大日本印刷株式会社 Heat-conductive sealing member and electroluminescent device
WO2017212540A1 (en) * 2016-06-07 2017-12-14 パイオニア株式会社 Light emitting device and substrate

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011040441A1 (en) * 2009-09-30 2011-04-07 大日本印刷株式会社 Heat-conductive sealing member and electroluminescent device
US9647242B2 (en) 2009-09-30 2017-05-09 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Heat-conductive sealing member and electroluminescent element
WO2017212540A1 (en) * 2016-06-07 2017-12-14 パイオニア株式会社 Light emitting device and substrate

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