JP2005212132A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 例えば、シリコン単結晶基板からなるノズルプレート10と、シリコン単結晶基板からなるキャビティプレート12と、ガラス基板14とが積層して構成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、インクノズル22をインクの吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状の断面形状とする。また、インクノズル22をインクの吐出方向側のノズルプレート10面から、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により形成する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の第2の目的は、液体の吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状のノズルを、ヘッドの作製制約の自由度が高く、精度良く且つ簡易にシリコン単結基板に形成することが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することである。
本発明のインクジェット記録ヘッドは、液体を吐出するノズルが設けられると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第1シリコン単結晶基板と、前記第1基板に積層されると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第2シリコン単結晶基板と、を備え、前記ノズルは液体の吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状の断面形状であることを特徴としている。
前記ノズルを、液体の吐出方向側の前記第1シリコン単結晶基板面から、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により形成することを特徴としている。
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、液体の吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状のノズルを、ヘッドの作製制約の自由度が高く、精度良く且つ簡易にシリコン単結基板に形成することが可能になる、といった効果を奏する。
本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドは、ノズルプレート10、キャビティプレート12及びガラス基板14を個別に製造し、しかる後に、これらを貼り合わせることにより製造される。キャビティプレート12及びガラス基板14は、例えば、特開平5−50601号公報などに記載されている公知の方法によって製造できる。従って、本明細書においては、インクノズル22のエッチング方法を中心にノズルプレート10の製造方法を説明する。
12 キャビティプレート
14 ガラス基板
16 インクキャビティ
18 インクリザーバ
20 インク供給口
22 インクノズル
24 シリコンウエハ
Claims (5)
- 液体を吐出するノズルが設けられると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第1シリコン単結晶基板と、
前記第1基板に積層されると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第2シリコン単結晶基板と、
を備え、
前記ノズルは液体の吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状の断面形状であるインクジェット記録ヘッド。 - 液体を吐出するノズルが設けられると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第1シリコン単結晶基板と、
前記第1基板に積層されると共に、前記ノズルに連通する加圧室の内壁の一部を構成する第2シリコン単結晶基板と、
を備え、
前記ノズルは液体の吐出方向に向かって開口径が漸次小さくなるテーパー状の断面形状であるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルを、液体の吐出方向側の前記第1シリコン単結晶基板面から、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記反応性イオンエッチングは、エッチングガス及びデポガスを交互に導入するサイクルエッチングであることを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記サイクルエッチングにおいて、前記エッチングガスの1サイクル中に導入される導入時間をTe、前記デポガスの1サイクル中における導入時間Tdとしたとき、Te/Tdを制御することにより前記ノズルの内壁のテーパー角度を調整することを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第1シリコン単結晶基板と前記第2シリコン単結晶基板とを積層した後、第1シリコン単結晶基板に前記ノズルを形成することを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004018250A JP2005212132A (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008075715A1 (ja) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド用ノズルプレート及び液体吐出ヘッド |
WO2009039552A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Reactive ion etching process for etching metals |
-
2004
- 2004-01-27 JP JP2004018250A patent/JP2005212132A/ja active Pending
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WO2008075715A1 (ja) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッド用ノズルプレート及び液体吐出ヘッド |
WO2009039552A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-02 | Silverbrook Research Pty Ltd | Reactive ion etching process for etching metals |
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