JP2005139039A - Processing method of glass sheet, cap for sealing organic el display unit and glass chip - Google Patents

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/355Temporary coating

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a processing method of glass sheet whereby a precise image can be formed at a low cost without any labor and without lowering the strength of the glass sheet. <P>SOLUTION: The processing method comprises a step wherein a hydrofluoric acid-resistant film 12 is formed on one side of the glass sheet 11, a step wherein a blast-resistant film 13 is formed to form the image on the hydrofluoric acid-resistant film 12, a step wherein the hydrofluoric acid-resistant film 12 and the glass sheet on the part which is not covered with the blast-resistant film 13 is removed by blasting, the glass sheet 11 exposed through blasting is etched with hydrofluoric acid and a step wherein the hydrofluoric acid-resistant film 12 and the blast-resistant film 13 are removed. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ガラス板に画像を形成する際のガラス板の加工方法に関する。さらには、有機EL表示装置に用いられるガラス封止キャップならびに化学反応を行うガラスチップに関する。   The present invention relates to a method for processing a glass plate when an image is formed on the glass plate. Furthermore, the present invention relates to a glass sealing cap used in an organic EL display device and a glass chip that performs a chemical reaction.

ガラスは他の素材に比べて透明性、耐薬品性、耐久性、温度・湿度に対する低膨張性などが優れているため、ブラウン管、薄型ディスプレイの基材などに使用されている。さらには、近年、ガラスの新しい用途として、有機EL表示装置への水分の浸入を防ぐためにその裏側を保護する有機EL表示装置用封止キャップや、ガラス上で少量の試料の化学反応を行う反応装置であるガラスチップなどが検討されている。
ところで、有機EL表示装置用封止キャップやガラスチップなどを得るためには、ガラス板に溝を掘ったり、穴を空けたりする必要がある。そのようなガラス板の加工としては、粒子状の研磨剤をガラス板に衝突させるサンドブラスト法、フッ酸含有液をガラス板に接触させて溶解させるエッチング法、レザービームを照射して溶融加工するレザービーム加工法などが挙げられる。従来、これらのいずれか1種の方法でガラス板の加工を行っていた。
Glass is excellent in transparency, chemical resistance, durability, and low expansion with respect to temperature and humidity compared to other materials, so it is used as a base material for cathode ray tubes and thin displays. Furthermore, in recent years, as a new application of glass, a sealing cap for an organic EL display device that protects the back side of the organic EL display device in order to prevent moisture from entering, and a reaction that performs a chemical reaction of a small amount of sample on the glass. Glass chips that are devices are being studied.
By the way, in order to obtain a sealing cap for an organic EL display device, a glass chip, or the like, it is necessary to dig a groove or make a hole in the glass plate. Processing of such a glass plate includes a sand blast method in which a particulate abrasive impinges on the glass plate, an etching method in which a hydrofluoric acid-containing liquid is brought into contact with the glass plate and melted, and a leather that is melt processed by irradiation with a laser beam. The beam processing method etc. are mentioned. Conventionally, a glass plate has been processed by any one of these methods.

しかしながら、サンドブラスト法では、大量にしかも比較的安価に溝堀や穴あけができる反面、粒子の衝突によって微小クラック(チッピング)が生じるため、ガラスの強度が低下した。また、加工表面の凹凸が大きく、透明性が低くなる上に、凹凸表面が汚れ易いなどの欠点があった。   However, the sandblasting method enables grooving and drilling in a large amount and at a relatively low cost, but on the other hand, microcracks (chipping) occur due to particle collisions, so that the strength of the glass is lowered. In addition, the processed surface has large irregularities and low transparency, and the irregular surface is liable to become dirty.

また、エッチング法では、フッ酸を含む腐食性の強い酸を使うので容易にガラス板に溝堀や穴あけができるものの、その強い酸に十分に耐えうる耐蝕膜用の材料がないということが問題であった。そのため、例えば、ゴム系感光剤の画像などを耐蝕膜として用い、ガラス板をフッ酸によりエッチングした場合には、耐蝕膜も溶解してしまうので、長時間のエッチングは難しく、深さ5〜10μmの浅いエッチングが限界であった。
上記方法以外にも、ワックス(蝋)を溶融してガラス板に薄く塗り、所望の画像になるようにワックスを鋭利な刃で削りとってからエッチングを行う方法が知られている。この方法によれば、比較的深くエッチングできるものの、エッチングが深くなると溝の横壁の一部が侵食され(横壁の侵食をアンダーカットということがある)、最終的には表面側のガラスが崩れてしまうため、設計時の幅より幅広の溝が形成されることがあった。そのため、正確な画像形成が再現できなかった。また、ワックスを削って画像を形成する作業は手間を要する作業であった。
さらに、粘着剤やホットメルト接着剤を片面に塗布したフィルムをガラス板に貼り付け、エッチングする部分のフィルムを剥がしてからエッチングする方法が知られている。この方法によれば、比較的深くエッチングできるが、繊細な画像形成が困難である上に、剥がす作業に時間を要するため量産性が低いという問題があった。
In addition, the etching method uses a highly corrosive acid containing hydrofluoric acid, so although it is possible to easily groove or drill a glass plate, there is a problem that there is no material for a corrosion resistant film that can sufficiently withstand the strong acid. Met. Therefore, for example, when an image of a rubber photosensitizer is used as a corrosion-resistant film and a glass plate is etched with hydrofluoric acid, the corrosion-resistant film is also dissolved, so that long-time etching is difficult, and the depth is 5 to 10 μm. Shallow etching was the limit.
In addition to the above method, a method is known in which a wax is melted and thinly coated on a glass plate, and the wax is shaved with a sharp blade so that a desired image is obtained, and then etching is performed. According to this method, etching can be performed relatively deeply, but when etching becomes deeper, a part of the lateral wall of the groove is eroded (the erosion of the lateral wall is sometimes referred to as undercut), and finally the glass on the surface side is broken. Therefore, a groove having a width wider than that at the time of design may be formed. Therefore, accurate image formation could not be reproduced. In addition, the work of shaving the wax to form an image is a time-consuming work.
Furthermore, a method is known in which a film in which a pressure-sensitive adhesive or a hot melt adhesive is applied on one side is attached to a glass plate, and the film to be etched is peeled off before etching. According to this method, etching can be performed relatively deeply, but there is a problem in that it is difficult to form a delicate image and the productivity is low because it takes time for the peeling operation.

また、エッチング法において、画像が形成されたクロム膜を耐蝕膜としてガラスのエッチングを行うことがある。画像が形成されたクロム膜の形成方法は、まず、金属のクロムをスパッタまたは蒸着することによりガラス表面にクロム膜を形成し、この上に感光剤(主にポジ型)の画像を形成し、さらに、その感光剤の画像を耐蝕膜として硝酸第二セシウム液でクロム膜をエッチングして画像を形成する。この方法では感光剤を用いるので画像形成が容易であり、比較的深くエッチングできるが、上記と同様に、アンダーカットにより正確な画像形成が再現できなくなる傾向にあった。そこで、アンダーカットによる崩れを防止するため、クロム膜の上に金の膜をさらに形成する方法も試みられているが、完全に解決できない上に、クロムの膜や金の膜を形成することは高価であり、実用性に乏しい。
本発明は、前記事情を鑑みてなされたものであり、ガラス板の強度を低下させることがない上に、手間を要さず、安価に正確な画像を形成できるガラス板の加工方法を提供することを目的とする。また、強度が高く、正確な画像が形成された有機EL表示装置用封止キャップおよびガラスチップを提供することを目的とする。
In the etching method, glass is sometimes etched using a chromium film on which an image is formed as a corrosion-resistant film. The method of forming the chromium film on which the image is formed is as follows. First, a chromium film is formed on the glass surface by sputtering or vapor deposition of metallic chromium, and an image of a photosensitive agent (mainly positive type) is formed thereon, Further, an image is formed by etching the chromium film with a second cesium nitrate solution using the photosensitizer image as a corrosion-resistant film. Since this method uses a photosensitizer, it is easy to form an image and can be etched relatively deeply. However, as described above, undercutting tends to prevent accurate image formation from being reproduced. Therefore, in order to prevent collapse due to undercut, a method of further forming a gold film on the chromium film has been tried, but it cannot be completely solved, and it is not possible to form a chromium film or a gold film. Expensive and practical.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method for processing a glass plate that does not reduce the strength of the glass plate and that can form an accurate image at low cost without requiring labor. For the purpose. It is another object of the present invention to provide a sealing cap and a glass chip for an organic EL display device having high strength and an accurate image.

本願請求項1のガラス板の加工方法は、ガラス板の片面に耐フッ酸膜を形成する工程と、
耐フッ酸膜上に、画像を形成するように耐ブラスト膜を設ける工程と、
ブラスト加工により耐ブラスト膜で覆われていない部分の耐フッ酸膜およびガラス板を削り取る工程と、
ブラスト加工により露出したガラス板をフッ酸によりエッチングする工程と、
耐フッ酸膜および耐ブラスト膜を除去する工程とを有することを特徴とする。
本願請求項2のガラス板の加工方法は、ガラス板の片面に耐フッ酸膜を形成する工程と、
耐フッ酸膜上に、画像を形成するように耐ブラスト膜を形成する工程と、
ブラスト加工により耐ブラスト膜で覆われていない部分の耐フッ酸膜およびガラス板を削り取る工程と、
耐ブラスト膜を除去する工程と、
露出したガラス板をフッ酸によりエッチングする工程と
耐フッ酸膜を除去する工程とを有することを特徴とする。
本発明のガラス板の加工方法においては、前記耐フッ酸膜が、クロム、金、白金、モリブデン、タングステンの群より選ばれた少なくとも一種からなることが好ましい。
または、本発明のガラス板の加工方法は、前記耐フッ酸膜が、石油ピッチ、アスファルト、石油系ワックス、動物性ワックス、植物性ワックス、ゴム、ポリスチレン樹脂の群より選ばれた少なくとも一種からなることが好ましい。
本発明の有機EL表示装置用ガラス封止キャップは、上述したガラス板の加工方法で製造されたことを特徴とする。
本発明のガラスチップは、上述したガラス板の加工方法で製造されたことを特徴とする。
The processing method of the glass plate of claim 1 of the present application includes a step of forming a hydrofluoric acid resistant film on one surface of the glass plate,
Providing a blast resistant film on the hydrofluoric acid resistant film so as to form an image;
A step of scraping off the hydrofluoric acid resistant film and the glass plate of the portion not covered with the blast resistant film by blasting;
Etching the glass plate exposed by blasting with hydrofluoric acid;
And a step of removing the hydrofluoric acid resistant film and the blast resistant film.
The processing method of the glass plate of claim 2 of the present application includes a step of forming a hydrofluoric acid resistant film on one surface of the glass plate,
Forming a blast resistant film on the hydrofluoric acid resistant film so as to form an image;
A step of scraping off the hydrofluoric acid resistant film and the glass plate of the portion not covered with the blast resistant film by blasting;
Removing the blast resistant film;
It has a step of etching the exposed glass plate with hydrofluoric acid and a step of removing the hydrofluoric acid resistant film.
In the processing method of the glass plate of this invention, it is preferable that the said hydrofluoric acid resistant film consists of at least 1 type chosen from the group of chromium, gold | metal | money, platinum, molybdenum, and tungsten.
Alternatively, in the method for processing a glass plate of the present invention, the hydrofluoric acid resistant film is composed of at least one selected from the group consisting of petroleum pitch, asphalt, petroleum wax, animal wax, vegetable wax, rubber, and polystyrene resin. It is preferable.
The glass sealing cap for an organic EL display device of the present invention is characterized by being manufactured by the glass plate processing method described above.
The glass chip of the present invention is manufactured by the glass plate processing method described above.

本発明のガラス板の加工方法では、ガラス板をブラスト加工した後、フッ酸によりエッチングするので、ガラス板のチッピングを抑制でき、ガラス板の強度低下を防止できる。また、エッチング法のみで加工しないので、窪みや溝を深くしても、アンダーカットを防ぐことができ、ガラス板に正確な画像を形成できる。しかも、耐ブラスト膜や耐フッ酸膜に手作業でパターンを形成しないので、手間を要さず、量産性が高い上に、特殊な膜を形成させる必要もなく、安価である。
本発明の有機EL表示装置用封止キャップおよびガラスチップは、上述したガラス板の加工方法で製造されたものであるから、強度が高く、正確な画像が形成されている。
In the processing method of the glass plate of the present invention, since the glass plate is blasted and then etched with hydrofluoric acid, the chipping of the glass plate can be suppressed and the strength reduction of the glass plate can be prevented. Moreover, since it is not processed only by the etching method, even if the dent or groove is deepened, undercut can be prevented and an accurate image can be formed on the glass plate. In addition, since a pattern is not manually formed on the blast-resistant film or hydrofluoric acid-resistant film, labor is not required, mass productivity is high, and it is not necessary to form a special film, which is inexpensive.
Since the sealing cap for an organic EL display device and the glass chip of the present invention are manufactured by the glass plate processing method described above, the strength is high and an accurate image is formed.

本発明に係る第1の実施形態例のガラス板の加工方法について図1および図2を参照して説明する。
本実施形態例のガラス板の加工方法では、まず、図1(a)に示すようなガラス板11の片面に、耐フッ酸性を有する材料を塗布、スパッタ、蒸着などして、図1(b)に示すように、耐フッ酸膜12を形成する。
次いで、耐フッ酸膜12上に感光性樹脂のドライフィルムを積層し、さらにそのドライフィルム上にパターンが形成された窓部を有するマスクを載せ、露光、現像して、図1(c)に示すように、画像が形成された耐ブラスト膜13を設ける。
次いで、図1(d)に示すように、ブラスト加工により耐ブラスト膜13で覆われていない部分の耐フッ酸膜12およびガラス板11を削り取る。ここで、ブラスト加工に使用できる研磨剤としては、例えば、アランダム、カーボランダム、ガーネット、鉄粉などが挙げられる。
次いで、図2(a)に示すように、ブラスト加工により露出したガラス板11をフッ酸によりエッチングする。ここで、好ましいエッチング液としては、ガラス板中の純ガラス成分以外の例えば鉛、硼素、ナトリウム、カリウムなどを除去、溶解する目的で、フッ酸に酢酸、硫酸、硝酸などを混合したものである。
次いで、エッチングされたガラス板を、5質量%程度の苛性ソーダ水溶液に浸漬してドライフィルムよりなる耐ブラスト膜を除去する。次に、耐フッ素膜が有機溶媒に可溶な場合には、それに対応する有機溶媒有機溶剤に浸漬し、耐フッ素膜がワックスなどの熱溶融性の場合には加熱し、耐フッ素膜がクロム金属である場合には硝酸第二セシウム液などに浸漬して、図2(b)に示すように、耐フッ酸膜および耐ブラスト膜を溶解もしくは除去する。
このようにして、画像が形成されたガラス板11を得る。
The glass plate processing method of the first embodiment according to the present invention will be described with reference to FIGS.
In the processing method of the glass plate of this embodiment, first, a material having hydrofluoric acid resistance is applied, sputtered, vapor-deposited, etc. on one surface of the glass plate 11 as shown in FIG. ), The hydrofluoric acid resistant film 12 is formed.
Next, a dry film of a photosensitive resin is laminated on the hydrofluoric acid resistant film 12, and a mask having a window portion with a pattern formed thereon is placed on the dry film, exposed and developed, and the result shown in FIG. As shown, an anti-blast film 13 on which an image is formed is provided.
Next, as shown in FIG. 1D, the portions of the hydrofluoric acid resistant film 12 and the glass plate 11 that are not covered with the blast resistant film 13 are scraped off by blasting. Here, examples of the abrasive that can be used for blasting include alundum, carborundum, garnet, and iron powder.
Next, as shown in FIG. 2A, the glass plate 11 exposed by blasting is etched with hydrofluoric acid. Here, a preferable etching solution is a mixture of hydrofluoric acid with acetic acid, sulfuric acid, nitric acid or the like for the purpose of removing and dissolving, for example, lead, boron, sodium, potassium and the like other than pure glass components in the glass plate. .
Next, the etched glass plate is immersed in an aqueous caustic soda solution of about 5% by mass to remove the blast resistant film made of a dry film. Next, when the fluorine-resistant film is soluble in an organic solvent, it is immersed in the corresponding organic solvent organic solvent, and when the fluorine-resistant film is heat-meltable such as wax, it is heated. In the case of a metal, it is immersed in a cesium nitrate solution or the like to dissolve or remove the hydrofluoric acid resistant film and the blast resistant film as shown in FIG.
In this way, a glass plate 11 on which an image is formed is obtained.

上記のガラス板の加工方法において、耐フッ酸膜12の成分としては、天然の有機物、化学工業生産物である合成の有機物などが挙げられる。ここで、有用な天然の有機物としては、ミツロウ(BEE‘S WAX)などの動物性ワックス、シエラック(SHELLAC)、ロジン(ROSIN)、カルナバ(CARNAUBA WAX)、木ロウ(JAPAN WAX)などの植物性ワックス、天然ゴム、天然ゴムの環化物や塩化物などゴムが挙げられる。
また、合成の有機物としては、石油ピッチ(PITCH、タールピッチ)、アスファルト(石油アスファルト)、パラフィン(PARAFFINWAX)、塩素化パラフィン、低分子量ポリエチレン、低分子量ポリプロピレンなどの石油系ワックス、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、合成イソプレンゴムそれに合成イソプレンゴムの環化物や塩化物などのゴム、ポリスチレン樹脂が挙げられる。
これらは、単独で使用できるが、2種以上の混合物として用いてそれぞれの性質を補って使用することもできる。例えば、塩素化ゴムの脆さを補う目的で塩素化パラフィンを混合したり、低分子量ポリエチレンのブラストによる切削性を改良する目的でカルナバワックスを混合したり、アスファルトの脆さを補う目的で低分子量ポリプロピレンや、環化ゴムを添加して使用することもできる。
In the above glass plate processing method, examples of the component of the hydrofluoric acid resistant film 12 include natural organic substances and synthetic organic substances that are chemical industrial products. Here, useful natural organic substances include animal waxes such as beeswax (BEE'S WAX), plant natures such as shellac (SHELLAC), rosin (ROSIN), carnauba (CARNAUBA WAX), and wood wax (JAPAN WAX). Examples of the rubber include rubbers such as wax, natural rubber, cyclized natural chloride, and chloride.
Synthetic organic substances include petroleum pitch (PITCH, tar pitch), asphalt (petroleum asphalt), paraffin (PARAFFINWAX), chlorinated paraffin, petroleum waxes such as low molecular weight polyethylene and low molecular weight polypropylene, chlorinated polyethylene, chlorine Examples thereof include fluorinated polypropylene, synthetic isoprene rubber, synthetic isoprene rubber cyclized rubber, chloride rubber, and polystyrene resin.
These can be used alone, but can also be used as a mixture of two or more, supplementing their properties. For example, chlorinated paraffin is mixed for the purpose of compensating the brittleness of chlorinated rubber, carnauba wax is mixed for the purpose of improving the machinability by blasting of low molecular weight polyethylene, and low molecular weight is used for the purpose of compensating the brittleness of asphalt. Polypropylene or cyclized rubber can also be added and used.

また、耐フッ酸膜12は、クロム、金、白金、モリブデン、タングステンの群より選ばれた少なくとも一種からなることが好ましい。このような金属を耐フッ酸膜に用いた場合には、容易に画像形成できる。   The hydrofluoric acid resistant film 12 is preferably made of at least one selected from the group consisting of chromium, gold, platinum, molybdenum and tungsten. When such a metal is used for the hydrofluoric acid resistant film, an image can be easily formed.

さらに、天然有機物や合成有機物の耐フッ酸膜12には、皮膜形成時の塗布性を改良する目的で無機フィラーや有機フィラーを添加したり、視認性を改良する目的で顔料や染料などの着色剤を添加したりすることもできる。   Furthermore, an inorganic filler or an organic filler is added to the hydrofluoric acid resistant film 12 of a natural organic material or a synthetic organic material for the purpose of improving the coating property at the time of film formation, or coloring such as pigments or dyes for the purpose of improving visibility. An agent can also be added.

次に、本発明に係る第2の実施形態例のガラス板の加工方法について図1および図3を参照して説明する。
本実施形態例のガラス板の加工方法では、第1の実施形態例と同様にして、ガラス板11の片面に耐フッ酸膜12を形成し、この耐フッ酸膜12上に画像が形成された耐ブラスト膜13を設け、ブラスト加工により耐ブラスト膜13に覆われていない部分の耐フッ酸膜12およびガラス板11を削り取る(図1参照)。
次いで、耐フッ酸膜12およびガラス板11をブラスト加工したガラス板11を耐ブラスト膜溶解液中に浸漬し、図3(a)に示すように、耐ブラスト膜を溶解して除去する。次いで、図3(b)に示すように、ブラスト加工により露出したガラス板11をフッ酸によりエッチングし、さらに、有機溶媒などに浸漬し、図3(c)に示すように、耐フッ酸膜を溶解して除去する。
このようにして、画像が形成されたガラス板11を得る。
Next, the processing method of the glass plate of 2nd Embodiment based on this invention is demonstrated with reference to FIG. 1 and FIG.
In the processing method of the glass plate of this embodiment example, the hydrofluoric acid resistant film 12 is formed on one surface of the glass plate 11 in the same manner as in the first exemplary embodiment, and an image is formed on this hydrofluoric acid resistant film 12. The blast resistant film 13 is provided, and the hydrofluoric acid resistant film 12 and the glass plate 11 which are not covered with the blast resistant film 13 are scraped off by blasting (see FIG. 1).
Next, the glass plate 11 obtained by blasting the hydrofluoric acid resistant film 12 and the glass plate 11 is immersed in a blast resistant film solution, and the blast resistant film is dissolved and removed as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 3B, the glass plate 11 exposed by blasting is etched with hydrofluoric acid, and further immersed in an organic solvent or the like. As shown in FIG. Dissolve and remove.
In this way, a glass plate 11 on which an image is formed is obtained.

第2の実施形態例の加工方法において、耐ブラスト膜13を溶解する耐ブラスト膜溶解液としては、例えば、苛性ソーダ、苛性カリの水溶液、モノエノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムなどのアルカリ性の有機物水溶液などが挙げられる。また、耐フッ酸膜12を溶解する有機溶媒としては、例えば、キシレン、トルエン、塩化メチレンなどが挙げられる。
フッ酸でガラス板11をエッチングする際のエッチング条件は第1の実施形態例と同じである。
In the processing method of the second embodiment, examples of the blast-resistant film solution for dissolving the blast-resistant film 13 include alkaline solutions such as caustic soda, caustic potash aqueous solution, monoenolamine, diethanolamine, triethanolamine, and tetramethylammonium. And an organic aqueous solution. Examples of the organic solvent that dissolves the hydrofluoric acid resistant film 12 include xylene, toluene, and methylene chloride.
Etching conditions for etching the glass plate 11 with hydrofluoric acid are the same as those in the first embodiment.

上述した実施形態例では、まず、耐フッ酸膜が形成されたガラス板をブラスト加工した後、ガラス板をエッチングするので、ブラスト加工によるチッピングを少なくすることができる。その結果、ガラス板の強度低下を防止できる。
また、ブラスト加工によってガラス板をある程度削り取っているから、深くエッチングする必要はない。したがって、アンダーカットは生じにくく、しかもブラスト加工は直線的に加工できるから、ガラス板に正確に画像を形成することができる。
さらに、この方法では、手間を要する特殊な耐フッ酸膜の形成方法を採用しなくてもよいから、安価である上に、量産性が高い。
In the embodiment described above, first, the glass plate on which the hydrofluoric acid resistant film is formed is blasted, and then the glass plate is etched, so that chipping due to blasting can be reduced. As a result, the strength reduction of the glass plate can be prevented.
Moreover, since the glass plate is scraped to some extent by blasting, it is not necessary to etch deeply. Therefore, undercut is unlikely to occur, and blasting can be processed linearly, so that an image can be accurately formed on the glass plate.
Furthermore, this method does not require the use of a special method for forming a hydrofluoric acid resistant film that requires labor, so that it is inexpensive and has high productivity.

なお、本発明は上述した実施形態例に限定されない。例えば、耐フッ酸膜12上に画像を形成するように耐ブラスト膜13を設ける方法は、画像を形成するように耐ブラスト材料を塗布する方法、予め画像が形成された耐ブラスト膜を耐フッ酸膜上に積層する方法、耐ブラスト性を有する薄膜を耐フッ酸膜上に積層した後、前記薄膜の所定箇所を切除して画像を形成する方法などが挙げられる。
さらに、予め画像が形成された耐ブラスト膜を作製する方法としては、例えば、ポリエステルフィルムなどのプラスチックフィルム(板)または金属薄板を型抜き加工する方法、レザー加工する方法などが挙げられる。予め画像が形成された耐ブラスト膜の片面に粘着剤やホットメルト接着剤を付与しておけば耐フッ酸膜上に容易に積層できる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment example. For example, a method of providing the blast resistant film 13 so as to form an image on the hydrofluoric acid resistant film 12 includes a method of applying a blast resistant material so as to form an image, and a blast resistant film on which an image has been previously formed. Examples include a method of laminating on an acid film, a method of laminating a thin film having blast resistance on a hydrofluoric acid resistant film, and then excising a predetermined portion of the thin film to form an image.
Furthermore, examples of a method for producing a blast-resistant film on which an image has been formed in advance include a method of die-cutting a plastic film (plate) such as a polyester film or a metal thin plate, and a method of leather processing. If an adhesive or hot melt adhesive is applied to one side of the blast resistant film on which an image has been formed in advance, it can be easily laminated on the hydrofluoric acid resistant film.

本発明の有機EL表示装置用封止キャップ、または、本発明のガラスチップは、上述したガラス板の加工方法により製造されたものである。この有機EL表示装置用封止キャップまたはガラスチップは、上述したガラス板の加工方法により製造されたため、強度が高く、正確な画像が形成されている。したがって、有機EL表示装置またはガラスチップの品質を高めることができる。
なお、ガラスチップとしては、生物化学反応に用いるガラスバイオチップ、通常の化学反応に用いるガラスケミカルチップなどがある。
The sealing cap for organic EL display devices of the present invention or the glass chip of the present invention is produced by the glass plate processing method described above. Since the sealing cap or glass chip for an organic EL display device is manufactured by the glass plate processing method described above, the strength is high and an accurate image is formed. Therefore, the quality of the organic EL display device or the glass chip can be improved.
Examples of the glass chip include a glass biochip used for a biochemical reaction and a glass chemical chip used for a normal chemical reaction.

(試験例1)
アスファルト粉末100gをテレピン油200gとジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート50gに溶解し、更にアクリル樹脂の微粉末(綜研化学社製MR−2G)50gを加えてから3本ロールで練り粘調溶液とした。
この粘調溶液をスクリーン印刷版(400メッシュのステンレス紗)でガラス板上(日本電気硝子社製OA−10)に塗布し、80℃で20分間乾燥して厚さ8μmの耐フッ酸膜を形成した。次いで、耐フッ酸膜上に耐ブラスト用のドライフィルム(東京応化工業社製BF−405)を積層し、露光現像により耐フッ酸膜上に、画像が形成された耐ブラスト膜を設けた。
そして、耐フッ酸膜上に耐ブラスト膜が設けられたガラス板をサクション式ブラスト装置(ニッチュー社製OP−12)を用い、表1に示すブラスト条件で(1)縦40mm×横40mmの窪みと(2)幅300μm×長さ10mmの溝を形成するようにブラスト加工をした。
(Test Example 1)
100 g of asphalt powder was dissolved in 200 g of turpentine oil and 50 g of diethylene glycol monobutyl ether acetate, 50 g of fine powder of acrylic resin (MR-2G manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) was further added, and then kneaded with 3 rolls to obtain a viscous solution.
This viscous solution was applied on a glass plate (OA-10 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) with a screen printing plate (400 mesh stainless steel bowl) and dried at 80 ° C. for 20 minutes to form a hydrofluoric acid resistant film having a thickness of 8 μm. Formed. Next, a blast-resistant dry film (BF-405 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was laminated on the hydrofluoric acid resistant film, and a blast resistant film on which an image was formed was provided on the hydrofluoric acid resistant film by exposure and development.
Then, a glass plate provided with a blast-resistant film on a hydrofluoric acid-resistant film is a depression of (1) length 40 mm × width 40 mm under the blast conditions shown in Table 1 using a suction type blasting device (OP-12 manufactured by Nitsch). And (2) blasting was performed so as to form a groove having a width of 300 μm and a length of 10 mm.

Figure 2005139039
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上記ブラスト加工において、ブラスト装置での被ブラスト加工物のブラスト処理回数とブラスト加工により形成した窪みまたは溝の深さは表2に示す通りであった。   In the blasting process, the number of times of blasting of the workpiece to be blasted by the blasting apparatus and the depth of the recess or groove formed by the blasting process are as shown in Table 2.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

次いで、ブラスト加工したガラス板を5%苛性ソーダ水溶液40℃中に浸漬して、ガラス板に積層されたドライフィルムからなる耐ブラスト膜を剥離した。次いで、耐ブラスト膜を剥離したガラス板を、25℃のエッチング液(48質量%フッ化水素30質量部、60質量%硝酸40質量部、96質量%酢酸30質量部)中に20分間、40分間、80分間浸漬しながら遥動してエッチングした。そして、キシレン溶剤で耐フッ酸膜を除去して、窪みおよび溝が形成されたガラス板を得た。この加工されたガラス板のエッチング深さを表3に示す。
なお、加工物−4は、ブラスト加工のみで溝を形成したものであるから、本発明の範囲外のものである。
Next, the blasted glass plate was dipped in a 5% aqueous caustic soda solution at 40 ° C. to peel off the blast resistant film made of a dry film laminated on the glass plate. Next, the glass plate from which the blast resistant film was peeled was placed in an etching solution at 25 ° C. (30 mass parts of 48 mass% hydrogen fluoride, 40 mass parts of 60 mass% nitric acid, 30 mass parts of 96 mass% acetic acid) for 20 minutes, Etching was performed while being immersed for 80 minutes. Then, the hydrofluoric acid resistant film was removed with a xylene solvent to obtain a glass plate in which depressions and grooves were formed. Table 3 shows the etching depth of the processed glass plate.
In addition, since the processed material-4 formed the groove | channel only by blast processing, it is a thing outside the scope of the present invention.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

(試験例2)
虫白蝋40質量部と融点65〜75℃のポリエチレン60質量部とをビーカーに入れ、加熱溶融し、混合してから冷却して固形のワックスとした。
この固形のワックスを、加熱用鉄板(ヒートプレイト)上に置いたガラス板(日本電気硝子社製OA−10)に載せ、プレート温度を80℃にして固形ワックスを溶融した。そして、溶融した固形ワックスを展ばしてガラス板上に厚さ6μmの耐フッ酸膜を形成した。次いで、耐フッ酸膜上に耐ブラスト用のドライフィルム(東京応化工業社製BF−405)を積層し、露光現像により耐フッ酸膜上に、画像が形成された耐ブラスト膜を設けた。
そして、耐フッ酸膜上に耐ブラスト膜が設けられたガラス板をサクション式ブラスト装置(ニッチュー社製OP−12)を用い、実施例1と同じ条件でブラスト加工をした。
上記ブラスト加工において、ブラスト装置での被ブラスト加工物のブラスト処理回数とブラスト加工により形成した窪みまたは溝の深さは表4に示す通りであった。
(Test Example 2)
40 parts by weight of insect white wax and 60 parts by weight of polyethylene having a melting point of 65 to 75 ° C. were put in a beaker, heated and melted, mixed and then cooled to obtain a solid wax.
The solid wax was placed on a glass plate (OA-10 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) placed on a heating iron plate (heat plate), and the solid wax was melted at a plate temperature of 80 ° C. Then, the melted solid wax was spread to form a hydrofluoric acid resistant film having a thickness of 6 μm on the glass plate. Next, a blast-resistant dry film (BF-405 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was laminated on the hydrofluoric acid resistant film, and a blast resistant film on which an image was formed was provided on the hydrofluoric acid resistant film by exposure and development.
And the glass plate by which the blast-proof film | membrane was provided on the hydrofluoric-acid-resistant film | membrane was blasted on the same conditions as Example 1 using the suction type blasting apparatus (Nitchu OP-12).
In the blasting process, the number of times of blasting of the workpiece to be blasted by the blasting apparatus and the depth of the recess or groove formed by the blasting process are as shown in Table 4.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

次いで、ブラスト加工したガラス板を5%苛性ソーダ水溶液40℃中に浸漬して、ガラス板に積層されたドライフィルムからなる耐ブラスト膜を剥離した。次いで、耐ブラスト膜を剥離したガラス板を、25℃のエッチング液(55質量%フッ化水素50質量部、60質量%硝酸25質量部、98質量%酢酸25質量部)中に25分間、45分間浸漬しながら遥動してエッチングした。そして、90℃のキシレン溶剤で耐フッ酸膜を除去して、窪みおよび溝が形成されたガラス板を得た。この加工されたガラス板のエッチング深さを表5に示す。   Next, the blasted glass plate was dipped in a 5% aqueous caustic soda solution at 40 ° C. to peel off the blast resistant film made of a dry film laminated on the glass plate. Next, the glass plate from which the blast resistant film was peeled was placed in an etching solution at 25 ° C. (55 mass parts of 55 mass% hydrogen fluoride, 25 mass parts of 60 mass% nitric acid, 25 mass parts of 98 mass% acetic acid) for 25 minutes, 45 minutes. Etching was carried out while dipping for a minute. Then, the hydrofluoric acid resistant film was removed with a 90 ° C. xylene solvent to obtain a glass plate in which depressions and grooves were formed. Table 5 shows the etching depth of the processed glass plate.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

(試験例3)
ガラス板(日本電気硝子社製OA−10)上に、蒸着により厚さ0.2μmの金属クロム膜を形成し、これを耐フッ酸膜とした。次いで、耐フッ酸膜の上に耐ブラスト用のアクリルエステル系樹脂よりなる膜厚100μmの粘着性画像フィルム(日本化研社製商品名NCBR粘着画像)を貼り付けて耐フッ酸膜上に、画像が形成された耐ブラスト膜を設けた。
そして、耐フッ酸膜上に耐ブラスト膜が設けられたガラス板をサクション式ブラスト装置(ニッチュー社製OP−12)を用い、実施例1と同じ条件でブラスト加工をした。
上記ブラスト加工において、ブラスト装置での被ブラスト加工物のブラスト処理回数とブラスト加工により形成した窪みまたは溝の深さは表6に示す通りであった。
(Test Example 3)
A metal chromium film having a thickness of 0.2 μm was formed by vapor deposition on a glass plate (OA-10 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.), and this was used as a hydrofluoric acid resistant film. Next, an adhesive image film (Nippon Kaken Co., Ltd., trade name NCBR adhesive image) made of an acrylic ester resin for blast resistance is pasted on the hydrofluoric acid resistant film, and on the hydrofluoric acid resistant film, A blast resistant film on which an image was formed was provided.
And the glass plate by which the blast-proof film | membrane was provided on the hydrofluoric-acid-resistant film | membrane was blasted on the same conditions as Example 1 using the suction type blasting apparatus (Nitchu OP-12).
In the blasting process, the number of times of blasting of the workpiece to be blasted in the blasting apparatus and the depth of the recess or groove formed by the blasting process are as shown in Table 6.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

次いで、加工物−7を除く加工物をメチルエチルケトン溶剤中に浸漬して耐ブラスト膜を剥離した。耐ブラスト膜を剥離した加工物または剥離していない加工物のガラス板を、25℃のエッチング液(55質量%フッ化水素50質量部、60質量%硝酸25質量部、98質量%酢酸25質量部、純水100重量部よりなる組成)中に20分間、40分間、100分間浸漬しながら遥動してエッチングした。そして、エッチングしたガラス板を、室温にて、硝酸第二セシウムアンモニウム/過塩素酸(和光純薬社製HY液)からなる金属クロム蒸着膜除去用エッチング液中に0.5〜2分間浸漬しながら揺動し、金属クロム膜からなる耐フッ酸膜を除去して、窪みおよび溝が形成されたガラス板を得た。この加工されたガラス板のエッチング深さを表7に示す。   Subsequently, the processed product except processed product-7 was immersed in a methyl ethyl ketone solvent to peel off the blast resistant film. A glass plate of a processed product from which the blast-resistant film has been peeled off or a workpiece that has not been peeled off is subjected to an etching solution at 25 ° C. The composition was etched while being immersed for 20 minutes, 40 minutes, and 100 minutes in a composition composed of 100 parts by weight of pure water). Then, the etched glass plate is immersed at room temperature for 0.5 to 2 minutes in an etching solution for removing a metal chromium vapor deposition film made of ceric ammonium nitrate / perchloric acid (HY solution manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.). The glass plate was oscillated while removing the hydrofluoric acid resistant film made of a metal chromium film to obtain a glass plate having depressions and grooves. Table 7 shows the etching depth of the processed glass plate.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

縦40mm×横40mmの窪みを形成したガラス板について、窪みを下向きにした状態で、強度試験機の平滑な金属面上に置き、窪みの中心上から直径5mmの平らな金属端子でガラスが割れるまで圧力を加えて各加工物の強度試験を行った。その結果を表8に示す。   A glass plate with a 40 mm long x 40 mm wide depression is placed on a smooth metal surface of a strength tester with the depression facing downward, and the glass is broken by a flat metal terminal with a diameter of 5 mm from the center of the depression. A pressure test was applied until the strength of each workpiece was tested. The results are shown in Table 8.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

幅300mm×長さ10mmになるように形成した溝の幅を実測した。その結果を表9に示す。   The width of the groove formed to be 300 mm wide × 10 mm long was measured. The results are shown in Table 9.

Figure 2005139039
Figure 2005139039

試験例1〜試験例3において、加工物−1〜3,5〜10(特に加工物−1,2,3,5,6,9,10)は、ガラス板をブラスト加工した後、フッ酸によりエッチングして得たものなので、チッピングを抑制でき、強度低下を防止できた。また、エッチング法のみで加工しないので、アンダーカットを防ぐことができ、ガラス板に正確な画像を形成できた。しかも、耐ブラスト膜や耐フッ酸膜に手作業でパターンを形成しないので、手間を要さず、安価であった。
一方、加工物−4は、ブラスト加工のみで溝や窪みを形成したので、強度が低かった。
In Test Example 1 to Test Example 3, the processed products -1 to 3 and 5 to 10 (particularly processed products -1, 2, 3, 5, 6, 9, and 10) are fluorinated after blasting the glass plate. Since it was obtained by etching, chipping could be suppressed and strength reduction could be prevented. Moreover, since it is not processed only by the etching method, undercutting can be prevented and an accurate image can be formed on the glass plate. In addition, since a pattern is not manually formed on the blast resistant film or hydrofluoric acid resistant film, it does not require labor and is inexpensive.
On the other hand, since the workpiece 4 formed grooves and depressions only by blasting, the strength was low.

本発明のガラス板の加工方法は、有機EL表示装置用封止キャップの製造やガラスチップの製造以外にも、ガラス板に溝や窪みを精密に形成する場合に適用できる。   The processing method of the glass plate of this invention is applicable when forming a groove | channel and a hollow precisely in a glass plate besides manufacture of the sealing cap for organic EL display apparatuses, or manufacture of a glass chip.

本発明に係る第1の実施形態例および第2の実施形態例における各工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows each process in the 1st embodiment example and 2nd embodiment example which concern on this invention. 本発明に係る第1の実施形態例における各工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows each process in the 1st example of an embodiment concerning the present invention. 本発明に係る第2の実施形態例における各工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows each process in the example of 2nd Embodiment based on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11 ガラス板
12 耐フッ酸膜
13 耐ブラスト膜
11 Glass plate 12 Hydrofluoric acid resistant film 13 Blast resistant film

Claims (6)

ガラス板の片面に耐フッ酸膜を形成する工程と、
耐フッ酸膜上に、画像を形成するように耐ブラスト膜を設ける工程と、
ブラスト加工により耐ブラスト膜で覆われていない部分の耐フッ酸膜およびガラス板を削り取る工程と、
ブラスト加工により露出したガラス板をフッ酸によりエッチングする工程と、
耐フッ酸膜および耐ブラスト膜を除去する工程とを有することを特徴とするガラス板の加工方法。
Forming a hydrofluoric acid resistant film on one side of the glass plate;
Providing a blast resistant film on the hydrofluoric acid resistant film so as to form an image;
A step of scraping off the hydrofluoric acid resistant film and the glass plate of the portion not covered with the blast resistant film by blasting;
Etching the glass plate exposed by blasting with hydrofluoric acid;
And a step of removing the hydrofluoric acid resistant film and the blast resistant film.
ガラス板の片面に耐フッ酸膜を形成する工程と、
耐フッ酸膜上に、画像を形成するように耐ブラスト膜を設ける工程と、
ブラスト加工により耐ブラスト膜で覆われていない部分の耐フッ酸膜およびガラス板を削り取る工程と、
耐ブラスト膜を除去する工程と、
ブラスト加工により露出したガラス板をフッ酸によりエッチングする工程と
耐フッ酸膜を除去する工程とを有することを特徴とするガラス板の加工方法。
Forming a hydrofluoric acid resistant film on one side of the glass plate;
Providing a blast resistant film on the hydrofluoric acid resistant film so as to form an image;
A step of scraping off the hydrofluoric acid resistant film and the glass plate of the portion not covered with the blast resistant film by blasting;
Removing the blast resistant film;
A method for processing a glass plate, comprising: a step of etching a glass plate exposed by blasting with hydrofluoric acid; and a step of removing a hydrofluoric acid resistant film.
前記耐フッ酸膜が、クロム、金、白金、モリブデン、タングステンの群より選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス板の加工方法。   The method for processing a glass plate according to claim 1 or 2, wherein the hydrofluoric acid resistant film is made of at least one selected from the group consisting of chromium, gold, platinum, molybdenum, and tungsten. 前記耐フッ酸膜が、石油ピッチ、アスファルト、石油系ワックス、動物性ワックス、植物性ワックス、ゴム、ポリスチレン樹脂の群より選ばれた少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス板の加工方法。   3. The hydrofluoric acid resistant film is made of at least one selected from the group consisting of petroleum pitch, asphalt, petroleum wax, animal wax, vegetable wax, rubber, and polystyrene resin. Glass plate processing method. 請求項1〜4のいずれかに記載のガラス板の加工方法で製造されたことを特徴とする有機EL表示装置用ガラス封止キャップ。   A glass sealing cap for an organic EL display device, which is manufactured by the method for processing a glass plate according to claim 1. 請求項1〜4のいずれかに記載のガラス板の加工方法で製造されたことを特徴とするガラスチップ。
A glass chip manufactured by the method for processing a glass plate according to claim 1.
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