JP2005172871A - 光スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の光路変更素子を容易に高精度に配置し多チヤンネル化するとともに、光路変更素子の発熱を容易にする。
【解決手段】 ベースプレートとガルボプレート７Ｂは両端の取り付け部７Ｂ−ａに当接させ、加えてガルバノミラー９に近い部分に形成されている当接部もベースプレートに当接させることで、ガルボプレート７Ｂからベースプレートへの熱伝導が良くなりガルバノミラー９の、特にドライブ回路、レーザの熱をベースプレートに放熱させる。
【選択図】 図５

Description

本発明は、光通信等に用いられる光路を切り替える光スイッチに関する。

従来、この種の光通信等に用いられる光スイッチとしては、１つあるいは複数の入力用光ファイバから出射される光通信用の光を、光路切換素子により複数光路を切り換えて所望の出力用光ファイバに入射させる装置として提供されている（例えば、特開平２００１−１７４７２４号公報）。

図１２は上述した従来の光スイッチを示す構成図である。図１３は従来の光スイッチに用いられるマイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ）ミラー列の一例を示す平面図である。

図１２において、光スイッチ２００は、入力用光ファイバ列２１２と、入力用レンズ列２１４と、第１のＭＥＭＳミラー列２１８と、第２のＭＥＭＳミラー列２２２と、出力用レンズ列２２６と、出力用光ファイバ列２２８とから構成されている。ここで、入力用光ファイバ列１１２及び出力用光ファイバ列１２８は、説明を容易にするため、それぞれ４本の入力用光ファイバ列２１２ａ〜２１２ｄ及び出力用レンズ２２８ａ〜２２８ｄで示してある。

図１３において、第１のＭＥＭＳミラー列２１８または第２のＭＥＭＳミラー列２２２を構成するミラー列４１０は、スプリング４１４に搭載された傾斜ミラー４１２がアレイ状にベース４１６上に配置されてなる。また、前記各傾斜ミラー４１２は、図示しない各電極によりそれぞれ制御されるようになっている。

このようなミラー列４１０を有する第１のＭＥＭＳミラー列４１８または第２のＭＥＭＳミラー列４２２を備えた前記光スイッチ２００の作用を簡単に説明する。

上記光スイッチ２００には、複数の入力用光ファイバ列２１２を介して光学信号２０８が受光される。入力用光ファイバ列２１２は、コリメートレンズとしての入力用レンズ列２１４に光学信号２０８を送る。入力用レンズ列２１４は、光学信号２０８からペンシルビーム２１６ａないし２１６ｄを生成する。ペンシルビーム２１６ａないし２１６ｄは入力用光ファイバ列２１２ａ〜２１２ｄで搬送された信号から生成される。

第１のＭＥＭＳミラー列２１８は、ビーム２１６を受光する。第１のＭＥＭＳミラー列２１８は、各ミラー素子の傾斜角に応じて反射し、第２のＭＥＭＳミラー列２２２内の特定のミラー素子に選択的に向けられる。例えば、ペンシルビーム２１６ａは、反射ビーム２２０ａから反射ビーム２２０ａ’までを生成する。同様に、例えばペンシルビーム２１６ｄは、反射ビーム２２０ｄから反射ビーム２２０ｄ’までを反射する。これらのビームは第２のＭＥＭＳミラー列２２２のミラー素子によって受光し、それをビーム２２４として出力用レンズ列２２６に向ける。出力用光ファイバ列２２８は、出力用レンズ列２２６により集光された光を受光し、光学信号２２９として伝送する。

光スイッチ２００は各出力ファイバを出力ミラー列内のミラーに１対１でマッピングされている。これはシングルモードファイバが必要であるが、その理由は、パワー損失を低く押さえるために入力ビームと出力ビームが光ファイバの軸と同軸で整合するのに必要な開口数が小さいためである。

上述したように、光スイッチ２００は、複数の入力用光ファイバ列２１２から光学信号を受光する入力用レンズ列２１４を有する。このレンズ列は複数のレンズ素子から構成され、各レンズ素子は、光学信号をＭＥＭＳミラー列２１８、２２２に向ける。即ち、集光する。このＭＥＭＳミラ一列は、複数のミラー素子を有し、各素子は制御信号を所望のミラー素子に加えることにより一つあるいは複数の回転軸の周囲で傾斜する。

かくして、光学信号は様々なパスに沿って様々な出力用光ファイバ列２２８に向けることができる。ＭＥＭＳミラー列２１８、２２２は図１３に示すように半導体プロセスによって手面状に２次元配列された複数の可動ミラーが一体的に製造されている。
特開２００１−１７４７２４号公報

特開２００１−１７４７２４号公報に示された２次元配列された可動ミラーをミラ一列として一体的に製造することは、歩留まりが問題となる。

例えば８×８配列のミラーの場合には１つのミラーの歩留まりが９９％としても、ミラー列の歩留まりは５３％（０．９９⁶⁴＝０．５３）にもなってしまう。

従って可動ミラーの様な光路選択素子は個々に製造し、これを組み合わせることが歩留まり上は良い。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、複数の光路変更素子を容易に高精度に配置し多チヤンネル化するとともに、光路変更素子の発熱を容易にすることのできる光スイッチを提供することを目的としている。

本発明の光スイッチは、少なくとも第１のプレートと第２のプレートと、前記第１のプレートと前記第２のプレートに取り付けられる複数の光路選択素子とを備え、前記第１のプレートは、第１の側に設けられた第１の取り付け面と第１の当接面を有し、前記第２のプレートは、第２の側に設けられた第２の取り付け面と第２の当接面を有し、前記第１のプレートと前記第２のプレートは、前記第１の取り付け面と前記第２の取り付け面を当接させて固定すると共に、前記第１の当接面と前記第２の当接面が当接するように構成される。

本発明によれば、複数の光路変更素子を容易に高精度に配置し多チヤンネル化するとともに、光路変更素子の発熱を容易にすることのできるという効果がある。

以下、図面を参照しながら本発明の実施例について述べる。

図１ないし図１１は本発明の実施例１に係わり、図１は光スイッチの外観を示す外観図、図２は図１のガルボプレートのプレート上面を示す図、図３は図１のガルボプレートのプレート底面を示す図、図４は図１の光スイッチを上面から見た上面図、図５は図１の光スイッチの分解展開図、図６は図４のＡ−Ａ線断面を示す断面図、図７は図４のＢ−Ｂ線断面を示す断面図、図８は図１の光スイッチの光路を説明する説明図、図９は図１のガルバノミラーの外観を示す外観図、図１０は図９のガルバノミラーの分解展開図、図１１は図１０の光偏向器の分解展開図である。

４つのガルボプレート７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂにそれぞれ光路選択素子である１６個のガルバノミラー９を固定し、この４つのガルボプレート７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂを上下２段、略ハの字配置として入力３２チヤンネル、出力３２チヤンネルの光スイッチ１を構成した例を図１に示す。図１では、ガルボプレート８Ａ，８Ｂ上に固定してある３２個のガルバノミラーを省略する。

以下、図１ないし図１１を参照して、光スイッチ１の詳細な構成を説明する。

図２及び図３に示すように、ガルボプレート７Ａは両端下側に取り付け面７Ａ−ａが設けられて、両端上面にも取り付け面７Ａ−ｂが設けられている。その両端の取り付け面７Ａ−ａの間には１２個の当接部７Ａ−ｃが設けられ、両端の取り付け面７Ａ−ｂの間にも同様の１２個の当接部７Ａ−ｄが設けられている。取り両端の取り付け面７Ａ−ａと１２個の当接部７Ａ−ｃの下面は同一平面を構成している。また、取り両端の取り付け面７Ａ−ｂと１２個の当接部７Ａ−ｄの上面は同一平面を構成している。

なお、４つのガルボプレート７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂは同一形状であるので、ガルボプレート８Ａ，８Ｂの説明は省略する。

図４ないし図７に示すように、４つのガルポプレート７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂにそれぞれ光路選択素子である１６個のガルバノミラー９のうち、４つのガルバノミラー９Ａを除いた１２個のガルバノミラー９Ｂがその前後を２本のビス１８、１８で固定されている（図７参照）。ガルバノミラー９Ａはそのハウジング１１３の前後に開けられた穴を用いて前側（ミラー１４の側）はビス１８にてガルボプレート７Ａに固定されている。後ろ側はビス１８にて固定されておらず後でベースプレート２に固定する際に固定される（図６参照）。

ガルバノミラー９はミラー１４を有している。ミラー１４はその反射面に平行な互いに直行する２軸であるＸ軸、Ｙ軸の回りに傾き可能に構成されている。ガルバノミラー９の細部構成については、後述する。

次に、ガルバノミラー９がそれぞれ１６個固定された４つのガルボプレート７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂをベースプレート２に固定する。

ベースプレート２の取り付け部２ａには２本の位置決めピン１５が圧入され、そこにガルボプレート７Ｂの両端の孔を嵌合挿入させ、ガルボプレート７Ｂの両端下面の取り付け面７Ｂ−ａを取り付け部２ａに当接させて組み付けられる。

次に、４本のスタッド１７をビス１８にて固定されていなかったガルバノミラー９Ｂの後ろ側の孔１１３ｂを介してベースプレート２に設けられた４つのポスト２ｂに開けられたビス孔２ｃに取り付けることにより４つのガルバノミラー９Ｂをガルボプレート７Ｂに固定すると共に、ガルボブレート７Ｂをベースプレート２に固定する。このときにガルボプレート７Ｂの下側に設けられた当接部７Ｂ−ｃの下面も取り付け部２ａに当接する。

次に、ガルボプレート７Ａをガルボプレート７Ｂの上に組み付ける。ガルボプレート７Ｂの両端上面の取り付け面７Ｂ−ｂ上にはガルボプレート７Ａの両端下側の取り付け面７Ａ−ａを当接させる。このとき同時に当接部７Ａ−ｃの下面は当接部７Ｂ−ｄの上面に当接する。また、ガルボプレート７Ａも位置決めピン１５に嵌合位置決めされて組み付けられる。その後で、２本のビス１６でガルボプレート７Ａ，７Ｂを同時にべ−スプレート２に固定する。

この後、４本のビス１９をビス１８にて固定されていなかった４つのガルバノミラー９Ａの後ろ側の孔１１３ｂおよびガルボプレート７Ａの孔を介して４つのスタッド１７の上側に形成されたビス孔１７ａに取り付けることにより４つのガルバノミラー９Ｂをガルボプレート７Ａに固定すると共に、ガルボプレート７Ａをベースプレート２に固定する。この時スタッド１７の上端はガルボプレートＡの裏面にはわずかの隙間を有しており接していない。

上述したように、ベースプレート２に１６個のガルバノミラー９を固定したガルボプレート７Ａ，７Ｂを２段重ねにして固定する。同様にしてベースプレート２に１６個のガルバノミラー９を固定したガルボプレート８Ａ，８Ｂを２段重ねにして固定する。

ベースプレート２に固定されたコリメートプレート３Ａには上下にそれぞれ１６個のコリメートレンズ６と入力用の光ファイバー４の端面が固定している。これにより入力用の光ファイバー４から出射した光はそれぞれコリメートレンズ６により平行光とされそれそれ対向するガルバノミラー９のミラー１４に向かう。

コリメートプレート３Ｂには上下にそれぞれ１６個のコリメートレンズ６と出力用の光ファイバー５の端面が固定してある。これによりガルバノミラー９のミラー１４から反射した光はコリメートレンズ６に入射し、集光されて出力用の光ファイバー５に入射し伝搬していく。

図８を元に光スイッチ１の光路の説明をする。ここでは、１つの光路について説明する。

入射用の光ファイバ４−１７から出射した光をコリメートレンズ６−１７で平行光にしてその入射光２０を対応するミラー１ ４−１７ に入射させる。このミラー１ ４−１７での反射光２０を対応するミラー１４−４９に入射させその反射光２０をコリメートレンズ６−４９に入射させて出射用の光ファイバー５−１７に入射させて光ファイバー５−１７を伝搬させていく。

光ファイバ４−１７から出射した光を光ファイバー５−２に切り替えて出力する場合を説明する。入射用の光ファイバ４−１７から出射した光をコリメートレンズ６−１７で平行光にしてその入射光２０を対応するミラー１４−１７に入射させる。この時ミラー１４−１７を垂直方向であるＹ軸の回りにα1回転させて反射光を水平面内に回転させ、さらに水平軸の回りにβ1だけ回転させて反射光をさらに垂直方向に回転させ、これによりミラー１４−１７の反射光２０‘はミラー１４−６４に向かわずミラー１４−３４に切り替える事ができる。さらにミラー１４−３４もＹ軸回りにα2，Ｘ軸回りにβ2だけ回転させてその反射光２０’をコリメートレンズ６−３４に入射させて出射用の光ファイバー５−２に入射させて光ファイバー５−２を伝搬させていく。

この様にして入力側の３２本の光ファイバー４から入射した光を出力側の任意の３２本の光ファイバー５を選択して切り替えることができる。この様にして光スイッチ１を構成する。

ガルバノミラー９について、図９ないし図１１を参照して説明する。

本実施例のガルバノミラー９は、ミラー１４を有する光偏向器１１１、ＦＰＣ１１２、ハウジング１１３、半導体レーザ１１４、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１１５、１／４波長板１１６、集光レンズ１１７、半導体位置検出器（ＰＳＤ）１１８、スベーサ１１９を有している。

偏光器１１１は、可動部であるコイルホルダ１２１と固定部であるマグネットホルダ１２２とを有している。コイルホルダ１２１およびマグネットホルダ１２２は、４本のバネ１２３を、それらの可前部側端部をコイルホルダ１２１に、固定部側端部をマグネットホルダ１２２にインサート成形して両端を保持する。

４本のバネ１２３は、その両端をコイルホルダ１２１とマグネットホルダ１２２に固定され、マグネットホルダ１２２に対してコイルホルダ１２１を回転軸ＸとＹ軸の回りに傾き可能に支持する。

ミラー１４は、コイルホルダ１２１の表面側中央部の取付部１２１ａに外周部を位置決めして周囲を接着して取り付ける。ミラー１４の表側の反射面１４ａには、光通信用の光の波長、例えば波長１．３μｍ〜１．６μｍの光に対して反射率が高い金または誘電多層膜をコーティングする。

コイルホルダ１２１の裏面側中央部にはミラー１４の傾きセンサを構成するためのミラー１２５を、その周囲を位置決めして接着固定する。

第１コイル１２７および第２コイル１２８は、コイルホルダ１２１の表面側および裏面側において、ミラー１４およびミラー１２５をそれぞれ取り囲むように、位置決めしてコイルホルダ１２１に接着固定する。

２枚のミラー１４，１２５間の空間部分には、例えば厚さ０．１ｍｍのステンレス板を屈曲形成した第１の支持部材としてのアーム１２９の中央部を位置させ、このアーム１２９の両端部１２９ａがミラー１２５の外周部を取り囲むように配設してマグネットホルダ１２２に接着固定する。アーム１２９の中央部には、ミラー１４の裏面と例えば０．２ｍｍの隙間をあけて位置するように、中央に穴を有する円錐状の突起１２９ｂを形成し、この突起１２９ｂとミラー１４との間に、シリコーンゴム等のダンピング剤を注入硬化し、図示しないピボットを形成する。

マグネットホルダ１２２には、第１コイル１２７用の２つのマグネット１３２と第２コイル１２８用の２つのマグネット１３５とを、それぞれ背面にヨーク１３３，１３４を接着して取り付ける。

この光偏向器１１１は、ハウジング１１３の取り付け面１１３ａに形成した２つの穴に敏合させて位置決めして接着固定する。

ハウジング１１３には、ミラー１２５の傾き角からミラー１４の傾き角を検出するために、半導体レーザ１１４、ＰＢＳ １１５、１／４波長板１１６、集光レンズ１１７およびＰＳＤ１１８を取り付ける。半導体レーザ１１４は、ハウジング１１３の開ロ部１１３ ｂに装着し、ＰＢＳ１１５はその一面をハウジング１１３の台座に接着し、１／４波長板１１６はＰＢＳ１１５に接合し、集光レンズ１１７はハウジング１１３の光偏向器１１１の取り付け面１１３ａに形成した開口部１１３ｃに取り付け、ＰＳＤ１１８はハウジング１１３に接着する。

ＰＳＤ１１８は、その受光部１１８ａに投射された光の２方向の光量中心位置を電流で出力する２次元位置センサで、例えば浜松ホトニクス（株）のＳ５９９０−０１、Ｓ７８４８−０１等を用いる。

ＦＰＣ１１２には、ＰＳＤ１１８の出力電流を電圧に変換する回路を搭載すると共に、第１コイル１２７及び第２コイル１２８のドライブ回路１５１を搭載する。なお、ドライブ回路１５１は、ハウジング１１３のＰＢＳ１１５の上部に固定されたアルミ製のスベーサ１１９にその表面を当接して固定し、これによりスペーサ１１９とハウジング１１３とをドライブ回路の放熱部材としても作用させる。

かかる構成のガルバノミラー９において、４本のバネ１２３のうちの２本を介して第１コイル１２７に電流を流すと、マグネット１３２から受ける磁界により可動部には回転軸Ｙの回りのトルクが発生し、４本のバネ１２３がたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｙの回りに傾くことになる。

また、４本のバネ１２３の他の２本を介して第２コイル１２８に電流を流すと、マグネット１３５から受ける磁界により可動部には回転軸Ｘの回りのトルクが発生し、４本のバネ１２３がたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｘの回りに傾くことになる。

一方、半導体レーザ１１４からの光はＰ偏光でＰＢＳ１１５に入射し、その偏光面１１５ａを透過して１／４波長板１１６および集光レンズ１１７を経てミラー１２５の裏面（反射面）１２５ａに入射する。このミラー１２５で反射した光は、集光レンズ１１７および１／４波長板１１６を経てＰＢＳ１１５に入射する。

ここで、ミラー１２５で反射されてＰＢＳ１１５に入射する光は、往路および復路で１／４波長板１１６を合計２回通ることにより、その偏光面は９０度回転してＳ偏光となるので、ＰＢＳ １１５の偏光面１１５ａで反射されてＰＳＤ１１８の受光面１１８ａに入射する。

このＰＳＤ１１８の受光面１１８ａに入射する光は、第１コイル１２７に電流を流してミラー１４つまりミラー１２５を回転軸ｙの回りに傾けると、受光面１１８ａ上で横方向に移動し、第２コイル１２８に電流を流してミラー１４を回転軸ｘの回りに傾けると、受光面１１８ａ上で上下方向に移動するので、ＰＳＤ１１８の出力に基づいてミラー１４の２方向の傾きを検出することができる。

上記のようにガルバノミラー９を構成したので、ミラー１４を２軸の回りに傾き可能に支持、駆動できると共に、ミラー１４の２軸回りの傾きセンサーを有する。このようなミラー１４の支持駆動機構と、傾きセンサーを用いて、ミラー１４を傾けて光ファイバー４からの光の反射の向きを変更、コントロールすることにより前述したように出力用の光ファイバーを切り替えることができる。

上記のように構成したので下記の効果を有する。

ベースプレート２とガルボプレート７Ｂは両端の取り付け部７Ｂ−ａに当接させ、加えてガルバノミラー９に近い部分に形成されている当接部７Ｂ−ｃもベースプレート２に当接させたため、ガルボプレート７Ｂからベースプレート２への熱伝導が良くなりガルバノミラー９の、特にドライブ回路１５１、レーザ１１４の熱をベースプレート２に放熱させることができる。また、当接部７Ｂ−ｃを１６個のガルバノミラー９に近い部分にそれぞれ設けたのでそれそれのガルバノミラー９の放熱特性を良くでき、レーザ１１４の温度上昇を抑えることができる。

上下に重ねたガルボプレート７Ａ，７Ｂを両端の取り付け面以外にもこの間でそれぞれのガルバノミラー９に近接させて配置した互いに向かい合う当接部７Ｂ−ｄと８Ａ−ｃを当接させたため、上側のガルボプレート７Ａのガルバノミラー９で生じた熱を両端の取り付け面７Ａ−ａと７Ｂ−ｂ以外にも当接部７Ｂ−ｄと８Ａ−ｃを通じてもガルボプレート７Ｂを介してベースプレート２に放熱することができる。

また、ガルボプレート７Ａをベースプレート２に固定する際にスタッド１７の上端はガルボプレートＡの裏面にはわずかの隙間を有しており接していないため、スタッド１７の高さ位置の誤差によりガルボプレートを変形させることがない。

ガルボプレートＡの取り両端の取り付け面７Ａ−ａと１２個の当接部７Ａ−ｃの下面は同一平面を構成し、また、取り両端の取り付け面７Ａ−ｂと１２個の当接部７Ａ−ｄの上面もは同一平面を構成しているため、取り付け面７Ａ−ａと１２個の当接部７Ａ−ｃ及び、取り付け面７Ａ−ｂと１２個の当接部７Ａ−ｄの上面を加工する場合にそれぞれ平面度良く加工することができる。このため、ガルボプレートＢとベースプレート２との接触具合、ガルボプレートＡとＢの接触具合を非常に良くでき、これらの間の熱伝導を良くできる。

１枚のガルボプレートに複数のガルバノミラーを配置し、このガルバノミラーを複数用いて光スイッチを構成したので１個毎に製造されるガルバノミラーを容易に集合でき、多チヤンネルの光スイッチを容易に構成できる。

ガルボプレート７Ｂとベースプレート２との接触具合、ガルボプレート７Ａと７Ｂのそれぞれの当接部の間にはシリコーン等の導電性の良い導電部材を介在させるとよりよい放熱特製が得られる。

上記の実施例としては光路変更素子として傾き可能に構成したミラーとしたが、ミラー以外にもレンズ、プリズム等他の光学素子でも良い。またガルバノミラーの構成は他でも良い。

ガルボプレートを上下２段としたがそれ以外でも良い。また、駆動方式はコイルとマグネツトを用いたが、静電駆動、圧電素子等でも良く、支持もシリコンのバネではなく、金属のバネ、リンク等何でも良い。

本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。

本発明の実施例１に係る光スイッチの外観を示す外観図 図１のガルボプレートのプレート上面を示す図 図１のガルボプレートのプレート底面を示す図 図１の光スイッチを上面から見た上面図 図１の光スイッチの分解展開図 図４のＡ−Ａ線断面を示す断面図 図４のＢ−Ｂ線断面を示す断面図 図１の光スイッチの光路を説明する説明図 図１のガルバノミラーの外観を示す外観図 図９のガルバノミラーの分解展開図 図１０の光偏向器の分解展開図 従来の光スイッチを示す構成図 従来の光スイッチに用いられるマイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ）ミラー列の一例を示す平面図

符号の説明

１…光スイッチ
２…ベースプレート
２ａ…取り付け部
３Ａ，３Ｂ…コリメートプレート
４…入力用の光ファイバー
５…出力用の光ファイバー
６…コリメートレンズ
７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂ…ガルボプレート
７Ａ−ａ，７Ａ−ｂ…取り付け面
７Ａ−ｃ，７Ａ−ｄ…当接部
９，９Ａ，９Ｂ…ガルバノミラー
１４…ミラー
代理人 弁理士 伊藤 進

Claims (6)

1. 少なくとも第１のプレートと第２のプレートと、
   前記第１のプレートと前記第２のプレートに取り付けられる複数の光路選択素子と
   を備え、
   前記第１のプレートは、第１の側に設けられた第１の取り付け面と第１の当接面を有し、
   前記第２のプレートは、第２の側に設けられた第２の取り付け面と第２の当接面を有し、
   前記第１のプレートと前記第２のプレートは、前記第１の取り付け面と前記第２の取り付け面を当接させて固定すると共に、前記第１の当接面と前記第２の当接面が当接する
   ことを特徴とする光スイッチ。
2. 前記第１の取り付け面と前記第１の当接面とは同一平面上にあり、前記第２の取り付け面と前記第２当接面とは同一平面上にある
   ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
3. 前記第１の取り付け面は前記第１のプレートの両端に配置されると共に、前記第１の当接面は前記両端に配置された前記第１の取り付け面の間に配置される
   ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
4. 前記第１のプレートと第２のプレートの間を連結する連結部材が配置され、前記連結部材の一端は前記第１のプレートに取り付けられると共に、前記連結部材の先端は前記第２のプレートと間隔を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
5. 前記連結部材は、前記光路選択素子の前記第１のプレートヘの固定部材である
   ことを特徴とする請求項４に記載の光スイッチ。
6. 前記光路選択素子はガルバノミラーである
   ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。

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