JP2005194628A - Metal chip for producing metal powder for capacitor, production method therefor, and method of producing metal powder for capacitor using the chip - Google Patents

Metal chip for producing metal powder for capacitor, production method therefor, and method of producing metal powder for capacitor using the chip Download PDF

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Kazumi Naito
一美 内藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pulverized material for producing fine metal powder, with little impurities, of niobium, tantalum or an alloy containing either metal as a main component. <P>SOLUTION: The metal chip for a pulverized material of embrittled niobium, tantalum or alloy containing either metal as a main component is composed of one metal selected from niobium, tantalum and alloy containing either metal as a main component, and has such a shape that the barrel is formed cylindrical and the diameter of the cylindrical part is 0.03 to 5 mm. The production method uses the metal chip. The method of producing metal powder for a capacitor uses the metal chip. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明はコンデンサ用の金属粉を作製するための粉砕材(金属チップ)に関する。さらに詳しく言えば、コンデンサ用の、ニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉を作製するための粉砕材であって、作製する金属粉の性能に影響を及ぼさない金属粉と基本的に同質の金属材料からなる金属チップ、その金属チップの製造方法、及びその金属チップを用いるコンデンサ用金属粉の製造方法に関する。   The present invention relates to a pulverized material (metal chip) for producing metal powder for capacitors. More specifically, it is a pulverized material for producing metal powder of niobium, tantalum or an alloy mainly composed of any one of these metals for capacitors, and does not affect the performance of the metal powder to be produced. The present invention relates to a metal chip made of a metal material basically the same as powder, a method for manufacturing the metal chip, and a method for manufacturing metal powder for a capacitor using the metal chip.

ニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉は、電解コンデンサの陽極用材料として使用されている。金属粉の作製方法としては、ニオブ元素またはタンタル元素を含んだ化合物を還元して作製する方法(米国特許第4141720号;特許文献1)とニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属を水素化した後に粉砕しさらに脱水素して作製する方法(英国特許第1219748号;特許文献2、米国特許第4084965号;特許文献3)がある。前者の方法では、化合物や還元剤から生じる不純物がコンデンサの性能に影響を与えるために不純物を除去するための多段の工程を必要とするが、微細な金属粉では除去が困難であり、例えばナトリウムやカリウムといったコンデンサ性能に大きな影響をもたらす不純物が、通常数10質量ppm残るという欠点がある。   A metal powder of niobium, tantalum or an alloy mainly containing any one of these metals is used as an anode material for electrolytic capacitors. As a method for producing the metal powder, a method in which a compound containing niobium element or tantalum element is reduced (US Pat. No. 4,141,720; Patent Document 1) and niobium, tantalum or one of these metals as a main component is used. There is a method in which the metal of the alloy is hydrogenated and then pulverized and further dehydrogenated (UK Patent No. 1219748; Patent Document 2, US Pat. No. 4,084,965; Patent Document 3). The former method requires a multi-step process for removing impurities because the impurities generated from the compound and reducing agent affect the performance of the capacitor, but it is difficult to remove with fine metal powder, for example sodium Impurities such as potassium and potassium, which have a great influence on the capacitor performance, usually have a defect that several tens of mass ppm remain.

一方昨今の電解コンデンサは、小型大容量が必要とされ、使用する金属粉もより微細なものが要求されている。後者の粉砕法では、ナトリウムやカリウムといった不純物が入らないために、後者の方法で微細な金属粉を作製する動きがある。   On the other hand, recent electrolytic capacitors are required to have a small size and large capacity, and finer metal powders are required. In the latter pulverization method, impurities such as sodium and potassium do not enter, so there is a movement to produce fine metal powder by the latter method.

米国特許第4141720号US Pat. No. 4,141,720 英国特許第1219748号British Patent No. 1219748 米国特許第4084965号U.S. Pat. No. 4,084,965

しかしながら、後者の方法では、粉砕時に使用する粉砕材由来の不純物の存在と、粉砕法では微細な金属粉を作製することが困難であるという問題があった。   However, the latter method has a problem that impurities derived from the pulverized material used at the time of pulverization and that it is difficult to produce a fine metal powder by the pulverization method.

本発明者等は、鋭意検討した結果、粉砕法で使用する粉砕材として、コンデンサ用のニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉の性能に影響を与えない、基本的に同質の金属材料からなる特定形状の金属チップを粉砕材に使用することによって前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of diligent study, the inventors of the present invention do not affect the performance of niobium, tantalum for capacitors, or metal powders of alloys based on any one of these metals as a pulverizing material used in the pulverization method. In particular, the inventors have found that the above-mentioned problem can be solved by using a metal chip having a specific shape made of a metal material of the same quality as the pulverized material, and has completed the present invention.

すなわち、本発明は、以下の金属チップ、金属チップの製造方法及び該金属チップを使用して作製した金属粉に関する。
1.胴部が円柱状であって円柱部の直径が0.03〜5mmであるニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれる1種の金属からなることを特徴とする脆化したニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の粉砕材用金属チップ。
2.円柱部の長さが0.03〜5mmである前記1に記載の金属チップ。
3.一部が窒化された前記1または2のいずれかに記載の金属チップ。
4.ニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれた1種の金属から作製された細線を脆化した後に切断または折り切することを特徴とするニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金からなるインゴットの粉砕材用金属チップの製造方法。
5.前記1乃至3のいずれかに記載の金属チップを粉砕材として使用して、ニオブ、タンタル、これらいずれかの金属を主成分とする合金、またはこれら金属の混合物を脆化し粉砕することによってニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉またはこれら金属の混合粉を作製後、脱脆化することを特徴とするコンデンサ用金属粉の製造方法。
6.製造対象の金属粉と同一材質の金属チップを使用する前記5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。
7.製造対象の金属粉がニオブ、またはニオブを主成分とする合金であり、金属チップとしてタンタルチップを使用する前記5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。
8.円柱部直径(及び長さ)が0.03〜5mmの範囲内で段階的に大きさの異なる複数種の金属チップを使用し、最初に円柱部直径の大きい金属チップでインゴット水素化物を粉砕した後、順次円柱部直径のより小さい金属チップを使用してインゴット水素化物を粉砕して、最後に使用した金属チップの円柱部直径の1/100〜1/150の金属粉を作製後、脱水素する前記5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。
9.前記1乃至3のいずれかに記載の金属チップを用いて作製したニオブ粉、タンタル粉、またはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉、またはこれら金属粉の混合物。
That is, this invention relates to the metal powder produced using the following metal chips, the manufacturing method of a metal chip, and this metal chip.
1. Embrittlement characterized in that the body is made of one metal selected from niobium, tantalum having a cylindrical shape and a diameter of 0.03 to 5 mm, or an alloy containing any one of these metals as a main component. Metal chips for pulverized materials of niobium, tantalum or alloys mainly composed of any of these metals.
2. 2. The metal tip according to 1 above, wherein the length of the cylindrical portion is 0.03 to 5 mm.
3. 3. The metal tip according to either 1 or 2, wherein a part thereof is nitrided.
4). Niobium, tantalum or niobium, tantalum, or any one of these, characterized in that a thin wire made from one kind of metal selected from niobium, tantalum or an alloy containing any one of these metals as a main component is embrittled and then cut or folded A method for producing a metal tip for a pulverized material of an ingot made of an alloy containing as a main component a metal.
5). Niobium by using the metal tip according to any one of 1 to 3 as a pulverizing material, embrittlement and pulverization of niobium, tantalum, an alloy mainly containing any of these metals, or a mixture of these metals, A method for producing a metal powder for a capacitor, characterized in that the metal powder of an alloy containing tantalum or any one of these metals as a main component or a mixed powder of these metals is prepared and then debrittled.
6). 6. The method for producing metal powder for capacitors as described in 5 above, wherein a metal chip made of the same material as the metal powder to be produced is used.
7). 6. The method for producing metal powder for capacitors as described in 5 above, wherein the metal powder to be produced is niobium or an alloy containing niobium as a main component, and a tantalum chip is used as the metal chip.
8). After using a plurality of types of metal tips whose diameters (and lengths) are in a range of 0.03 to 5 mm in stages, the ingot hydride is first pulverized with a metal tip having a large cylinder diameter, The ingot hydride is pulverized sequentially using metal tips having a smaller cylindrical portion diameter, and metal powder having a diameter of 1/100 to 1/150 of the cylindrical portion diameter of the last used metal tip is prepared, and then dehydrogenated. 5. A method for producing metal powder for capacitors as described in 5.
9. 4. A niobium powder, a tantalum powder, or a metal powder of an alloy containing any one of these metals as a main component, or a mixture of these metal powders.

本発明は、コンデンサ用のニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉の性能に影響を与えない粉砕材であって、基本的に同質の金属材料からなる特定形状の金属チップ、その金属チップの製造方法、及びその金属チップを用いるコンデンサ用金属粉の製造方法を提供したものである。本発明の金属チップによれば、不純物が少なく微細な金属粉が作製でき、その金属粉から性能が良好なコンデンサを製造することができる。   The present invention is a pulverizing material that does not affect the performance of the metal powder of niobium, tantalum for capacitors or an alloy containing any one of these metals as a main component, and has a specific shape basically made of a homogeneous metal material. The present invention provides a metal chip, a method for producing the metal chip, and a method for producing metal powder for a capacitor using the metal chip. According to the metal chip of the present invention, a fine metal powder with few impurities can be produced, and a capacitor with good performance can be produced from the metal powder.

本発明の金属チップ、金属チップの製造方法およびその金属チップを使用して作製した金属粉の一形態を説明する。   One form of the metal powder of the present invention, the metal chip manufacturing method, and the metal powder produced using the metal chip will be described.

本発明の金属チップは、材質がニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれた1種の金属であり、胴部が円柱状であって円柱部の直径が0.03〜5mmの形状を持つ。また金属チップの長さは、極端に短いものを除いて任意に作製できるが、後述する金属粉の作製上、0.03〜5mmのものが好んで使用される。   The metal tip of the present invention is one kind of metal selected from niobium, tantalum, or an alloy containing any one of these metals as a main component, the body is cylindrical, and the diameter of the cylinder is 0.03 to It has a 5mm shape. Further, the length of the metal tip can be arbitrarily prepared except for extremely short ones, but 0.03 to 5 mm is preferably used for the production of metal powder described later.

本発明においては、前記金属チップの一部を、炭化、燐化、ホウ素化、窒化、硫化、酸化から選ばれた少なくとも1種の処理を行ってから使用しても良い。金属チップに化合されるこれらの元素は、金属チップを粉砕材として用いて金属粉を作製し、さらに金属粉から最終的なコンデンサを製造した時にコンデンサの性能を悪化させるものでは無くむしろ性能、特に漏れ電流性能を良好にさせることがあるために好ましい元素である。金属チップの一部にこれらの元素を化合させるには、これらの元素を含んだ化合物または単体と金属チップまたは金属チップを作製する以前の任意の工程での金属チップ前駆体を反応させることによって得ることができる。化合物や単体の濃度、反応温度、時間、圧力、金属チップ内の元素の存在量等は、予備実験によって管理することができる。   In the present invention, a part of the metal tip may be used after being subjected to at least one treatment selected from carbonization, phosphation, boronation, nitridation, sulfidation, and oxidation. These elements combined with the metal chip do not deteriorate the performance of the capacitor when the metal chip is produced as a pulverized material and the final capacitor is manufactured from the metal powder. It is a preferable element because it may improve the leakage current performance. In order to combine these elements with a part of the metal tip, it is obtained by reacting a compound or a simple substance containing these elements with a metal tip precursor in any step before producing the metal tip or metal tip. be able to. The concentration of the compound or simple substance, the reaction temperature, time, pressure, the abundance of elements in the metal tip, etc. can be managed by preliminary experiments.

一例として金属チップの一部を窒化するには、例えば金属チップを窒素ガス雰囲気中で窒素化する方法を挙げることができる。この場合、窒素量は、20〜150000質量ppmの任意の数値にすることが可能である。窒化方法としては、液体窒化、イオン窒化、ガス窒化などのうちいずれかあるいはそれらの組み合わせた方法で実施することができる。窒素ガス雰囲気によるガス窒化処理は、装置が簡便で操作が容易なため好ましい。   As an example, in order to nitride a part of the metal tip, for example, a method of nitriding the metal tip in a nitrogen gas atmosphere can be mentioned. In this case, the amount of nitrogen can be any numerical value between 20 and 150,000 mass ppm. As the nitriding method, any one of liquid nitriding, ion nitriding, gas nitriding, etc., or a combination thereof can be used. Gas nitriding treatment in a nitrogen gas atmosphere is preferable because the apparatus is simple and easy to operate.

例えば、窒素ガス雰囲気によるガス窒化方法は、前記金属チップを窒素雰囲気中に放置することによって達成される。窒化する雰囲気温度は、2000℃以下、放置時間は、数時間以内で目的とする窒化量の金属チップが得られる。高温で処理することにより処理時間を短くすることも可能である。前記金属チップの窒化量は、被窒化物の窒化温度と窒化時間を予備実験等で確認した条件で管理することができる。   For example, a gas nitriding method using a nitrogen gas atmosphere is achieved by leaving the metal chip in a nitrogen atmosphere. The nitriding atmosphere temperature is 2000 ° C. or less and the standing time is several hours or less, so that a metal tip having a desired nitriding amount can be obtained. It is also possible to shorten the processing time by processing at a high temperature. The nitridation amount of the metal chip can be managed under the condition that the nitriding temperature and nitriding time of the object to be nitrided are confirmed by a preliminary experiment or the like.

前述した金属チップを作製する方法の1例として、金属チップと同材質の金属細線を長手方向に垂直または斜めに切断して作製する方法を挙げることができる。金属細線の直径と切断長さを規定することにより所望の直径と長さを有する金属チップを作製することができる。金属細線は、例えば、ニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれた1種の金属のインゴット、金属棒または金属小片から切断、鍛造、圧延、延伸、焼鈍、研磨等の少なくとも1つの工程を行った後に、各種ローラーダイスまたは/及び穴ダイスを用いて作製される。上述した方法で、金属細線の線径として0.1mm以上のものが作製可能である。線径が0.1mm未満の金属細線は、0.1mm以上の細線を電解酸化した後、表面に形成された酸化皮膜を研磨することによって得ることができる。作製された金属細線の断面は、通常真円状であるが作製方法によっては、真円からずれた、例えば楕円形状や円の一部に凹または凸形状の部分が存在する形状の場合がある。このような真円状からはずれた断面をもつ金属細線から作製された金属チップも本発明の範囲内である。   As an example of the method for manufacturing the metal tip described above, a method of cutting a metal thin wire made of the same material as the metal tip perpendicularly or obliquely to the longitudinal direction can be mentioned. By defining the diameter and cutting length of the fine metal wire, a metal tip having a desired diameter and length can be produced. The thin metal wire is cut, forged, rolled, stretched, annealed, polished, etc. from one metal ingot, metal rod or metal piece selected from, for example, niobium, tantalum or an alloy based on any one of these metals After performing at least one of the steps, various roller dies or / and hole dies are used. By the method described above, a metal fine wire having a diameter of 0.1 mm or more can be produced. A fine metal wire having a wire diameter of less than 0.1 mm can be obtained by electrolytically oxidizing a fine wire of 0.1 mm or more and then polishing an oxide film formed on the surface. The cross section of the produced metal thin wire is usually a perfect circle, but depending on the production method, there may be an oval shape or a shape in which a concave or convex part exists in a part of the circle, for example. . A metal tip made of a fine metal wire having a cross section deviating from such a perfect circle is also within the scope of the present invention.

金属細線の一部または全部を脆化しておくと、金属チップを作製する時に、金属細線を刃物で切断する代わりに加重で折り切して切断することができる。脆化の方法としては、窒化または水素化が好ましい。脆化していない金属細線を刃物で切断する場合には、作製された金属チップの切断面の刃物が当った切断方向に、だれたバリが出ることがある。このような金属チップを使用すると、金属粉を作製する時に用いる容器の表面を傷つける場合がある。一方、加重で折り切して切断する場合は、切断面でのバリの発生が少ない。金属細線の一部または全部の窒化には、前述した金属チップの一部を窒化する方法を利用することができる。また金属細線の一部または全部を水素化する方法としては、例えば、金属細線を水素気流中または水素中に数100〜1000℃の温度で放置しておく方法を挙げることができる。一部または全部を水素化した金属細線から金属チップを作製した後に、例えば減圧または真空中に金属チップを放置することにより、数100〜1000℃にすると脱水素することが可能である。   If a part or all of the fine metal wires are made brittle, the fine metal wires can be cut with a load instead of being cut with a blade when producing a metal tip. As the embrittlement method, nitriding or hydrogenation is preferable. When cutting a thin metal wire that has not been embrittled with a blade, there is a case where a loose burr appears in the cutting direction in which the blade of the cut surface of the manufactured metal tip hits. If such a metal tip is used, the surface of the container used when producing the metal powder may be damaged. On the other hand, in the case of cutting by weight cutting, there are few burrs on the cut surface. For nitriding a part or all of the thin metal wire, the above-described method of nitriding a part of the metal tip can be used. Examples of the method for hydrogenating part or all of the fine metal wires include a method of leaving the fine metal wires in a hydrogen stream or in hydrogen at a temperature of several hundred to 1000 ° C. After producing a metal chip from a thin metal wire partially or wholly hydrogenated, it is possible to dehydrogenate at a temperature of several hundred to 1000 ° C., for example, by leaving the metal chip in a reduced pressure or vacuum.

本発明の金属チップを用いてニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉またはこれら金属の混合粉を作製する方法の1例を説明する。   An example of a method for producing a metal powder of niobium, tantalum, or an alloy mainly containing any one of these metals or a mixed powder of these metals using the metal tip of the present invention will be described.

作製したい金属のインゴットを脆化した後、適当な大きさに塊砕した金属小片に金属チップを投入し水中で撹拌粉砕する。脆化する方法としては、水素化、窒化、酸化、炭化する方法が挙げられるが、水素化が好ましい。円柱部の直径と円柱部の長さが略同一の金属チップを使用すると、粉砕された金属粉の平均粒径は、おおよそ使用した金属チップの円柱部直径の1/100〜1/150まで粉砕することができる。例えば、最初金属小片に円柱部の直径5mmの金属チップを粉砕材として投入すると、おおよそ33〜50μmの平均粒径をもつ金属粉が得られる。さらにこのような平均粒径をもつ金属粉に円柱部の直径0.1mmの金属チップを粉砕材として投入すると、おおよそ0.6〜1μmの平均粒径をもつ金属粉が得られる。引き続き該平均粒径をもつ金属粉に円柱部の直径0.03mmの金属チップを粉砕材として投入すると、おおよそ0.2〜0.3μmの平均粒径をもつ金属粉が得られる。円柱部の直径が異なる金属チップを混合して粉砕材として用いると、粒度分布が広い金属粉が作製される傾向にある。   After embrittlement of a metal ingot to be produced, a metal chip is put into a small piece of metal that has been crushed to an appropriate size, and is stirred and ground in water. Examples of the embrittlement method include hydrogenation, nitridation, oxidation, and carbonization, but hydrogenation is preferable. When a metal tip having the same diameter and the same length is used, the average particle size of the pulverized metal powder is crushed to about 1/100 to 1/150 of the diameter of the used metal tip. can do. For example, when a metal chip having a diameter of 5 mm in a cylindrical portion is first introduced into a small metal piece as a pulverized material, metal powder having an average particle diameter of approximately 33 to 50 μm is obtained. Furthermore, when a metal chip having a diameter of 0.1 mm in the cylindrical portion is added as a pulverized material to a metal powder having such an average particle diameter, a metal powder having an average particle diameter of approximately 0.6 to 1 μm is obtained. Subsequently, when a metal tip having a diameter of 0.03 mm in the cylindrical portion is added as a pulverized material to the metal powder having the average particle diameter, a metal powder having an average particle diameter of approximately 0.2 to 0.3 μm is obtained. When metal chips having different cylindrical part diameters are mixed and used as a pulverized material, metal powder having a wide particle size distribution tends to be produced.

また使用する金属チップの種類は、金属小片の種類、大きさ、粉砕機の種類、粉砕時間、粉砕回数、希望する金属粉の粒度分布を考慮して予備実験により決定される。   The type of metal tip to be used is determined by preliminary experiments in consideration of the type and size of the metal piece, the type of pulverizer, the pulverization time, the number of times of pulverization, and the desired particle size distribution of the metal powder.

おおよそ0.2〜0.3μmの平均粒径をもつ金属粉がニオブ粉の場合、該金属粉を造粒後適当な大きさに成形して1250〜1280℃で焼結し焼結体を作製すると,CV(容量Cと化成電圧Vの積)値が、25万〜40万μF・V/gとなり、金属粉がタンタルの場合、1280〜1330℃で焼結し焼結体を作製すると13万〜20万μF・V/gとなり、目的とする微細な金属粉であることがわかる。   When the metal powder having an average particle diameter of approximately 0.2 to 0.3 μm is niobium powder, the metal powder is granulated to an appropriate size and sintered at 1250 to 1280 ° C. to produce a sintered body. (Product of capacity C and formation voltage V) is 250,000 to 400,000 μF · V / g, and when the metal powder is tantalum, if sintered at 1280 to 1330 ° C. to produce a sintered body, 130,000 to 20 It becomes 10,000 μF · V / g, and it can be seen that it is the desired fine metal powder.

ニオブ粉を作製する場合には、ニオブチップを使用し、タンタル粉を作製する場合には、タンタルチップを使用することにより、粉砕材に由来する不純物を理論上皆無にすることができる。ニオブ粉、ニオブを主成分とする合金粉またはニオブ粉とニオブを主成分とする合金粉との混合粉から作製されるコンデンサは、不純物としてタンタルが存在しても性能の悪化が見られないので、タンタルチップを粉砕材として用いても良い。さらに本発明の金属チップを用いて、酸化ニオブ粉をより細粉にすることもできる。酸化ニオブ粉から作製されるコンデンサは、ニオブやタンタルが不純物として存在しても性能の悪化が見られないので、ニオブチップやタンタルチップを粉砕材として用いてもよい。   When niobium powder is produced, niobium chips are used, and when tantalum powder is produced, tantalum chips are used to theoretically eliminate impurities derived from the pulverized material. Capacitors made from niobium powder, alloy powder containing niobium as the main component, or a mixture of niobium powder and alloy powder containing niobium as the main component, show no deterioration in performance even when tantalum is present as an impurity. A tantalum chip may be used as a pulverizing material. Furthermore, niobium oxide powder can be made finer by using the metal tip of the present invention. Capacitors made from niobium oxide powder do not deteriorate in performance even when niobium or tantalum is present as an impurity, and therefore niobium chips or tantalum chips may be used as a pulverizing material.

本発明において、金属のインゴットを水素化するには、従来公知の方法を採用することができる。例えば、金属インゴットを水素気流中で数100〜1000℃の温度に放置する時間を適当に選択することによって、低濃度から限界濃度まで任意の範囲で水素化することができる。本発明においては、各金属の限界濃度まで水素化しておくと後の粉砕が良好に行なえるために好ましい。また前述した水素化したインゴットを塊砕し金属小片にするには、数mmの大きさの小片が作製可能な、例えばハンマーミルを使用することが好ましい。   In the present invention, a conventionally known method can be employed to hydrogenate a metal ingot. For example, the metal ingot can be hydrogenated in an arbitrary range from a low concentration to a limit concentration by appropriately selecting a time for leaving the metal ingot at a temperature of several hundred to 1000 ° C. in a hydrogen stream. In the present invention, it is preferable to hydrogenate to the limit concentration of each metal because subsequent pulverization can be performed satisfactorily. Further, in order to crush the hydrogenated ingot described above into metal pieces, it is preferable to use, for example, a hammer mill capable of producing small pieces having a size of several mm.

前述した、適当な大きさに塊砕した金属小片またはある程度大きな平均粒径を持った金属粉に金属チップを投入し水中で撹拌粉砕する具体的方法としては、例えば、撹拌羽を設けた撹拌容器に金属小片または金属粉と金属チップと水を入れ、高速撹拌することによって金属小片または金属粉に粉砕し、粉砕されずに存在する金属チップの残渣があればそれを分離することによって、より小さな平均粒径を持った金属粉を得る方法、金属小片または金属粉と金属チップと水を管に入れ、高速で循環させて粉砕し、存在すれば金属チップの残渣を分離することによって、より小さな平均粒径を持った金属粉を得る方法等を挙げることができる。後者の方法では、管の途中に液だめを設けておき、液だめに一度粉砕物がたまってさらに液だめから管に向かって吸引されるような回路を設計しておくと、液だめの粉砕物の粒径を分析することにより粉砕の終点を管理することができ好都合である。粉砕して作製した金属粉の平均粒径や粒径分布は、分級操作によって調整が可能である。分級操作によって例えば、平均粒径を1/30程度に下げることができる。   As a specific method for adding metal chips to the above-described metal pieces crushed to an appropriate size or metal powder having a certain average particle size and stirring and pulverizing in water, for example, a stirring vessel provided with stirring blades Put metal pieces or metal powder and metal chips and water into a small piece by crushing into metal pieces or metal powder by stirring at high speed and separating any metal chip residues that are present without being crushed. A method to obtain metal powder with an average particle size, by putting metal pieces or metal powder and metal chips and water into a tube, circulating at high speed and pulverizing, and if present, separating metal chip residues Examples thereof include a method for obtaining metal powder having an average particle diameter. In the latter method, a reservoir is provided in the middle of the tube, and if a circuit is designed in which the pulverized material once accumulates in the reservoir and then sucked from the reservoir toward the tube, crushing the reservoir Conveniently, the end point of grinding can be controlled by analyzing the particle size of the product. The average particle size and particle size distribution of the metal powder produced by pulverization can be adjusted by classification operation. By the classification operation, for example, the average particle size can be reduced to about 1/30.

次に、脱脆化のために、前述した金属チップの場合と同様に脱水素を行なってもよいし、次の造粒または焼結工程で脱水素を行なってもよい。
以上のようにして作製した金属粉は、一次粒子であるが、金属粉を成形して成形体を作製する時に、金属粉の流動性を上昇させるために、少なくとも1回以上造粒して二次粒子として使用しても良い。造粒する際には、平均粒径の異なる金属粉を混合した後に行っても良い。
Next, for debrisification, dehydrogenation may be performed in the same manner as in the case of the metal tip described above, or dehydrogenation may be performed in the next granulation or sintering step.
The metal powder produced as described above is a primary particle. When the metal powder is molded to produce a compact, the metal powder is granulated at least once to increase the fluidity of the metal powder. It may be used as the next particle. Granulation may be performed after mixing metal powders having different average particle diameters.

造粒方法としては、例えば一次粒子を水、有機溶媒、有機バインダー、無機バインダーの少なくとも1つから選ばれる材料と共に混錬した後加熱し、さらに塊砕、残っていればバインダー除去、洗浄、乾燥という工程によって得る方法を挙げることができる。バインダーとしては、アクリル系ポリマー、金属酸化物(例えば酸化マグネシウム)等、従来公知のバインダーを使用することができる。   As a granulation method, for example, primary particles are kneaded with a material selected from at least one of water, an organic solvent, an organic binder, and an inorganic binder, and then heated, and further agglomerated, if remaining, binder removal, washing, and drying. The method obtained by the process of mentioning can be mentioned. As the binder, conventionally known binders such as acrylic polymers and metal oxides (for example, magnesium oxide) can be used.

金属粉または造粒後の粒子の一部に炭化、燐化、ホウ素化、窒化、硫化、酸化から選ばれた少なくとも1種の処理を行ってから使用しても良い。これらの処理は、前述した金属チップの場合と同じ方法により行なうことができる。   The metal powder or part of the granulated particles may be used after being subjected to at least one treatment selected from carbonization, phosphation, boronation, nitridation, sulfidation, and oxidation. These treatments can be performed by the same method as that for the metal tip described above.

以上のように作製された金属粉または造粒した粒子は、適当な形状に成形後焼結して焼結体とした後にコンデンサの陽極として利用される。成形時または焼結後にリード線またはリード箔を接続させてコンデンサの陽極リードとすることも可能である。金属粉または造粒した粒子を水または有機溶媒に分散させてスラリー状とし直接金属箔に付着後焼結してコンデンサの陽極体とすることもできる。   The metal powder or granulated particles produced as described above are used as an anode of a capacitor after being formed into an appropriate shape and sintered to form a sintered body. It is also possible to connect a lead wire or a lead foil at the time of molding or after sintering to form an anode lead of a capacitor. Metal powder or granulated particles can be dispersed in water or an organic solvent to form a slurry, which is directly attached to a metal foil and then sintered to form a capacitor anode body.

以下、本発明の具体例についてさらに詳細に説明するが、以下の例により本発明は限定されるものではない。
なお、下記の例において、金属粉の平均粒径は、コールター(株)社製の粒度分布測定装置を用いて測定し、造粒粉の容量は、ヒューレットパッカード社製のLCRメーターを使用して室温下120Hzの周波数で測定した。
Hereinafter, specific examples of the present invention will be described in more detail, but the present invention is not limited to the following examples.
In the following examples, the average particle size of the metal powder is measured using a particle size distribution measuring device manufactured by Coulter, Inc., and the capacity of the granulated powder is measured using an LCR meter manufactured by Hewlett-Packard Company. Measurements were made at a frequency of 120 Hz at room temperature.

実施例1:
(1)ニオブチップの作製
ニオブインゴットを切断し断面30×20mmで長さ300mmの直方体状のニオブ棒を取り出した。このニオブ棒に対して、鍛造・焼鈍・圧延の各工程を行って断面が10mmφの略円状のニオブ棒とした。さらに丸ダイスで複数回順に線引きすることにより、断面が円状で直径5mm、1mm、0.3mm、0.12mmの各ニオブ線を作製した。次に同様にして作製した直径0.12mmのニオブ線を1%燐酸水溶液中に入れ、ニオブ線を陽極に、水溶液中に設けたタンタル板を陰極として70Vで陽極酸化を行いニオブ線表面に酸化皮膜を形成した。この酸化皮膜及び一部ニオブ金属部を研磨してニオブ線の線径を細くする一連の操作を複数回繰り返すことにより直径0.07mmと0.03mmのニオブ線を得た。以上のようにして作製したニオブ線のうち直径0.3mm、0.12mm、0.07mmと0.03mmのニオブ線を電極発熱体がモリブデンである真空炉に入れ400℃で窒素ガスを通すことによりニオブ線の一部を窒化した。以上のようにして作製した各種ニオブ線のうち直径5mmと1mmのニオブ線は、市販の自動カッターにより各々円柱部の長さが5mmと1mmになるように切断しニオブチップを得た。また直径0.3mm、0.12mm、0.07mmと0.03mmのニオブ線は、ニオブ製のガイドとダイヤモンドカッターとニオブ線の押し出し機構としてステッピングモーターを有する切断冶具を用いて各々円柱部の長さが0.3mm、0.12mm、0.07mmと0.03mmのニオブチップを得た。
Example 1:
(1) Production of niobium chip A niobium ingot was cut and a rectangular parallelepiped niobium rod having a cross section of 30 × 20 mm and a length of 300 mm was taken out. The niobium rod was subjected to forging, annealing, and rolling steps to obtain a substantially circular niobium rod having a cross section of 10 mmφ. Furthermore, each of the niobium wires having a circular cross-section and a diameter of 5 mm, 1 mm, 0.3 mm, and 0.12 mm was prepared by sequentially drawing with a round die. Next, a niobium wire having a diameter of 0.12 mm prepared in the same manner is put in a 1% phosphoric acid aqueous solution, and the niobium wire is used as an anode, and a tantalum plate provided in the aqueous solution is used as a cathode to perform anodization at 70 V to form an oxide film on the surface of the niobium wire. Formed. A series of operations for polishing the oxide film and part of the niobium metal portion to reduce the diameter of the niobium wire was repeated a plurality of times to obtain niobium wires having a diameter of 0.07 mm and 0.03 mm. Of the niobium wires produced as described above, the niobium wires having diameters of 0.3 mm, 0.12 mm, 0.07 mm, and 0.03 mm are placed in a vacuum furnace in which the electrode heating element is molybdenum, and the nitrogen gas is passed at 400 ° C. A part was nitrided. Of the various niobium wires produced as described above, niobium wires having a diameter of 5 mm and 1 mm were cut with a commercially available automatic cutter so that the lengths of the cylindrical portions were 5 mm and 1 mm, respectively, thereby obtaining niobium chips. Niobium wires with diameters of 0.3 mm, 0.12 mm, 0.07 mm, and 0.03 mm are each 0.3 mm long using a cutting tool with a niobium guide, diamond cutter, and stepping motor as a niobium wire extrusion mechanism. 0.12 mm, 0.07 mm and 0.03 mm niobium chips were obtained.

(2)ニオブ粉の作製
ニオブインゴット150kgを真空炉に入れ、空気を除去後水素ガスを流しながら、最初2時間は800℃、続いて450℃で18時間放置した後、水素ガスを止め、水素ガス残渣を除去した後、室温で酸素を10体積ppm含んだ窒素ガスを導入して30分放置し、窒素ガスを除去し、さらに順に酸素を100体積ppm含んだ窒素ガス、酸素を0.1%含んだ窒素ガス、酸素を1%含んだ窒素ガス、酸素を3%含んだ窒素ガスを導入して、導入と除去の操作を繰り返した。最後に空気を導入し(以下、酸素を含んだ窒素ガスの導入と空気を導入する工程を「徐酸化工程」と略す。)表面に酸素が急に付着して燃焼することを極力抑えて水素量とニオブのモル比が1.2:1の水素化されたニオブインゴットを作製した。次にハンマーミルで水素化ニオブインゴットを解砕し平均粒径8mmのニオブ小片とした。次いで、体積比でニオブ小片10部に対して前述した直径5mmのニオブチップ3部を加えた後に固形物が埋まるように水を加え、直径70mmのニオブ製の管と液だめと液だめから管に戻るポンプと管中に設けた移送用の撹拌羽を有する粉砕機器中を高速循環させた。液だめから粉砕物を分取し、ニオブチップを除いた後平均粒径を測定することにより粉砕の工程を管理した。平均粒径が37μmになったときに粉砕を終え、ニオブチップを除去後真空乾燥し、徐酸化工程を行った後に1回目のニオブ粉を得た。さらに1回目のニオブ粉に直径1mmのニオブチップを同様に用いて2回目のニオブ粉、直径0.3mm、0.12mm、0.07mm、0.03mmのニオブチップを順次用いて最終的に6回目のニオブ粉を得た。2回目、3回目、4回目、5回目および6回目のニオブ粉の平均粒径は、各々8μm、2.5μm、1μm、0.53μm、0.28μmであった。平均粒径0.53μmと0.28μmのニオブ粉を各々エチレングリコールと水を質量比2対1の割合で混合した溶媒に分散させた後に減圧下400℃に5時間放置後真空下800℃に4時間放置し、室温に戻し、徐酸化工程後取りだし、脱水素工程を兼ねた各造粒粉を得た。各々の造粒粉を0.09g取り4.4×3.5×1.7mmの大きさに0.3mmのニオブ線と共に成形し、1280℃で30分真空焼結を行い焼結体を得た。次いで0.1%燐酸水溶液中に焼結体を入れ80℃、8時間、20Vで化成し表面に酸化皮膜を形成した後、水洗乾燥し別途用意した40%硫酸中で容量を測定した。その結果は各々690μF、1210μFであり、ニオブ粉のCV値(単位μF・V/g)は、各々153000、269000であった。
(2) Preparation of niobium powder 150 kg of niobium ingot was placed in a vacuum furnace, and after removing the air and flowing hydrogen gas, it was first left at 800 ° C for 18 hours and then at 450 ° C for 18 hours. After removing the gas residue, introduce nitrogen gas containing 10 volume ppm of oxygen at room temperature and let stand for 30 minutes, remove the nitrogen gas, and in turn, nitrogen gas containing 100 volume ppm of oxygen and 0.1% oxygen Nitrogen gas, nitrogen gas containing 1% oxygen, and nitrogen gas containing 3% oxygen were introduced, and the introduction and removal operations were repeated. Finally, air is introduced (hereinafter, the process of introducing nitrogen gas containing oxygen and the process of introducing air is abbreviated as “gradual oxidation process”). A hydrogenated niobium ingot having an amount to niobium molar ratio of 1.2: 1 was prepared. Next, the niobium hydride ingot was crushed with a hammer mill to obtain niobium pieces having an average particle diameter of 8 mm. Next, after adding 3 parts of the 5 mm diameter niobium chip described above to 10 parts of the niobium piece by volume, water was added so that the solid matter was buried, and the 70 mm diameter niobium tube and the reservoir and the reservoir were added to the tube. It was circulated at high speed through a crushing machine having a returning pump and a stirring blade for transfer provided in the pipe. The pulverized product was collected from the liquid reservoir, and after removing the niobium chips, the average particle size was measured to control the pulverization process. When the average particle size reached 37 μm, the pulverization was finished, the niobium chips were removed and vacuum dried, and after the gradual oxidation process, the first niobium powder was obtained. In addition, the niobium chip with a diameter of 1 mm is similarly used for the first niobium powder, and the niobium powder with a diameter of 0.3 mm, 0.12 mm, 0.07 mm, and 0.03 mm is sequentially used in order to finally obtain the sixth niobium powder. It was. The average particle diameters of the second, third, fourth, fifth and sixth niobium powders were 8 μm, 2.5 μm, 1 μm, 0.53 μm and 0.28 μm, respectively. Niobium powder with an average particle size of 0.53 μm and 0.28 μm was dispersed in a solvent in which ethylene glycol and water were mixed at a mass ratio of 2: 1, then left under reduced pressure at 400 ° C. for 5 hours and then under vacuum at 800 ° C. for 4 hours. The mixture was allowed to stand, returned to room temperature, extracted after the gradual oxidation step, and each granulated powder that also served as a dehydrogenation step was obtained. 0.09 g of each granulated powder was taken and formed into a size of 4.4 × 3.5 × 1.7 mm together with a 0.3 mm niobium wire and vacuum sintered at 1280 ° C. for 30 minutes to obtain a sintered body. Next, the sintered body was placed in a 0.1% phosphoric acid aqueous solution, formed at 80 ° C. for 8 hours at 20 V to form an oxide film on the surface, washed and dried with water, and the capacity was measured in 40% sulfuric acid separately prepared. The results were 690 μF and 1210 μF, respectively, and the CV values (unit μF · V / g) of niobium powder were 153000 and 269000, respectively.

実施例2:
(1)タンタルチップの作製
実施例1でニオブインゴットの代わりに市販の直径10mm、長さ100mmのタンタル棒を使用して丸ダイス以降の工程で線引きをして細線を作製した以外は、実施例1と同様にして、実施例1と同寸法のタンタルチップを得た。
Example 2:
(1) Production of tantalum chip Example 1 except that in Example 1, a commercially available tantalum rod having a diameter of 10 mm and a length of 100 mm was used instead of the niobium ingot, and a thin wire was produced by drawing in the round die and subsequent steps. In the same manner as in Example 1, a tantalum chip having the same dimensions as Example 1 was obtained.

(2)タンタル粉の作製
ニオブインゴット150kgの代わりに、市販の直径20mm長さ100mmのタンタル棒を10kg使用してタンタル粉を作製した以外実施例1と同様にして1回〜6回目のタンタル粉を得た。各回の粉の平均粒径は、各々32μm、7.4μm、2.2μm、0.95μm、0.49μm、0.26μmであった。平均粒径0.49μmと0.26μmのタンタル粉を実施例1と同様にして造粒し,各造粒粉を得た。各々の造粒粉を0.15g取り4.4×3.5×1.8mmの大きさに0.3mmのタンタル線と共に成形し、1310℃で30分真空焼結を行い焼結体を得た。次いで0.1%燐酸水溶液中に焼結体を入れ80℃、8時間、20Vで化成し、表面に酸化皮膜を形成した後、水洗乾燥し別途用意した40%硫酸中で容量を測定した。その結果は各々800μF、1140μFであり、タンタル粉のCV値は、各々107000、152000であった。
(2) Preparation of tantalum powder 1st to 6th tantalum powder in the same manner as in Example 1 except that 10 kg of a commercially available tantalum rod having a diameter of 20 mm and a length of 100 mm was used instead of 150 kg of niobium ingot. Got. The average particle size of each powder was 32 μm, 7.4 μm, 2.2 μm, 0.95 μm, 0.49 μm, and 0.26 μm, respectively. Tantalum powder having an average particle size of 0.49 μm and 0.26 μm was granulated in the same manner as in Example 1 to obtain each granulated powder. 0.15 g of each granulated powder was taken and formed into a size of 4.4 × 3.5 × 1.8 mm together with a 0.3 mm tantalum wire and vacuum sintered at 1310 ° C. for 30 minutes to obtain a sintered body. Next, the sintered body was put in a 0.1% phosphoric acid aqueous solution, formed at 80 ° C. for 8 hours at 20 V, formed an oxide film on the surface, washed and dried with water, and the capacity was measured in 40% sulfuric acid prepared separately. The results were 800 μF and 1140 μF, respectively, and the CV values of the tantalum powder were 107000 and 152000, respectively.

Claims (9)

胴部が円柱状であって円柱部の直径が0.03〜5mmであるニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれる1種の金属からなることを特徴とする脆化したニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の粉砕材用金属チップ。   Embrittlement characterized in that the body is made of one metal selected from niobium, tantalum having a cylindrical shape and a diameter of 0.03 to 5 mm, or an alloy containing any one of these metals as a main component. Metal chips for pulverized materials of niobium, tantalum or alloys mainly composed of any of these metals. 円柱部の長さが0.03〜5mmである請求項1に記載の金属チップ。   The metal tip according to claim 1, wherein the length of the cylindrical portion is 0.03 to 5 mm. 一部が窒化された請求項1または2のいずれかに記載の金属チップ。   3. The metal tip according to claim 1, wherein a part thereof is nitrided. ニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金から選ばれた1種の金属から作製された細線を脆化した後に切断または折り切することを特徴とするニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金からなるインゴットの粉砕材用金属チップの製造方法。   Niobium, tantalum or niobium, tantalum, or any one of these, characterized in that a thin wire made from one kind of metal selected from niobium, tantalum or an alloy containing any one of these metals as a main component is embrittled and then cut or folded A method for producing a metal tip for a pulverized material of an ingot made of an alloy containing as a main component a metal. 請求項1乃至3のいずれかに記載の金属チップを粉砕材として使用して、ニオブ、タンタル、これらいずれかの金属を主成分とする合金、またはこれら金属の混合物を脆化し粉砕することによってニオブ、タンタルまたはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉またはこれら金属の混合粉を作製後、脱脆化することを特徴とするコンデンサ用金属粉の製造方法。   Niobium by embrittlement and pulverization of niobium, tantalum, an alloy containing any one of these metals as a main component, or a mixture of these metals, using the metal tip according to claim 1 as a pulverizing material. A method for producing a metal powder for a capacitor, characterized in that, after producing a metal powder of an alloy containing tantalum or any one of these metals as a main component or a mixed powder of these metals, it is debrittled. 製造対象の金属粉と同一材質の金属チップを使用する請求項5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。   6. The method for producing metal powder for capacitors according to claim 5, wherein a metal chip made of the same material as the metal powder to be produced is used. 製造対象の金属粉がニオブ、またはニオブを主成分とする合金であり、金属チップとしてタンタルチップを使用する請求項5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。   6. The method of manufacturing metal powder for capacitors according to claim 5, wherein the metal powder to be manufactured is niobium or an alloy containing niobium as a main component, and a tantalum chip is used as the metal chip. 円柱部直径(及び長さ)が0.03〜5mmの範囲内で段階的に大きさの異なる複数種の金属チップを使用し、最初に円柱部直径の大きい金属チップでインゴット水素化物を粉砕した後、順次円柱部直径のより小さい金属チップを使用してインゴット水素化物を粉砕して、最後に使用した金属チップの円柱部直径の1/100〜1/150の金属粉を作製後、脱水素する請求項5記載のコンデンサ用金属粉の製造方法。   After using a plurality of types of metal tips whose diameters (and lengths) are in a range of 0.03 to 5 mm in stages, the ingot hydride is first pulverized with a metal tip having a large cylinder diameter, The ingot hydride is pulverized sequentially using metal chips having a smaller diameter of the cylindrical part, and metal powder having a diameter of 1/100 to 1/150 of the cylindrical part diameter of the last used metal chip is prepared and then dehydrogenated. Item 6. A method for producing metal powder for capacitors according to Item 5. 請求項1乃至3のいずれかに記載の金属チップを用いて作製したニオブ粉、タンタル粉、またはこれらいずれかの金属を主成分とする合金の金属粉、またはこれら金属粉の混合物。   A niobium powder, a tantalum powder produced using the metal tip according to any one of claims 1 to 3, or a metal powder of an alloy mainly containing any one of these metals, or a mixture of these metal powders.
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