JP2005144512A - Optical macachining apparatus - Google Patents

Optical macachining apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2005144512A
JP2005144512A JP2003387904A JP2003387904A JP2005144512A JP 2005144512 A JP2005144512 A JP 2005144512A JP 2003387904 A JP2003387904 A JP 2003387904A JP 2003387904 A JP2003387904 A JP 2003387904A JP 2005144512 A JP2005144512 A JP 2005144512A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
image
light energy
optical path
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003387904A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoko Fukunaka
智子 福中
Yasu Watanabe
鎮 渡辺
Masafumi Ishiguro
雅史 石黒
Masahiro Sato
正博 佐藤
Shinsuke Shimabayashi
信介 島林
Kenji Takahashi
健治 高橋
Kazuhiko Yamashita
和彦 山下
Manabu Nishihara
学 西原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2003387904A priority Critical patent/JP2005144512A/en
Priority to US10/986,893 priority patent/US7532749B2/en
Publication of JP2005144512A publication Critical patent/JP2005144512A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means capable of deciding normal/defective conditions of a machining state in a simple manner relating to a machining apparatus for solder joining or thermal processing of a resin by condensing optical energy to enable local heating and a production facility using the same. <P>SOLUTION: An optical energy output means 1 of outputting optical energy is shown in the figure and is a machining energy source. The state of a workpiece enters an image receiving means 10 through a first optical path 2 and a second optical path 7. The image and the image previously set in a storage 12 are compared and the normal/defective conditions are decided. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

光エネルギーを集光することで局所加熱を可能にし、はんだ接合あるいは樹脂の加熱加工などの加工装置およびこれを用いた生産設備に関するものである。   The present invention relates to a processing apparatus such as solder bonding or resin heat processing, and production equipment using the same, which enables local heating by condensing light energy.

近年、回路実装等に用いられるプリント基板の元となる樹脂基板の加工の際には、従来用いられていた機械ドリルによる穴あけに加えて、レーザ光を用いた穴あけが行われている(例えば特許文献1)。   In recent years, when processing a resin substrate that is a base of a printed circuit board used for circuit mounting or the like, drilling using a laser beam is performed in addition to drilling using a mechanical drill that has been conventionally used (for example, patents) Reference 1).

また、はんだ接合をリフロー炉を用いずに、レーザ光などに代表される、光加工機によって溶融し実装に用いる光過熱加工が用いられるようになっている(例えば特許文献2)。   Further, without using a reflow oven, soldering is used by optical superheat processing used for mounting after being melted by an optical processing machine represented by laser light or the like (for example, Patent Document 2).

以上の様な、レーザ加工に代表される光加工装置による加工状体の良否は、加工後に行われている。はんだ接合の良否判定には、X線検査装によって接合部にX線を透過させたX線映像によって行う場合が多い。   The quality of the processed body by the optical processing apparatus represented by laser processing as described above is performed after processing. In many cases, the quality of the solder joint is determined based on an X-ray image in which X-rays are transmitted through the joint portion by X-ray inspection equipment.

また多数個取り基板で、良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)を加工前から被加工物に付し、加工後にその色彩の存在を確認する方法があるが(例えば特許文献3参照)、色彩による良否判定によりその部分を加工から外すことがない。
特開平11−320155号公報 特開平3−238185号公報 特開平8−159981号公報
In addition, there is a method of attaching a color (bad mark) used when performing pass / fail judgment to a workpiece before processing and confirming the presence of the color after processing (see, for example, Patent Document 3). The part is not removed from the processing by the quality determination by the color.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-320155 JP-A-3-238185 Japanese Patent Laid-Open No. 8-159981

上記のような加工良否の判断方法では以下のような課題がある。   The above-described method for determining whether or not the processing is good has the following problems.

例えば、X線検査装置による場合、はんだ接合終了後の多数のプリント基板のなかからサンプルを無作為に選んで、その良否を判定する方法が主流であるが、これだとその良否を全て確認することはできない。また、X線検査装置をプリント基板の生産ラインに組み込むインライン方式も実用化されているが、生産のための工数が多くなるという欠点を有している。   For example, in the case of using an X-ray inspection apparatus, the mainstream method is to randomly select a sample from a large number of printed circuit boards after the completion of soldering and judge the quality, but this confirms all the quality. It is not possible. An in-line method in which an X-ray inspection apparatus is incorporated into a printed circuit board production line has also been put into practical use, but has the disadvantage that the number of man-hours for production increases.

また多数個取り基板で、良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)が加工前から被加工物に存在する場合、これらはインクなどで塗られているが、簡単な方法で良否判定できなかった。   In the case of multi-chip substrates, when colors (bad marks) used for quality determination are present on the workpiece before processing, these are painted with ink etc., but it is not possible to determine quality with a simple method. It was.

本発明は、上記の課題を解決するために、簡易に加工状体の良否判定ができる手段を提供することを目的とする。   In order to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide a means that can easily determine the quality of a processed object.

上記の課題を解決するため、本発明の第1手段は、光エネルギーを出力する光エネルギー出力手段と、前記光エネルギーを被加工物へ導く第1の光路と、被加工物からの光路の
一部が前記第1の光路と重複する第2の光路と、前記第2の光路に配置した受像手段を備え、前記受像手段からの画像と予め設定した画像を比較する比較手段を設けて良否判定を行う。
In order to solve the above problems, the first means of the present invention includes a light energy output means for outputting light energy, a first light path for guiding the light energy to the work piece, and a light path from the work piece. The unit includes a second optical path that overlaps the first optical path, and an image receiving unit disposed in the second optical path, and is provided with a comparison unit that compares the image from the image receiving unit with a preset image. I do.

本発明の第2手段は、光エネルギーの方向に対して略垂直方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第1の駆動手段と、光エネルギーの方向に対して略水平方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第2の駆動手段と、前記第1の駆動手段と第2の駆動手段を制御する駆動制御手段を設け、被加工物の各加工部位毎に比較のための画像を設定する。   The second means of the present invention includes a first drive means for relatively moving the first optical path and the workpiece in a direction substantially perpendicular to the direction of light energy, and a first drive means in a direction substantially horizontal to the direction of light energy. A second drive unit that relatively moves the optical path of one workpiece and the workpiece, and a drive control unit that controls the first drive unit and the second drive unit. Set the image for.

本発明の第3手段は、良否判定を行う際に用いる色彩が加工前から被加工物に存在する場合、その部分を加工から外す。   The 3rd means of this invention removes that part from processing, when the color used when performing quality determination exists in a to-be-processed object from before processing.

本発明の第4手段は、光エネルギーを被加工物に照射する前に、比較手段で良否判定を行う。   The fourth means of the present invention makes a pass / fail judgment by the comparison means before irradiating the workpiece with light energy.

本発明の第5手段は、光エネルギーを被加工物に照射した後で、比較手段で良否判定を行う。   The fifth means of the present invention performs pass / fail judgment by the comparison means after irradiating the workpiece with light energy.

本発明によれば、各加工部位の加工前および加工後の良品及び不良品の画像としきい値とをあらかじめ記憶させ、加工前および加工後にその画像と被加工物の画像を比較し、良否判定を行うことが可能になる。   According to the present invention, pre- and post-processing images of non-defective and defective products and threshold values are stored in advance, and the pre-processing and post-processing images are compared with the image of the workpiece to determine pass / fail. It becomes possible to do.

さらに多数個取り基板で、良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)が加工前から被加工物に存在する場合、各加工部位の加工前にその部分を加工から外すことができる。
従って、不要な加工を省き、時間とコストを低減することができる。
Further, in the case where a multi-chip substrate has a color (bad mark) used for quality determination in a workpiece before processing, the portion can be removed from processing before processing each processing site.
Therefore, unnecessary processing can be omitted and time and cost can be reduced.

(実施の形態1)
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図1、図2を用いて説明する。
図によれば、符号1で示されるのは光エネルギーを出力する光エネルギー出力手段で、樹脂加工の場合は主としてレーザ発振器が用いられる。このレーザ発振器には、炭酸ガスレーザ発振器、YAGレーザの発振器、半導体レーザの発振器等、各種レーザ発振器が利用可能である。また、はんだ接合の場合はキセノンランプ等が用いられる。符号2で示されるのは光エネルギーであるレーザ光やランプ光を被加工物に導く光エネルギーの(第1の)光路で、一般に導光にはファイバーが用いられる。符号3で示されるのはハーフミラーであり、加工や接合のために必要な光エネルギーの波長成分を透過させ、可視光成分を反射させる特性をもっている。
(Embodiment 1)
Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS.
According to the figure, reference numeral 1 denotes a light energy output means for outputting light energy. In the case of resin processing, a laser oscillator is mainly used. As this laser oscillator, various laser oscillators such as a carbon dioxide gas laser oscillator, a YAG laser oscillator, and a semiconductor laser oscillator can be used. In the case of solder joint, a xenon lamp or the like is used. Reference numeral 2 denotes a light energy (first) optical path for guiding laser light or lamp light, which is light energy, to a workpiece, and generally a fiber is used for light guiding. Reference numeral 3 denotes a half mirror, which has a characteristic of transmitting a wavelength component of light energy necessary for processing and joining and reflecting a visible light component.

符号4で示すのは、光エネルギーを成形する光学手段であり、球面レンズ、円筒レンズ等の各種レンズによって構成されている。光エネルギー出力手段1から出る光を必要なビーム径に成形し集光する。その集光特性は光エネルギー光源の発散特性に合わせて設定されている。   Reference numeral 4 denotes an optical means for shaping light energy, and includes various lenses such as a spherical lens and a cylindrical lens. Light emitted from the light energy output means 1 is shaped into a necessary beam diameter and condensed. The condensing characteristic is set according to the divergence characteristic of the light energy light source.

符号5で示されるのは着脱可能な保護ガラスであり、加工時に基板等から跳ね返ってくる塵等を含めた異物が光学手段4に付着することを防ぐ。異物付着により光エネルギー出力が低下した場合にこれを交換することで、光出力を回復させ、メンテナンスを容易にする。   Reference numeral 5 denotes a detachable protective glass that prevents foreign matter including dust and the like rebounding from the substrate during processing from adhering to the optical means 4. When the light energy output is reduced due to the attachment of foreign matter, the light output is replaced to restore the light output and facilitate maintenance.

符号6で示すのは本装置の加工対象である被加工物で、レーザによる穴あけ加工においてはプリント基板に用いられるエポキシ樹脂基板、はんだ接合においてはプリント基板が主である。   Reference numeral 6 denotes a workpiece to be processed by this apparatus, which is mainly an epoxy resin substrate used for a printed circuit board in laser drilling and a printed circuit board in solder bonding.

符号7でしめされるのは示されるのは、被加工物からの反射波のうちハーフミラーを反射した光を後述する受像手段に導光するための受像手段の(第2の)光路で、導光にはファイバが用いられる。ハーフミラー3で反射し、光路7を通った光はミラー8で再び反射して、光エネルギーの成形手段で歪んだ画像を補正する画像歪み補正手段としてのレンズ9を通って受像手段10に至る。   What is indicated by reference numeral 7 is a (second) optical path of the image receiving means for guiding the light reflected from the half mirror among the reflected waves from the workpiece to the image receiving means described later, A fiber is used for the light guide. The light reflected by the half mirror 3 and passing through the optical path 7 is reflected again by the mirror 8 and reaches the image receiving means 10 through a lens 9 as an image distortion correcting means for correcting an image distorted by the light energy shaping means. .

受像手段10は、CCDやCMOSに代表される受像素子があり、受像した光を電気信号に変換して、画像補正等を加えながら、CRTや液晶画面で実現される表示手段11に映像信号を送る。表示手段11では受像手段10から送信された、被加工物の画像信号を表示する。この符号1から符号10で示すものを以降は加工ヘッドと呼ぶ。   The image receiving means 10 includes an image receiving element typified by a CCD or a CMOS, converts the received light into an electric signal, applies image correction, etc., and applies a video signal to the display means 11 realized on a CRT or liquid crystal screen. Send. The display means 11 displays the image signal of the workpiece transmitted from the image receiving means 10. Those indicated by reference numerals 1 to 10 are hereinafter referred to as processing heads.

符号12は、制御装置本体21に接続された画像比較手段で、この制御装置本体21の中に設けられた記憶手段13に格納された、加工前、加工後のそれぞれの良品画像と受光手段10によって取り込まれた被加工物の画像とを比較する。  Reference numeral 12 denotes an image comparison means connected to the control device main body 21, which is stored in a storage means 13 provided in the control device main body 21 before and after processing. Is compared with the image of the workpiece captured by.

以下、本実施の形態における光加工装置について、その動作を説明する。
まず光エネルギー出力手段1から出たレーザ光あるいはランプ光は、第1の光路2に沿ってハーフミラー3を透過し、光エネルギー整形手段4に入り、ここで必要な大きさに集光され、保護ガラス5を経て、被加工物上6に照射される。この集光された光で被加工物6を、レーザ光であれば被加工物の穴あけ、切断、ランプ光であればはんだ接合でというように加工する。被加工物6からにおいて反射した光は前記5、4を経てハーフミラー3で第2の光路7に反射し、ミラー8で再度反射後、画像歪み補正手段9を経て、受像手段10に入る。この情報は画像表示手段11に送られ、画像として表示される。
Hereinafter, the operation of the optical processing apparatus in the present embodiment will be described.
First, laser light or lamp light emitted from the light energy output means 1 passes through the half mirror 3 along the first optical path 2 and enters the light energy shaping means 4 where it is condensed to a required size. The workpiece 6 is irradiated through the protective glass 5. The workpiece 6 is processed with the condensed light, such as drilling and cutting of the workpiece if laser light is used, and soldering if the lamp light is used. The light reflected from the workpiece 6 is reflected by the half mirror 3 to the second optical path 7 after passing through the steps 5 and 4, reflected again by the mirror 8, and then enters the image receiving means 10 through the image distortion correcting means 9. This information is sent to the image display means 11 and displayed as an image.

被加工物の良否判定をする場合は、図示しないスイッチを押下することにより、あらかじめ記憶手段13に記録してある、加工後の良品の画像を選択して、表示手段によって同時に表示し、看者の目で比較することも可能となる。さらには、制御装置本体21に接続されている画像比較手段12を用いて、両者を比較する構成としてもよい。画像比較手段としては、あらかじめ記憶装置12に格納されていた画像の各画素の輝度情報に変換し、この輝度情報と被加工物の画像の各画素の輝度情報と、各画素毎に比較することにより良否判定を行うことができる。他にはスーパーインポーズ法を用いて良品画像と被加工物の画像とを重ね合わせることによって比較することも可能である。   When judging the quality of the work piece, a non-illustrated switch is pressed to select a processed non-defective image that has been recorded in the storage means 13 and displayed on the display means at the same time. It is also possible to compare with the eyes. Furthermore, it is good also as a structure which compares both using the image comparison means 12 connected to the control apparatus main body 21. FIG. As an image comparison means, it converts into the luminance information of each pixel of the image previously stored in the storage device 12, and compares this luminance information with the luminance information of each pixel of the image of the workpiece for each pixel. The pass / fail judgment can be made by the above. In addition, it is possible to compare by superimposing the non-defective image and the image of the workpiece using the superimpose method.

以上のように、本実施の形態によれば被加工物の良否判定ができる。
(実施の形態2)
本実施の形態において実施の形態1と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図1を用いて説明する。
As described above, according to the present embodiment, the quality of the workpiece can be determined.
(Embodiment 2)
In the present embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. This will be described with reference to FIG.

符号14で示すのは、加工位置を導き出し加工ヘッドの位置を検出する認識手段、符号15で示すのは光エネルギーの方向に対して略垂直方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第1の駆動手段、符号16で示すのは光エネルギーの方向に対して略水平方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第2の駆動手段、符号17で示すのは前記第1の駆動手段と第2の駆動手段を制御する駆動制御手段である。なお、駆動制御手段17は、制御装置本体21に内蔵されている。   Reference numeral 14 indicates a recognition means for deriving the processing position and detecting the position of the processing head. Reference numeral 15 indicates a relative movement of the first optical path and the workpiece in a direction substantially perpendicular to the direction of light energy. First drive means, indicated by reference numeral 16, is second drive means for relatively moving the first optical path and the workpiece in a substantially horizontal direction with respect to the direction of light energy, and reference numeral 17 indicates the first drive means. Drive control means for controlling the drive means and the second drive means. The drive control means 17 is built in the control device main body 21.

以下、本実施の形態における光加工装置について、その動作を説明する。
加工ヘッド位置認識手段14の情報から前記加工ヘッドの位置を検出し、駆動制御手段17は第1駆動手段15及び第2駆動手段16により、被加工物と加工ヘッドとの相対位置を変えることができる。
Hereinafter, the operation of the optical processing apparatus in the present embodiment will be described.
The position of the machining head is detected from the information of the machining head position recognition means 14, and the drive control means 17 can change the relative position between the workpiece and the machining head by the first drive means 15 and the second drive means 16. it can.

以上のように、本実施の形態によれば被加工物の加工部位の位置に関わらず被加工物の画像を取り込むことができる。
(実施の形態3)
本実施の形態において実施の形態2と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図1、図2、図3を用いて説明する。符号18で示すのは制御装置本体21に内蔵された色彩比較手段で、良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)が加工前から被加工物に存在するかを判別する役割を果たす。図2に示す符号31は良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)である。このバッドマーク31は、加工前に不良部分につけておく目印としての色彩である。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to capture an image of a workpiece regardless of the position of the processing portion of the workpiece.
(Embodiment 3)
In the present embodiment, the same parts as those in the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. This will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3. Reference numeral 18 denotes a color comparison means built in the control device main body 21, which plays a role of discriminating whether a color (bad mark) used for quality determination exists in the workpiece before processing. Reference numeral 31 shown in FIG. 2 is a color (bad mark) used when the quality is determined. The bad mark 31 is a color as a mark to be attached to a defective portion before processing.

以下、本実施の形態における光加工装置について、その動作を説明する。受像手段10より取り込んだ画像情報は制御装置本体21に送信され、色彩比較手段18に入力される。記憶手段13には予めバッドマークの色彩閾値が設定されている。色彩比較手段18に画像情報が入力されると、この色彩比較手段18からの色彩閾値引出し指令により、記憶手段13から色彩閾値情報が引き出され、色彩比較手段18に入力される。色彩比較手段18では、画像情報に含まれる色彩と色彩閾値情報との比較を行う。比較した結果、色彩比較手段18がバッドマークがあると判断した場合には、CPUにてバッドマークのある位置の座標情報を画像情報から求め、その部分を加工から外す。   Hereinafter, the operation of the optical processing apparatus in the present embodiment will be described. The image information captured from the image receiving means 10 is transmitted to the control device main body 21 and input to the color comparison means 18. A bad mark color threshold is set in the storage means 13 in advance. When image information is input to the color comparison unit 18, the color threshold information is extracted from the storage unit 13 and input to the color comparison unit 18 in accordance with a color threshold extraction command from the color comparison unit 18. The color comparison unit 18 compares the color included in the image information with the color threshold information. As a result of the comparison, if the color comparing means 18 determines that there is a bad mark, the CPU obtains coordinate information of the position where the bad mark is present from the image information, and removes that portion from the processing.

以上のように、本実施の形態によれば被加工物の部分が加工前に不良と分かっている場合、加工から外し、無駄な加工を行わずにすむことができる。
(実施の形態4)
本実施の形態において実施の形態3と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図1、図2を用いて説明する。本実施の形態では、制御装置本体21に内蔵され符号19で示される光エネルギーを被加工物に照射する前に比較を行う照射前比較手段の役割について説明する。
As described above, according to the present embodiment, when the part of the workpiece is known to be defective before processing, it can be removed from the processing and unnecessary processing is not performed.
(Embodiment 4)
In the present embodiment, the same parts as those of the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. This will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the role of pre-irradiation comparison means that performs comparison before irradiating the workpiece with the light energy indicated by reference numeral 19 built in the control device main body 21 will be described.

受像手段10より取り込んだ画像情報は、照射前比較手段19に入力される。記憶手段13には予めレーザ光、またはランプ光照射前の良品、不良品の画像情報が格納されている。照射前比較手段19に受像手段10からの画像情報が入力されると、この照射前比較手段19からの引き出し指令によって、記憶手段13に格納されている照射前の良品、不良品の画像が引き出され、照射前比較手段19に入力される。   The image information captured from the image receiving means 10 is input to the pre-irradiation comparing means 19. The storage unit 13 stores in advance image information of non-defective and defective products before irradiation with laser light or lamp light. When the image information from the image receiving means 10 is input to the pre-irradiation comparing means 19, the images of good and defective products before irradiation stored in the storage means 13 are pulled out by the extraction command from the pre-irradiation comparing means 19. And input to the pre-irradiation comparison means 19.

照射前比較手段19では、受像手段10から入力された画像情報と、記憶手段13から入力された画像情報とを比較し、加工対象の良品部分、不良品部分をを判断する。その結果、記憶手段13に格納されていた不良品部分の画像と同様の画像の部分について、その位置の座標情報を求め、その場所は加工しないという処理がとられる。   The pre-irradiation comparing unit 19 compares the image information input from the image receiving unit 10 with the image information input from the storage unit 13 to determine a non-defective part and a defective part to be processed. As a result, the coordinate information of the position of the image portion similar to the image of the defective product portion stored in the storage means 13 is obtained, and the processing of not processing the location is performed.

以上のように、本実施の形態によれば被加工物の加工部位が加工前から不良と分かっている場合、加工から外し、無駄な加工を行わずにすむことができる。
(実施の形態5)
本実施の形態において実施の形態4と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図1、図2を用いて説明する。本実施の形態では、制御装置本体21内に内蔵され符号20で示される光エネルギーを被加工物に照射した後比較を行う照射後比較手段である。
As described above, according to the present embodiment, when the processing part of the workpiece is known to be defective before processing, it can be removed from the processing, and unnecessary processing can be omitted.
(Embodiment 5)
In the present embodiment, the same parts as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. This will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, it is post-irradiation comparison means for performing comparison after irradiating the workpiece with light energy indicated by reference numeral 20 which is built in the control device main body 21.

受像手段10より取り込んだ画像情報は、照射前比較手段19に入力される。記憶手段13には予めレーザ光、またはランプ光照射後の良品、不良品の画像情報が格納されている。照射後比較手段20に受像手段10からの画像情報が入力されると、この照射後比較手段20からの引き出し指令によって、記憶手段13に格納されている照射後の良品、不良品の画像が引き出され、照射後比較手段20に入力される。   The image information captured from the image receiving means 10 is input to the pre-irradiation comparing means 19. The storage unit 13 stores in advance image information of non-defective and defective products after irradiation with laser light or lamp light. When the image information from the image receiving means 10 is input to the post-irradiation comparison means 20, the images of good and defective products after irradiation stored in the storage means 13 are extracted by the extraction command from the post-irradiation comparison means 20. And input to the comparison means 20 after irradiation.

照射後比較手段20では、受像手段10から入力された画像情報と、記憶手段13から入力された画像情報とを比較し、加工後の良品部分、不良品部分を判断する。   The post-irradiation comparison unit 20 compares the image information input from the image receiving unit 10 with the image information input from the storage unit 13 to determine a non-defective part and a defective part after processing.

以上のように、本実施の形態によれば、被加工物の良否判定ができる。   As described above, according to the present embodiment, the quality of the workpiece can be determined.

本発明の光加工装置は、少量多品種の加工の良否を判定することができ、少量多品種の加工をする技術分野に有用である。   The optical processing apparatus of the present invention can determine the quality of processing of a small variety of products, and is useful in the technical field of processing a small variety of products.

本発明に係る光加工装置の実施の形態を示すブロック図The block diagram which shows embodiment of the optical processing apparatus which concerns on this invention 本発明に係る光加工装置の制御装置本体の一実施の形態を示すブロック図The block diagram which shows one Embodiment of the control apparatus main body of the optical processing apparatus which concerns on this invention 本発明に係る被加工物のバッドマークの説明図Explanatory drawing of bad mark of workpiece according to the present invention

符号の説明Explanation of symbols

1 光エネルギー出力手段
2 第1の光路
3 ハーフミラー
4 光エネルギー整形手段
5 保護ガラス
6 被加工物
7 第2の光路
8 ミラー
9 画像歪補正手段
10 受像手段
11 表示手段
12 画像比較手段
13 記憶手段
14 加工ヘッド位置認識手段
15 第1駆動手段
16 第2駆動手段
17 駆動制御手段
18 色彩比較手段
19 加工前画像比較手段
20 加工後画像比較手段
21 制御装置本体
31 多数個取り基板の不良部分
32 良否判定を行う際に用いる色彩(バッドマーク)


DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical energy output means 2 1st optical path 3 Half mirror 4 Optical energy shaping means 5 Protective glass 6 Work piece 7 2nd optical path 8 Mirror 9 Image distortion correction means 10 Image receiving means 11 Display means 12 Image comparison means 13 Storage means 14 processing head position recognition means 15 first driving means 16 second driving means 17 drive control means 18 color comparison means 19 pre-processing image comparison means 20 post-processing image comparison means 21 controller main body 31 defective part of multi-chip substrate 32 pass / fail Color used for judgment (bad mark)


Claims (5)

光エネルギーを出力する光エネルギー出力手段と、前記光エネルギーを被加工物へ導く第1の光路と、被加工物からの光路の一部が前記第1の光路と重複する第2の光路と、前記第2の光路に配置した受像手段を備え、前記受像手段からの画像と予め設定した画像を比較する比較手段を設けて良否判定を行う光加工装置。 Light energy output means for outputting light energy, a first optical path for guiding the light energy to the workpiece, a second optical path in which a part of the optical path from the workpiece overlaps the first optical path, An optical processing apparatus comprising: an image receiving unit arranged in the second optical path; and a comparison unit configured to compare an image from the image receiving unit with a preset image to perform pass / fail determination. 光エネルギーの方向に対して略垂直方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第1の駆動手段と、光エネルギーの方向に対して略水平方向に第1の光路と被加工物を相対移動させる第2の駆動手段と、前記第1の駆動手段と第2の駆動手段を制御する駆動制御手段を設け、被加工物の各加工部位毎に比較のための画像を設定する請求項1記載の光加工装置。 First drive means for relatively moving the first optical path and the workpiece in a direction substantially perpendicular to the direction of light energy, and the first optical path and the workpiece in a direction substantially horizontal to the direction of light energy. 2. A second drive means for relative movement and a drive control means for controlling the first drive means and the second drive means are provided, and an image for comparison is set for each machining part of the workpiece. The optical processing apparatus according to 1. 良否判定を行う際に用いる色彩が加工前から被加工物に存在する場合、その部分を加工から外す請求項1または2記載の光加工装置。 The optical processing apparatus according to claim 1, wherein when a color used for quality determination is present in the workpiece before processing, the portion is removed from processing. 光エネルギーを被加工物に照射する前に、比較手段で良否判定を行う請求項1から3の何れかに記載の光加工装置。 The optical processing apparatus according to claim 1, wherein a quality determination is performed by a comparison unit before irradiating the workpiece with light energy. 光エネルギーを被加工物に照射した後で、比較手段で良否判定を行う請求項1から3の何れかに記載の光加工装置。 The optical processing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a quality determination is performed by a comparison unit after the workpiece is irradiated with light energy.
JP2003387904A 2003-11-18 2003-11-18 Optical macachining apparatus Pending JP2005144512A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003387904A JP2005144512A (en) 2003-11-18 2003-11-18 Optical macachining apparatus
US10/986,893 US7532749B2 (en) 2003-11-18 2004-11-15 Light processing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003387904A JP2005144512A (en) 2003-11-18 2003-11-18 Optical macachining apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005144512A true JP2005144512A (en) 2005-06-09

Family

ID=34695131

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003387904A Pending JP2005144512A (en) 2003-11-18 2003-11-18 Optical macachining apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005144512A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011101903A (en) * 2011-02-07 2011-05-26 Olympus Corp Laser repairing apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011101903A (en) * 2011-02-07 2011-05-26 Olympus Corp Laser repairing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007190576A (en) Laser type soldering apparatus
JP7006915B2 (en) Welding appearance defect detection device, laser welding device, and welding appearance defect detection method
JP5495574B2 (en) Laser soldering method
JP4324052B2 (en) Laser welding quality evaluation method
CN115351441A (en) Laser welding control system based on visual identification technology
US7532749B2 (en) Light processing apparatus
JP4240220B2 (en) Laser welding quality inspection method and apparatus
JP2007237200A (en) Laser beam machining system and laser beam machining method
JP2005144512A (en) Optical macachining apparatus
JPH1058169A (en) Teaching method in laser beam machine and device therefor
JPWO2009078077A1 (en) Laser welding method and laser welding apparatus
TWM563550U (en) Device for repairing printed circuit boards
JP3994276B2 (en) Laser welding quality inspection method and apparatus
WO2021049610A1 (en) Welding observation device, welding observation system, and welding observation method
JP4147390B2 (en) Laser welding quality inspection method and apparatus
TWI667471B (en) Apparatus and method for repairing printed circuit boards
JP2006150373A (en) Laser beam machining apparatus and laser beam machining method
CN104708202A (en) Laser welding machine
JP4055649B2 (en) Optical processing equipment
JP3203507B2 (en) Laser processing equipment
CN110392490B (en) Apparatus and method for repairing printed circuit board
JPH05146885A (en) Laser beam machine
JP3949076B2 (en) Laser welding quality evaluation apparatus and method
TWI774061B (en) Laser processing device
JPH11309576A (en) Automatic welding equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060315

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060412

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080514

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080520

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080924