JP4334935B2

JP4334935B2 - Air conditioning system

Info

Publication number: JP4334935B2
Application number: JP2003207708A
Authority: JP
Inventors: 彰加藤; 聡植村
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 2003-08-18
Filing date: 2003-08-18
Publication date: 2009-09-30
Anticipated expiration: 2023-08-18
Also published as: JP2005061647A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空調システムに係わり、特に、半導体工場，液晶工場等のクリーンルームに好適する空調システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、我が国においては、冬季や中間季は空気の温度や絶対湿度が低いため、この季節にクリーンルーム内に換気のために導入する外気は、外気調和機によって加熱加湿処理を行ない、また高温多湿の夏期は、外気を外気調和機で冷却除湿している。
【０００３】
例えば、特開平９−７９６１１号公報に開示される装置では、外気調和機内部の上流側に水噴霧器、下流側に蒸気噴出器が配置され、水噴霧器の前後に冬季に高温の媒体を通すコイルが配置されている。そして、外気が低温低湿の季節には、コイルによって外気を加熱し、さらに、水噴霧および蒸気噴出によって加湿をしている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−７９６１１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の外気調和機では、加熱コイルによって水噴霧加湿が可能なように外気を加熱し、さらに、蒸気噴出によって加湿をしているため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が必要になり、建設コストおよび運転コストが増大するという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる空調システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の空調システムは、予熱コイル，第１の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第２の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、前記冷凍機の凝縮器入口側の往き側通路に冷却ポンプを設け、前記凝縮器に冷却水を循環させる循環通路を備えた冷却塔と、前記循環通路における前記凝縮器から前記冷却塔に向けて前記冷却水を流す還り側通路から前記凝縮器で熱交換した冷却水の一部を分岐して前記予熱コイルに流量調整弁を介して送った後再び前記還り側通路へ戻す経路をなすバイパス通路と、を有することを特徴とする。
【０００８】
請求項２の空調システムは、請求項１記載の空調システムにおいて、前記循環通路における前記凝縮器を通過する冷却水の流量を所定の値に維持するため、前記循環通路の前記還り側通路における前記バイパス通路の往き側の分岐部と戻り側の分岐部との間の配管中の冷却水量を調整する流量調整弁を、前記バイパス通路の往き側の分岐部と前記バイパス
【０００９】
請求項３の空調システムは、予熱コイル，第１の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第２の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、各種装置への往き側冷却水が貯留される低温側貯留槽と前記各種装置からの還り側冷却水が貯留される高温側貯留槽を備えた冷却水設備と、
前記高温側貯留槽内の冷却水と前記冷却装置への前記冷水から分岐した冷水と熱交換させ前記低温側貯留槽に戻すための第１の熱交換器と、前記高温側貯留槽内の冷却水により前記予熱コイルを加熱し還り側の冷却水を前記低温側貯留槽または前記高温側貯留槽に戻す予熱コイル加熱手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項４の空調システムは、請求項３記載の空調システムにおいて、前記予熱コイル加熱手段は、第２の熱交換器を介して前記予熱コイルを加熱することを特徴とする。
請求項５の空調システムは、請求項１ないし請求項４のいずれか１項記載の空調システムにおいて、前記第１の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなることを特徴とする。
【００１１】
請求項６の空調システムは、請求項１ないし請求項５のいずれか１項記載の空調システムにおいて、前記温度調節装置に、再熱コイルが含まれ、前記再熱コイルが前記予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱されることを特徴とする。
請求項７の空調システムは、請求項１ないし請求項６のいずれか１項記載の空調システムにおいて、前記第２の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなることを特徴とする。
【００１２】
（作用）
請求項１の空調システムでは、外気が、外気調和機の第１の水加湿器により加湿され、また、建屋内を循環する空調空気が、第２の水加湿器により加湿される。
従って、外気調和機の第１の水加湿器による加湿負担が軽減され、室内の装置発熱を利用した循環空気の加湿を行うことで、外気調和機の予熱コイルによる加熱負担が軽減される。
【００１３】
そこで、予熱コイルの温水源として、冷凍機の凝縮器で熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になる。
請求項２の空調システムでは、循環通路の還り側通路におけるバイパス通路の往き側の分岐部と戻り側の分岐部との間に、循環通路の還り側通路におけるバイパス通路の戻り側の分岐部の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁が設けられ、凝縮器を通過する冷却水の流量が所定の値に維持される。そして、これにより冷凍機側の冷却サイクルを安定して維持することが可能になる。
【００１４】
請求項３の空調システムでは、外気が、外気調和機の第１の水加湿器により加湿され、また、建屋内を循環する空調空気が、第２の水加湿器により加湿される。
従って、外気調和機の第１の水加湿器による加湿負担が低減され、室内の装置発熱を利用した循環空気の加湿を行うことで、これに伴って、外気調和機の予熱コイルによる加熱負担が軽減される。
【００１５】
そこで、予熱コイルの温水源として、各種装置への冷却水設備の高温側貯留槽内の冷却水を利用することが可能になる。
請求項４の空調システムでは、第２の熱交換器により、予熱コイル側と冷却水設備側との冷却水が分断され、これにより冷却水設備の冷却水汚染が回避される。
請求項５の空調システムでは、第１の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなり、エアワッシャにより、外気から製品に悪影響のあるガス状の汚染物質が除去される。
【００１６】
請求項６の空調システムでは、温度調節装置の再熱コイルが、予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱される。
請求項７の空調システムでは、第２の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなり、エアワッシャにより、空調空気から製品に悪影響のあるガス状の汚染物質が除去される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の空調システムの第１の実施形態を示している。
この実施形態の空調システムは、外気調和機１１，クリーンルーム１３，冷凍機１５を有している。
【００１８】
外気調和機１１には、上流側から順に、予熱コイル１７，第１の水加湿器１９，冷却コイル２１，再熱コイル２３，送風機２５およびＨＥＰＡフィルタ２７が配置されている。
予熱コイル１７は、例えば、冬季において外気を加熱し、例えば、コイル出口の空気温度を１５℃程度の温度にする。
【００１９】
第１の水加湿器１９は、エアワッシャからなり、空気に水を噴霧してその水の一部を回収する。
すなわち、この第１の水加湿器１９は、水を貯留する貯留槽２９を備えており、貯留槽２９の下流側に配管３１が立設されている。配管３１には、上下左右方向に間隔を置いてノズル３３が配置されており、ポンプ３５により貯留槽２９内の水をノズル３３から噴出することにより、空気に水が噴霧され、噴霧された水のうち空気中に加湿蒸気として入れなかった水が貯留槽２９に回収される。そして、この回収水中には、水と空気が直接接触することで水中に溶解した空気中のガスのイオン等が吸収されている。従って、外気の加湿と同時に、外気中の汚染物質を確実に除去することができる。
【００２０】
この第１の水加湿器１９は、断熱加湿となるため、第１の水加湿器１９の出口の空気温度を、例えば、５℃とすると、入口の空気温度は、冬外気温が０℃，４５％の場合、例えば、１４．５℃程度の比較的低温で良いことになる。
冷却コイル２１と再熱コイル２３により、温度調節装置が構成されており、この温度調節装置により、第１の水加湿器１９を通過した空気の温度が、例えば、１３℃程度の温度に維持される。
【００２１】
すなわち、夏期等には、冷却コイル２１による冷却が行われ、冬季等には、再熱コイル２３による加熱が行われる。
冷却コイル２１および再熱コイル２３を通過した空気は、送風機２５およびＨＥＰＡフィルタ２７を通り、ダクト３７により建屋のクリーンルーム１３の床下空間３９に、例えば、１３℃の温度で供給される。
【００２２】
すなわち、クリーンルーム１３は、通気性のあるグレーチング床からなる床面４１の下側に床下空間３９を有しており、この床下空間３９にダクト３７からの空気が供給される。
クリーンルーム１３の天井面４３の上側には、天井空間４５が形成されている。天井面４３には、間隔を置いて開口部４７が形成されており、この開口部４７に、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）４９が配置されている。ファンフィルタユニット４９は、ファン５１とＨＥＰＡフィルタ等からなるフィルタ５３を有している。
【００２３】
クリーンルーム１３の側方には、床下空間３９と天井空間４５を連通する風道５５が形成されている。
この風道５５には、冷却装置５７および第２の水加湿器５９が配置されている。
この実施形態では、冷却装置５７は、冷却コイル６１と流量調整弁７５からなり、水の流量を調整してクリーンルーム１３内の空調空気を冷却する。また、第２の水加湿器５９は、水噴霧ノズルからなりノズル６３から純水を噴霧することにより空調空気を加湿する。ノズル６３は、配管６５の先端に配管され、配管６５には流量制御弁６７が配置されている。
【００２４】
そして、クリーンルーム１３の床面４１から床下空間３９に流入した空調空気には、床下空間３９でダクト３７からの外部空気が混合される。外部空気が混合された、空調空気は、風道５５を通る間に、冷却装置５７により冷却され、第２の水噴霧ノズルにより加湿された後、天井空間４５を通りファンフィルタユニット４９からクリーンルーム１３内に循環される。各種装置からの排気と室の隙間から外への漏れ空気量との合計が、外部空気の量と同じ量となる。
【００２５】
冷却装置５７の冷却コイル６１には、冷凍機１５の蒸発器１５Ａからの冷水を循環する循環通路６９が接続されている。
すなわち、冷凍機１５は、蒸発器１５Ａ，凝縮器１５Ｂおよび圧縮器１５Ｃを備えており、蒸発器１５Ａで冷却された、例えば、７℃程度の冷水が冷却コイル６１に循環されている。
【００２６】
冷却コイル６１への往き側通路６９ａには、上流側から順に、冷水ポンプ７１，冷水ヘッダ７３および流量調整弁７５が配置されている。また、冷却コイル６１からの還り側通路６９ｂには、冷水ヘッダ７７が配置されている。
この実施形態では、外気調和機１１の温度調節装置の冷却コイル２１にも、冷凍機１５の蒸発器１５Ａからの冷水を循環する循環通路７７が配置されている。
【００２７】
すなわち、温度調節装置の冷却コイル２１には、冷凍機１５の蒸発器１５Ａの往き側通路６９ａの冷水ヘッダ７３を介して往き側通路７７ａが接続され、この往き側通路７７ａに流量調整弁７９が配置されている。また、冷却コイル２１の還り側通路７７ｂが、冷凍機１５の蒸発器１５Ａの還り側通路６９ｂの冷水ヘッダ７７に接続されている。
【００２８】
冷凍機１５の凝縮器１５Ｂには、冷却塔８１からの冷却水を循環する循環通路８３が配置されている。
すなわち、凝縮器１５Ｂには、冷却塔８１からの往き側通路８３ａが接続され、この往き側通路８３ａには、冷却水ポンプ８５が配置されている。また、冷却塔８１への還り側通路８３ｂには、流量調整弁８７が配置されている。なお、この還り側通路８３ｂの冷却水の温度は、例えば、冬季においては２０℃程度であり、夏期においては、３５℃程度である。さらに、往き側通路８３ａと還り側通路８３ｂとが、冷却塔８１の近傍において通路８９により接続され、この通路８９に流量調整弁９１が配置されている。
【００２９】
そして、この実施形態では、凝縮器１５Ｂから冷却塔８１への還り側通路８３ｂからバイパスして、凝縮器１５Ｂで熱交換した冷却水を予熱コイル１７に循環させるバイパス通路９３が配置されている。
バイパス通路の往き側通路９３ａは、流量調整弁８７の上流側から分岐され、流量制御弁９５を介して予熱コイル１７に接続されている。バイパス通路９３の還り側通路９３ｂは、凝縮器１５Ｂから冷却塔８１への還り側通路８３ｂに配置される流量調整弁８７の下流側に接続されている。
【００３０】
そして、この実施形態では、温度調節装置の再熱コイル２３が、予熱コイル１７を加熱する冷却水を用いて加熱されている。
すなわち、再熱コイル２３には、バイパス通路９３の往き側通路９３ａの流量制御弁９５の上流から分岐する往き側通路９７ａが流量制御弁９０を介して接続されている。また、再熱コイル２３の還り側通路９７ｂが、バイパス通路９３の還り側通路９３ｂに接続されている。
【００３１】
上述した空調システムでは、外気が、外気調和機１１の第１の水加湿器１９により加湿され、また、クリーンルーム１３内を循環する空調空気が、第２の水加湿器５９により加湿される。これは、クリーンルーム１３内の装置発熱が多く水加湿による蒸発潜熱による冷却熱量がかなりかせげるために可能になる。
【００３２】
従って、外気調和機１１の第１の水加湿器１９による加湿負担が軽減され、これに伴い、外気調和機１１の予熱コイル１７による加熱負担が軽減される。
そこで、予熱コイル１７の温水源として、冷凍機１５の凝縮器１５Ｂで熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になり、これによりボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【００３３】
また、上述した空調システムでは、冷却塔８１への循環通路８３の還り側通路８３ｂに、還り側通路８３ｂにおけるバイパス通路９３の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁８７を設けたので、凝縮器１５Ｂを通過する冷却水の流量を所定の値に維持することが可能になり、凝縮器１５Ｂの熱交換効率を確実に維持することができる。
【００３４】
そして、上述した空調システムでは、第１の水加湿器１９にエアワッシャを用いたので、外気から汚染物質を確実に除去することができる。
また、上述した空調システムでは、温度調節装置の再熱コイル２３を、予熱コイル１７を加熱する冷却水を用いて加熱するようにしたので、運転コストをより低減することができる。
【００３５】
また、加熱，加湿に蒸気を使用しないので、蒸気を発生させるボイラー設備を不要にすることができ、建設コストを低減することができる。
（第２の実施形態）
図２は、本発明の空調システムの第２の実施形態の要部の構造を示している。
なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３６】
この実施形態の空調システムでは、クリーンルーム１３の風道５５に、室内側ワッシャ装置１０１が配置されている。
この室内側ワッシャ装置１０１は、装置本体１０３の上端の出口部にファン１０５を配置し、装置本体１０３の上部に冷却コイル１０７を、装置本体１０３の下部に第２の水加湿器であるエアワッシャ１０９を配置して構成されている。
【００３７】
エアワッシャ１０９は、空気に水を噴霧して水を回収する。
このエアワッシャ１０９は、純水を貯留する貯留槽１１１を備えており、貯留槽１１１に配管１１３が立設されている。配管１１３には、上下左右方向に間隔を置いてノズル１１５が配置されており、循環水ポンプ１１７により貯留槽１１１内の水をノズル１１５から噴出することにより、空気に水が噴霧され、噴霧された水が貯留槽１１１に回収される。水と空気が直接接触することで水中に溶解した空気中のガスのイオン等が吸収されている。従って、空調空気の加湿と同時に、空調空気中の汚染物質を確実に除去することができる。
【００３８】
冷却コイル１０７には、第１の実施形態と同様に、冷凍機１５の蒸発器１５Ａからの冷水を循環する循環通路６９が接続されている。
この実施形態においても第１の実施形態と同様の効果を得ることができるが、この実施形態では、第２の水加湿器にエアワッシャ１０９を用いたので、空調空気から汚染物質を確実に除去することができる。
【００３９】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の空調システムの第３の実施形態を示している。
なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態の空調システムでは、設備内の各種装置に冷却水を供給するための冷却水設備１２１が、外気調和機１１の予熱コイル１７の加熱に使用される。
【００４０】
すなわち、通常、このような冷却水設備１２１は、低温側貯留槽１２３と高温側貯留槽１２５とを備えている。
低温側貯留槽１２３内の冷却水は、例えば、２３℃程度の温度とされ、ポンプ１２７の配置される往き側通路１２９ａからヘッダ１３１を介して、各種装置に供給される。一方、高温側貯留槽１２５の冷却水は、例えば、２８℃程度の温度とされ、各種装置からの冷却水が、ヘッダ１３３を介して、還り側通路１２９ｂから戻される。
【００４１】
ヘッダ１３１とヘッダ１３３は、連通路１３５により連通され、連通路１３５には、圧力調整弁１３７が配置されている。
この実施形態では、高温側貯留槽１２５内の冷却水が第１の熱交換器１３９を介して冷却され、低温側貯留槽１２３に戻される。
すなわち、冷凍機１５の蒸発器１５Ａで冷却された冷水の往き側通路６９ａおよび還り側通路６９ｂに配置されるヘッダ７３，７７から第２の往き側通路１４１ａおよび第２の還り側通路１４１ｂが形成され、第２の往き側通路１４１ａおよび第２の還り側通路１４１ｂが第１の熱交換器１３９の一次側に接続されている。
【００４２】
一方、第１の熱交換器１３９の二次側に、高温側貯留槽１２５内に開口する往き側通路１４３ａが接続され、また、低温側貯留槽１２３内に開口する還り側通路１４３ｂが接続されている。還り側通路１４３ｂには、ポンプ１４５が配置されている。
そして、予熱コイル１７を加熱する予熱コイル加熱手段１４７が配置されている。
【００４３】
すなわち、予熱コイル１７の入口側に、高温側貯留槽１２５内に開口する往き側通路１４９ａが接続され、また、出口側に低温側貯留槽１２３内に開口する還り側通路１４９ｂが接続されている。往き側通路１４９ａには、送水ポンプ１５１および流量制御弁１５３が配置されている。
この実施形態の空調システムでは、第１の実施形態と同様に、外気が、外気調和機１１の第１の水加湿器１９により加湿され、また、クリーンルーム１３内を循環する空調空気が、第２の水加湿器２１により加湿される。
【００４４】
従って、外気調和機１１の第１の水加湿器１９による加湿負担が軽減され、これに伴い、外気調和機１１の予熱コイル１７による加熱負担が軽減される。
そこで、予熱コイル１７の温水源として、冷却水設備１２１の高温側貯留槽１２５内の冷却水を利用することが可能になり、これによりボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【００４５】
また、加熱，加湿に蒸気を使用しないので、蒸気を発生させるボイラー設備を不要にすることができ、建設コストを低減することができる。
なお、この実施形態では、予熱コイル１７の出口側を低温側貯留槽１２３に開口した例について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、予熱コイル１７の出口側を高温側貯留槽１２５に開口してもよい。
【００４６】
（第４の実施形態）
図４は、本発明の空調システムの第４の実施形態の要部の構造を示している。
なお、この実施形態において第３の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態の空調システムでは、第３の実施形態と同様に、設備内の各種装置に冷却水を供給するための冷却水設備１２１が、外気調和機１１の予熱コイル１７の加熱に使用される。
【００４７】
そして、この実施形態では、予熱コイル１７を加熱する予熱コイル加熱手段１５５が、第２の熱交換器１５７を介して予熱コイル１７を加熱するように構成されている。
すなわち、高温側貯留槽１２５内に開口する往き側通路１５９ａと、低温側貯留槽１２３内に開口する還り側通路１５９ｂが第２の熱交換器１５７の一次側に接続されている。また、第２の熱交換器１５７の二次側には、予熱コイル１７の入口側および出口側に接続される往き側通路１６１ａおよび還り側通路１６１ｂが接続されている。往き側通路１６１ａには、送水二次ポンプ１６３および流量制御弁１５３が配置されている。
【００４８】
この実施形態の空調システムにおいても第３の実施形態と同様な効果を得ることができるが、この実施形態では、第２の熱交換器１５７により、予熱コイル１７側と冷却水設備１２１側との冷却水が分断されるため、冷却水設備の冷却水の水質の劣化を確実に防止することができる。
なお、この実施形態では、第２の熱交換器１５７の一次側の還り側通路１５９ｂの出口側を低温側貯留槽１２３に開口した例について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、高温側貯留槽１２５に開口してもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１の空調システムでは、予熱コイルの温水源として、冷凍機の凝縮器で熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になるため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【００５０】
請求項２の空調システムでは、循環通路の還り側通路に、還り側通路におけるバイパス通路の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁を設けたので、凝縮器を通過する冷却水の流量を所定の値に維持することが可能になり、凝縮器の熱交換効率を確実に維持することができる。
請求項３の空調システムでは、予熱コイルの温水源として、冷却水設備の高温側貯留槽内の冷却水を利用することが可能になるため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【００５１】
請求項４の空調システムでは、第２の熱交換器により、予熱コイル側と冷却水設備側との冷却水が分断されるため、冷却水設備の冷却水の水質の劣化を確実に防止することができる。
請求項５の空調システムでは、第１の水加湿器にエアワッシャを用いたので、外気から汚染物質を確実に除去することができる。
【００５２】
請求項６の空調システムでは、温度調節装置の再熱コイルを、予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱するようにしたので、運転コストをより低減することができる。
請求項７の空調システムでは、第２の水加湿器にエアワッシャを用いたので、空調空気から汚染物質を確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の空調システムの第１の実施形態を示す配管系統図である。
【図２】本発明の空調システムの第２の実施形態の要部を示す配管系統図である。
【図３】本発明の空調システムの第３の実施形態を示す配管系統図である。
【図４】本発明の空調システムの第４の実施形態の要部を示す配管系統図である。
【符号の説明】
１１外気調和機
１３クリーンルーム
１５冷凍機
１５Ａ蒸発器
１５Ｂ凝縮器
１７予熱コイル
１９第１の水加湿器
２１冷却コイル
２３再熱コイル
５７冷却装置
５９第２の水加湿器
８１冷却塔
１２３低温側貯留槽
１２５高温側貯留槽
１３９第１の熱交換器
１５７第２の熱交換器[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an air conditioning system, and more particularly to an air conditioning system suitable for a clean room such as a semiconductor factory or a liquid crystal factory.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in Japan, the air temperature and absolute humidity are low in the winter and intermediate seasons, so the outside air introduced into the clean room for ventilation in this season is heated and humidified by an outdoor air conditioner, and is also hot and humid. During the summer, the outside air is cooled and dehumidified with an outside air conditioner.
[0003]
For example, in the apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-79611, a water sprayer is disposed upstream of the inside of the outdoor air conditioner, a steam sprayer is disposed downstream, and a coil that passes a high-temperature medium before and after the water sprayer in winter. Is arranged. And in the season when the outside air is at low temperature and low humidity, the outside air is heated by the coil, and further humidified by water spray and vapor jet.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-9-79611 [0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a conventional outside air conditioner, the outside air is heated so that water spray humidification is possible by the heating coil, and further humidification is performed by steam ejection, so that heating and humidification of a boiler or the like is performed. There is a problem that equipment is required, and construction cost and operation cost increase.
[0006]
The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide an air conditioning system capable of significantly reducing the construction cost and the operation cost as compared with the prior art.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The air conditioning system according to claim 1 supplies outside air conditioned by an outside air conditioner including a preheating coil, a first water humidifier, and a temperature control device to the building, and circulates the supplied conditioned air to the building. And an air-conditioning system that cools and humidifies the circulated conditioned air by a cooling device and a second water humidifier arranged in the circulation path of the conditioned air, and includes an evaporator in which cold water is circulated to the cooling device. A refrigerating machine, a cooling pump provided in a forward passage on the condenser inlet side of the refrigerating machine, a cooling tower provided with a circulation passage for circulating cooling water through the condenser, and the condenser in the circulation passage from the condenser A part of the cooling water heat-exchanged by the condenser is branched from the return side passage through which the cooling water flows toward the cooling tower, sent to the preheating coil through the flow rate adjusting valve, and then returned to the return side passage again. by forming the route And having scan and the passage, the.
[0008]
The air conditioning system according to claim 2 is the air conditioning system according to claim 1, wherein the flow rate of the cooling water passing through the condenser in the circulation passage is maintained at a predetermined value, so that the return passage in the circulation passage is in the return side passage. A flow rate adjusting valve for adjusting the amount of cooling water in the pipe between the forward branching portion and the return branching portion of the bypass passage, the forward branching portion of the bypass passage and the bypass
The air conditioning system according to claim 3 supplies outside air conditioned by an outside air conditioner including a preheating coil, a first water humidifier, and a temperature control device to the building, and circulates the supplied conditioned air to the building. And an air-conditioning system that cools and humidifies the circulated conditioned air by a cooling device and a second water humidifier arranged in the circulation path of the conditioned air, and includes an evaporator in which cold water is circulated to the cooling device. A cooling water facility comprising a refrigerator, a low-temperature side storage tank for storing outgoing cooling water to various devices, and a high-temperature side storage tank for storing return-side cooling water from the various devices,
The first heat exchanger for exchanging heat with the cooling water in the high temperature side storage tank and the cold water branched from the cold water to the cooling device and returning to the low temperature side storage tank, and cooling in the high temperature side storage tank Preheating coil heating means for heating the preheating coil with water and returning cooling water on the return side to the low temperature side storage tank or the high temperature side storage tank.
[0010]
An air conditioning system according to a fourth aspect of the present invention is the air conditioning system according to the third aspect, wherein the preheating coil heating means heats the preheating coil via a second heat exchanger.
The air conditioning system according to claim 5 is the air conditioning system according to any one of claims 1 to 4, wherein the first water humidifier comprises an air washer that sprays water on the air to collect the water. It is characterized by that.
[0011]
The air conditioning system according to claim 6 is the air conditioning system according to any one of claims 1 to 5, wherein the temperature adjusting device includes a reheating coil, and the reheating coil heats the preheating coil. It is characterized by being heated using cooling water.
The air conditioning system according to claim 7 is the air conditioning system according to any one of claims 1 to 6, wherein the second water humidifier comprises an air washer that sprays water on the air to recover the water. It is characterized by that.
[0012]
(Function)
In the air conditioning system according to the first aspect, the outside air is humidified by the first water humidifier of the outside air conditioner, and the conditioned air circulating in the building is humidified by the second water humidifier.
Therefore, the humidification burden by the 1st water humidifier of an outdoor air conditioner is reduced, and the heating burden by the pre-heating coil of an outdoor air conditioner is reduced by humidifying the circulating air using indoor apparatus heat_generation | fever.
[0013]
Therefore, it is possible to use a relatively low-temperature cooling water heat-exchanged by a refrigerator condenser as a hot water source for the preheating coil.
In the air conditioning system according to claim 2, the return-side branch portion of the bypass passage in the return-side passage of the circulation passage is provided between the forward-side branch portion and the return-side branch portion of the bypass passage in the return-side passage of the circulation passage. A flow rate adjusting valve for making the flow rate of the cooling water on the downstream side constant is provided, and the flow rate of the cooling water passing through the condenser is maintained at a predetermined value. And it becomes possible to maintain the cooling cycle by the side of a refrigerator stably by this.
[0014]
In the air conditioning system of claim 3, the outside air is humidified by the first water humidifier of the outside air conditioner, and the conditioned air circulating in the building is humidified by the second water humidifier.
Therefore, the humidification burden by the 1st water humidifier of an outdoor air conditioner is reduced, and the heating burden by the pre-heating coil of an outdoor air conditioner is accompanying by performing humidification of the circulating air using indoor apparatus heat_generation | fever. It is reduced.
[0015]
Then, it becomes possible to utilize the cooling water in the high temperature side storage tank of the cooling water equipment to various apparatuses as a hot water source of the preheating coil.
In the air conditioning system according to the fourth aspect, the cooling water on the preheating coil side and the cooling water equipment side is divided by the second heat exchanger, thereby avoiding cooling water contamination of the cooling water equipment.
In the air conditioning system according to claim 5, the first water humidifier comprises an air washer that sprays water on the air to collect the water, and the air washer removes gaseous pollutants that have an adverse effect on the product from the outside air. Is done.
[0016]
In the air conditioning system according to the sixth aspect, the reheating coil of the temperature adjusting device is heated using cooling water for heating the preheating coil.
In the air conditioning system of claim 7, the second water humidifier comprises an air washer that sprays water onto the air and collects the water, and the air washer causes gaseous pollutants that adversely affect the product from the conditioned air. Removed.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 shows a first embodiment of the air conditioning system of the present invention.
The air conditioning system of this embodiment includes an outside air conditioner 11, a clean room 13, and a refrigerator 15.
[0018]
In the outdoor air conditioner 11, a preheating coil 17, a first water humidifier 19, a cooling coil 21, a reheating coil 23, a blower 25, and a HEPA filter 27 are arranged in this order from the upstream side.
The preheating coil 17 heats the outside air in winter, for example, and sets the air temperature at the coil outlet to a temperature of about 15 ° C., for example.
[0019]
The 1st water humidifier 19 consists of an air washer, sprays water on air, and collects a part of the water.
That is, the first water humidifier 19 includes a storage tank 29 that stores water, and a pipe 31 is provided on the downstream side of the storage tank 29. Nozzles 33 are arranged in the pipe 31 at intervals in the vertical and horizontal directions, and water in the storage tank 29 is sprayed from the nozzles 33 by the pump 35, whereby water is sprayed on the air and the sprayed water is sprayed. Of these, water that has not been put into the air as humidified steam is collected in the storage tank 29. And in this recovery water, the ion etc. of the gas in the air melt | dissolved in water are absorbed by the water and air contacting directly. Therefore, simultaneously with humidification of the outside air, contaminants in the outside air can be surely removed.
[0020]
Since the first water humidifier 19 is adiabatic humidification, if the air temperature at the outlet of the first water humidifier 19 is 5 ° C., for example, the outdoor air temperature is 0 ° C. In the case of 45%, for example, a relatively low temperature of about 14.5 ° C. is sufficient.
The cooling coil 21 and the reheating coil 23 constitute a temperature adjusting device. By this temperature adjusting device, the temperature of the air that has passed through the first water humidifier 19 is maintained at a temperature of about 13 ° C., for example. The
[0021]
That is, cooling by the cooling coil 21 is performed in summer and the like, and heating by the reheating coil 23 is performed in winter and the like.
The air that has passed through the cooling coil 21 and the reheating coil 23 passes through the blower 25 and the HEPA filter 27, and is supplied to the underfloor space 39 of the clean room 13 of the building at a temperature of 13 ° C., for example.
[0022]
That is, the clean room 13 has an underfloor space 39 below the floor surface 41 made of a breathable grating floor, and air from the duct 37 is supplied to the underfloor space 39.
A ceiling space 45 is formed above the ceiling surface 43 of the clean room 13. The ceiling surface 43 is formed with openings 47 at intervals, and a fan filter unit (FFU) 49 is disposed in the openings 47. The fan filter unit 49 includes a fan 51 and a filter 53 including a HEPA filter.
[0023]
An air passage 55 that communicates the underfloor space 39 and the ceiling space 45 is formed on the side of the clean room 13.
A cooling device 57 and a second water humidifier 59 are disposed in the air passage 55.
In this embodiment, the cooling device 57 includes a cooling coil 61 and a flow rate adjusting valve 75, and adjusts the flow rate of water to cool the conditioned air in the clean room 13. The second water humidifier 59 is a water spray nozzle and humidifies the conditioned air by spraying pure water from the nozzle 63. The nozzle 63 is piped at the tip of the pipe 65, and a flow rate control valve 67 is arranged in the pipe 65.
[0024]
The conditioned air flowing into the underfloor space 39 from the floor surface 41 of the clean room 13 is mixed with external air from the duct 37 in the underfloor space 39. The conditioned air mixed with the external air is cooled by the cooling device 57 while passing through the air passage 55, is humidified by the second water spray nozzle, passes through the ceiling space 45, and passes from the fan filter unit 49 to the clean room 13. Circulated within. The sum of the exhaust from the various devices and the amount of air leaking out from the gap between the chambers is the same amount as the amount of external air.
[0025]
A circulation passage 69 for circulating cold water from the evaporator 15 </ b> A of the refrigerator 15 is connected to the cooling coil 61 of the cooling device 57.
That is, the refrigerator 15 includes an evaporator 15A, a condenser 15B, and a compressor 15C, and chilled water of, for example, about 7 ° C. cooled by the evaporator 15A is circulated through the cooling coil 61.
[0026]
A chilled water pump 71, a chilled water header 73, and a flow rate adjusting valve 75 are arranged in this order from the upstream side in the forward passage 69a to the cooling coil 61. A cold water header 77 is disposed in the return side passage 69b from the cooling coil 61.
In this embodiment, a circulation passage 77 for circulating cold water from the evaporator 15 </ b> A of the refrigerator 15 is also arranged in the cooling coil 21 of the temperature control device of the outdoor air conditioner 11.
[0027]
That is, the cooling coil 21 of the temperature control device is connected to the outgoing side passage 77a via the cold water header 73 of the outgoing side passage 69a of the evaporator 15A of the refrigerator 15, and the flow rate adjusting valve 79 is connected to the outgoing side passage 77a. Has been placed. Further, the return side passage 77 b of the cooling coil 21 is connected to the cold water header 77 of the return side passage 69 b of the evaporator 15 </ b> A of the refrigerator 15.
[0028]
A circulation passage 83 that circulates cooling water from the cooling tower 81 is disposed in the condenser 15 </ b> B of the refrigerator 15.
In other words, the condenser 15B is connected with a forward passage 83a from the cooling tower 81, and a cooling water pump 85 is disposed in the forward passage 83a. A flow rate adjusting valve 87 is disposed in the return side passage 83b to the cooling tower 81. The temperature of the cooling water in the return side passage 83b is, for example, about 20 ° C. in winter and about 35 ° C. in summer. Further, the forward side passage 83 a and the return side passage 83 b are connected by a passage 89 in the vicinity of the cooling tower 81, and the flow rate adjusting valve 91 is disposed in the passage 89.
[0029]
In this embodiment, a bypass passage 93 that bypasses the return side passage 83b from the condenser 15B to the cooling tower 81 and circulates the cooling water heat-exchanged in the condenser 15B to the preheating coil 17 is disposed.
The forward passage 93 a of the bypass passage branches from the upstream side of the flow rate adjustment valve 87 and is connected to the preheating coil 17 via the flow rate control valve 95. The return side passage 93b of the bypass passage 93 is connected to the downstream side of the flow rate adjusting valve 87 arranged in the return side passage 83b from the condenser 15B to the cooling tower 81.
[0030]
In this embodiment, the reheating coil 23 of the temperature control device is heated using cooling water that heats the preheating coil 17.
In other words, the reheating coil 23 is connected via the flow control valve 90 to the forward passage 97 a that branches from the upstream of the flow control valve 95 of the forward passage 93 a of the bypass passage 93. Further, the return side passage 97 b of the reheating coil 23 is connected to the return side passage 93 b of the bypass passage 93.
[0031]
In the air conditioning system described above, outside air is humidified by the first water humidifier 19 of the outside air conditioner 11, and conditioned air circulating in the clean room 13 is humidified by the second water humidifier 59. This is possible because the heat generation in the clean room 13 is large and the amount of cooling heat due to latent heat of evaporation due to water humidification is considerably reduced.
[0032]
Therefore, the humidification burden by the 1st water humidifier 19 of the external air conditioner 11 is reduced, and the heating burden by the preheating coil 17 of the external air conditioner 11 is reduced accordingly.
Therefore, it becomes possible to use the relatively low-temperature cooling water heat-exchanged by the condenser 15B of the refrigerator 15 as a hot water source for the preheating coil 17, thereby providing equipment for heating and humidifying a boiler or the like. It becomes unnecessary, and the operating cost can be greatly reduced as compared with the prior art.
[0033]
In the air conditioning system described above, the flow rate adjustment valve 87 for making the flow rate of the cooling water downstream of the bypass passage 93 in the return side passage 83b constant in the return side passage 83b of the circulation passage 83 to the cooling tower 81. Since it provided, it becomes possible to maintain the flow volume of the cooling water which passes the condenser 15B to a predetermined value, and can maintain the heat exchange efficiency of the condenser 15B reliably.
[0034]
And in the air conditioning system mentioned above, since the air washer was used for the 1st water humidifier 19, a contaminant can be reliably removed from external air.
Moreover, in the air conditioning system mentioned above, since the reheating coil 23 of the temperature control apparatus was heated using the cooling water which heats the preheating coil 17, an operating cost can be reduced more.
[0035]
In addition, since steam is not used for heating and humidification, it is possible to eliminate the need for boiler equipment for generating steam, thereby reducing construction costs.
(Second Embodiment)
FIG. 2 shows the structure of the main part of the second embodiment of the air conditioning system of the present invention.
In this embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0036]
In the air conditioning system of this embodiment, the indoor washer device 101 is disposed in the air passage 55 of the clean room 13.
In this indoor washer device 101, a fan 105 is disposed at the outlet of the upper end of the apparatus main body 103, a cooling coil 107 is provided above the apparatus main body 103, and an air washer as a second water humidifier is provided below the apparatus main body 103. 109 is arranged.
[0037]
The air washer 109 collects water by spraying water onto the air.
The air washer 109 includes a storage tank 111 that stores pure water, and a pipe 113 is erected in the storage tank 111. Nozzles 115 are arranged in the pipe 113 at intervals in the vertical and horizontal directions. When water in the storage tank 111 is ejected from the nozzles 115 by the circulating water pump 117, water is sprayed and sprayed. The collected water is collected in the storage tank 111. By direct contact between water and air, ions of gas in the air dissolved in water are absorbed. Therefore, simultaneously with humidification of the conditioned air, contaminants in the conditioned air can be reliably removed.
[0038]
Similarly to the first embodiment, a circulation passage 69 that circulates cold water from the evaporator 15A of the refrigerator 15 is connected to the cooling coil 107.
In this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. However, in this embodiment, the air washer 109 is used in the second water humidifier, so that contaminants are reliably removed from the conditioned air. can do.
[0039]
(Third embodiment)
FIG. 3 shows a third embodiment of the air conditioning system of the present invention.
In this embodiment, the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
In the air conditioning system of this embodiment, a cooling water facility 121 for supplying cooling water to various devices in the facility is used for heating the preheating coil 17 of the outside air conditioner 11.
[0040]
That is, such a cooling water facility 121 normally includes a low temperature side storage tank 123 and a high temperature side storage tank 125.
The cooling water in the low temperature side storage tank 123 is set to a temperature of about 23 ° C., for example, and is supplied to various devices from the forward side passage 129 a where the pump 127 is disposed via the header 131. On the other hand, the cooling water in the high temperature side storage tank 125 is set to a temperature of about 28 ° C., for example, and the cooling water from various devices is returned from the return side passage 129b via the header 133.
[0041]
The header 131 and the header 133 are communicated with each other through a communication path 135, and a pressure adjustment valve 137 is disposed in the communication path 135.
In this embodiment, the cooling water in the high temperature side storage tank 125 is cooled via the first heat exchanger 139 and returned to the low temperature side storage tank 123.
That is, the second forward side passage 141a and the second return side passage 141b are formed from the headers 73 and 77 arranged in the forward side passage 69a and the return side passage 69b of the cold water cooled by the evaporator 15A of the refrigerator 15. The second forward passage 141a and the second return passage 141b are connected to the primary side of the first heat exchanger 139.
[0042]
On the other hand, the secondary side of the first heat exchanger 139 is connected to a forward side passage 143a that opens into the high temperature side storage tank 125, and a return side passage 143b that opens into the low temperature side storage tank 123. ing. A pump 145 is disposed in the return side passage 143b.
And the preheating coil heating means 147 which heats the preheating coil 17 is arrange | positioned.
[0043]
That is, the forward side passage 149a opened in the high temperature side storage tank 125 is connected to the inlet side of the preheating coil 17, and the return side passage 149b opened in the low temperature side storage tank 123 is connected to the outlet side. . A water supply pump 151 and a flow rate control valve 153 are arranged in the forward passage 149a.
In the air conditioning system of this embodiment, as in the first embodiment, the outside air is humidified by the first water humidifier 19 of the outside air conditioner 11, and the conditioned air circulating in the clean room 13 is the second. The water humidifier 21 is humidified.
[0044]
Therefore, the humidification burden by the 1st water humidifier 19 of the external air conditioner 11 is reduced, and the heating burden by the preheating coil 17 of the external air conditioner 11 is reduced accordingly.
Therefore, it becomes possible to use the cooling water in the high-temperature side storage tank 125 of the cooling water equipment 121 as the hot water source of the preheating coil 17, thereby eliminating the need for equipment for heating and humidifying the boiler and the like. The operating cost can be greatly reduced as compared with the prior art.
[0045]
In addition, since steam is not used for heating and humidification, it is possible to eliminate the need for boiler equipment for generating steam, thereby reducing construction costs.
In addition, although this embodiment demonstrated the example which opened the exit side of the preheating coil 17 to the low temperature side storage tank 123, this invention is not limited to this embodiment, For example, the exit side of the preheating coil 17 May be opened to the high temperature side storage tank 125.
[0046]
(Fourth embodiment)
FIG. 4 shows the structure of the main part of the fourth embodiment of the air conditioning system of the present invention.
In this embodiment, the same members as those in the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
In the air conditioning system of this embodiment, the cooling water equipment 121 for supplying the cooling water to various devices in the equipment is used for heating the preheating coil 17 of the outdoor air conditioner 11 as in the third embodiment. .
[0047]
In this embodiment, the preheating coil heating means 155 that heats the preheating coil 17 is configured to heat the preheating coil 17 via the second heat exchanger 157.
That is, the forward side passage 159 a that opens into the high temperature side storage tank 125 and the return side passage 159 b that opens into the low temperature side storage tank 123 are connected to the primary side of the second heat exchanger 157. Further, a forward side passage 161 a and a return side passage 161 b connected to the inlet side and the outlet side of the preheating coil 17 are connected to the secondary side of the second heat exchanger 157. A water supply secondary pump 163 and a flow rate control valve 153 are arranged in the outward passage 161a.
[0048]
In the air conditioning system of this embodiment, the same effect as that of the third embodiment can be obtained, but in this embodiment, the second heat exchanger 157 causes the preheating coil 17 side and the cooling water equipment 121 side to be connected. Since the cooling water is divided, it is possible to reliably prevent deterioration of the quality of the cooling water in the cooling water facility.
In addition, although this embodiment demonstrated the example which opened the exit side of the return side channel | path 159b of the primary side of the 2nd heat exchanger 157 to the low temperature side storage tank 123, this invention is limited to this embodiment. For example, you may open to the high temperature side storage tank 125. FIG.
[0049]
【The invention's effect】
As described above, in the air conditioning system according to the first aspect, it is possible to use the relatively low-temperature cooling water exchanged by the condenser of the refrigerator as the hot water source of the preheating coil. Moreover, the equipment for performing humidification is not necessary, and the construction cost and the operation cost can be greatly reduced as compared with the prior art.
[0050]
In the air conditioning system according to claim 2, since the flow rate adjusting valve for making the flow rate of the cooling water downstream of the bypass passage in the return side passage constant is provided in the return side passage of the circulation passage, cooling that passes through the condenser is performed. The flow rate of water can be maintained at a predetermined value, and the heat exchange efficiency of the condenser can be reliably maintained.
In the air conditioning system of claim 3, since it becomes possible to use the cooling water in the high temperature side storage tank of the cooling water equipment as the hot water source of the preheating coil, no equipment for heating and humidifying such as a boiler is required. Thus, the construction cost and the operation cost can be greatly reduced as compared with the prior art.
[0051]
In the air conditioning system of claim 4, since the cooling water on the preheating coil side and the cooling water equipment side is divided by the second heat exchanger, the deterioration of the cooling water quality of the cooling water equipment is surely prevented. Can do.
In the air conditioning system according to the fifth aspect, since the air washer is used for the first water humidifier, the contaminants can be reliably removed from the outside air.
[0052]
In the air conditioning system according to the sixth aspect, since the reheating coil of the temperature control device is heated using the cooling water for heating the preheating coil, the operation cost can be further reduced.
In the air conditioning system according to the seventh aspect, since the air washer is used for the second water humidifier, the contaminants can be reliably removed from the conditioned air.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a piping diagram showing a first embodiment of an air conditioning system of the present invention.
FIG. 2 is a piping system diagram showing a main part of a second embodiment of the air conditioning system of the present invention.
FIG. 3 is a piping diagram showing a third embodiment of the air conditioning system of the present invention.
FIG. 4 is a piping system diagram showing an essential part of a fourth embodiment of the air conditioning system of the present invention.
[Explanation of symbols]
11 Outdoor air conditioner 13 Clean room 15 Refrigerator 15A Evaporator 15B Condenser 17 Preheating coil 19 First water humidifier 21 Cooling coil 23 Reheating coil 57 Cooling device 59 Second water humidifier 81 Cooling tower 123 Low temperature side storage tank 125 High temperature side storage tank 139 1st heat exchanger 157 2nd heat exchanger

Claims

Supplying outside air conditioned by an outside air conditioner equipped with a preheating coil, a first water humidifier and a temperature control device to the building, circulating the supplied conditioned air into the building, and circulating the conditioned air In the air conditioning system that cools and humidifies by the cooling device and the second water humidifier disposed in the circulation path of the conditioned air,
A refrigerator having an evaporator through which cold water is circulated to the cooling device;
A cooling tower provided with a cooling pump in the forward passage on the condenser inlet side of the refrigerator, and a circulation passage for circulating cooling water through the condenser;
A part of the cooling water heat-exchanged by the condenser is branched from a return side passage through which the cooling water flows from the condenser to the cooling tower in the circulation passage, and is sent to the preheating coil via a flow rate adjusting valve. A bypass passage that forms a route for returning to the return-side passage again ,
An air conditioning system characterized by comprising:

The air conditioning system according to claim 1, wherein
In order to maintain the flow rate of the cooling water passing through the condenser in the circulation passage at a predetermined value,
A flow rate adjusting valve that adjusts the amount of cooling water in the pipe between the return-side branch portion and the return-side branch portion of the bypass passage in the return-side passage of the circulation passage ;
An air-conditioning system provided between a forward branch of the bypass passage and a return branch of the bypass passage .

Supplying outside air conditioned by an outside air conditioner equipped with a preheating coil, a first water humidifier and a temperature control device to the building, circulating the supplied conditioned air into the building, and circulating the conditioned air In the air conditioning system that cools and humidifies by the cooling device and the second water humidifier disposed in the circulation path of the conditioned air,
A refrigerator having an evaporator through which cold water is circulated to the cooling device;
Cooling water equipment comprising a low temperature side storage tank in which the outgoing side cooling water to various devices is stored and a high temperature side storage tank in which the return side cooling water from the various devices is stored,
A first heat exchanger for exchanging heat with the cooling water in the high temperature side storage tank and the cold water branched from the cold water to the cooling device and returning to the low temperature side storage tank;
Preheating coil heating means for heating the preheating coil with the cooling water in the high temperature side storage tank and returning the return side cooling water to the low temperature side storage tank or the high temperature side storage tank;
An air conditioning system characterized by comprising:

In the air conditioning system according to claim 3,
The air conditioning system, wherein the preheating coil heating means heats the preheating coil via a second heat exchanger.

The air conditioning system according to any one of claims 1 to 4,
The air conditioning system, wherein the first water humidifier comprises an air washer that sprays water on the air to remove contaminants contained in the air.

The air conditioning system according to any one of claims 1 to 5,
The air conditioning system, wherein the temperature adjusting device includes a reheating coil, and the reheating coil is heated using cooling water that heats the preheating coil.

The air conditioning system according to any one of claims 1 to 6,
The air conditioning system, wherein the second water humidifier comprises an air washer that sprays water onto the air and collects the water.