JP2005214252A - 中間位置停止シリンダー - Google Patents

Abstract

【課題】 サーボモーターのような高価なものを使用しないで、安価な流体圧シリンダーによって両端部以外の任意の１点又は２点において正確に停止する機構を提供する。
【解決手段】 エアシリンダー１における左右の空間７，８へ圧搾空気を供給するために３ポジションバルブ１４を使用し、ソレノイド３５又は３６の付勢力が消滅した時に一対のばね３３，３４によってバルブスプール３２を中立位置へ戻し、空間７及び８を共に大気に連通させて均圧化する。フレームの一部であるステー２と被駆動部分であるスライダー１５との間に設けられる第１ばね装置１６は、最大の戻り端位置を基準として、ナット２１によって任意に設定される第１の中間位置でスライダー１５を停止させる。第２ばね装置１７は、最大の前進端位置を基準として、ナット２８によって任意に設定される第２の中間位置においてスライダー１５を停止させる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、空圧或いは油圧のような流体圧によって作動するアクチュエータとしてのシリンダー（流体圧シリンダー）に係り、特に、その内部を移動するピストンがシリンダーの両端の２位置において停止し得るだけでなく、任意に設定された中間の１又は２位置においても停止することができるようにした中間位置停止シリンダーに関するものである。

従来のエアシリンダーのような流体圧シリンダーにおいては、ピストンが流体圧によって押されてシリンダーの中を移動して、シリンダーの両端のいずれか一方に接触することによって停止した時を除いて、任意に定めた中間位置においてピストン、従ってピストンに連結されている何らかの被駆動部分を正確に停止させることはできなかった。その意味で従来の流体圧シリンダー、特にエアシリンダーは「２位置停止シリンダー」に過ぎないと言うことができる。一般に加工装置などにおいては３点以上の多点位置決めを行なうことが必要になる場合が少なくないが、そのような場合にはエアシリンダーを使用することができないので、正確な位置決めを行なうためにはサーボモーター等を使用する必要があり、それによってコストが嵩むという問題があった。

従来のエアシリンダーにおいて、シリンダーの両端以外に、それらの中間の任意の位置においてピストンとそれに連結される被駆動部分を停止させるために、特殊なブレーキをシリンダーに組み込むという試みもなされているが、一般にブレーキによる停止位置は不正確であるため、このような手段は停止位置について高い精度を要求されない場合とか、被駆動部分の落下防止のために利用するというように、限られた用途に使用することができるものに過ぎなかった。

本発明は、従来技術におけるこのような問題に対して、サーボモーターのように大幅なコストの上昇を伴う手段ではなく、従来の流体圧シリンダーに対して簡単な機構を付加することによって、シリンダーの両端の２位置に加えて、それらの中間の任意の１又は２位置においてもピストンとそれに連結された被駆動部分を停止させることができるような、低コストの中間位置停止シリンダーを提供することを目的としている。

本発明は、前記課題を解決するために請求項１に記載された中間位置停止シリンダーを提供するものである。

本発明の中間位置停止シリンダーの特徴は、流体圧シリンダーにおけるピストンの両側に形成される２つの空間部分へ加圧された流体を切り換えて供給するために３ポジションバルブを使用して、そのバルブスプールを駆動する力が消滅した時に、バルブスプールが流体圧シリンダーの２つの空間部分を均圧化する中立位置へ常に戻るように付勢したことと、流体圧シリンダーの被駆動部分とフレームとの間に、流体圧シリンダーの両端部に対応する戻り位置と前進位置との間の第１の中間位置を与える第１ばね装置と、第２の中間位置を与える第２ばね装置とのうちの少なくとも１つを設けた点に特徴がある。

本発明の中間位置停止シリンダーが第１ばね装置と第２ばね装置の双方を備えている場合には、戻り位置と前進位置との間の任意の２位置に正確に停止することができるので、「４位置停止シリンダー」ということになり、第１ばね装置と第２ばね装置のいずれか一方のみを備えている場合には、戻り位置と前進位置との間の任意の１位置に停止することができるので、「３位置停止シリンダー」ということになる。

第１ばね装置は、フレームに形成された穴に挿通支持されてピストンロッドと平行に移動することができる第１のロッドと、被駆動部分に接触し得るように第１のロッドに設けられた頭部とフレームとの間に圧縮状態で装着された第１のばねと、第１のロッドの移動範囲を制限する第１のストッパとによって構成することができる。

また、第２ばね装置は、ピストンロッドと平行に被駆動部分に取り付けられてフレームに取り付けられたスリーブの中で摺動しながら移動することができる第２のロッドと、スリーブ上で摺動しながら移動することができると共に第２のロッドの後端に形成された頭部と係合することができるばね受けと、フレームとばね受けとの間に圧縮状態で装着された第２のばねと、ばね受けの移動範囲を制限する第２のストッパとによって構成することができる。

第１のストッパと第２のストッパの少なくとも１つを、雄螺子部とそれに螺合するナットから構成することができる。この場合は、雄螺子部上におけるナットの螺合位置を調整することによって、停止位置を自由に且つ円滑に変更、設定することができる。

具体的に、３ポジションバルブとしては、バルブスプールの両端部に一対のソレノイドと一対のばねとを備えているものを使用することができる。この場合、一対のばねをいずれも圧縮ばねとすることができる。

本発明の中間位置停止シリンダーは、その流体圧シリンダーがエアシリンダーである場合に最も適している。

以下、本発明の中間位置停止シリンダーの好適な実施例として、図１に縦断面構成を示す４位置停止エアシリンダーについて詳細に説明する。図２から図５までの各図は図１に示した実施例の４位置停止シリンダーの作動状態を示すものとして、４つの停止位置にそれぞれ対応するものである。

図１において、１はエアシリンダーであって、ステー２によって、例えば何らかの加工装置のような、図示しない対象機器のフレームに固定的に取り付けられている。従って、ステー２はフレームの一部となっている。エアシリンダー１の内部には、気密を維持しながら長手方向に往復摺動をすることができるようにピストン３が挿入されていて、ピストン３と一体のピストンロッド４がエアシリンダー１の左方の端壁５とステー２を貫通して左方へ突出している。ピストンロッド４がエアシリンダー１の端壁５を貫通する部分にはシール６が設けられて気密性を保持している。このようにして、エアシリンダー１の内部空間はピストン３によって左方の空間７と右方の空間８に分けられる。エアシリンダー１の左方の端壁５と右方の端壁９にはそれぞれピストン３よりも半径が小さい窪み１０及び１１が形成されていて、これらの窪み１０,１１に配管１２，１３が接続されており、この配管１２，１３は後述の３ポジションバルブ１４まで延びている。

エアシリンダー１のピストンロッド４の左端部には上下方向に延びる腕状のスライダー１５が取り付けられている。スライダー１５は、エアシリンダー１とその付帯部分からなる４位置停止エアシリンダーによって駆動されて位置決めをされる被駆動部分の一部となっている。スライダー１５は、エアシリンダー１の下方に設けられた２つのばね装置、即ち第１ばね装置１６及び第２ばね装置１７と、エアシリンダー１のピストンロッド４とを機械的に連結して、それらを一体的に連動させるだけでなく、ピストンロッド４と図示しない加工装置等とを機械的に連結するために設けられたものである。

第１ばね装置１６はスライダー１５に取り付けられたロッド１８を備えており、ロッド１８はステー２に形成された穴２３に摺動可能に挿通されている。ロッド１８は穴２３によってエアシリンダー１のピストンロッド４と平行となるように支持される。ロッド１８に緩く嵌るように、ロッド１８の前端部に形成されたフランジ状の頭部４９とステー２との間に、所定のばね定数を有するコイル状の圧縮ばねが第１ばね１９として装着されている。第１ばね１９に所定の大きさの初期圧縮力を加えるためにロッド１８の雄螺子部２０にナット２１が螺合しており、ナット２１の調整された螺合位置は、やはり雄螺子部２０に螺合しているロックナット２２によって確実に保持される。図示実施例においてはロッド１８がフレームの一部であるステー２によって支持されているが、１つの変形として、ロッド１８をスライダー１５の側に支持させることも可能である。

第２ばね装置１７は左端部をスライダー１５に取り付けられた長いロッド２４を備えている。ロッド２４もまたエアシリンダー１のピストンロッド４と平行になっている。ロッド２４の一部はスリーブ２５の中へ摺動可能に挿通されている。スリーブ２５の左端部はステー２に一体的に取り付けられている。また、スリーブ２５の右端部には雄螺子部２６が形成されており、その上を長手方向に自由に摺動することができるように、カップのような形状のばね受け２７が緩挿されている。ばね受け２７の位置を調整するためと、ばね受け２７がスリーブ２５の端部から右方向に抜け出るのを防止するために、ナット２８を雄螺子部２６に螺合させている。２９はナット２８のためのロックナットである。このばね受け２７とステー２との間においてスリーブ２５に緩く嵌るように、所定のばね定数を有するコイル状の圧縮ばねが第２ばね３０として装着されている。ロッド２４の後端部には、ばね受け２７に係合することができるフランジ状の頭部５０が形成されている。

エアシリンダー１内の左右の空間７又は８へ選択的に圧縮空気を供給するか、或いはそれらの空間から空気を排出させるために、配管１２,１３に制御用の３ポジションバルブ１４が接続される。図１に略示したように、３ポジションバルブ１４はバルブシリンダー３１内を左右方向に往復摺動をすることができるバルブスプール３２を備えている。スプール３２の左右の端部には相互に均等な特性を有する圧縮ばね３３及び３４が装着されているので、ばね３３及び３４の圧縮力の釣り合いによってスプール３２は図１に示す状態のような中立位置に向かって常に付勢されている。もっとも、図示実施例においては一対の圧縮ばね３３及び３４を使用しているが、必ずしも一対の圧縮ばねを使用しなくても、スプール３２を中立位置へ指向させることができるものであれば、一対の引っ張りばねであってもよく、また、単に１個のコイルばね等であってもよい。１個のコイルばねを使用する場合は、コイルばねの一端部をスプール３２に直接に取り付けると共に、他端部をバルブシリンダー３１の一端部に取り付けて、コイルばねの圧縮力と引っ張り力の双方を利用し、スプール３２が中立位置にある時にそれらの力がいずれも０になるようにする。

相互に均等なばね３３及び３４の付勢力よりも大きい付勢力を発生することができるソレノイド（電磁石）３５及び３６が、ばね３３及び３４と並列的にバルブスプール３２の左右の端部に対応して設けられていて、図示しない制御装置によって切り換えられることにより、やはり図示していない電源から選択的に電力の供給を受けるか、或いは電力の供給を遮断される。左右のソレノイド３５及び３６の一方が電力の供給を受けて電気的に付勢されると、それに対抗しているばね３３又は３４の付勢力に抗してスプール３２を相手方のソレノイド３５又は３６に向かって押圧することができる。それによってバルブスプール３２は図１に示したような中立位置と、右及び左へ移動した位置との合計３つの位置を選択的にとることができる。スプール３２が右又は左へ移動した後の状態においては、左の空気通路部分３７又は右の空気通路部分３８が図１において中央の空気通路部分３９があった位置を占めることになる。なお、ソレノイド３５及び３６は一般的にはバルブの「駆動手段」と言うべきものであって、必ずしも一対設けられるとは限らない。

バルブシリンダー３１の内面の、例えば図１において下側の中央に供給ポート４０が開口していて、圧縮機と圧縮空気タンクのような圧搾空気の供給源４１に対して配管４２によって接続されている。その供給ポート４０の左右に所定の間隔をおいて並ぶように、いずれも大気に開放される排出ポート４３，４４が開口している。また、バルブシリンダー３１の内面においてポート４０，４３，４４とは異なる位置、例えば図１における上側において、左右対称に２個の制御ポート４５及び４６が所定の間隔をおいて開口していて、配管１２及び１３を介してエアシリンダー１の左右の空間７及び８に連通している。

本発明の中間位置停止シリンダーの好適な実施例として、図１に示された４位置停止エアシリンダーは、エアシリンダー１とその付帯部分とを含めてこのような構成を有するから、図２から図５に示すような４つの作動状態を選択的にとることができる。なお、図１に示す状態は、図４に示したものと実質的に同じ状態である。

図２は、図１に示す実施例の４位置停止エアシリンダーにおいて、エアシリンダー１のピストン３が４つの作動状態の１つである「戻り位置」にある状態を示したものである。ピストン３が戻り位置をとると言うことは、ピストン３がエアシリンダー１の底面である右方の端壁９に最も接近している状態であって、それによってスライダー１５の基準面である前面が図２に示す戻り端４７の位置へ来た状態のことである。この状態は、図示しない制御装置の指令によって、３ポジションバルブ１４の左側のソレノイド３５に通電することにより、右側のばね３４の付勢力に抗して図１に示すバルブスプール３２を可動範囲の右端位置へ移動させることによって実現される。それによって、スプール３２の左の空気通路部分３７がバルブシリンダー３１の中央位置へ来るので、圧搾空気の供給源４１がスプール３２の左側の空気通路部分３７に設けられた通路によって制御ポート４５に連通し、配管１２を介してエアシリンダー１の左方の空間７へ圧搾空気が供給されて、ピストン３を右方へ移動させる一方、ピストン３の右方の空間８内にあった空気が配管１３及び制御ポート４６とスプール３２の左側の空気通路部分３７に設けられた通路を通って大気中へ放出される。

エアシリンダー１のピストン３が図２に示すような戻り位置をとる時には、スライダー１５が戻り端４７へ来ることによってスライダー１５とステー２との距離が最小値Ｄ１となる。この状態においては、第１ばね装置１６を構成している第１ばね１９が最も強く圧縮されることにより、ステー２の後端面とナット２１の間にＬ１だけの隙間が生じる。また、第２ばね装置１７を構成している第２ばね３０は最も長く伸びている。

図３は、図１に示す４位置停止エアシリンダーのピストン３が、４つの作動状態のうちの「前進位置」にある状態を示したものである。ピストン３が前進位置をとると言うことは、ピストン３がエアシリンダー１の前端面である左方の端壁５に最も接近している状態であって、スライダー１５の基準面である前面が図３に示す前進端４８の位置へ来た状態のことである。この状態は、図示しない制御装置の指令によって３ポジションバルブ１４の右側のソレノイド３６に通電することにより、左側のばね３３の付勢力に抗してバルブスプール３２を可動範囲の左端位置へ移動させることによって実現される。それにより、スプール３２の右側の空気通路部分３８がバルブシリンダー３１の中央位置へ来るので、圧搾空気の供給源４１がスプール３２の右の空気通路部分３８に設けられた通路によって制御ポート４６に連通し、配管１３を介してピストン３の右側の空間８へ圧搾空気が供給されて、ピストン３を左方へ移動させる一方、ピストン３の左側の空間７にあった空気が配管１２及び制御ポート４５とスプール３２の右側の空気通路部分３８に設けられた通路を通って大気中へ放出される。

エアシリンダー１内においてピストン３が前進位置をとる時には、スライダー１５が図３に示す前進端４８へ到達することによって、スライダー１５とステー２との距離が最大値Ｄ４となる。この状態においては第１ばね１９が最も長く伸びるが、第１ばね装置１６を構成しているロッド１８の雄螺子部２０に螺合するナット２１がステー２の後端面に接触すると、それ以上ロッド１８がナット２１に対して前進することができなくなるので、ロッド１８の前端の頭部４９によって前端を支持されている第１ばね１９は、それ以上伸びることができなくなる。また、第２ばね装置１７に設けられた第２ばね３０は、スライダー１５がステー２から離れて最大限まで前進するために、ロッド２４の後端の頭部５０がばね受け２７に係合して、それをナット２８よりも距離Ｌ１だけ前方へ移動させる。それに伴って第２ばね３０が圧縮される。

図示実施例における第１ばね装置１６や第２ばね装置１７等は本発明の特徴を示すものであるが、このような本発明に特有の構成を有しない従来のエアシリンダーであっても、２ポジションバルブ等を使用することによって、実質的に戻り位置と前進位置の２つだけを実現することは可能である。しかしながら、次に図４を用いて説明する第１の中間位置５１と、図５を用いて説明する第２の中間位置５２のように、戻り端４７と前進端４８との中間の任意の位置においてスライダー１５及びピストン３を確実に停止させることは、従来技術によっては不可能である。本発明においては、第１ばね装置１６や第２ばね装置１７等を設けているのでそれが可能になる。

まず、図４に示す第１の中間位置５１は、図２に例示するように、スライダー１５が戻り端４７にあるか、或いはその付近にある状態において、図示しない制御装置の作動によって、３ポジションバルブ１４の左右のソレノイド３５及び３６への通電を同時に遮断することにより実現される。それによって、３ポジションバルブ１４のスプール３２は左右のばね３３及び３４の押圧力が釣り合う図１に示すような中立の位置へ移動し、スプール３２の中央の空気通路部分３９がバルブシリンダー３１の制御ポート４５及び４６と排出ポート４３及び４４とを連通させるので、エアシリンダー１内のピストン３の左右の空間７及び８は同時に大気に連通して共に大気圧となる。

図２に示すような状態ではスライダー１５とステー２が接近しているから、第１ばね装置１６におけるロッド１８の前端の頭部４９がスライダー１５に接触しているのと、頭部４９とステー２の間にある第１ばね１９が圧縮されているので、第１ばね１９の左端部が頭部４９を介してスライダー１５を左方へ押圧する。それによってスライダー１５は左方へ前進し、ロッド１８の雄螺子部２０に螺合しているナット２１がステー２に接触して、それ以上ロッド１８が前進することができなくなったところで、スライダー１５が図４に示したような第１の中間位置５１をとる。

このように第１ばね装置１６が有効に作動している時は、スライダー１５とステー２の間隔が狭いので、第２ばね装置１７におけるロッド２４の後端の頭部５０は後方に位置していてばね受け２７と係合していないので、第２ばね３０の圧縮力はナット２８によって受け止められて外部に現れない。従って、第２ばね装置１７の作動は無効となっている。スライダー１５が第１ばね１９の圧縮力によって押されて第１の中間位置５１へ移動することにより、スライダー１５とステー２との距離は第１の中間値Ｄ２となる。第１の中間値Ｄ２の大きさと第１の中間位置５１は、第１ばね装置１６のロッド１８上におけるナット２１の螺合位置を調整することによって自由に設定、変更することができる。

次に、図５に示す第２の中間位置５２は、図３に例示するように、スライダー１５が前進端４８にあるか、或いはその付近にある状態において、図示しない制御装置の作動によって、３ポジションバルブ１４の左右のソレノイド３５及び３６への通電を同時に遮断することにより実現される。それによって、３ポジションバルブ１４のスプール３２は左右のばね３３及び３４の押圧力が釣り合う図１に示すような中央の位置へ移動し、スプール３２の中央の空気通路部分３９がバルブシリンダー３１の制御ポート４５及び４６と排出ポート４３及び４４を連通させるので、エアシリンダー１の左右の空間７及び８は同時に大気に連通して共に大気圧となる。

図３に示すような状態においてはスライダー１５とステー２が大きく離れているから、第２ばね装置１７におけるロッド２４の後端の頭部５０は比較的に前方に位置していて、ばね受け２７と接触、係合しているので、第２ばね３０はスライダー１５からロッド２４の頭部５０とばね受け２７を介して伝えられる力によって圧縮されている。この状態においてエアシリンダー１のピストン３の左右の空間７又は８が共に大気圧となるので、圧縮された第２ばね３０が伸びる時の付勢力によってスライダー１５がばね受け２７とロッド２４の後端の頭部５０を介して後方へ押圧されて移動し、図５に示したような第２の中間位置５２をとる。

このように第２ばね装置１７が作動している間は、スライダー１５とステー２の間隔が広がっているのと、第１ばね装置１６におけるロッド１８がステー２に係合するナット２１によって前進を阻止されているために、ロッド１８の前端の頭部４９はスライダー１５と係合していないので、第１ばね１９の付勢力はナット２１によって受け止められて外部に現れない。従って第１ばね装置１６の作動は無効となっている。スライダー１５が図５に示す第２の中間位置５２へ移動することにより、スライダー１５とステー２との距離は第２の中間値Ｄ３となる。第２の中間値Ｄ３の大きさや第２の中間位置５２は、第２ばね装置１７において、ロッド２４の雄螺子部２６上におけるナット２８の螺合位置を調整することによって自由に設定、変更することができる。

図示実施例においては、エアシリンダー１に第１ばね装置１６及び第２ばね装置１７を付設すると共に、３ポジションバルブ１４を介して圧搾空気を供給或いは排出させるように構成しただけで、エアシリンダー１のピストン３及びスライダー１５が、図２に示すような戻り位置と、図３に示すような前進位置の他に、それらの中間の任意の位置として、図４に示すような第１の中間位置と、図５に示すような第２の中間位置を選択的に、且つ正確にとることができる。従って、エアシリンダー１を簡単な構成の付加によって４位置停止エアシリンダーとして使用することができるので、４位置停止エアシリンダーを安価に提供することができる。しかも第１の中間値Ｄ２と第２の中間値Ｄ３は、第１ばね装置１６におけるナット２１又は第２ばね装置１７におけるナット２８の螺合位置を調整するだけで容易且つ自由に設定、変更することができる。

なお、第１ばね装置１６においてロッド１８の雄螺子部２０に螺合するナット２１と、第２ばね装置１７においてスリーブ２５の雄螺子部２６に螺合するナット２８は、いずれも図示実施例においては第１ばね１９と第２ばね３０の圧縮の程度を調整するためのストッパとして使用されているが、本発明においては、これらのストッパを、図示実施例のように雄螺子部２０，２６と、雌螺子であるナット２１，２８とによって構成する必要はないので、ストッパとして螺子機構に代わる可調整係止機構を使用することも可能である。

また、図示実施例においては、第１ばね装置１６と第２ばね装置１７の双方を備えている４位置停止エアシリンダーとなっているが、本発明は、第１ばね装置１６と第２ばね装置１７の双方を備えていることを必須の要件とせず、第１ばね装置１６と第２ばね装置１７のいずれか一方のみを備えている場合もあり得るので、その場合には３位置停止エアシリンダーとして作動する。

図示実施例はエアシリンダーに関するものであるが、同じ考え方を油圧シリンダーに応用することが可能であることから、本発明は一般的に流体圧シリンダーに適用可能なものである。また、本発明の利用可能な用途は、従来はサーボモーター等の高価な位置制御装置を必要とした各種の材料の加工装置や工作機械等、様々な機械の分野にわたっている。

実施例の構成を示す縦断面図である。 戻り位置にある状態を示す縦断面図である。 前進位置にある状態を示す縦断面図である。 第１の中間位置にある状態を示す縦断面図である。 第２の中間位置にある状態を示す縦断面図である。

符号の説明

１…エアシリンダー
２…ステー（フレームの一部）
１４…３ポジションバルブ
１５…スライダー（被駆動部分）
１６…第１ばね装置
１７…第２ばね装置
１８，２４…ロッド
１９…第１ばね
２１，２８…ナット（ストッパ）
２７…ばね受け
３０…第２ばね
３３，３４…ばね
３５，３６…ソレノイド（駆動手段）
３７…バルブスプールの左側の空気通路部分
３８…バルブスプールの右側の空気通路部分
３９…バルブスプールの中央の空気通路部分
４１…圧搾空気の供給源
４３，４４…排出ポート
４５，４６…制御ポート
４７…戻り端
４８…前進端
５１…第１の中間位置
５２…第２の中間位置

Claims (7)

1. フレームに取り付けられた流体圧シリンダーと、
   前記流体圧シリンダーの内部空間を２つの空間部分に区画すると共に、前記２つの空間部分の拡縮に伴って往復動をするピストンと、
   前記２つの空間部分へ加圧された流体を切り換えて供給するために３つの流体通路部分を有するバルブスプールを備えている３ポジションバルブと、
   前記３ポジションバルブのバルブスプールを往復動させるために設けられた少なくとも１つの駆動手段と、
   前記バルブの駆動手段が付勢されていない時に前記３ポジションバルブのバルブスプールを中立位置へ移動させて、前記中立位置において作動位置をとる流体通路部分を前記シリンダーの２つの空間部分に連通させることによって、前記シリンダーの２つの空間部分を均圧化させるために、前記バルブスプールに係合している少なくとも１つのばねと、
   ピストンロッドによって前記ピストンに連結されて位置決めをされる被駆動部分と、
   前記被駆動部分と前記フレームとの間に設けられて前記被駆動部分に対して戻り位置と前進位置との間で任意に第１の中間位置を与え得る第１ばね装置と、前記被駆動部分と前記フレームとの間に設けられて前記被駆動部分に対して戻り位置と前進位置との間で任意に第２の中間位置を与え得る第２ばね装置のうちの少なくとも１つのばね定数装置と、
   を備えていることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
2. 請求項１において、前記第１ばね装置が、前記フレームに形成された穴に挿通支持されて前記ピストンロッドと平行に移動することができる第１のロッドと、前記被駆動部分に接触し得るように前記第１のロッドに設けられた頭部と前記フレームとの間に圧縮状態で装着された第１のばねと、前記第１のロッドの移動範囲を制限する第１のストッパとを備えていることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
3. 請求項１又は２において、前記第２ばね装置が、前記ピストンロッドと平行に前記被駆動部分に取り付けられて前記フレームに取り付けられたスリーブの中で摺動しながら移動することができる第２のロッドと、前記スリーブ上で摺動しながら移動することができると共に前記第２のロッドの後端に形成された頭部と係合することができるばね受けと、前記フレームと前記ばね受けとの間に圧縮状態で装着された第２のばねと、前記ばね受けの移動範囲を制限する第２のストッパとを備えていることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
4. 請求項２又は３において、前記ストッパの少なくとも１つが雄螺子部とそれに螺合するナットから構成されていることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
5. 請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記３ポジションバルブのバルブスプールが、その両端部に一対のソレノイドと、一対のばねとを備えていることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
6. 請求項５において、前記一対のばねがいずれも圧縮ばねであることを特徴とする中間位置停止シリンダー。
7. 請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記流体圧シリンダーがエアシリンダーであることを特徴とする中間位置停止シリンダー。

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