JP3809435B2 - Electrode material for EDM - Google Patents

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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
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Description

本発明は、放電加工用の電極材料に関するものであるが、ワイヤ放電加工用のカットワイヤの電極材料は対象とせず、主として型彫り放電加工に用いられる加工電極用電極材料に関するものである。   The present invention relates to an electrode material for electric discharge machining, but does not include an electrode material for a cut wire for wire electric discharge machining, and relates to an electrode material for a machining electrode mainly used for die-sinking electric discharge machining.

放電加工においては、被加工物の加工速度が速いこと、及び放電加工用電極自体の消耗が少ないことが望まれてきた。同時にまた、被加工物には放電加工用電極の表面状態が転写されるため、放電加工用電極の表面や内部に巣がないこと、若しくは巣の大きさができるだけ小さいこと(使用目的にもよるが、例えば4μm以下)が望まれてきた。   In electric discharge machining, it has been desired that the machining speed of the workpiece is high and that the electric discharge machining electrode itself is less consumed. At the same time, the surface state of the electrode for electric discharge machining is transferred to the workpiece, so that there is no nest on the surface or inside of the electrode for electric discharge machining, or the size of the nest is as small as possible (depending on the purpose of use) However, for example, 4 μm or less) has been desired.

この様な要望を満たすために、様々な放電加工用電極材料の研究開発なされてきた。その中でもW−Cu合金及びW−Ag合金は、Wの高い融点や沸点と、Cu又はAgの高い熱伝導性並びに電気伝導性とを活かして、電極の消耗が少ない、従って精密加工や仕上げ加工に適した電極材料として、特に精密加工用途や超硬型の放電加工用途に適した放電加工用電極として使用されてきた。   In order to satisfy such a demand, various electrode materials for electric discharge machining have been researched and developed. Among them, the W-Cu alloy and the W-Ag alloy take advantage of the high melting point and boiling point of W and the high thermal conductivity and electrical conductivity of Cu or Ag to reduce the consumption of the electrodes. Has been used as an electrode material suitable for electric discharge machining, particularly as an electrode for electric discharge machining suitable for precision machining applications and carbide-type electric discharge machining applications.

これらのW−Cu合金及びW−Ag合金からなる放電加工用電極については、実際の放電加工現場において能率アップの要求が強いことから、電極の消耗を更に少なくし、加工速度を更に向上させて、放電加工特性を改善させることが検討されている。   Regarding the electric discharge machining electrode made of these W-Cu alloy and W-Ag alloy, since there is a strong demand for efficiency improvement at the actual electric discharge machining site, the consumption of the electrode is further reduced, and the machining speed is further improved. Improvement of electric discharge machining characteristics has been studied.

その具体例として、例えば特開昭63−195242号公報や特開昭50−109595号公報に記載されるように、W−Cu等の合金中にNaやK等のアルカリ金属元素、SrやCa等のアルカリ土類金属元素、又はこれらの酸化物を添加させることにより、合金の仕事関数を小さくし、加工速度を向上させた放電加工用電極材料が開発されている。   Specific examples thereof include alkali metal elements such as Na and K, Sr and Ca in an alloy such as W-Cu, as described in JP-A-63-195242 and JP-A-50-109595. An electrode material for electric discharge machining has been developed in which the work function of an alloy is reduced and the machining speed is improved by adding alkaline earth metal elements such as these or oxides thereof.

しかしながら、アルカリ金属元素やアルカリ土類金属元素、若しくはその酸化物を含むW−Cu合金の放電加工用電極は、確かにその仕事関数が低く、加工速度の向上等に改善が得られるものの、その放電加工特性は必ずしも十分ではなく、特に電極の耐消耗性及び加工速度の更なる改善向上が望まれていた。また、添加する金属成分の中には毒性があるものや、吸湿性があるものがあるため、取り扱いが不便であり、製造が困難であるという欠点もあった。   However, the W-Cu alloy electric discharge machining electrode containing an alkali metal element, an alkaline earth metal element, or an oxide thereof certainly has a low work function and can improve the processing speed. Electrical discharge machining characteristics are not always sufficient, and in particular, further improvement and improvement in electrode wear resistance and machining speed have been desired. In addition, some of the metal components to be added are toxic or hygroscopic, so that they are inconvenient to handle and difficult to manufacture.

特開昭63−195242号公報JP-A-63-195242 特開昭50−109595号公報Japanese Patent Laid-Open No. 50-109595

本発明は、このような従来の事情に鑑み、W−Cu合金からなる放電加工用電極材料であって、従来よりも電極の消耗が少なく且つ加工速度が速く、放電加工特性に優れた放電加工用電極材料を提供することを目的とする。   In view of such conventional circumstances, the present invention is an electrode material for electric discharge machining made of a W-Cu alloy, which consumes less electrode and has a higher machining speed than conventional ones, and has excellent electric discharge machining characteristics. An object of the present invention is to provide an electrode material.

ただし、本発明は、主に型彫り放電加工用のW−Cu合金からなる電極材料を提供するものであり、ワイヤ放電加工用の電極、いわゆるカットワイヤは対象としていない。尚、カットワイヤは純Cuや純Wが主に用いられるのに対し、本発明の電極材料はW−Cu合金からなり、その組成並びに製造法において異なる。また、その使用上の目的から、カットワイヤでは加工速度の他に、ワイヤの真直性や高温度での強度、カットワイヤの断線回数を低減させる必要があるが、本発明ではこれらを目的としていない。   However, the present invention mainly provides an electrode material made of a W-Cu alloy for die-sinking electric discharge machining, and does not target electrodes for wire electric discharge machining, so-called cut wires. The cut wire is mainly made of pure Cu or pure W, whereas the electrode material of the present invention is made of a W—Cu alloy, which differs in composition and manufacturing method. In addition, for the purpose of use, it is necessary to reduce the straightness of the wire, the strength at high temperature, and the number of breaks of the cut wire in addition to the processing speed, but the present invention does not aim at these. .

本発明者らは、上記目的を達成するため、W−Cu合金の試作とその評価を通じて、その放電現象を詳細に研究した。その結果、W−Cu合金はCuの部分とWの部分とから成り立っているため、放電現象が安定しないことが分った。つまり、CuとWでは熱伝導率などの物理的特性が異なるため、W−Cu合金組成の局部的不均一さに起因して、アーク挙動が不安定になっていた。   In order to achieve the above object, the present inventors have studied the discharge phenomenon in detail through trial manufacture of a W-Cu alloy and its evaluation. As a result, it was found that the discharge phenomenon is not stable because the W—Cu alloy is composed of a Cu portion and a W portion. That is, since the physical characteristics such as thermal conductivity are different between Cu and W, the arc behavior has become unstable due to local non-uniformity in the W-Cu alloy composition.

この問題を解消するために、各種の添加元素及びその化合物について鋭意検討を繰り返した結果、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素などの仕事関数の小さな元素、又はこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物など添加し、且つその平均粒径を小さくすることによって、アーク挙動が安定することを見出した。アーク挙動が安定して、放電現象が起こりやすくなった結果、電極の耐消耗率が改善され、同時に放電加工速度も向上することを確認し、本発明に至ったものである。   In order to solve this problem, as a result of intensive studies on various additive elements and compounds thereof, elements having a small work function such as alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, or oxides of these elements It has been found that by adding hydroxide, nitride, boride, sulfide, etc. and reducing the average particle size, the arc behavior is stabilized. As a result of stabilizing the arc behavior and facilitating the electric discharge phenomenon, it was confirmed that the wear resistance rate of the electrode was improved and at the same time the electric discharge machining speed was improved, and the present invention was achieved.

即ち、本発明が提供する第1の放電加工用電極材料は、40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒径が3μm未満であることを特徴とするものである。   That is, the first electrode material for electric discharge machining provided by the present invention is a W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or a compound thereof, and the balance Cu. As the additive element or a compound thereof, at least one selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is 10 It is characterized by containing no more than wt% and having an average particle size of less than 3 μm.

また、W−C合金に添加するアルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素などの仕事関数の小さな添加元素、又はその化合物の粒子の粒径を小さくする代わりに、これらの粒子の間隔である粒子間距離を小さくすることによっても、同様の効果が得られることが分った。一般には、微粉末を用いると粒子間距離は小さくなる傾向にあるが、粒子が大きくても粒子間距離を小さく取れる場合には、同様の効果が期待できる。   In addition, instead of reducing the particle size of the additive element having a small work function, such as an alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, or a compound thereof added to the WC alloy, the interval between these particles is changed. It has been found that the same effect can be obtained by reducing the distance between certain particles. In general, when fine powder is used, the distance between particles tends to be small, but the same effect can be expected when the distance between particles can be small even if the particles are large.

かかる知見に基づき、本発明が提供する第2の放電加工用電極材料は、40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒子間距離が20μm以下であることを特徴とするものである。   Based on this knowledge, the second electrode material for electric discharge machining provided by the present invention is a W—Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or a compound thereof, and the balance of Cu. The additive element or compound thereof is at least one selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. It contains 10% by weight or less of seeds, and the average interparticle distance of the particles is 20 μm or less.

尚、上記本発明の第1及び第2の放電加工用電極材料の特徴を兼ね備えることもできる。即ち、本発明が提供する第3の放電加工用電極材料は、40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒径が3μm未満であり且つ平均粒子間距離が20μm以下であることを特徴とする。   In addition, the characteristics of the first and second electrode materials for electric discharge machining of the present invention can be combined. That is, the third electrode material for electric discharge machining provided by the present invention is a W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or a compound thereof, and the balance Cu. As the additive element or a compound thereof, at least one selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is 10 The average particle diameter of the particles is less than 3 μm, and the average interparticle distance is 20 μm or less.

上記本発明の各放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子は、その平均粒径が1μm未満であることが好ましい。また、上記本発明の各放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子は、その平均粒子間距離が10μm以下であることが好ましい。   Each of the electrode materials for electric discharge machining of the present invention is selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. The at least one kind of particles preferably has an average particle size of less than 1 μm. Further, in each electrode material for electric discharge machining of the present invention, the alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. The at least one selected particle preferably has an average interparticle distance of 10 μm or less.

また、上記添加元素又はその化合物の粒子について、その一部の粒径が細かい場合にも、同様の効果が得られることが分った。即ち、本発明が提供する第4の放電加工用電極材料は、40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒径が3μm以下の粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする。   Further, it has been found that the same effect can be obtained even when the particle size of some of the additive elements or the compounds thereof is small. That is, the fourth electrode material for electric discharge machining provided by the present invention is a W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or a compound thereof, and the balance Cu. As the additive element or a compound thereof, at least one selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is 10 It is characterized in that it contains 0.3% by weight or more of the whole alloy containing particles of 3% by weight or less with a particle size of 3% or less.

上記本発明の第4の放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒径が3μm以下の粒子を合金全体の0.6重量%以上含むこと、あるいは、その粒径が1μm以下の粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことが好ましい。   In the fourth electric discharge machining electrode material of the present invention, the alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. It is at least one selected and contains particles having a particle size of 3 μm or less of 0.6% by weight or more of the whole alloy, or particles having a particle size of 1 μm or less of 0.3% by weight of the whole alloy. It is preferable to include the above.

更に、上記添加元素又はその化合物の粒子について、その一部の粒子間距離が小さい場合にも、同様の効果が得られることが分った。即ち、本発明が提供する第5の放電加工用電極材料は、40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子間距離が20μm以下である粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする。   Furthermore, it has been found that the same effect can be obtained even when the distance between some of the particles of the additive element or the compound thereof is small. That is, a fifth electric discharge machining electrode material provided by the present invention is a W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or a compound thereof, and the balance Cu. As the additive element or a compound thereof, at least one selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is 10 It is characterized in that it contains 0.3% by weight or more of the whole alloy containing particles of not more than% by weight and having an interparticle distance of 20 μm or less.

上記本発明の第5の放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒子間距離が10μm以下である粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことが好ましく、合金全体の0.7重量%以上含むことが更に好ましい。   In the fifth electric discharge machining electrode material of the present invention, the alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. It is preferable that at least one selected particle having an interparticle distance of 10 μm or less is contained in an amount of 0.3% by weight or more of the whole alloy, and more preferably 0.7% by weight or more of the whole alloy.

上記した本発明の各放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子が、Cu中に存在することが好ましい。また、同じく、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子が、W粒子中に部分的に存在することが好ましい。   In each of the above-described electrode materials for electric discharge machining of the present invention, the alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements are selected. The at least one kind of particles preferably exist in Cu. Similarly, at least one particle selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is W It is preferably present partially in the particles.

また、上記した本発明の各放電加工用電極材料においては、前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物が、Ba、Nd、Ce、Y、Ca、K、又はその酸化物、水酸化物の少なくとも1種であることが好ましい。また、W粒子がKを含む場合でも良い。例えば、KがW中にドープされていてもかまわない。K以外に他の元素、例えばAlなどがKと共にドープされていても良い。   Further, in each of the electrode materials for electric discharge machining of the present invention described above, the alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. Is preferably Ba, Nd, Ce, Y, Ca, K, or an oxide or hydroxide thereof. Moreover, the case where W particle | grains contain K may be sufficient. For example, K may be doped in W. In addition to K, other elements such as Al may be doped together with K.

更に、上記した本発明の各放電加工用電極材料では、前記Wは粒径1μm以下の粒子が全W粒子の30重量%以上であることが好ましい。また、前記Cuの一部に代えて、更に10重量%以下のNiを含むことができる。   Furthermore, in each of the electrode materials for electric discharge machining of the present invention described above, it is preferable that the W has a particle size of 1 μm or less of 30% by weight or more of the total W particles. Further, in place of a part of the Cu, it may further contain 10% by weight or less of Ni.

本発明において、W−Cu合金中におけるW粒子の粒径の測定方法は下記のようにして行う。合金の任意断面を走査電子顕微鏡観察により1500倍の写真を撮影し、これをコピー機にて4倍に拡大複写する。この拡大した写真内に長さが20cmの線分を任意に引き、この線分と交差したW粒子について、その交差した長さを測定する。この作業を測定数が500個になるまで繰り返し、500個の測定長さの平均値をもってW粒子の平均粒径とする。   In the present invention, the method for measuring the particle size of W particles in the W—Cu alloy is performed as follows. An arbitrary cross section of the alloy is photographed at a magnification of 1500 by scanning electron microscope observation, and this is magnified by 4 times with a copying machine. A line segment having a length of 20 cm is arbitrarily drawn in the enlarged photograph, and the intersecting length of the W particles intersecting with the line segment is measured. This operation is repeated until the number of measurements reaches 500, and the average value of the 500 measurement lengths is taken as the average particle diameter of the W particles.

また、W−Cu合金中に含まれるアルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、又はこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物の粒子についても、その粒径の測定方法は上記W粒子の場合と同様に合金の任意断面の走査電子顕微鏡観察により行う。ただし、倍率5000倍で撮影した写真で粒径を測定し、任意の500個の平均値をもって粒子の平均粒径とする。また、各粒子の粒子間距離は、任意の粒子から最も近い粒子までの距離を測定して求め、上記任意の500個の平均値をもって粒子の平均粒子間距離とする。   Also, the particles of alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, or oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements contained in the W-Cu alloy The diameter is measured by scanning electron microscope observation of an arbitrary cross section of the alloy as in the case of the W particles. However, the particle diameter is measured with a photograph taken at a magnification of 5000 times, and an average value of 500 arbitrary particles is taken as the average particle diameter of the particles. Further, the interparticle distance of each particle is obtained by measuring the distance from an arbitrary particle to the nearest particle, and the average value of the arbitrary 500 particles is defined as the average interparticle distance of the particles.

尚、上記粒子の粒径の測り方としては、いわゆる面分析をもって行う。即ち、面分析にて検出された白斑点の粒子の直径を測り、分析上の誤差の部分を考慮して、即ち、分析を行うために電子ビームを当てている領域よりも特性Xを拾い取る試料表面における領域の広さが約1.5μm分だけ広がることを想定して、白斑点の測定値から3μmを引いた数字をもってその粒子の粒径とする。例えば、白斑点の測定値が6μmであれば、その粒径は3μmであると算出する。もし、白斑点が3μm未満である場合には、粒径が1μm未満の小さな粒子であると考える。また、楕円形に観察される場合には、その短軸を測定して粒径を求める。平均粒径は、この様にして求めた粒子の粒径を算術平均して求める。   In addition, as a method of measuring the particle size of the particles, so-called surface analysis is performed. That is, the diameter of the white spot particle detected by the surface analysis is measured, and the characteristic X is picked up in consideration of the error portion in the analysis, that is, from the region where the electron beam is applied for the analysis. Assuming that the area of the sample surface is expanded by about 1.5 μm, the particle size is determined by subtracting 3 μm from the measured value of vitiligo spots. For example, if the measured value of vitiligo spots is 6 μm, the particle size is calculated to be 3 μm. If the white spot is less than 3 μm, it is considered to be a small particle having a particle size of less than 1 μm. In addition, in the case of observing an elliptical shape, the particle size is obtained by measuring the minor axis. The average particle diameter is obtained by arithmetically averaging the particle diameters thus obtained.

本発明によれば、W−Cu合金からなる放電加工用電極材料について、従来よりも電極の消耗を減少させ、且つ加工速度を向上させることができ、放電加工特性に優れた主として型彫り放電加工に用いられる放電加工用電極材料を提供することができる。   According to the present invention, with respect to an electrode material for electric discharge machining made of a W-Cu alloy, it is possible to reduce electrode consumption and increase the machining speed as compared with the prior art, mainly die-cut electric discharge machining excellent in electric discharge machining characteristics. It is possible to provide an electrode material for electric discharge machining used in the above.

本発明の放電加工用電極材料におけるW−Cu合金は、基本的には、40重量%以上のWと残部のCuとからなり、15重量%以下の添加元素又はその化合物を含んでいる。特に型彫り放電加工用の電極においては、放電加工特性並びに製造し易さ等を考慮すると、W濃度が60〜80重量%であることが望ましい。尚、このW−Cu合金には、上記以外に不可避的不純物も含まれている。   The W—Cu alloy in the electrode material for electric discharge machining according to the present invention basically comprises 40% by weight or more of W and the balance of Cu, and contains 15% by weight or less of an additive element or a compound thereof. In particular, in an electrode for die-sinking electric discharge machining, it is desirable that the W concentration is 60 to 80% by weight in consideration of electric discharge machining characteristics and ease of manufacture. In addition to the above, this W-Cu alloy contains unavoidable impurities.

本発明の放電加工用電極材料は、上記W−Cu合金の添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、又はこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物の少なくとも1種を含有している。これらの必須の添加元素又は添加化合物の含有量は10重量%以下とし、0.5〜5重量%の範囲が好ましい。上記添加元素及びその化合物の含有量が10重量%を超えると、放電加工用電極自体の機械加工性が低下するので好ましくない。尚、これら必須の添加元素又は添加化合物を含め、W−Cu合金中に含まれる添加元素及びその化合物の量は、合計で15重量%以下とする。   The electrode material for electric discharge machining of the present invention is an alkali metal element, an alkaline earth metal element, a rare earth element, or an oxide, hydroxide, or nitride of these elements as an additive element of the W-Cu alloy or a compound thereof. , Borides and sulfides. The content of these essential additive elements or additive compounds is 10% by weight or less, preferably in the range of 0.5 to 5% by weight. When the content of the additive element and the compound exceeds 10% by weight, the machinability of the electric discharge machining electrode itself is deteriorated, which is not preferable. The total amount of additive elements and compounds contained in the W-Cu alloy including these essential additive elements or additive compounds is 15% by weight or less.

上記必須の添加元素又は添加化合物、即ちアルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、又はその酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物は、W−Cu合金中に粒子として存在する。この粒子の平均粒径は3μm未満とする必要があり、より好ましくは1μm未満である。上記粒子の平均粒径が3μm以上になると、放電加工特性が低下し、特に電極の耐消耗性が著しく低下する。   The above-mentioned essential additive elements or additive compounds, that is, alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, or oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides thereof as particles in the W-Cu alloy. Exists. The average particle size of these particles needs to be less than 3 μm, more preferably less than 1 μm. When the average particle size of the particles is 3 μm or more, the electrical discharge machining characteristics are deteriorated, and particularly the wear resistance of the electrode is remarkably reduced.

また、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、又はその酸化物等の上記必須の添加元素又は添加化合物の粒子は、その平均粒子間距離を小さくすることによっても、放電加工特性が改善され、電極の耐消耗性が向上する。これらの粒子の平均粒子間距離は小さいほど好ましく、具体的には20μm以下であることが必要であり、10μm以下であることが好ましい。この平均粒子間距離が20μmを越えると、電極の耐消耗性や加工速度特性の改善効果が乏しいからである。   In addition, the above-mentioned essential additive elements or additive compounds such as alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, or oxides thereof have improved electrical discharge machining characteristics by reducing the average interparticle distance. As a result, the wear resistance of the electrode is improved. The average interparticle distance of these particles is preferably as small as possible, specifically 20 μm or less, and preferably 10 μm or less. This is because if the average interparticle distance exceeds 20 μm, the effect of improving the electrode wear resistance and processing speed characteristics is poor.

また、上記必須の添加元素又は添加化合物の粒子について、その平均粒径ではなく、粒子の一部であっても粒径が細かければ、放電加工特性が改善され、電極の耐消耗性を向上させることができる。その場合、これらの粒子のうち、その粒径が3μm以下の粒子が、合金全体の0.3重量%以上含まれていることが必要であり、合金全体の0.6重量%以上含まれていることが好ましい。同様に、これらの粒子のうち、その粒径が1μm以下の粒子が、合金全体の0.3重量%以上含まれている場合も好ましい。   In addition, for the particles of the above essential additive element or additive compound, the electrical discharge machining characteristics are improved and the electrode wear resistance is improved if the particle diameter is small even if it is a part of the particles, not the average particle diameter. Can be made. In that case, among these particles, particles having a particle size of 3 μm or less are required to be contained in an amount of 0.3% by weight or more of the whole alloy, and are contained in an amount of 0.6% by weight or more of the whole alloy. Preferably it is. Similarly, among these particles, a particle having a particle size of 1 μm or less is preferably contained in an amount of 0.3% by weight or more of the entire alloy.

また、上記必須の添加元素又は添加化合物の粒子について、その粒子間距離ではなく、粒子の一部であっても粒子間距離が小さければ、放電加工特性が改善され、電極の耐消耗性を向上させることができる。その場合、これらの粒子のうち、その粒子間距離が20μm以下である粒子が、合金全体の0.3重量%以上含まれていることが必要である。更に、その粒子間距離が10μm以下である粒子が、合金全体の0.3重量%以上含まれていることが好ましく、合金全体の0.7重量%以上含まれていることが更に好ましい。   In addition, for the particles of the above essential additive element or additive compound, the electrical discharge machining characteristics are improved and the electrode wear resistance is improved if the interparticle distance is small even if part of the particles, not the interparticle distance. Can be made. In that case, among these particles, it is necessary that particles having an interparticle distance of 20 μm or less are contained in an amount of 0.3% by weight or more of the entire alloy. Furthermore, it is preferable that the particle | grains whose particle distance is 10 micrometers or less are contained 0.3 weight% or more of the whole alloy, and it is still more preferable that 0.7 weight% or more of the whole alloy is contained.

アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、又はその化合物からなる粒子の粒径や粒子間距離を小さくする方法としては、これらの原料粉末として粒径の小さな粉末を使用したり、原料粉末の混合時間を長くしたりする方法が簡単であり好ましい。例えば、通常の混合時間は5時間程度であるが、その3倍以上の混合時間とすることで、粒子の分散が向上して、平均粒子間距離を20μm以下とすることができる。また、上記必須の添加元素又は添加化合物の濃度を高くすることによっても、平均粒子間距離を小さくすることができる。   As a method for reducing the particle size and the distance between particles of alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, or a compound thereof, a powder having a small particle size is used as the raw material powder, or the raw material powder The method of increasing the mixing time is simple and preferable. For example, the normal mixing time is about 5 hours. By setting the mixing time to 3 times or more, the dispersion of the particles can be improved, and the average interparticle distance can be made 20 μm or less. The average interparticle distance can also be reduced by increasing the concentration of the essential additive element or additive compound.

更に微細で均一な粒子の分散状態を得る方法として、上記原料粉末を混合する際に、共沈法による混合方法や、いわゆるメカニカルアロイング法を用いることが効果的である。特にメカニカルアロイング法は有効であり、溶剤としてアルコール等の有機溶剤を少量含む湿式でも、溶剤を含まない乾式でも良いが、乾式で行うことがより効果的であり、典型的なメカニカルアロイング法は乾式で行う。通常はArガス雰囲気中で行い、水分や有機溶剤を除去した状態で行う。酸素や窒素は通常有害であり、これらの濃度が高い場合にはメカニカルアロイングの効果が小さい。メカニカルアロイング法は、単なる粉末の混合法ではなく、その混合段階の経過後に、粉末粒子の一粒一粒を、配合した粉末種からなる合金粉末にする方法である。通常耐熱合金を作製する方法として用いられたり、アモルファス粉末を得る方法として用いられている。本発明者らは、鋭意研究の結果、この方法が放電加工特性の向上に有効であることを見出した。具体的には、アトライター、振動ミルやボールミル等により、W粉末やCu粉末と共に、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びその酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子をメカニカルアロイングすることにより、これらの粒子をW−Cu合金中に均一微細に分散させることができる。   Further, as a method for obtaining a fine and uniform dispersed state of particles, it is effective to use a coprecipitation method or a so-called mechanical alloying method when mixing the raw material powder. The mechanical alloying method is particularly effective, and it may be a wet type that contains a small amount of an organic solvent such as alcohol as a solvent, or a dry type that does not contain a solvent. Is done dry. Usually, it is carried out in an Ar gas atmosphere, with the moisture and organic solvent removed. Oxygen and nitrogen are usually harmful, and when these concentrations are high, the effect of mechanical alloying is small. The mechanical alloying method is not a simple powder mixing method, but a method in which each powder particle is made into an alloy powder composed of a blended powder seed after the mixing stage. It is usually used as a method for producing a heat-resistant alloy or as a method for obtaining an amorphous powder. As a result of intensive studies, the present inventors have found that this method is effective in improving the electric discharge machining characteristics. Specifically, by means of an attritor, vibration mill, ball mill, etc., together with W powder and Cu powder, alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides thereof, By mechanically alloying at least one kind of particles selected from sulfides, these particles can be uniformly and finely dispersed in the W-Cu alloy.

このメカニカルアロイング法によれば、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びその酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子について、その粒径を0.5μm以下にすることができ、効果的にメカニカルアロイングを行うと0.2μm程度にすることが可能である。また、粒子の粒子間距離に関しては、5μm以下にすることができ、効果的にメカニカルアロイングを行うと2μm以下にすることもできる。また、メカニカルアロイング法によれば、特に微細なW粒子を得やすい。即ち、メカニカルアロイングとそれに続く焼結を含む熱処理により、微細なW粒子を形成させることができる。尚、焼結方法は、押出しやHIP(熱間静水圧成形)であってもよい。このような添加元素及び添加化合物の粒子の微細化及び均一化に伴って、放電加工用電極としての特性はより一層好ましいものになる。   According to this mechanical alloying method, at least one particle selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides thereof, The particle size can be reduced to 0.5 μm or less, and if effective mechanical alloying is performed, it can be reduced to about 0.2 μm. Further, the distance between the particles can be set to 5 μm or less, and can be set to 2 μm or less when mechanical alloying is performed effectively. Moreover, according to the mechanical alloying method, it is easy to obtain particularly fine W particles. That is, fine W particles can be formed by heat treatment including mechanical alloying and subsequent sintering. The sintering method may be extrusion or HIP (hot isostatic pressing). As the additive element and additive compound particles become finer and more uniform, the characteristics as an electrode for electric discharge machining become even more favorable.

また、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子は、W粒子中にあるよりも、Cu中に存在することによって、その効果がより効果的に発揮される。例えば、Ce、Ba等は、これらの元素とWとの複合酸化物の状態にせずに、これらの元素又はその化合物がCu中に分散していることが好ましい。尚、原料粉末として、これらの元素とWとの化合物粉末を用いないで、これらの元素粉末及びその化合物粉末を用いることで、その添加元素又は化合物の粒子をCu中に分散させることができる。   Further, at least one kind of particles selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements are included in the W particles. The effect is exhibited more effectively by being present in Cu than there is. For example, Ce, Ba, and the like are preferably dispersed in Cu without being in the state of a complex oxide of these elements and W. In addition, without using the compound powder of these elements and W as a raw material powder, the particle | grains of the additional element or compound can be disperse | distributed in Cu by using these element powder and its compound powder.

更には、上記メカニカルアロイング法を行うことによって、その処理条件にもよるが、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子を、Cu中やW粒子中に分散させることができる。メカニカルアロイングの処理条件によっては、Cu中やW粒子中に均一に分散させることもできるが、Cu中及び/又はW粒子中の組織の一部に部分的に分散している状態でも、放電加工用電極としての特性が改善される。勿論、WやCuと化合物を形成する必要は必ずしもなく、これら粒子が分散している状態で十分である。   Furthermore, by performing the mechanical alloying method, depending on the processing conditions, alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borons of these elements. At least one kind of particles selected from a chemical compound and a sulfide can be dispersed in Cu or W particles. Depending on the processing conditions of mechanical alloying, it can be uniformly dispersed in Cu or W particles, but even in a state where it is partially dispersed in a part of the structure in Cu and / or W particles. The characteristics as a processing electrode are improved. Of course, it is not always necessary to form a compound with W or Cu, and it is sufficient that these particles are dispersed.

従って、本発明の各放電加工用電極材料においては、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子が、Cu中に分散して存在することが好ましい。W粒子への分散に関しても、これら添加元素及び添加化合物の少なくとも1種の粒子が、少なくとも一部のW粒子中に含まれていることが好ましいが、全てのW粒子中に含まれる必要はない。また、個々のW粒子についても、粒子内全体にわたって分散されている必要はなく、粒子内の一部に部分的に存在する状態であれば、特性の改善を望むことができる。   Therefore, each electrode material for electric discharge machining of the present invention is selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements. In addition, it is preferable that at least one kind of particles are dispersed in Cu. Regarding dispersion to W particles, it is preferable that at least one kind of particles of these additive elements and additive compounds is contained in at least some W particles, but it is not necessary to be contained in all W particles. . Further, the individual W particles do not need to be dispersed throughout the particle, and improvement in characteristics can be desired as long as the particles partially exist in a part of the particle.

上記必須の添加元素であるアルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素の中で、粒径や粒子間距離の微細化の効果が発揮されやすい元素としては、アルカリ金属元素ではNa、K、アルカリ土類金属元素ではCa、Sr、Ba、希土類元素ではY、Ce、Ndがある。しかし、これらに限らず、仕事関数が小さく、電気陰性度の小さい元素は、電極の耐消耗性や加工速度の改善に有効である。特に、Ba、Nd、Ce、Y、Ca、K、及びそれらの酸化物、水酸化物が優れている。また、一般に電気陰性度の小さい元素の方が添加の効果は高く、アルカリ土類金属元素ではBa以上の原子量のものが特に有効である。   Among the essential additive elements, alkali metal elements, alkaline earth metal elements, and rare earth elements, the elements that can easily exert the effect of miniaturizing the particle size and the distance between the particles include alkali metal elements such as Na, K, Alkaline earth metal elements include Ca, Sr, Ba, and rare earth elements include Y, Ce, and Nd. However, the present invention is not limited thereto, and an element having a small work function and a small electronegativity is effective in improving the wear resistance and processing speed of the electrode. In particular, Ba, Nd, Ce, Y, Ca, K, and oxides and hydroxides thereof are excellent. In general, an element having a low electronegativity has a higher effect of addition, and an alkaline earth metal element having an atomic weight of Ba or more is particularly effective.

また、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子について、粒径や平均粒径及び粒子間距離や平均粒子間距離を小さくすると同時に、W粒子を微細にすることによって、W−Cu合金組織の局所的不均一さが更に軽減され、電極の耐消耗性を一層改善することができる。そのためには、粒径1μm以下のW粒子が、全W粒子の30重量%以上となるように配合することが好ましい。尚、微細なW粒子を得るには、微細なW粒子の原料粉末を用いる方法以外に、上記のメカニカルアロイング法が特に有効である。本発明における合金系の場合、粉末を500℃以上の温度にて水素還元して水分や有機溶剤を除去してから、Ar雰囲気中でメカニカルアロイング処理を行うが、雰囲気中の酸素濃度は60ppm以下とすることが必要である。これ以上では、メカニカルアロイング途中で起るべき粉末同士の凝着と粉砕のバランスが悪く、良好な微細組織が得られない。   Further, for at least one kind of particles selected from alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, By reducing the particle size, the inter-particle distance and the average inter-particle distance, and simultaneously making the W particles fine, local non-uniformity of the W-Cu alloy structure is further reduced, and the wear resistance of the electrode is further improved. be able to. For that purpose, it is preferable to mix | blend W particle | grains with a particle size of 1 micrometer or less so that it may become 30 weight% or more of all the W particle | grains. In order to obtain fine W particles, the mechanical alloying method described above is particularly effective in addition to the method using raw powder of fine W particles. In the case of the alloy system in the present invention, the powder is reduced by hydrogen at a temperature of 500 ° C. or higher to remove moisture and organic solvent, and then mechanical alloying treatment is performed in an Ar atmosphere. The oxygen concentration in the atmosphere is 60 ppm. It is necessary to: Above this, the balance between adhesion and pulverization of powders that should occur during mechanical alloying is poor, and a good microstructure cannot be obtained.

添加元素であるアルカリ土類金属元素やアルカリ金属元素、希土類元素等の中には、焼結性を阻害する作用を持つものがある。その場合には、焼結促進効果のあるNiを、Cuの一部に代えて(即ち、Niは前記添加元素に含めない)、合金中に添加することが望ましい。W−Cu合金中におけるNiの含有量が10重量%を超えると、Niが電気伝導率を低下させ、放電加工特性が劣化するため好ましくない。   Some additive elements such as alkaline earth metal elements, alkali metal elements, and rare earth elements have the effect of inhibiting sinterability. In that case, it is desirable to add Ni having an effect of promoting the sintering to the alloy in place of a part of Cu (that is, Ni is not included in the additive element). If the Ni content in the W-Cu alloy exceeds 10% by weight, Ni lowers the electrical conductivity and deteriorates the electrical discharge machining characteristics, which is not preferable.

本発明のW−Cu合金からなる放電加工用電極材料を製造するには、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粉末と、Cu粉末及び/又はW粉末を含む原料粉末を、通常のごとく混合するか、より好ましい混合方法として、共沈法による混合方法、あるいは乾式にて強混合するメカニカルアロイング法を用いる。   In order to produce an electrode material for electric discharge machining comprising the W-Cu alloy of the present invention, alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides of these elements At least one powder selected from sulfides and a raw material powder containing Cu powder and / or W powder are mixed as usual, or as a more preferable mixing method, a coprecipitation method or a dry method is used. The mechanical alloying method is used.

即ち、上述のごとく混合した原料粉末を用いて、下記する通常の焼結法や溶浸法により、W−Cu合金からなる放電加工用電極材料を製造することができる。焼結法の場合には、例えば、平均粒径1μm以下の粉末を30重量%以上含むW粉末と、平均粒径1μmのBaO粉末を原料とし、これらをCu粉末と混合して所望の最終合金組成とする。この混合粉末を型押し後、水素雰囲気中にてCuの融点以上の温度で加熱して焼結する。   That is, using the raw material powder mixed as described above, an electrode material for electric discharge machining made of a W—Cu alloy can be produced by the following ordinary sintering method or infiltration method. In the case of the sintering method, for example, a W powder containing 30% by weight or more of a powder having an average particle diameter of 1 μm or less and a BaO powder having an average particle diameter of 1 μm as raw materials are mixed with Cu powder to obtain a desired final alloy. The composition. This mixed powder is stamped and then heated and sintered in a hydrogen atmosphere at a temperature equal to or higher than the melting point of Cu.

また、溶浸法の場合には、原料粉末の混合の際に、最終合金組成とする代わりに、Cuを除いた組成にするか又は例えばW−2〜3重量%Cuの組成とし、その混合粉末を型押しする。この型押し体を、Cuの融点以上の温度において、Cuの溶融液体中に浸漬する等の手段により、型押し体にCuを浸み込ませると同時に焼結する。また、型押し体を焼結してから、その焼結体内にCuを溶浸する方法等もある。   Further, in the case of the infiltration method, when mixing the raw material powder, instead of setting it as the final alloy composition, a composition excluding Cu or a composition of, for example, W-2 to 3% by weight Cu, is mixed. Emboss the powder. This embossed body is sintered at the same time as Cu is immersed in the embossed body by means such as immersing in a molten liquid of Cu at a temperature equal to or higher than the melting point of Cu. There is also a method of infiltrating Cu into the sintered body after sintering the embossed body.

[実施例1]
原料粉末として、0.5〜16μmの粒度分布を持つW粉末と、Cu粉末と、平均粒径が1.1μm及び3.0μmのBaO粉末を用い、これらを配合した粉末をアトライターにて5時間混合した。得られた混合粉末を型押し後、この型押し体に純Cu粉末を型押しした材料を接触させ、水素雰囲気中にて1200℃で加熱して焼結同時にCuを溶浸し、最終合金組成がW−30重量%Cu−0.77重量%BaOの下記表1に示す試料1〜3の各W−Cu合金を作製した。
[Example 1]
As a raw material powder, W powder having a particle size distribution of 0.5 to 16 μm, Cu powder, and BaO powder having average particle diameters of 1.1 μm and 3.0 μm were used. Mixed for hours. After the obtained mixed powder is embossed, a material obtained by embossing pure Cu powder is brought into contact with this embossed body, heated at 1200 ° C. in a hydrogen atmosphere, and infiltrated with Cu at the same time as sintering. Each W-Cu alloy of Samples 1-3 shown in the following Table 1 of W-30 wt% Cu-0.77 wt% BaO was produced.

これとは別に、平均粒径が0.6μm及び4.0μmのBaO粉末を用い、粉末をより均一に分散させて粒子間距離を短くするため15時間混合した以外は上記試料1〜3と同一の製造条件により、W−Cu合金の最終合金組成が、平均粒径0.6μmのBaO粉末についてはW−31重量%Cu−2.4重量%BaOの試料4を、平均粒径4.0μmのBaO粉末についてはW−32重量%Cu−4.15重量%BaOの試料5を作製した。また、上記W粉末、Cu粉末、及び平均粒径が0.9μmのBaO粉末に、更にNi粉末を配合した以外は上記試料1〜3と同様にして、最終合金組成がW−30重量%Cu−0.77重量%BaO−1.2重量%Niである試料6のW−Cu合金を作製した。   Apart from this, it is the same as the above samples 1 to 3 except that BaO powder having an average particle size of 0.6 μm and 4.0 μm is used and mixed for 15 hours in order to further disperse the powder and shorten the distance between particles. For the BaO powder having an average particle diameter of 0.6 μm, the sample 4 of W-31 wt% Cu-2.4 wt% BaO is used as the final alloy composition of the W—Cu alloy, and the average particle diameter is 4.0 μm. Sample 5 of W-32 wt% Cu-4.15 wt% BaO was prepared for the BaO powder. Further, the final alloy composition was W-30 wt% Cu in the same manner as in Samples 1 to 3 except that the W powder, Cu powder, and BaO powder having an average particle size of 0.9 μm were further mixed with Ni powder. A W-Cu alloy of Sample 6 that was -0.77 wt% BaO-1.2 wt% Ni was prepared.

更に、比較例として、平均粒径が4.4μmのBaO粉末を用いた以外は上記試料1〜3と同一の条件により、最終合金組成が同じW−30重量%Cu−0.77重量%BaOである試料7のW−Cu合金を作製した。   Further, as a comparative example, the final alloy composition is the same as W-30 wt% Cu-0.77 wt% BaO under the same conditions as those of Samples 1 to 3 except that BaO powder having an average particle diameter of 4.4 μm was used. A W—Cu alloy of Sample 7 was prepared.

このようにして作製した試料1〜7の各W−Cu合金について、その断面を走査型電子顕微鏡で観察し、BaO粒子の平均粒径と平均粒子間距離、及び粒径1μm以下のW粒子の全W粒子に占める割合(重量%)を求め、得られた結果を下記表1に示した。また、試料1〜7の各W−Cu合金からなる電極を用いて、放電加工特性の評価を実施した。即ち、電極を陰極とし、15×15mmの電極が被加工物(工作物)であるWC−10〜15重量%Co超硬合金に15×5mmの面だけかかるように対向させて、4mmの深さまで型彫り放電加工を行い、そのときの電極消耗率と加工速度を評価した。尚、電極消耗率は、被加工物の加工体積を分母とし、電極の消耗体積を分子として算出した。また、加工速度は、被加工物の加工体積を1分間当たりの数値で示したものである。得られた結果を下記表1に併せて示した。   The cross sections of the W-Cu alloys of Samples 1 to 7 thus prepared were observed with a scanning electron microscope, and the average particle diameter and average interparticle distance of BaO particles and the W particles having a particle diameter of 1 μm or less were observed. The ratio (weight%) in the total W particles was determined, and the obtained results are shown in Table 1 below. Moreover, the electrical discharge machining characteristics were evaluated using the electrodes made of the respective W—Cu alloys of Samples 1 to 7. That is, the electrode is a cathode, and a 15 × 15 mm electrode faces a WC-10-15 wt% Co cemented carbide, which is a workpiece (workpiece), so as to face only a 15 × 5 mm surface. Die-sinking electric discharge machining was performed, and the electrode consumption rate and machining speed at that time were evaluated. The electrode consumption rate was calculated using the processing volume of the workpiece as the denominator and the electrode consumption volume as the numerator. The processing speed indicates the processing volume of the workpiece as a numerical value per minute. The obtained results are also shown in Table 1 below.

Figure 0003809435
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上記表1に示す結果から分るように、W−Cu合金中に含まれるBaO粒子の平均粒径及び/又は平均粒子間距離が小さいほど、放電加工特性に優れ、特に電極の耐消耗性に優れている。これに対して、比較例であるBaO粒子の平均粒径が3μmよりも大きい試料7では、放電加工特性が劣り、特に電極の耐消耗性が大幅に低下していることが分る。   As can be seen from the results shown in Table 1 above, the smaller the average particle size and / or the average interparticle distance of the BaO particles contained in the W-Cu alloy, the better the electric discharge machining characteristics, especially the electrode wear resistance. Are better. On the other hand, it can be seen that Sample 7, which is a comparative example having an average particle diameter of BaO particles larger than 3 μm, is inferior in electric discharge machining characteristics, and in particular, the electrode wear resistance is greatly reduced.

[実施例2]
実施例1と同じW粉末とCu粉末、及び平均粒径が0.6μm、1.1μm、及び4.4μmのNd粉末又はCeO粉末を用い、これらを配合した粉末をアトライターにて5時間又は15時間混合した。その後、実施例1と同様にして、W−Cu合金の最終合金組成が、Nd粉末についてはW−30重量%Cu−0.7重量%Ndの試料8、W−30重量%Cu−2.1重量%Ndの試料9、及びW−30重量%Cu−0.7重量%Ndの試料10を作製し、またCeO粉末についてはW−30重量%Cu−0.67重量%CeOの試料11、W−30重量%Cu−2.0重量%CeOの試料12、及びW−30重量%Cu−0.7重量%CeOの試料13を作製した。
[Example 2]
The same W powder and Cu powder as in Example 1 and Nd 2 O 3 powder or CeO 2 powder with an average particle diameter of 0.6 μm, 1.1 μm, and 4.4 μm were used, and the powder containing these was used as an attritor. For 5 or 15 hours. Thereafter, in the same manner as in Example 1, the final alloy composition of the W—Cu alloy was W-30 wt% Cu—0.7 wt% Nd 2 O 3 sample 8 for the Nd 2 O 3 powder, W-30. to prepare wt% Cu-2.1 wt% Nd 2 O 3 in sample 9, and W-30 wt% Cu-0.7 wt% Nd sample 10 of 2 O 3, also W-30 for the CeO 2 powder wt% Cu-0.67 wt% CeO 2 of the sample 11, W-30 wt% Cu-2.0 wt% CeO 2 of the sample 12 and W-30 wt% Cu-0.7 wt% CeO 2 samples, 13 was produced.

得られた試料8〜13の各W−Cu合金について、その断面を走査型電子顕微鏡で観察し、Nd又はCeOの各粒子の平均粒径と平均粒子間距離、及び粒径1μm以下のW粒子の全W粒子に占める割合(重量%)を求め、その結果を下記表2に示した。また、試料8〜13の各W−Cu合金からなる電極を用いて、実施例1と同様にして放電加工特性の評価を行い、その結果を表2に併せて示した。 For each W-Cu alloy of the obtained sample 8-13, and its cross section was observed by a scanning electron microscope, the average particle diameter and the average distance between particles of Nd 2 O 3 or the particles of CeO 2, and particle size 1μm The ratio (% by weight) of the following W particles to the total W particles was determined, and the results are shown in Table 2 below. Moreover, using the electrode which consists of each W-Cu alloy of sample 8-13, the electrical discharge machining characteristic was evaluated like Example 1, and the result was combined with Table 2 and shown.

Figure 0003809435
Figure 0003809435

上記表2に示す結果から、W−Cu合金中に含まれる酸化物がNd又はCeOの場合にも、その平均粒径及び/又は平均粒子間距離が小さいほど、放電加工特性に優れていることが分る。一方、酸化物粒子の平均粒径が3μmよりも大きい比較例の試料10と13では、特に電極の耐消耗性が大幅に低下したことが分る。 From the results shown in Table 2 above, even when the oxide contained in the W—Cu alloy is Nd 2 O 3 or CeO 2 , the smaller the average particle size and / or the average interparticle distance, the better the electrical discharge machining characteristics. It turns out that it is excellent. On the other hand, in the samples 10 and 13 of the comparative examples in which the average particle diameter of the oxide particles is larger than 3 μm, it can be seen that the wear resistance of the electrode is significantly lowered.

[実施例3]
実施例1と同様の方法によって、最終組成がW−30重量%Cu−0.77重量%BaOであり、粒径3μm以下(試料17については粒径1μm以下)のBaO粒子が合金全体に占める割合が下記表3になる試料14〜18を作製した。また、Baの代わりにSrを用い、同様に、最終組成がW−30重量%Cu−0.77重量%の試料19も作製した。得られた各試料のW−Cu合金について、実施例1と同様にして、粒径3μm以下(試料17では粒径1μm以下)のBaO粒子又はSrO粒子の合金全体に占める割合(重量%)と、粒径1μm以下のW粒子の全W粒子に占める割合(重量%)を求めると共に、電極消耗率と加工速度を評価して、その結果を下記表3に示した。
[Example 3]
By the same method as in Example 1, the final composition is W-30 wt% Cu-0.77 wt% BaO, and BaO particles having a particle size of 3 μm or less (sample 17 is 1 μm or less) account for the entire alloy. Samples 14 to 18 having ratios shown in Table 3 below were prepared. Further, Sr was used instead of Ba, and similarly, a sample 19 having a final composition of W-30 wt% Cu-0.77 wt% was also produced. About the W-Cu alloy of each obtained sample, in the same manner as in Example 1, the proportion (% by weight) of BaO particles or SrO particles having a particle size of 3 μm or less (sample 17 of 1 μm or less) in the total alloy The ratio (weight%) of W particles having a particle size of 1 μm or less to the total W particles was determined, the electrode consumption rate and the processing speed were evaluated, and the results are shown in Table 3 below.

Figure 0003809435
Figure 0003809435

上記表3の結果から分るように、W−Cu合金中に含まれるBaO粒子やSrO粒子のうち、粒径が3μm以下の粒子の割合(重量%)が大きいほど、放電加工特性に優れている。尚、作製した全ての試料のW−Cu合金について、BaO粒子及びSrO粒子はCu中に分散されていることを確認することができた。   As can be seen from the results of Table 3 above, the larger the ratio (% by weight) of the particles having a particle size of 3 μm or less among the BaO particles and SrO particles contained in the W—Cu alloy, the better the electric discharge machining characteristics. Yes. It was confirmed that BaO particles and SrO particles were dispersed in Cu for all the W-Cu alloys of the samples prepared.

[実施例4]
実施例1と同様の方法によって、最終組成がW−30重量%Cu−0.77重量%BaOであり、粒子間距離が20μm以下及び10μm以下のBaO粒子が合金全体に占める割合(重量%)が下記表4になる試料20〜23を作製した。尚、試料22はメカニカルアロイング法にて製造した粉末である。即ち、試料22は、実施例1と同様にアトライターにて混合した後、この粉末を還元して水分や有機溶剤を除去し、再度アトライター装置にて、Ar雰囲気中で酸素濃度が56ppm以下の状態にて、アジテータの回転速度200rpmで60時間のメカニカルアロイング処理を行った。それ以外は、他の試料と同じ工程条件とした。得られた各試料のW−Cu合金について、実施例1と同様にして、粒子間距離が20μm以下及び10μm以下のBaO粒子の合金全体に占める割合(重量%)と、粒径1μm以下のW粒子の全W粒子に占める割合(重量%)を求めると共に、電極消耗率と加工速度を評価して、その結果を下記表4に示した。
[Example 4]
According to the same method as in Example 1, the final composition is W-30 wt% Cu-0.77 wt% BaO, and the proportion of BaO particles with an interparticle distance of 20 μm or less and 10 μm or less in the entire alloy (wt%). Samples 20 to 23 shown in Table 4 below were produced. Sample 22 is a powder produced by a mechanical alloying method. That is, the sample 22 was mixed with an attritor in the same manner as in Example 1, and then the powder was reduced to remove moisture and organic solvent. The oxygen concentration was 56 ppm or less in an Ar atmosphere again with the attritor apparatus. In this state, a mechanical alloying process was performed for 60 hours at a rotational speed of the agitator of 200 rpm. Other than that, it was set as the same process conditions as another sample. About the obtained W-Cu alloy of each sample, it carried out similarly to Example 1, the ratio (weight%) to the whole alloy of the BaO particle | grains whose particle distance is 20 micrometers or less and 10 micrometers or less, and W with a particle size of 1 micrometer or less. While calculating | requiring the ratio (weight%) which occupies for all the W particles of a particle | grain, the electrode consumption rate and the processing speed were evaluated, and the result was shown in following Table 4.

Figure 0003809435
Figure 0003809435

上記表4の結果から分るように、W−Cu合金中に含まれるBaO粒子について、粒子間距離が20μm以下の粒子の割合(重量%)が大きいほど、更には10μm以下の粒子の割合(重量%)が大きいほど、放電加工特性に優れている。尚、作製した全ての試料のW−Cu合金について、BaO粒子はCu中に分散されていることを確認することができた。   As can be seen from the results in Table 4 above, regarding the BaO particles contained in the W—Cu alloy, the larger the proportion (wt%) of the particles having an interparticle distance of 20 μm or less, the more the proportion of particles of 10 μm or less ( The larger the weight%), the better the electric discharge machining characteristics. In addition, it was confirmed that BaO particles were dispersed in Cu for all the W-Cu alloys of the samples prepared.

Claims (17)

40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒径が3μm未満であることを特徴とする放電加工用電極材料。 A W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or compound thereof, and the balance of Cu, and the additive element or compound thereof includes an alkali metal element and an alkaline earth metal element And 10% by weight or less of at least one selected from rare earth elements and oxides, hydroxides, nitrides, borides and sulfides of these elements, and the average particle size of the particles is less than 3 μm An electrode material for electric discharge machining characterized by 40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒子間距離が20μm以下であることを特徴とする放電加工用電極材料。 A W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or compound thereof, and the balance of Cu, and the additive element or compound thereof includes an alkali metal element and an alkaline earth metal element , Rare earth elements, and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements in an amount of 10 wt% or less, and the average interparticle distance of the particles is 20 μm or less. An electrode material for electric discharge machining characterized by the above. 40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子の平均粒径が3μm未満であり且つ平均粒子間距離が20μm以下であることを特徴とする放電加工用電極材料。 A W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or compound thereof, and the balance of Cu, and the additive element or compound thereof includes an alkali metal element and an alkaline earth metal element , Rare earth elements, and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, and the average particle diameter of the particles is less than 3 μm, and An electrode material for electric discharge machining having an average interparticle distance of 20 μm or less. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子は、その平均粒径が1μm未満であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 The at least one kind of particles selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides and sulfides of these elements have an average particle diameter. The electrode material for electric discharge machining according to claim 1, wherein the electrode material is less than 1 μm. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子は、その平均粒子間距離が10μm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 The at least one kind of particles selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements have an average interparticle distance. The electrode material for electric discharge machining according to any one of claims 1 to 4, wherein the electrode material is 10 µm or less. 40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒径が3μm以下の粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする放電加工用電極材料。 A W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or compound thereof, and the balance of Cu, and the additive element or compound thereof includes an alkali metal element and an alkaline earth metal element , Rare earth elements, and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements containing 10 wt% or less, and particles having a particle size of 3 μm or less are included in the entire alloy. An electrode material for electric discharge machining comprising 0.3% by weight or more. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒径が3μm以下の粒子を合金全体の0.6重量%以上含むことを特徴とする、請求項6に記載の放電加工用電極材料。 At least one selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, and the particle size thereof is 3 μm. The electrode material for electric discharge machining according to claim 6, wherein the following particles are contained in an amount of 0.6% by weight or more based on the whole alloy. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒径が1μm以下の粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする、請求項6又は7に記載の放電加工用電極材料。 At least one selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, each having a particle size of 1 μm The electrode material for electric discharge machining according to claim 6 or 7, wherein the following particles are contained in an amount of 0.3 wt% or more of the whole alloy. 40重量%以上のWと、15重量%以下の添加元素又はその化合物と、残部のCuからなるW−Cu合金であって、前記添加元素又はその化合物として、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種を10重量%以下含み、その粒子間距離が20μm以下である粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする放電加工用電極材料。 A W-Cu alloy comprising 40 wt% or more of W, 15 wt% or less of an additive element or compound thereof, and the balance of Cu, and the additive element or compound thereof includes an alkali metal element and an alkaline earth metal element Alloys particles containing 10% by weight or less of a rare earth element and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements and having an interparticle distance of 20 μm or less An electrode material for electric discharge machining comprising 0.3% by weight or more of the whole. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒子間距離が10μm以下である粒子を合金全体の0.3重量%以上含むことを特徴とする、請求項9に記載の放電加工用電極材料。 The alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, and the interparticle distance is The electrode material for electric discharge machining according to claim 9, comprising particles having a particle size of 10 μm or less of 0.3% by weight or more of the whole alloy. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種であって、その粒子間距離が10μm以下である粒子を合金全体の0.7重量%以上含むことを特徴とする、請求項9又は10に記載の放電加工用電極材料。 The alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and at least one selected from oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements, and the interparticle distance is 11. The electrode material for electric discharge machining according to claim 9, wherein particles containing 10 μm or less are contained in an amount of 0.7% by weight or more based on the whole alloy. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子が、Cu中に存在することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 At least one particle selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements is present in Cu. The electrode material for electric discharge machining according to claim 1, wherein the electrode material is an electric discharge machining electrode material. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粒子が、W粒子中に部分的に存在することを特徴とする、請求項1〜12のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 At least one kind of particles selected from the alkali metal elements, alkaline earth metal elements, rare earth elements, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements are part of the W particles. Electrode material for electric discharge machining according to any one of claims 1 to 12, characterized in that it exists. 前記アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物が、Ba、Nd、Ce、Y、Ca、K、又はその酸化物、水酸化物の少なくとも1種であることを特徴とする、請求項1〜13のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 The alkali metal element, alkaline earth metal element, rare earth element, and oxides, hydroxides, nitrides, borides, and sulfides of these elements are Ba, Nd, Ce, Y, Ca, K, or the like The electrode material for electric discharge machining according to any one of claims 1 to 13, wherein the electrode material is at least one of an oxide and a hydroxide. 前記Wは粒径1μm以下の粒子が全W粒子の30重量%以上であることを特徴とする、請求項1〜14のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 The electrode material for electric discharge machining according to any one of claims 1 to 14, wherein the W has a particle size of 1 µm or less of 30 wt% or more of all W particles. 前記Cuの一部に代えて、更に10重量%以下のNiを含むことを特徴とする、請求項1〜15のいずれかに記載の放電加工用電極材料。 The electrode material for electric discharge machining according to any one of claims 1 to 15, further comprising 10 wt% or less of Ni instead of a part of the Cu. 請求項1〜16のいずれかに記載の放電加工用電極材料の製造方法であって、アルカリ金属元素、アルカリ土類金属元素、希土類元素、及びこれらの元素の酸化物、水酸化物、窒化物、ホウ化物、硫化物から選ばれた少なくとも1種の粉末と、Cu粉末及び/又はW粉末とを含む原料粉末について、メカニカルアロイング処理する方法、微細な原料粉末を用いる方法、共沈法を用いる方法のいずれかにより混合した原料粉末を用いることを特徴とする放電加工用電極の製造方法。 It is a manufacturing method of the electrode material for electrical discharge machining in any one of Claims 1-16, Comprising: An alkali metal element, an alkaline-earth metal element, a rare earth element, and the oxide, hydroxide, nitride of these elements A raw material powder containing at least one powder selected from boride and sulfide, Cu powder and / or W powder, mechanical alloying method, method using fine raw material powder, coprecipitation method A method for producing an electrode for electric discharge machining, comprising using raw material powder mixed by any of the methods used.
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