JP2005205515A - 電磁アクチュエータの構造およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定部1と、前記固定部1に接続されたバネ2と、前記バネ2に接続された可動部3と、前記可動部3に接着体6を介して固定された磁性体5とからなり、外部に設けられた磁場発生源によって前記可動部3が前記固定部1に対して相対的に移動する電磁アクチュエータにおいて、前記可動部3の少なくとも一部に前記磁性体5が固定される固定面と、前記固定面と反対側の面とを貫く貫通孔4が形成されており、前記貫通孔4の内部の少なくとも一部と前記固定面の少なくとも一部と前記磁性体5の少なくとも一部に前記接着体6が塗布されていることを特徴とする電磁アクチュエータとする。
【選択図】 図1
Description
2・・・バネ
3・・・可動部
4・・・貫通孔
5・・・磁性体
6・・・接着体
7・・・BOX層
8・・・活性層
11・・・シャッター
Claims (6)
- 固定部と、固定部に接続されたバネと、バネに接続された可動部と、可動部に接着体を介して固定された磁性体とからなり、外部に設けられた磁場発生源によって前記可動部が前記固定部に対して相対的に移動する電磁アクチュエータにおいて、
前記可動部の前記接着体に接する面と、反対側の面とを貫く貫通孔を有し、
前記接着体を前記磁性体に向かい合う面の一部に有し、前記向かい合う面の一部に有する前記接着体に延設して前記貫通孔の内壁の一部に前記接着体を有することを特徴と知る電磁アクチュエータ。 - 前記貫通孔が、多角柱であることを特徴とする請求項1に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記貫通孔が、正六角柱であり、前記正六角柱が稠密に配列されたハニカム構造であることを特徴とする請求項2に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記貫通孔が、円柱であることを特徴とする請求項1に記載の電磁アクチュエータ。
- 前記固定部と一体に形成され、光を吸収あるいは反射させるための光制御部と、
請求項1から請求項5のいずれか一つに記載の電磁アクチュエータと、
を有すことを特徴とする光デバイス。 - 少なくとも基板のおもて面と裏面のどちらか一方、もしくは両面にエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクを用いたエッチング工程によって、前記可動部と前記バネ部および前記貫通孔を形成する工程と、
前記磁性体を前記接着剤を用いて前記可動部に接着する工程を含む電磁アクチュエータの製造方法において、
前記接着体が、光硬化型の樹脂であって、
前記貫通孔を通して前記光硬化型の樹脂に光を照射することによって接着を行うことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電磁アクチュエータの製造方法。
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JP2007229825A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Hirosaki Univ | 微小電気機械構造、その製造方法および微小電気機械素子 |
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