JP2005249481A - Attachment for analyzer and analyzer using it - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an analyzer capable of performing gas purge of an attachment simply and excellently. <P>SOLUTION: This attachment 12 for the analyzer provided detachably on a body 14 of the analyzer 10 is equipped with an optical system constituent member 18 for performing optical analysis together with the body 14. The attachment 12 for the analyzer is characterized as follows: the optical system constituent member 18 is provided; an attachment base 20 to be brought into contact with the analyzer body 14 when setting the attachment for the analyzer on the analyzer body 14 is provided; the attachment base 20 is provided with a purging hole 24 positioned on the periphery on an optical path 22 in the attachment 12 for the analyzer; and the periphery of the optical system constituent member 18 provided on the attachment base 20 is gas-purged through the purging hole 24 of the attachment base 20. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、分析装置用付属品及びそれを用いた分析装置、特に付属品のためのガスパージ機構の改良に関する。   The present invention relates to an accessory for an analyzer and an analyzer using the same, and particularly to an improvement in a gas purge mechanism for the accessory.

従来より、物質の定量分析ないし定性分析を行うため、赤外分光光度計等の分析装置が用いられている。
ところで、赤外領域の分析においては、物質のスペクトル波形に空気中の水蒸気による吸収ピークが重なることが多いので、空気中に存在する水蒸気等は、高精度なデータを取る上で厄介なものである。特に物質の微弱なピークを測定する際、空気中の水蒸気等の影響は、より深刻となる。したがって、赤外領域の分析においては、いかに空気中の水蒸気等の影響を取り除くかが精度の良いデータを取る上で重要である。
このため分析装置の中でも、特に赤外分析を行うものは、水蒸気等を効果的に除去するため、本体内をガスパージするガスパージ機構を持つ(特許文献1等)。従来は、パージ機構を使って、分析装置の本体内の全体をガスパージしながら、赤外領域の分析を行っている。
Conventionally, analyzers such as infrared spectrophotometers have been used to perform quantitative analysis or qualitative analysis of substances.
By the way, in the analysis in the infrared region, since the absorption peak due to water vapor in the air often overlaps the spectrum waveform of the substance, water vapor present in the air is troublesome to obtain highly accurate data. is there. In particular, when measuring a weak peak of a substance, the influence of water vapor in the air becomes more serious. Therefore, in the analysis in the infrared region, how to remove the influence of water vapor and the like in the air is important for obtaining accurate data.
For this reason, among the analyzers, those that perform infrared analysis in particular have a gas purge mechanism that purges the inside of the main body in order to effectively remove water vapor and the like (Patent Document 1, etc.). Conventionally, an infrared region analysis is performed using a purge mechanism while purging the entire main body of the analyzer.

ところで、分析装置においては、試料形態に応じた種々の測定法を行うため、本体試料室に付属品を着脱自在に設けている。
付属品をガスパージするため、従来は、本体試料室の全体をパージすることにより付属品も間接的にガスパージすることが考えられる。また従来は、本体試料室に付属品をセットした後、本体用のガス管とは別のガス管を付属品に設け、付属品の全体を直接ガスパージすることも考えられる。
特開平10−332574号公報
By the way, in the analyzer, accessories are detachably provided in the main body sample chamber in order to perform various measurement methods according to the sample form.
In order to gas purge the accessory, conventionally, it is considered that the accessory is also indirectly gas purged by purging the entire main body sample chamber. Conventionally, it is also conceivable that after the accessory is set in the main body sample chamber, a gas pipe different from the gas pipe for the main body is provided in the accessory, and the entire accessory is directly gas purged.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-332574

しかしながら、前記従来方式では、付属品のパージを、簡単に行うこと及び良好に行うことを同時に図ることが困難であった。
すなわち、前記本体試料室の全体をガスパージすることにより付属品も間接的にガスパージするものでは、パージの時間や純度の面で満足のゆくガスパージが行えるものではなかった。
一方、前記付属品の全体を直接ガスパージするものでは、本体試料室の全体をガスパージするものに比較しガスパージが良好に行えるものの、本体試料室に付属品を着脱するたびに、付属品に配管を設ける作業や、これを取り外す作業をしなければならないので、手間がかかり、コストも上がる。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は付属品のガスパージを、簡単に及び良好に行うことのできる分析装置を提供することにある。
However, in the conventional method, it has been difficult to purify accessories easily and well.
That is, if the accessories are indirectly gas purged by gas purging the entire main body sample chamber, gas purging which is satisfactory in terms of purge time and purity cannot be performed.
On the other hand, in the case where the entire accessory is directly purged with gas, the gas purging can be performed better than in the case where the entire body sample chamber is purged with gas. Since it is necessary to perform the work of installing or removing the work, it takes time and costs.
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object thereof is to provide an analyzer that can easily and satisfactorily perform a gas purge of accessories.

前記目的を達成するために本発明にかかる分析装置用付属品は、分析装置の本体に着脱自在に設けられ、前記本体と共に光学的な分析を行うための光学系構成部材を備えた分析装置用付属品において、付属品ベースを備える。前記分析装置の本体より、前記付属品ベースのパージ用孔を通して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲がガスパージされることを特徴とする。
ここで、前記付属品ベースは、前記光学系構成部材が設けられ、前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品をセットする際は前記分析装置の本体に接触させる。前記付属品ベースは、前記分析装置用付属品の中での光路上の近くに位置するところにパージ用孔が設けられる。
In order to achieve the above object, an accessory for an analyzer according to the present invention is detachably provided on a main body of an analyzer, and is used for an analyzer having an optical system component for performing optical analysis together with the main body. The accessory has an accessory base. The periphery of the optical system constituent member provided on the accessory base is purged from the main body of the analyzer through the purge hole of the accessory base.
Here, the accessory base is provided with the optical system constituent member, and when the analyzer accessory is set on the analyzer main body, the accessory base is brought into contact with the analyzer main body. The accessory base is provided with a purge hole at a location near the optical path in the accessory for the analyzer.

なお、前記分析装置用付属品において、パージケースを備える。前記分析装置の本体より、前記付属品ベースのパージ用孔を通して、前記パージケース内の光学系構成部材の周囲がガスパージされることが好適である。
ここで、前記パージケースは、前記光学系構成部材を密閉し、前記付属品ベースのパージ用孔と連通する。
また前記目的を達成するために本発明にかかる分析装置は、前記分析装置用付属品が着脱自在に設けられ、前記分析装置用付属品と共に光学的な分析を行うための本体を備えた分析装置であって、前記本体は、本体ベースと、付属品用のガス管と、を備える。前記本体ベースは、前記分析装置用付属品のパージ用孔の位置に対応する、前記本体の中での光路上の近くに位置するところに、パージ用孔が設けられる。前記分析装置用付属品の中での光路と前記本体の中での光路とが一致するように前記本体ベースと前記付属品ベースとを合わせて、前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品を置くと、前記本体ベースのパージ用孔と前記付属品ベースのパージ用孔との位置が一致し、前記付属品用ガス管よりのパージガスを、前記本体ベースのパージ用孔及び前記付属品ベースのパージ用孔を介して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲に導入することを特徴とする。
The accessory for an analyzer is provided with a purge case. It is preferable that the periphery of the optical system constituent member in the purge case is gas purged from the main body of the analyzer through the purge hole of the accessory base.
Here, the purge case seals the optical system component and communicates with the purge hole of the accessory base.
In order to achieve the above object, the analyzer according to the present invention is provided with the analyzer accessory in a detachable manner, and an analyzer provided with a main body for performing optical analysis together with the analyzer accessory And the said main body is provided with the main body base and the gas pipe | tube for accessories. The main body base is provided with a purge hole at a position near the optical path in the main body corresponding to the position of the purge hole of the accessory for the analyzer. The main body base and the accessory base are aligned so that the optical path in the accessory for the analyzer matches the optical path in the main body, and the accessory for the analyzer is attached to the main body of the analyzer , The purging hole of the main body base and the purging hole of the accessory base coincide with each other, and the purge gas from the accessory gas pipe is supplied to the purging hole of the main body base and the accessory base. It is introduced into the periphery of the optical system constituent member provided in the accessory base through the purge hole.

ここで、前記本体ベースは、前記付属品ベースと接触した状態で前記分析装置用付属品が置かれる。
また前記付属品用のガス管は、前記分析装置用付属品にパージガスを供給するためのものとする。
なお、前記分析装置において、前記本体に既存のガス本管を備える。前記付属品用ガス管は、前記ガス本管と前記本体ベースのパージ用孔とを連通する。前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品を置くと、前記ガス本管よりのパージガスを、前記付属品用ガス管、前記本体ベースのパージ用孔、及び前記付属品ベースのパージ用孔を介して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲に導入することが好適である。
ここで、前記ガス本管は、前記本体内をガスパージするパージガスを供給するためのものとする。
Here, the analyzer accessory is placed on the main body base in contact with the accessory base.
The accessory gas pipe is used to supply purge gas to the analyzer accessory.
In the analyzer, the main body is provided with an existing gas main. The accessory gas pipe communicates the gas main pipe with the purge hole of the main body base. When the accessory for the analyzer is placed on the main body of the analyzer, the purge gas from the gas main pipe is supplied to the accessory gas pipe, the purge hole for the main body base, and the purge hole for the accessory base. Therefore, it is preferable to introduce the optical system component around the accessory base.
Here, the gas main pipe is for supplying a purge gas for purging the inside of the main body.

本発明において付属品(分析装置の本体)の中での光路上の近くに位置するところの意味は、光路を遮る部分をいうものではなく、例えば図面上、付属品(分析装置の本体)を真上から見ると、光路上に孔がほぼ位置するように見えるが、実際には、孔の真上を光路が通っているものをいう。またここにいう光路上に孔がほぼ位置するとは、付属品(分析装置の本体)を真上から見ると、光路上に孔が完全に一致するもの、完全には一致しないが光路の近傍に位置するものを含めていう。   In the present invention, the meaning of being located near the optical path in the accessory (the main body of the analyzer) does not mean a portion that blocks the optical path. For example, the accessory (the main body of the analyzer) is indicated on the drawing. When viewed from directly above, it seems that the hole is almost located on the optical path, but in reality, it means that the optical path passes directly above the hole. Also, the hole is almost located on the optical path here. When the accessory (the main body of the analyzer) is viewed from directly above, the hole is completely coincident with the optical path, but not completely coincident, but in the vicinity of the optical path. Including what is located.

本発明にかかる分析装置用付属品によれば、その光学系構成部材が設けられ、分析装置本体にセットする際に分析装置本体に接触させる付属品ベースを備え、付属品ベースは、付属品の中での光路上の近くに位置するところにパージ用孔が設けられることとしたので、分析装置の本体より、付属品ベースのパージ用孔を通して付属品のガスパージが簡単に及び良好に行われる。
本発明においては、前記分析装置用付属品の光学系構成部材を密閉するパージケースを設けることにより、前記付属品のガスパージが、より良好に行われる。
According to the accessory for an analyzer according to the present invention, the optical system constituting member is provided, and the accessory base is brought into contact with the analyzer main body when being set in the analyzer main body. Since the purge hole is provided in the vicinity of the optical path in the inside, the gas purge of the accessory is easily and satisfactorily performed through the purge hole of the accessory base from the main body of the analyzer.
In the present invention, by providing a purge case that seals the optical system constituent member of the accessory for an analyzer, gas purging of the accessory can be performed better.

本発明にかかる分析装置によれば、前記付属品ベースと接触して前記分析装置用付属品が置かれる本体ベースを備え、本体ベースは、付属品ベースのパージ用孔の位置に対応する、本体の中での光路上の近くに位置するところにパージ用孔が設けられることとしたので、付属品のガスパージを、簡単に及び良好に行うことができる。
本発明においては、本体に既存のガス本管に付属品用のガス管を連通し、ガス本管からのパージガスを付属品用のガス管を介して本体ベースのパージ用孔に供給することにより、前記付属品のガスパージを、より簡単に行うことができる。
The analyzer according to the present invention includes a main body base on which the accessory for the analyzer is placed in contact with the accessory base, the main body base corresponding to the position of the purge hole of the accessory base. Since the purge hole is provided in the vicinity of the optical path, the accessory gas purge can be performed easily and satisfactorily.
In the present invention, an accessory gas pipe is connected to an existing gas main pipe in the main body, and purge gas from the gas main pipe is supplied to the purge hole of the main body base via the accessory gas pipe. The gas purge of the accessory can be performed more easily.

以下、図面に基づいて本発明の好適な一実施形態について説明する。
図1には本発明の一実施形態にかかる分析装置の概略構成が示されている。なお、同図(A)は付属品、及び本体試料室の主要部を上方より見た図、同図(B)は同図(A)のA−A断面図である。
同図に示すFTIR(分析装置)10は、付属品(分析装置用付属品)12と、FTIR本体14と、を備える。
付属品12は、FTIR本体14の試料室16(以下、本体試料室16という)に着脱自在に設けられ、FTIR本体14と共に赤外分析(光学的な分析)を行うための光学系構成部材18等を備える。
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a schematic configuration of an analyzer according to an embodiment of the present invention. In addition, the figure (A) is the figure which looked at the main part of the accessory and the main body sample chamber from upper direction, and the figure (B) is AA sectional drawing of the figure (A).
The FTIR (analyzer) 10 shown in the figure includes an accessory (analyzer accessory) 12 and an FTIR main body 14.
The accessory 12 is detachably provided in a sample chamber 16 (hereinafter referred to as a main body sample chamber 16) of the FTIR main body 14, and an optical system component 18 for performing infrared analysis (optical analysis) together with the FTIR main body 14. Etc.

光学系構成部材18は、例えば楔形偏光子等からなり、サンプルの高感度反射測定を行うためのものとする。
付属品12は、付属品ベース20を備える。
付属品ベース20は、その上面側に光学系構成部材18が設けられる。
FTIR本体14に付属品12をセットする際、付属品ベース20は、その下面が、FTIR本体14に接触される。
付属品ベース20は、付属品12の中での光路22上の近くに位置するところにパージ用孔24が設けられる。本実施形態において、付属品ベース20は、付属品12の中での光路22に対してまっすぐ下方に離隔して位置するところに、パージ用孔24が設けられている。
The optical system constituting member 18 is made of, for example, a wedge-shaped polarizer and the like, and is used for highly sensitive reflection measurement of a sample.
The accessory 12 includes an accessory base 20.
The accessory base 20 is provided with an optical system component 18 on the upper surface side thereof.
When the accessory 12 is set on the FTIR main body 14, the lower surface of the accessory base 20 is brought into contact with the FTIR main body 14.
The accessory base 20 is provided with a purge hole 24 at a location near the optical path 22 in the accessory 12. In the present embodiment, the accessory base 20 is provided with a purge hole 24 at a position that is spaced straight downward from the optical path 22 in the accessory 12.

このために本実施形態においては、さらにパージケース26と、支持部材28と、パージ用パイプ30と、を備える。パージケース26は、支持部材28及びパージ用パイプ30を介して、付属品ベース20に支持されている。
パージケース26は、光学系構成部材18を密閉する。このパージケース26は、パージケース26の内外を連通する孔32が設けられている。
パージ用パイプ30は、パージガスの流路34を持つ中空状のものである。
パージケース26の孔32、付属品ベース20のパージ用孔24とが、パージ用パイプ30の流路34を介して連通している。
そして、FTIR本体14より、付属品ベース20のパージ用孔24、パージ用パイプ30の流路34、パージケース26の孔32を通して、付属品12のパージケース26内の光学系構成部材18の周囲がガスパージされる。
For this purpose, the present embodiment further includes a purge case 26, a support member 28, and a purge pipe 30. The purge case 26 is supported by the accessory base 20 via a support member 28 and a purge pipe 30.
The purge case 26 seals the optical system component 18. The purge case 26 is provided with a hole 32 that communicates the inside and outside of the purge case 26.
The purge pipe 30 is hollow and has a purge gas flow path 34.
The hole 32 of the purge case 26 and the purge hole 24 of the accessory base 20 communicate with each other via the flow path 34 of the purge pipe 30.
Then, from the FTIR main body 14, through the purge hole 24 of the accessory base 20, the flow path 34 of the purge pipe 30, and the hole 32 of the purge case 26, the periphery of the optical system component 18 in the purge case 26 of the accessory 12. Is purged with gas.

本実施形態において、パージケース26は、実質的に付属品12の中での光路22上のみを密閉しており、付属品12の中での光路22上にFTIR本体14よりのパージガスの流路を重点的に形成している。
FTIR本体14は、試料室ベース(本体ベース)36と、付属品用のガス管38と、を備える。
試料室ベース36は、付属品ベース20と接触した状態で、付属品12が置かれる。
付属品用のガス管38は、付属品12にパージガスを供給するためのものとする。
試料室ベース36は、付属品ベース20のパージ用孔24の位置に対応する、FTIR本体14の中での光路22上の近くに位置するところに、パージ用孔40が設けられている。試料室ベース36は、FTIR本体14の中での光路22に対してまっすぐ下方に離隔して位置するところに、パージ用孔24が設けられている。
In the present embodiment, the purge case 26 substantially seals only the optical path 22 in the accessory 12, and the purge gas flow path from the FTIR body 14 on the optical path 22 in the accessory 12. Is focused on.
The FTIR main body 14 includes a sample chamber base (main body base) 36 and a gas pipe 38 for accessories.
The accessory 12 is placed in the sample chamber base 36 in contact with the accessory base 20.
The accessory gas pipe 38 is for supplying purge gas to the accessory 12.
The sample chamber base 36 is provided with a purge hole 40 at a position near the optical path 22 in the FTIR main body 14 corresponding to the position of the purge hole 24 of the accessory base 20. The sample chamber base 36 is provided with a purge hole 24 at a position that is spaced straight downward from the optical path 22 in the FTIR main body 14.

なお、本実施形態においては、FTIR本体14に対する付属品12の光学的な位置決めを容易に行うため、試料室ベース36は、FTIR本体14の中での光路22上の近くに位置するところに位置出しピン42が設けられている。付属品ベース20は、試料室ベース36の位置出しピン42の位置に対応する、付属品12の中での光路22上の近くに位置するところに位置出し穴44が設けられている。
また本発明において付属品12(FTIR本体14)の中での光路22上の近くに位置するところの意味は、光路22を遮る部分をいうものではなく、例えば同図(A)中、付属品12(FTIR本体14)を真上から見ると、光路22上にパージ用孔24,40がほぼ位置するように見えるが、実際には、同図(B)に示されるようにパージ用孔24,40の真上を光路22が通っているものをいう。
図2には分析装置10の全体図が示されている。
In the present embodiment, the sample chamber base 36 is positioned near the optical path 22 in the FTIR body 14 in order to easily optically position the accessory 12 with respect to the FTIR body 14. A delivery pin 42 is provided. The accessory base 20 is provided with a positioning hole 44 at a position near the optical path 22 in the accessory 12 corresponding to the position of the positioning pin 42 of the sample chamber base 36.
Further, in the present invention, the meaning of being located near the optical path 22 in the accessory 12 (FTIR main body 14) does not mean a portion that blocks the optical path 22, and for example, in FIG. When 12 (FTIR main body 14) is viewed from directly above, the purge holes 24 and 40 appear to be substantially located on the optical path 22, but actually, as shown in FIG. , 40, the light path 22 passes through.
FIG. 2 shows an overall view of the analyzer 10.

さらに本実施形態において、同図に示されるようにFTIR本体14は、FTIR本体14に既存のガス本管46を備える。ガス本管46は、例えば干渉計室48、検出器室50をガスパージするパージガスを供給するためのものとする。付属品用のガス管38は、FTIR本体14に既存のガス本管46と試料室ベース36のパージ用孔40とを連通する。
本実施形態にかかる分析装置10は概略以上のように構成され、以下にその作用について説明する。
Further, in the present embodiment, as shown in the figure, the FTIR main body 14 includes an existing gas main pipe 46 in the FTIR main body 14. The gas main pipe 46 is for supplying purge gas for purging the interferometer chamber 48 and the detector chamber 50, for example. The accessory gas pipe 38 connects the existing gas main pipe 46 and the purge hole 40 of the sample chamber base 36 to the FTIR main body 14.
The analyzer 10 according to the present embodiment is configured as described above, and its operation will be described below.

試料の特性(形状、材質、性質等)により適切な測定法を行うための付属品12を選択し、付属品12の中での光路22とFTIR本体14の中での光路22とを一致させて、FTIR本体14に付属品12をセットする。
ここで、本実施形態において、FTIR本体14側では、試料室ベース36のパージ用孔40から、ガスが噴出できる構造になっている。このために試料室ベース36は、付属品ベース20のパージ用孔24の位置に対応する、FTIR本体14の中での光路22上の近くに位置するところに、パージ用孔40が設けられている。試料室ベース36のパージ用孔40は、付属品用ガス管38を介して、FTIR本体14に既存のガス本管46に連通している。
The accessory 12 for performing an appropriate measurement method is selected according to the characteristics (shape, material, property, etc.) of the sample, and the optical path 22 in the accessory 12 and the optical path 22 in the FTIR body 14 are matched. Then, the accessory 12 is set on the FTIR main body 14.
Here, in the present embodiment, on the FTIR main body 14 side, the gas can be ejected from the purge hole 40 of the sample chamber base 36. For this purpose, the sample chamber base 36 is provided with a purge hole 40 at a position on the optical path 22 in the FTIR body 14 corresponding to the position of the purge hole 24 of the accessory base 20. Yes. The purge hole 40 of the sample chamber base 36 communicates with the existing gas main pipe 46 in the FTIR main body 14 via the accessory gas pipe 38.

一方、本実施形態において、付属品12側では、その設置面がFTIR本体14側での噴出位置のガスが流入できるような構造になっている。このために付属品ベース20は、付属品12の中での光路22上の近くに位置するところにパージ用孔24が設けられている。
したがって、本実施形態においては、本体試料室16に付属品12をセットするだけで、FTIR本体14のガス噴出位置となる試料室ベース36のパージ用孔40と付属品ベース20のパージ用孔24との位置が合う。これによりFTIR本体14に既存のガス本管46よりのパージガスは、付属品用ガス管38、試料室ベース36のパージ用孔40及び付属品ベース20のパージ用孔24を通じて、付属品12のパージケース26内に導入される。
On the other hand, in the present embodiment, on the accessory 12 side, the installation surface is structured such that the gas at the ejection position on the FTIR main body 14 side can flow in. For this purpose, the accessory base 20 is provided with a purge hole 24 at a location in the accessory 12 near the optical path 22.
Therefore, in the present embodiment, simply by setting the accessory 12 in the main body sample chamber 16, the purge hole 40 of the sample chamber base 36 and the purge hole 24 of the accessory base 20 that become the gas ejection position of the FTIR main body 14. And the position is suitable. As a result, the purge gas from the gas main pipe 46 existing in the FTIR main body 14 is purged from the accessory 12 through the accessory gas pipe 38, the purge hole 40 of the sample chamber base 36 and the purge hole 24 of the accessory base 20. It is introduced into the case 26.

ここで、従来においても、本体試料室の全体をガスパージすることにより付属品を間接的にガスパージすることが考えられる。また例えばFTIR本体の検出器室から試料室に流入するパージガスを付属品から試料室の壁部に伸ばしたパイプで付属品側に導き入れることも考えられる。しかしながら、これらの従来方式では、付属品のパージが簡単に行えるものの、パージガス置換時間が長い、パージガス置換率(純度)が低い等の課題があった。   Here, also in the past, it is conceivable to indirectly purge the accessories by gas purging the entire main body sample chamber. Further, for example, it is conceivable that purge gas flowing into the sample chamber from the detector chamber of the FTIR main body is led to the accessory side by a pipe extending from the accessory to the wall of the sample chamber. However, these conventional methods can easily purge the accessories, but have problems such as a long purge gas replacement time and a low purge gas replacement rate (purity).

一方、これらの点を改善するため、FTIR本体用とは別に配管を付属品に設け、この配管を付属品の前面パネルに設けられたパージ配管口に接続し、付属品を直接パージすることも考えられる。しかしながら、この従来方式では、本体試料室に付属品を着脱するたびに、配管を付属品に設ける作業や、これを取り外す作業をしなければならないので、手間がかかり、コストも上がる。
このため従来は、付属品のガスパージにおいて、作業の容易性とパージの良好性とを同時に改善することのできる技術が存在しなかった。
On the other hand, in order to improve these points, it is also possible to provide a pipe separately from the FTIR main body and connect this pipe to the purge piping port provided on the front panel of the accessory to purge the accessory directly. Conceivable. However, in this conventional method, every time an accessory is attached to or detached from the main body sample chamber, a work for installing the pipe on the accessory or a work for removing the pipe must be performed, which takes time and increases the cost.
For this reason, conventionally, there has been no technology that can simultaneously improve the ease of work and the goodness of purge in the gas purge of accessories.

これに対し、本実施形態においては、前述のように試料室ベース36と付属品ベース20との適切な位置にそれぞれパージ用孔24,40を設け、FTIR本体14を通じて付属品12のガスパージが行えるようにしている。
したがって、本実施形態においては、本体試料室16に付属品12をセットするだけで、付属品12に新たに配管を設ける作業を行うことなく、FTIR本体14を通じて付属品12のガスパージが、簡単に及び良好に行える。
また本実施形態においては、付属品12のパージ機構として、FTIR本体14に既存の干渉計室48、検出器室50等のためのパージ機能を利用している。このため本実施形態においては、付属品を着脱するたびに配管作業をしなければならないものに比較し、付属品をパージする際の配管の手間が大幅に省ける。また配管自体が必要ないのでコストも下がる。
In contrast, in the present embodiment, as described above, purge holes 24 and 40 are provided at appropriate positions on the sample chamber base 36 and the accessory base 20, respectively, and the accessory 12 can be purged of gas through the FTIR body 14. I am doing so.
Therefore, in this embodiment, simply by setting the accessory 12 in the main body sample chamber 16, the gas purge of the accessory 12 can be easily performed through the FTIR main body 14 without performing an operation of newly installing a pipe in the accessory 12. And it can be done well.
In the present embodiment, the purge function for the existing interferometer chamber 48, the detector chamber 50 and the like is used in the FTIR main body 14 as a purge mechanism for the accessory 12. For this reason, in this embodiment, the labor of piping when purging the accessories can be greatly reduced as compared with the case where the piping work must be performed every time the accessories are attached and detached. Moreover, since the piping itself is not necessary, the cost is reduced.

また本実施形態においては、試料室16の全体や付属品12の全体をパージするのではなく、付属品12の中での光路22上を直接パージしている。このために本実施形態においては、パージケース26により、実質的に付属品12の中での光路22上のみを密閉することにより、付属品12の中での光路22上に、FTIR本体14よりのパージガスの流路を形成し、付属品12の中での光路22上を重点的にガスパージしている。
したがって、本実施形態においては、本体試料室16の全体や付属品12の全体をガスパージするものに比較し、より早く付属品12の中での光路22上をガスパージすることができるので、パージガス置換時間が短くなる。また必要な付属品12の中での光路22上を純度良く置換できるので、パージガス置換率が高い。これにより雰囲気の変化の影響を受けず、安定したスペクトルが得られる。
In the present embodiment, the entire sample chamber 16 and the entire accessory 12 are not purged, but the optical path 22 in the accessory 12 is directly purged. For this reason, in the present embodiment, the purge case 26 substantially seals only the optical path 22 in the accessory 12, so that the FTIR main body 14 has the optical path 22 in the accessory 12. The purge gas flow path is formed, and the gas purge is focused on the optical path 22 in the accessory 12.
Therefore, in the present embodiment, the gas sample can be purged on the optical path 22 in the accessory 12 earlier than in the case of purging the entire main body sample chamber 16 and the entire accessory 12. Time is shortened. Moreover, since the optical path 22 in the necessary accessory 12 can be replaced with high purity, the purge gas replacement rate is high. As a result, a stable spectrum can be obtained without being affected by changes in the atmosphere.

また本実施形態においては、装置に対する汎用性とパージの確実性との両立も重要であり、このために付属品ベース20のパージ用孔24の位置と試料室ベース36のパージ用孔40の位置との関係が非常に重要である。
すなわち、付属品12は、試料室ベース36上に置けるものであれば、どのような形のものでもよいが、FTIR本体14の光路22上には、付属品12を必ず位置決めしなければならない。一方、どのような形の付属品12でも、FTIR本体14の光路22上の近くには自身のいずれかが必ず存在するはずである。
このため、本実施形態において、FTIR本体14の試料室ベース36は、FTIR本体14の中での光路22上の近くに位置するところにパージ用孔40を設けている。かつ付属品12の付属品ベース20は、試料室ベース36のパージ用孔40の位置に対応する、付属品12の中での光路22上の近くに位置するところにパージ用孔24を設けている。
In this embodiment, it is also important to satisfy both the versatility of the apparatus and the certainty of purge. For this reason, the position of the purge hole 24 of the accessory base 20 and the position of the purge hole 40 of the sample chamber base 36 are important. The relationship with is very important.
That is, the accessory 12 may have any shape as long as it can be placed on the sample chamber base 36, but the accessory 12 must be positioned on the optical path 22 of the FTIR main body 14. On the other hand, any type of accessory 12 must always be present near the FTIR body 14 on the optical path 22.
For this reason, in the present embodiment, the sample chamber base 36 of the FTIR main body 14 is provided with a purge hole 40 at a position near the optical path 22 in the FTIR main body 14. In addition, the accessory base 20 of the accessory 12 is provided with a purge hole 24 at a position near the optical path 22 in the accessory 12 corresponding to the position of the purge hole 40 of the sample chamber base 36. Yes.

この結果、本実施形態においては、付属品12をFTIR本体14にセットした時は、どのような形の付属品12でも必ず付属品ベース20のパージ用孔24が試料室ベース36のパージ用孔40上に位置するので、これらのパージ用孔24,40の位置の工夫がなされていないものに比較し、パージがより確実に行える。
したがって、本実施形態においては、これらのパージ用孔24,40の位置関係の工夫がなされていないものに比較し、装置に対する汎用性が確実に得られる。しかも、FTIR本体14に対する付属品12の光学的な位置決めも確実に行える。
As a result, in this embodiment, when the accessory 12 is set in the FTIR main body 14, the purge hole 24 of the accessory base 20 is always the purge hole of the sample chamber base 36 in any shape of the accessory 12. Since it is located on 40, purging can be performed more reliably as compared with those in which the position of the purge holes 24, 40 is not devised.
Therefore, in this embodiment, the versatility with respect to the apparatus can be surely obtained as compared with the case where the positional relationship between the purge holes 24 and 40 is not devised. In addition, the optical positioning of the accessory 12 with respect to the FTIR body 14 can be performed reliably.

なお、本実施形態においては、FTIR本体14に対する付属品12の確実な位置決めを容易に行うため、試料室ベース36は、FTIR本体14の中での光路22上の近くに位置するところに位置出しピン44が設けられている。付属品ベース20は、位置出しピン44の位置に対応する、付属品12の中での光路22上の近くに位置するところに位置出し穴46が設けられている。
これにより、本体試料室16に付属品12をセットする際は、試料室ベース36の位置出しピン42と付属品ベース20の位置出し穴44とを一致させるだけで、付属品12の中での光路22とFTIR本体14の中での光路22とを、容易に及び確実に一致させることができる。また付属品ベース20のパージ用孔24と試料室ベース36のパージ用孔40との位置が確実に一致するので、より容易に及び確実にパージも行える。
本発明は、前記構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内であれば、種々の変形が可能である。
In the present embodiment, the sample chamber base 36 is positioned near the optical path 22 in the FTIR main body 14 in order to facilitate the reliable positioning of the accessory 12 with respect to the FTIR main body 14. Pins 44 are provided. The accessory base 20 is provided with a positioning hole 46 at a position near the optical path 22 in the accessory 12 corresponding to the position of the positioning pin 44.
As a result, when the accessory 12 is set in the main body sample chamber 16, the positioning pin 42 of the sample chamber base 36 and the positioning hole 44 of the accessory base 20 are made to coincide with each other. The optical path 22 and the optical path 22 in the FTIR body 14 can be easily and reliably matched. Further, since the positions of the purge hole 24 of the accessory base 20 and the purge hole 40 of the sample chamber base 36 are surely matched, purging can be performed more easily and reliably.
The present invention is not limited to the above-described configuration, and various modifications can be made within the scope of the gist of the invention.

FTIR本体
本実施形態において、FTIR本体14の干渉計室48、検出器室50は、それぞれパージケース等の密閉構造とすることが好ましい。
干渉計室48は、赤外領域の干渉光を出射する干渉計等よりなる光出射手段52を密閉する。
検出器室50は、試料室16よりの光信号を電気信号に変える検出器54を密閉する。
このように光出射手段52、検出器54をそれぞれ密閉構造とし、ガス本管46よりのパージガスを導入することにより、密閉構造としないものに比較し、より早く、純度よく光出射手段52、検出器54の周囲をガスパージすることができる。
FTIR body In the present embodiment, it is preferable that the interferometer chamber 48 and the detector chamber 50 of the FTIR body 14 have a sealed structure such as a purge case.
The interferometer chamber 48 seals the light emitting means 52 including an interferometer that emits interference light in the infrared region.
The detector chamber 50 seals the detector 54 that converts the optical signal from the sample chamber 16 into an electrical signal.
In this way, the light emitting means 52 and the detector 54 are each sealed structure, and by introducing the purge gas from the gas main pipe 46, the light emitting means 52 and the detector are detected more quickly and with higher purity than those without the sealed structure. The gas around the vessel 54 can be purged.

また本実施形態においては、FTIR本体14が、検出器54よりの信号のサンプリングを行い、アナログ信号をデジタル信号に変換する電気系回路56を備える。
さらに本実施形態においては、FTIR10が、コンピュータ58と、パージ装置本体60と、を備える。
コンピュータ58は、コンピュータ本体62と、ディスプレイ64と、入力デバイス66と、を備える。コンピュータ本体62は、電気系回路56よりの信号をフーリエ変換し、赤外スペクトルを得る。コンピュータ本体62は、これをディスプレイ64に表示する。
In this embodiment, the FTIR main body 14 includes an electrical circuit 56 that samples a signal from the detector 54 and converts an analog signal into a digital signal.
Further, in the present embodiment, the FTIR 10 includes a computer 58 and a purge device main body 60.
The computer 58 includes a computer main body 62, a display 64, and an input device 66. The computer main body 62 Fourier-transforms the signal from the electric system circuit 56 to obtain an infrared spectrum. The computer main body 62 displays this on the display 64.

パージ装置本体60は、ガス供給手段68と、メインバルブ70と、バルブ駆動回路72と、を備える。
ガス供給手段68は、メインバルブ70を介して、FTIR本体14のガス本管46に接続しており、窒素ガス等のパージガスを供給する。
また本実施形態において、ガス本管46は、検出器用のバルブ74を介して検出器室50に接続し、また干渉計用のバルブ76を介して干渉計室48に接続している。
また本実施形態において、付属品用ガス管38は、ガス本管46と試料室ベース36の孔40とを連通し、付属品用のガス管38の途中に付属品用のバルブ78を備えることも好ましい。
The purge device main body 60 includes a gas supply means 68, a main valve 70, and a valve drive circuit 72.
The gas supply means 68 is connected to the gas main pipe 46 of the FTIR main body 14 via the main valve 70 and supplies a purge gas such as nitrogen gas.
In the present embodiment, the gas main pipe 46 is connected to the detector chamber 50 via a detector valve 74, and is connected to the interferometer chamber 48 via an interferometer valve 76.
In the present embodiment, the accessory gas pipe 38 communicates the gas main pipe 46 with the hole 40 of the sample chamber base 36, and includes an accessory valve 78 in the middle of the accessory gas pipe 38. Is also preferable.

また各バルブ74,76,78は、バルブ駆動回路72、及びコンピュータ本体62により、開閉や流量等の制御が行われている。
特に本体試料室16に付属品12を置いた後、コンピュータ本体62は、バルブ駆動回路72を介して、付属品用のバルブ78の開閉と流量の制御を行う。付属品用のバルブ78が開の状態でパージガスの導入を行い、開き量の調節でパージガスの流量を制御する。
すなわち、FTIR本体に既存のガス本管46よりのパージガスが、試料室ベース36のパージ用孔40、及び付属品ベース20のパージ用孔24を介して、付属品12のパージケース26内に適切な流量で導入される。一方、コンピュータ本体62は、測定終了後は、各バルブ74,76,78を閉の状態とし、パージガスの導入を停止する。
In addition, the valves 74, 76, and 78 are controlled to be opened and closed and the flow rate by the valve drive circuit 72 and the computer main body 62.
In particular, after the accessory 12 is placed in the main body sample chamber 16, the computer main body 62 opens and closes the accessory valve 78 and controls the flow rate via the valve driving circuit 72. The purge gas is introduced while the accessory valve 78 is open, and the flow rate of the purge gas is controlled by adjusting the opening amount.
That is, the purge gas from the gas main pipe 46 existing in the FTIR main body is appropriately put into the purge case 26 of the accessory 12 through the purge hole 40 of the sample chamber base 36 and the purge hole 24 of the accessory base 20. It is introduced at a reasonable flow rate. On the other hand, after completion of the measurement, the computer main body 62 closes the valves 74, 76 and 78 and stops the introduction of the purge gas.

付属品認識機構
本実施形態においては、付属品の種類を認識するための付属品認識機構を設けることも好ましい。例えば付属品ベースは、付属品の中での光路上の近くに位置するところに、該付属品に最適なガスパージの設定に関する情報を記憶している付属品認識タグが設けられる。かつ試料室ベースは本体の中での光路上の近くに位置するところに、付属品認識タグの情報を読み取るための読取器を設けることが好ましい。これにより付属品認識タグ、読取器を別の位置に設けたものに比較し、付属品の種類をより確実に認識することができるので、より付属品に対する汎用性が向上される。
また付属品を本体試料室にセットするだけで、その付属品に最適なガスパージに関する設定情報(バルブの開閉制御や流量制御等)が、読取器を介してコンピュータ本体に送られる。コンピュータ本体62は、その読み取り情報に基づいて、付属品用バルブ78の開閉制御や流量制御を行い、付属品の種類(試料形態や測定法等)に最適なガスパージを自動に行うこともできる。
Accessory recognition mechanism In this embodiment, it is also preferable to provide an accessory recognition mechanism for recognizing the type of accessory. For example, the accessory base is provided with an accessory recognition tag that stores information on the optimum gas purge setting for the accessory at a location near the optical path in the accessory. In addition, it is preferable to provide a reader for reading the information of the accessory recognition tag at a position where the sample chamber base is located on the optical path in the main body. This makes it possible to more reliably recognize the type of accessory compared to an accessory recognition tag and a reader provided at a different position, thereby improving the versatility of the accessory.
Also, just by setting the accessory in the main body sample chamber, setting information (valve open / close control, flow rate control, etc.) relating to the optimum gas purge for the accessory is sent to the computer main body via the reader. Based on the read information, the computer main body 62 performs open / close control and flow rate control of the accessory valve 78, and can automatically perform a gas purge optimum for the type of accessory (sample form, measurement method, etc.).

真空
前記構成では、前記パージ用孔24,40を介して付属品12をガスパージした例について説明したが、真空ポンプを使って前記パージ用孔24,40を介して付属品12のパージケース内を真空にすることもできる。また新たに真空用の孔を設けることで、真空用の孔を介して付属品内を真空に引きながら、前記パージ用孔を介してガスパージすることもできる。その際も、付属品ベースは、付属品の中での光路上の近くに位置するところに、真空用の孔が設けられることが特に好ましい。試料室ベースは、付属品ベースに設けられた真空用の孔の位置に対応する、本体の中での光路上の近くに位置するところに、真空用の孔が設けられることが、特に好ましい。
In the above-described vacuum, the example in which the accessory 12 is gas purged through the purge holes 24 and 40 has been described. However, the inside of the purge case of the accessory 12 through the purge holes 24 and 40 using a vacuum pump is used. It can also be a vacuum. Further, by newly providing a vacuum hole, it is possible to perform gas purge through the purge hole while evacuating the interior of the accessory through the vacuum hole. Even in this case, it is particularly preferable that the accessory base is provided with a vacuum hole at a position near the optical path in the accessory. It is particularly preferable that the sample chamber base is provided with a vacuum hole at a position close to the optical path in the main body corresponding to the position of the vacuum hole provided in the accessory base.

付属品
前記構成では、高感度反射測定法を行うため楔形偏光子等を用いた例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば測定法としては、高感度反射測定法以外に、ATR法、透過法、KBr法、拡散反射法、偏光反射法、正反射法、顕微・透過法、顕微・反射法等の種々のものに対応するものである。また構成部材としては、楔形偏光子以外に、各測定法を行うのに必要なものに対応するものである。
本発明は、例えば図3に示されるような付属品に適用することもできる。同図(A)は付属品を上方より見た図、同図(B)は同図(A)のA−A断面図である。前記図1と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
In the above-described configuration, an example in which a wedge-shaped polarizer or the like is used to perform a highly sensitive reflection measurement method has been described, but the present invention is not limited to this. For example, in addition to the high-sensitivity reflection measurement method, various measurement methods such as ATR method, transmission method, KBr method, diffuse reflection method, polarization reflection method, regular reflection method, microscopic / transmission method, microscopic / reflection method, etc. Corresponding. In addition to the wedge-shaped polarizer, the constituent members correspond to those necessary for performing each measurement method.
The present invention can also be applied to an accessory as shown in FIG. 3, for example. FIG. 4A is a view of the accessory as viewed from above, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line A-A in FIG. The parts corresponding to those in FIG.

同図に示す付属品112は、前記図1に示した光学系構成部材とは異なる光学系構成部材118であるが、前記構成と同様、付属品ベース120を備える。この付属品ベース120は、付属品112の中での光路122上の近くに位置するところにパージ用孔124が設けられている。
またこの付属品112は、前記構成と同様、光学系構成部材118を密閉するパージケース126を備える。
したがって、光学系構成部材118が設けられた付属品112においても、前記構成と同様、本体試料室に置くだけで、FTIR本体より、付属品ベース120のパージ用孔124を通して、パージケース126内がガスパージないし真空されるので、付属品112の光学系構成部材118の周囲のガス置換が、簡単に及び良好に行える。
The accessory 112 shown in the figure is an optical system constituent member 118 different from the optical system constituent member shown in FIG. 1, but includes an accessory base 120 as in the above configuration. The accessory base 120 is provided with a purge hole 124 at a position near the optical path 122 in the accessory 112.
In addition, the accessory 112 includes a purge case 126 that seals the optical system component 118 in the same manner as described above.
Therefore, also in the accessory 112 provided with the optical system component 118, the inside of the purge case 126 passes through the purge hole 124 of the accessory base 120 from the FTIR main body just by placing it in the main body sample chamber as in the above-described configuration. Since the gas is purged or evacuated, gas replacement around the optical system component 118 of the accessory 112 can be easily and satisfactorily performed.

その他
さらに前記構成では、付属品として、本体試料室に着脱自在なものを用いた例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、光出射手段を付属品として本体干渉計室に着脱自在に設けたもの、検出器を付属品として本体検出器室に着脱自在に設けたものに適用することもできる。
In addition, in the above-described configuration, the example in which the main body sample chamber is detachable as an accessory has been described. However, the present invention is not limited to this, and the main body interferometer chamber has the light emitting means as an accessory. It can also be applied to a device provided detachably in the main body and a detector provided as an accessory in the main body detector chamber.

本発明の一実施形態にかかる分析装置の付属品、及び本体の主要部分の説明図である。It is explanatory drawing of the main part of the accessory of the analyzer concerning one Embodiment of this invention, and a main body. 本実施形態にかかる分析装置の全体の説明図である。It is explanatory drawing of the whole analyzer concerning this embodiment. 本実施形態にかかる付属品の変形例である。It is a modification of the accessory concerning this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 FTIR(分析装置)
12,112 付属品(分析装置用付属品)
14 FTIR本体(分析装置の本体)
20,120 付属品ベース
24,124 付属品ベースのパージ用孔
26,126 パージケース
36 試料室ベース(本体ベース)
40 本体ベースのパージ用孔
10 FTIR (analyzer)
12, 112 Accessories (Analyzer accessories)
14 FTIR main unit (analyzer main unit)
20,120 Accessory base 24,124 Accessory base purge hole 26,126 Purge case 36 Sample chamber base (main body base)
40 Purge hole for main body base

Claims (4)

分析装置の本体に着脱自在に設けられ、前記本体と共に光学的な分析を行うための光学系構成部材を備えた分析装置用付属品において、
前記光学系構成部材が設けられ、前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品をセットする際は前記分析装置の本体に接触させる付属品ベースを備え、
前記付属品ベースは、前記分析装置用付属品の中での光路上の近くに位置するところにパージ用孔が設けられ、
前記分析装置の本体より、前記付属品ベースのパージ用孔を通して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲がガスパージされることを特徴とする分析装置用付属品。
In the accessory for an analyzer, which is provided detachably on the main body of the analyzer and has an optical system component for performing optical analysis together with the main body,
The optical system component member is provided, and includes an accessory base that is brought into contact with the main body of the analyzer when the accessory for the analyzer is set on the main body of the analyzer,
The accessory base is provided with a purge hole at a position near the optical path in the accessory for the analyzer,
An accessory for an analyzer, wherein the periphery of an optical system component member provided in the accessory base is purged from the main body of the analyzer through a purge hole in the accessory base.
請求項1記載の分析装置用付属品において、
前記光学系構成部材を密閉し、前記付属品ベースのパージ用孔と連通するパージケースを備え、
前記分析装置の本体より、前記付属品ベースのパージ用孔を通して、前記パージケース内の光学系構成部材の周囲がガスパージされることを特徴とする分析装置用付属品。
The accessory for an analyzer according to claim 1,
The optical system component is sealed, and a purge case is provided that communicates with the accessory-based purge hole,
An accessory for an analyzer, wherein the periphery of an optical system component in the purge case is purged from the main body of the analyzer through a purge hole in the accessory base.
請求項1又は2記載の分析装置用付属品が着脱自在に設けられ、前記分析装置用付属品と共に光学的な分析を行うための本体を備えた分析装置であって、
前記本体は、前記付属品ベースと接触した状態で前記分析装置用付属品が置かれる本体ベースと、
前記分析装置用付属品にパージガスを供給するための付属品用のガス管と、
を備え、
前記本体ベースは、前記付属品ベースのパージ用孔の位置に対応する、前記本体の中での光路上の近くに位置するところに、パージ用孔が設けられ、
前記分析装置用付属品の中での光路と前記本体の中での光路とが一致するように前記本体ベースと前記付属品ベースとを合わせて、前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品を置くと、前記本体ベースのパージ用孔と前記付属品ベースのパージ用孔との位置が一致し、前記付属品用ガス管よりのパージガスを、前記本体ベースのパージ用孔及び前記付属品ベースのパージ用孔を介して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲に導入することを特徴とする分析装置。
An analyzer provided with the analyzer accessory according to claim 1 or 2 detachably, and comprising a main body for performing an optical analysis together with the analyzer accessory,
The main body has a main body base on which the accessory for the analyzer is placed in contact with the accessory base;
An accessory gas tube for supplying purge gas to the analyzer accessory;
With
The main body base is provided with a purge hole at a position close to the optical path in the main body corresponding to the position of the purge hole of the accessory base,
The main body base and the accessory base are aligned so that the optical path in the accessory for the analyzer matches the optical path in the main body, and the accessory for the analyzer is attached to the main body of the analyzer , The purging hole of the main body base and the purging hole of the accessory base coincide with each other, and the purge gas from the accessory gas pipe is supplied to the purging hole of the main body base and the accessory base. The analyzer is introduced to the periphery of the optical system constituent member provided in the accessory base through the purge hole.
請求項3記載の分析装置において、
前記本体内をガスパージするパージガスを供給するための、前記本体に既存のガス本管を備え、
前記付属品用ガス管は、前記ガス本管と前記本体ベースのパージ用孔とを連通し、
前記分析装置の本体に前記分析装置用付属品を置くと、前記ガス本管よりのパージガスを、前記付属品用ガス管、前記本体ベースのパージ用孔、及び前記付属品ベースのパージ用孔を介して、前記付属品ベースに設けられた光学系構成部材の周囲に導入することを特徴とする分析装置。
The analyzer according to claim 3, wherein
The main body is provided with an existing gas main for supplying a purge gas for purging the inside of the main body,
The accessory gas pipe communicates the gas main pipe with the purge hole of the main body base,
When the accessory for the analyzer is placed on the main body of the analyzer, the purge gas from the gas main pipe is supplied to the accessory gas pipe, the purge hole for the main body base, and the purge hole for the accessory base. Through the periphery of an optical system component provided on the accessory base.
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