JP2005140573A - 分注ポンプ - Google Patents

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Toshihiro Matsuo
智弘 松尾
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

【課題】小型でコストを低減でき、正確な液量の計測ができ、かつ高精度な液量制御を行うことができる分注ポンプを提供する。
【解決手段】流体を吸入、吐出するポンプ本体1と流体を誘導する管2とを備えた分注ポンプにおいて、管2の内面に流体の流量を計測する流量センサ3を設け、管2の先端に微小孔を有するフィルタ4とを設けた分注ポンプ。流量センサ3は、フィルム基板上に短冊状に形成された電極を有し、管2の先端と、所望の流量となる内面位置の少なくとも2箇所に配置する。管2先端に取り付けたフィルタ4を流体が通過する際、流体が層流状態になり、また、フィルタ4を微細な孔形状にすることで、混入する気泡も分割され微小化する。層流状態になることから、吸入・吐出される流体は圧力変動が生じにくく、正確な流量計測ができる。さらに、気泡が微小化することから、気泡による流量計測のノイズの影響を低減することができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、微量の流体を送液する分注ポンプに関する。
従来の分注ポンプとしては、たとえば特許文献1に開示されたものが知られている。
図6はその従来の分注ポンプの構成例を示すもので、この分注ポンプを用いた自動メスアップシステムは、標線付容器10と、レーザセンサ12と、予備光電センサ14と、センサ支持・駆動機構16と、シーケンスコントローラ18と、ハンドリング部20と、分注部22からなる。標線付容器10は無色透明な試験管であり、一定量の溶液の液面レベル位置に一本の標線10aが予め設けられている。また、標線付容器10は、図示しないロボットシステムにより、装着・離脱される。レーザセンサ12は、平行レーザ光により前記標線付容器10を検出してそれらに応じたアナログの電圧信号を出力するものであって、レーザセンサ12は、発光源12a1と集束レンズ12a2を有するレーザ発光器12a、受光レンズ12b1と受光素子12b2とスリット12b3を有するレーザ受光器12bおよびレーザアンプ12cから構成されている。予備光電センサ14は、標線10aの一定距離下方の液面レベルを検出するものであって、発光器14a、受光器14bおよび予備光源センサアンプ14cから構成されている。分注部22は、分注ノズル22a、分注器22b、分注器コントローラ22cから構成されている。
出力信号はシーケンスコントローラ18に入力される。レーザ発光器12aから照射した平行レーザ光が液面または、標線10aに入射すると、レーザ受光器12bは平行レーザの遮へい面積に相当したアナログ信号を出力する。標線付容器10に溶液を分注器22で液滴し、その位置をレーザセンサで読み取る。さらに、シーケンスコントローラ18を用いて、センサ支持・駆動機構16でレーザセンサ12を昇降させ、かつ分注器22bで液滴を繰り返す。標線位置に液面が達すると、平行レーザ光が完全に遮へいされたことをレーザ受光器12bで検出すると、液面と標線10aが同水位になったことを確認できる。
特開平6−295208号公報
しかしながら、上記従来の分注ポンプにおいては、レーザと光学レンズを組み合わせて液量を計測しながら、所望の液量を分注器で液滴していたが、装置が大型化するとともに、コストが嵩むという問題があった。また、容器内に気泡などが混入すると、レーザ光が液面を検出することができず、そのため正確な液量の計測ができないという問題があった。
さらに、精密に液量を制御する場合、液滴の直径が1μm以下では、液の表面張力によりノズル先端から液を吐出できないため、高精度な液量制御ができない等の問題が生じていた。
そこで、本発明は、小型でコストを低減でき、正確な液量の計測ができ、かつ高精度な液量制御を行うことができる分注ポンプを提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明の第1の構成は、流体を吸入、吐出するポンプ本体と流体を誘導する管とを備えた分注ポンプにおいて、前記管の内面に設けられ、流体の流量を計測する流量センサと、前記管の先端に設置され、微小孔を有するフィルタとを設けたことを特徴とする分注ポンプである。
この第1の構成においては、管先端に取り付けたフィルタを流体が通過する際、流体が層流状態になり、また、フィルタを微細な孔形状にすることで、混入する気泡も分割され微小化する。層流状態になることから、吸入・吐出される流体は圧力変動が生じにくく、正確な流量計測ができる。さらに、気泡が微小化することから、気泡による流量計測のノイズの影響を低減することができる。
本発明の第2の構成は、第1の構成において、前記管の内面に設けられた流量センサは、フィルム基板上に短冊状に形成された電極を有し、前記管の先端と、所望の流量となる内面位置の少なくとも2箇所に配置したことを特徴とする分注ポンプである。
この第2の構成においては、短冊状電極に微弱電流を流しておくと、管の内面に接触する流体により、電極面の温度抵抗係数が変化し、流量に応じた電圧変化を検出することができる。この結果、流量の高精度な計測が可能となる。短冊状電極をフォトリソグラフィー技術等により200μm以下に微細加工すると、電極間ピッチは、μmサイズで作製できる。すなわち、高い分解能で水位を検出することで、正確に流量を計測することが可能となる。
本発明の第3の構成は、流体を吸入、吐出するポンプ本体と流体を誘導する管とを備えた分注ポンプにおいて、前記管内の圧力を検出する圧力センサと、前記ポンプ本体を駆動するモータの回転位置に対するプランジャの位置を検出する位置センサと、前記ポンプ本体と前記管との間に配置した振動体と、前記プランジャの位置と前記圧力センサの検出値から運転速度パターンを生成する制御回路とを備えた分注ポンプである。
この第3の構成においては、一定量の流量を吸引・吐出する場合は、モータの回転位置に対するプランジャの位置を検出する位置センサの検出値から流量を制御する。
吐出完了時にできる管先端の液だまりを吐出するときは、管内の圧力を検出する圧力センサの検出値からプランジャを移動することで管内の内圧を高め、液内の空気を圧縮するよう制御する。最終的には所望の圧力センサの圧力値になった段階で振動体により管を振動させ、液滴の表面張力よりも大きな外力が与えられることで液滴は容器へ精度良く滴下される。
本発明の第4の構成は、前記振動体が、リング型積層圧電素子で構成されたことを特徴とする分注ポンプである。
この第4の構成においては、振動体をリング型積層圧電素子で構成し、電極に交流電圧を印加することで管を振動させることができる。
本発明の第5の構成は、前記リング型積層圧電素子が、前記圧力センサと前記振動体の2つの機能を兼用する分注ポンプである。
圧電素子は、電極に交流電圧を印加すると振動する作用のほかに、圧力を与えると電極に圧電気が生じる作用を有するので、振動体と圧力センサとを兼用することができる。
本発明の第6の構成は、前記制御回路が、位置制御モード、圧力制御モードの切替を行う分注ポンプである。
制御回路は、吸引時は位置制御モードを用い、容器内の流体を所望した量で吸引する。吐出時は、所定流量までは位置制御モードでプランジャの位置を制御し、位置決め完了後にできる管先端の液だまりは、圧力制御モードで吐出する。
本発明によれば、次の効果を奏する。
(1)管の内面に、流体の流量を計測する流量センサを設け、管の先端に微小孔を有するフィルタを設けたことにより、管先端に取り付けたフィルタを流体が通過する際、流体が層流状態になり、また、混入する気泡も分割され微小化する。これにより、吸入・吐出される流体は圧力変動が生じにくく、正確な流量計測ができ、また気泡による流量計測のノイズの影響を低減することができる。
(2)流量センサを、フィルム基板上に短冊状に形成された電極を有する構成とし、管の先端と、所望の流量となる内面位置の少なくとも箇所に配置したことにより、流量に応じた電圧変化を検出することができ、流量の高精度な計測が可能となる。
(3)管内の圧力を検出する圧力センサと、ポンプ本体を駆動するモータの回転位置に対するプランジャの位置を検出する位置センサと、ポンプ本体と管との間に配置した振動体と、プランジャの位置と圧力センサの検出値から運転速度パターンを生成する制御回路とを備えることにより、位置センサの検出値に基づいた流量制御ができ、また、圧力センサの検出値に基づいて、吐出完了時にできる管先端の液だまりを吐出することができる。
(4)振動体をリング型積層圧電素子で構成することにより、電極に交流電圧を印加することで管を振動させることができる。
(5)リング型積層圧電素子を用いることで、圧力センサと振動体の2つの機能を兼用することができる。
(6)制御回路を、位置制御モード、圧力制御モードの切替を行う構成とすることにより、吸引時は位置制御モードを用い、容器内の流体を所望した量で吸引し、吐出時は、所定流量までは位置制御モードで制御し、位置決め完了後にできる管先端の液だまりは、圧力制御モードで吐出することができる。
以下、本発明の実施の形態に係る分注ポンプを、図1〜図5に基づいて説明する。
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態に係る分注ポンプの断面図である。本実施形態の分注ポンプは、ポンプ本体1、管2、流量センサ3、フィルタ4、モータ5で構成される。モータ5によって駆動されるポンプ本体1は管2に連結され、流体の吸入・吐出を行っている。管2の内面には短冊状の形態に電極が設けられた流量センサ3と、先端には複数個の孔からなるフィルタ4が設けられている。
図2および図3に、流量センサ3の形状と計測例を示す。管2の内径が1mmの場合で、電極3aの材料にNiを用い、電極間のピッチは3μmである。管2の内面に接触する流体により、金電極3a面の温度が変化し、Niの温度抵抗係数により、流量に応じた電圧変化を検出することができる。
図4にフィルタ4の形状を示す。フィルタ4の孔4aは100μmの直径で、YAGやエキシマレーザなどにより加工された鉄などの金属物、または、フォトリソグラフィーにより作製されたシリコンなどからできており、管2先端に具備されている。
この第1実施形態の分注ポンプによれば、短冊状の電極3aに微弱電流を流しておくと、管2の内面に接触する流体により、金電極面の温度が変化し、金の温度抵抗係数により、流量に応じた電圧変化を検出することができる。この結果、流量を計測することができる。このとき、短冊状の電極3aをフォトリソグラフィー技術による微細加工すると電極間ピッチは、μmサイズで作製できる。すなわち、高い分解能で水位を検出することで、正確に流量を計測することが可能である。
また、管2の先端に取り付けたフィルタ4を流体が通過する際、層流状態にすることができる。また、微細な孔形状にすることで混入する気泡も分割され微小化することから、気泡による流量計測のノイズの影響を低減することができる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態の分注ポンプを、図5に基づいて説明する。
図5において、分注ポンプは、ポンプ本体1、管2、モータ5、プランジャ6、リング型積層圧電素子7、および直動機構8で構成される。モータ5とリング型圧電素子7は制御回路9によって制御される。吸引時は位置制御モードを用いてモータ5を駆動し、吐出時は、所定流量までは位置制御モードでプランジャ6の位置を制御し、位置決め完了後にできる管先端の液だまりは、圧力制御モードで吐出する。
ポンプ本体1は管2にリング型積層圧電素子7を介して連結され、流体の吸入・吐出を行っている。プランジャ6の位置は、モータ5のエンコーダにより検出され、回転角度に伴う送りねじからなる直動機構8で直線動作に変換され、制御される。リング型積層圧電素子7は、プランジャ6の移動により変化する管2内の圧力を、圧電効果を用いて検出する。また、リング型積層圧電素子7は、逆圧電効果を用いた振動体としても用いられる。
次に、容器(図示せず)内の流体を吸引し、別の容器へ吐出する動作について具体的に説明する。
吸引時は位置制御モードを用い、モータ5を用いて、容器内の流体を所望した量で吸引する。吐出時は所定流量まで位置制御モードでプランジャ6の位置を制御する。位置決め完了後にできる管2先端の液だまりを吐出するときは、管2内の圧力を検出するリング型積層圧電素子7の検出値からプランジャ6を移動することで管2内の内圧を高め、液内の空気を圧縮するよう制御する。最終的には、所望の圧力値になった段階でリング型積層圧電素子7の電極に交流電圧を印加し、逆圧電効果により管2を振動させ、液滴の表面張力よりも大きな外力が与えられることで液滴は容器へ精度良く滴下される。
本発明は、小型でコストを低減でき、正確な液量の計測ができ、かつ高精度な液量制御を行うことができる分注ポンプとして、バイオ関係や医療の分野に適用できる。
本発明の第1実施形態の分注ポンプの構成を示す断面図である。 第1実施形態の流量センサの構成を示す図である。 第1実施形態の流量センサの計測例を示す図である。 第1実施形態におけるフィルタの構成を示す図である。 本発明の第2の実施形態の分注ポンプの構成を示す断面図である。 従来の分注ポンプの構成を示す図である。
符号の説明
1 ポンプ本体
2 管
3 流量センサ
3a 電極(金電極)
4 フィルタ
4a 孔
5 モータ
6 プランジャ
7 リング型積層圧電素子
8 直動機構
9 制御回路

Claims (6)

  1. 流体を吸入、吐出するポンプ本体と流体を誘導する管とを備えた分注ポンプにおいて、
    前記管の内面に設けられ、流体の流量を計測する流量センサと、前記管の先端に設置され、微小孔を有するフィルタとを設けたことを特徴とする分注ポンプ。
  2. 前記管の内面に設けられた流量センサは、フィルム基板上に短冊状に形成された電極を有し、前記管の先端と、所望の流量となる内面位置の少なくとも2箇所に配置したことを特徴とする第1の請求項記載の分注ポンプ。
  3. 流体を吸入、吐出するポンプ本体と流体を誘導する管とを備えた分注ポンプにおいて、
    前記管内の圧力を検出する圧力センサと、前記ポンプ本体を駆動するモータの回転位置に対するプランジャの位置を検出する位置センサと、前記ポンプ本体と前記管との間に配置した振動体と、前記プランジャの位置と前記圧力センサの検出値から運転速度パターンを生成する制御回路とを備えたことを特徴とする分注ポンプ。
  4. 前記振動体が、リング型積層圧電素子で構成されたことを特徴とする請求項3記載の分注ポンプ。
  5. 前記リング型積層圧電素子が、前記圧力センサと前記振動体の2つの機能を兼用するものであることを特徴とする請求項4記載の分注ポンプ。
  6. 前記制御回路が、位置制御モード、圧力制御モードの切替を行うことを特徴とする請求項3から5のいずれかの項に記載の分注ポンプ。
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