JP2005197136A - テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 - Google Patents
テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005197136A JP2005197136A JP2004003482A JP2004003482A JP2005197136A JP 2005197136 A JP2005197136 A JP 2005197136A JP 2004003482 A JP2004003482 A JP 2004003482A JP 2004003482 A JP2004003482 A JP 2004003482A JP 2005197136 A JP2005197136 A JP 2005197136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- screw shaft
- axis
- parallel
- universal joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【課題】 テーブルを移動させるためのスクリューシャフトに回転力を伝達する際、前記スクリューシャフトに軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止すること。
【解決手段】スクリューシャフト２５に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル１７と、スクリューシャフト２５に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ５３と、スクリューシャフト２５に平行な平行回転軸５１と、平行回転軸５１に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ５３と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ５２と、平行回転軸５１と伸縮可能な伸縮ロッド２８の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント２７と、伸縮ロッド２８の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸３１の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント２９と、駆動軸３１を回転駆動する回転駆動装置とをそなえたテーブル移動装置。
【選択図】 図４
【解決手段】スクリューシャフト２５に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル１７と、スクリューシャフト２５に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ５３と、スクリューシャフト２５に平行な平行回転軸５１と、平行回転軸５１に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ５３と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ５２と、平行回転軸５１と伸縮可能な伸縮ロッド２８の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント２７と、伸縮ロッド２８の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸３１の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント２９と、駆動軸３１を回転駆動する回転駆動装置とをそなえたテーブル移動装置。
【選択図】 図４
Description
本発明はユニバーサルジョイントを介して回転力が伝達されるスクリューシャフトの回転時に、前記スクリューシャフトに螺合するメスネジまたはボールネジ等を有するナットが固定された移動可能な部材であるテーブルを、前記スクリューシャフトの軸方向の所定位置に移動させるテーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置に関し、特に、スクリューシャフトに回転力を伝達する際に、スクリューシャフトにシャフト回転力以外の力（例えば軸方向の力または曲げモーメント等の力）が作用するのを防止することが可能なテーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置に関する。
前記テーブル移動装置は、電子顕微鏡等の、電子ビーム、イオンビーム、あるいは光等を用いて、試料の観察、分析を行う装置または、荷電粒子ビームによりシリコンウエハの表面の描画作業を行う装置等の顕微作業装置において、前記試料またはシリコンウエハ等を支持するテーブルを移動させる際に使用される。
前記テーブル移動装置は、電子顕微鏡等の、電子ビーム、イオンビーム、あるいは光等を用いて、試料の観察、分析を行う装置または、荷電粒子ビームによりシリコンウエハの表面の描画作業を行う装置等の顕微作業装置において、前記試料またはシリコンウエハ等を支持するテーブルを移動させる際に使用される。
前記電子顕微鏡等のような試料に対する分析・観察・測定、描画像等の精密作業を行う装置（顕微作業装置）では、顕微作業用試料の水平面内および鉛直軸方向（光軸方向）等の移動、軸回りの回転等を高精度で行い、種々の方向から観察、分析、描画等の作業が行われる。
この種の顕微作業装置で使用されるテーブル移動装置としては、特開２００２−１２４２０６号公報（特許文献１）または特開２００１−２２９８７６号公報（特許文献２）に記載されたテーブル移動装置が従来公知である。
前記特許文献１または２等に記載されたテーブル移動装置を、図７、図８により説明する。
図７は従来のテーブル移動装置を備えた電子顕微鏡（顕微作業装置）の説明図であり、図７Ａは要部縦断面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢで示すＹ軸テーブル移動機構の部分拡大図である。
この種の顕微作業装置で使用されるテーブル移動装置としては、特開２００２−１２４２０６号公報（特許文献１）または特開２００１−２２９８７６号公報（特許文献２）に記載されたテーブル移動装置が従来公知である。
前記特許文献１または２等に記載されたテーブル移動装置を、図７、図８により説明する。
図７は従来のテーブル移動装置を備えた電子顕微鏡（顕微作業装置）の説明図であり、図７Ａは要部縦断面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢで示すＹ軸テーブル移動機構の部分拡大図である。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
図７において、ベース１の上面には電子顕微鏡（顕微作業装置）の鏡筒２を支持する鏡筒支持部材３が支持されている。鏡筒支持部材３の右側面（Ｙ側面）は開口しており、その開口はステージ支持部材４により閉塞されている。前記鏡筒支持部材３およびステージ支持部材４の内部には真空試料室Ａが形成されている。すなわち、前記鏡筒支持部材３およびステージ支持部材４により前記真空試料室Ａを形成する外壁（３＋４）が形成されている。
鏡筒支持部材３の下面を形成する下壁部３ａには排気管接続孔３ｂが形成されており、排気管接続孔３ｂは真空排気管５に接続されている。前記真空試料室Ａは真空ポンプ（図示せず）により真空排気管５から排気される。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
図７において、ベース１の上面には電子顕微鏡（顕微作業装置）の鏡筒２を支持する鏡筒支持部材３が支持されている。鏡筒支持部材３の右側面（Ｙ側面）は開口しており、その開口はステージ支持部材４により閉塞されている。前記鏡筒支持部材３およびステージ支持部材４の内部には真空試料室Ａが形成されている。すなわち、前記鏡筒支持部材３およびステージ支持部材４により前記真空試料室Ａを形成する外壁（３＋４）が形成されている。
鏡筒支持部材３の下面を形成する下壁部３ａには排気管接続孔３ｂが形成されており、排気管接続孔３ｂは真空排気管５に接続されている。前記真空試料室Ａは真空ポンプ（図示せず）により真空排気管５から排気される。
ステージ支持部材４の内面にはＺ軸ガイド６が固定されており、前記Ｚ軸ガイド６はＺ軸テーブル７を鉛直なＺ軸方向にガイドする。Ｚ軸テーブル７は、Ｚ軸駆動モータＭｚの出力軸８に形成されたオスネジ８ａと螺合するネジ孔７ａを有しており、前記出力軸８の回転によりＺ軸方向にスライド移動して位置調節される。前記Ｚ軸テーブル７には水平なＹ軸方向に突出する円筒状外周面を有する傾斜テーブル支持部７ｂが設けられており、前記傾斜テーブル支持部７ｂにより傾斜テーブル１０がＹ軸に平行な傾斜軸Ｙａ回りに回転可能に支持されている。
前記傾斜テーブル１０は図示しない傾斜駆動機構により前記傾斜軸Ｙａ回りの傾斜位置を制御される。
前記傾斜テーブル１０は図示しない傾斜駆動機構により前記傾斜軸Ｙａ回りの傾斜位置を制御される。
傾斜テーブル１０は、前記円筒状外周面を有する傾斜テーブル支持部７ｂにより回転可能に支持される筒状回転部１１と、前記筒状回転部１１から下方に伸び且つ前方または後方に延びる前後一対の傾斜アーム１２，１２（図７に１個のみ図示）と前記傾斜アーム１２，１２の下端から左方向（−Ｙ方向）に平行に延びる一対の水平アーム１３，１３（図７に１個のみ図示）と、前後方向Ｘ軸方向）に延び且つ前記一対の水平アーム１３，１３の左端（−Ｙ側の端）を連結する連結部材１４と、右端部下面に設けたスクリューシャフト支持部１５とを有している。前記傾斜テーブル１０の一対の水平アーム１３，１３上面にはＹ軸テーブル１７がＹ軸方向に移動可能に支持されている。したがって、傾斜テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１７を支持するテーブル支持部材として構成されている。
Ｙ軸テーブル１７上にはＸ軸テーブル１８がＸ軸方向に移動可能に支持されている。したがって、Ｙ軸テーブル１７は、Ｘ軸テーブルを支持するテーブル支持部材として構成されている。
前記Ｘ軸テーブル１８には回転テーブル１９が鉛直なＺ軸回りに回転可能に支持されている。回転テーブル１９の上面には試料ホルダ（図示せず）が着脱可能に装着されるホルダ装着部材２０が設けられている。前記ホルダ装着部材２０には、顕微作業用の試料を保持する試料試料ホルダ（図示せず）が着脱可能に装着される。
Ｙ軸テーブル１７上にはＸ軸テーブル１８がＸ軸方向に移動可能に支持されている。したがって、Ｙ軸テーブル１７は、Ｘ軸テーブルを支持するテーブル支持部材として構成されている。
前記Ｘ軸テーブル１８には回転テーブル１９が鉛直なＺ軸回りに回転可能に支持されている。回転テーブル１９の上面には試料ホルダ（図示せず）が着脱可能に装着されるホルダ装着部材２０が設けられている。前記ホルダ装着部材２０には、顕微作業用の試料を保持する試料試料ホルダ（図示せず）が着脱可能に装着される。
前記Ｙ軸テーブル１７の下面にはナット１７ａが下方に突出して設けられている。ナット１７ａは前記前後一対の水平アーム１３，１３の間に配置されている。前記ナット１７ａに螺合して貫通するＹ軸スクリューシャフト２５は左右方向（Ｙ軸方向）に延びており、その右端部（Ｙ端部）が前記スクリューシャフト支持部１５に装着された一対のアンギュラベアリング２６，２６により回転可能に支持されている。Ｙ軸スクリューシャフト２５の左端（−Ｙ端）は自由端となっている。
前記Ｙ軸スクリューシャフト２５の右端（Ｙ端）にはユニバーサルジョイント２７を介して回転力伝達用の伸縮ロッド２８の左端部が連結されている。前記ユニバーサルジョイント２７は、Ｙ軸スクリューシャフト２５の軸（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で且つ互いに直交する２軸回りに互いに回転可能に連結されたシャフト連結部材２７ａおよびロッド連結部２７ｂを有している。前記シャフト連結部材２７ａは前記Ｙ軸スクリューシャフト２５に連結され、前記ロッド連結部２７ｂは前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８の左端部に連結されている。
前記Ｙ軸スクリューシャフト２５の右端（Ｙ端）にはユニバーサルジョイント２７を介して回転力伝達用の伸縮ロッド２８の左端部が連結されている。前記ユニバーサルジョイント２７は、Ｙ軸スクリューシャフト２５の軸（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で且つ互いに直交する２軸回りに互いに回転可能に連結されたシャフト連結部材２７ａおよびロッド連結部２７ｂを有している。前記シャフト連結部材２７ａは前記Ｙ軸スクリューシャフト２５に連結され、前記ロッド連結部２７ｂは前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８の左端部に連結されている。
前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８はその軸方向に伸縮可能に構成されており、前記傾斜テーブル１０が前記傾斜軸Ｙａ回りに傾斜した場合には、傾斜に応じて伸縮運動を繰り返す。
また、回転力伝達用の伸縮ロッド２８の右端部はユニバーサルジョイント２９を介してＹ軸駆動モータＭｙの出力軸３１の左端部に連結されている。前記ユニバーサルジョイント２９は、出力軸３１の軸（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で且つ互いに直交する２軸回りに互いに回転可能に連結された出力軸連結部材２９ａおよび連結ロッド２９ｂを有している。前記出力軸連結部材２９ａは前記出力軸３１に連結され、前記連結ロッド２９ｂは前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８の右端部に連結されている。
そして、前記出力軸３１の回転は、前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８を介してＹ軸スクリューシャフト２５に伝達されるように構成されている。前記Ｙ軸スクリューシャフト２５が回転すると前記Ｙ軸スクリューシャフト２５に螺合するナット１７ａおよびＹ軸テーブル１７はＹ軸方向（左右方向）に移動する。
また、回転力伝達用の伸縮ロッド２８の右端部はユニバーサルジョイント２９を介してＹ軸駆動モータＭｙの出力軸３１の左端部に連結されている。前記ユニバーサルジョイント２９は、出力軸３１の軸（Ｙ軸に平行な軸）に垂直で且つ互いに直交する２軸回りに互いに回転可能に連結された出力軸連結部材２９ａおよび連結ロッド２９ｂを有している。前記出力軸連結部材２９ａは前記出力軸３１に連結され、前記連結ロッド２９ｂは前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８の右端部に連結されている。
そして、前記出力軸３１の回転は、前記回転力伝達用の伸縮ロッド２８を介してＹ軸スクリューシャフト２５に伝達されるように構成されている。前記Ｙ軸スクリューシャフト２５が回転すると前記Ｙ軸スクリューシャフト２５に螺合するナット１７ａおよびＹ軸テーブル１７はＹ軸方向（左右方向）に移動する。
図８は前記図７に示すＸ軸テーブルを移動させるための移動機構の拡大説明図である。
図８において、前記Ｙ軸テーブル１７の前端部（Ｘ端部）で且つ左右方向（Ｙ軸方向）の中央部上面にはＬ型のブラケット３４が固定されている。ブラケット３４にはシャフト支持用の一対のアンギュラベアリング３５，３５が装着されており、前記一対のアンギュラベアリング３５，３５は脱落防止部材３６によりブラケット３４から脱落不能である。前記シャフト支持用の一対のアンギュラベアリング３５，３５により、Ｘ軸に平行なＸ軸スクリューシャフト３７の前端部（Ｘ端部）の小径部が回転可能に支持されている。Ｘ軸スクリューシャフト３７の後端部（−Ｘ端部）は前記Ｙ軸スクリューシャフト２５の左端部（図７参照）と同様に自由端となっている。
前記Ｘ軸スクリューシャフト３７はＸ軸テーブル１８と一体のナット１８ａと螺合している。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７の小径の前端部には第１ベベルギヤ３８が固着されている。
図８において、前記Ｙ軸テーブル１７の前端部（Ｘ端部）で且つ左右方向（Ｙ軸方向）の中央部上面にはＬ型のブラケット３４が固定されている。ブラケット３４にはシャフト支持用の一対のアンギュラベアリング３５，３５が装着されており、前記一対のアンギュラベアリング３５，３５は脱落防止部材３６によりブラケット３４から脱落不能である。前記シャフト支持用の一対のアンギュラベアリング３５，３５により、Ｘ軸に平行なＸ軸スクリューシャフト３７の前端部（Ｘ端部）の小径部が回転可能に支持されている。Ｘ軸スクリューシャフト３７の後端部（−Ｘ端部）は前記Ｙ軸スクリューシャフト２５の左端部（図７参照）と同様に自由端となっている。
前記Ｘ軸スクリューシャフト３７はＸ軸テーブル１８と一体のナット１８ａと螺合している。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７の小径の前端部には第１ベベルギヤ３８が固着されている。
前記ブラケット３４には、前記Ｘ軸スクリューシャフト３７の軸に交差する軸である交差軸（Ｙ軸に平行な軸）３９を支持する一対のラジアルベアリング４１，４１が装着されている。前記交差回転軸３９の左端部（−Ｙ端部）には第２ベベルギヤ４２が装着されている。交差回転軸３９の右端部（Ｙ端部）は、ユニバーサルジョイント４３を介して回転力伝達用の伸縮ロッド４４に連結されている。
前記伸縮ロッド４４は、軸方向に相対的にスライド可能且つ相対回転不可能な２つの部材により構成されており、その軸方向に伸縮可能である。前記伸縮ロッド４４は、前記傾斜テーブル１０が前記傾斜軸Ｙａ回りに傾斜したり、前記Ｙ軸テーブル１７が左右方向（Ｙ軸方向）に移動したりした場合には、それに応じて伸縮運動を繰り返す。
また、伸縮ロッド４４の右端部は、ユニバーサルジョイント４６を介してＸ軸駆動モータＭｘ（図示せず）の出力軸４７の左端部に連結されている。
そして、前記出力軸４７の回転は、前記伸縮ロッド４４、交差回転軸３９、べベルギヤ４２，３８を介してＸ軸スクリューシャフト３７に伝達されるように構成されている。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７が回転すると前記Ｘ軸スクリューシャフト３７に螺合するナット１８ａおよび前記ナット１８ａと一体的に移動するＸ軸テーブル１８はＸ軸方向（前後方向）に移動する。
前記伸縮ロッド４４は、軸方向に相対的にスライド可能且つ相対回転不可能な２つの部材により構成されており、その軸方向に伸縮可能である。前記伸縮ロッド４４は、前記傾斜テーブル１０が前記傾斜軸Ｙａ回りに傾斜したり、前記Ｙ軸テーブル１７が左右方向（Ｙ軸方向）に移動したりした場合には、それに応じて伸縮運動を繰り返す。
また、伸縮ロッド４４の右端部は、ユニバーサルジョイント４６を介してＸ軸駆動モータＭｘ（図示せず）の出力軸４７の左端部に連結されている。
そして、前記出力軸４７の回転は、前記伸縮ロッド４４、交差回転軸３９、べベルギヤ４２，３８を介してＸ軸スクリューシャフト３７に伝達されるように構成されている。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７が回転すると前記Ｘ軸スクリューシャフト３７に螺合するナット１８ａおよび前記ナット１８ａと一体的に移動するＸ軸テーブル１８はＸ軸方向（前後方向）に移動する。
前記図７Ｂにおいて、出力軸３１の回転を前記Ｙ軸スクリューシャフト２５に伝達する際、ユニバーサルジョイント２７、２９の回転摩擦抵抗や、前記伸縮ロッド２８の伸縮運動時の摩擦抵抗等によりＹ軸スクリューシャフト２５の右端は次の力を受ける。
（Ａ１）Ｙ軸スクリューシャフト２５の軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ａ２）一対のアンギュラベアリング２６，２６の各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点を回転中心としてＹ軸スクリューシャフト２５の右端（Ｙ端）をスリコギ運動させるような周期的な曲げモーメントを受ける。
前記（Ａ１）、（Ａ２）の力を受けると、Ｙ軸スクリューシャフト２５及びアンギュラベアリング２６，２６には弾性撓みが発生する。
（Ａ１）Ｙ軸スクリューシャフト２５の軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ａ２）一対のアンギュラベアリング２６，２６の各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点を回転中心としてＹ軸スクリューシャフト２５の右端（Ｙ端）をスリコギ運動させるような周期的な曲げモーメントを受ける。
前記（Ａ１）、（Ａ２）の力を受けると、Ｙ軸スクリューシャフト２５及びアンギュラベアリング２６，２６には弾性撓みが発生する。
前記図８において、出力軸４７の回転は、交差回転軸３９に伝達されてから、前記Ｘ軸スクリューシャフト３７に伝達される。前記出力軸４７の回転を前記交差回転軸３９に伝達する際、ユニバーサルジョイント４６，４３の回転摩擦抵抗や、前記伸縮ロッド４４の伸縮運動時の摩擦抵抗等により交差回転軸３９の右端は次の力を受ける。
（Ｂ１）交差回転軸３９の軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ｂ２）一対のラジアルベアリング４１，４１の中心を回転中心として交差回転軸３９の右端（Ｙ端）がスリコギ運動をするような周期的な曲げモーメントを受ける。
前記交差回転軸３９及び前記ラジアルベアリング４１，４１には、前記（Ｂ１）、（Ｂ２）の力を受けると、弾性撓みが発生する。前記交差回転軸３９の軸回りの回転力は、交差回転軸３９に装着された第２ベベルギヤ４２から前記第２ベベルギヤ４２に噛み合う第１ベベルギヤ３８を介して前記Ｘ軸スクリューシャフト３７に伝達される。このとき、前記交差回転軸３９が受ける前記力（Ｂ１），（Ｂ２）に応じて、Ｘ軸スクリューシャフト３７の前端は次の力を受ける。
（Ｂ３）前記第１ベベルギヤ３８には第２ベベルギヤ４２との接触法線方向（第１ベベルギヤ３８および４２の中心を結ぶ直線方向）の力が作用する。この力のＸ軸線方向の分力により、Ｘ軸スクリューシャフト３７は、その軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ｂ４）軸受３５の中心を回転中心としてＸ軸スクリューシャフト３７の前端（Ｘ端）がスリコギ運動をするような周期的な曲げモーメントを受ける。
Ｘ軸スクリューシャフト３７及びアンギュラベアリング３５，３５には、前記（Ｂ３）、（Ｂ４）の力を受けると、弾性撓みが発生する。
（Ｂ１）交差回転軸３９の軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ｂ２）一対のラジアルベアリング４１，４１の中心を回転中心として交差回転軸３９の右端（Ｙ端）がスリコギ運動をするような周期的な曲げモーメントを受ける。
前記交差回転軸３９及び前記ラジアルベアリング４１，４１には、前記（Ｂ１）、（Ｂ２）の力を受けると、弾性撓みが発生する。前記交差回転軸３９の軸回りの回転力は、交差回転軸３９に装着された第２ベベルギヤ４２から前記第２ベベルギヤ４２に噛み合う第１ベベルギヤ３８を介して前記Ｘ軸スクリューシャフト３７に伝達される。このとき、前記交差回転軸３９が受ける前記力（Ｂ１），（Ｂ２）に応じて、Ｘ軸スクリューシャフト３７の前端は次の力を受ける。
（Ｂ３）前記第１ベベルギヤ３８には第２ベベルギヤ４２との接触法線方向（第１ベベルギヤ３８および４２の中心を結ぶ直線方向）の力が作用する。この力のＸ軸線方向の分力により、Ｘ軸スクリューシャフト３７は、その軸方向に周期的に変動する力を受ける。
（Ｂ４）軸受３５の中心を回転中心としてＸ軸スクリューシャフト３７の前端（Ｘ端）がスリコギ運動をするような周期的な曲げモーメントを受ける。
Ｘ軸スクリューシャフト３７及びアンギュラベアリング３５，３５には、前記（Ｂ３）、（Ｂ４）の力を受けると、弾性撓みが発生する。
前記図７Ａに示すような電子顕微鏡を使用して、高倍率で観察を行う場合、試料移動時には高精度で位置制御が行われる。その場合、ナノメートル単位での位置ずれが問題になる場合がある。問題となる位置ずれとしては例えば、次の位置ずれがある。
（１）観察時に特に重要であるＸＹ駆動時において、前記Ｙ軸スクリューシャフト２５またはＸ軸スクリューシャフト３７及び各アンギュラベアリング２６，２６，３５，３５の弾性変形にともなう力の蓄積、及びスクリューシャフトに塗布されるグリス等による粘性抵抗に起因して発生する試料移動停止後のアフタードリフト（停止後の移動）、
（２）後述するメカニズム等により試料移動方向と逆方向に試料が移動する逆モーション、
（３）駆動方向と直角方向に試料が移動してしまう偏差、
（１）観察時に特に重要であるＸＹ駆動時において、前記Ｙ軸スクリューシャフト２５またはＸ軸スクリューシャフト３７及び各アンギュラベアリング２６，２６，３５，３５の弾性変形にともなう力の蓄積、及びスクリューシャフトに塗布されるグリス等による粘性抵抗に起因して発生する試料移動停止後のアフタードリフト（停止後の移動）、
（２）後述するメカニズム等により試料移動方向と逆方向に試料が移動する逆モーション、
（３）駆動方向と直角方向に試料が移動してしまう偏差、
前記位置ずれ（１）〜（３）の発生は、ＸＹテーブルの構造成部材自体の剛性にも原因があるが、特に、Ｙ軸テーブル１７、Ｘ軸テーブル１８を直線方向にガイドするためのガイド（直動ガイド）や、スクリューシャフト２５，３７を支持するベアリングを構成するボールまたはローラ等の転動体の剛性が低く、それらの弾性による撓みが原因となっいることが多い。
例えば、図７Ｂにおいて、Ｙ軸スクリューシャフト２５がその軸方向に周期的に変動する力を受けた場合、その力は一対のアンギュラベアリング２６，２６により受けられるが、この部分の剛性は無限ではないため、軸方向に弾性変形が生じる。前記軸方向の弾性変形は周期的に変動して、Ｙ軸スクリューシャフト２５およびＹ軸テーブル１７の位置は、Ｙ軸方向に周期的に変動する。
このようなＹ軸テーブル１７の挙動は、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、試料観察時に支障をきたすことになる。
例えば、図７Ｂにおいて、Ｙ軸スクリューシャフト２５がその軸方向に周期的に変動する力を受けた場合、その力は一対のアンギュラベアリング２６，２６により受けられるが、この部分の剛性は無限ではないため、軸方向に弾性変形が生じる。前記軸方向の弾性変形は周期的に変動して、Ｙ軸スクリューシャフト２５およびＹ軸テーブル１７の位置は、Ｙ軸方向に周期的に変動する。
このようなＹ軸テーブル１７の挙動は、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、試料観察時に支障をきたすことになる。
図８において、Ｘ軸スクリューシャフト３７がその軸方向に周期的に変動する力を受けた場合、その力は一対のアンギュラベアリング３５，３５により受けられるが、この部分の剛性は無限ではないため、軸方向に弾性変形を生じる。前記軸方向の弾性変形は周期的に変動して、Ｘ軸スクリューシャフト３７およびＸ軸テーブル１８の位置は、Ｘ軸方向に周期的に変動する。
このようなＸ軸テーブル１８の挙動は、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、試料観察時に支障をきたすことになる。
このようなＸ軸テーブル１８の挙動は、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、試料観察時に支障をきたすことになる。
また、図８の回転力伝達系の場合、Ｘ軸テーブル１８を＋Ｘ軸方向に移動させるときと−Ｘ軸方向に移動させるときとでは、第２ベベルギヤ４２の回転方向は逆である。前記回転方向がどちらであっても、第２ベベルギヤ４２の回転開始時にはべベルギヤ４２はべベルギヤ３８を接触法線方向（第１ベベルギヤ３８および４２の中心を結ぶ直線方向）に押圧する。前記押圧力によりＸ軸テーブル１８は−Ｘ側（後側）に押圧され変移する。
したがって、Ｘ軸テーブル１８を−Ｘ側に移動させるように第２ベベルギヤ４２が回転した場合には、Ｘ軸テーブル１８の移動量は、Ｘ軸スクリューシャフト３７の回転による、−Ｘ側の移動量に、前記押圧力による−Ｘ側の変移量が加算される。この場合、Ｘ軸テーブル１８の−Ｘ側の移動量は増加する。この場合にＸ軸テーブル１８の停止時に前記押圧力が解放されると、前記押圧力による変移量だけＸ軸テーブル１８が＋Ｘ側に戻る。
したがって、Ｘ軸テーブル１８を−Ｘ側に移動させるように第２ベベルギヤ４２が回転した場合には、Ｘ軸テーブル１８の移動量は、Ｘ軸スクリューシャフト３７の回転による、−Ｘ側の移動量に、前記押圧力による−Ｘ側の変移量が加算される。この場合、Ｘ軸テーブル１８の−Ｘ側の移動量は増加する。この場合にＸ軸テーブル１８の停止時に前記押圧力が解放されると、前記押圧力による変移量だけＸ軸テーブル１８が＋Ｘ側に戻る。
また、Ｘ軸テーブル１８を＋Ｘ側に移動させるように第２ベベルギヤ４２が回転した場合には、Ｘ軸テーブル１８は最初に前記押圧力による−Ｘ側の変移（この変移を「逆モーション」と定義する。）が生じた後、Ｘ軸スクリューシャフト３７の回転により＋Ｘ側に移動する。そして、Ｘ軸テーブル１８の移動量は、Ｘ軸スクリューシャフト３７の回転による＋Ｘ側の移動量に、前記押圧力による−Ｘ側の変移量（−（マイナス）の値）が加算された量である。この場合、Ｘ軸テーブル１８の＋Ｘ側の移動量は少なくなる。この場合、Ｘ軸テーブル１８の停止時に前記押圧力が解放されると、前記押圧力による変移量だけＸ軸テーブル１８が＋Ｘ側に移動する。
このＸ軸テーブル１８の挙動も、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、ＸＹテーブル上に支持した試料の観察時、顕微分析時、または試料に対する顕微作業(ウエハの描画作業のように顕微鏡を使用しなければ作業状態を確認できないような細かい精密作業)に支障をきたすことになる。
このＸ軸テーブル１８の挙動も、希望する位置に試料を位置決めすることを困難にし、ＸＹテーブル上に支持した試料の観察時、顕微分析時、または試料に対する顕微作業(ウエハの描画作業のように顕微鏡を使用しなければ作業状態を確認できないような細かい精密作業)に支障をきたすことになる。
本発明は前述の事情に鑑み、下記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）テーブルを移動させるためのスクリューシャフトに回転力を伝達する際、前記スクリューシャフトに軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止すること。
（Ｏ01）テーブルを移動させるためのスクリューシャフトに回転力を伝達する際、前記スクリューシャフトに軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止すること。
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明のテーブル移動装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）スクリューシャフト（３７）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１８）、
（Ａ02）前記スクリューシャフト（３７）を回転可能に支持し且つ前記テーブル（１８）を前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材（１７）、
（Ａ03）前記スクリューシャフト（３７）に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ（６３）、
（Ａ04）前記テーブル支持部材（１７）に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフト（３７）に平行な平行回転軸（６１）および前記平行回転軸（６１）に交差する交差回転軸（３９）、
（Ａ05）前記平行回転軸（６１）に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ（６３）と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（６２）、
（Ａ06）前記平行回転軸（６１）に一体的に装着された第１ベベルギヤ（３８´）
（Ａ07）前記交差回転軸（３９）に一体的に装着された第２ベベルギヤ（４２）、
（Ａ08）前記交差回転軸（３９）と伸縮可能な伸縮ロッド（４４）の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント（４３）、
（Ａ09）前記伸縮ロッド（４４）の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸（４７）の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント（４６）、
（Ａ010）前記駆動軸（４７）を回転駆動する回転駆動装置。
前記課題を解決するために、第１発明のテーブル移動装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）スクリューシャフト（３７）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１８）、
（Ａ02）前記スクリューシャフト（３７）を回転可能に支持し且つ前記テーブル（１８）を前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材（１７）、
（Ａ03）前記スクリューシャフト（３７）に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ（６３）、
（Ａ04）前記テーブル支持部材（１７）に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフト（３７）に平行な平行回転軸（６１）および前記平行回転軸（６１）に交差する交差回転軸（３９）、
（Ａ05）前記平行回転軸（６１）に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ（６３）と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（６２）、
（Ａ06）前記平行回転軸（６１）に一体的に装着された第１ベベルギヤ（３８´）
（Ａ07）前記交差回転軸（３９）に一体的に装着された第２ベベルギヤ（４２）、
（Ａ08）前記交差回転軸（３９）と伸縮可能な伸縮ロッド（４４）の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント（４３）、
（Ａ09）前記伸縮ロッド（４４）の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸（４７）の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント（４６）、
（Ａ010）前記駆動軸（４７）を回転駆動する回転駆動装置。
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えた第１発明のテーブル移動装置では、テーブル支持部材（１７）は、スクリューシャフト（３７）を回転可能に支持し且つテーブル（1８）を前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動可能に支持する。
回転駆動装置により回転駆動される駆動軸（４７）の回転は、入力側ユニバーサルジョイント（４６）に連結された伸縮可能な伸縮ロッド（４４）に伝達される。前記伸縮ロッド（４４）の回転は、出力側ユニバーサルジョイント（４３）を介して交差回転軸（３９）に伝達される。
前記交差回転軸（３９）の回転は第２ベベルギヤ（４２）および第１ベベルギヤ（３８´）を介して、平行回転軸（６１）に伝達される。前記平行回転軸（６１）の回転は平行回転軸装着スパーギヤ（６２）、シャフト装着スパーギヤ（６３）を介して前記スクリューシャフト（３７）に伝達される。
スクリューシャフト（３７）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１８）は、前記スクリューシャフト（３７）の回転時に前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動する。
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えた第１発明のテーブル移動装置では、テーブル支持部材（１７）は、スクリューシャフト（３７）を回転可能に支持し且つテーブル（1８）を前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動可能に支持する。
回転駆動装置により回転駆動される駆動軸（４７）の回転は、入力側ユニバーサルジョイント（４６）に連結された伸縮可能な伸縮ロッド（４４）に伝達される。前記伸縮ロッド（４４）の回転は、出力側ユニバーサルジョイント（４３）を介して交差回転軸（３９）に伝達される。
前記交差回転軸（３９）の回転は第２ベベルギヤ（４２）および第１ベベルギヤ（３８´）を介して、平行回転軸（６１）に伝達される。前記平行回転軸（６１）の回転は平行回転軸装着スパーギヤ（６２）、シャフト装着スパーギヤ（６３）を介して前記スクリューシャフト（３７）に伝達される。
スクリューシャフト（３７）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１８）は、前記スクリューシャフト（３７）の回転時に前記スクリューシャフト（３７）の軸方向に移動する。
前記駆動軸（４７）の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント（４６）、伸縮ロッド（４４）および出力側ユニバーサルジョイント（４３）を介して前記交差回転軸（３９）に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント（４６）および出力側ユニバーサルジョイント（４３）の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド（４４）の伸縮時の摩擦抵抗等により、交差回転軸（３９）には交差回転軸（３９）をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント（４３）との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。このとき、交差回転軸（３９）およびそれに装着された第２べベルギヤ（４２）は交差回転軸（３９）の軸方向に周期的に移動したり、交差回転軸（３９）の前記出力側ユニバーサルジョイント（４３）との連結側端部が湾曲したりする。このような場合、前記第２ベベルギヤ（４２）と噛み合う第１ベベルギヤ（３８´）および前記第１ベベルギヤ（３８´）が装着された平行回転軸（６１）には、軸方向に周期的な力が作用して周期的な往復移動が生じたり、前記第１ベベルギヤ（３８´）が装着された部分を湾曲させるような力が作用したりする。
前記平行回転軸（６１）およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ（６２）が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ（６２）とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ（６３）とは共にスパーギヤであるため、前記シャフト装着スパーギヤ（６３）およびそれが装着されたスクリューシャフト（３７）には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル（１８）を移動させるためのスクリューシャフト（３７）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（３７）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記平行回転軸（６１）およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ（６２）が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ（６２）とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ（６３）とは共にスパーギヤであるため、前記シャフト装着スパーギヤ（６３）およびそれが装着されたスクリューシャフト（３７）には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル（１８）を移動させるためのスクリューシャフト（３７）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（３７）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
（第２発明）
前記課題を解決するために、第２発明のテーブル移動装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ05′），（Ａ08′），（Ａ09），（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）スクリューシャフト（２５）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１７）、
（Ａ02）前記スクリューシャフト（２５）を回転可能に支持し且つ前記テーブル（１７）を前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材（１０）、
（Ａ03）前記スクリューシャフト（２５）に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ（５３）、
（Ａ04′）前記テーブル支持部材（１０）に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフト（２５）に平行な平行回転軸（５１）、
（Ａ05′）前記平行回転軸（５１）に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ（５３）と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２）、
（Ａ08′）前記平行回転軸（５１）と伸縮可能な伸縮ロッド（２８）の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント（２７）、
（Ａ09）前記伸縮ロッド（２８）の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸（３１）の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント（２９）、
（Ａ010）前記駆動軸（３１）を回転駆動する回転駆動装置。
前記課題を解決するために、第２発明のテーブル移動装置は、次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ05′），（Ａ08′），（Ａ09），（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）スクリューシャフト（２５）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１７）、
（Ａ02）前記スクリューシャフト（２５）を回転可能に支持し且つ前記テーブル（１７）を前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材（１０）、
（Ａ03）前記スクリューシャフト（２５）に一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ（５３）、
（Ａ04′）前記テーブル支持部材（１０）に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフト（２５）に平行な平行回転軸（５１）、
（Ａ05′）前記平行回転軸（５１）に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤ（５３）と噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２）、
（Ａ08′）前記平行回転軸（５１）と伸縮可能な伸縮ロッド（２８）の一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント（２７）、
（Ａ09）前記伸縮ロッド（２８）の他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸（３１）の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント（２９）、
（Ａ010）前記駆動軸（３１）を回転駆動する回転駆動装置。
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ05′），（Ａ08′），（Ａ09），（Ａ010）を備えた第２発明のテーブル移動装置では、テーブル支持部材（１０）は、スクリューシャフト（２５）を回転可能に支持し且つテーブル（１７）を前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動可能に支持する。
回転駆動装置により回転駆動される駆動軸（３１）の回転は、入力側ユニバーサルジョイント（２９）に連結された伸縮可能な伸縮ロッド（２８）に伝達される。前記伸縮ロッド（２８）の回転は、出力側ユニバーサルジョイント（２７）を介して平行回転軸（５１）に伝達される。前記平行回転軸（５１）の回転は平行回転軸装着スパーギヤ（５２）、シャフト装着スパーギヤ（５３）を介して前記スクリューシャフト（２５）に伝達される。
スクリューシャフト（２５）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１７）は、前記スクリューシャフト（２５）の回転時に前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動する。
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ05′），（Ａ08′），（Ａ09），（Ａ010）を備えた第２発明のテーブル移動装置では、テーブル支持部材（１０）は、スクリューシャフト（２５）を回転可能に支持し且つテーブル（１７）を前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動可能に支持する。
回転駆動装置により回転駆動される駆動軸（３１）の回転は、入力側ユニバーサルジョイント（２９）に連結された伸縮可能な伸縮ロッド（２８）に伝達される。前記伸縮ロッド（２８）の回転は、出力側ユニバーサルジョイント（２７）を介して平行回転軸（５１）に伝達される。前記平行回転軸（５１）の回転は平行回転軸装着スパーギヤ（５２）、シャフト装着スパーギヤ（５３）を介して前記スクリューシャフト（２５）に伝達される。
スクリューシャフト（２５）に螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル（１７）は、前記スクリューシャフト（２５）の回転時に前記スクリューシャフト（２５）の軸方向に移動する。
前記駆動軸（３１）の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント（２９）、伸縮ロッド（２８）および出力側ユニバーサルジョイント（２７）を介して前記平行回転軸（５１）に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント（２９）および出力側ユニバーサルジョイント（２７）の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド（２８）の伸縮時の摩擦抵抗等により、平行回転軸（５１）には平行回転軸（５１）をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント（２７）との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。このとき、平行回転軸（５１）およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ（５２）は平行回転軸（５１）の軸方向に周期的に移動したり、平行回転軸（５１）の前記出力側ユニバーサルジョイント（２７）との連結側端部が湾曲したりすることがある。
前記平行回転軸（５１）およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ（５２）が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ（５２）とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ（５３）とは共にスパーギヤであるため、前記シャフト装着スパーギヤ（５３）およびそれが装着されたスクリューシャフト（２５）には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル（１７）を移動させるためのスクリューシャフト（２５）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（２５）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記平行回転軸（５１）およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ（５２）が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ（５２）とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ（５３）とは共にスパーギヤであるため、前記シャフト装着スパーギヤ（５３）およびそれが装着されたスクリューシャフト（２５）には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル（１７）を移動させるためのスクリューシャフト（２５）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（２５）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
（発明の形態１）
発明の形態１のテーブル移動装置は、前記第１発明または第２発明において、次の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ011）前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって回転可能に支持された前記スクリューシャフト（２５，３７）。
発明の形態１のテーブル移動装置は、前記第１発明または第２発明において、次の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ011）前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって回転可能に支持された前記スクリューシャフト（２５，３７）。
（発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ011）を備えた発明の形態１のテーブル移動装置では、前記スクリューシャフト（２５，３７）は、前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって回転可能に支持されているので、シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２，６２）から接触方線方向の力を受けても、その力は、前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。
前記構成要件（Ａ011）を備えた発明の形態１のテーブル移動装置では、前記スクリューシャフト（２５，３７）は、前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって回転可能に支持されているので、シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２，６２）から接触方線方向の力を受けても、その力は、前記スクリューシャフト（２５，３７）の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング（２６，３５）によって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。
（発明の形態２）
発明の形態２のテーブル移動装置は、前記発明の形態１において、次の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ012）一対のアンギュラボールベアリングにより構成され且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ（５３，６３）の中心部に配置されるように構成された前記一対のアンギュラベアリング（２６，３５）。
発明の形態２のテーブル移動装置は、前記発明の形態１において、次の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ012）一対のアンギュラボールベアリングにより構成され且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ（５３，６３）の中心部に配置されるように構成された前記一対のアンギュラベアリング（２６，３５）。
（発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ013）を備えた発明の形態２のテーブル移動装置では、前記一対のアンギュラベアリング（２６，３５）は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ（５３，６３）の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２，６２）から接触方線方向の力を受けても、その力は前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
前記構成要件（Ａ013）を備えた発明の形態２のテーブル移動装置では、前記一対のアンギュラベアリング（２６，３５）は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ（５３，６３）の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ（５２，６２）から接触方線方向の力を受けても、その力は前記シャフト装着スパーギヤ（５３，６３）の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
（第３発明）
第３発明の顕微作業装置は、前記第１発明、第２発明、発明の形態１または２のいずれか記載のテーブル移動装置と、前記テーブル移動装置のテーブル（１８）上に設けられ且つ試料ホルダが着脱可能に装着されるホルダ装着部材（２０）と、前記テーブル移動装置の周囲を囲むように配置され且つ内部を真空に保持する外壁（３＋４）と、前記試料ホルダに保持された試料に対して顕微作業を行う装置とを備えたことを特徴とする。
（第３発明の作用）
前記構成を備えた第３発明の顕微作業装置では、前記第１発明、第２発明、発明の形態１または２のいずれか記載のテーブル移動装置のテーブル（１８）上にホルダ装着部材（２０）が設けられるので、前記試料ホルダに保持された試料に対して顕微作業を行う際に、前記テーブル（１８）を移動させるためのスクリューシャフト（２５，３７）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（２５，３７）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。したがって、試料の位置決めを高精度に且つ容易に行うことができる。
第３発明の顕微作業装置は、前記第１発明、第２発明、発明の形態１または２のいずれか記載のテーブル移動装置と、前記テーブル移動装置のテーブル（１８）上に設けられ且つ試料ホルダが着脱可能に装着されるホルダ装着部材（２０）と、前記テーブル移動装置の周囲を囲むように配置され且つ内部を真空に保持する外壁（３＋４）と、前記試料ホルダに保持された試料に対して顕微作業を行う装置とを備えたことを特徴とする。
（第３発明の作用）
前記構成を備えた第３発明の顕微作業装置では、前記第１発明、第２発明、発明の形態１または２のいずれか記載のテーブル移動装置のテーブル（１８）上にホルダ装着部材（２０）が設けられるので、前記試料ホルダに保持された試料に対して顕微作業を行う際に、前記テーブル（１８）を移動させるためのスクリューシャフト（２５，３７）に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト（２５，３７）に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。したがって、試料の位置決めを高精度に且つ容易に行うことができる。
前述の本発明は、次の効果を奏する。
（Ｅ01）テーブルを移動させるためのスクリューシャフトに回転力を伝達する際、前記スクリューシャフトに軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
（Ｅ01）テーブルを移動させるためのスクリューシャフトに回転力を伝達する際、前記スクリューシャフトに軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態のテーブル移動装置の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
図１は本発明のテーブル移動装置を備えた電子顕微鏡(顕微作業装置)の説明図である。
図２は前記図１の要部平断面図である。
図３は前記図１の要部側面図であり、図２のIII−III線断面図である。
図４は前記図１の要部拡大図であり、Ｙテーブル移動装置の説明図である。
図５は前記図１の要部拡大図であり、Ｘテーブル移動装置の説明図である。
なお、この実施例１の説明において、前記図７、図８で説明した従来技術の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図１〜図５に示す実施例１のテーブル移動装置は、下記の点で前記図７、図８に示す従来のテーブル移動装置と相違しているが、他の点では前記前記従来のテーブル移動装置と同様に構成されている。
図２は前記図１の要部平断面図である。
図３は前記図１の要部側面図であり、図２のIII−III線断面図である。
図４は前記図１の要部拡大図であり、Ｙテーブル移動装置の説明図である。
図５は前記図１の要部拡大図であり、Ｘテーブル移動装置の説明図である。
なお、この実施例１の説明において、前記図７、図８で説明した従来技術の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図１〜図５に示す実施例１のテーブル移動装置は、下記の点で前記図７、図８に示す従来のテーブル移動装置と相違しているが、他の点では前記前記従来のテーブル移動装置と同様に構成されている。
前記図７Ｂに示す従来のＹテーブル移動装置では、図示しないＹ軸駆動モータＭｙの出力軸３１の回転は、ユニバーサルジョイント２９、回転力伝達用の伸縮ロッド２８、ユニバーサルジョイント２７を介してＹ軸スクリューシャフト２５に伝達されるように構成されているが、実施例１のＹテーブル移動装置では図４に示すように、Ｙ軸スクリューシャフト２５と平行な平行回転軸５１が設けられており、出力軸３１の回転は、ユニバーサルジョイント２９、回転力伝達用の伸縮ロッド２８、ユニバーサルジョイント２７を介して平行回転軸５１に伝達され、前記平行回転軸５１の回転は前記平行回転軸５１に装着された平行回転軸装着スパーギヤ５２からＹ軸スクリューシャフト２５に装着されたシャフト装着スパーギヤ５３に伝達されるように構成されている。
前記平行回転軸５１は、前記スクリューシャフト支持部１５に固定された第１ベアリング支持部材５６の下端部に装着された一対のベアリング５７により回転可能に支持されている。前記平行回転軸５１の右端は前記ユニバーサルジョイント２７の平行軸連結部材２７ａ′に連結されている。前記平行回転軸５１の左端部には前記平行回転軸装着スパーギヤ５２が装着されている。
前記スクリューシャフト支持部１５に固定された第１ベアリング支持部材５６の左端面には、第２ベアリング支持部材５８が固定されており、前記第１ベアリング支持部材５６および第２ベアリング支持部材５８にはそれぞれ対向する位置にアンギュラボールベアリング２６および２６が装着されている。前記アンギュラボールベアリング２６および２６により前記Ｙ軸スクリューシャフト２５が回転可能に支持されている。また、Ｙ軸スクリューシャフト２５には、前記アンギュラボールベアリング２６および２６の間に、前記シャフト装着スパーギヤ５３が装着されている。
前記スクリューシャフト支持部１５に固定された第１ベアリング支持部材５６の左端面には、第２ベアリング支持部材５８が固定されており、前記第１ベアリング支持部材５６および第２ベアリング支持部材５８にはそれぞれ対向する位置にアンギュラボールベアリング２６および２６が装着されている。前記アンギュラボールベアリング２６および２６により前記Ｙ軸スクリューシャフト２５が回転可能に支持されている。また、Ｙ軸スクリューシャフト２５には、前記アンギュラボールベアリング２６および２６の間に、前記シャフト装着スパーギヤ５３が装着されている。
前記図８に示す従来のＸテーブル移動装置では、Ｘ軸駆動モータＭｘの出力軸４７の回転は、ユニバーサルジョイント４６、回転力伝達用の伸縮ロッド４４、ユニバーサルジョイント４３、交差回転軸３９、第２ベベルギヤ４２、第１ベベルギヤ３８を介してＸ軸スクリューシャフト３７に伝達されるように構成されている。これに対して、実施例１のＸテーブル移動装置では図５に示すように、Ｘ軸スクリューシャフト３７と平行な平行回転軸６１が設けられており、出力軸４７の回転は、ユニバーサルジョイント４６、回転力伝達用の伸縮ロッド４４、ユニバーサルジョイント４３、交差回転軸３９、第２ベベルギヤ４２、第１ベベルギヤ３８′を介して平行回転軸６１に伝達される。前記平行回転軸６１の回転は前記平行回転軸６１に装着された平行回転軸装着スパーギヤ６２からＸ軸スクリューシャフト３７に装着されたシャフト装着スパーギヤ６３に伝達されるように構成されている。
前記平行回転軸６１は、前記ブラケット３４に装着された一対のベアリング６４，６４により回転可能に支持されている。前記平行回転軸６１の前端部（Ｘ端部）には前記第１ベベルギヤ３８′が装着されている。前記一対のベアリング６４，６４の間には前記平行回転軸装着スパーギヤ６２が装着されている。
前記Ｘ軸スクリューシャフト３７を回転可能に支持する一対のアンギュラボールベアリング３５，３５はＹ軸方向に間隔を置いて配置されている。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７には、前記一対のアンギュラボールベアリング３５，３５の間にシャフト装着スパーギヤが装着されている。
前記Ｘ軸スクリューシャフト３７を回転可能に支持する一対のアンギュラボールベアリング３５，３５はＹ軸方向に間隔を置いて配置されている。前記Ｘ軸スクリューシャフト３７には、前記一対のアンギュラボールベアリング３５，３５の間にシャフト装着スパーギヤが装着されている。
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の図４に示すＹ軸テーブル移動装置では、Ｙ軸駆動モータ（Ｙ軸回転駆動装置）Ｍｙにより回転駆動される駆動軸３１の回転は、入力側ユニバーサルジョイント２９に連結された伸縮可能な伸縮ロッド２８に伝達される。前記伸縮ロッド２８の回転は、出力側ユニバーサルジョイント２７を介して平行回転軸５１に伝達される。前記平行回転軸５１の回転は平行回転軸装着スパーギヤ５２、シャフト装着スパーギヤ５３を介して前記スクリューシャフト２５に伝達される。
スクリューシャフト２５に螺合するナット１７ａが設けられた移動可能なＹ軸テーブル１７は、前記スクリューシャフト２５の回転時に前記スクリューシャフト２５の軸方向（Ｙ軸方向）に移動する。
前記構成を備えた実施例１の図４に示すＹ軸テーブル移動装置では、Ｙ軸駆動モータ（Ｙ軸回転駆動装置）Ｍｙにより回転駆動される駆動軸３１の回転は、入力側ユニバーサルジョイント２９に連結された伸縮可能な伸縮ロッド２８に伝達される。前記伸縮ロッド２８の回転は、出力側ユニバーサルジョイント２７を介して平行回転軸５１に伝達される。前記平行回転軸５１の回転は平行回転軸装着スパーギヤ５２、シャフト装着スパーギヤ５３を介して前記スクリューシャフト２５に伝達される。
スクリューシャフト２５に螺合するナット１７ａが設けられた移動可能なＹ軸テーブル１７は、前記スクリューシャフト２５の回転時に前記スクリューシャフト２５の軸方向（Ｙ軸方向）に移動する。
前記駆動軸３１の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント２９、伸縮ロッド２８および出力側ユニバーサルジョイント２７を介して平行回転軸５１に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント２９および出力側ユニバーサルジョイント２７の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド２８の伸縮時の摩擦抵抗等により、平行回転軸５１には平行回転軸５１をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント２７との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。このとき、平行回転軸５１およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ５２は平行回転軸５１の軸方向に周期的に移動したり、平行回転軸５１の前記出力側ユニバーサルジョイント２７との連結側端部が湾曲したりすることがある。
前記平行回転軸５１およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ５２が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ５２とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ５３とは共にスパーギヤであるため互いに軸方向に相対移動可能である。このため、前記シャフト装着スパーギヤ５３およびそれが装着されたスクリューシャフト２５には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル１７を移動させるためのスクリューシャフト２５に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト２５に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記平行回転軸５１およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ５２が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ５２とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ５３とは共にスパーギヤであるため互いに軸方向に相対移動可能である。このため、前記シャフト装着スパーギヤ５３およびそれが装着されたスクリューシャフト２５には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記テーブル１７を移動させるためのスクリューシャフト２５に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト２５に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記スクリューシャフト２５は、前記シャフト装着スパーギヤ５３の前記スクリューシャフト２５の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング２６，２６によって回転可能に支持されているので、シャフト装着スパーギヤ５３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ５２から接触方線方向の力を受けても、その力は、前記シャフト装着スパーギヤ５３両側に配置された一対のアンギュラベアリング２６，２６によって支持される。
前記一対のアンギュラベアリング２６，２６は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ５３の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ５３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ５２から接触方線方向の力を受けても、その力は前記スパーギヤ５３の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
すなわち、本発明の実施例１のＹ軸テーブル移動装置では、前記Ｙ軸駆動モータＭｙの出力軸３１の回転力を前記スクリューシャフト２５に伝達する際、前記スクリューシャフト２５に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記一対のアンギュラベアリング２６，２６は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ５３の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ５３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ５２から接触方線方向の力を受けても、その力は前記スパーギヤ５３の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト（２５，３７）に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
すなわち、本発明の実施例１のＹ軸テーブル移動装置では、前記Ｙ軸駆動モータＭｙの出力軸３１の回転力を前記スクリューシャフト２５に伝達する際、前記スクリューシャフト２５に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記構成を備えた実施例１の図５に示すＸ軸テーブル移動装置では、テーブル支持部材としてのＹ軸テーブル１７は、ブラケット３４を介してスクリューシャフト３７を回転可能に支持し且つナット１８ａと一体的に移動するＸ軸テーブル1８を前記スクリューシャフト３７の軸方向（Ｘ軸方向）に移動可能に支持する。
図示しないＸ軸駆動モータ（Ｘ軸回転駆動装置）により回転駆動される駆動軸４７の回転は、入力側ユニバーサルジョイント４６に連結された伸縮可能な伸縮ロッド４４に伝達される。前記伸縮ロッド４４の回転は、出力側ユニバーサルジョイント４３を介して平行回転軸６１と交差する交差回転軸（３９）に伝達される。
前記交差回転軸３９の回転は第２ベベルギヤ４２および第１ベベルギヤ３８´を介して、平行回転軸６１に伝達される。前記平行回転軸６１の回転は平行回転軸装着スパーギヤ６２、シャフト装着スパーギヤ６３を介して前記スクリューシャフト３７に伝達される。
スクリューシャフト３７に螺合するナット１８ａと一体的に移動可能な部材であるＸ軸テーブル１８は、前記スクリューシャフト３７の回転時に前記ナット１８ａとともに前記スクリューシャフト３７の軸方向（Ｘ軸方向）に移動する。
図示しないＸ軸駆動モータ（Ｘ軸回転駆動装置）により回転駆動される駆動軸４７の回転は、入力側ユニバーサルジョイント４６に連結された伸縮可能な伸縮ロッド４４に伝達される。前記伸縮ロッド４４の回転は、出力側ユニバーサルジョイント４３を介して平行回転軸６１と交差する交差回転軸（３９）に伝達される。
前記交差回転軸３９の回転は第２ベベルギヤ４２および第１ベベルギヤ３８´を介して、平行回転軸６１に伝達される。前記平行回転軸６１の回転は平行回転軸装着スパーギヤ６２、シャフト装着スパーギヤ６３を介して前記スクリューシャフト３７に伝達される。
スクリューシャフト３７に螺合するナット１８ａと一体的に移動可能な部材であるＸ軸テーブル１８は、前記スクリューシャフト３７の回転時に前記ナット１８ａとともに前記スクリューシャフト３７の軸方向（Ｘ軸方向）に移動する。
前記駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４および出力側ユニバーサルジョイント４３を介して前記交差回転軸３９に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント４６および出力側ユニバーサルジョイント４３の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド４４の伸縮時の摩擦抵抗等により、交差回転軸３９には交差回転軸３９をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント４３との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。このとき、交差回転軸３９およびそれに装着された第２べベルギヤ４２は交差回転軸３９の軸方向に周期的に移動したり、交差回転軸３９の前記出力側ユニバーサルジョイント４３との連結側端部が湾曲したりする。このような場合、前記第２ベベルギヤ４２と噛み合う第１ベベルギヤ３８´および前記第１ベベルギヤ３８´が装着された平行回転軸６１には、軸方向に周期的な力が作用して周期的な往復移動が生じたり、前記第１ベベルギヤ３８´が装着された部分を湾曲させるような力が作用したりする。
前記平行回転軸６１およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ６２が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ６２とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ６３とは共にスパーギヤであるため互いに軸方向に相対移動可能である。このため、前記シャフト装着スパーギヤ６３およびそれが装着されたスクリューシャフト３７には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記Ｘ軸テーブル１８を移動させるためにスクリューシャフト３７に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト３７に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記平行回転軸６１およびそれに装着された平行回転軸装着スパーギヤ６２が軸方向に往復移動しても、前記平行回転軸装着スパーギヤ６２とそれに噛み合うシャフト装着スパーギヤ６３とは共にスパーギヤであるため互いに軸方向に相対移動可能である。このため、前記シャフト装着スパーギヤ６３およびそれが装着されたスクリューシャフト３７には軸方向の力はほとんど作用しない。
したがって、前記Ｘ軸テーブル１８を移動させるためにスクリューシャフト３７に回転力を伝達する際、前記スクリューシャフト３７に軸方向の力や撓みを生じさせる力が作用するのを防止することができる。
前記スクリューシャフト３７は、前記シャフト装着スパーギヤ６３の前記スクリューシャフト３７の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング３５，３５によって回転可能に支持されているので、シャフト装着スパーギヤ６３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ６２から接触方線方向の力を受けても、その力は、前記スクリューシャフト３７の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリング３５，３５によって支持される。
前記一対のアンギュラベアリング３５，３５は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ６３，６３の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ６３，６３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ６２から接触方線方向の力を受けても、その力は前記シャフト装着スパーギヤ６３，６３の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト３７に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
前記一対のアンギュラベアリング３５，３５は一対のアンギュラボールベアリングにより構成されており、且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤ６３，６３の中心部に配置されるように構成されているので、シャフト装着スパーギヤ６３，６３がそれに噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ６２から接触方線方向の力を受けても、その力は前記シャフト装着スパーギヤ６３，６３の軸方向の両側に配置された一対のアンギュラボールベアリングによって支持されるので、スクリューシャフト３７に大きな曲げや歪みが発生することを防止できる。また、このような配置により、前記スクリューシャフト（２５，３７）の加工上の曲がりなどによってシャフトが触れ回るような動きをした際に前記アンギュラベアリング（２６，３５）にかかる応力を最小にすることが可能であり、前記スクリューシャフト（２５，３７）のなめらかな動きを実現する。また、中心に配置されたスパーギヤ（５３，６３）の姿勢変化を少なくする効果もある。
図６は本発明の実施例２のテーブル移動装置の説明図である。
図６に示す実施例２のテーブル移動装置はＸ軸テーブル移動装置である。
なお、この実施例２の説明において、前記図５で説明した実施例１のＸ軸テーブル移動装置の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図６に示す実施例２のテーブル移動装置は、下記の点で前記図５に示す実施例１のＸ軸テーブル移動装置と相違しているが、他の点では前記実施例１のＸ軸テーブル移動装置と同様に構成されている。
図６に示す実施例２のテーブル移動装置はＸ軸テーブル移動装置である。
なお、この実施例２の説明において、前記図５で説明した実施例１のＸ軸テーブル移動装置の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図６に示す実施例２のテーブル移動装置は、下記の点で前記図５に示す実施例１のＸ軸テーブル移動装置と相違しているが、他の点では前記実施例１のＸ軸テーブル移動装置と同様に構成されている。
前記図５に示す実施例１のＸテーブル移動装置では、駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４および出力側ユニバーサルジョイント４３を介して前記交差回転軸３９に伝達されるように構成されていた。また、前記部材５に示す実施例１ではブラケット３４がＹ軸テーブル１７に支持されていたので、前記交差回転軸３９がその軸方向（Ｙ軸方向）に周期的に変動する力を受けた場合に、Ｙ軸ステージ１７にはＹ軸方向に周期的に変動する力が作用する。この場合、Ｘ軸テーブル駆動時にホルダ装着部材２０にＹ軸方向の偏差が生じる可能性がある。
前記図５に示す実施例１のＸテーブル移動装置に対して、図６の実施例２では、駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４、出力側ユニバーサルジョイント４３、および伸縮ロッド７１を介して前記交差回転軸３９に伝達されるように構成されている。
すなわち、前記実施例１では出力側ユニバーサルジョイント４３が直接交差回転軸３９に連結されていたのに対し、本実施例２では、出力側ユニバーサルジョイント４３が伸縮軸７１を介して交差回転軸３９に連結されている。
また、図６において、前記伸縮軸７１は直線上に配置された伸縮軸左側部分７１ａと伸縮軸右側部分７１ｂとを有しており、前記伸縮軸左側部分７１ａと伸縮軸右側部分７１ｂとはＹ軸方向に互いにスライド可能且つ軸回りに相対回転不能に連結されている。
前記伸縮軸右側部分７１ｂはラジアルベアリング７２により回転可能に支持されており、前記ラジアルベアリング７２を支持するベアリング支持部材７３は、前記傾斜テーブル１０の傾斜アーム１２にブラケット１２ａを介して支持されている。
すなわち、前記実施例１では出力側ユニバーサルジョイント４３が直接交差回転軸３９に連結されていたのに対し、本実施例２では、出力側ユニバーサルジョイント４３が伸縮軸７１を介して交差回転軸３９に連結されている。
また、図６において、前記伸縮軸７１は直線上に配置された伸縮軸左側部分７１ａと伸縮軸右側部分７１ｂとを有しており、前記伸縮軸左側部分７１ａと伸縮軸右側部分７１ｂとはＹ軸方向に互いにスライド可能且つ軸回りに相対回転不能に連結されている。
前記伸縮軸右側部分７１ｂはラジアルベアリング７２により回転可能に支持されており、前記ラジアルベアリング７２を支持するベアリング支持部材７３は、前記傾斜テーブル１０の傾斜アーム１２にブラケット１２ａを介して支持されている。
（実施例２の作用）
前記図６の構成を備えた実施例２のＸ軸テーブル移動装置では、駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４、出力側ユニバーサルジョイント４３、および伸縮ロッド７１を介して前記交差回転軸３９に伝達される。
前記駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４、出力側ユニバーサルジョイント４３を介して伸縮軸７１に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント４６および出力側ユニバーサルジョイント４３の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド４４の伸縮時の摩擦抵抗等により、伸縮軸７１には伸縮軸７１をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント４３との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。
前記伸縮軸７１をその軸方向に移動させる周期的な力のうちで、一部の力は前記伸縮軸７１の伸縮により吸収され、残りの力はラジアルベアリング７２を介してベアリング支持部材７３に伝達される。ベアリング支持部材７３は傾斜テーブル１０の傾斜アーム１２にブラケット１２ａを介して支持されているので、前記ベアリング支持部材７３に伝達された力によってＹ軸テーブル１７がＹ軸方向に移動することを防止することができる。
また、Ｙ軸方向に延びる伸縮ロッド７１は伸縮するので、前記ブラケット３４には前記伸縮ロッド７１の軸方向に変動する力がほとんど作用しない。このため、Ｘ軸テーブル１８の移動時に、Ｙ軸テーブル１７がＹ軸方向に移動する偏差の発生を防止することができる。
前記図６の構成を備えた実施例２のＸ軸テーブル移動装置では、駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４、出力側ユニバーサルジョイント４３、および伸縮ロッド７１を介して前記交差回転軸３９に伝達される。
前記駆動軸４７の回転が前記入力側ユニバーサルジョイント４６、伸縮ロッド４４、出力側ユニバーサルジョイント４３を介して伸縮軸７１に伝達される際、入力側ユニバーサルジョイント４６および出力側ユニバーサルジョイント４３の回転時の摩擦抵抗や、伸縮ロッド４４の伸縮時の摩擦抵抗等により、伸縮軸７１には伸縮軸７１をその軸方向に移動させる周期的な力や、出力側ユニバーサルジョイント４３との連結側端部を湾曲させるような力等が作用する。
前記伸縮軸７１をその軸方向に移動させる周期的な力のうちで、一部の力は前記伸縮軸７１の伸縮により吸収され、残りの力はラジアルベアリング７２を介してベアリング支持部材７３に伝達される。ベアリング支持部材７３は傾斜テーブル１０の傾斜アーム１２にブラケット１２ａを介して支持されているので、前記ベアリング支持部材７３に伝達された力によってＹ軸テーブル１７がＹ軸方向に移動することを防止することができる。
また、Ｙ軸方向に延びる伸縮ロッド７１は伸縮するので、前記ブラケット３４には前記伸縮ロッド７１の軸方向に変動する力がほとんど作用しない。このため、Ｘ軸テーブル１８の移動時に、Ｙ軸テーブル１７がＹ軸方向に移動する偏差の発生を防止することができる。
また、前記伸縮軸右側部分を回転可能に支持するラジアルベアリング７２は前記出力側ユニバーサルジョイント４３に近接した位置に配置されるので、伸縮ロッド右側部分７１ｂの前記出力側ユニバーサルジョイント４３との連結側端部を湾曲させるような力が作用しても、大きな湾曲が発生しない。また、前記伸縮ロッド右側部分７１ｂの湾曲の影響は伸縮ロッド左側部分７１ａの左端（−Ｙ端）に連結される前記交差回転軸３９にはほとんど伝達されない。
前記交差回転軸３９にはその軸方向（Ｙ軸方向）に変動する力がほとんど作用しないので、それに装着された第２べベルギヤ４２は、交差回転軸３９の軸方向に周期的に移動することが防止され、且つ、交差回転軸３９の前記伸縮軸７１との連結側端部が湾曲することも防止される。
このような場合、前記第２ベベルギヤ４２と噛み合う第１ベベルギヤ３８´および前記第１ベベルギヤ３８´が装着された平行回転軸６１に、軸方向（Ｘ軸方向）に周期的な力が作用することが防止される。また、平行回転軸６１の前記第１ベベルギヤ３８´が装着された部分に、その部分を湾曲させるような力が作用することが防止される。
このような場合、前記第２ベベルギヤ４２と噛み合う第１ベベルギヤ３８´および前記第１ベベルギヤ３８´が装着された平行回転軸６１に、軸方向（Ｘ軸方向）に周期的な力が作用することが防止される。また、平行回転軸６１の前記第１ベベルギヤ３８´が装着された部分に、その部分を湾曲させるような力が作用することが防止される。
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（Ｈ01）本発明は走査型電子顕微鏡以外の電子顕微鏡や、顕微鏡を使用しなければ作業状態を確認できないような細かい精密作業を行う装置等の種々の装置（顕微作業装置）に適用可能である。
（Ｈ01）本発明は走査型電子顕微鏡以外の電子顕微鏡や、顕微鏡を使用しなければ作業状態を確認できないような細かい精密作業を行う装置等の種々の装置（顕微作業装置）に適用可能である。
１０…テーブル支持部材（Ｙ軸テーブル支持部材；傾斜テーブル）、
１７…テーブル（Ｙ軸テーブル；Ｘ軸テーブル支持部材）、
１８…テーブル（Ｘ軸テーブル）、
２５…スクリューシャフト（Ｙ軸スクリューシャフト）、
２６…アンギュラベアリング、
２７…出力側ユニバーサルジョイント、
２８…伸縮ロッド、
２９…入力側ユニバーサルジョイント、
３１…駆動軸、
３５…アンギュラベアリング、
３７…スクリューシャフト（Ｘ軸スクリューシャフト）
３８´…第１ベベルギヤ、
３９…交差回転軸、
４２…第２ベベルギヤ、
４３…出力側ユニバーサルジョイント、
４４…伸縮ロッド、
４６…入力側ユニバーサルジョイント、
４７…駆動軸、
５１…平行回転軸、
５２…平行回転軸装着スパーギヤ、
５３…シャフト装着スパーギヤ、
６１…平行回転軸、
６２…平行回転軸装着スパーギヤ、
６３…シャフト装着スパーギヤ、
１７…テーブル（Ｙ軸テーブル；Ｘ軸テーブル支持部材）、
１８…テーブル（Ｘ軸テーブル）、
２５…スクリューシャフト（Ｙ軸スクリューシャフト）、
２６…アンギュラベアリング、
２７…出力側ユニバーサルジョイント、
２８…伸縮ロッド、
２９…入力側ユニバーサルジョイント、
３１…駆動軸、
３５…アンギュラベアリング、
３７…スクリューシャフト（Ｘ軸スクリューシャフト）
３８´…第１ベベルギヤ、
３９…交差回転軸、
４２…第２ベベルギヤ、
４３…出力側ユニバーサルジョイント、
４４…伸縮ロッド、
４６…入力側ユニバーサルジョイント、
４７…駆動軸、
５１…平行回転軸、
５２…平行回転軸装着スパーギヤ、
５３…シャフト装着スパーギヤ、
６１…平行回転軸、
６２…平行回転軸装着スパーギヤ、
６３…シャフト装着スパーギヤ、
Claims (5)
- 次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えたことを特徴とするテーブル移動装置、
（Ａ01）スクリューシャフトに螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル、
（Ａ02）前記スクリューシャフトを回転可能に支持し且つ前記テーブルを前記スクリューシャフトの軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材、
（Ａ03）前記スクリューシャフトに一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ、
（Ａ04）前記テーブル支持部材に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフトに平行な平行回転軸および前記平行回転軸に交差する交差回転軸、
（Ａ05）前記平行回転軸に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤと噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ、
（Ａ06）前記平行回転軸に一体的に装着された第１ベベルギヤ、
（Ａ07）前記交差回転軸に一体的に装着された第２ベベルギヤ、
（Ａ08）前記交差回転軸と伸縮可能な伸縮ロッドの一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント、
（Ａ09）前記伸縮ロッドの他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント、
（Ａ010）前記駆動軸を回転駆動する回転駆動装置。 - 次の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ04′），（Ａ05′），（Ａ08′），（Ａ09），（Ａ010）を備えたことを特徴とするテーブル移動装置、
（Ａ01）スクリューシャフトに螺合するナットが設けられた移動可能な部材であるテーブル、
（Ａ02）前記スクリューシャフトを回転可能に支持し且つ前記テーブルを前記スクリューシャフトの軸方向に移動可能に支持するテーブル支持部材、
（Ａ03）前記スクリューシャフトに一体的に装着されたシャフト装着スパーギヤ、
（Ａ04′）前記テーブル支持部材に回転可能に支持され且つ前記スクリューシャフトに平行な平行回転軸、
（Ａ05′）前記平行回転軸に一体的に装着され且つ前記シャフト装着スパーギヤと噛み合う平行回転軸装着スパーギヤ、
（Ａ08′）前記平行回転軸と伸縮可能な伸縮ロッドの一端部である出力端部とを連結する出力側ユニバーサルジョイント、
（Ａ09）前記伸縮ロッドの他端部である入力端部と回転駆動される駆動軸の一端部と連結する入力側ユニバーサルジョイント、
（Ａ010）前記駆動軸を回転駆動する回転駆動装置。 - 次の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする請求項１または２記載のテーブル移動装置、
（Ａ011）前記シャフト装着スパーギヤの前記スクリューシャフトの軸方向の両側に配置された一対のアンギュラベアリングによって回転可能に支持された前記スクリューシャフト。 - 次の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする請求項３記載のテーブル移動装置、
（Ａ012）一対のアンギュラボールベアリングにより構成され且つ前記一対のアンギュラボールベアリングの各々の接触角を表す一対の中心線を延長したときの前記一対の中心線の交点が前記スパーギヤの中心部に配置されるように構成された前記一対のアンギュラベアリング。 - 前記請求項１ないし４のいずれか記載のテーブル移動装置と、前記テーブル移動装置のテーブル上に設けられ且つ試料ホルダが着脱可能に装着されるホルダ装着部材と、前記テーブル移動装置の周囲を囲むように配置され且つ内部を真空に保持する外壁と、前記試料ホルダに保持された試料に対して顕微作業を行う装置とを備えた顕微作業装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004003482A JP2005197136A (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004003482A JP2005197136A (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005197136A true JP2005197136A (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=34818372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004003482A Withdrawn JP2005197136A (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005197136A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
-
2004
- 2004-01-08 JP JP2004003482A patent/JP2005197136A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
| JPWO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6054728B2 (ja) | 試料位置決め装置および荷電粒子線装置 | |
| KR101437767B1 (ko) | 기어 타입 중력 보상 유니트 | |
| JP6472854B1 (ja) | 作業装置 | |
| KR101462250B1 (ko) | 회전식 구동장치를 이용하는 로봇 조종장치 | |
| JP6816721B2 (ja) | 医療用支持アーム装置及び医療用システム | |
| CN109153133B (zh) | 直动伸缩机构 | |
| CN102540442A (zh) | 一种平面并联三自由度精密操作平台 | |
| JP2010247280A (ja) | 多自由度ロボット装置 | |
| US20230236474A1 (en) | Actuator assembly | |
| EP2573795B1 (en) | Scanning electron microscope | |
| CN107923500B (zh) | 具有平行连杆机构的作业装置 | |
| JP2005511333A (ja) | 圧電ベンダを含む微細操作装置 | |
| JP2005197136A (ja) | テーブル移動装置および前記テーブル移動装置を備えた顕微作業装置 | |
| CN110774275A (zh) | 机械臂 | |
| JP5595195B2 (ja) | 位置決めステージ | |
| JPH09223477A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JP5668678B2 (ja) | ロボット | |
| JP4249530B2 (ja) | パラレルメカニズム利用の位置決め装置 | |
| GB2388064A (en) | Precise positioning of an object | |
| JP2000288853A (ja) | ハイブリッド型多自由度機構 | |
| JP2012251601A (ja) | ウォーム減速機構とそれを用いた雲台装置 | |
| JP2018182157A (ja) | ウエハの加工装置 | |
| JP6910442B2 (ja) | エンドエフェクタ | |
| JP2008188718A (ja) | 対象物保持アーム | |
| WO2023048131A1 (ja) | 作業装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060912 |
|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070403 |