JP2005253187A - 静電アクチュエータの駆動装置及び駆動方法 - Google Patents
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008052270A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー制御装置 |
JP2009022108A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Olympus Corp | 超音波モータ駆動回路及び超音波モータの駆動信号生成方法 |
JP2009244760A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー装置およびミラーアレイ |
JP2010146022A (ja) * | 2006-07-27 | 2010-07-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー制御装置 |
WO2015098294A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | オリンパス株式会社 | 硬度可変アクチュエータ |
JP2018063117A (ja) * | 2016-10-11 | 2018-04-19 | 矢崎総業株式会社 | 電圧センサ |
-
2004
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008052270A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー制御装置 |
JP2010146022A (ja) * | 2006-07-27 | 2010-07-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー制御装置 |
JP4537429B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2010-09-01 | 日本電信電話株式会社 | ミラー制御装置 |
JP2009022108A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Olympus Corp | 超音波モータ駆動回路及び超音波モータの駆動信号生成方法 |
JP2009244760A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ミラー装置およびミラーアレイ |
WO2015098294A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | オリンパス株式会社 | 硬度可変アクチュエータ |
JP2015123234A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | オリンパス株式会社 | 硬度可変アクチュエータ |
JP2018063117A (ja) * | 2016-10-11 | 2018-04-19 | 矢崎総業株式会社 | 電圧センサ |
US10422820B2 (en) | 2016-10-11 | 2019-09-24 | Yazaki Corporation | Voltage sensor |
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