JP2005144635A

JP2005144635A - サンドブラスト装置および方法

Info

Publication number: JP2005144635A
Application number: JP2003388920A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ishikawa; 隆司石川; Masaomi Ebe; 政臣江部
Original assignee: Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Corp
Priority date: 2003-11-19
Filing date: 2003-11-19
Publication date: 2005-06-09

Abstract

【課題】運転効率を向上させることが出来るサンドブラスト装置を提供する。
【解決手段】ブラストノズル１１Ａから加工対象物Ｐに吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管Ｌ２と、この回収用配管Ｌ２に対して並列に配置された第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２と、回収用配管Ｌ２に取り付けられて第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２とを切り替えて回収用配管Ｌ２に連通させる第１切替弁Ｖ１とを備えている。
【選択図】図２

Description

この発明は、微小粉体の研磨材を吹き付けることによって加工対象物を所要の形状に成形するサンドブラスト装置および方法に関する。

サンドブラスト法とは、加工対象物の表面にサンドブラストに対する耐性を有する材料によって所要のマスクパターンを有するレジスト・マスクを形成した後、この加工対象物に微小粉体の研磨材を吹き付けて、レジスト・マスクによって覆われていない部分を研削することにより、加工対象物を所要の形状に成形する加工方法である。

このサンドブラスト法は、例えば、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁をガラス基板上に形成する製造工程等において使用されている。

図１は、このようなサンドブラスト法を実施するための従来のサンドブラスト装置の構成図である。

この図１において、サンドブラスト装置１は、サンドブラスト処理室２と、このサンドブラスト処理室２内に設けられたブラストノズル２Ａにフィルタ３を介して微小粉体の研磨材を供給する研磨材タンク４と、サンドブラスト処理室２から回収される使用済み研磨材から異物を除去する異物除去用フィルタ５と、この異物除去用フィルタ５を通過した研磨材から所定値以上の径を有する研磨材を分離して研磨材タンク４に供給する分離器６とから構成されている。

なお、図１中、７は、異物除去用フィルタ５の上流側において新しい研磨材を供給するための研磨材供給器であり、８は、分離器６において分離された所定値以下の径を有する研磨材を回収する集塵器である。

この従来のサンドブラスト装置１は、研磨材タンク４からサンドブラスト処理室２のブラストノズル２Ａに供給される微小粉体の研磨材が、ブラストノズル２Ａからサンドブラスト処理室２内に搬入されている加工対象物（例えば、表面にガラスペースト層が形成されたＰＤＰのガラス基板）Ｐに向けて高圧で吹き付けられて、この加工対象物の表面の研削加工を行う。

そして、この加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材は、分離器６に回収されるが、このとき使用済みの研磨材が異物除去用フィルタ５を通過することによって、サンドブラスト処理室２内において加工対象物の表面から剥がれたレジスト・マスク（耐サンドブラスト・マスク）の欠片や加工対象物からの研削屑等が、使用済みの研磨材から分離され、また、研磨材供給器７から供給される新しい研磨材に含まれる異物も除去される（例えば、特許文献１参照）。

このため、上記のような構成のサンドブラスト装置１においては、異物除去用フィルタ５を目詰まりを起こさないように定期的に清掃することが必要であり、従来は、異物除去用フィルタ５が目詰まりを起こす前に、サンドブラスト装置１の運転を一旦停止して、オペレータが手作業で異物除去用フィルタ５の清掃を行っている。

従って、従来のサンドブラスト装置１においては、この異物除去用フィルタ５の清掃のために運転効率を上げることが出来ないという問題が発生している。

特開２０００−１１７６３９号公報

この発明は、上述したような従来のサンドブラスト装置によってサンドブラスト法を実施する際の問題点を解決することを、その解決課題の一つとしている。

第１の発明（請求項１に記載の発明）によるサンドブラスト装置は、上記目的を達成するために、噴射部材から研磨材を吹き付けることによって加工対象物の成形加工を行うサンドブラスト装置において、前記噴射部材から加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管と、この回収用配管に対して並列に配置された複数のフィルタ部材と、前記回収用配管に取り付けられて複数のフィルタ部材を切り替えて回収用配管に連通させる第１切替部材とを備えていることを特徴としている。

第２の発明（請求項１２に記載の発明）によるサンドブラスト方法は、上記目的を達成するために、加工対象物に研磨材を吹き付けることによって加工対象物の成形加工を行うサンドブラスト方法において、加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管に複数のフィルタ部材を並列に配置して、この複数のフィルタ部材を切り替えて回収用配管に連通させることを特徴としている。

この発明によるサンドブラスト装置は、プラズマディスプレイパネルの基板等の加工対象物の成形加工を行うサンドブラスト処理室内に取り付けられたブラストノズルから加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管に、二個の異物除去用フィルタが並列に取り付けられていて、この二個の異物除去用フィルタが、回収用配管に取り付けられた切替弁によって切り替えられることによって、交互に回収用配管に連通されるようになっているサンドブラスト装置を、その最良の実施形態としている。

上記実施形態によるサンドブラスト装置によって実施されるサンドブラスト方法は、回収用配管に並列に接続された二個の異物除去用フィルタのうちの一方が切替弁によって回収用配管に連通されて、回収用配管を通ってサンドブラスト処理室内から回収されてくる使用済み研磨材を通過させる。

そして、この回収用配管に連通された一方の異物除去用フィルタが、通過してゆく使用済み研磨材から除去された異物によって目詰まりを起こす前に、切替弁が切り替えられて、この目詰まりを起こす直前の一方の異物除去用フィルタと回収用配管との連通が遮断されるとともに、代わって他方の異物除去用フィルタが回収用配管に連通されて、回収用配管によって回収される使用済み研磨材を通過させる。

以上のように、上記実施形態によるサンドブラスト装置およびこのサンドブラスト装置によって実施されるサンドブラスト方法によれば、回収用配管に並列に接続された二個の異物除去用フィルタを切替弁によって切り替えて交互に使用し、一方の異物除去用フィルタを稼働させて使用済み研磨材から異物の除去を行いながら、稼働によって目詰まりを起こす直前の他方の異物除去用フィルタを回収用配管から遮断した状態でその清掃を行うことが出来るので、従来のように、異物除去用フィルタの清掃のためにサンドブラスト装置の運転を停止させる必要が無くなり、サンドブラスト装置の稼働率を大幅に向上させることが出来るようになる。

図２は、この発明によるサンドブラスト装置の実施形態における第１の実施例を示す構成図である。

この第１実施例におけるサンドブラスト装置１０は、加工対象物（例えばＰＤＰ）Ｐに対してサンドブラスト法による研削加工を行うサンドブラスト処理室１１内に、研磨材を吹き出す複数個（図示の例では３個）のブラストノズル１１Ａが下向きに取り付けられていて、この各ブラストノズル１１Ａに供給用配管Ｌ１を介して高圧空気供給器１２が接続されている。

さらに、この高圧空気供給器１２と各ブラストノズル１１Ａを接続するそれぞれの供給用配管Ｌ１の途中には、研磨材タンク１３が接続されていて、この研磨材タンク１３から供給用配管Ｌ１に微小粉末の研磨材が供給されるようになっている。

サンドブラスト処理室１１の底部には、ブラストノズル１１Ａから加工対象物Ｐに吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管Ｌ２が接続され、この回収用配管Ｌ２に、第１切替弁Ｖ１を介して二個の第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２が並列に接続されており、第１切替弁Ｖ１の切り替えによって、この第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２が切り替えて回収用配管Ｌ２に連通されるようになっている。

そして、この第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２は、第２切替弁Ｖ２を介して分離器１５に接続された配管Ｌ３に接続されていて、第２切替弁Ｖ２の切り替えによって分離器１５に交互に連通されるようになっている。

回収用配管Ｌ２には、研磨材供給器１４が接続されており、この研磨材供給器１４から新しい研磨材が供給されて、第１異物除去用フィルタＦ１またはＦ２と分離器１５を通過して、この新しい研磨材に含まれている異物や所定の範囲外の径の研磨材が除去された後、研磨材タンク１３に導入されるようになっている。

分離器１５には、集塵機１６が接続されている。

次に、このサンドブラスト装置１０の作動について説明を行う。

サンドブラスト装置１０は、研磨材供給器１４から研磨材タンク１３に新しい研磨材が供給され、この研磨材タンク１３から供給用配管Ｌ１に研磨材が供給される。

そして、研磨材タンク１３から供給用配管Ｌ１に供給された研磨材は、高圧空気供給器１２から供給される高圧空気によってブラストノズル１１Ａに運ばれて、ブラストノズル１１Ａから高圧空気とともに吹き出されることにより、サンドブラスト処理室１１内に搬入されて所定の位置にセッティングされた加工対象物Ｐの加工面に吹き付けられる。

この後、使用済みの研磨材は、サンドブラスト処理室１１の底部から回収用配管Ｌ２に回収される。

このとき、図３に示されるように、最初、第１切替弁Ｖ１および第２切替弁Ｖ２が、第１異物除去用フィルタＦ１を回収用配管Ｌ２と配管Ｌ３および分離器１５に連通させる側に切り替えられている。

これによって、回収用配管Ｌ２内を通って回収されてくる使用済みの研磨材が異物除去用フィルタＦ１を通過して、この使用済み研磨材に混入している加工対象物Ｐの表面から剥がれたレジスト・マスク（耐サンドブラスト・マスク）の欠片や研削屑等が、第１異物除去用フィルタＦ１によって除去される。

そして、使用済み研磨材は、この第１異物除去用フィルタＦ１の通過後、分離器１５内に導入され、この分離器１５内において所定の径以下の研磨材が分離された後、再使用のために研磨材タンク１３に供給される。

なお、分離器１５において分離された所定の径以下の研磨材は、集塵機１６によって回収される。

以上のようにして、サンドブラスト装置１０による加工対象物Ｐのサンドブラスト加工が継続して行われた結果、第１異物除去用フィルタＦ１が研磨材から除去された異物によって目詰まりを起こす直前に、図４に示されるように、第１切替弁Ｖ１および第２切替弁Ｖ２が、第１異物除去用フィルタＦ１に替えて第２異物除去用フィルタＦ２を回収用配管Ｌ２と配管Ｌ１および分離器１５に連通させる側に切り替えられる。

これによって、回収用配管Ｌ２内を通って回収されてくる使用済みの研磨材からの異物除去は、サンドブラスト装置１０の運転が停止されることになく、第２異物除去用フィルタＦ２によって継続して行われる。

そして、この第２異物除去用フィルタＦ２が稼働されている間に、目詰まりが発生した第１異物除去用フィルタＦ１の清掃が行われる。

また、第２異物除去用フィルタＦ２に目詰まりが発生した場合には、第１切替弁Ｖ１と第２切替弁Ｖ２が上記と反対側に切り替えられて、第１異物除去用フィルタＦ１による使用済み研磨材からの異物除去が継続して行われ、その間に第２異物除去用フィルタＦ２の清掃が行われる。

なお、第１切替弁Ｖ１と第２切替弁Ｖ２の切り替えは、オペレータによって手動で行われるようにしても良いが、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２の下流側の圧力や流速等を検出することによって、それぞれ第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２の目詰まりを検知して、第１切替弁Ｖ１と第２切替弁Ｖ２を自動的に切り替えるようにしても良い。

図５は、第１切替弁Ｖ１と第２切替弁Ｖ２を自動的に切り替えるための構成の一例を示す構成図であり、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２の下流側にそれぞれ流速または圧力検出センサＳ１，Ｓ２が取り付けられていて、この流速または圧力検出センサＳ１，Ｓ２からの流速または圧力検出信号に基づいてコントローラＣが、第１切替弁Ｖ１および第２切替弁Ｖ２にそれぞれ接続されたアクチュエータＡ１，Ａ２を動作させることにより、第１切替弁Ｖ１および第２切替弁Ｖ２を自動的に切り替える。

以上のように、上記サンドブラスト装置１０によれば、サンドブラスト装置１０を停止させることなく異物除去用フィルタの清掃を行うことができるので、サンドブラスト装置１０の運転効率を従来のものと比べて大幅に向上させることが出来るようになる。

図６は、この発明によるサンドブラスト装置の実施形態における第２の実施例を示す構成図である。

この図６は、第２実施例におけるサンドブラスト装置２０の第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２の接続部分の構成を拡大して示すものであって、このサンドブラスト装置２０の他の部分は、図２に示される第１実施例のサンドブラスト装置１０の構成と同様である。

この図６において、サンドブラスト装置２０は、第１実施例のサンドブラスト装置１０の構成に加えて、ファンＦＡに接続された排気用配管Ｌ４がさらに設けられており、この排気用配管Ｌ４に、第１異物除去用フィルタＦ１と第２切替弁Ｖ２を結ぶ第１管路Ｌ５、および、第２異物除去用フィルタＦ２と第２切替弁Ｖ２を結ぶ第２管路Ｌ６が、それぞれ接続されている。

そして、この第１管路Ｌ５の途中にダンパＤ１が取り付けられ、第２管路Ｌ６の途中にダンパＤ２が取り付けられている。

このサンドブラスト装置２０は、その運転稼働中、ファンＦＡが駆動されることによって、排気用配管Ｌ４内が負圧に維持されている。

そして、例えば図示されているように、第１切替弁Ｖ１と第２切替弁Ｖ２が、第２異物除去用フィルタＦ２を回収用配管Ｌ２および配管Ｌ３に連通させる側に切り替えられている時には、ダンパＤ１が開放されて、第１管路Ｌ５が排気用配管Ｌ４に連通され、ダンパＤ２は閉じられる。

これによって、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａ内は、ファンＦＡによる吸引によって、負圧状態に維持される。

このように、第１異物除去用フィルタＦ１の清掃時には、そのキャビネットＦ１ａ内が負圧状態に維持されることによって、第１異物除去用フィルタＦ１に付着している異物が大気中に漏れ出るのが防止される。

すなわち、第１異物除去用フィルタＦ１が回収用配管Ｌ２と配管Ｌ３に連通されて、第１異物除去用フィルタＦ１による使用済み研磨材からの異物除去が行われている時には、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａ内は、分離器１５側からの吸引によって負圧に保たれているが、第１切替弁Ｖ１および第１切替弁Ｖ１の切り替えによって回収用配管Ｌ２および配管Ｌ３が第２異物除去用フィルタＦ２に連通されると、そのままでは第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａ内が大気圧になってしまって、清掃中に第１異物除去用フィルタＦ１に付着している異物が大気中に漏れだしてしまう虞があるが、上記のようにキャビネットＦ１ａ内を負圧に保つことによって、第１異物除去用フィルタＦ１から異物が大気中に漏れ出すのが防止される。

第２異物除去用フィルタＦ２の清掃時には、上記と反対に、ダンパＤ１が閉じられるとともにダンパＤ２が開かれて、第２管路Ｌ６が排気用配管Ｌ４に連通されることにより、第２異物除去用フィルタＦ２のキャビネットＦ２ａ内が負圧状態に維持されて、第２異物除去用フィルタＦ２から異物が大気中に漏れ出すのが防止される。

なお、ダンパＤ１とＤ２の開閉は、手動で行うようにしても良いが、第１切替弁Ｖ１および第１切替弁Ｖ１の切り替えに連動して自動的に行われるようにしても良い。

図７および８は、この発明によるサンドブラスト装置の実施形態における第３の実施例を示しており、図７はこの第３の実施例のサンドブラスト装置の全体の構成図であり、図８はその部分拡大図である。

この第３実施例によるサンドブラスト装置３０は、前述した第２実施例のサンドブラスト装置２０が排気用配管Ｌ４にファンＦＡを別個に接続していたのに対して、排気用配管Ｌ４が集塵機１６の集塵用ファン１６Ａに接続されて、この集塵用ファン１６Ａの駆動によって、排気用配管Ｌ４内の負圧状態が維持されるようになっている。

他の部分の構成は、第２実施例のサンドブラスト装置２０の構成と同様であり、図７および８において同一の構成部分については同一の符号が付されている。

この情報提供装置３０によれば、前述した第２実施例のサンドブラスト装置２０の作用効果に加えて、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａおよび第２異物除去用フィルタＦ２のキャビネットＦ２ａ内を負圧状態に維持するのに既存の駆動源を利用することによって、サンドブラスト装置が備えている駆動源を有効に利用することが出来るようになる。

そして、このサンドブラスト装置３０によれば、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａおよび第２異物除去用フィルタＦ２のキャビネットＦ２ａ内からそれぞれの清掃時に排気用配管Ｌ４を介して吸引される異物が、集塵機１６の集塵ボックス１６Ｂ内に集められ、これによって、清掃時に、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２に付着していた異物が大気中に飛散してしまうのをさらに防止することが出来るようになる。

図９は、この発明によるサンドブラスト装置の実施形態における第４の実施例を示す構成図である。

この図９は、第４実施例におけるサンドブラスト装置４０の第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２の接続部分の構成を拡大して示すものであって、このサンドブラスト装置４０の他の部分は、図２に示される第１実施例のサンドブラスト装置１０の構成と同様である。

この図９において、サンドブラスト装置４０は、第１実施例のサンドブラスト装置１０の構成に加えて、ファンＦＡ１に接続された排気用配管Ｌ１０がさらに設けられている。

そして、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａ内の第１異物除去用フィルタＦ１よりも上流側（図９において下側）部分が、接続管路Ｌ１１を介して排気用配管Ｌ１０に接続され、この接続管路Ｌ１１の途中にダンパＤ１１が取り付けられていて、このダンパＤ１１の開閉によって、キャビネットＦ１ａの上流側部分と排気用配管Ｌ１０との連通が断接されるようになっている。

さらに、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａ内の第１異物除去用フィルタＦ１よりも下流側（図９において上側）部分には、一方の端部が大気に連通された開放用管路Ｌ１２が接続され、この開放用管路Ｌ１２の途中にダンパＤ１２が取り付けられていて、このダンパＤ１２の開閉によって、キャビネットＦ１ａの下流側部分と大気との連通が断接されるようになっている。

同様に、第２異物除去用フィルタＦ２のキャビネットＦ２ａ内の第２異物除去用フィルタＦ２よりも上流側（図９において下側）部分が、接続管路Ｌ１３を介して排気用配管Ｌ１０に接続され、この接続管路Ｌ１３の途中にダンパＤ１３が取り付けられていて、このダンパＤ１３の開閉によって、キャビネットＦ２ａの上流側部分と排気用配管Ｌ１０との連通が断接されるようになっている。

さらに、第２異物除去用フィルタＦ２のキャビネットＦ２ａ内の第２異物除去用フィルタＦ２よりも下流側（図９において上側）部分には、一方の端部が大気に連通された開放用管路Ｌ１４が接続され、この開放用管路Ｌ１４の途中にダンパＤ１４が取り付けられていて、このダンパＤ１４の開閉によって、キャビネットＦ２ａの下流側部分と大気との連通が断接されるようになっている。

次に、このサンドブラスト装置４０の作動について、図１０ないし１３を参照しながら説明を行う。

なお、以下においては、第１異物除去用フィルタＦ１について説明を行うが、第２異物除去用フィルタＦ２についても、同様である。

サンドブラスト装置４０の稼働中は、ファンＦＡ１が駆動されて、排気用配管Ｌ１０内が常に負圧状態に維持されている。

そして、第１異物除去用フィルタＦ１によって使用済み研磨材からの異物除去が行われている時には、図１０に示されるように、ダンパＤ１１およびＤ１２が共に閉じられていて、使用済み研磨材が回収用配管Ｌ２から配管Ｌ３側に第１異物除去用フィルタＦ１を通過して、使用済み研磨材に含まれる異物が除去される。

この第１異物除去用フィルタＦ１が目詰まりを起こすと、第１実施例において説明したように、回収用配管Ｌ２および配管Ｌ３との連通が第２異物除去用フィルタＦ２側に切り替えられて、第１異物除去用フィルタＦ１と回収用配管Ｌ２および配管Ｌ３との連通は遮断される。

この状態で、図１１に示されるように、先ずダンパＤ１１が開かれて、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａの上流側部分が排気用配管Ｌ１０に連通されて、キャビネットＦ１ａ内が負圧状態にされる。

続いて、図１２に示されるように、ダンパＤ１２が開かれて、第１異物除去用フィルタＦ１のキャビネットＦ１ａの下流側部分が開放用管路Ｌ１２を介して大気に連通される。

これによって、開放用管路Ｌ１２からキャビネットＦ１ａ内に大気中の空気が吸い込まれて、この空気が第１異物除去用フィルタＦ１を通過した後、接続管路Ｌ１１から排気用配管Ｌ１０に吸い込まれてゆく。

この使用済み研磨材の流れの方向とは逆方向の空気の流れによって、第１異物除去用フィルタＦ１に付着している使用済み研磨材から除去された異物が第１異物除去用フィルタＦ１から離脱され、空気の流れに乗って、排気用配管Ｌ１０内に排出されてゆく。

このようにして、第１異物除去用フィルタＦ１から付着していた異物が除去された後、図１３に示されるように、先ずダンパＤ１１が閉じられ、次に、ダンパＤ１２が閉じられることによって、キャビネットＦ１ａ内と排気用配管Ｌ１０および大気との連通が遮断されて、次の第２異物除去用フィルタＦ２との切り替えまで、この待機状態が維持される。

第２異物除去用フィルタＦ２の清掃の際にも、ダンパＤ１３とＤ１４の切り替えによって、同様に第２異物除去用フィルタＦ２から異物が自動的に除去される。

なお、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２の汚れによっては、第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２の一回の切り替え時に、図１０から１３間での工程を数回繰り返すようにしても良い。

また、図９に示されるように、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２にバイブレータＢ１，Ｂ２をそれぞれ取り付けて、第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２の清掃時にこのバイブレータＢ１とＢ２を駆動して、第１異物除去用フィルタＦ１と第２異物除去用フィルタＦ２をそれぞれ振動させるようにしても良い。

上記において、ダンパＤ１１，Ｄ１２，Ｄ１３，Ｄ１４の開閉は手動で行われるようにしても良いが、第１切替弁Ｖ１および第２切替弁Ｖ２の切り替えに連動して、自動で行われるようにしても良い。

上記においては、ファンＦＡ１による吸引によって開放用管路Ｌ１２，Ｌ１４から大気が第１異物除去用フィルタＦ１，Ｆ２内に吸い込まれるようになっているが、開放用管路Ｌ１２およびＬ１４の大気側開口部に、ファンＦＡ１の代わりに空気供給用ファンを設けて第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２内に大気中の空気を送り込むようにしても良く、また、この空気供給用ファンとファンＦＡ１の両方を使用するようにしても良い。

以上のように、上記サンドブラスト装置４０によれば、前述した第１実施例および第２実施例のサンドブラスト装置の作用効果に加えて、第１異物除去用フィルタＦ１および第２異物除去用フィルタＦ２の清掃を、オペレータが手動で行うことなく自動で行うことが出来るようになる。

また、排気用配管Ｌ１０を第３実施例の場合と同様に、集塵機の集塵ファンに接続するようにすれば、サンドブラスト装置の駆動源の有効利用を図ることが出来る。

従来のサンドブラスト装置を示す構成図である。この発明の実施形態におけるサンドブラスト装置の第１実施例を示す構成図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。同実施例によるサンドブラスト装置の変形例を示す構成図である。この発明の実施形態におけるサンドブラスト装置の第２実施例を示す構成図である。この発明の実施形態におけるサンドブラスト装置の第３実施例を示す構成図である。同実施例の要部部分を拡大して示す構成図である。この発明の実施形態におけるサンドブラスト装置の第４実施例を示す構成図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。同実施例によるサンドブラスト装置の作動状態を部分的に拡大して示す作動説明図である。

符号の説明

１０，２０，３０，４０ …サンドブラスト装置
１１ …サンドブラスト処理室
１１Ａ …ブラストノズル（噴射部材）
１５ …分離器（回収用部材）
１６ …集塵機
１６Ａ …集塵用ファン（負圧発生部材）
Ａ１、Ａ２ …アクチュエータ（駆動部材）
Ｂ１，Ｂ２ …バイブレータ（振動部材）
Ｃ …コントローラ（制御部材）
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ１１，Ｄ１３ …ダンパ（第１ダンパ部材）
Ｄ１２，Ｄ１４ …ダンパ（第２ダンパ部材）
Ｆ１ …第１異物除去用フィルタ（フィルタ部材）
Ｆ１ａ …キャビネット（チャンバ）
Ｆ２ …第２異物除去用フィルタ（フィルタ部材）
Ｆ２ａ …キャビネット（チャンバ）
ＦＡ，ＦＡ１ …ファン（負圧発生部材）
Ｌ２ …回収用配管
Ｌ４，Ｌ１０ …排気用配管（負圧発生部材）
Ｌ１２，Ｌ１４ …開放用管路（開放部）
Ｓ１，Ｓ２ …流速または圧力検出センサ（検出部材）
Ｖ１ …第１切替弁（第１切替部材）
Ｖ２ …第２切替弁（第２切替部材）

Claims

噴射部材から研磨材を吹き付けることによって加工対象物の成形加工を行うサンドブラスト装置において、
前記噴射部材から加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管と、
この回収用配管に対して並列に配置された複数のフィルタ部材と、
前記回収用配管に取り付けられて複数のフィルタ部材を切り替えて回収用配管に連通させる第１切替部材と、
を備えていることを特徴とするサンドブラスト装置。
前記回収用配管に対して二個のフィルタ部材が並列に配置され、この二個のフィルタ部材が第１切替部材によって交互に切り替えられて回収用配管に連通される請求項１に記載のサンドブラスト装置。
前記回収用配管を介して回収されてくる使用済み研磨材が導入される回収用部材と、この回収用部材と複数のフィルタ部材との間に取り付けられて第１切替部材によって回収用配管に連通されたフィルタ部材を切り替えによって回収用部材に連通させる第２切替部材をさらに備えている請求項１に記載のサンドブラスト装置。
前記第１切替部材に接続されて第１切替部材の切り替えを行う駆動部材と、各フィルタ部材に取り付けられてフィルタ部材の目詰まり状態を検出する検出部材と、この検出部材による検出に基づいて駆動部材を駆動して第１切替部材を切り替える制御部材とをさらに備えている請求項１に記載のサンドブラスト装置。
前記第１切替部材および第２切替部材に接続されて第１切替部材および第２切替部材の切り替えを行う駆動部材と、各フィルタ部材に取り付けられてフィルタ部材の目詰まり状態を検出する検出部材と、この検出部材による検出に基づいて駆動部材を駆動して第１切替部材および第２切替部材を切り替える制御部材とをさらに備えている請求項３に記載のサンドブラスト装置。
前記複数のフィルタ部材をそれぞれ収容する各チャンバに接続された負圧発生部材と、この負圧発生部材とフィルタ部材を収容する各チャンバとの間にそれぞれ取り付けられて負圧発生部材と各チャンバ内との連通を断接する第１ダンパ部材をさらに備えている請求項１に記載のサンドブラスト装置。
前記負圧発生部材が、フィルタ部材を収容する各チャンバに接続された排気用配管と、この排気用配管に取り付けられたファン部材とを有している請求項６に記載のサンドブラスト装置。
前記回収用配管から回収される使用済み研磨材から集塵を行う集塵機をさらに備え、この集塵機の集塵用ファンに排気用配管が接続されている請求項７に記載のサンドブラスト装置。
前記負圧発生部材がフィルタ部材を収容する各チャンバ内のフィルタ部材よりも上流側部分に接続され、各チャンバ内のフィルタ部材よりも下流側部分が大気に開放された開放部に接続され、この開放部と各チャンバ内のフィルタ部材よりも下流側部分との間に、チャンバ内と大気との連通を断接する第２ダンパ部材がそれぞれ取り付けられている請求項６に記載のサンドブラスト装置。
前記各フィルタ部材に、このフィルタ部材を振動させる振動部材がそれぞれ取り付けられている請求項１に記載のサンドブラスト装置。
前記加工対象物がプラズマディスプレイパネルの基板上に形成される単位発光領域区画用の隔壁である請求項１に記載のサンドブラスト装置。
加工対象物に研磨材を吹き付けることによって加工対象物の成形加工を行うサンドブラスト方法において、
加工対象物に吹き付けられた使用済みの研磨材を回収する回収用配管に複数のフィルタ部材を並列に配置して、この複数のフィルタ部材を切り替えて回収用配管に連通させることを特徴とするサンドブラスト方法。
前記回収用配管に対して二個のフィルタ部材を並列に配置して、この二個のフィルタ部材を交互に切り替えて回収用配管に連通させる請求項１２に記載のサンドブラスト方法。
前記回収用配管を介して回収されてくる使用済み研磨材が導入される回収用部材に、複数のフィルタ部材のうち回収用配管に連通されているフィルタ部材を切り替えて連通させる請求項１２に記載のサンドブラスト方法。
前記複数のフィルタ部材の回収用配管との連通の切り替えを、各フィルタ部材に取り付けられてフィルタ部材の目詰まり状態を検出する検出部材による検出に基づいて駆動される駆動部材によって行う請求項１２に記載のサンドブラスト方法。
前記複数のフィルタ部材の回収用配管および回収用部材との連通の切り替えを、各フィルタ部材に取り付けられてフィルタ部材の目詰まり状態を検出する検出部材による検出に基づいて駆動される駆動部材によって行う請求項１４に記載のサンドブラスト方法。
前記複数のフィルタ部材をそれぞれ収容する各チャンバに負圧発生部材を接続して、回収用配管との連通が遮断されているフィルタ部材のチャンバと負圧発生部材とを切り替えて連通させる請求項１２に記載のサンドブラスト方法。
前記負圧発生部材のフィルタ部材を収容する各チャンバに接続された排気用配管にファン部材を取り付けて、このファン部材の駆動によってチャンバ内に負圧を発生させる請求項１７に記載のサンドブラスト方法。
前記回収用配管から回収される使用済み研磨材から集塵を行う集塵機の集塵用ファンを排気用配管に接続して負圧を発生させる請求項１８に記載のサンドブラスト方法。
前記負圧発生部材をフィルタ部材を収容する各チャンバ内のフィルタ部材よりも上流側部分に接続し、各チャンバ内のフィルタ部材よりも下流側部分に大気に開放された開放部を接続して、回収用配管との連通が遮断されているフィルタ部材のチャンバを負圧発生部材および大気に切り替えて連通させる請求項１７に記載のサンドブラスト方法。
前記各フィルタ部材に振動部材をそれぞれ取り付けて、回収用配管との連通が遮断されているフィルタ部材を振動させる請求項１２に記載のサンドブラスト方法。