JP2019172971A - Etching resist composition - Google Patents

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Abstract

To provide an etching resist composition having excellent adhesiveness to a substrate and showing excellent chemical resistance to immersion for a long time in hydrofluoric acid, an alkali aqueous solution containing a strong base such as sodium hydrochloride, or an etching solution containing a strong acid such as nitric acid, sulfuric acid and hydrochloric acid.SOLUTION: An etching resist composition is obtained, which comprises at least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene and (A3) chlorinated rubber, (B) a cyclized rubber, and (C) an organic solvent.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、熱乾燥型エッチングレジスト組成物、特にガラスエッチングに用いられる熱乾燥型エッチング組成物に関する。   The present invention relates to a heat-drying etching resist composition, and more particularly to a heat-drying etching composition used for glass etching.

携帯電話機や、携帯情報端末、カーナビゲーションシステムを始め、様々な電子機器の操作部に採用されているタッチパネル型入力装置(以下、単に「タッチパネル」ともいう)や、光学材料、計測器等のガラス基板の加工には、ガラス基板表面の比較的浅い溝の形成や段彫り等のみならず、穿孔または貫通孔形成のための穴開加工や、ガラス厚の約50%までを腐食させる、いわゆるザグリ加工を行う要求がある。   Touch panel type input devices (hereinafter also referred to simply as “touch panels”), optical materials, measuring instruments, and other glass used in the operation sections of various electronic devices such as mobile phones, personal digital assistants, car navigation systems, etc. In the processing of the substrate, not only the formation of relatively shallow grooves on the surface of the glass substrate, step engraving, etc., but also drilling for forming holes or through holes, and so-called counterbore that corrodes up to about 50% of the glass thickness. There is a demand for processing.

従来、ザグリ加工はドリル等を用いた機械加工で行われてきた。近年、タッチパネル等の軽薄短小化に伴い、加工する穴径を微細化するという要求があり、機械加工では、加工した穴にバリが発生したり、ドリル径を小さくすることにも限界があることから、これらの要求に耐えられなくなりつつあるという指摘があった。そのため、穴径が微細になっても対応可能なエッチングによるザグリ加工が求められるようになってきた。   Conventionally, counterboring has been performed by machining using a drill or the like. In recent years, along with the miniaturization of touch panels, etc., there has been a demand to reduce the hole diameter to be processed, and in machining, there is a limit in reducing burrs in the processed hole and reducing the drill diameter. Pointed out that they are becoming unable to withstand these demands. For this reason, counterbore processing has been demanded by etching that can be applied even when the hole diameter becomes fine.

ガラスエッチングが可能なエッチングレジストとしては、これまでに多くの提案がなされているが、エッチング液として用いられるフッ化水素酸や、フッ化水素酸と強酸との混合物はレジストに対する浸透性も強く、通常のスクリーン印刷で得られる膜厚のレジストでは、充分なエッチング耐性が得られない場合が多い。   As an etching resist capable of glass etching, many proposals have been made so far. However, hydrofluoric acid used as an etching solution and a mixture of hydrofluoric acid and strong acid also have a strong permeability to the resist. In many cases, a resist having a film thickness obtained by ordinary screen printing cannot provide sufficient etching resistance.

これに対して、エッチング耐性を向上させるため、アスファルトと、シリカ粉末と、有機溶剤とを含有するエッチングレジスト組成物に関する発明が提案されている(特許文献1参照)。   On the other hand, in order to improve etching resistance, the invention regarding the etching resist composition containing asphalt, a silica powder, and the organic solvent is proposed (refer patent document 1).

このような提案にかかるエッチングレジスト組成物によれば、確かにエッチング耐性を向上させることができる。   According to the etching resist composition according to such a proposal, the etching resistance can surely be improved.

特開2016−17021号JP 2006-17021 A

しかしながら、上述したザグリ加工のようにガラス厚に対して深い浸食を行う場合には、レジストにより被覆されたガラスを浸透性の強いフッ酸等のエッチング液に60分を超えて長時間浸漬することが必要となり、エッチング液のレジストへの染み込み・潜り込みが生じ、場合によってはレジストの剥がれ等の不具合が生じるおそれがあるという新たな懸念がある。   However, when deep erosion is performed on the glass thickness as in the above-described counterbore processing, the glass covered with the resist is immersed in an etching solution such as highly permeable hydrofluoric acid for more than 60 minutes for a long time. Therefore, there is a new concern that the etchant may permeate or sink into the resist, possibly causing problems such as resist peeling.

そこで、本発明の目的は、ザグリ加工のようにガラス厚に対して深い浸食を行う場合でもエッチングレジストのガラス基板等の基材に対する密着性に優れ、フッ酸や水酸化ナトリウム等の強塩基を含むアルカリ水溶液又は硝酸、硫酸、塩酸等の強酸を含むエッチング液における長時間の浸漬に耐え得る、優れた耐薬品性を与えるエッチングレジスト組成物を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is excellent in adhesion of the etching resist to a substrate such as a glass substrate even when deep erosion is performed on the glass thickness as in counterbore processing, and a strong base such as hydrofluoric acid or sodium hydroxide is used. An object of the present invention is to provide an etching resist composition that can withstand long-time immersion in an alkaline aqueous solution or an etching solution containing a strong acid such as nitric acid, sulfuric acid, and hydrochloric acid and that provides excellent chemical resistance.

本発明者らは、鋭意研究の結果、本発明の上記目的が、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種と、
(B)環化ゴムと、
(C)有機溶剤と、
を含むことを特徴とするエッチングレジスト組成物により達成されることを見出した。
As a result of diligent research, the present inventors have found that the object of the present invention is at least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber,
(B) a cyclized rubber;
(C) an organic solvent;
The present invention has been found to be achieved by an etching resist composition characterized by comprising:

本発明のエッチングレジスト組成物は、(B)環化ゴムを、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種の総量100質量部に対して15から50質量部含むことが好ましい。   The etching resist composition of the present invention comprises (B) a cyclized rubber from 15 to a total amount of 100 parts by mass of at least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber. It is preferable to include 50 parts by mass.

さらに、本発明のエッチングレジスト組成物は、(D)無機フィラーを含むことが好ましい。   Furthermore, the etching resist composition of the present invention preferably contains (D) an inorganic filler.

また、本発明のエッチングレジスト組成物は、ガラスのエッチングに用いられることが好ましい。   The etching resist composition of the present invention is preferably used for glass etching.

本発明のエッチングレジスト組成物は、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種と、(B)環化ゴムと、(C)有機溶剤と、を含むことにより、基材への密着性に優れ、フッ酸や水酸化ナトリウム等の強塩基を含むアルカリ水溶液又は硝酸、硫酸、塩酸等の強酸を含むエッチング液に対し長時間にわたる耐性(耐薬品性)を発揮する。   The etching resist composition of the present invention comprises (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) at least one of chlorinated rubber, (B) cyclized rubber, and (C) an organic solvent. Containing excellent adhesion to the substrate, long-term resistance to chemicals containing alkaline solutions containing strong bases such as hydrofluoric acid and sodium hydroxide, or etchants containing strong acids such as nitric acid, sulfuric acid and hydrochloric acid (chemical resistance) ).

以下、本発明の実施の形態を、詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明のエッチングレジスト組成物(以下、レジスト組成物ともいう)は、基体をエッチング加工から保護するための組成物であり、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種と、(B)環化ゴムと、(C)有機溶剤と、をと含有し、熱により乾燥して(熱乾燥型)レジストを構成する。   The etching resist composition of the present invention (hereinafter also referred to as resist composition) is a composition for protecting a substrate from etching processing, and includes (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber. And (B) a cyclized rubber and (C) an organic solvent, and are dried by heat (thermal drying type) to form a resist.

すなわち、本発明のエッチングレジスト組成物は、所定の基板(処理対象)、例えば、特にソーダガラス(ソーダライムガラス)、クリスタルガラス、硼珪酸ガラス等のガラスに対し、所定のパターン状にスクリーン印刷等により塗布される。その後、エッチングレジストによりパターン上に被覆された基板は、所定時間加熱される。これにより熱乾燥したエッチングレジストは、エッチング処理の際の基板の保護膜(レジスト)となる。   That is, the etching resist composition of the present invention is screen-printed in a predetermined pattern on a predetermined substrate (processing target), for example, glass such as soda glass (soda lime glass), crystal glass, borosilicate glass, etc. Is applied. Thereafter, the substrate coated with the etching resist on the pattern is heated for a predetermined time. Thus, the heat-dried etching resist becomes a protective film (resist) for the substrate during the etching process.

本発明のエッチングレジスト組成物は、スクリーン印刷等の印刷適性を有するほか、基材に対する密着性が高く、優れた耐薬品性を有するため、穴開加工やザグリ加工に要求される過酷な条件下でのエッチングにおいても、エッチング液が基材とレジストとの間やレジストに染み込み・潜り込む可能性が抑制され、レジストの基材からの一部または全体的な剥離も極めて生じにくい。   The etching resist composition of the present invention has printability such as screen printing, has high adhesion to the substrate, and has excellent chemical resistance, so it is used under severe conditions required for drilling and counterboring. Also in the etching, the possibility that the etching solution permeates between the base material and the resist or into the resist is suppressed, and partial or total peeling of the resist from the base material hardly occurs.

これにより、レジストのパターンに忠実な、高い精度で基材のエッチング加工が行われるため、本発明のエッチングレジストを用いて得られた基材は解像度が極めて優れている。   Thereby, since the etching process of the base material is performed with high accuracy and faithful to the resist pattern, the base material obtained using the etching resist of the present invention has extremely excellent resolution.

以下、本発明のエッチングレジスト組成物の成分を説明する。   Hereinafter, the components of the etching resist composition of the present invention will be described.

[(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種]
本発明のエッチングレジスト組成物は、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種を含む。すなわち、(A)成分として、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムの一種類を用いるか、これらのうちの2種類以上の混合物を用いることができる。
[At least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber]
The etching resist composition of the present invention contains at least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber. That is, as the component (A), one type of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber can be used, or a mixture of two or more of these can be used.

本発明に用いられる(A1)アスファルトとしては、スレートアスファルトまたはブローンアスファルト等の石油アスファルト、レイクアスファルト、ロックアスファルト、オイルサンドアスファルト等の天然アスファルト、およびポリマーなど添加した改質アスファルト、乳化や粉末化したアスファルト、すなわち公知のアスファルトのいずれも使用可能である。   As (A1) asphalt used in the present invention, petroleum asphalt such as slate asphalt or blown asphalt, natural asphalt such as lake asphalt, rock asphalt, oil sand asphalt, and modified asphalt added such as polymer, emulsified or powdered. Any asphalt, i.e. any known asphalt, can be used.

上記のうち、ブローンアスファルトおよびスレートアスファルトが好ましく、ブローンアスファルトが特に好ましく用いられる。   Among the above, blown asphalt and slate asphalt are preferable, and blown asphalt is particularly preferably used.

本発明で使用する(A1)アスファルトは、針入度(JIS K2207(1996)に準ずる)が20以下、さらに10以下であるものが好ましく、軟化点(JIS K2207(1996)に準ずる)が55℃以上、さらには95℃以上、特に110℃以上のものが好ましく使用される。   Asphalt (A1) used in the present invention has a penetration (according to JIS K2207 (1996)) of 20 or less, preferably 10 or less, and a softening point (according to JIS K2207 (1996)) of 55 ° C. In addition, those having a temperature of 95 ° C or higher, particularly 110 ° C or higher are preferably used.

(A1)アスファルトの針入度が20以下であることにより、これを含むレジスト組成物から得られるレジストの塗膜が柔らかくなりすぎることはなく、所定の硬度を有するレジストとして形成され、レジストに傷等の欠陥が生ずることや、レジストの傷を通して不必要な箇所がエッチングされるような懸念が回避される。   (A1) When the penetration of asphalt is 20 or less, the resist coating obtained from the resist composition containing the asphalt does not become too soft, is formed as a resist having a predetermined hardness, and the resist is scratched. Such a problem that a defect such as the above occurs or an unnecessary portion is etched through a scratch on the resist is avoided.

また、軟化点が55℃以上とすることにより、エッチング液によるレジストの軟化、損傷が回避され、高温でのエッチングに耐性を有するレジストの形成が可能とされる。   Further, when the softening point is 55 ° C. or higher, resist softening and damage by the etching solution can be avoided, and a resist having resistance to etching at high temperature can be formed.

ブローンアスファルトは、針入度および軟化点のバランスに優れ、本発明の(A1)アスファルトとして特に好ましく使用される。   The blown asphalt is excellent in balance between penetration and softening point, and is particularly preferably used as the (A1) asphalt of the present invention.

本発明では、(A2)アスファルトを単独又は複数種類の組み合わせとして使用することができ、2種類以上のアスファルトの組み合わせ使用により、針入度および軟化点の調整のとれた混合物として、本発明の(A1)アスファルトとすることもできる。   In the present invention, (A2) asphalt can be used singly or as a combination of a plurality of types, and by using a combination of two or more types of asphalt, as a mixture in which the penetration and softening point are adjusted, A1) It can also be asphalt.

(A1)アスファルトは、一般に室温で固体であるため、有機溶剤に溶解させて用いることが好ましい。これにより、レジスト組成物の製造、被加工基材に対する塗布、及びレジスト除去(剥離)を、それぞれ円滑に行うことが可能となる。   Since (A1) asphalt is generally solid at room temperature, it is preferable to use it by dissolving it in an organic solvent. Thereby, manufacture of a resist composition, application | coating with respect to a to-be-processed base material, and resist removal (peeling) can each be performed smoothly.

本発明の(A1)アスファルトの溶解に用いられる有機溶剤の例は、後述の(C)有機溶剤の例と同様であり、2種類以上の混合溶媒とすることもできる。   The example of the organic solvent used for the dissolution of (A1) asphalt of the present invention is the same as the example of the organic solvent (C) described later, and two or more kinds of mixed solvents can be used.

アスファルトの溶解用の溶媒と、(C)有機溶剤とを同一にしても、またはレジスト組成物に悪影響を与えない限り、異なる溶媒とすることもできる。   The solvent for dissolving asphalt and the organic solvent (C) may be the same or different as long as they do not adversely affect the resist composition.

[(A2)塩素化ポリプロピレン]
本発明のエッチングレジスト組成物では、(A1)アスファルトに代えて、または(A1)アスファルトに加えて(A2)塩素化ポリプロピレンが用いられる。
[(A2) chlorinated polypropylene]
In the etching resist composition of the present invention, (A2) chlorinated polypropylene is used instead of (A1) or in addition to (A1) asphalt.

本発明において、(A2)塩素化ポリプロピレンとしては、ポリプロピレン(単独重合体)の塩素化物の他、ポリプロピレンと低級オレフィンとの共重合体の塩素化物のいずれも使用可能であるが、ポリプロピレン単独重合体(特に鎖状の化合物)の塩素化物が好ましく用いられる。   In the present invention, as the chlorinated polypropylene (A2), any of chlorinated products of polypropylene (homopolymer) and chlorinated products of polypropylene and lower olefin can be used. Chlorides of (especially chain compounds) are preferably used.

塩素化ポリプロピレンの製造方法は、従来より各種のものが提案されているが、本発明で使用される塩素化ポリプロピレンは所望の特性を有する限り、いずれの製造方法により得られたものであってもよい。   Various methods for producing chlorinated polypropylene have been proposed, but the chlorinated polypropylene used in the present invention may be obtained by any production method as long as it has desired characteristics. Good.

例えば、本発明で使用される(A2)塩素化ポリプロピレンは、固相で塩素化する方法、またはポリプロピレンを塩素系溶媒(例えばクロロホルム)、水性溶媒(例えば水)、またはその双方の混合物に溶解または懸濁させて塩素化する方法等の液相で塩素化する方法等により製造可能である。   For example, (A2) chlorinated polypropylene used in the present invention is a method of chlorinating in a solid phase, or dissolving polypropylene in a chlorinated solvent (for example, chloroform), an aqueous solvent (for example, water), or a mixture of both. It can be produced by a method of chlorination in a liquid phase such as a method of suspending and chlorinating.

本発明で使用する(A2)塩素化ポリプロピレンの重量平均分子量はGPC分析(ポリスチレン標準)で10,000から120,000、好ましくは30,000から80,000であることが好ましい。(A2)塩素化ポリプロピレンの重量平均分子量が10,000以上であると、乾燥後のレジスト組成物のべたつきが抑制される。また、重量平均分子量を120,000以下とすることにより、レジスト組成物中に含まれる環化ゴムとの相溶性が良好となる。   The weight average molecular weight of the (A2) chlorinated polypropylene used in the present invention is 10,000 to 120,000, preferably 30,000 to 80,000 by GPC analysis (polystyrene standard). (A2) If the weight average molecular weight of the chlorinated polypropylene is 10,000 or more, stickiness of the resist composition after drying is suppressed. Further, when the weight average molecular weight is 120,000 or less, the compatibility with the cyclized rubber contained in the resist composition is improved.

さらに、(A2)塩素化ポリプロピレンの塩素化率は、塩素化ポリプロピレンの全質量に対して、30質量%から70質量%の範囲であることが好ましい。塩素化率30質量%以上の塩素化ポリプロピレンを用いることにより、得られるエッチングレジスト組成物の耐薬品性が特に向上する。一方、塩素化率70質量%以下では、後述の(C)有機溶剤に対する塩素化ポリプロピレンの溶解性が良好であり、均質なレジスト組成物が得られる。   Further, the chlorination rate of (A2) chlorinated polypropylene is preferably in the range of 30% by mass to 70% by mass with respect to the total mass of the chlorinated polypropylene. By using chlorinated polypropylene having a chlorination rate of 30% by mass or more, the chemical resistance of the resulting etching resist composition is particularly improved. On the other hand, when the chlorination rate is 70% by mass or less, the solubility of chlorinated polypropylene in the organic solvent (C) described later is good, and a homogeneous resist composition can be obtained.

さらに、本発明で用いる(A2)塩素化ポリプロピレンの軟化点は、60から250℃、特に80から200℃の範囲であることが好ましい。軟化点60℃以上の(A2)塩素化ポリプロピレンを用いると乾燥後のレジスト組成物のべたつきが抑制される。軟化点が250℃以下であると環化ゴムとの相溶性が良好となる。   Furthermore, the softening point of (A2) chlorinated polypropylene used in the present invention is preferably in the range of 60 to 250 ° C, particularly 80 to 200 ° C. When (A2) chlorinated polypropylene having a softening point of 60 ° C. or higher is used, stickiness of the resist composition after drying is suppressed. When the softening point is 250 ° C. or less, the compatibility with the cyclized rubber becomes good.

(A2)塩素化ポリプロピレンの具体例としては、スーパークロン814HS、スーパークロン390S、スーパークロンHP−215(いずれも日本製紙株式会社製)、ハードレン526P、ハードレン523P(いずれも東洋紡株式会社製)を挙げることができる。   As specific examples of (A2) chlorinated polypropylene, Super Clone 814HS, Super Clone 390S, Super Clone HP-215 (all manufactured by Nippon Paper Industries Co., Ltd.), HARDREN 526P, HARDREN 523P (all manufactured by Toyobo Co., Ltd.) are listed. be able to.

[(A3)塩素化ゴム]
塩素化ゴムは天然ゴムや合成ゴム(ポリイソプレン)を塩素化して得られる樹脂で、化学的に安定で酸・アルカリに強くまた耐候性に優れ、トルエン等の芳香族系溶剤やエステル・ケトン類の有機溶剤に容易に溶解する。このため塗料・インキ・接着剤に使われ、特に重防食塗料等に多量に使われ、古くから工業的に製造されている。
[(A3) Chlorinated rubber]
Chlorinated rubber is a resin obtained by chlorinating natural rubber and synthetic rubber (polyisoprene). It is chemically stable, resistant to acids and alkalis, and has excellent weather resistance. Aromatic solvents such as toluene, esters and ketones Easily soluble in organic solvents. For this reason, it is used in paints, inks and adhesives, especially in heavy anticorrosion paints, and has been industrially manufactured for a long time.

工業的に塩素化ゴムを製造するには、天然ゴムや合成ゴム等の原料を塩素に不活性な塩素系溶剤である四塩化炭素に溶解させ、この溶液に塩素ガスを通じて塩素化を行う「溶液法」という方法が知られているが、本発明に使用する塩素化ゴムは、所望の特性が得られれば、本製造方法に限定されるものではない。   In order to manufacture chlorinated rubber industrially, raw materials such as natural rubber and synthetic rubber are dissolved in carbon tetrachloride, which is a chlorine-based inert solvent, and this solution is chlorinated through chlorine gas. Although the method “method” is known, the chlorinated rubber used in the present invention is not limited to the present production method as long as desired characteristics are obtained.

本発明で使用する(A3)塩素化ゴムの重量平均分子量はGPC分析(ポリスチレン標準)で10,000から120,000、好ましくは30,000から80,000であることが好ましい。(A3)塩素化ゴムの重量平均分子量が10,000以上であると、乾燥後のレジスト組成物のべたつきが抑制される。また、重量平均分子量を120,000以下とすることにより、レジスト組成物中に含まれる環化ゴムとの相溶性が良好となる。   The weight average molecular weight of the (A3) chlorinated rubber used in the present invention is 10,000 to 120,000, preferably 30,000 to 80,000 by GPC analysis (polystyrene standard). (A3) When the weight average molecular weight of the chlorinated rubber is 10,000 or more, stickiness of the resist composition after drying is suppressed. Further, when the weight average molecular weight is 120,000 or less, the compatibility with the cyclized rubber contained in the resist composition is improved.

本発明で使用する(A3)塩素化ゴムの塩素化率は、塩素化ゴムの全質量に対して、30質量%から80質量%の範囲であることが好ましい。塩素化率30質量%以上の塩素化ゴムを用いることにより、得られるエッチングレジスト組成物の耐薬品性が特に向上する。一方、塩素化率80質量%以下では、後述の(C)有機溶剤に対する(A3)塩素化ゴムの溶解性が良好であり、均質なレジスト組成物が得られる。
さらに、本発明で用いる(A3)塩素化ゴムの軟化点は、50から250℃、特に60から150℃の範囲であることが好ましい。軟化点60℃以上の(A3)塩素化ゴムを用いると乾燥後のレジスト組成物のべたつきが抑制される。軟化点が250℃以下であると環化ゴムとの相溶性が良好となる。
The chlorination rate of the (A3) chlorinated rubber used in the present invention is preferably in the range of 30% by mass to 80% by mass with respect to the total mass of the chlorinated rubber. By using a chlorinated rubber having a chlorination rate of 30% by mass or more, the chemical resistance of the resulting etching resist composition is particularly improved. On the other hand, when the chlorination rate is 80% by mass or less, the solubility of (A3) chlorinated rubber in (C) organic solvent described later is good, and a homogeneous resist composition is obtained.
Furthermore, the softening point of the (A3) chlorinated rubber used in the present invention is preferably in the range of 50 to 250 ° C, particularly 60 to 150 ° C. When (A3) chlorinated rubber having a softening point of 60 ° C. or higher is used, stickiness of the resist composition after drying is suppressed. When the softening point is 250 ° C. or less, the compatibility with the cyclized rubber becomes good.

(A3)塩素化ゴムの具体例としては、YURON CR−10、CR−20(いずれもFENGHUA YURON CHEMICAL INDUSTRY製)を挙げることができる。   (A3) Specific examples of the chlorinated rubber include YURON CR-10 and CR-20 (both manufactured by FENHUA YURON CHEMICAL INDUSTRY).

(A1)アスファルトと同様に、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムも、それぞれ単独種類又は複数種類の組み合わせとして使用することができる。   (A1) Similarly to asphalt, (A2) chlorinated polypropylene and (A3) chlorinated rubber can be used as a single kind or a combination of plural kinds, respectively.

[(B)環化ゴム]
本発明のエッチングレジスト組成物は(B)環化ゴムを含む。
(B)環化ゴムとしては、共役ジエンゴムの環化物またはその誘導体である限り、特に制限されるものではない。(B)環化ゴムの原料として用いられる共役ジエンゴムは、共役ジエン単量体のみの重合体であっても、共役ジエン単量体とその他の単量体との共重合ゴムであってもよい。また、共重合ゴムはランダム共重合ゴム、ブロック共重合ゴムのいずれであってもよい。
[(B) cyclized rubber]
The etching resist composition of the present invention contains (B) a cyclized rubber.
(B) The cyclized rubber is not particularly limited as long as it is a cyclized product of a conjugated diene rubber or a derivative thereof. (B) The conjugated diene rubber used as a raw material for the cyclized rubber may be a polymer of only a conjugated diene monomer or a copolymer rubber of a conjugated diene monomer and another monomer. . The copolymer rubber may be either a random copolymer rubber or a block copolymer rubber.

上記の共重合ゴムを構成する共役ジエン単量体としては、例えば、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、2−フェニル−1,3−ブタジエン、1,3−ペンタジエン、2−メチル−1,3−ペンタジエン、1,3−ヘキサジエン、4,5−ジエチル−1,3−オクタジエン、3−ブチル−1,3−オクタジエンなどが挙げられる。   Examples of the conjugated diene monomer constituting the copolymer rubber include 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, 2-phenyl-1,3-butadiene, 1, Examples include 3-pentadiene, 2-methyl-1,3-pentadiene, 1,3-hexadiene, 4,5-diethyl-1,3-octadiene, and 3-butyl-1,3-octadiene.

また、上述の「その他の単量体」としては、例えば、スチレン、o−メチルスチレン、p−メチルスチレン、m−メチルスチレン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、p−tert−ブチルスチレン、α−メチルスチレン、α−メチル−p−メチルスチレン、o−クロルスチレン、m−クロルスチレン、p−クロルスチレン、p−ブロモスチレン、2−メチル−1,4−ジクロルスチレン、2,4−ジブロモスチレン、ビニルナフタレンなどの芳香族ビニル単量体;
エチレン、プロピレン、1−ブテンなどの鎖状オレフィン単量体;
シクロペンテン、2−ノルボルネンなどの環状オレフィン単量体;
1,5−ヘキサジエン、1,6−ヘプタジエン、1,7−オクタジエン、ジシクロペンタジエン、5−エチリデン−2−ノルボルネンなどの非共役ジエン単量体;
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸エステル;
(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミドなどが挙げられる。 前記共役ジエン単量体及びその他の単量体は、単独でも2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the above-mentioned “other monomers” include styrene, o-methylstyrene, p-methylstyrene, m-methylstyrene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, p-tert-butylstyrene, α-methylstyrene, α-methyl-p-methylstyrene, o-chlorostyrene, m-chlorostyrene, p-chlorostyrene, p-bromostyrene, 2-methyl-1,4-dichlorostyrene, 2,4- Aromatic vinyl monomers such as dibromostyrene and vinylnaphthalene;
Chain olefin monomers such as ethylene, propylene, 1-butene;
Cyclic olefin monomers such as cyclopentene and 2-norbornene;
Non-conjugated diene monomers such as 1,5-hexadiene, 1,6-heptadiene, 1,7-octadiene, dicyclopentadiene, 5-ethylidene-2-norbornene;
(Meth) acrylic acid esters such as methyl (meth) acrylate and ethyl (meth) acrylate;
(Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, etc. are mentioned. The conjugated diene monomer and other monomers may be used alone or in combination of two or more.

天然ゴム、合成ゴムを酸で処理する事により、ゴム分子中の鎖状分子の一部を環化して得られる。その製造方法は、各種のものが提案されているが本発明での(B)環化ゴムは、その何れかに特定されるものではない。   By treating natural rubber or synthetic rubber with an acid, a part of chain molecules in the rubber molecule is cyclized. Various production methods have been proposed, but the (B) cyclized rubber in the present invention is not limited to any one of them.

具体的には、天然ゴム又は合成ゴムを酸処理することによって得られ、例えば、濃硫酸やp−トルエンスルホン酸のような有機スルホン酸類、クロロスルホン酸等、あるいはTiCl4等のルイス酸を直接、天然ゴム又は合成ゴム等のゴム成分に作用させるか、或いはゴム溶液に作用させることにより、ゴム分子中の鎖状分子の一部を環化して2重結合を減少させる方法等で製造される。   Specifically, it is obtained by acid treatment of natural rubber or synthetic rubber. For example, organic sulfonic acids such as concentrated sulfuric acid and p-toluenesulfonic acid, chlorosulfonic acid, etc., or Lewis acid such as TiCl4 is directly used. It is produced by a method in which a double bond is reduced by cyclizing a part of chain molecules in a rubber molecule by acting on a rubber component such as natural rubber or synthetic rubber, or by acting on a rubber solution.

使用する(B)環化ゴムに分子量は、GPC分析(ポリスチレン標準)で重量平均分子量5000〜50000、好ましくは10000〜30000とされる。   The molecular weight of the (B) cyclized rubber used is a weight average molecular weight of 5,000 to 50,000, preferably 10,000 to 30,000 by GPC analysis (polystyrene standard).

重量平均分子量が5000の(B)環化ゴムを使用することにより、エッチング組成物の耐薬品が良好となる。重量平均分子量が50000以下の(B)環化ゴムを使用することにより、(B)環化ゴムと、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか((A1)〜(A3)のうち使用するすべて)との相溶性が良好とされる。   By using the (B) cyclized rubber having a weight average molecular weight of 5000, chemical resistance of the etching composition is improved. By using (B) cyclized rubber having a weight average molecular weight of 50000 or less, any of (B) cyclized rubber, (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber (( Compatibility with all of A1) to (A3) used is considered good.

本発明で使用する環化ゴムは、軟化点が60〜200℃、好ましくは、100〜150℃であることが望ましい。(B)環化ゴムの軟化点が60℃以上であることにより、指触乾燥性が良好となり、作業効率が向上する。また、(B)環化ゴムの軟化点が150℃以下の場合には、(A1)アスファルトとの相溶性が良好となり、レジスト組成物の均一化に寄与する。   The cyclized rubber used in the present invention has a softening point of 60 to 200 ° C, preferably 100 to 150 ° C. (B) When the cyclized rubber has a softening point of 60 ° C. or higher, the dryness to the touch becomes good and the working efficiency is improved. Further, when the softening point of (B) the cyclized rubber is 150 ° C. or lower, the compatibility with (A1) asphalt becomes good, which contributes to the homogenization of the resist composition.

環化ゴムの具体例としては、アルペックスCK−514、アルペックスCK−450等(いずれも日本サイテックスインダストリーズ株式会社製)が挙げられる。   Specific examples of the cyclized rubber include Alpex CK-514, Alpex CK-450, etc. (all manufactured by Nippon Cytex Industries, Ltd.).

(B)環化ゴムの配合量は、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび/または(A3)塩素化ゴムの合計の100質量部に対して3〜60質量部、好ましくは15〜50質量部、特に好ましくは20〜40質量部である。(B)環化ゴムの配合量が3質量部以上であることにより、基材に対するエッチング組成物の接着性が十分となり、15質量部以上となることにより、例えば組成物が均質化することにより、レジスト組成物の基体に対する印刷性が向上する。また、(B)環化ゴムの割合を60質量部以下、特に40%以下とした場合に、(A1)アスファルトとの相溶性が良く、印刷した塗膜のレベリング性、消泡性も良好に得られる。   (B) The compounding quantity of cyclized rubber is 3-60 mass parts with respect to 100 mass parts of the sum total of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and / or (A3) chlorinated rubber, Preferably it is 15- 50 parts by mass, particularly preferably 20 to 40 parts by mass. (B) When the compounding amount of the cyclized rubber is 3 parts by mass or more, the adhesiveness of the etching composition to the substrate becomes sufficient, and when it is 15 parts by mass or more, for example, the composition is homogenized. In addition, the printability of the resist composition on the substrate is improved. In addition, when the ratio of (B) cyclized rubber is 60 parts by mass or less, particularly 40% or less, (A1) good compatibility with asphalt, and leveling and defoaming properties of the printed coating film are also good. can get.

(A1)アスファルトと(A2)塩素化ポリプロピレン若しくは(A3)塩素化ゴムとの質量比を(65:35)〜(55:45)とし、上記の配合量の(B)環化ゴムを用いることにより、レジストのエッチング耐性を向上させることができる。   The mass ratio of (A1) asphalt to (A2) chlorinated polypropylene or (A3) chlorinated rubber is (65:35) to (55:45), and (B) cyclized rubber having the above blending amount is used. Thus, the etching resistance of the resist can be improved.

[(C)有機溶剤]
本発明で使用する(C)有機溶剤としては、アスファルトやその他の成分を溶解させることができるものであればよい。例えば、メチルエチルケトンやシクロヘキサノン等のケトン類、トルエンやキシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、石油エーテルや石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤類などが挙げられる。
[(C) Organic solvent]
The organic solvent (C) used in the present invention is not particularly limited as long as it can dissolve asphalt and other components. Examples thereof include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene, and petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha.

ソルベントナフサ等の石油系溶剤類、芳香族炭化水素系溶剤、またはこれら相互の混合溶剤が好適に使用でき、これらを用いることにより、特に(A1)アスファルトの良好な溶解性が得られる。   Petroleum solvents such as solvent naphtha, aromatic hydrocarbon solvents, or mixed solvents thereof can be suitably used. By using these, (A1) good asphalt solubility can be obtained.

本発明においては、特に、芳香族系溶剤を使用することが好ましく、更に150℃以上の沸点を持つ芳香族系溶剤が好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use an aromatic solvent, and more preferably an aromatic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher.

150℃以上の沸点を持つ芳香族系溶剤としてはスワゾール(登録商標)1000、1500、1800(丸善石油化学株式会社製)、T−Sol (登録商標)100、150、200(エクソンモービル社製)、カクタスファインSF01、SF−02(JXTGエネルギー株式会社製)等が挙げられる。150℃以上の沸点を持つ芳香族系溶剤を使用すると、特に樹脂の溶解性、印刷適性が良好で表面状態の優れた印刷物が得られる。また、引火点が高いため取り扱い上、安全性が高いという利点がある。   As an aromatic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher, Swazol (registered trademark) 1000, 1500, 1800 (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.), T-Sol (registered trademark) 100, 150, 200 (manufactured by ExxonMobil) Cactus Fine SF01, SF-02 (manufactured by JXTG Energy Co., Ltd.) and the like. When an aromatic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher is used, a printed matter having particularly good resin solubility and printability and excellent surface condition can be obtained. In addition, since the flash point is high, there is an advantage of high safety in handling.

本発明においては、150℃以上の沸点を持つ芳香族系溶剤を単独で用いるか、もしくは150℃以上の沸点を持つ芳香族系溶剤を含む溶媒混合物、すなわち当該芳香族系溶媒と相溶性の高い溶媒(例えばメチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒)を含むもの等、(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレン及び(B)環化ゴムの溶解性の高いものを併用することができる。   In the present invention, an aromatic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher is used alone, or a solvent mixture containing an aromatic solvent having a boiling point of 150 ° C. or higher, that is, highly compatible with the aromatic solvent. Highly soluble (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (B) cyclized rubber can be used in combination, such as those containing solvents (for example, ketone solvents such as methyl isobutyl ketone and cyclohexanone).

(C)有機溶剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用することができる。また、(C)有機溶剤の配合量は、目的に応じた任意の量とすることができるが、本発明のレジスト組成物における20質量%〜80質量%、特に30〜50%とされることが好ましい。   (C) The organic solvent can be used alone or as a mixture of two or more. In addition, the amount of (C) the organic solvent can be set to an arbitrary amount depending on the purpose, but 20% by mass to 80% by mass, particularly 30% to 50% in the resist composition of the present invention. Is preferred.

[その他の成分]
この他、本発明のレジスト組成物には、必要に応じて、無機フィラー、増粘剤、流動性改質剤、表面張力調整剤、密着性付与剤またはカプリング剤、界面活性剤、着色剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤およびレベリング剤、マット剤、膜物性を調整するためのポリエステル系樹脂、ビニル系樹脂、アクリル系樹脂、ゴム系樹脂、ワックス類の少なくとも1種を、さらに配合することができる。上記成分は、各成分(A)〜(C)の性能を損なわず、添加による所望の効果が得られる範囲で、適宜使用量を調節して使用される。
[Other ingredients]
In addition to the resist composition of the present invention, an inorganic filler, a thickener, a fluidity modifier, a surface tension modifier, an adhesion promoter or a coupling agent, a surfactant, a colorant, Silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming and leveling agents, matting agents, polyester resins for adjusting film properties, vinyl resins, acrylic resins, rubber resins, and waxes Can be further blended. The said component is used by adjusting the amount of use suitably in the range from which the desired effect by addition is acquired, without impairing the performance of each component (A)-(C).

上記のフィラーの具体例としては、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、タルク、クレー、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウムの無機フィラー等が使用可能であり、好ましくは硫酸バリウムまたはタルクが、単独または2種以上の組み合わせで使用される。これらの無機フィラーは、レジスト組成物調整の際の粘度を適度に調整し、加熱乾燥時の硬化収縮を抑制し、基板との密着性を向上させる役割を果たす。このうち、基板との密着性を良好とするために硫酸バリウムが特に好ましく用いられる。   As specific examples of the filler, inorganic fillers such as barium sulfate, barium titanate, talc, clay, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, and aluminum nitride can be used. Preferably, barium sulfate or talc is used. It is used alone or in combination of two or more. These inorganic fillers play a role of appropriately adjusting the viscosity at the time of adjusting the resist composition, suppressing curing shrinkage during heat drying, and improving the adhesion to the substrate. Of these, barium sulfate is particularly preferably used in order to improve the adhesion to the substrate.

無機フィラーの平均一次粒径は15μm以下であることが好ましく、更に好ましくは10μm以下である。平均一次粒径(D50)は、レーザー回折/散乱法により測定することができる。   The average primary particle size of the inorganic filler is preferably 15 μm or less, more preferably 10 μm or less. The average primary particle size (D50) can be measured by a laser diffraction / scattering method.

フィラーの配合量は特に限定的ではないが、エッチングレジスト組成物全量(溶剤を含む)に対して、8質量%〜100質量%、特に20〜60質量%の割合で用いることが好ましい。8質量%、特に20質量%以上であれば、組成物のチキソ性が高まり印刷精度が良好とされ、100質量%以下であればレベリング性が向上する。   Although the compounding quantity of a filler is not specifically limited, It is preferable to use in the ratio of 8 mass%-100 mass% with respect to the etching resist composition whole quantity (a solvent is included), especially 20-60 mass%. If the content is 8% by mass, particularly 20% by mass or more, the thixotropy of the composition is increased, and the printing accuracy is improved.

使用可能な消泡剤の例としては、シリコーン系消泡剤、フッ素系消泡剤、アクリル系消泡剤が挙げられる。シリコーン系の消泡剤としてはビックケミー・ジャパン株式会社製のBYK(登録商標)−063、−065、−066N、−081、−141、−323、および信越化学株式会社製のKS−66、KS−69、X−50−1105G等、フッ素系消泡剤としてはDIC株式会社製のメガファックRS、F−554、F−557等、アクリル系消泡剤としては楠本化成株式会社製のディスパロンOX−880EF、OX−70などが挙げられる。   Examples of usable antifoaming agents include silicone antifoaming agents, fluorine antifoaming agents, and acrylic antifoaming agents. Examples of silicone-based antifoaming agents include BYK (registered trademark) -063, -065, -066N, -081, -141, and -323 manufactured by Big Chemie Japan, and KS-66 and KS manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. -69, X-50-1105G, etc., as fluoric defoamers, MegaFac RS, F-554, F-557, etc. manufactured by DIC Corporation, and acrylic defoamers, Disparon OX, manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd. -880EF, OX-70 and the like.

このほか、着色剤としては、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックを、
増粘剤としては、ベントナイト、微紛シリカを含む公知慣用の増粘剤を、
シランカップリング剤としては、γ−クロロプロピルメトキシシラン等のハロゲン含有シランカップリング剤、ビニルエトキシシラン、ビニルメトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリクロロシラン等のビニル基含有シランカップリング剤、(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の(メタ)アクリロイルイ含有シランカップリング剤、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のグリシジル基含有シランカップリング剤、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト含有シランカプリング剤、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノ基含有シランカップリング剤を挙げることができる。
In addition, as colorants, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black,
As the thickener, a known and commonly used thickener containing bentonite and fine silica,
Examples of the silane coupling agent include halogen-containing silane coupling agents such as γ-chloropropylmethoxysilane, vinyl ethoxysilane, vinylmethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrichlorosilane, and other vinyl. Group-containing silane coupling agent, (meth) acryloyl-containing silane coupling agent such as (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, β -Glycidyl group-containing silane coupling agents such as (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, mercapto-containing silane coupling agents such as γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxy Examples include amino group-containing silane coupling agents such as silane and N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane.

上記添加剤のなかでも特に消泡剤及び/又はレベリング剤を配合することにより、表面平滑性の劣化を防止し、ボイドやピンホールによる層間絶縁性の劣化も防止することができる、シランカップリング剤を配合することにより基体表面との密着性を向上させることができる。   Silane coupling that can prevent deterioration of surface smoothness and interlayer insulation due to voids and pinholes, especially by adding an antifoaming agent and / or leveling agent among the above additives. By blending the agent, the adhesion to the substrate surface can be improved.

本発明のレジスト組成物の25℃における粘度は、1から1500dPa・sの範囲、特に10から1000dPa・sの範囲にあると好ましい。エッチングレジスト組成物の粘度が1dPa・s以上であると、レジスト組成物が加熱乾燥により、エッチングレジストとして基板を良好に保護可能な膜厚で塗膜になる。一方、エッチングレジスト組成物の粘度が1500dPa・s以下であると、組成物が扱いやすく、スクリーン印刷等による印刷に好適であり、エッチング後のレジスト剥離処理も簡単かつ経済的に行われる。   The viscosity at 25 ° C. of the resist composition of the present invention is preferably in the range of 1 to 1500 dPa · s, particularly in the range of 10 to 1000 dPa · s. When the viscosity of the etching resist composition is 1 dPa · s or more, the resist composition becomes a coating film with a film thickness capable of satisfactorily protecting the substrate as an etching resist by heat drying. On the other hand, when the viscosity of the etching resist composition is 1500 dPa · s or less, the composition is easy to handle and suitable for printing by screen printing or the like, and the resist stripping treatment after etching is performed easily and economically.

なお、本発明のエッチングレジスト組成物は、主に熱乾燥型に好適に用いられるが、必要に応じ熱硬化性材料、例えばエポキシ化合物、硬化剤等を含んでいてもよい。   In addition, although the etching resist composition of this invention is mainly used suitably for a heat-drying type | mold, it may contain a thermosetting material, for example, an epoxy compound, a hardening | curing agent, etc. as needed.

また、本発明のエッチングレジスト組成物を用いた基板の製造方法においては、上述のエッチングレジスト組成物を均一な溶液又は分散液として調整後、ガラス基板等の基板に対してスクリーン印刷等により、5〜100μm、好ましくは30〜90μm、より好ましくは45〜85μmの膜厚で、所望のパターン状に印刷する。更に、パターン状のエッチングレジスト組成物は、例えば、50〜200℃、好ましくは80〜150℃における5〜90分、好ましくは20〜60分の乾燥炉等における加熱により有機溶剤を蒸発させて乾燥させ、乾燥塗膜を形成することができる。乾燥塗膜の膜厚は、エッチング液の性状に応じて、3〜70μm、特に30〜60μmの範囲が好ましい。この範囲の膜厚を有するエッチングレジストは、エッチング液に対して十分な耐性を有するため、エッチング処理における基板の保護の観点から有効である。ただし、本発明のレジスト組成物は、乾燥温度および乾燥時間の要求を満たせば、70μmを超過する膜厚としてもよい。上記膜厚は、一般的な印刷条件により得られるものである。   Moreover, in the manufacturing method of the board | substrate using the etching resist composition of this invention, after adjusting the above-mentioned etching resist composition as a uniform solution or dispersion liquid, it is 5 by screen printing etc. with respect to board | substrates, such as a glass substrate. The film is printed in a desired pattern with a film thickness of ˜100 μm, preferably 30 to 90 μm, more preferably 45 to 85 μm. Further, the patterned etching resist composition is dried by evaporating the organic solvent by heating in a drying furnace or the like, for example, at 50 to 200 ° C., preferably 80 to 150 ° C. for 5 to 90 minutes, preferably 20 to 60 minutes. And a dry coating film can be formed. The film thickness of the dried coating film is preferably in the range of 3 to 70 μm, particularly 30 to 60 μm, depending on the properties of the etching solution. An etching resist having a film thickness in this range is effective from the viewpoint of protecting the substrate in the etching process because it has sufficient resistance to the etching solution. However, the resist composition of the present invention may have a film thickness exceeding 70 μm as long as the drying temperature and the drying time are satisfied. The film thickness is obtained by general printing conditions.

ここで本発明のレジスト組成物は、スクリーン印刷法の他、グラビア法、グラビアオフセット法などの印刷方法においても適用可能である。また、レジスト組成物は複数回に分けて塗布することもできる。その際の塗布方式としては、従来より知られる2コート1ベークなどのウエットオンウエット印刷や、2コート2ベークなどのドライオンウエット印刷が可能である。   Here, the resist composition of the present invention can be applied not only to a screen printing method but also to a printing method such as a gravure method or a gravure offset method. The resist composition can also be applied in a plurality of times. As a coating method at that time, conventionally known wet-on-wet printing such as 2-coat 1-bake or dry-on-wet printing such as 2-coat 2-bake is possible.

その後、所望のパターンで乾燥したレジストで被覆された基板は、エッチング液によりエッチング処理に付される。エッチング処理により、レジストに被覆されていない基板部分がエッチングされる。これにより所定パターンのガラス成型品を得ることができる。   Thereafter, the substrate coated with the resist dried in a desired pattern is subjected to an etching process with an etching solution. By the etching process, the portion of the substrate not covered with the resist is etched. Thereby, a glass molded product having a predetermined pattern can be obtained.

エッチング液としては、フッ化水素酸単独若しくはフッ化水素酸を含むエッチング液(例えば、フッ化水素酸と、鉱酸(硝酸、リン酸等)との混合物、場合により酢酸等の弱酸のいずれか1種以上を含む)が挙げられる。   As the etchant, either hydrofluoric acid alone or an etchant containing hydrofluoric acid (for example, a mixture of hydrofluoric acid and mineral acid (nitric acid, phosphoric acid, etc.), or a weak acid such as acetic acid in some cases 1 type or more).

本発明のレジスト組成物から得られるレジストは、上述の熱乾燥後にはエッチング液に対して優れた耐性を有することから、エッチング処理中に基板からの剥離が生じずに、基板を高精度でエッチング処理することができる。   Since the resist obtained from the resist composition of the present invention has excellent resistance to the etching solution after the above-mentioned heat drying, the substrate is etched with high accuracy without peeling from the substrate during the etching process. Can be processed.

本発明のエッチングレジスト組成物は加熱による熱乾燥を行えば、光硬化ないし熱硬化を行わなくとも、基板に良好に密着したレジストを構成し、基板をエッチング液から良好に保護する。更には高精度のエッチングを可能とし、エッチング完了後にはケトン類、エステル類、芳香族炭化水素類、石油系溶剤類等の溶剤を用いて短時間で容易に除去可能である。エッチングレジスト除去用には、特に、溶解性の観点と経済性の観点より石油系溶剤を用いることが好ましい。   If the etching resist composition of the present invention is thermally dried by heating, it forms a resist that adheres well to the substrate without photocuring or thermosetting, and protects the substrate from the etching solution. Furthermore, highly accurate etching is possible, and after completion of etching, it can be easily removed in a short time using a solvent such as ketones, esters, aromatic hydrocarbons or petroleum solvents. For removing the etching resist, it is particularly preferable to use a petroleum solvent from the viewpoints of solubility and economy.

なお、本発明のエッチングレジスト組成物は、フッ化水素酸系エッチング液だけではなく、強酸系、弱酸系、強アルカリ系、弱アルカリ系、腐食性物質系の各種エッチング液によるエッチングにおいても非常に優れた耐性と基板に対する優れた密着性を有する。   The etching resist composition of the present invention is very useful not only in etching with hydrofluoric acid etching solution but also in etching with various etching solutions of strong acid, weak acid, strong alkali, weak alkali, and corrosive substances. Excellent resistance and excellent adhesion to the substrate.

以下、実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、以下において特に断りのない限り、「部」は質量部を意味するものとする。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not limited only to these Examples. In the following description, “part” means part by mass unless otherwise specified.

[実施例1〜11及び比較例1〜4]
I.エッチングレジスト組成物の作製
表1に示す成分をそれぞれ記載した割合(単位:部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで分散および混練して、実施例1から11(本発明の組成物)、および比較例1から4(比較組成物)の各エッチングレジスト組成物を得た。
[Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 4]
I. Preparation of Etching Resist Composition Ingredients shown in Table 1 were blended in the stated ratios (unit: part), premixed with a stirrer, dispersed and kneaded with a three-roll mill, and Examples 1 to 11 ( The etching resist compositions of the composition of the present invention and Comparative Examples 1 to 4 (Comparative composition) were obtained.

II.エッチングレジストの製造
[製造条件1]
80メッシュのポリエステル版に所定の感光性乳剤を膜厚80μmで付すことにより作製されたスクリーン印刷版を用いて、厚さ1.8mmソーダライムガラス板(基体)に、下記のとおりエッチングレジストを印刷した。
II. Etching resist production [Production conditions 1]
Etching resist is printed on a 1.8mm thick soda lime glass plate (substrate) as follows using a screen printing plate prepared by applying a predetermined photosensitive emulsion to an 80 mesh polyester plate at a film thickness of 80μm. did.

上記のソーダライムガラスをあらかじめアルコールで洗浄し、表面を乾燥させ、次いで、実施例1から11、および比較例1から4の各レジスト組成物を、上記のスクリーン印刷版により、一辺が20mm、パターン幅が5mmの正方形として印刷した。   The soda lime glass is washed with alcohol in advance, and the surface is dried. Then, each of the resist compositions of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 4 is formed into a pattern having a side of 20 mm by the above screen printing plate. Printed as a 5 mm wide square.

印刷されたレジスト組成物を、熱風循環式乾燥機(ヤマト科学社製DF−610)により、乾燥温度120℃にて30分加熱して、溶剤を蒸発、乾燥させて膜厚50μmのエッチングレジスト(製造条件1の試験片)を得た。   The printed resist composition is heated for 30 minutes at a drying temperature of 120 ° C. with a hot air circulation dryer (DF-610, manufactured by Yamato Kagaku Co., Ltd.) to evaporate and dry the solvent. A test piece of production condition 1) was obtained.

[製造条件2]
製造条件1と同様の条件で印刷、乾燥したエッチングレジスト上に、製造条件1に基づく同様の印刷、乾燥を再度行なった。得られたエッチングレジスト(製造条件2の試験片)の乾燥膜厚は80μmであった。
[Production conditions 2]
The same printing and drying based on the manufacturing condition 1 were performed again on the etching resist printed and dried on the same condition as the manufacturing condition 1. The dry thickness of the obtained etching resist (test piece of production condition 2) was 80 μm.

III.エッチング耐性試験
製造条件1の試験片(膜厚50μm)および製造条件2の試験片(膜厚80μm)を以下のエッチング条件1〜6による浸漬処理に付した。
III. Etch resistance test The test piece (film thickness 50 μm) of production condition 1 and the test piece of production condition 2 (film thickness 80 μm) were subjected to an immersion treatment under the following etching conditions 1 to 6.

エッチング条件
条件1:10%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間60分
条件2:10%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間90分
条件3:10%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間120分
条件4:15%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間60分
条件5:15%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間90分
条件6:15%フッ化水素酸、液温30℃、浸漬時間120分
Etching conditions
Condition 1: 10% hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C., immersion time 60 minutes Condition 2: 10% hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C., immersion time 90 minutes Condition 3: 10% hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C., immersion time 120 minutes Condition 4: 15% hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C., immersion time 60 minutes Condition 5: 15% hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C., immersion time 90 minutes Condition 6: 15% Hydrofluoric acid, liquid temperature 30 ° C, immersion time 120 minutes

浸漬時間経過後に、試験片をエッチング液から取り出し、水洗、乾燥後、目視にて評価した。   After the immersion time, the test piece was taken out from the etching solution, washed with water, dried, and visually evaluated.

評価基準は以下のとおりである。   The evaluation criteria are as follows.

〇:外観異常なし(全く剥がれが無い)
△:少なくとも部分的に塗膜へのエッチング液の染み込みが見られる
×:脱膜
○: No appearance abnormality (no peeling at all)
Δ: At least part of the etching solution permeates into the coating film ×: Defilming

評価結果を表1に示す。   The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2019172971
Figure 2019172971

表中の材料の詳細は以下のとおりである。   The details of the materials in the table are as follows.

KB−2:アスファルトピッチ、九重電機株式会社製(ブローンアスファルト系:針入度6〜10、軟化点110℃)
スーパークロンHP−215:塩素化ポリプロピレン、日本製紙株式会社製(重量平均分子量約80000、塩素化率68%、軟化点200℃)
スーパークロン814HS:塩素化ポリプロピレン、日本製紙株式会社製(重量平均分子量約40000、塩素化率41%、軟化点80℃)
YURON CR−20 塩素化ゴム(FENGHUA YURON CHEMICAL INDUSTRY製)(塩素化率68%、軟化点200℃)
ALPEX(登録商標)CK−450:環化ゴム(重量平均分子量約23000、軟化点約130℃)
イプゾール150:芳香族炭化水素(炭素数10)混合溶剤、出光興産株式会社製
KS66:ジメチルポリシロキサン、信越化学工業株式会社製
MA−100:カーボンブラック、三菱化学株式会社製、
オルベンM:ベントナイト、白石工業株式会社製
KBM−403:シランカップリング剤、信越化学工業株式会社製
沈降性硫酸バリウム110:硫酸バリウム、堺化学工業株式会社製
KB-2: Asphalt pitch, manufactured by Kuju Electric Co., Ltd. (blown asphalt type: penetration 6-10, softening point 110 ° C.)
Super Clone HP-215: Chlorinated polypropylene, manufactured by Nippon Paper Industries Co., Ltd. (weight average molecular weight about 80,000, chlorination rate 68%, softening point 200 ° C.)
Super Clone 814HS: Chlorinated polypropylene, manufactured by Nippon Paper Industries Co., Ltd. (weight average molecular weight approximately 40,000, chlorination rate 41%, softening point 80 ° C.)
YURON CR-20 Chlorinated rubber (FENGHUA YURON CHEMICAL INDUSTRY) (chlorination rate 68%, softening point 200 ° C)
ALPEX (registered trademark) CK-450: cyclized rubber (weight average molecular weight of about 23,000, softening point of about 130 ° C.)
IPZOL 150: aromatic hydrocarbon (carbon number 10) mixed solvent, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd. KS66: dimethylpolysiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. MA-100: carbon black, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation,
Orben M: bentonite, manufactured by Shiraishi Kogyo Co., Ltd. KBM-403: silane coupling agent, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., precipitated barium sulfate 110: barium sulfate, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.

実施例の結果より、本発明のエッチングレジストレジスト組成物は、(A1)アスファルト(A2)塩素化ポリプロピレン、および(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも1種と、(B)環化ゴムと、(C)有機溶剤とを組み合わせて使用することにより、フッ化水素酸によるエッチング液において60分を上回る長時間のエッチングにも優れた耐性を示し、基板に比較的深い開口または貫通孔を形成するようなエッチング加工に好適に用いられることがわかる。   From the results of the examples, the etching resist resist composition of the present invention comprises (A1) at least one of asphalt (A2) chlorinated polypropylene and (A3) chlorinated rubber, (B) cyclized rubber, (C) By using in combination with an organic solvent, it exhibits excellent resistance to etching for a long time exceeding 60 minutes in an etching solution with hydrofluoric acid, and forms a relatively deep opening or through hole in the substrate. It turns out that it is used suitably for such an etching process.

本発明は上記の実施の形態の構成及び実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々変形が可能である。   The present invention is not limited to the configurations and examples of the above-described embodiment, and various modifications are possible within the scope of the gist of the invention.

例えば、上記実施例では、主にガラス基板のエッチングについて記載したが、本発明のレジスト組成物は、金属基板や合成ゴム等を含むプラスチック基板のエッチング等にも使用することができる。   For example, in the above-described embodiments, etching of a glass substrate has been mainly described. However, the resist composition of the present invention can also be used for etching of a plastic substrate including a metal substrate and synthetic rubber.

以上説明したように、本発明のエッチングレジスト組成物は、ガラスエッチング耐性、保存安定性及びレジスト除去性に優れ、タッチパネル、光学材料、および計測器等のガラス躯体(基板)のエッチングに適用される。   As described above, the etching resist composition of the present invention is excellent in glass etching resistance, storage stability, and resist removability, and is applied to etching of glass casings (substrates) such as touch panels, optical materials, and measuring instruments. .

本発明のレジスト組成物及びこれを用いた製造法によると、スクリーン印刷によるガラス基板への塗布により、複雑な処理工程を得ずに、回路・配線図の描画、貫通孔、凹穴等の形成が行われるため、操作及び経済性の両面で効果的である。   According to the resist composition of the present invention and a production method using the same, by applying to a glass substrate by screen printing, drawing a circuit / wiring diagram, forming a through hole, a concave hole, etc. without obtaining complicated processing steps Therefore, it is effective in terms of both operation and economy.

また、本発明のレジスト組成物の基材への高い密着性により、基材上に描画された所望のレジストパターン通りの高精度のエッチングが行われるため、携帯電話等、意匠性を重視した製品への適用にも有用である。   In addition, because of the high adhesion to the base material of the resist composition of the present invention, highly accurate etching is performed according to the desired resist pattern drawn on the base material. It is also useful for application.

Claims (4)

(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種と、
(B)環化ゴムと、
(C)有機溶剤と、
を含むことを特徴とするエッチングレジスト組成物。
At least one of (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene and (A3) chlorinated rubber;
(B) a cyclized rubber;
(C) an organic solvent;
An etching resist composition comprising:
前記(B)環化ゴムを、前記(A1)アスファルト、(A2)塩素化ポリプロピレンおよび(A3)塩素化ゴムのいずれか少なくとも一種の合計使用量100質量部に対して15から50質量部含む、請求項1に記載のエッチグレジスト組成物。   The (B) cyclized rubber contains 15 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of at least one of the (A1) asphalt, (A2) chlorinated polypropylene, and (A3) chlorinated rubber, The etch resist composition according to claim 1. さらに、(D)無機フィラーを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のエッチングレジスト組成物。   Furthermore, (D) an inorganic filler is included, The etching resist composition of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. ガラスのエッチングに用いられることを特徴とする請求項1乃至3に記載のエッチングレジスト組成物。   The etching resist composition according to claim 1, wherein the etching resist composition is used for etching glass.
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