JP2005238338A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 部材をあらゆる方向に傾斜させることが可能な構造を有し、容易かつ正確に作製することができるとともに小型化が可能な半導体装置およびその製造方法を提供することである。
【解決手段】 プレート510は、基板1上にヒンジ210を介して垂直に起立している。プレート510は水平方向のヒンジ310,320を介してプレート520に折曲自在に連結されている。プレート530は垂直方向のヒンジ330,340を介してプレート520に折曲自在に連結されている。ヒンジ310,320,330,340は、谷折溝およびヒータにより構成されている。ヒンジ310,320のヒータに電流を流すことにより、プレート510に対するプレート520の角度を変化させ、ヒンジ330,340のヒータに電流を流すことにより、プレート520に対するプレート530の角度を変化させることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 プレート510は、基板1上にヒンジ210を介して垂直に起立している。プレート510は水平方向のヒンジ310,320を介してプレート520に折曲自在に連結されている。プレート530は垂直方向のヒンジ330,340を介してプレート520に折曲自在に連結されている。ヒンジ310,320,330,340は、谷折溝およびヒータにより構成されている。ヒンジ310,320のヒータに電流を流すことにより、プレート510に対するプレート520の角度を変化させ、ヒンジ330,340のヒータに電流を流すことにより、プレート520に対するプレート530の角度を変化させることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、起立構造を有する半導体装置およびその製造方法に関する。
起立構造を有するマイクロ光学ベンチが、シリコンを用いたMEMS(マイクロエレクトロ・メカニカル・システム)技術により実現されている。このMEMS技術を用いて、例えば、レーザ走査ディスプレイのための共振マイクロスキャナ、可動マイクロ反射器、半導体レーザの外部共振器のための走査マイクロミラー等を作製することが報告されている(非特許文献1および2参照)。
この従来のMEMS技術では、積層された半導体層の一部をエッチングにより剥離させた後、剥離した部分をスライドさせて起立させるとともにヒンジで接合することにより、起立構造を形成している。この起立構造を用いて基板上に所定の角度で起立したミラーが構成される。このようなミラーは、くし型ドライバ(comb driver)またはスライディング機構により操作される。
しかしながら、従来のMEMS技術を用いて半導体により起立構造を作製する場合、剥離した半導体層をスライドさせる際に磨耗が生じる。また、半導体層を所定の位置まで正確にスライドさせることは困難である。そのため、起立構造を構成する各部材の角度および位置を正確に制御することが困難であるとともに、作業性が悪い。また、従来のMEMS技術では、基板上に半導体層を垂直に起立されることができる構造を作製することは困難である。そのため、半導体層をあらゆる方向に傾斜させることができない。
一方、本発明者らは、格子定数の異なる複数の半導体層の積層構造を用いて起立構造を有する半導体装置を製造する方法を提案している(特許文献1参照)。
特開2001−260092号公報
P.Rai-Choudhury, "MEMS and MOEMS: Technology and applications", SPIE Press, Washington (2000), p.256
A. Jain et al., Abstracts of Int. Conf. Opt. MEMS, Hawaii, August 18-21, 2003, p.14
上記の半導体装置およびその製造方法によれば、起立構造を構成する各部材の角度および位置を正確に制御することができる。
そこで、この方法を用いて光学スキャナ、アクチュエータ等の種々の装置に応用可能な半導体装置を容易に作製することが望まれる。特に、ミラー等の部材をあらゆる方向に傾斜させることが可能な構造を容易に作製することが望まれる。
本発明の目的は、部材をあらゆる方向に傾斜させることが可能な構造を有し、容易かつ正確に作製することができるとともに小型化が可能な半導体装置およびその製造方法を提供することである。
第1の発明に係る半導体装置は、隣接する第1の領域、第2の領域および第3の領域を有する基板と、基板上に設けられた積層構造とを備え、積層構造は、第1の層、第2の層および第3の層を順に含み、第2の層は、異なる格子定数を有する複数の半導体層を含み、第1の領域と第2の領域との境界部に第1の方向に延びる第1の折線が形成され、第2の領域と第3の領域との境界部に第1の方向と交差する第2の方向に延びる第2の折線が形成され、第1の領域の一辺に第3の折線が形成され、第3の折線を除く部分で第1、第2および第3の領域を取り囲むように第3、第2および第1の層が除去され、第1、第2および第3の領域における第1の層が選択的に除去されることにより、第1、第2および第3の領域における第2および第3の層の部分が基板から離間し、第2の層に作用する歪により第2の層が第3の折線で谷状に折曲されることにより、第1の領域の第2および第3の層の部分が基板から起立するとともに、第2の領域の第2および第3の層の部分が第1の折線で第1の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成され、第3の領域の第2および第3の層の部分が第2の折線で第2の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成されたものである。
本発明に係る半導体装置においては、第3の折線を除く部分で第1、第2および第3の領域を取り囲むように第3、第2および第1の層が除去され、第1、第2および第3の領域における第1の層が選択的に除去される。それにより、第1、第2および第3の領域における第2および第3の層の部分が基板から離間する。また、第2の層に作用する歪により第2の層が第3の折線で谷状に折曲される。それにより、第1の領域の第2および第3の層の部分が基板から起立するとともに、第2の領域の第2および第3の層の部分が第1の折線で第1の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成され、第3の領域の第2および第3の層の部分が第2の折線で第2の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成される。
この場合、第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の方向に延びる第1の折線を軸として回動させることにより第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で傾斜させることができる。また、第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の方向に延びる第2の折線を軸として回動させることにより第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で傾斜させることができる。
したがって、第3の領域の第2および第3の層の部分からなる部材を互いに交差する2軸を中心として任意の方向に傾斜させることが可能となる。
また、第2の層における複数の半導体層の格子定数の差に起因する歪を緩和するように第2の層が第3の折線で谷状に折曲されるので、手動組み立てまたは複雑な組み立て機構を必要とすることなく部材をあらゆる角度に傾斜させる構造を容易かつ正確に作製することが可能になるとともに、半導体装置の小型化が可能になる。
第1の折線に第1の加熱手段が設けられ、第2の折線に第2の加熱手段が設けられてもよい。
この場合、第1の加熱手段により第1の折線を加熱することにより、複数の層の熱膨張率差を利用して第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で折曲することができる。また、第2の加熱手段により第2の折線を加熱することにより、複数の層の熱膨張率差を利用して第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で折曲することができる。
第1の加熱手段は、第1の折線上に設けられた第1の金属膜を含み、第2の加熱手段は、第2の折線上に設けられた第2の金属膜を含んでもよい。
この場合、第1の折線上に設けられた第1の金属膜に電流を流すことにより、第1の折線を加熱することができる。それにより、第1の金属膜と複数の半導体層との熱膨張率差を利用して第2の領域の第2および第3の部分を第1の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲することができる。また、第2の金属膜に電流を流すことにより、第2の折線を加熱することができる。それにより、第2の金属膜と複数の半導体層との熱膨張率差を利用して第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で折曲することができる。
この場合、第1の金属膜に流す電流を調整することにより、第1の領域の第2および第3の層の部分に対する第2の領域の第2および第3の層の部分の角度を制御することができる。また、第2の金属膜に流す電流を調整することにより、第2の領域の第2および第3の層の部分に対する第3の領域の第2および第3の層の部分の角度を制御することができる。
第2の層は、第1の格子定数を有する第1の半導体層と、第1の格子定数よりも小さい第2の格子定数を有する第2の半導体層とを含み、第3の折線で第2の層が谷状に折曲されるように第3の折線の第3の層が除去されてもよい。
この場合、第3の折線で第3の層が除去されることにより、第1の半導体層の第1の格子定数と第2の半導体層の第2の格子定数との差に起因する歪を緩和するように第3の折線で第2の層が谷状に折曲される。それにより、第1の領域の第2および第3の層の部分が基板に対して起立する。
第1の領域は、第2の領域側に凹部を有する凹形に形成され、第2の領域は、第1の領域の凹部に対応する凸部を有する凸形に形成され、第1の折線は第2の領域の凸部の両側に形成され、第1の領域の凹部と第2の領域の凸部との境界部において第3および第2の層が除去されてもよい。
この場合、凸形の第2の領域の第2および第3の層の部分を凹形の第1の領域に対して第1の折線で折曲することができる。
第2の領域は、第1の方向を向く凹部を有する凹形の切欠き部を有し、第3の領域は、第2の領域の凹部に対応する凸部を有する凸形に形成され、第2の折線は第3の領域の凸部の両側に形成され、第2の領域の凹部と第3の領域の凸部との境界部において第3および第2の層が除去されてもよい。
この場合、凸形の第3の領域の第2および第3の層の部分を凹形の切欠き部を有する第2の領域の第2および第3の層の部分に対して第2の折線で折曲することができる。
第2の発明に係る半導体装置の製造方法は、隣接する第1の領域、第2の領域および第3の領域を有する基板上に第1の層を形成するステップと、第1の層上に、異なる格子定数を有する複数の半導体層を含む第2の層を形成するステップと、第2の層上に第3の層を形成するステップと、第1の領域と第2の領域との境界部に第1の方向に延びる第1の折線を形成し、第2の領域と第3の領域との境界部に第1の方向と交差する第2の方向に延びる第2の折線を形成し、第1の領域の一辺に第3の折線を形成するステップと、第3の折線を除く部分で第1、第2および第3の領域を取り囲むように第3、第2および第1の層を除去するステップと、第1、第2および第3の領域における第1の層を選択的に除去することにより、第1、第2および第3の領域における第2および第3の層の部分を基板から離間させ、第2の層に作用する歪により第2の層を第3の折線で谷状に折曲することにより、第1の領域の第2および第3の層の部分を基板から起立させるとともに、第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の折線で第1の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成し、第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の折線で第2の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成するステップとを備えたものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、第3の折線を除く部分で第1、第2および第3の領域を取り囲むように第3、第2および第1の層が除去され、第1、第2および第3の領域における第1の層が選択的に除去される。それにより、第1、第2および第3の領域における第2および第3の層の部分が基板から離間する。また、第2の層に作用する歪により第2の層が第3の折線で谷状に折曲される。それにより、第1の領域の第2および第3の層の部分が基板から起立するとともに、第2の領域の第2および第3の層の部分が第1の折線で第1の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成され、第3の領域の第2および第3の層の部分が第2の折線で第2の領域の第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成される。
この場合、第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の方向に延びる第1の折線を軸として回動させることにより第2の領域の第2および第3の層の部分を第1の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で傾斜させることができる。また、第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の方向に延びる第2の折線を軸として回動させることにより第3の領域の第2および第3の層の部分を第2の領域の第2および第3の層の部分に対して任意の角度で傾斜させることができる。
したがって、第3の領域の第2および第3の層の部分からなる部材を互いに交差する2軸を中心として任意の方向に傾斜させることが可能となる。
また、第2の層における複数の半導体層の格子定数の差に起因する歪を緩和するように第2の層が第3の折線で谷状に折曲されるので、手動組み立てまたは複雑な組み立て機構を必要とすることなく部材をあらゆる角度に傾斜させる構造を容易かつ正確に作製することが可能になるとともに、半導体装置の小型化が可能になる。
本発明によれば、手動組み立てまたは複雑な組み立て機構を必要とすることなく部材をあらゆる角度に傾斜させる構造を容易かつ正確に作製することが可能になるとともに、半導体装置の小型化が可能になる。
図1は本発明の一実施の形態における半導体装置の斜視図である。
図1において、半導体装置100は、基板1に設けられた凹形のプレート510、フラップ511,512、凸形のプレート520および凸形のプレート530により構成される。プレート530はマイクロミラーとして働く。
プレート510は、上部の中央部に凹部を有する。プレート510は、基板1上にヒンジ210を介して垂直に起立している。プレート510の両側辺には、ヒンジ220,230を介してフラップ511,512がそれぞれ連結されている。
プレート520は、下部の中央部に凸部を有する。プレート510の凹部の両側の上辺にプレート520の凸部の両側の下辺が水平方向のヒンジ310,320を介して折曲自在に連結されている。
プレート520の中央部には、側部に凸部を有する凸形の切欠き部が形成されており、凸形の切欠き部内に凸形のプレート530が配置される。プレート530の凸部の上部および下部の側辺は、垂直方向のヒンジ330,340を介してプレート520に折曲自在に連結されている。
後述するように、ヒンジ310,320,330,340は、谷折溝およびヒータにより構成されている。ヒンジ310,320に電流を流すことにより、プレート510に対するプレート520の角度を変化させることができる。ヒンジ330,340に電流を流すことにより、プレート520に対するプレート530の角度を変化させることができる。
図2〜図6は図1の半導体装置100の製造方法を示す工程図であり、(a)は模式的平面図、(b)は(a)のA−A線拡大断面図である。
まず、図2に示すように、GaAsからなる基板1上に、GaAsからなるバッファ層2、AlGaAsからなる犠牲層(sacrificial層)3、歪層(strain層)4および構成要素層(component層)5を順にエピタキシャル成長させる。
これらのバッファ層2、犠牲層3、歪層4および構成要素層5は、MBE法(分子線エピタキシャル成長法)、MOCVD法(有機金属化学的気相成長法)、CVD法(化学的気相成長法)等のエピタキシャル成長技術を用いて形成される。
歪層4は、厚さ数nm〜数十nmのInGaAs層41および厚さ数nm〜数十nmのGaAs層42により構成される。InGaAs層41の格子定数は、GaAs層42の格子定数よりも大きい。そのため、歪層4に格子定数の差による歪が発生する。歪層4の働きについては後述する。
また、構成要素層5は、分布反射膜(Distributed Bragg Reflector:以下、DBR膜と呼ぶ)により構成される。DBR膜は、複数のAlGaAs層と複数のGaAs層とが交互に積層されてなる積層構造を有する。AlGaAs層およびGaAs層の周期は例えば4〜20である。
なお、AlAsを酸化することにより得られる酸化アルミニウム層とAlGaAs層とを交互に積層することにより構成要素層5を構成してもよい。また、構成要素層5がGaAsプレートからなってもよい。
なお、歪層4と構成要素層5との間に、例えば厚さ150nmのAl0.58Ga0.42Asからなるエッチング停止層を設けてもよい。また、構成要素層5上に、例えば厚さ10nmのInGaAsからなる歪補償層(strain compensation層)および例えば厚さ10nmのGaAsからなるキャップ層を設けてもよい。歪補償層は、後の工程で剥離された構成要素層5の変形を防止するために設けられる。キャップ層は、製造工程時におけるInGaAs中のInの蒸発を防止するために設けられる。
次に、図3に示すように、フォトリソグラフィおよびエッチングにより構成要素層5を除去し、図1のヒンジ210,220,230,310,320,330,340を規定する谷折溝21,22,23,31,32,33,34を形成する。この場合、谷折溝22,23は、谷折溝21の両端部から谷折溝21に垂直に配置される。また、谷折溝31,32は、谷折溝22,23の端部から谷折溝22,23に垂直にかつ互いに間隔をおいて配置される。谷折溝33,34は、谷折溝31,32に垂直にかつ互いに間隔をおいて配置される。
エッチングとしては、ウェットエッチング法またはドライエッチング法を用いることができる。
次に、図4に示すように、構成要素層5上に金属膜からなる3つの電極パッド410,420,430を形成する。また、谷折溝31,32,33,34内のGaAs層42上に金属膜からなるヒータ41,42,43,44をそれぞれ形成する。
配線層411により電極パッド410とヒータ41とが電気的に接続され、配線層412によりヒータ41とヒータ43とが電気的に接続され、配線層413によりヒータ43とヒータ44とが電気的に接続される。また、配線層414によりヒータ44と電極パッド430とが電気的に接続され、配線層415によりヒータ41とヒータ42とが電気的に接続され、配線層416によりヒータ42と電極パッド420とが電気的に接続される。
配線層411〜416は、図1のヒンジ210,310,320,330,340と交差するため、電極パッド410,420,430に比べて小さな厚みを有する。
配線層411〜416の厚さを薄くすることにより、ヒンジ210,310,320,330,340の湾曲が可能になるとともにヒンジ210,310,320,330,340の湾曲による配線層411〜416の切れを防止することができる。電極パッド410,420,430は、ワイヤボンディングを確実にするために、ある程度大きな厚みを有することが好ましい。なお、ヒータ41〜44の厚さは、熱膨張率の差により歪層4を湾曲させることができる厚さに設定する。
例えば、ヒータ41〜44および配線層411〜416は、厚さ5nm〜10nmのTi(チタン)および厚さ40nm〜80nmのAu(金)の積層構造からなる。電極パッド410,420,430は、厚さ5nm〜10nmのTiおよび厚さ200nmのAuの積層構造からなる。そのため、薄いヒータ41〜44および配線層411〜416の堆積工程は、厚い電極パッド410,420,430の堆積工程とは別に行われる。なお、Auの代わりにAl(アルミニウム)またはPt(白金)を用いてもよい。
次に、図5に示すように、谷折溝21,22,23,31,32で囲まれた領域に図1の凹形のプレート510の領域が配置され、谷折溝22,23に沿って図1のフラップ511,512の領域が配置される。また、図1のプレート510の領域に隣接するように図1の凸形のプレート520の領域が配置され、プレート520の領域内に凸形のプレート530の領域が配置される。
谷折溝21を除いてプレート510,520,530の領域を取り囲むようにフォトリソグラフィおよびエッチングにより構成要素層5、歪層4および犠牲層3を除去し、分離溝11を形成する。それにより、分離溝11で取り囲まれた構成要素層5が周囲の構成要素層5から分離される。また、谷折溝31,32を除いてプレート510,520の領域を互いに分離するようにフォトリソグラフィおよびエッチングにより構成要素層5、歪層4および犠牲層3を除去し、分離溝12を形成する。さらに、谷折溝33,34を除いてプレート530の領域を取り囲むようにフォトリソグラフィおよびエッチングにより構成要素層5、歪層4および犠牲層3を除去し、分離溝13,14を形成する。
これらの場合にも、エッチングとしてウェットエッチング法またはドライエッチング法を用いる。
その後、図6に示すように、分離溝11,12,13,14で取り囲まれた領域における歪層4下の犠牲層3をウェットエッチング法により選択的にエッチングする。その結果、歪層4を構成するInGaAs層41とGaAs層42との格子定数の差に起因する歪を緩和するように歪層4が図1のヒンジ210,220,230,310,320,330,340として谷折溝21,22,23,31,32,22,34の下方で谷状に湾曲する。それにより、構成要素層5が谷折溝21,22,23,31,32,33,34で谷状に折曲される。
次に、図1、図5〜図8を参照しながら本実施の形態に係る半導体装置100の動作原理について説明する。図7および図8は図1の半導体装置100の動作原理を説明するための斜視図である。
図5および図6に示されるヒンジ310,320,330,340のヒータ41,42,43,44に電流を流さない初期状態では、図1に示すように、ヒンジ310,320,330,340は谷状に湾曲しており、プレート520がプレート510に対して折曲され、プレート530がプレート520に対して折曲されている。
図5および図6に示される電極パッド410,420間に電圧を印加すると、ヒンジ310,320のヒータ41,42に電流が流れる。それにより、ヒータ41,42が発熱する。金属膜からなるヒータ41,42の熱膨張率は、半導体からなる歪層4の熱膨張率よりも高い。そのため、ヒンジ310,320が谷状から平坦状に近づくように湾曲し、プレート510に対するプレート520の角度が小さくなる。例えば、図7に示されるように、プレート520がプレート510に対して同一平面になるようにプレート520の角度を変化させることができる。
また、図5および図6に示される電極パッド410,430間に電圧を印加すると、ヒンジ330,340のヒータ43,44に電流が流れる。それにより、ヒータ43,44が発熱する。金属膜からなるヒータ43,44の熱膨張率は、半導体からなる歪層4の熱膨張率よりも高い。そのため、ヒンジ330,340が谷状から平坦状に近づくように湾曲し、プレート520に対するプレート530の角度が小さくなる。例えば、図7に示されるように、プレート530がプレート520に対して同一平面になるようにプレート530の角度を変化させることができる。
さらに、図5および図6に示される電極パッド410,420間に印加する電圧を大きくすると、ヒンジ310,320のヒータ41,42に流れる電流が大きくなる。それにより、ヒータ41,42の発熱量が増加する。そのため、ヒンジ310,320が平坦状からさらに山状に湾曲し、図8に示されるように、プレート520がプレート510に対して初期状態と逆方向に折曲される。
図5および図6に示される電極パッド410,430間に印加する電圧を大きくすると、ヒンジ330,340のヒータ43,44に流れる電流が大きくなる。それにより、ヒータ43,44の発熱量が増加する。そのため、ヒンジ330,340が平坦状からさらに山状に湾曲し、プレート530がプレート520に対して初期状態と逆方向に折曲される。
このように、ヒンジ310,320のヒータ41,42に流す電流を制御することによりプレート520を基板1の表面に平行なヒンジ310,320を軸として任意の角度に傾斜させることができる。また、ヒンジ330,340のヒータ43,44に流す電流を制御することによりプレート530をヒンジ310,320に垂直なヒンジ330,340を軸として任意の角度に傾斜させることができる。
したがって、本実施の形態に係る半導体装置100においては、プレート530を互いに垂直な2軸を中心として任意の方向に傾斜させることができる。
この場合、ヒータ41,42に流れる電流の所定範囲では、ヒータ41,42に流れる電流の値とプレート510に対するプレート520の角度とはほぼ比例関係を有する。また、ヒータ43,44に流れる電流の所定範囲では、ヒータ43,44に流れる電流の値とプレート520に対するプレート530の角度とはほぼ比例関係を有する。したがって、プレート520,530の傾斜角度を正確に制御することができる。
本実施の形態に係る半導体装置100を用いると、光ビームの方向をあらゆる方向に傾斜させることが可能となる。
なお、上記実施の形態では、複数のプレートが谷状に折曲可能なヒンジにより連結されているが、複数のプレートの一部が山状に折曲可能なヒンジにより連結されてもよい。その場合には、以下に説明するように、歪層4として3層の半導体層の積層構造を用いる。
図9は歪層の構成の他の例を示す模式的断面図であり、(a)は折曲されていない状態を示し、(b)は山状に折曲された状態を示し、(c)は谷状に折曲された状態を示す。
図9(a)に示すように、歪層4は、厚さ数nm〜数十nmのGaAs層42が厚さ数nm〜数十nmの第1のInGaAs層41aおよび厚さ数nm〜数十nmの第2のInGaAs層41bにより挟まれた構造を有する。第2のInGaAs層41bは第1のInGaAs層41aよりも大きな厚みを有する。第2のInGaAs層41b上に構成要素層5が形成される。
この場合、第1のInGaAs層41aおよび第2のInGaAs層41bはGaAs層42に比べて大きな格子定数を有するので、第1のInGaAs層41aはGaAs層42を上方に湾曲させるように作用し、第2のInGaAs層41bはGaAs層42を下方に湾曲させるように作用する。この状態では、第2のInGaAs層41b上に構成要素層5が形成されているため、歪層4は湾曲しない。
図9(b)に示すように、構成要素層5を第2のInGaAs層41bが露出するまでエッチングすると、第1のInGaAs層41aの厚みが第2のInGaAs層41bの厚みに比べて小さいので、第2のInGaAs層41bがGaAs層42を下方に湾曲させるように作用する。それにより、構成要素層5がエッチング部分で山状に折曲される。
図9(c)に示すように、構成要素層5および第2のInGaAs層41bをGaAs層42が露出するまでエッチングすると、第1のInGaAs層41aはGaAs層42を上方に湾曲させるように作用する。それにより、構成要素層5がエッチング部分で谷状に折曲される。
このように、歪層4を用いるとともにエッチング深さを調整することにより、構成要素層5を谷状および山状に折曲することができる。
この場合、第1および第2のInGaAs層41a,41bの厚さ、GaAs層42の厚さおよび第1および第2のInGaAs層41a,41bにおけるIn組成比を最適に選択することにより、構成要素層5を所望の角度で折曲することができる。
本実施の形態に係る半導体装置100は、光ビームをあらゆる方向に傾斜させることができるので、走査ミラー、光学スイッチ、光スキャナ、バラクタ、投射型表示装置等に用いることができる。
なお、上記実施の形態において、犠牲層3が第1の層に相当し、歪層4が第2の層に相当し、構成要素層5が第3の層に相当する。また、InGaAs層41が第1の半導体層に相当し、GaAs層42が第2の半導体層に相当する。さらに、プレート510の領域が第1の領域に相当し、プレート520の領域が第2の領域に相当し、プレート530の領域が第3の領域に相当する。
上記実施の形態の半導体装置は、通常のフォトリソグラフィ、エッチング、エピタキシャル成長等のプレーナ技術により容易かつ安価に製造することができる。
上記実施の形態では、歪層4としてInGaAs層とGaAs層との積層構造を用いているが、これに限定されず、異なる格子定数を有する種々の半導体層の組み合わせを用いることができる。歪層として他のIII −V族化合物半導体の積層構造、II−VI族化合物半導体の積層構造を用いてもよい。また、歪層としてSi(シリコン)およびGe(ゲルマニウム)を含む半導体層の積層構造を用いてもよい。
また、上記実施の形態では、GaAsからなる基板を用いているが、犠牲層、歪層および構成要素層の材料を考慮してSi基板等の他の基板を用いてもよい。
さらに、上記実施の形態では、犠牲層の材料としてAlGaAsを用いているが、これに限定されず、選択エッチングを考慮して他の材料を用いてもよい。
また、構成要素層の材料も上記実施の形態に限定されず、任意の材料を用いることができる。
本発明は、種々の光学素子、光学装置、光学システム、種々の駆動素子、駆動装置、駆動システム等に利用することができる。
1 基板
2 バッファ層
3 犠牲層
4 歪層
5 構成要素層
11,12,13,14 分離溝
21,22,23,31,32,33,34,35 谷折溝
41 InGaAs層
41a 第1のInGaAs層
41b 第2のInGaAs層
42 GaAs層
100 半導体装置
210,220,230,310,320,330,340 ヒンジ
410,420,430 電極パッド
411,412,413,414,415,416 配線層
510,520,530 プレート
2 バッファ層
3 犠牲層
4 歪層
5 構成要素層
11,12,13,14 分離溝
21,22,23,31,32,33,34,35 谷折溝
41 InGaAs層
41a 第1のInGaAs層
41b 第2のInGaAs層
42 GaAs層
100 半導体装置
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410,420,430 電極パッド
411,412,413,414,415,416 配線層
510,520,530 プレート
Claims (7)
- 隣接する第1の領域、第2の領域および第3の領域を有する基板と、
前記基板上に設けられた積層構造とを備え、
前記積層構造は、第1の層、第2の層および第3の層を順に含み、
前記第2の層は、異なる格子定数を有する複数の半導体層を含み、
前記第1の領域と前記第2の領域との境界部に第1の方向に延びる第1の折線が設けられ、前記第2の領域と前記第3の領域との境界部に前記第1の方向と交差する第2の方向に延びる第2の折線が設けられ、前記第1の領域の一辺に第3の折線が形成され、
前記第3の折線を除く部分で前記第1、第2および第3の領域を取り囲むように前記第3、第2および第1の層が除去され、前記第1、第2および第3の領域における前記第1の層が選択的に除去されることにより、前記第1、第2および第3の領域における前記第2および第3の層の部分が前記基板から離間し、
前記第2の層に作用する歪により前記第2の層が前記第3の折線で谷状に折曲されることにより、前記第1の領域の前記第2および第3の層の部分が前記基板から起立するとともに、前記第2の領域の前記第2および第3の層の部分が前記第1の折線で前記第1の領域の前記第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成され、前記第3の領域の前記第2および第3の層の部分が前記第2の折線で前記第2の領域の前記第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成されたことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の折線に第1の加熱手段が設けられ、前記第2の折線に第2の加熱手段が設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の加熱手段は、前記第1の折線上に設けられた第1の金属膜を含み、前記第2の加熱手段は、前記第2の折線上に設けられた第2の金属膜を含むことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記第2の層は、第1の格子定数を有する第1の半導体層と、前記第1の格子定数よりも小さい第2の格子定数を有する第2の半導体層とを含み、
前記第3の折線で前記第2の層が谷状に折曲されるように前記第3の折線の前記第3の層が除去されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記第1の領域は、前記第2の領域側に凹部を有する凹形に形成され、前記第2の領域は、前記第1の領域の前記凹部に対応する凸部を有する凸形に形成され、
前記第1の折線は前記第2の領域の前記凸部の両側に形成され、前記第1の領域の前記凹部と前記第2の領域の前記凸部との境界部において前記第3および第2の層が除去されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記第2の領域は、前記第1の方向を向く凹部を有する凹形の切欠き部を有し、
前記第3の領域は、前記第2の領域の前記凹部に対応する凸部を有する凸形に形成され、
前記第2の折線は前記第3の領域の前記凸部の両側に形成され、前記第2の領域の前記凹部と前記第3の領域の前記凸部との境界部において前記第3および第2の層が除去されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置。 - 隣接する第1の領域、第2の領域および第3の領域を有する基板上に第1の層を形成するステップと、
前記第1の層上に、異なる格子定数を有する複数の半導体層を含む第2の層を形成するステップと、
前記第2の層上に第3の層を形成するステップと、
前記第1の領域と前記第2の領域との境界部に第1の方向に延びる第1の折線を形成し、前記第2の領域と前記第3の領域との境界部に前記第1の方向と交差する第2の方向に延びる第2の折線を形成し、前記第1の領域の一辺に第3の折線を形成するステップと、
前記第3の折線を除く部分で前記第1、第2および第3の領域を取り囲むように前記第3、第2および第1の層を除去するステップと、
前記第1、第2および第3の領域における前記第1の層を選択的に除去することにより、前記第1、第2および第3の領域における前記第2および第3の層の部分を前記基板から離間させ、前記第2の層に作用する歪により前記第2の層を前記第3の折線で谷状に折曲することにより、前記第1の領域の前記第2および第3の層の部分を前記基板から起立させるとともに、前記第2の領域の前記第2および第3の層の部分を前記第1の折線で前記第1の領域の前記第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成し、前記第3の領域の前記第2および第3の層の部分を前記第2の折線で前記第2の領域の前記第2および第3の層の部分に対して折曲自在に構成するステップとを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004047206A JP2005238338A (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP2005238338A true JP2005238338A (ja) | 2005-09-08 |
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JP2004047206A Pending JP2005238338A (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | 半導体装置およびその製造方法 |
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Country | Link |
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-
2004
- 2004-02-24 JP JP2004047206A patent/JP2005238338A/ja active Pending
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