JP2005223083A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、半導体素子をヒートシンクに載置した半導体装置に関する。
半導体レーザ素子を備えた半導体レーザ装置は、DVDレコーダー等のさまざまな製品に応用されている。このような製品に用いられている半導体レーザ素子は、高出力を要求されているため高温度になりやすく、半導体レーザ素子を内蔵する部分において放熱対策が施されている。図5は、従来の高出力半導体レーザ装置31の要部を示すものである。この半導体レーザ装置31は、レーザ光を発光する半導体レーザ素子32が、サブマウント基板33を介して角柱状のヒートシンク34の上に実装されている。すなわち、半導体レーザ素子32は、上面に電極43を有したサブマウント基板33上に接合される。この場合、半導体レーザ素子32の裏面の例えばp側電極とサブマウント基板33の電極43が接合され、サブマウント基板33は、ヒートシンク34上に例えばAgペーストによる導電材37を介して接合されている。また、半導体レーザ素子32のp側電極は、サブマウント基板33の電極43の端子部41から金属細線39aを介して外部端子38にワイヤボンディングで接続されている。そして、半導体レーザ素子32のn側電極40は、金属細線39bを介して直接ヒートシンク34にワイヤボンディングで接続され、ヒートシンク34も他の外部端子(図示せず)に接続されている。なお、図示しないが、ヒートシンク34と一体の半導体レーザ素子32は、パッケージ内に封入されて上記の外部端子に接続される。
なお、サブマウント基板とレーザ素子の両方に凹凸を設けて嵌合させること(特許文献1参照)、あるいは、レーザ素子の裏面を加工することで熱応力を緩和すること(特許文献2参照)が提案されている。
特開昭62−1291号公報
特開平7−193315号公報
上述の高出力の半導体レーザ装置31では、半導体レーザ素子32が発する熱によってキンク、熱飽和、劣化などの特性悪化を招くことが知られている。このようなキンク、熱飽和、劣化などを組み立て工程で解決するには、ヒートシンク34の大きさ及び導電材37のAgペースト量を適正にするなどの対策が必要とされている。例えば、ヒートシンク34とサブマウント基板33を接合するための導電材37のAgペーストを少なくすると熱伝導が悪くなる。逆に熱伝導を上げるためにAgペースト37を増やすと、過剰のAgペースト37Aの這い上がりが原因となり、ヒートシンク34とサブマウント基板33の電極43間のショートを引き起こす。このため単純にAgペーストを増やすことができない。また、ヒートシンク34の表面35とサブマウント基板33の接合面同士が、メッキや蒸着面のため滑らかとなりAgペースト37ののりが悪くなってしまう。
本発明は、上述の点に鑑み、半導体素子の発熱をヒートシンクで放熱させる半導体装置において、熱放散性及び密着性を向上し、さらに、導電材の這い上がりによる電気的な短絡を回避させた半導体装置を提供するものである。
本発明の半導体装置は、ヒートシンク上に半導体素子が導電材を介して接合され、前記ヒートシンクの接合面が、導電材の這い上がりが抑制される程度の微細凹凸面とされて成ることを特徴とする。
本発明の半導体装置における好ましい形態としては、前記の微細凹凸は、規則性を有して成ることが適当であり、また、前記の微細凹凸は、溝により形成されて成ることが好ましい。前記溝は、電気的短絡に影響しない方向に沿って形成されて成ることが好ましい。前記溝の深さ及び前記溝の幅は、前期導電材の導電粒子径より小さいことが好ましい。
本発明の半導体装置では、ヒートシンクの接合面が微細凹凸面とされヒートシンク上に半導体素子が導電材を介して接合されるので、ヒートシンクの接合面積を広げることができ、より放熱性、接合の密着性が良好になる。また、ヒートシンクの表面を微細凹凸面とすることにより余分な導電材の這い上がりを抑えることができる。
本発明の半導体装置によれば、ヒートシンクの接合面が微細凹凸面とされているので、表面積を広げることができ、熱放射及び密着性を向上させることができる。また、ヒートシンクの接合面が微細凹凸とされているので、過剰な導電材の這い上がりが抑制され、電気的接合面全域で均一に表面積を広げることができ、接合面全域で均一に、かつ熱放散及び密着性を向上することができ、さらに過剰な短絡を防止することができる。なお、ヒートシンクの接合面を規則的な粗さに形成する際に、導電材を排出することができるので、導電材の這い上がりを防ぐことができる。
また、ヒートシンクの接合面の粗さを溝で形成し、この溝を電気的短絡させない方向に導電材を誘導するように形成する場合には、過剰な導電材が短絡しない方向に誘導され、より確実に導電材の這い上がりを防ぎ、短絡事故防止できる。
さらに、ヒートシンクの接合面の溝として、溝深さ及び溝幅を導電材の導電粒子径より小さくすることにより、接合面が平坦化されず、這い上がりを防止することができる。すなわち、溝より導電粒子径が小さいと導電粒子が溝内に埋まり平坦化され易いが、本発明では導電粒子を溝より大きくしているため、接合面が平坦化されず、表面積を広くすることができるので、導電材の流れが起き難くなる。したがって、例えば半導体レーザ装置に適用した場合にキンク、熱飽和レベルの改善を図ることができる。
また、ヒートシンクの接合面の粗さを溝で形成し、この溝を電気的短絡させない方向に導電材を誘導するように形成する場合には、過剰な導電材が短絡しない方向に誘導され、より確実に導電材の這い上がりを防ぎ、短絡事故防止できる。
さらに、ヒートシンクの接合面の溝として、溝深さ及び溝幅を導電材の導電粒子径より小さくすることにより、接合面が平坦化されず、這い上がりを防止することができる。すなわち、溝より導電粒子径が小さいと導電粒子が溝内に埋まり平坦化され易いが、本発明では導電粒子を溝より大きくしているため、接合面が平坦化されず、表面積を広くすることができるので、導電材の流れが起き難くなる。したがって、例えば半導体レーザ装置に適用した場合にキンク、熱飽和レベルの改善を図ることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明に係る半導体装置を半導体レーザ装置に適用した場合の一実施の形態を示す。
本実施の形態に係る半導体レーザ装置1は、レーザ発光する半導体レーザ素子2をサブマウント基板3の上に実装し、このサブマウント基板3をヒートシンク4上に実装して形成される。そして、ヒートシンク4には、半導体レーザ素子2の共振器長方向と直交する一方の側部に表面5より低くなった段差部4aが形成されている。
サブマウント基板3の上面には電極15が形成され、この電極15上に半導体レーザ素子2の下面の例えばp側電極が接続されるように、半導体レーザ素子2がサブマウント基板3上に実装される。半導体レーザ素子2とサブマウント基板3は、例えばSn半田材からなる導電材14を介して接合されている。また、ヒートシンク4とサブマウント基板3とは、例えばAgペーストからなる導電材7を介して接合される。サブマウント基板3の電極15の端子部11と、例えば導電ピンに相当するリード8とは、金属配線9a(例えばAuワイヤ)を介してワイヤボンディングにより接続される。また、半導体レーザ素子2の上面の例えばn側電極とヒートシンク4の段差部4aとは、金属配線9b(例えばAuワイヤ)を介してワイヤボンディングにより接続される。なお、サブマウント基板3は、例えばAlN(アルミ・ナイトライド)基板で形成することができるが、これに限らない。ヒートシンク4は、例えば表面AuメッキしたCu基板で形成することができるが、これに限らない。
図1は、本発明に係る半導体装置を半導体レーザ装置に適用した場合の一実施の形態を示す。
本実施の形態に係る半導体レーザ装置1は、レーザ発光する半導体レーザ素子2をサブマウント基板3の上に実装し、このサブマウント基板3をヒートシンク4上に実装して形成される。そして、ヒートシンク4には、半導体レーザ素子2の共振器長方向と直交する一方の側部に表面5より低くなった段差部4aが形成されている。
サブマウント基板3の上面には電極15が形成され、この電極15上に半導体レーザ素子2の下面の例えばp側電極が接続されるように、半導体レーザ素子2がサブマウント基板3上に実装される。半導体レーザ素子2とサブマウント基板3は、例えばSn半田材からなる導電材14を介して接合されている。また、ヒートシンク4とサブマウント基板3とは、例えばAgペーストからなる導電材7を介して接合される。サブマウント基板3の電極15の端子部11と、例えば導電ピンに相当するリード8とは、金属配線9a(例えばAuワイヤ)を介してワイヤボンディングにより接続される。また、半導体レーザ素子2の上面の例えばn側電極とヒートシンク4の段差部4aとは、金属配線9b(例えばAuワイヤ)を介してワイヤボンディングにより接続される。なお、サブマウント基板3は、例えばAlN(アルミ・ナイトライド)基板で形成することができるが、これに限らない。ヒートシンク4は、例えば表面AuメッキしたCu基板で形成することができるが、これに限らない。
そして、本実施の形態においては、特に、図2に示すように、サブマウント基板3を接合するヒートシンク4の接合面5aを粗すようにしている。すなわち、後述で明らかなように、ヒートシンク4の接合面5aは、導電材7の這い上がりが抑制される程度の微細凹凸(溝を含む)面とされる。この接合面5aの粗らしは、導電材7の密着性の向上、接触面積の拡大、さらには導電材7の這い上がりを防止することを目的として行われる。接合面5aとしては、無規則に粗してもよく、規則的に粗してもよい。例えば、接合面5aを球状もしくは角状の凹凸が無規則に形成されるように粗してもよいが、好ましくは、規則的に粗す方がより効果的である。
図3A〜Dは、ヒートシンク4の接合面5aの粗しの形態を示す。図3Aは、半導体レーザ素子2の共振器長方向と直交する方向(すなわち図2のX方向)に伸びる多数の溝6Aを、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。
図3Bは、半導体レーザ素子2の共振器長方向に沿う方向(すなわち図2のY方向)に伸びる多数の溝6Bを、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。
図3Cは、互いに交差する溝6C、すなわち例えばX方向と所定角度で伸びる多数の溝とこれに直交する多数の溝を、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。この場合、共振器長方向に対角に整列する凹凸が形成される。
図3Dは、互いに交差する溝6D、すなわちX方向に伸びる多数の溝とこれに直交するY方向に伸びる溝を、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。この場合、共振器長方向に並行に整列する格子状の凹凸が形成される。
図3Bは、半導体レーザ素子2の共振器長方向に沿う方向(すなわち図2のY方向)に伸びる多数の溝6Bを、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。
図3Cは、互いに交差する溝6C、すなわち例えばX方向と所定角度で伸びる多数の溝とこれに直交する多数の溝を、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。この場合、共振器長方向に対角に整列する凹凸が形成される。
図3Dは、互いに交差する溝6D、すなわちX方向に伸びる多数の溝とこれに直交するY方向に伸びる溝を、接合面5aの全面に均一に形成して規則的に粗した形態である。この場合、共振器長方向に並行に整列する格子状の凹凸が形成される。
各溝6A〜6Dの断面形状としては、三角形、四角形、円弧形など、種々の形態を取り得る。溝6A〜6Dとしては、その溝の大きさ(すなわち、溝の幅、溝の深さ夫々)を例えば10μm以下に設定することが好ましい。
一方、ヒートシンク4とサブマウント基板3とを接合する導電材7として、導電粒子とバインダーとからなる導電ペーストを用いるときは、その導電粒子径を溝6[6A〜6D]の溝の幅、溝の深さより大きくすることが好ましい。逆に言えば、溝6[6A〜6D]の溝の幅及び溝の深さは、導電粒子径より小さく形成することが好ましい。例えばAgペーストを用いる場合、そのAg粒子径は、一例として30μmとすることが適当である。
一方、ヒートシンク4とサブマウント基板3とを接合する導電材7として、導電粒子とバインダーとからなる導電ペーストを用いるときは、その導電粒子径を溝6[6A〜6D]の溝の幅、溝の深さより大きくすることが好ましい。逆に言えば、溝6[6A〜6D]の溝の幅及び溝の深さは、導電粒子径より小さく形成することが好ましい。例えばAgペーストを用いる場合、そのAg粒子径は、一例として30μmとすることが適当である。
接合面5aの粗さの方向は、特に導電材7の例えばAgペーストが這い上がりによる電気的短絡に影響しない方向に誘導されればよいので、条件を調整することによりさまざま方向に溝もしくは凹凸を形成することができる。すなわち、溝であれば、電気的短絡に影響しない方向に沿って形成される。この粗さの幅や深さは、導電材の種類によって変更して形成されるものである。
本実施の形態に係る半導体レーザ装置1は、レーザ素子2をサブマウント基板3と一体にした状態でヒートシンク4上に実装したが、サブマウント基板3を用いないでレーザ素子2をヒートシンク4上に直接実装する場合にも適用することができる。
図4は、本実施の形態を適用した半導体レーザ装置の一例を示す。この半導体レーザ装置は、上述した接合面5aを粗したヒートシンク4上に半導体レーザ素子2を実装したサブマウント基板3を一体化したものを、レーザ光を透過させる窓17を有したパッケージ18に封入し、半導体レーザ素子2及びヒートシンク4を所要の端子ピン19に接続して構成される。(図4において、図1に対応する部分には同一符号を付して示す。)なお、本実施の形態の表面5を粗らしたヒートシンク4は、この半導体レーザ装置に限らず、他の構成を有する半導体レーザ装置にも適用することができる。
本実施の半導体装置1によれば、ヒートシンク4の接合面となる表面5を粗して溝もしくは凹凸を設けることによりヒートシンク4の表面積を広げることができ、熱放射を向上することができる。
また、ヒートシンク4の表面5に溝もしくは凹凸を設けることによりヒートシンク表面5の表面積を広げることができるので、サブマウント基板3との密着性が良くなる。
さらに、ヒートシンク4の表面5に溝もしくは凹凸を形成することにより、ヒートシンク4とサブマウント基板3間の導電材7、例えばAgペーストを介して接合したときに、過剰なAgペーストが排出され、這い上がるのを抑えることができ、導電材7のAgペーストの這い上がりによる電気的なショートを抑制することができる。
また、図1に示すように、ヒートシンク4の表面5に半導体レーザ素子2の共振器長方向と直交する方向に溝6Aを形成して表面5を粗す形態のものでは、Agペースト7を介してヒートシンク4とサブマウント基板3を接合するとき、過剰なAgペースト7が溝6Aに沿って段差部4a側に流れるので、共振器長方向からのAgペースト7の這い上がりを防ぐことができる。これにより、さらに確実にAgペーストの這い上がりによる電気的なショートを回避することができる。
さらに、Agペースト7のAg粒子径をヒートシンク7の表面5の溝の幅及び溝の深さより大きくする場合は、溝内がAg粒子で埋まることがなくヒートシンクとしての表面積を広げ、且つAgペーストを流れにくくすることができ、結果として熱放散、Agペーストの這い上がりによる電気的ショートを回避することができる。
この結果、レーザが発する熱によるキンク、熱飽和、劣化などの特性悪化を抑制することができる。
また、ヒートシンク4の表面5に溝もしくは凹凸を設けることによりヒートシンク表面5の表面積を広げることができるので、サブマウント基板3との密着性が良くなる。
さらに、ヒートシンク4の表面5に溝もしくは凹凸を形成することにより、ヒートシンク4とサブマウント基板3間の導電材7、例えばAgペーストを介して接合したときに、過剰なAgペーストが排出され、這い上がるのを抑えることができ、導電材7のAgペーストの這い上がりによる電気的なショートを抑制することができる。
また、図1に示すように、ヒートシンク4の表面5に半導体レーザ素子2の共振器長方向と直交する方向に溝6Aを形成して表面5を粗す形態のものでは、Agペースト7を介してヒートシンク4とサブマウント基板3を接合するとき、過剰なAgペースト7が溝6Aに沿って段差部4a側に流れるので、共振器長方向からのAgペースト7の這い上がりを防ぐことができる。これにより、さらに確実にAgペーストの這い上がりによる電気的なショートを回避することができる。
さらに、Agペースト7のAg粒子径をヒートシンク7の表面5の溝の幅及び溝の深さより大きくする場合は、溝内がAg粒子で埋まることがなくヒートシンクとしての表面積を広げ、且つAgペーストを流れにくくすることができ、結果として熱放散、Agペーストの這い上がりによる電気的ショートを回避することができる。
この結果、レーザが発する熱によるキンク、熱飽和、劣化などの特性悪化を抑制することができる。
上例では、本発明を高出力レーザ装置に適用したが、本発明は半導体レーザ装置に限定することなく、導電材の這い上がりと放熱対策を同時に行うことが必要な半導体装置であれば全てのものに適用することができる。また、ヒートシンクとしての機能を有する基体であれば基体表面を粗して用いることもできる。
1・・半導体レーザ装置、2・・半導体レーザ素子、3・・サブマウント基板、4・・ヒートシンク、5・・表面、5a・・接合面、7・・導電材、8・・リード、9a、9b・・金属配線、11・・端子部、15・・電極、17・・窓、18・・パッケージ、19・・端子ピン、31・・半導体レーザ装置、32・・半導体レーザ素子、33・・サブマウント基板、34・・ヒートシンク、35・・表面、38・・外部端子、37・・導電材、39a、39b・・金属細線、40、43・・電極
Claims (5)
- ヒートシンク上に半導体素子が導電材を介して接合され、
前記ヒートシンクの接合面が、前記導電材の這い上がりが抑制される程度の微細凹凸面とされて成る
ことを特徴とする半導体装置。 - 微細凹凸は、規則性を有して成る
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 微細凹凸は、溝により形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記溝は、電気的短絡に影響しない方向に沿って形成されて成る
ことを特徴とする請求項3記載の半導体装置。 - 前記溝の深さ及び前記溝の幅は、前記導電材の導電粒子径より小さい
ことを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
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