JP2005230796A - Air purification device - Google Patents
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Description
本発明は、空気からの水溶性ガスの除去等を行う空気浄化装置に関する。 The present invention relates to an air purifier that removes a water-soluble gas from air.
半導体デバイス等の精密機器が製造されるクリーンルーム内では、空気の温度及び湿度や清浄度が常に監視されている。というのも、クリーンルーム内の環境が製品の良し悪しに大きな影響を及ぼすからである。例えば、クリーンルーム内の空気が汚れていると、この汚れた空気に含まれるアンモニア等のガスが製造過程の製品に混入し、不良品が発生するおそれがある。このため、従来には、特許文献１に開示されるような空気浄化装置をクリーンルーム内に設置し、空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とを行っている。 In a clean room where precision equipment such as semiconductor devices are manufactured, the temperature, humidity and cleanliness of air are constantly monitored. This is because the environment in the clean room has a great influence on the quality of the product. For example, if the air in the clean room is dirty, a gas such as ammonia contained in the dirty air may enter a product in the manufacturing process, resulting in a defective product. For this reason, conventionally, an air purifier as disclosed in Patent Document 1 is installed in a clean room to remove water-soluble gas from the air and humidify and cool the air.
具体的に、上記空気浄化装置において、その空調機本体には、加湿浄化部と冷却除湿浄化部とが設けられている。加湿浄化部は、スプレーノズルとエリミネータとによって構成されている。空調機本体に取り込まれた被処理空気は、スプレーノズルから噴霧される水によって過飽和状態にまで加湿され、被処理空気に含まれるアンモニア等の水溶性ガスが水に溶解して１次除去される。水溶性ガスが溶解した水は、スプレーノズルの下流側に設けられたエリミネータに当たって落下する。一方、水溶性ガスを１次除去された被処理空気は、エリミネータを通過して冷却除湿浄化部へ流入する。冷却除湿浄化部では、被処理空気が露点温度以下にまで冷却されて除湿される一方、該冷却除湿浄化部の表面に生じる結露水に被処理空気中の水溶性ガスが溶解し、被処理空気中の水溶性ガスが２次除去される。
上記特許文献１の空気浄化装置は、水を噴霧する部分であるスプレーノズルと、水滴を除去する部分であるエリミネータと、被処理空気を冷却する部分である冷却除湿浄化部とによって構成されている。つまり、被処理空気からの水溶性ガスの除去と加湿及び冷却とを３つの要素で行っている。このため、装置の部品点数が増加してコストがかかると共に、装置の構成が複雑化するという問題があった。また、被処理空気と水とが直接に接触する構造であるため、被処理空気を汚染しないように純水を使用しなければならず、ランニングコストが嵩むという問題もあった。 The air purification apparatus of Patent Document 1 is configured by a spray nozzle that is a part that sprays water, an eliminator that is a part that removes water droplets, and a cooling and dehumidification and purification part that is a part that cools air to be treated. . That is, removal of water-soluble gas from the air to be treated, humidification, and cooling are performed by three elements. For this reason, there are problems that the number of parts of the apparatus increases and costs are increased, and the configuration of the apparatus is complicated. In addition, since the air to be treated and the water are in direct contact with each other, pure water must be used so as not to contaminate the air to be treated, which increases the running cost.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、空気浄化装置の部品点数を削減して装置の構成を簡素化しつつ、ランニングコストを削減することにある。 This invention is made | formed in view of this point, The place made into the objective is to reduce running cost, reducing the number of parts of an air purifying apparatus and simplifying a structure of an apparatus.
第１の発明は、空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とを行う空気浄化装置を対象としている。そして、多孔質膜と該多孔質膜によって仕切られた水通路（24）及び空気通路（23）とが設けられた浄化用エレメント（20）を備え、上記多孔質膜を通過した水溶性ガスを上記水通路（24）の水に溶解させて上記空気通路（23）の空気から除去し、上記多孔質膜を通過した水蒸気によって上記空気通路（23）の空気を加湿し、上記水通路（24）の水との熱交換によって上記空気通路（23）の空気を冷却するものである。 The first invention is directed to an air purification device that performs removal of water-soluble gas from air and humidification and cooling of air. And a purification element (20) provided with a porous membrane and a water passage (24) and an air passage (23) partitioned by the porous membrane, the water-soluble gas having passed through the porous membrane The water in the water passage (24) is dissolved in water and removed from the air in the air passage (23), and the air in the air passage (23) is humidified by water vapor that has passed through the porous membrane. The air in the air passage (23) is cooled by heat exchange with water.
第２の発明は、第１の発明において、浄化用エレメント（20）は、多孔質膜で構成されたチューブ部材（22）と、箱状に形成されて対向面の一方から他方へ上記チューブ部材（22）が貫通する容器部材（21）とを備えており、上記浄化用エレメント（20）では、上記チューブ部材（22）の内側が空気通路（23）となり該チューブ部材（22）の外側が水通路（24）となるものである。 According to a second invention, in the first invention, the purification element (20) includes a tube member (22) formed of a porous membrane, and the tube member is formed in a box shape from one of the opposing surfaces to the other. (22) through which the container member (21) passes. In the purification element (20), the inside of the tube member (22) becomes the air passage (23) and the outside of the tube member (22) It becomes the water passage (24).
第３の発明は、第１の発明において、浄化用エレメント（20）は、多孔質膜で構成されて内側が水通路（24）となる扁平な筒状部材（25）を備えており、上記浄化用エレメント（20）では、複数の上記筒状部材（25）が所定間隔で略平行に配置され、該筒状部材（25）同士の間が空気通路（23）となっているものである。 In a third aspect based on the first aspect, the purification element (20) includes a flat cylindrical member (25) made of a porous membrane and having an inner side serving as a water passage (24). In the purification element (20), the plurality of cylindrical members (25) are arranged substantially in parallel at a predetermined interval, and an air passage (23) is formed between the cylindrical members (25). .
第４の発明は、第１の発明において、空気に対する加湿量と、浄化用エレメント（20）の出口における空気温度とが調節可能に構成されるものである。 According to a fourth invention, in the first invention, the humidification amount with respect to the air and the air temperature at the outlet of the purification element (20) are adjustable.
第５の発明は、第１の発明において、浄化用エレメント（20）の水通路（24）への給水と該水通路（24）からの排水とを行って該水通路（24）内で水を流通させる水管路（50）と、上記浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量を調節することによって浄化用エレメント（20）の出口における空気温度を制御する温度制御手段（71）とを備えるものである。 According to a fifth invention, in the first invention, water is supplied to the water passage (24) of the purification element (20) and drained from the water passage (24), and water is supplied in the water passage (24). Temperature control for controlling the air temperature at the outlet of the purification element (20) by adjusting the flow rate of water passing through the water pipe (50) through which the water flows and the water passage (24) of the purification element (20) Means (71).
第６の発明は、第１の発明において、浄化用エレメント（20）の水通路（24）への給水と該水通路（24）からの排水とを行って該水通路（24）内で水を流通させる水管路（50）と、上記浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度を調節することによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を制御する加湿量制御手段（72）とを備えるものである。 According to a sixth invention, in the first invention, water is supplied to the water passage (24) of the purification element (20) and drained from the water passage (24), and water is supplied in the water passage (24). The amount of humidification with respect to the air in the purification element (20) is controlled by adjusting the temperature of water supplied to the water pipe (50) through which the water flows and the water passage (24) of the purification element (20). Humidification amount control means (72).
−作用−
上記第１の発明では、空気浄化装置に浄化用エレメント（20）が設けられる。浄化用エレメント（20）の多孔質膜には、多数の微小孔が設けられている。この多孔質膜は、水通路（24）と空気通路（23）とを仕切っている。そして、水通路（24）を流通する水と空気通路（23）を流通する空気とは、多孔質膜を介して接触する。
-Action-
In the first invention, the air purification device is provided with the purification element (20). The porous membrane of the purification element (20) is provided with a large number of micropores. This porous membrane partitions the water passage (24) and the air passage (23). And the water which distribute | circulates a water channel | path (24) and the air which distribute | circulates an air channel | path (23) contact via a porous membrane.
この発明では、空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿と冷却とが行われる。具体的に、空気通路（23）の空気に含まれる水溶性ガスは、多孔質膜の微小孔を通過して水通路（24）の水に溶解する。このようにして、空気通路（23）を流通する空気から水溶性ガスが除去される。 In the present invention, water-soluble gas is removed from the air, and air is humidified and cooled. Specifically, the water-soluble gas contained in the air of the air passage (23) passes through the micropores of the porous membrane and dissolves in the water of the water passage (24). In this way, the water-soluble gas is removed from the air flowing through the air passage (23).
水通路（24）を流通する水は、その一部が水蒸気となって多孔質膜の微小孔を通過する。多孔質膜を通過した水蒸気は、空気通路（23）を流通する空気へ付与される。このようにして、空気通路（23）を流通する空気が加湿される。 A part of the water flowing through the water passage (24) becomes water vapor and passes through the micropores of the porous membrane. The water vapor that has passed through the porous membrane is imparted to the air flowing through the air passage (23). In this way, the air flowing through the air passage (23) is humidified.
空気通路（23）を流通する空気は、水通路（24）を流通する冷水と多孔質膜を介して熱交換を行う。一方、水通路（24）には、空気通路（23）を流通する空気よりも温度の低い水が供給される。このため、空気通路（23）を流通する空気は、水通路（24）を流通する冷水へ放熱し、冷却される。また、空気通路（23）を流通する空気は、冷水の蒸発による蒸発潜熱によっても冷却される。 The air flowing through the air passage (23) exchanges heat with the cold water flowing through the water passage (24) through the porous membrane. On the other hand, water having a temperature lower than that of air flowing through the air passage (23) is supplied to the water passage (24). Therefore, the air flowing through the air passage (23) dissipates heat to the cold water flowing through the water passage (24) and is cooled. The air flowing through the air passage (23) is also cooled by the latent heat of evaporation due to the evaporation of the cold water.
上記第２の発明では、浄化用エレメント（20）にチューブ部材（22）と容器部材（21）とが設けられる。容器部材（21）は中空に形成される一方、該容器部材（21）の対向面の一方から他方へチューブ部材（22）が貫通している。そして、浄化用エレメント（20）では、チューブ部材（22）の内側が空気通路（23）となっており、チューブ部材（22）の外側、即ち該チューブ部材（22）の外周面と容器部材（21）の内面とに囲まれた空間が水通路（24）となっている。 In the second aspect of the invention, the purification element (20) is provided with the tube member (22) and the container member (21). While the container member (21) is formed in a hollow shape, the tube member (22) penetrates from one of the opposing surfaces of the container member (21) to the other. In the purification element (20), the inside of the tube member (22) is an air passage (23), and the outside of the tube member (22), that is, the outer peripheral surface of the tube member (22) and the container member ( The space surrounded by the inner surface of 21) is the water passage (24).
上記第３の発明では、浄化用エレメント（20）に複数の筒状部材（25）が設けられる。この筒状部材（25）は、多孔質膜で構成された扁平な筒状の部材である。浄化用エレメント（20）において、複数の筒状部材（25）は、互いに略平行となる姿勢で所定の間隔をおいて配置されている。この浄化用エレメント（20）では、各筒状部材（25）の内側の空間が水通路（24）となる一方、略平行に配置された筒状部材（25）同士の間の空間が空気通路（23）となっている。 In the third aspect of the invention, the purification element (20) is provided with a plurality of cylindrical members (25). The tubular member (25) is a flat tubular member made of a porous film. In the purification element (20), the plurality of cylindrical members (25) are arranged at predetermined intervals in a posture that is substantially parallel to each other. In this purification element (20), the space inside each cylindrical member (25) is the water passage (24), while the space between the substantially parallel cylindrical members (25) is the air passage. (23).
上記第４の発明では、空気通路（23）を流通する空気に対する加湿量、即ち多孔質膜を通過して空気へ付与される水蒸気量が調節可能となっている。また、浄化用エレメント（20）の出口における空気温度、即ち空気通路（23）から流出する空気の温度が調節可能となっている。例えば、空気通路（23）を流通する空気の流量や水通路（24）を流通する水の温度を変化させると、空気通路（23）を流通する空気に対する加湿量と空気通路（23）から流出する空気の温度とがそれぞれ調節される。 In the fourth aspect of the invention, the amount of humidification with respect to the air flowing through the air passage (23), that is, the amount of water vapor applied to the air through the porous membrane can be adjusted. Further, the air temperature at the outlet of the purification element (20), that is, the temperature of the air flowing out from the air passage (23) can be adjusted. For example, if the flow rate of the air flowing through the air passage (23) or the temperature of the water flowing through the water passage (24) is changed, the amount of humidification for the air flowing through the air passage (23) and the air passage (23) flow out. The temperature of the air to be adjusted is adjusted.
上記第５及び第６の発明では、浄化用エレメント（20）の水通路（24）に水管路（50）が接続される。水管路（50）は、浄化用エレメント（20）への給水と、浄化用エレメント（20）からの排水とを行う。これによって、浄化用エレメント（20）では、水通路（24）内を水が通過する状態となる。 In the fifth and sixth inventions, the water pipe (50) is connected to the water passage (24) of the purification element (20). The water pipe (50) supplies water to the purification element (20) and drains from the purification element (20). As a result, the purification element (20) enters a state where water passes through the water passage (24).
上記第５の発明では、空気浄化装置に温度制御手段（71）が設けられる。この温度制御手段（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）を通過した空気の温度を制御するため、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量を調節する。空気浄化装置において浄化用エレメント（20）を通過する水の流量を変化させた場合、浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量はさほど変化しないのに対し、浄化用エレメント（20）を通過した空気の温度は水の流量の変動に対応して変化する。そこで、温度制御手段（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）を通過した空気の温度制御を目的として、水通路（24）を通過する水の流量を調節している。 In the fifth aspect, the air purification device is provided with the temperature control means (71). This temperature control means (71) controls the temperature of the air that has passed through the air passage (23) of the purification element (20), so that the flow rate of water that passes through the water passage (24) of the purification element (20) Adjust. When the flow rate of water passing through the purification element (20) is changed in the air purification device, the amount of humidification for air in the purification element (20) does not change much, but passes through the purification element (20). The temperature of the air changes in response to fluctuations in the water flow rate. Therefore, the temperature control means (71) adjusts the flow rate of the water passing through the water passage (24) for the purpose of controlling the temperature of the air that has passed through the air passage (23) of the purification element (20).
上記第６の発明では、空気浄化装置に加湿量制御手段（72）が設けられる。この加湿量制御手段（72）は、浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を制御するため、浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度を調節する。空気浄化装置において浄化用エレメント（20）へ供給される水の温度を変化させた場合、浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量は水温の変動に対応して変化する。そこで、加湿量制御手段（72）は、浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量の制御を目的として、水通路（24）へ供給される水の温度を調節している。 In the sixth aspect of the invention, the air purification device is provided with the humidification amount control means (72). The humidification amount control means (72) adjusts the temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) in order to control the humidification amount of air in the purification element (20). When the temperature of the water supplied to the purification element (20) is changed in the air purification device, the humidification amount of the air in the purification element (20) changes corresponding to the fluctuation of the water temperature. Therefore, the humidification amount control means (72) adjusts the temperature of the water supplied to the water passage (24) for the purpose of controlling the humidification amount with respect to the air in the purification element (20).
本発明では、浄化用エレメント（20）に水通路（24）及び空気通路（23）を設け、多孔質膜を介して空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とを行っている。つまり、浄化用エレメント（20）だけで空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とが可能となり、従来のような３つの要素を設ける必要がなくなる。従って、この発明によれば、空気浄化装置の部品点数を削減して装置の構成を簡素化することができる。 In the present invention, the purification element (20) is provided with a water passage (24) and an air passage (23), and the water-soluble gas is removed from the air through the porous membrane, and the air is humidified and cooled. Yes. That is, it is possible to remove the water-soluble gas from the air and to humidify and cool the air with only the purification element (20), and there is no need to provide the conventional three elements. Therefore, according to the present invention, the number of parts of the air purification device can be reduced and the configuration of the device can be simplified.
また、本発明において、水通路（24）と空気通路（23）とは、多孔質膜によって仕切られている。つまり、水通路（24）を流通する水と空気通路（23）を流通する水とは直接に接触することがない。このため、水通路（24）に純水ではなくて多少汚れた水を流通させても、この水に含まれる不純物等によって空気が汚染されることはない。従って、この発明によれば、水通路（24）に純水を流通させる必要がなくなり、装置のランニングコストを削減することができる。 In the present invention, the water passage (24) and the air passage (23) are partitioned by a porous membrane. That is, the water flowing through the water passage (24) and the water flowing through the air passage (23) are not in direct contact. For this reason, even if slightly dirty water is circulated in the water passage (24), the air is not contaminated by impurities contained in the water. Therefore, according to this invention, it is not necessary to distribute pure water through the water passage (24), and the running cost of the apparatus can be reduced.
上記第２の発明では、チューブ部材（22）と容器部材（21）とによって浄化用エレメント（20）を構成している。また、上記第３の発明では、筒状部材（25）を用いて浄化用エレメント（20）を構成している。従って、これら発明によれば、浄化用エレメント（20）を簡素な構造とすることができ、空気浄化装置の構成を一層簡素化することができる。 In the second invention, the purification element (20) is constituted by the tube member (22) and the container member (21). Moreover, in the said 3rd invention, the purification element (20) is comprised using the cylindrical member (25). Therefore, according to these inventions, the purification element (20) can have a simple structure, and the configuration of the air purification device can be further simplified.
上記第４の発明では、空気に対する加湿量と浄化用エレメント（20）の出口における空気温度とを調節可能な構成としている。従って、この発明によれば、湿度調節と温度調節の機能を兼ね備えた空気浄化装置を提供することができる。 In the said 4th invention, it is set as the structure which can adjust the humidification amount with respect to air, and the air temperature in the exit of the purification element (20). Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an air purifier having both functions of humidity control and temperature control.
上記第５の発明によれば、浄化用エレメント（20）を通過する水の流量変化に応じて浄化用エレメント（20）を通過した空気の温度が変化するという特性を利用することで、浄化用エレメント（20）の出口における空気温度の制御を的確に行うことができる。 According to the fifth aspect of the invention, by utilizing the characteristic that the temperature of the air that has passed through the purification element (20) changes according to the change in the flow rate of the water that passes through the purification element (20), The air temperature at the outlet of the element (20) can be accurately controlled.
上記第６の発明によれば、浄化用エレメント（20）へ供給される水の温度変化に応じて浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量が変化するという特性を利用することで、浄化用エレメント（20）における加湿量の制御を的確に行うことができる。 According to the sixth aspect of the invention, the purification is performed by utilizing the characteristic that the amount of humidification with respect to the air in the purification element (20) changes according to the temperature change of the water supplied to the purification element (20). The humidification amount in the element (20) can be accurately controlled.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１について説明する。本実施形態の空気浄化装置（10）は、例えば半導体デバイス等の精密機器を製造するクリーンルーム内に配置されている。
Embodiment 1 of the Invention
A first embodiment of the present invention will be described. The air purification apparatus (10) of this embodiment is arrange | positioned in the clean room which manufactures precision instruments, such as a semiconductor device, for example.
図１に示すように、上記空気浄化装置（10）は、浄化用エレメント（20）とヘッドタンク（30）とを備えている。 As shown in FIG. 1, the air purification device (10) includes a purification element (20) and a head tank (30).
図２に示すように、浄化用エレメント（20）は、容器部材（21）とチューブ部材（22）とによって構成されている。容器部材（21）は直方体状に形成されており、内部が中空となっている。チューブ部材（22）は円筒状に形成されており、容器部材（21）の対向面を一方から他方へ貫通している。尚、図２では、チューブ部材（22）が容器部材（21）の対向面を手前側から奥側へ貫通している。このチューブ部材（22）は、疎水性多孔質膜で構成されている。疎水性多孔質膜は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂製である。図示しないが、この疎水性多孔質膜には、多数の微小孔が形成されている。 As shown in FIG. 2, the purification element (20) includes a container member (21) and a tube member (22). The container member (21) is formed in a rectangular parallelepiped shape and is hollow inside. The tube member (22) is formed in a cylindrical shape and penetrates the opposing surface of the container member (21) from one side to the other. In FIG. 2, the tube member (22) penetrates the opposing surface of the container member (21) from the near side to the far side. The tube member (22) is composed of a hydrophobic porous membrane. The hydrophobic porous membrane is made of a fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE). Although not shown, a large number of micropores are formed in this hydrophobic porous membrane.
上記チューブ部材（22）の内側は、空気が流通する空気通路（23）となっている。上記チューブ部材（22）の外側、即ち該チューブ部材（22）の外周面と容器部材（21）の内面とに囲まれた空間は、水が流通する水通路（24）となっている。そして、浄化用エレメント（20）は、空気通路（23）を流通する空気と水通路（24）を流通する水とがチューブ部材（22）を介して接触するように構成されている。 The inside of the tube member (22) is an air passage (23) through which air flows. A space surrounded by the outside of the tube member (22), that is, the outer peripheral surface of the tube member (22) and the inner surface of the container member (21) is a water passage (24) through which water flows. The purification element (20) is configured such that the air flowing through the air passage (23) and the water flowing through the water passage (24) come into contact with each other via the tube member (22).
上記容器部材（21）の下部には、連通管（41）が接続されている。この連通管（41）は、浄化用エレメント（20）の水通路（24）とヘッドタンク（30）の下部とに連通している。上記容器部材（21）の上部には、排水管（42）が接続されている。この排水管（42）は、浄化用エレメント（20）の水通路（24）に連通している。 A communication pipe (41) is connected to the lower part of the container member (21). The communication pipe (41) communicates with the water passage (24) of the purification element (20) and the lower part of the head tank (30). A drain pipe (42) is connected to the upper part of the container member (21). The drain pipe (42) communicates with the water passage (24) of the purification element (20).
上記ヘッドタンク（30）は、筒状に形成されている。このヘッドタンク（30）は、浄化用エレメント（20）へ供給する水の圧力を一定にするために設けられている。このため、ヘッドタンク（30）には、水通路（24）の高さと概ね等しい高さまで水が溜まるようになっている。そして、このヘッドタンク（30）には、給水管（43）を通じて水が供給される。給水管（43）には、開度を調節できる調節弁（44）が取り付けられている。この調節弁（44）の開度を調節することによって、給水管（43）からヘッドタンク（30）へ供給される水の流量を調節する。給水管（43）を通じてヘッドタンク（30）内に供給された水は、連通管（41）を通って浄化用エレメント（20）の水通路（24）へと流入する。 The head tank (30) is formed in a cylindrical shape. The head tank (30) is provided to keep the pressure of water supplied to the purification element (20) constant. For this reason, water is accumulated in the head tank (30) to a height approximately equal to the height of the water passage (24). And water is supplied to this head tank (30) through a water supply pipe (43). A control valve (44) capable of adjusting the opening degree is attached to the water supply pipe (43). The flow rate of water supplied from the water supply pipe (43) to the head tank (30) is adjusted by adjusting the opening of the control valve (44). The water supplied into the head tank (30) through the water supply pipe (43) flows into the water passage (24) of the purification element (20) through the communication pipe (41).
−運転動作−
上記空気浄化装置（10）の運転動作について説明する。尚、クリーンルーム内は、一年を通して２３℃／４０ＲＨ％程度に保たれており、空気浄化装置（10）が２４時間稼動している。本実施形態では、ヘッドタンク（30）内に既に浄化用エレメント（20）の容器部材（21）と概ね等しい高さにまで冷水が溜まっている状態から説明を始める。
-Driving action-
The operation of the air purification device (10) will be described. The clean room is maintained at about 23 ° C./40 RH% throughout the year, and the air purifier (10) is in operation for 24 hours. In the present embodiment, the description starts from a state in which cold water has already accumulated in the head tank (30) to a height substantially equal to the container member (21) of the purification element (20).
上記空気浄化装置（10）の運転中には、図示しない送風機等によって浄化用エレメント（20）の空気通路（23）へクリーンルーム内の空気が送り込まれる。一方、浄化用エレメント（20）の水通路（24）には、ヘッドタンク（30）内の冷水（７〜１０℃程度）が連通管（41）を通じて供給される。そして、浄化用エレメント（20）では、空気通路（23）を流通する空気と水通路（24）を流通する冷水とが、チューブ部材（22）を介して接触する。 During the operation of the air purification device (10), air in the clean room is sent to the air passage (23) of the purification element (20) by a blower (not shown) or the like. On the other hand, cold water (about 7 to 10 ° C.) in the head tank (30) is supplied to the water passage (24) of the purification element (20) through the communication pipe (41). In the purification element (20), the air flowing through the air passage (23) and the cold water flowing through the water passage (24) come into contact via the tube member (22).
上述のように、チューブ部材（22）は、疎水性多孔質膜によって構成されている。この疎水性多孔質膜は、水蒸気と空気中の水溶性ガスとを通過させ、水滴を通過させない性質を持つ。空気通路（23）の空気に含まれるアンモニア等の水溶性の汚染ガスは、疎水性多孔質膜の微小孔を通過して水通路（24）の冷水に溶解する。このようにして、空気通路（23）を流通する空気からアンモニア等の水溶性の汚染ガスが除去される。 As described above, the tube member (22) is formed of a hydrophobic porous membrane. This hydrophobic porous membrane has the property of allowing water vapor and water-soluble gas in the air to pass therethrough and preventing water droplets from passing therethrough. A water-soluble pollutant gas such as ammonia contained in the air in the air passage (23) passes through the micropores of the hydrophobic porous membrane and dissolves in the cold water in the water passage (24). In this way, water-soluble pollutant gases such as ammonia are removed from the air flowing through the air passage (23).
水通路（24）を流通する冷水は、その一部が水蒸気となって疎水性多孔質膜の微小孔を通過する。疎水性多孔質膜を通過した水蒸気は、空気通路（23）を流通する空気へ付与される。このようにして、空気通路（23）を流通する空気が加湿される。 A part of the cold water flowing through the water passage (24) becomes water vapor and passes through the micropores of the hydrophobic porous membrane. The water vapor that has passed through the hydrophobic porous membrane is imparted to the air flowing through the air passage (23). In this way, the air flowing through the air passage (23) is humidified.
空気通路（23）を流通する空気は、水通路（24）を流通する冷水と疎水性多孔質膜を介して熱交換を行う。一方、水通路（24）には、空気通路（23）を流通する空気よりも温度の低い水が供給される。このため、空気通路（23）を流通する空気は、水通路（24）を流通する冷水へ放熱し、冷却される。また、空気通路（23）を流通する空気は、冷水の蒸発による蒸発潜熱によっても冷却される。 The air flowing through the air passage (23) exchanges heat with the cold water flowing through the water passage (24) through the hydrophobic porous membrane. On the other hand, water having a temperature lower than that of air flowing through the air passage (23) is supplied to the water passage (24). Therefore, the air flowing through the air passage (23) dissipates heat to the cold water flowing through the water passage (24) and is cooled. The air flowing through the air passage (23) is also cooled by the latent heat of evaporation due to the evaporation of the cold water.
このように、浄化用エレメント（20）では、空気通路（23）を流通する空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とが行われる。具体的に、図３に実線で示すように、空気通路（23）へ流入する際に点Ａの状態であった空気は、空気通路（23）を流通する間に加湿及び冷却され、空気通路（23）から流出する際に点Ｃの状態となる。浄化用エレメント（20）を通過した空気は、クリーンルーム内へ供給される。 Thus, in the purification element (20), the removal of the water-soluble gas from the air flowing through the air passage (23), the humidification and cooling of the air are performed. Specifically, as indicated by a solid line in FIG. 3, the air that was in the state of point A when flowing into the air passage (23) is humidified and cooled while flowing through the air passage (23), and the air passage When flowing out from (23), the point C is reached. The air that has passed through the purification element (20) is supplied into the clean room.
また、上記空気浄化装置（10）の運転中には、給水管（43）に取り付けられた調節弁（44）が一定の開度に設定される。そして、ヘッドタンク（30）には、給水管（43）を通じて常に一定量の冷水が供給される。一方、水通路（24）内の冷水は、排水管（42）から排出される。このように、上記浄化用エレメント（20）では、水通路（24）内の冷水が常に少しずつ入れ換わっている。このため、水通路（24）を流通する冷水に水溶性の汚染ガスが溶け込んでも、この汚染ガス濃度の上昇は抑制され、空気通路（23）を流通する空気からの汚染ガスの除去率低下が回避される。 In addition, during the operation of the air purification device (10), the control valve (44) attached to the water supply pipe (43) is set to a constant opening. A constant amount of cold water is always supplied to the head tank (30) through the water supply pipe (43). On the other hand, the cold water in the water passage (24) is discharged from the drain pipe (42). Thus, in the purification element (20), the cold water in the water passage (24) is constantly replaced little by little. For this reason, even if water-soluble pollutant gas dissolves in the cold water flowing through the water passage (24), the increase in the pollutant gas concentration is suppressed, and the reduction rate of pollutant gas from the air flowing through the air passage (23) is reduced. Avoided.
−実施形態１の効果−
本実施形態では、浄化用エレメント（20）に水通路（24）及び空気通路（23）を設け、疎水性多孔質膜により構成されるチューブ部材（22）を介して空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とを行っている。つまり、浄化用エレメント（20）だけで空気からの水溶性ガスの除去と、空気の加湿及び冷却とが可能となり、従来のような３つの要素を設ける必要がなくなる。従って、本実施形態によれば、空気浄化装置（10）の部品点数を削減して装置の構成を簡素化することができる。
-Effect of Embodiment 1-
In the present embodiment, a water passage (24) and an air passage (23) are provided in the purification element (20), and water-soluble gas from the air is passed through a tube member (22) constituted by a hydrophobic porous membrane. Removal, air humidification and cooling are performed. That is, it is possible to remove the water-soluble gas from the air and to humidify and cool the air with only the purification element (20), and there is no need to provide the conventional three elements. Therefore, according to this embodiment, the number of parts of the air purification device (10) can be reduced and the configuration of the device can be simplified.
また、本実施形態では、チューブ部材（22）と容器部材（21）とによって浄化用エレメント（20）を構成している。従って、本実施形態によれば、浄化用エレメント（20）を簡素な構造とすることができ、空気浄化装置（10）の構成を一層簡素化することができる。 In the present embodiment, the purification element (20) is constituted by the tube member (22) and the container member (21). Therefore, according to the present embodiment, the purification element (20) can have a simple structure, and the configuration of the air purification device (10) can be further simplified.
−実施形態１の変形例−
上記実施形態１の空気浄化装置（10）において、ヘッドタンク（30）へ供給する冷水は、多少汚れた水であってもよい。上述のように、水通路（24）を流通する冷水と空気通路（23）を流通する空気とは、疎水性多孔質膜を介して接触する。つまり、水通路（24）を流通する冷水と空気通路（23）を流通する空気とが直接に接触することはない。このため、水通路（24）に多少汚れた水を流通させても、この水に含まれる不純物等によって空気が汚染されることはない。従って、本変形によれば、水通路（24）に純水を流通させる必要がなくなり、空気浄化装置（10）のランニングコストを削減することができる。
-Modification of Embodiment 1-
In the air purification device (10) of the first embodiment, the cold water supplied to the head tank (30) may be slightly dirty water. As described above, the cold water flowing through the water passage (24) and the air flowing through the air passage (23) are in contact with each other through the hydrophobic porous membrane. That is, the cold water flowing through the water passage (24) and the air flowing through the air passage (23) are not in direct contact. For this reason, even if somewhat dirty water is circulated through the water passage (24), the air is not contaminated by impurities contained in the water. Therefore, according to this modification, it is not necessary to distribute pure water through the water passage (24), and the running cost of the air purification device (10) can be reduced.
また、上記実施形態１の空気浄化装置（10）において、水道水をヘッドタンク（30）へ供給してもよい。一般に、水道水は冷水（７〜１０℃程度）よりも温度が高い。また、空気通路（23）を流通する空気の温度と水通路（24）を流通する水道水の温度とは、さほど差がない。このため、図３に破線で示すように、空気通路（23）へ流入する際に点Ａの状態であった空気は、等エンタルピ線に沿って変化し、空気通路（23）から流出する際に点Ｂの状態となる。このように、水道水を使用する場合には、冷水を使用する場合と比べて空気通路（23）から流出する空気の温度が高くなり、空気の絶対湿度が高くなる。 In the air purification device (10) of the first embodiment, tap water may be supplied to the head tank (30). In general, tap water has a higher temperature than cold water (about 7 to 10 ° C.). Moreover, there is not much difference between the temperature of the air flowing through the air passage (23) and the temperature of the tap water flowing through the water passage (24). For this reason, as indicated by a broken line in FIG. 3, the air that was in the state of point A when flowing into the air passage (23) changes along the isoenthalpy line and flows out of the air passage (23). It becomes the state of point B. Thus, when using tap water, the temperature of the air flowing out from the air passage (23) is higher than when using cold water, and the absolute humidity of the air is increased.
《発明の実施形態２》
本発明の実施形態２について説明する。本実施形態は、上記実施形態１において、空気浄化装置（10）の全体構成と浄化用エレメント（20）の構成とを変更したものである。ここでは、本実施形態について、上記実施形態１と異なる点を説明する。
<< Embodiment 2 of the Invention >>
A second embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, the overall configuration of the air purification device (10) and the configuration of the purification element (20) are changed in the first embodiment. Here, the difference between the present embodiment and the first embodiment will be described.
図４に示すように、本実施形態の浄化用エレメント（20）は、多数の筒状部材（25）を備えている。また、この浄化用エレメント（20）は、入口ヘッダ（26）と、出口ヘッダ（27）と、２枚の側面板（28）とを備えている。入口ヘッダ（26）と出口ヘッダ（27）は、共に中空で扁平な直方体状に形成されている。各側面板（28）は、共に四角形状に形成されている。 As shown in FIG. 4, the purification element (20) of the present embodiment includes a large number of cylindrical members (25). The purification element (20) includes an inlet header (26), an outlet header (27), and two side plates (28). Both the inlet header (26) and the outlet header (27) are formed in a hollow and flat rectangular parallelepiped shape. Each side plate (28) is formed in a square shape.
上記浄化用エレメント（20）では、入口ヘッダ（26）と出口ヘッダ（27）と２枚の側面板（28）とが四角い枠状に組み合わされている。具体的に、この浄化用エレメント（20）では、図４における左右に側面板（28）が１枚ずつ立設されている。また、浄化用エレメント（20）では、その下面側に出口ヘッダ（27）が配置され、上面側に入口ヘッダ（26）が配置されている。 In the purification element (20), an inlet header (26), an outlet header (27), and two side plates (28) are combined in a square frame shape. Specifically, in the purification element (20), one side plate (28) is erected on the left and right in FIG. In the purification element (20), the outlet header (27) is disposed on the lower surface side, and the inlet header (26) is disposed on the upper surface side.
図５に示すように、上記筒状部材（25）は、奥行きに対して横幅が大幅に短い扁平な筒状ないし管状に形成されている。筒状ないし管状に形成された筒状部材（25）は、その内部空間が上端面と下端面に開口している。また、筒状部材（25）は、多数の微小孔が形成された疎水性多孔質膜で構成されている。この疎水性多孔質膜の材質は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂である。 As shown in FIG. 5, the cylindrical member (25) is formed in a flat cylindrical shape or a tubular shape whose lateral width is significantly shorter than the depth. The cylindrical member (25) formed in a cylindrical shape or a tubular shape has an internal space that opens to the upper end surface and the lower end surface. The cylindrical member (25) is composed of a hydrophobic porous membrane in which a large number of micropores are formed. The material of the hydrophobic porous membrane is a fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE).
上記浄化用エレメント（20）において、多数の筒状部材（25）は、互いに略平行となる姿勢で、図４における左右方向へ一定の間隔で配置されている。各筒状部材（25）は、側面板（28）と略平行になっている。また、各筒状部材（25）は、その上端が入口ヘッダ（26）に接続され、下端が出口ヘッダ（27）に接続されている。筒状部材（25）の内側の空間は、入口ヘッダ（26）の内部空間と出口ヘッダ（27）の内部空間とに連通しており、水が流通する水通路（24）を構成している。この浄化用エレメント（20）において、一定間隔で並んだ筒状部材（25）同士の間に形成される空間は、筒状部材（25）に沿って図４の奥行き方向へ空気が通過可能となっており、空気が流通する空気通路（23）を構成している。 In the purification element (20), a large number of cylindrical members (25) are arranged at a constant interval in the left-right direction in FIG. Each cylindrical member (25) is substantially parallel to the side plate (28). Each cylindrical member (25) has an upper end connected to the inlet header (26) and a lower end connected to the outlet header (27). The space inside the tubular member (25) communicates with the internal space of the inlet header (26) and the internal space of the outlet header (27), and constitutes a water passage (24) through which water flows. . In this purification element (20), the space formed between the cylindrical members (25) arranged at regular intervals allows air to pass along the cylindrical members (25) in the depth direction of FIG. It constitutes an air passage (23) through which air flows.
図６に示すように、本実施形態の空気浄化装置（10）では、ヘッドタンク（30）が浄化用エレメント（20）よりも高い位置に配置されている。また、ヘッドタンク（30）は、その内部に仕切板（31）が立設されている。ヘッドタンク（30）の内部空間は、この仕切板（31）によって貯留空間（32）とオーバーフロー空間（33）とに仕切られている。ヘッドタンク（30）に接続された給水管（43）は、その終端が貯留空間（32）の上方に位置しており、この貯留空間（32）へ水を供給する。 As shown in FIG. 6, in the air purification device (10) of the present embodiment, the head tank (30) is arranged at a position higher than the purification element (20). In addition, the head tank (30) has a partition plate (31) erected therein. The internal space of the head tank (30) is partitioned by the partition plate (31) into a storage space (32) and an overflow space (33). The terminal end of the water supply pipe (43) connected to the head tank (30) is located above the storage space (32), and supplies water to the storage space (32).
上記浄化用エレメント（20）は、供給管（51）を介してヘッドタンク（30）と接続されている。この供給管（51）は、その一端がヘッドタンク（30）の底部に、他端が浄化用エレメント（20）の入口ヘッダ（26）にそれぞれ接続されており、ヘッドタンク（30）の貯留空間（32）と入口ヘッダ（26）の内部空間とを連通させている。浄化用エレメント（20）の出口ヘッダ（27）には、排出管（52）が接続されている。この排出管（52）には、調節弁（53）が設けられている。また、排出管（52）における調節弁（53）の下流側は、オーバーフロー管（45）を介してヘッドタンク（30）のオーバーフロー空間（33）に接続されている。 The purification element (20) is connected to the head tank (30) via the supply pipe (51). The supply pipe (51) has one end connected to the bottom of the head tank (30) and the other end connected to the inlet header (26) of the purification element (20). (32) communicates with the internal space of the inlet header (26). A discharge pipe (52) is connected to the outlet header (27) of the purification element (20). The discharge pipe (52) is provided with a control valve (53). Further, the downstream side of the regulating valve (53) in the discharge pipe (52) is connected to the overflow space (33) of the head tank (30) via the overflow pipe (45).
本実施形態の空気浄化装置（10）において、給水管（43）からヘッドタンク（30）の貯留空間（32）へ導入された水は、供給管（51）を通って浄化用エレメント（20）の入口ヘッダ（26）へ送り込まれる。浄化用エレメント（20）では、入口ヘッダ（26）内の水が筒状部材（25）内の水通路（24）へ導入される。また、浄化用エレメント（20）では、クリーンルーム内の空気が空気通路（23）へ送り込まれる。 In the air purification device (10) of the present embodiment, the water introduced from the water supply pipe (43) into the storage space (32) of the head tank (30) passes through the supply pipe (51) and the purification element (20) To the inlet header (26). In the purification element (20), the water in the inlet header (26) is introduced into the water passage (24) in the tubular member (25). Further, in the purification element (20), the air in the clean room is sent into the air passage (23).
空気通路（23）の空気に含まれるアンモニア等の水溶性の汚染ガスは、疎水性多孔質膜から成る筒状部材（25）を透過し、水通路（24）の冷水に溶解する。水通路（24）を流通する冷水は、その一部が水蒸気となって疎水性多孔質膜から成る筒状部材（25）を透過し、空気通路（23）の空気へ付与される。空気通路（23）の空気は、筒状部材（25）を介して水通路（24）の冷水と熱交換することによって冷却される。このように、本実施形態の浄化用エレメント（20）では、上記実施形態１の場合と同様に、空気通路（23）を流れる空気の浄化と加湿と冷却とが行われる。 A water-soluble pollutant gas such as ammonia contained in the air in the air passage (23) passes through the cylindrical member (25) made of a hydrophobic porous membrane and dissolves in the cold water in the water passage (24). A part of the cold water flowing through the water passage (24) becomes water vapor, passes through the cylindrical member (25) made of a hydrophobic porous membrane, and is given to the air in the air passage (23). The air in the air passage (23) is cooled by exchanging heat with the cold water in the water passage (24) through the tubular member (25). Thus, in the purification element (20) of the present embodiment, purification, humidification, and cooling of the air flowing through the air passage (23) are performed as in the case of the first embodiment.
アンモニア等の汚染ガスが溶け込んだ水は、筒状部材（25）内の水通路（24）から出口ヘッダ（27）を通って排出管（52）へと送り出される。また、排出管（52）へは、ヘッドタンク（30）において貯留空間（32）からオーバーフロー空間（33）へと溢れ出した水がオーバーフロー管（45）を通って送り込まれる。そして、浄化用エレメント（20）から排出された水は、オーバーフロー管（45）からの水と共に外部へ排出される。尚、浄化用エレメント（20）を通過する水の流量は、調節弁（53）の開度を調節することによって制御される。 The water in which the pollutant gas such as ammonia is dissolved is sent from the water passage (24) in the cylindrical member (25) to the discharge pipe (52) through the outlet header (27). Further, water that has overflowed from the storage space (32) to the overflow space (33) in the head tank (30) is fed into the discharge pipe (52) through the overflow pipe (45). Then, the water discharged from the purification element (20) is discharged outside together with the water from the overflow pipe (45). The flow rate of water passing through the purification element (20) is controlled by adjusting the opening degree of the control valve (53).
《発明の実施形態３》
本発明の実施形態３について説明する。本実施形態は、上記実施形態２において、空気浄化装置（10）の全体構成を変更したものである。本実施形態における浄化用エレメント（20）は、上記実施形態２のものと同様である。ここでは、本実施形態について、上記実施形態２と異なる点を説明する。
<< Embodiment 3 of the Invention >>
Embodiment 3 of the present invention will be described. This embodiment is obtained by changing the overall configuration of the air purification device (10) in the second embodiment. The purification element (20) in the present embodiment is the same as that in the second embodiment. Here, the difference between the present embodiment and the second embodiment will be described.
図７に示すように、本実施形態の空気浄化装置（10）には、戻しポンプ（46）が設けられている。この戻しポンプ（46）の吸込側には、排出管（52）の出口端とオーバーフロー管（45）の出口端とが接続されている。そして、浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ給水する供給管（51）と、この水通路（24）から排水する排出管（52）とが水管路（50）を構成している。 As shown in FIG. 7, the air purification device (10) of the present embodiment is provided with a return pump (46). An outlet end of the discharge pipe (52) and an outlet end of the overflow pipe (45) are connected to the suction side of the return pump (46). The supply pipe (51) for supplying water to the water passage (24) of the purification element (20) and the discharge pipe (52) for draining from the water passage (24) constitute a water pipe (50). .
上記空気浄化装置（10）において、給水管（43）は、図外のチリングユニットの送出側に接続されている。ヘッドタンク（30）へは、チリングユニットで冷却された水（冷水）が給水管（43）を通じて供給される。給水管（43）からヘッドタンク（30）へ供給された冷水は、貯留空間（32）内の水と混合される。ヘッドタンク（30）に対する冷水の供給量を変更すると、それに伴って貯留空間（32）内の水温が変化する。貯留空間（32）内の水は、供給管（51）を通じて浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される。 In the air purification device (10), the water supply pipe (43) is connected to the delivery side of the chilling unit (not shown). Water (cold water) cooled by the chilling unit is supplied to the head tank (30) through the water supply pipe (43). The cold water supplied from the water supply pipe (43) to the head tank (30) is mixed with the water in the storage space (32). When the amount of cold water supplied to the head tank (30) is changed, the water temperature in the storage space (32) changes accordingly. The water in the storage space (32) is supplied to the water passage (24) of the purification element (20) through the supply pipe (51).
浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過した水は、排出管（52）を通って戻しポンプ（46）へ吸入される。また、ヘッドタンク（30）において貯留空間（32）からオーバーフロー空間（33）へ溢れ出した水は、オーバーフロー管（45）を通って戻しポンプ（46）へ吸入される。戻しポンプ（46）の吐出側は、戻し管（47）を介して図外のチリングユニットの戻り側に接続されている。戻しポンプ（46）から吐出された水は、戻し管（47）を通ってチリングユニットへ送り返される。チリングユニットは、戻し管（47）を通じて送り込まれた水を冷却し、冷却した水を給水管（43）へ送り込む。 The water that has passed through the water passage (24) of the purification element (20) passes through the discharge pipe (52) and is sucked into the return pump (46). Further, the water overflowing from the storage space (32) to the overflow space (33) in the head tank (30) passes through the overflow pipe (45) and is sucked into the return pump (46). The discharge side of the return pump (46) is connected to the return side of a chilling unit (not shown) via a return pipe (47). The water discharged from the return pump (46) is sent back to the chilling unit through the return pipe (47). The chilling unit cools the water sent through the return pipe (47), and sends the cooled water to the water supply pipe (43).
本実施形態の空気浄化装置（10）には、コントローラ（70）が設けられている。このコントローラ（70）は、温度制御手段である温度制御部（71）と、加湿量制御手段である加湿量制御部（72）とを備えている。 The air purification device (10) of this embodiment is provided with a controller (70). The controller (70) includes a temperature control unit (71) that is a temperature control unit and a humidification amount control unit (72) that is a humidification amount control unit.
温度制御部（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出口における空気温度が設定温度となるように、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量を調節する。具体的に、この温度制御部（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）から流出した空気の温度とその設定温度との差に基づき、調節弁（53）の開度を調節している。例えば、空気通路（23）の出口での空気温度が設定温度よりも高ければ、調節弁（53）の開度を拡大して水通路（24）を通過する水の流量を増大させる。また、空気通路（23）の出口での空気温度が設定温度よりも低ければ、調節弁（53）の開度を縮小して水通路（24）を通過する水の流量を減少させる。 The temperature control unit (71) is configured to allow water passing through the water passage (24) of the purification element (20) so that the air temperature at the outlet of the air passage (23) of the purification element (20) becomes a set temperature. Adjust the flow rate. Specifically, the temperature controller (71) controls the opening of the control valve (53) based on the difference between the temperature of the air flowing out from the air passage (23) of the purification element (20) and the set temperature. It is adjusting. For example, if the air temperature at the outlet of the air passage (23) is higher than the set temperature, the opening of the control valve (53) is expanded to increase the flow rate of water passing through the water passage (24). If the air temperature at the outlet of the air passage (23) is lower than the set temperature, the opening degree of the control valve (53) is reduced to reduce the flow rate of water passing through the water passage (24).
加湿用制御部は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出口における空気湿度が設定湿度となるように、浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度を調節する。具体的に、この温度制御部（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）から流出した空気の湿度とその設定湿度との差に基づき、調節弁（44）の開度を調節している。例えば、空気通路（23）の出口での空気湿度が設定湿度よりも低ければ、調節弁（44）の開度を縮小してヘッドタンク（30）に対する冷水の供給量を減少させ、水通路（24）へ供給される水の温度を上昇させることによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を増大させる。また、空気通路（23）の出口での空気湿度が設定湿度よりも高ければ、調節弁（44）の開度を拡大してヘッドタンク（30）に対する冷水の供給量を増大させ、水通路（24）へ供給される水の温度を低下させることによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を減少させる。 The humidifying control unit controls the temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) so that the air humidity at the outlet of the air passage (23) of the purification element (20) becomes the set humidity. Adjust. Specifically, the temperature control unit (71) controls the opening of the control valve (44) based on the difference between the humidity of the air flowing out from the air passage (23) of the purification element (20) and the set humidity. It is adjusting. For example, if the air humidity at the outlet of the air passage (23) is lower than the set humidity, the opening of the control valve (44) is reduced to reduce the amount of cold water supplied to the head tank (30), and the water passage ( 24) Increase the amount of humidification for air in the purification element (20) by increasing the temperature of the water supplied to. If the air humidity at the outlet of the air passage (23) is higher than the set humidity, the opening of the control valve (44) is increased to increase the amount of cold water supplied to the head tank (30), and the water passage ( 24) The amount of humidification for air in the purification element (20) is reduced by lowering the temperature of the water supplied to.
ここで、浄化用エレメント（20）について３つの試験条件で行われた性能試験の結果を表１に示す。 Here, Table 1 shows the results of performance tests conducted on the purification element (20) under three test conditions.
この性能試験において、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）における空気流量は一定に保たれている。また、表１のＣ−１欄、Ｃ−２欄、Ｃ−３欄に示すように、ケース１からケース３までの３つの試験条件において、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の入口における空気の温度と相対湿度は、ほぼ同一となっている。尚、表１では、空気の絶対湿度差ΔＸａを、乾き空気１ｍ3当たりに含まれる水分の質量の値として示している。 In this performance test, the air flow rate in the air passage (23) of the purification element (20) is kept constant. Further, as shown in the C-1, C-2, and C-3 columns of Table 1, under the three test conditions from case 1 to case 3, the air passage (23) of the purification element (20) The air temperature and relative humidity at the inlet are substantially the same. In Table 1, the absolute humidity difference ΔXa of air is shown as the value of the mass of moisture contained in 1 m 3 of dry air.
先ず、表１に示すケース１とケース２の試験結果を対比する。浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度は、ケース１とケース２とで等しくなっている（表１のＡ−１欄とＡ−２欄を参照）。一方、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量は、ケース１よりもケース２の方が多くなっている（表１のＢ−１欄とＢ−２欄を参照）。そして、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出入口における空気の温度差ΔＴａはケース１よりもケース２の方が大きくなる一方（表１のＤ−１欄とＤ−２欄を参照）、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出入口における空気の絶対湿度差ΔＸａはケース１とケース２とで概ね等しくなっている（表１のＥ−１欄とＥ−２欄を参照）。 First, the test results of Case 1 and Case 2 shown in Table 1 are compared. The temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) is the same in case 1 and case 2 (see columns A-1 and A-2 in Table 1). On the other hand, the flow rate of water passing through the water passage (24) of the purification element (20) is larger in case 2 than in case 1 (see columns B-1 and B-2 in Table 1). ). And, the temperature difference ΔTa of the air at the inlet / outlet of the air passage (23) of the purification element (20) is larger in the case 2 than in the case 1 (see columns D-1 and D-2 in Table 1). ), The absolute humidity difference ΔXa of the air at the inlet / outlet of the air passage (23) of the purification element (20) is substantially the same in case 1 and case 2 (see columns E-1 and E-2 in Table 1). reference).
このように、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量が変化すると、それに対応して浄化用エレメント（20）での空気の冷却量が変化する。そこで、上記温度制御部（71）は、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量を調節することによって、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出口における空気温度を制御している。 Thus, when the flow rate of the water passing through the water passage (24) of the purification element (20) changes, the cooling amount of air in the purification element (20) changes correspondingly. Therefore, the temperature control unit (71) adjusts the flow rate of water passing through the water passage (24) of the purification element (20) to thereby adjust the temperature at the outlet of the air passage (23) of the purification element (20). The air temperature is controlled.
次に、表１に示すケース１とケース３の試験結果を対比する。浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度は、ケース１よりもケース３の方が高くなっている（表１のＡ−１欄とＡ−３欄を参照）。一方、浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量は、ケース１とケース３とで概ね等しくなっている（表１のＢ−１欄とＢ−３欄を参照）。そして、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出入口における空気の温度差ΔＴａはケース１よりもケース３の方が小さくなる一方（表１のＤ−１欄とＤ−３欄を参照）、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出入口における空気の絶対湿度差ΔＸａはケース１よりもケース３の方が大きくなっている（表１のＥ−１欄とＥ−３欄を参照）。 Next, the test results of Case 1 and Case 3 shown in Table 1 are compared. The temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) is higher in the case 3 than in the case 1 (see columns A-1 and A-3 in Table 1). . On the other hand, the flow rate of the water passing through the water passage (24) of the purification element (20) is substantially equal between the case 1 and the case 3 (see columns B-1 and B-3 in Table 1). . The temperature difference ΔTa of the air at the inlet / outlet of the air passage (23) of the purification element (20) is smaller in the case 3 than in the case 1 (see columns D-1 and D-3 in Table 1). ), The absolute humidity difference ΔXa of the air at the inlet / outlet of the air passage (23) of the purification element (20) is larger in the case 3 than in the case 1 (columns E-1 and E-3 in Table 1). See).
このように、浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度が変化すると、それに対応して浄化用エレメント（20）で空気に付与される水分量が変化する。そこで、上記加湿量制御部（72）は、浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度を調節することによって、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）での空気に対する加湿量を制御している。 As described above, when the temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) changes, the amount of moisture applied to the air in the purification element (20) changes accordingly. Therefore, the humidification amount control section (72) adjusts the temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20), thereby adjusting the temperature of the air passage (23) of the purification element (20). The amount of humidification for the air is controlled.
本実施形態によれば、浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量と、空気通路（23）の出口における空気温度とが調節可能となる。従って、本実施形態によれば、湿度調節と温度調節の機能を兼ね備えた使い勝手の良い空気浄化装置（10）を提供することができる。 According to this embodiment, the humidification amount with respect to the air in the purification element (20) and the air temperature at the outlet of the air passage (23) can be adjusted. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide an easy-to-use air purification device (10) having both functions of humidity control and temperature control.
《発明の実施形態４》
本発明の実施形態４について説明する。本実施形態は、上記実施形態３において、空気浄化装置（10）の全体構成を変更したものである。本実施形態における浄化用エレメント（20）は、上記実施形態３のものと同様である。ここでは、本実施形態について、上記実施形態３と異なる点を説明する。
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図８に示すように、本実施形態の空気浄化装置（10）には、戻しポンプ（46）に代えて循環ポンプ（55）が設けられている。また、本実施形態の排出管（52）は、その終端がヘッドタンク（30）における貯留空間（32）の上方に開口している。上記循環ポンプ（55）は、この排出管（52）の途中に設けられている。また排出管（52）における循環ポンプ（55）の下流側には、調節弁（56）が設けられている。この調節弁（56）の開度を変更すれば、それに伴って浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量が変化する。 As shown in FIG. 8, the air purification device (10) of the present embodiment is provided with a circulation pump (55) instead of the return pump (46). Further, the end of the discharge pipe (52) of the present embodiment opens above the storage space (32) in the head tank (30). The circulation pump (55) is provided in the middle of the discharge pipe (52). Further, a regulating valve (56) is provided on the downstream side of the circulation pump (55) in the discharge pipe (52). If the opening degree of the control valve (56) is changed, the flow rate of water passing through the water passage (24) of the purification element (20) changes accordingly.
上記空気浄化装置（10）には、冷水循環回路（60）が設けられている。この冷水循環回路（60）には、熱交換器（61）と調節弁（62）とが設けられている。冷水循環回路（60）は、図外のチリングユニットに接続されており、このチリングユニットと熱交換器（61）の間で水を循環させている。上記熱交換器（61）は、ヘッドタンク（30）の貯留空間（32）内に設置され、チリングユニットから送られてきた冷水を貯留空間（32）内の水と熱交換させている。上記調節弁（62）は、チリングユニットの送出側と熱交換器（61）の間に配置されている。 The air purification device (10) is provided with a cold water circulation circuit (60). The cold water circulation circuit (60) is provided with a heat exchanger (61) and a control valve (62). The cold water circulation circuit (60) is connected to a chilling unit (not shown) and circulates water between the chilling unit and the heat exchanger (61). The heat exchanger (61) is installed in the storage space (32) of the head tank (30), and exchanges heat between the cold water sent from the chilling unit and the water in the storage space (32). The control valve (62) is disposed between the delivery side of the chilling unit and the heat exchanger (61).
本実施形態の給水管（43）は、その入口端が冷水循環回路（60）における調節弁（62）と熱交換器（61）の間に接続されている。この給水管（43）の調節弁（44）を開くと、冷水循環回路（60）内を流れるチリングユニットからの冷水の一部がヘッドタンク（30）の貯留空間（32）へ供給される。また、本実施形態のオーバーフロー管（45）は、その終端が外部に開口しており、ヘッドタンク（30）のオーバーフロー空間（33）へ流入した水を外部へ排出している。 The inlet end of the water supply pipe (43) of this embodiment is connected between the control valve (62) and the heat exchanger (61) in the cold water circulation circuit (60). When the control valve (44) of the water supply pipe (43) is opened, a part of the cold water from the chilling unit flowing in the cold water circulation circuit (60) is supplied to the storage space (32) of the head tank (30). Further, the end of the overflow pipe (45) of the present embodiment is open to the outside, and the water flowing into the overflow space (33) of the head tank (30) is discharged to the outside.
本実施形態のコントローラ（70）では、温度制御部（71）と加湿量制御部（72）の構成が上記実施形態３のものと相違している。 In the controller (70) of the present embodiment, the configurations of the temperature control unit (71) and the humidification amount control unit (72) are different from those of the third embodiment.
本実施形態の温度制御部（71）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）から流出した空気の温度とその設定温度との差に基づき、調節弁（56）の開度を調節している。そして、この温度制御部（71）は、調節弁（56）の開度を制御することによって水通路（24）を通過する水の流量を調節し、それによって浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出口での空気温度を調節している。 The temperature control unit (71) of the present embodiment adjusts the opening of the control valve (56) based on the difference between the temperature of the air flowing out from the air passage (23) of the purification element (20) and the set temperature. doing. And this temperature control part (71) adjusts the flow volume of the water which passes a water path (24) by controlling the opening degree of a control valve (56), and, thereby, the air path of the purification element (20) The air temperature at the outlet of (23) is adjusted.
本実施形態の加湿量制御部（72）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）から流出した空気の湿度とその設定湿度との差に基づき、調節弁（62）の開度を調節している。調節弁（62）の開度を変更すると、冷水循環回路（60）における冷水の循環量が変化して熱交換器（61）による冷却量が変化し、ヘッドタンク（30）における貯留空間（32）内の水温が変化する。例えば、空気通路（23）の出口での空気湿度が設定湿度よりも低ければ、調節弁（62）の開度を縮小して熱交換器（61）による冷却量を減少させ、水通路（24）へ供給される水の温度を上昇させることによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を増大させる。また、空気通路（23）の出口での空気湿度が設定湿度よりも高ければ、調節弁（62）の開度を拡大して熱交換器（61）による冷却量を増大させ、水通路（24）へ供給される水の温度を低下させることによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を減少させる。 The humidification amount control unit (72) of the present embodiment controls the opening of the control valve (62) based on the difference between the humidity of the air flowing out from the air passage (23) of the purification element (20) and the set humidity. It is adjusting. When the opening of the control valve (62) is changed, the amount of chilled water in the chilled water circulation circuit (60) changes, the amount of cooling by the heat exchanger (61) changes, and the storage space (32 in the head tank (30) The water temperature in) changes. For example, if the air humidity at the outlet of the air passage (23) is lower than the set humidity, the opening of the control valve (62) is reduced to reduce the amount of cooling by the heat exchanger (61), and the water passage (24 The amount of humidification with respect to the air in the purification element (20) is increased by increasing the temperature of the water supplied to. If the air humidity at the outlet of the air passage (23) is higher than the set humidity, the opening of the control valve (62) is increased to increase the amount of cooling by the heat exchanger (61), and the water passage (24 The amount of humidification with respect to the air in the purification element (20) is reduced by lowering the temperature of the water supplied to ().
《発明の実施形態５》
本発明の実施形態５について説明する。本実施形態は、上記実施形態４において、空気浄化装置（10）の全体構成を変更したものである。本実施形態における浄化用エレメント（20）は、上記実施形態４のものと同様である。ここでは、本実施形態について、上記実施形態４と異なる点を説明する。
<< Embodiment 5 of the Invention >>
Embodiment 5 of the present invention will be described. This embodiment is obtained by changing the overall configuration of the air purification device (10) in the fourth embodiment. The purification element (20) in the present embodiment is the same as that in the fourth embodiment. Here, the difference between the present embodiment and the fourth embodiment will be described.
図９に示すように、上記空気浄化装置（10）では、上記実施形態４における冷水循環回路（60）が省略されており、給水管（43）が図外のチリングユニットに直接に接続されている。チリングユニットで冷却された水（冷水）は、給水管（43）を通じてヘッドタンク（30）の貯留空間（32）へ供給される。給水管（43）からヘッドタンク（30）への冷水の供給量を変更すると、それに伴って貯留空間（32）内の水温が変化する。貯留空間（32）内の水は、供給管（51）を通じて浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される。 As shown in FIG. 9, in the air purification device (10), the cold water circulation circuit (60) in the fourth embodiment is omitted, and the water supply pipe (43) is directly connected to a chilling unit (not shown). Yes. The water (cold water) cooled by the chilling unit is supplied to the storage space (32) of the head tank (30) through the water supply pipe (43). When the amount of cold water supplied from the water supply pipe (43) to the head tank (30) is changed, the water temperature in the storage space (32) changes accordingly. The water in the storage space (32) is supplied to the water passage (24) of the purification element (20) through the supply pipe (51).
また、上記空気浄化装置（10）には、戻しポンプ（46）が設けられている。つまり、この空気浄化装置（10）には、循環ポンプ（55）と戻しポンプ（46）の両方が設けられている。戻しポンプ（46）の吸入側には、オーバーフロー管（45）の終端が接続されている。戻しポンプ（46）の吐出側は、戻し管（47）を介して図外のチリングユニットに接続されている。ヘッドタンク（30）内で貯留空間（32）からオーバーフロー空間（33）へ溢れ出した水は、オーバーフロー管（45）を通って戻しポンプ（46）へ吸い込まれ、戻し管（47）を通ってチリングユニットへ送り返される。 The air purification device (10) is provided with a return pump (46). That is, the air purification device (10) is provided with both a circulation pump (55) and a return pump (46). The end of the overflow pipe (45) is connected to the suction side of the return pump (46). The discharge side of the return pump (46) is connected to a chilling unit (not shown) via a return pipe (47). The water overflowing from the storage space (32) to the overflow space (33) in the head tank (30) is sucked into the return pump (46) through the overflow pipe (45) and then passed through the return pipe (47). Sent back to the chilling unit.
本実施形態の加湿量制御部（72）は、浄化用エレメント（20）の空気通路（23）から流出した空気の湿度とその設定湿度との差に基づき、調節弁（44）の開度を調節している。つまり、この加湿量制御部（72）は、上記実施形態３のものと同様に、ヘッドタンク（30）に対する冷水の供給量を調節することによって貯留空間（32）内の水温を制御し、それによって水通路（24）へ供給される水の温度を調節して浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を制御している。 The humidification amount control unit (72) of the present embodiment adjusts the opening of the control valve (44) based on the difference between the humidity of the air flowing out from the air passage (23) of the purification element (20) and the set humidity. It is adjusting. That is, the humidification amount control unit (72) controls the water temperature in the storage space (32) by adjusting the amount of cold water supplied to the head tank (30), as in the third embodiment. By adjusting the temperature of the water supplied to the water passage (24), the amount of humidification for the air in the purification element (20) is controlled.
尚、本実施形態の温度制御部（71）は、上記実施形態４のものと同様に構成されている。つまり、この温度制御部（71）は、調節弁（56）の開度を制御することによって水通路（24）を通過する水の流量を調節し、それによって浄化用エレメント（20）の空気通路（23）の出口での空気温度を調節している。
In addition, the temperature control part (71) of this embodiment is comprised similarly to the thing of the said
《その他の実施形態》
上記実施形態１と上記実施形態２〜５とでは浄化用エレメント（20）の構成が異なっているが、例えば実施形態１の浄化用エレメント（20）を実施形態２〜５の空気浄化装置（10）に適用してもよいし、逆に実施形態２〜５のの浄化用エレメント（20）を実施形態１の空気浄化装置（10）に適用してもよい。
<< Other Embodiments >>
The configuration of the purification element (20) is different between the first embodiment and the second to fifth embodiments. For example, the purification element (20) of the first embodiment is replaced with the air purification device (10 of the second to fifth embodiments). The purification element (20) of the second to fifth embodiments may be applied to the air purification device (10) of the first embodiment.
また、上記実施形態３〜５の空気浄化装置（10）では、空気に対する加湿を停止し、空気の浄化と冷却だけを行うこともできる。この場合、空気浄化装置（10）の浄化用エレメント（20）では、水通路（24）へ供給される冷水の温度が空気通路（23）へ流入する空気の露点温度よりも低く設定される。この状態において、浄化用エレメント（20）では、図１０の空気線図に示すように、空気通路（23）を通過する間に空気が点Ａの状態から点Ｄの状態へ変化する。つまり、空気通路（23）を流通する空気は、水通路（24）を流通する冷水との熱交換にって冷却され、その温度がΔｔだけ低下する。また、水通路（24）内の水温が空気通路（23）の空気の露点温度より低いため、水通路（24）から空気通路（23）への水分の移動が起こらず、空気の絶対湿度は変化しない。 Moreover, in the air purification apparatus (10) of the said Embodiments 3-5, the humidification with respect to air can be stopped and only purification and cooling of air can also be performed. In this case, in the purification element (20) of the air purification device (10), the temperature of the cold water supplied to the water passage (24) is set lower than the dew point temperature of the air flowing into the air passage (23). In this state, in the purification element (20), the air changes from the point A state to the point D state while passing through the air passage (23) as shown in the air diagram of FIG. That is, the air flowing through the air passage (23) is cooled by heat exchange with the cold water flowing through the water passage (24), and its temperature is lowered by Δt. In addition, since the water temperature in the water passage (24) is lower than the dew point temperature of the air in the air passage (23), moisture does not move from the water passage (24) to the air passage (23), and the absolute humidity of the air is It does not change.
以上説明したように、本発明は、空気からの水溶性ガスの除去等を行う空気浄化装置について有用である。 As described above, the present invention is useful for an air purification device that removes a water-soluble gas from air.
（20） 浄化用エレメント
（21） 容器部材
（22） チューブ部材
（23） 空気通路
（24） 水通路
（25） 筒状部材
（50） 水管路
（71） 温度制御部（温度制御手段）
（72） 加湿量制御部（加湿量制御手段）
(20) Purification element (21) Container member (22) Tube member (23) Air passage (24) Water passage (25) Tubular member (50) Water pipe (71) Temperature controller (temperature control means)
(72) Humidification amount control unit (humidification amount control means)
Claims (6)
多孔質膜と該多孔質膜によって仕切られた水通路（24）及び空気通路（23）とが設けられた浄化用エレメント（20）を備え、
上記多孔質膜を通過した水溶性ガスを上記水通路（24）の水に溶解させて上記空気通路（23）の空気から除去し、上記多孔質膜を通過した水蒸気によって上記空気通路（23）の空気を加湿し、上記水通路（24）の水との熱交換によって上記空気通路（23）の空気を冷却する空気浄化装置。 An air purification device that removes water-soluble gas from air and humidifies and cools air,
A purification element (20) provided with a porous membrane and a water passage (24) and an air passage (23) partitioned by the porous membrane;
The water-soluble gas that has passed through the porous membrane is dissolved in the water in the water passage (24) and removed from the air in the air passage (23), and the air passage (23) is removed by water vapor that has passed through the porous membrane. An air purifier that humidifies the air and cools the air in the air passage (23) by heat exchange with the water in the water passage (24).
浄化用エレメント（20）は、多孔質膜で構成されたチューブ部材（22）と、箱状に形成されて対向面の一方から他方へ上記チューブ部材（22）が貫通する容器部材（21）とを備えており、
上記浄化用エレメント（20）では、上記チューブ部材（22）の内側が空気通路（23）となり該チューブ部材（22）の外側が水通路（24）となっている空気浄化装置。 The air purification device according to claim 1,
The purification element (20) includes a tube member (22) formed of a porous membrane, and a container member (21) formed in a box shape through which the tube member (22) penetrates from one side of the opposing surface to the other. With
In the purification element (20), an air purification device in which the inside of the tube member (22) is an air passage (23) and the outside of the tube member (22) is a water passage (24).
浄化用エレメント（20）は、多孔質膜で構成されて内側が水通路（24）となる扁平な筒状部材（25）を備えており、
上記浄化用エレメント（20）では、複数の上記筒状部材（25）が所定間隔で略平行に配置され、該筒状部材（25）同士の間が空気通路（23）となっている空気浄化装置。 The air purification device according to claim 1,
The purification element (20) includes a flat cylindrical member (25) that is formed of a porous membrane and has an inner water passage (24).
In the purification element (20), the plurality of cylindrical members (25) are arranged substantially in parallel at a predetermined interval, and the air purification unit has an air passage (23) between the cylindrical members (25). apparatus.
空気に対する加湿量と、浄化用エレメント（20）の出口における空気温度とが調節可能に構成されている空気浄化装置。 The air purification device according to claim 1,
An air purification device configured to be capable of adjusting a humidification amount for air and an air temperature at an outlet of the purification element (20).
浄化用エレメント（20）の水通路（24）への給水と該水通路（24）からの排水とを行って該水通路（24）内で水を流通させる水管路（50）と、
上記浄化用エレメント（20）の水通路（24）を通過する水の流量を調節することによって浄化用エレメント（20）の出口における空気温度を制御する温度制御手段（71）と
を備えている空気浄化装置。 The air purification device according to claim 1,
A water pipe (50) for supplying water to the water passage (24) of the purification element (20) and discharging the water from the water passage (24) to distribute water in the water passage (24);
Air having temperature control means (71) for controlling the air temperature at the outlet of the purification element (20) by adjusting the flow rate of water passing through the water passage (24) of the purification element (20) Purification equipment.
浄化用エレメント（20）の水通路（24）への給水と該水通路（24）からの排水とを行って該水通路（24）内で水を流通させる水管路（50）と、
上記浄化用エレメント（20）の水通路（24）へ供給される水の温度を調節することによって浄化用エレメント（20）での空気に対する加湿量を制御する加湿量制御手段（72）と
を備えている空気浄化装置。
The air purification device according to claim 1,
A water pipe (50) for supplying water to the water passage (24) of the purification element (20) and discharging the water from the water passage (24) to distribute water in the water passage (24);
Humidification amount control means (72) for controlling the humidification amount of air in the purification element (20) by adjusting the temperature of the water supplied to the water passage (24) of the purification element (20) Air purification device.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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2004
- 2004-06-03 JP JP2004165629A patent/JP2005230796A/en active Pending
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