JP2005217083A - イオン注入方法及びイオン注入機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用されるイオン注入機において、前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えた制御用データに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、イオン電流密度分布及び基板の移動、又は、ビーム進行角を制御する。
【選択図】 図1
Description
前記プロファイラで計測されたイオン電流密度分布のデータだけでなく、このデータに前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えたデータに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、前記マルチポールにおけるイオンビーム調整用磁場、及び、前記基板スキャン機構におけるスキャン速度とスキャン回数を制御する不純物注入制御部を備えて構成される。
11,31A イオン源
12 ビーム光学系
13 マルチポール
14 基板スキャン機構
15 プロファイラ
16,35A 不純物注入制御部
20 基板
32A ビームスキャン機構
33A イオン電流モニタ
34A スキャンモニタ
B1〜B5 イオンビーム
Claims (9)
- 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用されるイオン注入機において、前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えた制御用データに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、イオン電流密度分布及び基板の移動、又は、ビーム走査を制御することを特徴とするイオン注入方法。
- 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用され、かつ、イオンビームを発生するイオン源と、該イオンビームをリボン状ビームに変化させるビーム光学系機構と、該リボン状ビームのイオン電流密度分布を調整するマルチポールと、前記リボン状ビームの照射方向と交差する方向に基板を移動する基板スキャン機構と、前記リボン状ビームのイオン電流密度分布を計測するプロファイラとを備えたイオン注入機において、
前記プロファイラで計測されたイオン電流密度分布のデータだけでなく、このデータに前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えたデータに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、前記マルチポールにおけるイオンビーム調整磁場、及び、前記基板スキャン機構における基板の移動を制御することを特徴とするイオン注入方法。 - 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用され、かつ、スポット状のイオンビームを発生するイオン源と、該イオンビームをビーム走査を調整しながら基板にイオンビームを照射するビームスキャン機構と、イオン電流を計測するイオン電流モニタと、前記ビーム走査を計測するスキャンモニタとを備えたイオン注入機において、
前記イオン電流モニタで計測されたイオン電流のデータ、前記スキャンモニタで計測されたビーム走査のデータだけでなく、これらのデータに前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えたデータに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、前記ビームスキャン機構におけるビーム走査を制御することを特徴とするイオン注入方法。 - 前記成膜工程のデータとして膜厚分布のデータを用いると共に、前記活性化アニール工程のデータとして活性化分布のデータを用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のイオン注入方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のイオン注入方法を用いた基板の製造方法。
- 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用され、かつ、イオンビームを発生するイオン源と、該イオンビームをリボン状ビームに変化させるビーム光学系機構と、該リボン状ビームのイオン電流密度分布を調整するマルチポールと、前記リボン状ビームの照射方向と交差する方向に基板を移動する基板スキャン機構と、前記リボン状ビームのイオン電流密度分布を計測するプロファイラとを備えたイオン注入機において、
前記プロファイラで計測されたイオン電流密度分布のデータだけでなく、このデータに前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えたデータに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、前記マルチポールにおけるイオンビーム調整磁場、及び、前記基板スキャン機構におけるスキャン速度とスキャン回数を制御する不純物注入制御部を備えたことを特徴とするイオン注入機。 - 成膜工程と活性化アニール工程の間で行われる不純物導入工程で使用され、かつ、スポット状のイオンビームを発生するイオン源と、該イオンビームをビーム走査を調整しながら基板にイオンビームを照射するビームスキャン機構と、イオン電流を計測するイオン電流モニタと、前記ビーム走査を計測するスキャンモニタとを備えたイオン注入機において、
前記イオン電流モニタで計測されたイオン電流のデータ、前記スキャンモニタで計測されたビーム走査のデータだけでなく、これらのデータに前記成膜工程のデータと前記活性化アニール工程のデータを加えたデータに基づいて、前記基板が所望の不純物密度分布を持つように、前記ビームスキャン機構におけるビーム走査を制御する不純物注入制御部とを備えたことを特徴とするイオン注入機。 - 前記成膜工程のデータとして膜厚分布のデータを用いると共に、前記活性化アニール工程のデータとして活性化分布のデータを用いることを特徴とする請求項6又は7記載のイオン注入機。
- 請求項6〜8のいずれか1項に記載のイオン注入機を備えた基板の製造システム。
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JP2004020613A JP4430418B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | イオン注入方法及びイオン注入機 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014060180A (ja) * | 2010-03-29 | 2014-04-03 | Advanced Ion Beam Technology Inc | 可変開口を利用したイオン注入方法 |
KR101430633B1 (ko) * | 2007-02-08 | 2014-08-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 이온 도핑 장치 및 이의 도핑 방법 |
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2004
- 2004-01-29 JP JP2004020613A patent/JP4430418B2/ja not_active Expired - Lifetime
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