JP2005187804A5 - - Google Patents
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- Japan
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004340020A JP4387928B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-11-25 | 開環メタセシス共重合体水素添加物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003401920 | 2003-12-01 | ||
| JP2004340020A JP4387928B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-11-25 | 開環メタセシス共重合体水素添加物およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005187804A JP2005187804A (ja) | 2005-07-14 |
| JP2005187804A5 true JP2005187804A5 (nl) | 2005-09-29 |
| JP4387928B2 JP4387928B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=34797469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004340020A Active JP4387928B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-11-25 | 開環メタセシス共重合体水素添加物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4387928B2 (nl) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5309526B2 (ja) | 2007-10-19 | 2013-10-09 | 信越化学工業株式会社 | 開環メタセシス重合体水素添加物、それを含有するレジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP5498654B2 (ja) * | 2007-10-19 | 2014-05-21 | 三井化学株式会社 | 開環メタセシス重合体水素添加物の製造方法 |
| JP5515232B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2014-06-11 | 信越化学工業株式会社 | 高分子化合物及びその製造方法、並びにレジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP5682363B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2015-03-11 | セントラル硝子株式会社 | トップコート用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 |
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2004
- 2004-11-25 JP JP2004340020A patent/JP4387928B2/ja active Active