JP2005233818A - インダクタンスの測定装置と測定用プローブと測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来から知られるI−V法を用いたインダクタンスの測定(典型的には4端子対法)に比して、パワーモジュールやICパッケージ等のインダクタンスを精度よく測定すること。
【解決手段】 2端子間(162、164)のインダクタンスを測定する装置であり、ネットワークアナライザ142と、そのネットワークアナライザ142に接続されている1本の同軸ケーブル136と、その同軸ケーブル136の内芯線132をインダクタンスが既知の平板導体152を介してバスバーp端子162に接続し、その同軸ケーブル136の外側シールド被覆線134をバスバーn端子164に接続するとともに、バスバーp端子162とバスバーn端子164を容量が既知のチップコンデンサ154を介して接続するプローブ100とを有する。
【選択図】 図2
【解決手段】 2端子間(162、164)のインダクタンスを測定する装置であり、ネットワークアナライザ142と、そのネットワークアナライザ142に接続されている1本の同軸ケーブル136と、その同軸ケーブル136の内芯線132をインダクタンスが既知の平板導体152を介してバスバーp端子162に接続し、その同軸ケーブル136の外側シールド被覆線134をバスバーn端子164に接続するとともに、バスバーp端子162とバスバーn端子164を容量が既知のチップコンデンサ154を介して接続するプローブ100とを有する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、回路を内蔵する装置や素子の端子間のインダクタンスを測定する技術に関する。
回路を内蔵する部品の端子間のインダクタンスを精密に測定する必要がしばしば存在する。例えばパワーモジュールでは、内蔵するスイッチング素子のオンオフ時に端子間にサージ電圧が発生するところ、そのサージ電圧の大きさには端子間のインダクタンスが影響を与えるために、端子間のインダクタンスを精密に測定することが必要とされる。端子間のインダクタンスを精密に測定するためには、端子間に内蔵されているインダクタンス成分を持つ電子部品の自己インダクタンスを測定するだけでなく、回路構成部材同士が相互に磁気的に影響しあうことによって発生するインダクタンス(ここでは寄生インダクタンスという)まで精密に測定しなければならない。端子板やリード線や配線パターンにも、相互影響に由来する寄生インダクタンスが発生する。
寄生インダクタンスはそもそも小さく、それを精密に測定することが困難である。さらには、インダクタンスを測定するために通電すると、測定用ケーブルを流れる電流が作りだす磁界が回路の寄生インダクタンスの大きさを変化させてしまうために、端子間のインピーダンスを精密に測定することができないという問題も生じる。
後者の問題を克服するために、4端子対法がよく利用される。特許文献1に、4端子対法を用いたインピーダンスメーターが記載されている。
特開平5−312859号公報(その公報の図1参照)
寄生インダクタンスはそもそも小さく、それを精密に測定することが困難である。さらには、インダクタンスを測定するために通電すると、測定用ケーブルを流れる電流が作りだす磁界が回路の寄生インダクタンスの大きさを変化させてしまうために、端子間のインピーダンスを精密に測定することができないという問題も生じる。
後者の問題を克服するために、4端子対法がよく利用される。特許文献1に、4端子対法を用いたインピーダンスメーターが記載されている。
図3を用いて、4端子対法を説明する。図示205は回路を内蔵する測定対象試料であり、端子205aと端子205b間のインダクタンスを測定することが求められている。その測定対象試料205に対して一対の同軸ケーブル204、208が接続される。以下では、図面上で上側に配置されている同軸ケーブルを上側同軸ケーブル204といい、下側に配置されている同軸ケーブルを下側同軸ケーブル208という。
測定電流は、交流電流源202から上側同軸ケーブル204の内芯線(内芯導体)を経由して測定対象試料205の上側端子205aに供給される。この測定電流は、測定対象試料205の下側端子205bから下側同軸ケーブル208の内芯線を経由して電流計207へと流れる。測定電流の電流値はこの電流計207で測定される。測定された測定電流は下側同軸ケーブル208の外側シールド被覆線(外側導体)と、測定対象試料205を迂回する導線210と、上側同軸ケーブル204の外側シールド被覆線を経由して交流電流源202に戻る。この測定電流の往路と復路が、同軸ケーブル204、208の内芯線と外側シールド被覆線を逆方向へ流れるために、同軸ケーブルに起因する磁束の発生を抑制し、測定電流が測定対象試料205のインピーダンスを変化させてしまうことを抑制することができる。
測定電流は、交流電流源202から上側同軸ケーブル204の内芯線(内芯導体)を経由して測定対象試料205の上側端子205aに供給される。この測定電流は、測定対象試料205の下側端子205bから下側同軸ケーブル208の内芯線を経由して電流計207へと流れる。測定電流の電流値はこの電流計207で測定される。測定された測定電流は下側同軸ケーブル208の外側シールド被覆線(外側導体)と、測定対象試料205を迂回する導線210と、上側同軸ケーブル204の外側シールド被覆線を経由して交流電流源202に戻る。この測定電流の往路と復路が、同軸ケーブル204、208の内芯線と外側シールド被覆線を逆方向へ流れるために、同軸ケーブルに起因する磁束の発生を抑制し、測定電流が測定対象試料205のインピーダンスを変化させてしまうことを抑制することができる。
一方、測定対象試料205の下側端子205bの電位は、下側同軸ケーブル208の内芯線を介して増幅器206の反転入力に印加されており、その増幅器206の非反転入力は下側同軸ケーブル208の外側シールド被覆線に接続されている。増幅器206の出力は、可変電流源209を介して下側同軸ケーブル208の外側シールド被覆線に接続されている。可変電流源209によって、下側同軸ケーブル208の内芯線と外側シールド被覆線の電位が等しくなるように、測定電流の大きさが調節される。下側同軸ケーブル208の外側シールド被覆線はこのグランド電位となるように接地されている。導体210を介して、上側同軸ケーブル204の外側シールド被覆線の電位もグランド電位に維持される。
以上によって、上側同軸ケーブル204の内芯線と外側シールド被覆線の電位差を電圧計203で測定することによって、測定対象試料205の上側端子205aと下側端子205bの電位差を測定することができる。なお、図示Hc、Hp、Lp、Lcは各測定端子を表している。
上記から、測定対象試料205の2端子205a、205b間の電位差と電流値が測定できるので、この測定値の比と位相差から、測定対象試料205の端子205a、205b間のインダクタンスを測定することができる。
以上によって、上側同軸ケーブル204の内芯線と外側シールド被覆線の電位差を電圧計203で測定することによって、測定対象試料205の上側端子205aと下側端子205bの電位差を測定することができる。なお、図示Hc、Hp、Lp、Lcは各測定端子を表している。
上記から、測定対象試料205の2端子205a、205b間の電位差と電流値が測定できるので、この測定値の比と位相差から、測定対象試料205の端子205a、205b間のインダクタンスを測定することができる。
上記の4端子対法はI−V手法と呼ばれる測定方法を用いている。この手法では、測定対象試料のインダクタンスが小さい場合には、その測定対象試料の両端子間に生じる電位差も小さくなり、測定誤差が大きくなるという問題がある。微小な寄生インダクタンスまで含めて精密にインダクタンスを測定するためには、従来からのI−V手法とは異なる測定手法の開発が望まれている。
また、4端子対法では、測定対象試料自体が大きい場合、図3に示すように、その測定対象試料を迂回する導線210の長さが長くなるという問題が発生する。導線210の長さが長くなると、その導線210を流れる測定用の電流が、測定対象試料の端子間に生じる寄生インダクタンスの大きさを変えてしまうという問題が無視できなくなる。
本発明の一つの課題は、インダクタンスを精密に測定することができる、I−V手法とは異なる測定手法を提供することである。
本発明の他の一つの課題は、測定のための電流が、測定対象試料の端子間に生じる寄生インダクタンスの大きさを変えてしまうことを抑制することができる測定手法を提供することである。
本発明は、上記した課題の少なくとも一つを解決することを目的とする。
また、4端子対法では、測定対象試料自体が大きい場合、図3に示すように、その測定対象試料を迂回する導線210の長さが長くなるという問題が発生する。導線210の長さが長くなると、その導線210を流れる測定用の電流が、測定対象試料の端子間に生じる寄生インダクタンスの大きさを変えてしまうという問題が無視できなくなる。
本発明の一つの課題は、インダクタンスを精密に測定することができる、I−V手法とは異なる測定手法を提供することである。
本発明の他の一つの課題は、測定のための電流が、測定対象試料の端子間に生じる寄生インダクタンスの大きさを変えてしまうことを抑制することができる測定手法を提供することである。
本発明は、上記した課題の少なくとも一つを解決することを目的とする。
本発明は、2端子間のインダクタンスを測定するインダクタンス測定装置に具現化される。本発明のインダクタンス測定装置は、共振周波数測定装置(例えばネットワークアナライザ)と、その共振周波数測定装置に接続されている1本の同軸ケーブルを利用する。その同軸ケーブルにはプローブが取付けられている。そのプローブは、同軸ケーブルの一方の導体をインダクタンスが既知のダミー導体を介して一方の端子に接続し、同軸ケーブルの他方の導体を他方の端子に接続するとともに、一方の端子と他方の端子を容量が既知のコンデンサを介して接続する。
上記のインダクタンス測定装置によると、2端子間のインダクタンスと、ダミー導体のインダクタンスと、コンデンサの容量でLC並列回路が構成される。ダミー導体のインダクタンスをL1とし、2端子間のインダクタンスをL2とし、コンデンサの容量をCとすると、このLC並列回路の共振周波数Fに対して、次の関係が成立する。
F=1/(2π×(C(L1+L2))1/2) (1)
LC並列回路の共振周波数Fを測定すれば、上式(1)の関係から、2端子間のインダクタンスL2を求めることができる。
上記のインダクタンス測定装置は、LC並列回路の共振周波数によってインダクタンスを測定する手法を用いており、従来のI−V手法に比してその測定精度を向上することができる。高いSN比が得られる。
このLC並列回路と共振周波数測定装置の間は同軸ケーブルで接続されており、その同軸ケーブルには往路の測定電流と復路の測定電流が通電されることから、測定電流が2端子間のインダクタンスL2を変化させることが抑制されている。同軸ケーブルの長さに制約をうくることがない。
また、ダミー導体とコンデンサは、2端子間に対して所望の位置と形状で形成することができ、2端子間のインダクタンスL2に影響を与えないように配置することができる。
測定対象試料が大きい場合でも好適に用いることができる。
F=1/(2π×(C(L1+L2))1/2) (1)
LC並列回路の共振周波数Fを測定すれば、上式(1)の関係から、2端子間のインダクタンスL2を求めることができる。
上記のインダクタンス測定装置は、LC並列回路の共振周波数によってインダクタンスを測定する手法を用いており、従来のI−V手法に比してその測定精度を向上することができる。高いSN比が得られる。
このLC並列回路と共振周波数測定装置の間は同軸ケーブルで接続されており、その同軸ケーブルには往路の測定電流と復路の測定電流が通電されることから、測定電流が2端子間のインダクタンスL2を変化させることが抑制されている。同軸ケーブルの長さに制約をうくることがない。
また、ダミー導体とコンデンサは、2端子間に対して所望の位置と形状で形成することができ、2端子間のインダクタンスL2に影響を与えないように配置することができる。
測定対象試料が大きい場合でも好適に用いることができる。
ダミー導体がコンデンサと一方の端子を接続する導体を兼用していることが好ましい。
この場合、ダミー導体とは別にコンデンサと一方の端子を接続する導体を設ける必要がなく、プローブの構成を簡単化することができる。さらには、測定対象試料の寄生インダクタンスに与える影響を実質的に無くすことができる。インダクタンスの測定精度がより向上する。
この場合、ダミー導体とは別にコンデンサと一方の端子を接続する導体を設ける必要がなく、プローブの構成を簡単化することができる。さらには、測定対象試料の寄生インダクタンスに与える影響を実質的に無くすことができる。インダクタンスの測定精度がより向上する。
プローブ自体も本発明で創作された。そのプローブは、同軸ケーブルに取付けて用いられ、インダクタンスが既知のダミー導体と、容量が既知のコンデンサとを備えている。ダミー導体を測定対象試料の一方の端子に接触させ、コンデサの端部を測定対象試料の他方の端子に接触させると、同軸ケーブルの一方の導体がダミー導体を介して一方の端子に接続され、同軸ケーブルの他方の導体が他方の端子に接続され、測定対象試料の一方の端子と他方の端子がコンデンサとダミー導体を介して接続されることを特徴とする。
上記のプローブを両端子に接触させると、2端子間のインダクタンスと、ダミー導体のインダクタンスと、コンデンサの容量によってLC並列回路が構成される。予め用意されているプローブを、両端子に対して接触して用いるだけで、手間をかけずに2端子間のインダクタンスを測定することができる。
ダミー導体を一方の端子に接触させ、コンデサの端部を他方の端子に接触させたときに、ダミー導体の通電方向と測定対象試料の一方の端子の通電方向が直交することが好ましい。
上記の直交関係が成立していると、ダミー導体を流れる測定電流が、一方の端子の寄生インダクタンスを変化させることがなく、測定対象試料の端子間のインダクタンスの測定精度を向上することができる。
上記の直交関係が成立していると、ダミー導体を流れる測定電流が、一方の端子の寄生インダクタンスを変化させることがなく、測定対象試料の端子間のインダクタンスの測定精度を向上することができる。
本発明は、従来のI−V手法とは異なる、新たなインダクタンス測定方法に具現化される。
本発明で創作されたインダクタンス測定方法は、一方の端子にインダクタンスが既知のダミー導体を介して同軸ケーブルの一方の導体を接続する工程と、他方の端子に同軸ケーブルの他方の導体を接続する工程と、一方の端子と他方の端子の間を容量が既知のコンデンサを介して接続する工程と、2端子間のインダクタンスとダミー導体のインダクタンスとコンデンサの容量で構成されるLC並列回路の共振周波数を測定する工程とを有する。
上記の各工程を実施することで、2端子間のインダクタンスとダミー導体のインダクタンスとコンデンサの容量によってLC並列回路を構成することができ、そのLC並列回路LC並列回路の共振周波数を測定することで2端子間のインダクタンスを測定することができる。共振周波数を測定することから高いSN比を得ることができ、2端子間のインダクタンスを精密に測定することができる。
本発明で創作されたインダクタンス測定方法は、一方の端子にインダクタンスが既知のダミー導体を介して同軸ケーブルの一方の導体を接続する工程と、他方の端子に同軸ケーブルの他方の導体を接続する工程と、一方の端子と他方の端子の間を容量が既知のコンデンサを介して接続する工程と、2端子間のインダクタンスとダミー導体のインダクタンスとコンデンサの容量で構成されるLC並列回路の共振周波数を測定する工程とを有する。
上記の各工程を実施することで、2端子間のインダクタンスとダミー導体のインダクタンスとコンデンサの容量によってLC並列回路を構成することができ、そのLC並列回路LC並列回路の共振周波数を測定することで2端子間のインダクタンスを測定することができる。共振周波数を測定することから高いSN比を得ることができ、2端子間のインダクタンスを精密に測定することができる。
本発明のプローブを測定装置によると、高いSN比が得られる共振周波数の測定によって、2端子間のインダクタンスを簡便かつ正確に測定することができる。測定によって、2端子間の寄生インダクタンスが変化する問題を解決することができる。
最初に実施例の主要な特徴を列記する。
(第1実施形態) 2端子間(162、164)間のインダクタンスを測定するプローブであり、インダクタンスが既知のダミー導体(152)と、容量が既知のコンデンサ(154)とを備えている。ダミー導体(152)の一端が第1接続端子(156)を介して第1端子(162)に接続可能であり、そのダミー導体(152)の他端にはコンデンサ(154)の一端と同軸ケーブル(136)の内芯導体(132)が接続されている。コンデンサ(154)の他端は同軸ケーブル(136)の外側導体(134)に接続されており、第2接続端子(158)を介して、第2端子(164)に接続可能である。
(第1実施形態) 2端子間(162、164)間のインダクタンスを測定するプローブであり、インダクタンスが既知のダミー導体(152)と、容量が既知のコンデンサ(154)とを備えている。ダミー導体(152)の一端が第1接続端子(156)を介して第1端子(162)に接続可能であり、そのダミー導体(152)の他端にはコンデンサ(154)の一端と同軸ケーブル(136)の内芯導体(132)が接続されている。コンデンサ(154)の他端は同軸ケーブル(136)の外側導体(134)に接続されており、第2接続端子(158)を介して、第2端子(164)に接続可能である。
図面を参照して以下に各実施例を詳細に説明する。
(第1実施例) まず、第1実施例のインダクタンス測定装置の構成を説明する前に、第1実施例の構成と等価な回路図を図1に示してその概要を説明する。
図示22にLC並列回路が形成されている。図示28は容量C10が既知のコンデンサであり、図示24はインダクタンスL11が既知のダミー導体であり、26はインダクタンスL12が未知の検出対象導体であり、2端子間の回路に相当する。同軸ケーブル36の内芯導体32と外側シールド被覆線(外側導体)34に対して、インダクタンスL11とインダクタンスL12が直列に接続され、インダクタンスL11とインダクタンスL12に直列回路に対して、容量C10が並列に接続されている。インダクタンスL11とインダクタンスL12と容量C10は、インダクタンス成分と容量成分が並列に配置されたLC並列回路22を構成する。
同軸ケーブル36は、ネットワークアナライザ42に接続されており、このネットワークアナライザ42とLC並列回路22は50Ωにインピーダンスマッチングされている。インピーダンスマッチングされているので、この同軸ケーブル36のインダクタンスは無視し得る。同軸ケーブル32には、往路の測定電流と復路の測定電流が通電されることから、測定電流がインダクタンスL11の大きさに影響を与えることはない。
(第1実施例) まず、第1実施例のインダクタンス測定装置の構成を説明する前に、第1実施例の構成と等価な回路図を図1に示してその概要を説明する。
図示22にLC並列回路が形成されている。図示28は容量C10が既知のコンデンサであり、図示24はインダクタンスL11が既知のダミー導体であり、26はインダクタンスL12が未知の検出対象導体であり、2端子間の回路に相当する。同軸ケーブル36の内芯導体32と外側シールド被覆線(外側導体)34に対して、インダクタンスL11とインダクタンスL12が直列に接続され、インダクタンスL11とインダクタンスL12に直列回路に対して、容量C10が並列に接続されている。インダクタンスL11とインダクタンスL12と容量C10は、インダクタンス成分と容量成分が並列に配置されたLC並列回路22を構成する。
同軸ケーブル36は、ネットワークアナライザ42に接続されており、このネットワークアナライザ42とLC並列回路22は50Ωにインピーダンスマッチングされている。インピーダンスマッチングされているので、この同軸ケーブル36のインダクタンスは無視し得る。同軸ケーブル32には、往路の測定電流と復路の測定電流が通電されることから、測定電流がインダクタンスL11の大きさに影響を与えることはない。
ネットワークアナライザ42は、パワーデバイス等の各種回路の高周波特性を測定する一般的な機器である。本実施例では、このネットワークアナライザ42によって、S11(反射係数)を測定する。この係数S11から、LC並列回路22の共振周波数を測定することができる。LC並列回路22の共振周波数をFとすると次の関係が成立する。
F=1/(2π×(C10(L11+L12))1/2) (2)
容量C10とインダクタンスL11は既知であるから、共振周波数Fが測定されると、上式(2)より測定対象のインダクタンスL12を計算することができる。
F=1/(2π×(C10(L11+L12))1/2) (2)
容量C10とインダクタンスL11は既知であるから、共振周波数Fが測定されると、上式(2)より測定対象のインダクタンスL12を計算することができる。
次に第1実施例のインダクタンス測定装置の構成を、図2を参照して詳細に説明する。なお、図2に示すネットワークアナライザ142と同軸ケーブル136は、図1の場合と同一である。
図2に示すインダクタンス測定装置は、パワーモジュール160の端子162、164間のインダクタンスを測定する場合を例示している。パワーモジュール160は、スイッチング素子を内蔵しており、端子162、164間が導通していないことがあるが、この場合には、スイッチング素子をオンして端子162、164間が導通した状態で測定する。あるいは、スイッチング素子に代えて常時オンしているダミースイッチング素子に置換えた状態で測定する。測定対象回路は、少なくとも2端子を備えているものであれば足り、3端子以上備えていてもよい。例えば、A,B,Cの3端子回路であれば、本実施例の装置で、AB間のインダクタンス、BC間のインダクタンス、CA間のインダクタンスを測定することができる。
本実施例で測定する端子162、164間には、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていない。したがって、端子162、164間のインダクタンスは低い。しかしながら、回路を流れる電流によって、回路構成部品同士の間に磁気的接合関係が現われ、微小な相互インダクタンスが発生する。例えば、ボンディングワイヤを流れる電流が配線パターンにインダクタンス成分を発生させ、配線パターンを流れる電流がボンディングワイヤにインダクタンス成分を発生させる。端子162、164間には、微小なインダクタンスが観測される。
この微小なインダクタンスをI−V法で測定することは難しい。本実施例で採用する共振周波数観測法は、特定周波数で顕著に発生する共振現象を観測することからSN比が高く、精密に測定することができる。
本実施例で測定する端子162、164間には、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていないが、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていたとしても、端子162、164間のインダクタンスを精密に測定する必要がある場合には、ボンディングワイヤ配線パターン等に生じる寄生インダクタンス成分までをも精密に測定することができる。本実施例の測定装置には、この場合にも有用である。
図2に示すインダクタンス測定装置は、パワーモジュール160の端子162、164間のインダクタンスを測定する場合を例示している。パワーモジュール160は、スイッチング素子を内蔵しており、端子162、164間が導通していないことがあるが、この場合には、スイッチング素子をオンして端子162、164間が導通した状態で測定する。あるいは、スイッチング素子に代えて常時オンしているダミースイッチング素子に置換えた状態で測定する。測定対象回路は、少なくとも2端子を備えているものであれば足り、3端子以上備えていてもよい。例えば、A,B,Cの3端子回路であれば、本実施例の装置で、AB間のインダクタンス、BC間のインダクタンス、CA間のインダクタンスを測定することができる。
本実施例で測定する端子162、164間には、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていない。したがって、端子162、164間のインダクタンスは低い。しかしながら、回路を流れる電流によって、回路構成部品同士の間に磁気的接合関係が現われ、微小な相互インダクタンスが発生する。例えば、ボンディングワイヤを流れる電流が配線パターンにインダクタンス成分を発生させ、配線パターンを流れる電流がボンディングワイヤにインダクタンス成分を発生させる。端子162、164間には、微小なインダクタンスが観測される。
この微小なインダクタンスをI−V法で測定することは難しい。本実施例で採用する共振周波数観測法は、特定周波数で顕著に発生する共振現象を観測することからSN比が高く、精密に測定することができる。
本実施例で測定する端子162、164間には、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていないが、インダクタンス成分を有する電子部品は実装されていたとしても、端子162、164間のインダクタンスを精密に測定する必要がある場合には、ボンディングワイヤ配線パターン等に生じる寄生インダクタンス成分までをも精密に測定することができる。本実施例の測定装置には、この場合にも有用である。
図示162、164はパワーモジュール160の端子であり、具体的には、バスバーである。図示162がp(Positive:+)端子であり、図示164がn(Negative:−)端子である。バスバーの通電方向は、紙面の上下方向であり、パワーモジュール160内に形成されている配線パターンの通電方向と直交している。
破線100で囲まれた箇所に対応するのがインダクタンス測定装置に用いられるプローブ100である。なお、本実施例では同軸ケーブル136を含めてプローブ100と称するが、本来的にはこの同軸ケーブル136を除いた構成をプローブ100と称する。また、本実施例のプローブ100は、バスバーとの接触を容易にするために接続端子156、158を備えているが、この接続端子156、158は省略可能である。このプローブ100は前記の両端子162、164に接触させて用いられる。
破線100で囲まれた箇所に対応するのがインダクタンス測定装置に用いられるプローブ100である。なお、本実施例では同軸ケーブル136を含めてプローブ100と称するが、本来的にはこの同軸ケーブル136を除いた構成をプローブ100と称する。また、本実施例のプローブ100は、バスバーとの接触を容易にするために接続端子156、158を備えているが、この接続端子156、158は省略可能である。このプローブ100は前記の両端子162、164に接触させて用いられる。
プローブ100は、インダクタンスが既知の平板導体152と、容量が既知のチップコンデンサ154と、セミリジッド同軸ケーブル136とを備えている。平板導体152の形状は平板を例示しているが、この導体はインダクタンスが既知のものであればよく、例えば細線導体等であってもよい。この導体の形状が円柱や直方体であると、予めそのインダクタンスを精度よく知ることができるので好ましい。
なお、チップコンデンサ154が、図1に示すコンデンサ28に対応し、平板導体152はインダクタンス成分24に対応している。
なお、チップコンデンサ154が、図1に示すコンデンサ28に対応し、平板導体152はインダクタンス成分24に対応している。
セミリジッド同軸ケーブル136の内芯線(内芯導体)132は、平板導体152の左端に接続されている。平板導体152の右端にはp側接続端子156が固定されている。
セミリジッド同軸ケーブル136の外側シールド被覆線(外側導体)134は、チップコンデンサ154の左端に接続されている。チップコンデンサ154の右端は、平板導体152の左端に接続されている。チップコンデンサ154の左端には、n側接続端子158が固定されている。
使用時には、p側接続端子156をp型パスバー162の先端に接触させ、n側接続端子158をn型パスバー164の先端に接触させる。この状態では、図1に示す回路が構成されている。
セミリジッド同軸ケーブル136の外側シールド被覆線(外側導体)134は、チップコンデンサ154の左端に接続されている。チップコンデンサ154の右端は、平板導体152の左端に接続されている。チップコンデンサ154の左端には、n側接続端子158が固定されている。
使用時には、p側接続端子156をp型パスバー162の先端に接触させ、n側接続端子158をn型パスバー164の先端に接触させる。この状態では、図1に示す回路が構成されている。
平板導体152の長手方向(通電方向)は、p型パスバー162の長手方向(通電方向)に直交する。平板導体152内を流れる測定電流の通電方向と、p型パスバー162を流れる測定電流の通電方向が直交するために、平板導体152を流れる測定電流は、p型パスバー162の寄生インダクタンスの大きさに影響を与えない。同様に、n型パスバー164の寄生インダクタンスの大きさに影響を与えない。n型パスバー164は平板導体152から離れているために、その影響は一層に小さい。パワーモジュール160内に形成されている配線パターンと平板導体152は、パスバー162、164の高さ分だけ離れており、平板導体152を流れる測定電流は、パワーモジュール160内に形成されている配線パターンの寄生インダクタンスの大きさにほとんど影響を与えない。
平板導体152と、チップコンデンサ154と、p側接続端子156と、n側接続端子158が上記の位置関係で配置されていると、そのプローブ100が極めて小型化される。したがって、上記の各構成要素に起因する寄生インダクタンスの影響が小さくなり、インダクタンス測定装置として好適に用いることができる。
また、上記の位置関係で形成したプローブ100を予め構成しておくことで、パワーモジュール160のバスバー162,164に対して、そのプローブ100を容易に接続することができ、手間をかけずにパワーモジュール160のバスバー162,164間のインダクタンスを測定することができる。
また、上記の位置関係で形成したプローブ100を予め構成しておくことで、パワーモジュール160のバスバー162,164に対して、そのプローブ100を容易に接続することができ、手間をかけずにパワーモジュール160のバスバー162,164間のインダクタンスを測定することができる。
なお、測定対象試料がバスバーを備えているパワーモジュールではなく、例えばリードフレームやワイヤボンディングによる配線を備えているICパッケージ等にも、上記のプローブ100を適用することができる。この場合、ICパッケージにはパワーモジュールのようなバスバーを備えていないが、p側接続端子156とn側接続端子158を長く形成することで、ICパッケージのリードフレームやワイヤボンディングに対して直接接続することができる。p側接続端子156とn側接続端子158を長くすることで、そのp側接続端子156とn側接続端子158の固有の寄生インダクタンスを考慮しなければならない場合が生じ得る。このときは、その寄生インダクタンスをL13として上式(2)に代えて、次の式を用いればよい。
F=1/(2π×(C10(L11+L12+L13))1/2) (3)
p側接続端子156とn側接続端子158の固有の寄生インダクタンスはその形状等から予め分かっているので、結局は同様の方法で、ICパッケージのインダクタンスを測定することができる。
F=1/(2π×(C10(L11+L12+L13))1/2) (3)
p側接続端子156とn側接続端子158の固有の寄生インダクタンスはその形状等から予め分かっているので、結局は同様の方法で、ICパッケージのインダクタンスを測定することができる。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
100:プローブ
136:セミリジッド同軸ケーブル(132:内芯線、134:外側シールド被覆線)
142:ネットワークアナライザ
152:平板導体
154:チップコンデンサ
156:n側接続端子
158:p側接続端子
162:バスバーp端子
164:バスバーn端子
136:セミリジッド同軸ケーブル(132:内芯線、134:外側シールド被覆線)
142:ネットワークアナライザ
152:平板導体
154:チップコンデンサ
156:n側接続端子
158:p側接続端子
162:バスバーp端子
164:バスバーn端子
Claims (5)
- 2端子間のインダクタンスを測定する装置であり、
共振周波数測定装置と、
その共振周波数測定装置に接続されている1本の同軸ケーブルと、
その同軸ケーブルの一方の導体をインダクタンスが既知のダミー導体を介して一方の端子に接続し、その同軸ケーブルの他方の導体を他方の端子に接続するとともに、一方の端子と他方の端子を容量が既知のコンデンサを介して接続するプローブと、
を有するインダクタンス測定装置。 - 前記ダミー導体が、前記コンデンサと前記一方の端子を接続する導体を兼用していることを特徴とする請求項1のインダクタンス測定装置。
- 同軸ケーブルに接続して用いるとともに、2端子間のインダクタンスを測定するためにその両端子に接触させて用いるプローブであり、
インダクタンスが既知のダミー導体と、
容量が既知のコンデンサとを備え、
ダミー導体を一方の端子に接触させ、コンデンサの端部を他方の端子に接触させると、同軸ケーブルの一方の導体がダミー導体を介して前記一方の端子に接続され、同軸ケーブルの他方の導体が前記他方の端子に接続され、前記一方の端子と他方の端子がコンデンサとダミー導体を介して接続されることを特徴とするプローブ。 - ダミー導体を一方の端子に接触させ、コンデンサの端部を他方の端子に接触させると、前記ダミー導体の通電方向と、前記一方の端子の通電方向が直交することを特徴とする請求項3のプローブ。
- 2端子間のインダクタンスを測定する方法であり、
一方の端子にインダクタンスが既知のダミー導体を介して同軸ケーブルの一方の導体を接続する工程と、
他方の端子に同軸ケーブルの他方の導体を接続する工程と、
一方の端子と他方の端子の間を容量が既知のコンデンサを介して接続する工程と、
2端子間のインダクタンスとダミー導体のインダクタンスとコンデンサの容量で構成されるLC並列回路の共振周波数を測定する工程と、
を有することを特徴とするインダクタンス測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004044491A JP2005233818A (ja) | 2004-02-20 | 2004-02-20 | インダクタンスの測定装置と測定用プローブと測定方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007127565A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | スペクトル強制分極探査装置 |
JP2012248305A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Denso Corp | インピーダンス測定装置 |
US11402443B2 (en) | 2018-07-05 | 2022-08-02 | Fujitsu Limited | Magnetic characteristic measuring apparatus and method |
-
2004
- 2004-02-20 JP JP2004044491A patent/JP2005233818A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007127565A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | スペクトル強制分極探査装置 |
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