JP2005249684A - 3次元形状測定装置、3次元形状測定方法および3次元形状測定プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 3次元形状測定装置1000では、カメラ36の光軸と正弦格子投影用プロジェクタ(31,32,33,34)の光軸は、投影する正弦格子に対し概直交する向きに少しの角度を与え設置し、投影する正弦格子の周期および位相を適当に設定できる構成である。周期の異なる複数の格子を用い、それぞれ位相を適当にシフトさせて投影した強度画像を撮影して、これら複数の画像からカメラ光軸方向の変位量を測定する位相シフト法を応用する。このうち一つの周期の格子から得た位相データを基本とし、他の格子から得た位相データを参照して、3次元形状を測定できるようにする。
【選択図】 図1
Description
なお、以下、測定対象物の測定により得られた拡張位相値と、光軸方向についての測定対象物の表面の基準平面からの変位量(z軸方向変位量)との関係について、以下に説明しておく。
ψ=Ψ−Φ …(H4)
である。したがって、式(H3)および(H4)よりz軸方向変位量hは、以下の式(H5)によって求めることができる。
[実施の形態1]
(本発明のシステム構成)
図1は、本発明の3次元形状測定装置1000の構成の一例を示すブロック図である。
以下、本発明の3次元形状測定装置1000の動作について、さらに詳しく説明する。
以下では、上述した「z軸方向変位量計算の方法」において使用したのと同様のノーテーションを使用して、測定対象物を平面と仮定すれば、十分である理由について説明する。
[実施の形態2]
上述した実施の形態1により、拡張位相値をより正確に求めることができる。
Claims (4)
- 一方向に正弦波的に光の強度が変化する正弦格子像を測定対象物に投影する投影手段と、
前記正弦格子の位相を変化させる位相変化手段と、
投影光軸と所定の角度をもって設置した光電変換手段を有し、前記測定対象物上に投影された前記正弦格子像を強度画像として撮影するための強度画像撮影手段と、
前記投影手段および前記位相変化手段を制御して、前記正弦格子の位相を変化させて、撮影した複数の前記強度画像を解析し、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記複数の強度画像の解析により得られた各画素の位相値から、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記測定対象物の3次元形状を取得するための制御解析手段とを備え、
前記制御解析手段は、
前記正弦格子の1本の縞毎に±πもしくは0〜2πの範囲で折り返す性質をもつ前記位相値について、周期の異なる複数の格子を使用して、それぞれの格子について縞解析を行い得られた前記位相値から、拡張位相値を得るために、前記強度画像内の任意の画素において、1の格子から得られた位相値がある値を取るとき、当該画素において、他の格子から得られる理論的位相値が、それぞれ原点からの前記1の格子の縞の本数に由来する有限個の値を取る性質を利用して、前記1の格子以外の、実測したそれぞれの格子の位相値が、それぞれの前記有限個の理論的位相値のうち、いずれの理論的位相値の近傍に存在するかにより特定の符号を与え、それぞれの格子の位相値から得られた符号列から、前記1の格子の位相値が前記1の格子の何番目の縞に属するものかを判別することにより、測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を測定することを特徴とする、3次元形状測定装置。 - 前記複数の格子から得られる格子縞投影像は、光学的伝達係数に由来する強度振幅の格子周期依存性によって、格子毎に強度振幅が異なる性質をもち、
前記1の格子から得られた各画素における強度の平均値を、他の格子の縞解析において、当該他の格子に対する強度の平均値として使用することを特徴とする、請求項1記載の3次元形状測定装置。 - 一方向に正弦波的に光の強度が変化する正弦格子像を測定対象物に投影するステップと、
前記正弦格子の位相を変化させるステップと、
投影光軸と所定の角度をもって設置した光電変換手段により、前記測定対象物上に投影された前記正弦格子像を強度画像として撮影するステップと、
前記投影手段および前記位相変化手段を制御して、前記正弦格子の位相を変化させて、撮影した複数の前記強度画像を解析し、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記複数の強度画像の解析により得られた各画素の位相値から、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記測定対象物の3次元形状を取得するステップとを備え、
前記3次元形状を取得するステップは、
前記正弦格子の1本の縞毎に±πもしくは0〜2πの範囲で折り返す性質をもつ前記位相値について、周期の異なる複数の格子を使用して、それぞれの格子について縞解析を行い得られた前記位相値から、拡張位相値を得るために、前記強度画像内の任意の画素において、1の格子から得られた位相値がある値を取るとき、当該画素において、他の格子から得られる理論的位相値が、それぞれ原点からの前記1の格子の縞の本数に由来する有限個の値を取る性質を利用して、前記1の格子以外の、実測したそれぞれの格子の位相値が、それぞれの前記有限個の理論的位相値のうち、いずれの理論的位相値の近傍に存在するかにより特定の符号を与えるステップと、
それぞれの格子の位相値から得られた符号列から、前記1の格子の位相値が前記1の格子の何番目の縞に属するものかを判別することにより、測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を測定するステップとを備えることを特徴とする、3次元形状測定方法。 - コンピュータに3次元形状の測定方法を実行させるための3次元形状測定プログラムであって、前記3次元形状測定プログラムは、
一方向に正弦波的に光の強度が変化する正弦格子像を測定対象物に投影し、前記正弦格子の位相を変化させて、投影光軸と所定の角度をもって設置した光電変換手段により、前記測定対象物上に投影された前記正弦格子像を強度画像として撮影するステップと、
前記投影手段および前記位相変化手段を制御して、前記正弦格子の位相を変化させて、撮影した複数の前記強度画像を解析し、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記複数の強度画像の解析により得られた各画素の位相値から、前記測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を求め、前記測定対象物の3次元形状を取得するステップとを備え、
前記3次元形状を取得するステップは、
前記正弦格子の1本の縞毎に±πもしくは0〜2πの範囲で折り返す性質をもつ前記位相値について、周期の異なる複数の格子を使用して、それぞれの格子について縞解析を行い得られた前記位相値から、拡張位相値を得るために、前記強度画像内の任意の画素において、1の格子から得られた位相値がある値を取るとき、当該画素において、他の格子から得られる理論的位相値が、それぞれ原点からの前記1の格子の縞の本数に由来する有限個の値を取る性質を利用して、前記1の格子以外の、実測したそれぞれの格子の位相値が、それぞれの前記有限個の理論的位相値のうち、いずれの理論的位相値の近傍に存在するかにより特定の符号を与えるステップと、
それぞれの格子の位相値から得られた符号列から、前記1の格子の位相値が前記1の格子の何番目の縞に属するものかを判別することにより、測定対象物表面の撮影光軸方向の変位量を測定するステップとを備える3次元形状の測定方法をコンピュータに実行させることを特徴とする、3次元形状測定プログラム。
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JP2004062755A JP2005249684A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 3次元形状測定装置、3次元形状測定方法および3次元形状測定プログラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102589479A (zh) * | 2012-03-06 | 2012-07-18 | 天津大学 | 三维形貌中心摄动复合光栅投影测量方法及装置 |
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JP2022022326A (ja) * | 2018-03-16 | 2022-02-03 | 日本電気株式会社 | 3次元形状計測装置、3次元形状計測方法、プログラム及び記録媒体 |
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2004
- 2004-03-05 JP JP2004062755A patent/JP2005249684A/ja active Pending
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