JP2004260143A - Resist composition for printing ink, method for forming resist film, and method for manufacturing substrate using method - Google Patents

Resist composition for printing ink, method for forming resist film, and method for manufacturing substrate using method Download PDF

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浩司 竹添
Akito Ichikawa
昭人 市川
Koichi Tamura
孝一 田村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resist composition for printing ink, a method for forming a resist film, and a method for manufacturing a substrate, wherein the process is simplified, the process control is facilitated, and delicate patterns can be formed. <P>SOLUTION: A resist composition for printing ink comprises a phenolic resin as the principal resin component, and furthermore, contains a thickening agent. As the resist composition for printing ink comprising the phenolic resin as the principal resin, a composition which has been conventionally used can be used especially without restriction. More specifically, e.g., the composition (resist composition based on organic solvent), obtained by dissolving or dispersing the phenolic resin in an organic solvent, can be used. For example, a novolak resin and/or a polyvinylphenol resin are preferably used as the phenolic resin. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、新規な印刷インキ用レジスト組成物、そのレジスト膜形成方法、及びそれを用いた基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a novel resist composition for printing ink, a method for forming a resist film thereof, and a method for producing a substrate using the same.

近年、印刷インキは、各分野において幅広く使用されている。そして、印刷インキの中でも、印刷インキ用レジスト組成物は、フレキソ技術における特殊機能を持つインキレジスト材料の一つとして開発されている。   In recent years, printing inks have been widely used in various fields. Among the printing inks, a resist composition for a printing ink has been developed as one of ink resist materials having a special function in flexo technology.

この様な印刷インキ用レジスト組成物は、例えば、銅張り積層基板などの金属基板表面に活性エネルギー線により硬化するネガ型感エネルギー線性レジスト組成物を塗布し、次いで所望の印刷パターンが得られるように印刷マスクを用いて又は直接活性エネルギー線を照射し、現像処理により未硬化膜の除去を行い、露出した金属層部分をエッチング液により除去することにより所望のパターンを形成する、即ちネガ型によるパターン形成方法が公知である(特許文献1参照)。   Such a printing ink resist composition is prepared by, for example, applying a negative-type energy-sensitive radiation-sensitive resist composition which is cured by an active energy ray to a metal substrate surface such as a copper-clad laminate substrate, and then obtaining a desired printing pattern. Using a print mask or directly irradiating active energy rays, remove the uncured film by a development process, and remove the exposed metal layer portion with an etchant to form a desired pattern, that is, a negative type A pattern forming method is known (see Patent Document 1).

また、近年、上記した以外にも、活性エネルギー線により分解するポジ型感エネルギー線性レジスト組成物を塗布し、次いで活性エネルギー線を照射し、照射部の膜を現像液で除去し、露出した金属層部分をエッチング液により除去することにより所望のパターンを形成する、即ちポジ型によるパターン形成方法が公知である(特許文献2参照)。   In recent years, in addition to the above, in addition to the above, a positive-type energy-sensitive radiation-sensitive resist composition that decomposes by active energy rays is applied, and then irradiated with active energy rays, and the irradiated portion is removed with a developer to remove exposed metal. There is known a method of forming a desired pattern by removing a layer portion with an etchant, that is, a pattern forming method using a positive type (see Patent Document 2).

しかしながら、上記したネガ型及びポジ型の活性エネルギー線性のパターン形成方法においては活性エネルギー線を照射するための設備や付帯設備が必要であること、活性エネルギー線照射による工程が増えること、工程管理が面倒であるといった問題点がある。   However, in the above-mentioned negative and positive type active energy ray pattern forming methods, facilities and ancillary facilities for irradiating active energy rays are required, the number of steps by active energy ray irradiation increases, and process management is increased. There is a problem that it is troublesome.

また、従来から一般的な印刷インキとして、例えば、ロジン変性フェノール樹脂、ロジンエステル樹脂、マレイン酸樹脂、石油系樹脂、アルキッド樹脂などを樹脂ワニスとして使用したものが知られている。しかしながら、これら印刷インキはオフセット印刷などで使用されているインキであり、この様な印刷インキをレジスト組成物として使用しても、エッチングにより印刷膜が全面剥離したり、また一部剥離したりするので、繊細なパターンが形成されない。
特開2000−63451号公報 特開2001−22067号公報
Conventionally, as a general printing ink, one using a rosin-modified phenol resin, a rosin ester resin, a maleic acid resin, a petroleum resin, an alkyd resin, or the like as a resin varnish is known. However, these printing inks are inks used in offset printing and the like, and even when such a printing ink is used as a resist composition, the printed film is completely peeled off or partially peeled off by etching. Therefore, a delicate pattern is not formed.
JP-A-2000-63451 JP 2001-22067 A

本発明の目的は、工程が簡単であり、その工程管理も容易であり、そして繊細なパターンが形成できる印刷インキ用レジスト組成物、レジスト膜形成方法及びそれを用いた基板の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a resist composition for printing ink, a method for forming a resist film, and a method for manufacturing a substrate using the same, which are simple in process, easy in process control, and capable of forming a delicate pattern. It is in.

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フェノール樹脂を主要樹脂成分としてなる印刷インキ用レジスト組成物にさらに増粘剤を含有させると、従来からの問題点を全て解消できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, when a thickener is further added to a resist composition for printing ink containing a phenolic resin as a main resin component, a conventional problem is solved. They have found that all can be solved, and have completed the present invention.

すなわち本発明は、フェノール樹脂を主要樹脂成分とし、さらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物である。   That is, the present invention is a resist composition for printing ink, which comprises a phenol resin as a main resin component and further contains a thickener.

さらに本発明は、表面に金属層を有する基板の表面に、フェノール樹脂を主要樹脂成分としさらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程を有するレジスト膜形成方法である。   Furthermore, the present invention provides screen printing on a surface of a substrate having a metal layer on a surface thereof, using a resist composition for a printing ink containing a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener, to obtain a resist having a desired pattern. This is a method for forming a resist film having a step of forming a film.

さらに本発明は、(1)表面に金属層を有する基板の表面に、フェノール樹脂を主要樹脂成分としさらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程、
(2)前記レジスト膜が形成されていない部分の金属層をエッチング液により現像して除去を行う工程、及び、
(3)前記工程(2)の後に、レジスト膜を除去する工程
を有する金属層パターンを有する基板の製造方法である。
The present invention further provides (1) screen printing on a surface of a substrate having a metal layer on the surface using a resist composition for a printing ink containing a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener. Forming a resist film of a pattern,
(2) a step of developing and removing the metal layer in a portion where the resist film is not formed by using an etchant;
(3) A method of manufacturing a substrate having a metal layer pattern, comprising a step of removing a resist film after the step (2).

まず、本発明のレジスト組成物について、以下に述べる。   First, the resist composition of the present invention will be described below.

本発明のレジスト組成物は、フェノール樹脂を主要樹脂成分とし、さらに増粘剤を含有してなることを特徴とする。   The resist composition of the present invention is characterized by comprising a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener.

フェノール樹脂を主要樹脂成分とする印刷インキ用レジスト組成物としては、従来から印刷インキとして使用されているものを特に制限なしに使用することができる。具体的には、例えば、フェノール樹脂を有機溶剤に溶解もしくは分散した組成物(有機溶媒系レジスト組成物)を使用することができる。   As the resist composition for a printing ink containing a phenol resin as a main resin component, those conventionally used as a printing ink can be used without any particular limitation. Specifically, for example, a composition in which a phenol resin is dissolved or dispersed in an organic solvent (organic solvent-based resist composition) can be used.

フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール樹脂を使用することが好ましい。   As the phenol resin, for example, a novolak resin or a polyvinyl phenol resin is preferably used.

ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール、m−クレゾール、o−クレゾール、p−クレゾール、2,5−キシレノール、3,5−キシレノール、レゾルシン、ピロガロール、ビスフェノール、ビスフェノール−A、トリスフェノール、o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール、プロピルフェノール、n−ブチルフェノール、t−ブチルフェノール、1−ナフトール、2−ナフトール等の芳香族炭化水素類の少なくとも1種を、酸性触媒下、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、フルフラール等のアルデヒド類、及び、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類から選ばれた少なくとも1種のアルデヒド類又はケトン類と重縮合させたものが挙げられる。ホルムアルデヒド及びアセトアルデヒドの代わりに、それぞれパラホルムアルデヒド及びパラアルデヒドを使用してもよい。   Novolak resins include, for example, phenol, m-cresol, o-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol, resorcinol, pyrogallol, bisphenol, bisphenol-A, trisphenol, o-ethylphenol , M-ethyl phenol, p-ethyl phenol, propyl phenol, n-butyl phenol, t-butyl phenol, 1-naphthol, at least one of aromatic hydrocarbons such as 2-naphthol, under acidic catalyst, formaldehyde, acetaldehyde, Polycondensation with aldehydes such as propionaldehyde, benzaldehyde and furfural and at least one aldehyde or ketone selected from ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone What it was, and the like. Instead of formaldehyde and acetaldehyde, paraformaldehyde and paraaldehyde, respectively, may be used.

ノボラック樹脂のゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(以下、「GPC」と略す)測定によるポリスチレン検算重量平均分子量(以下、GPC測定による重量平均分子量を「Mw」と略す)は、好ましくは300〜300,000、特に好ましくは500〜200,000である。これら各範囲の下限値は耐エッチング性の点で意義があり、上限値はッチング後のレジスト膜のアルカリ剥離液に対する溶解性の点で意義がある。   The polystyrene estimated weight average molecular weight by gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as “GPC”) measurement of the novolak resin (hereinafter, the weight average molecular weight by GPC measurement is abbreviated as “Mw”) is preferably 300 to 300,000. And particularly preferably from 500 to 200,000. The lower limit of each of these ranges is significant in terms of etching resistance, and the upper limit is significant in terms of the solubility of the resist film after etching in an alkali stripper.

ノボラック樹脂の芳香族炭化水素類としては、上述したものの中でも、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,5−キシレノール、3,5−キシレノール、レゾルシンがより好ましい。また、これらのうちの少なくとも1種のフェノール類を、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドなどのアルデヒド類の中から選ばれる少なくとも1種と重縮合したノボラック樹脂を用いることが好ましい。アルデヒド類の中では、特にホルムアルデヒドが好ましい。   As the aromatic hydrocarbons of the novolak resin, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol, and resorcin are more preferable among those described above. It is preferable to use a novolak resin obtained by polycondensing at least one of these phenols with at least one selected from aldehydes such as formaldehyde, acetaldehyde, and propionaldehyde. Among the aldehydes, formaldehyde is particularly preferred.

ポリビニルフェノール樹脂としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、2−(o−ヒドロキシフェニル)プロピレン、2−(m−ヒドロキシフェニル)プロピレン、2−(p−ヒドロキシフェニル)プロピレンなどのヒドロキシスチレン類の1種又は2種以上の重合体が挙げられる。ヒドロキシスチレン類は、芳香環に塩素、臭素、ヨウ素、フッ素等のハロゲンあるいはC1〜C4のアルキル置換基等の置換基を有していてもよい。従って、ポリビニルフェノール樹脂としては、芳香環にハロゲン又はC1〜C4のアルキル置換基を有していてもよい。ただし、未置換のポリビニルフェノール樹脂が好ましい。 Examples of the polyvinyl phenol resin include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, 2- (o-hydroxyphenyl) propylene, 2- (m-hydroxyphenyl) propylene, and 2- (p-hydroxyphenyl). ) One or more polymers of hydroxystyrenes such as propylene. Hydroxystyrenes are chlorine in the aromatic ring, bromine, iodine, may have a substituent such as an alkyl substituent of halogen or C 1 -C 4, such as fluorine. Accordingly, the polyvinyl phenol resin, may have an alkyl substituent of halogen or C 1 -C 4 the aromatic ring. However, an unsubstituted polyvinyl phenol resin is preferred.

ポリビニルフェノール樹脂は、通常、置換基を有していてもよいヒドロキシスチレン類の1種又は2種以上を、ラジカル重合開始剤又はカチオン重合開始剤の存在下で重合することにより得られる。このポリビニルフェノール樹脂は、一部水素添加を行なったものでもよい。また、t−ブトキシカルボニル基、ピラニル基、フラニル基などでポリビニルフェノール類の一部のOH基を保護した樹脂でもよい。   The polyvinyl phenol resin is usually obtained by polymerizing one or more hydroxystyrenes which may have a substituent in the presence of a radical polymerization initiator or a cationic polymerization initiator. This polyvinyl phenol resin may be partially hydrogenated. Further, a resin in which some OH groups of polyvinylphenols are protected by a t-butoxycarbonyl group, a pyranyl group, a furanyl group, or the like may be used.

ポリビニルフェノール樹脂のMwは、好ましくは1,000〜100,000、特に好ましくは1,500〜50,000である。これら各範囲の下限値は耐エッチング性の点で意義があり、上限値はッチング後のレジスト膜のアルカリ剥離液に対する溶解性の点で意義がある。   Mw of the polyvinyl phenol resin is preferably from 1,000 to 100,000, particularly preferably from 1,500 to 50,000. The lower limit of each of these ranges is significant in terms of etching resistance, and the upper limit is significant in terms of the solubility of the resist film after etching in an alkali stripper.

以上説明したノボラック樹脂及びポリビニルフェノール樹脂は、市販品として入手可能である。その商品名としては、例えば、MER-7966、MER-7969、MER-7971、MER7980(以上、明和化成株式会社製)、PR-HF-3、PR-50731(以上、住友ベークライト株式会社製)などが挙げられる。   The novolak resins and polyvinylphenol resins described above are available as commercial products. Examples of the product name include MER-7966, MER-7969, MER-7971, MER7980 (all manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), PR-HF-3, PR-50731 (all manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.), and the like. Is mentioned.

本発明において、フェノール樹脂を有機溶剤に溶解もしくは分散した組成物を使用する場合、その有機溶剤としては、フェノール樹脂を溶解もしくは分散できる溶剤であれば特に制限されず、従来から公知のものを使用できる。有機溶剤の具体例としては、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、キシレン、ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、トリクロロエチレン等の炭化水素系溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール系溶剤;ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル、エチルビニルエーテル、ジオキサン、プロピレンオキシド、テトラヒドロフラン、セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ジエチレングルコールモノエチルエーテル等のエーテル系溶剤;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、イソホロン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤;ピリジン、ホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド等のその他の溶剤;などが挙げられる。   In the present invention, when a composition in which a phenol resin is dissolved or dispersed in an organic solvent is used, the organic solvent is not particularly limited as long as the solvent can dissolve or disperse the phenol resin, and a conventionally known organic solvent is used. it can. Specific examples of the organic solvent include hydrocarbon solvents such as hexane, heptane, octane, toluene, xylene, dichloromethane, chloroform, carbon tetrachloride, and trichloroethylene; alcohol solvents such as methanol, ethanol, propanol and butanol; diethyl ether; Ether solvents such as dipropyl ether, dibutyl ether, ethyl vinyl ether, dioxane, propylene oxide, tetrahydrofuran, cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, diethylene glycol monoethyl ether; acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, isophorone, Ketone solvents such as cyclohexanone; ester solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, and butyl acetate; pyridine, form Bromide, N, other solvents such as N- dimethylformamide; and the like.

本発明においては、以上説明したフェノール樹脂を主要樹脂成分とする組成物に対して、さらに増粘剤を配合する。この増粘剤としては、具体的には、無機質微粒子又はワックスを用いることが好ましい。   In the present invention, a thickener is further added to the composition containing the phenol resin described above as a main resin component. Specifically, it is preferable to use inorganic fine particles or wax as the thickener.

無機質微粒子の平均粒子径は、3nm〜10μmが好ましく、5nm〜8μmがより好ましい。上記各範囲の下限値は、組成物の粘度を低く抑えて未塗装個所が出来ないようにし、印刷作業性を向上する点で意義がある。上記各範囲の上限値は、パターン表面及び側面の平滑性や直線性を良好にして、繊細なパターンを得る点で意義がある。   The average particle diameter of the inorganic fine particles is preferably from 3 nm to 10 μm, more preferably from 5 nm to 8 μm. The lower limit of each of the above ranges is significant in that the viscosity of the composition is kept low so that unpainted portions are not formed, and the printing workability is improved. The upper limit of each of the above ranges is significant in that the smoothness and linearity of the pattern surface and side surfaces are improved and a delicate pattern is obtained.

無機質微粒子の形状は、球状、鱗片状、板状、無定形の何れでもよいが、特に後に詳述する粘性を付与することが可能な鱗片状、球状のものが好ましい。   The shape of the inorganic fine particles may be any of a spherical shape, a scale shape, a plate shape, and an amorphous shape. In particular, a scale shape and a spherical shape capable of imparting viscosity, which will be described in detail later, are preferable.

無機質微粒子は、市販品として入手可能である。好ましい無機微粒子の商品名を以下に列挙する。球状微紛シリカとしては、サイロスフェアC−1504(平均粒子径4.5μm)(富士シリシア化学株式会社製)、球状酸化ケイ素としては、アドマファインSO−25R(平均粒子径800nm)((株)アドマテックス社製)、アエロジル200(平均粒子径12nm)、アエロジル380(平均粒子径7nm)、アエロジルR805(平均粒子径12nm)、アエロジルR812(平均粒子径7nm)(以上、日本アエロジル社製)、球状アクリル系微粒子としては、ガンツパールGM−0401S(平均粒径4μm)、球状PBMA系架橋微粒子ガンツパールGB−05S(平均粒径5μm)(以上、ガンツ化成株式会社製)、球状樹脂微粒子トレフィルE―500(平均粒径3μm)(東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社製)、硫酸バリウムBF−10P(平均粒子径60nm)、硫酸バリウムBF−20P(平均粒子径30nm)、硫酸バリウムBF−20F(平均粒子径30nm)(以上、堺化学工業株式会社製)、鱗片状ミクロマイカMK−100(平均粒子径3〜5μm)、有機処理雲母ソマシフME−100(平均粒子径5〜7μm)(以上、コープケミカル株式会社製)等が挙げられる。   The inorganic fine particles are commercially available. Preferred inorganic fine particles are listed below. Silosphere C-1504 (average particle diameter 4.5 μm) (manufactured by Fuji Silysia Chemical Ltd.) as spherical fine powder silica, and Admafine SO-25R (average particle diameter 800 nm) as spherical silicon oxide (Co., Ltd.) Aeromatil 200 (average particle diameter 12 nm), Aerosil 380 (average particle diameter 7 nm), Aerosil R805 (average particle diameter 12 nm), Aerosil R812 (average particle diameter 7 nm) (all manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.), Examples of the spherical acrylic fine particles include Ganz Pearl GM-0401S (average particle size: 4 μm), spherical PBMA-based crosslinked fine particles Ganz Pearl GB-05S (average particle size: 5 μm) (all manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd.), and spherical resin fine particle Trefill E -500 (average particle size 3 μm) (manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.) Barium sulfate BF-10P (average particle diameter 60 nm), barium sulfate BF-20P (average particle diameter 30 nm), barium sulfate BF-20F (average particle diameter 30 nm) (all manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), flaky micromica MK-100 (average particle diameter 3 to 5 μm), organically treated mica Somasif ME-100 (average particle diameter 5 to 7 μm) (all manufactured by Corp Chemical Co., Ltd.) and the like.

ワックスとしては、例えば、炭素数12〜44のアミド化合物、炭素数12〜44のビスアミド化合物などが好ましい。   As the wax, for example, an amide compound having 12 to 44 carbon atoms and a bisamide compound having 12 to 44 carbon atoms are preferable.

炭素数12〜44のアミド化合物としては、具体的には、例えば、ラウリン酸アミド、パルミチン酸アミド、ステアリン酸アミド、ベヘン酸アミド、ヒドロキシステアリン酸アミド、エルカ酸アミド、リシノール酸アミド、N−ステアリルステアリン酸アミド、N−オレイルオレイン酸アミド、N−ステアリン酸オレイン酸アミド、N−ステアリルエルカ酸アミド、N−オレイルパルミチン酸アミド、メチロールステアリン酸アミドなどが挙げられる。   Specific examples of the amide compound having 12 to 44 carbon atoms include, for example, lauric amide, palmitic amide, stearic amide, behenic amide, hydroxystearic amide, erucic amide, ricinoleic amide, N-stearyl Examples include stearic acid amide, N-oleyl oleic acid amide, N-stearic acid oleic acid amide, N-stearyl erucic acid amide, N-oleyl palmitic acid amide, methylol stearic acid amide, and the like.

炭素数12〜44のビスアミド化合物としては、具体的には、例えば、メチレンビスステアリン酸アミド、エチレンビスステアリン酸アミド、エチレンビスベヘン酸アミド、ヘキサメチレンビスステアリン酸アミド、ヘキサメチレンビスベヘン酸アミド、N,N'−ジステアリルアジピン酸アミド、N,N'−ジステアリルセバシン酸アミド、N,N'−メチレンビスオクタデカンアミド、エチレンビスオレイン酸アミド、ヘキサメチレンビスオレイン酸アミド、N,N'−ジオレイルアジピン酸アミド、N,N'−ジオレイルセバシン酸アミド、m−キシリレンビスステアリン酸アミド、N,N'−ジステアリルイソフタール酸アミドなどが挙げられる。   Specific examples of the bisamide compound having 12 to 44 carbon atoms include, for example, methylenebisstearic acid amide, ethylenebisstearic acid amide, ethylenebisbehenic acid amide, hexamethylenebisstearic acid amide, hexamethylenebisbehenic acid amide, N, N'-distearyl adipamide, N, N'-distearyl sebacamide, N, N'-methylenebisoctadecanamide, ethylenebisoleamide, hexamethylenebisoleamide, N, N'- Examples thereof include dioleyl adipamide, N, N'-dioleyl sebacamide, m-xylylene bisstearic acid amide, and N, N'-distearyl isophthalic acid amide.

そのようなワックスは、市販品として入手可能である。商品名としては、例えば、ディスパロン6840−10X(脂肪酸アマイドワックス)、ディスパロン6900−20X(脂肪酸アマイドワックス)、ディスパロンA650−20X(脂肪酸アマイドワックス)(以上、楠本化成株式会社製)などが挙げられる。   Such waxes are commercially available. Examples of trade names include Disparon 6840-10X (fatty acid amide wax), Disparon 6900-20X (fatty acid amide wax), Disparon A650-20X (fatty acid amide wax) (all manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.).

増粘剤の配合割合は、樹脂固形分100重量部に対して、10部〜500重量部が好ましく、20〜300重量部がより好ましい。上記各範囲の下限値は、所望の粘度や粘性を得ることにより印刷作業性を向上する点で意義がある。上記各範囲の上限値は、レジスト膜中の樹脂量を十分確保することにより、エッチング耐性を向上する点で意義がある。   The compounding ratio of the thickener is preferably from 10 to 500 parts by weight, more preferably from 20 to 300 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin solids. The lower limit of each of the above ranges is significant in improving printing workability by obtaining a desired viscosity or viscosity. The upper limit of each of the above ranges is significant in improving the etching resistance by ensuring a sufficient amount of resin in the resist film.

印刷インキ用レジスト組成物には、必要に応じて、従来から公知の添加剤を配合することができる。具体的には、染料、顔料、上記以外の充填剤、酸化防止剤、ハジキ防止剤、上記以外の樹脂、可塑剤、粘着剤等が挙げられる。   Conventionally known additives can be added to the resist composition for printing ink, if necessary. Specific examples include a dye, a pigment, a filler other than the above, an antioxidant, an anti-cissing agent, a resin, a plasticizer, and an adhesive other than the above.

印刷インキ用レジスト組成物の固形分は、20〜90重量%が好ましく、30〜70重量%がより好ましい。上記各範囲の下限値は、溶剤量を抑えてレジスト膜の染み出しを防止する点で意義がある。上記各範囲の上限値は、レジスト液の乾燥速度を適度に抑えて版が早く乾き過ぎるのを防止し、印刷作業性を向上する点で意義がある。   The solid content of the resist composition for printing ink is preferably from 20 to 90% by weight, more preferably from 30 to 70% by weight. The lower limit of each of the above ranges is significant in that the amount of solvent is suppressed to prevent exudation of the resist film. The upper limit of each of the above ranges is significant in that the drying speed of the resist solution is appropriately suppressed, the plate is prevented from drying too quickly, and the printing workability is improved.

印刷インキ用レジスト組成物の回転粘度計(6rpm、測定温度25℃)で測定した粘度は、1Pa・s〜300Pa・sが好ましく、2Pa・s〜200Pa・sがより好ましい。上記各範囲の下限値は、印刷されたレジストパターンの流動を抑制してパターン精度を向上する点で意義がある。上記各範囲の上限値は、レジスト液に流動性を与えて基板上に十分なレジスト液を塗布する点で意義がある。   The viscosity of the resist composition for printing ink measured with a rotational viscometer (6 rpm, measuring temperature 25 ° C.) is preferably 1 Pa · s to 300 Pa · s, more preferably 2 Pa · s to 200 Pa · s. The lower limit of each of the above ranges is significant in suppressing the flow of the printed resist pattern and improving the pattern accuracy. The upper limit of each of the above ranges is significant in that fluidity is imparted to the resist solution so that a sufficient resist solution is applied onto the substrate.

印刷インキ用レジスト組成物の粘性は1.0以上が好ましく、1.1〜10.0がより好ましい。上記各範囲の下限値は、印刷時のレジスト液粘度を適度に低くして基板上に十分なレジスト液を塗布する点で意義がある。   The viscosity of the resist composition for printing ink is preferably 1.0 or more, more preferably 1.1 to 10.0. The lower limit of each of the above ranges is significant in that the viscosity of the resist liquid during printing is appropriately reduced and a sufficient resist liquid is applied onto the substrate.

この粘性とは、具体的には、下記式(1)で定義される構造粘性指数Rである。   Specifically, the viscosity is a structural viscosity index R defined by the following equation (1).

R=Va/Vb ・・・・・・(1)
(ただし、式(1)中、Vaは、温度20℃において、MR300レオメーター(商品名、(株)レオロジ株式会社製)によって回転数6回/分にて測定した見掛け粘度(mPa・sec)であり、Vbは、同じく回転数60回/分にて測定した粘度(mPa・sec)である)。
R = Va / Vb (1)
(However, in the formula (1), Va is an apparent viscosity (mPa · sec) measured at a rotation speed of 6 times / minute by an MR300 rheometer (trade name, manufactured by Rheology Co., Ltd.) at a temperature of 20 ° C. And Vb is the viscosity (mPa · sec) similarly measured at a rotation speed of 60 times / minute).

本発明の印刷インキ用レジスト組成物は、活版、グラビア、スクリーンなど何れの印刷版の種類にも適用することができる。特に、スクリーン印刷で使用することが好ましい。   The resist composition for a printing ink of the present invention can be applied to any type of printing plate such as letterpress, gravure, and screen. In particular, it is preferably used in screen printing.

本発明のレジスト膜形成方法は、表面に金属層を有する基板の表面に、本発明の印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程を有することを特徴とする。   The method of forming a resist film of the present invention includes a step of performing screen printing on the surface of a substrate having a metal layer on the surface using the resist composition for a printing ink of the present invention to form a resist film having a desired pattern. Features.

表面に金属層を有する基板として、好ましくはフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂やこれらの樹脂がガラス繊維で強化された強化樹脂などの樹脂表面基板やガラス基板に、例えば、銅、金、銀、アルミニウム、クロムなどの導電性金属がラミネート、蒸着などにより被覆された積層基板が挙げられる。これら基板や金属膜は1層からなるものであっても複層からなるものであっても構わない。また、基板は貫通もしくは非貫通のスルーホールが設けてあっても構わない。   As a substrate having a metal layer on the surface, preferably a phenolic resin, an epoxy resin, a polyamide resin or a resin surface substrate such as a reinforced resin reinforced with glass fiber or a glass substrate, for example, copper, gold, silver, A laminated substrate coated with a conductive metal such as aluminum or chromium by lamination, vapor deposition, or the like is given. These substrates and metal films may be composed of a single layer or multiple layers. Further, the substrate may be provided with a through-hole or a non-through-hole.

印刷されるレジスト組成物の粘度、固形分、粘性などは先に述べた各条件を満たすことが好ましい。   It is preferable that the viscosity, solid content, viscosity and the like of the resist composition to be printed satisfy the above-described conditions.

スクリーン印刷を行った後、必要に応じて、印刷したレジスト組成物の乾燥を行う。乾燥条件は、例えば、使用される有機溶剤の種類に応じて適宜決定すればよいが、通常、20℃では1分〜30分である。また、80℃程度の温度で乾燥する場合には、10秒〜10分程度で良い。   After screen printing, the printed resist composition is dried as necessary. The drying conditions may be appropriately determined depending on, for example, the type of the organic solvent used, and are usually 1 minute to 30 minutes at 20 ° C. In the case of drying at a temperature of about 80 ° C., it may be about 10 seconds to 10 minutes.

本発明の金属層パターンを有する基板の製造方法は、以下の工程を有することを特徴とする。   The method for manufacturing a substrate having a metal layer pattern according to the present invention includes the following steps.

(1)表面に金属層を有する基板の表面に、フェノール樹脂を主要樹脂成分としさらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程、
(2)前記レジスト膜が形成されていない部分の金属層をエッチング液により現像して除去を行う工程、及び、
(3)前記工程(2)の後に、レジスト膜を除去する工程。
(1) Screen printing is performed on the surface of a substrate having a metal layer on the surface using a resist composition for a printing ink containing a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener to form a resist film having a desired pattern. Forming,
(2) a step of developing and removing the metal layer in a portion where the resist film is not formed by using an etchant;
(3) A step of removing the resist film after the step (2).

工程(1)については、先に述べた通りである。   Step (1) is as described above.

工程(2)において、エッチング液としては、例えば、塩化第二鉄、塩化第二銅、硝酸と酢酸と燐酸の混酸などの水溶液が挙げられる。エッチング方法としては、例えば、ディッピングやスプレーにより、40℃で5分程度行う方法が挙げら得る。   In the step (2), examples of the etchant include an aqueous solution of ferric chloride, cupric chloride, and a mixed acid of nitric acid, acetic acid, and phosphoric acid. Examples of the etching method include a method of performing the etching at 40 ° C. for about 5 minutes by dipping or spraying.

工程(3)において、レジスト膜の除去の為には、例えば、フェノール樹脂を溶解もしくは分散する溶媒を使用することができる。   In the step (3), for removing the resist film, for example, a solvent that dissolves or disperses the phenol resin can be used.

本発明においては、次の様な顕著な効果が得られる。   In the present invention, the following remarkable effects can be obtained.

(a)レジスト用樹脂成分として使用するフェノール樹脂は、有機溶剤に対して溶解性が優れるので、印刷用レジスト組成物に適した粘度や粘性が得られる。   (A) The phenol resin used as the resist resin component has excellent solubility in an organic solvent, so that a viscosity or viscosity suitable for a printing resist composition can be obtained.

(b)有機溶剤が揮発した後のフェノール樹脂膜は、エッチング液に対する耐薬品性に優れるので繊細なパターンが形成できる。   (B) Since the phenol resin film after the organic solvent is volatilized is excellent in chemical resistance to an etching solution, a delicate pattern can be formed.

(c)フェノール樹脂と増粘剤とを組合せることにより、印刷用レジスト組成物に適した粘度や粘性が得られる。   (C) By combining a phenolic resin and a thickener, a viscosity and viscosity suitable for a printing resist composition can be obtained.

(d)無機質微粒子、ワックス等の増粘剤は、エッチング液に対する耐薬品性に優れるので繊細なパターンが形成できる。   (D) Thickeners such as inorganic fine particles and wax are excellent in chemical resistance to an etching solution, so that a delicate pattern can be formed.

以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。実施例および比較例において、「部」および「%」はそれぞれ「重量部」および「重量%」を示す。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In Examples and Comparative Examples, “parts” and “%” indicate “parts by weight” and “% by weight”, respectively.

<実施例1〜4及び比較例1に使用するフェノール樹脂の製造>
攪拌機、温度計、熱交換機のついた5Lの四つ口フラスコに、m−クレゾール750部、p−クレゾール500部(P1=1250部)、37%のホルマリン(A)938.4部(モル比A/P1=1.0)、及び、トリエチルアミン62.5部を仕込み、pH8.5、反応温度68〜72℃で4時間反応(一次反応)を行った。一次反応終了時の3核体以上の成分は55%であった。その後、10%の蓚酸水350部を添加して中和(pH=5.2)を行ない、m−クレゾール175部、p−クレゾール1237.5部(P2=1412.5部;モル比A/(P1+P2)=0.47、P1/P2=0.88)、蓚酸38.5部を添加して、pH2.0、反応温度98〜102℃で4時間反応(二次反応)させた。二次反応終了後、70℃まで冷却してアセトン125部、イオン交換水1250部を添加して、約70℃で攪拌・静置した。分離水を除去した後、アセトン125部、イオン交換水1250部を使用して、再度水洗操作を行った。その後、常圧下で内温160℃まで脱水し、さらに60torrの減圧下で195℃まで脱水・脱モノマ−を行い、フェノ−ル樹脂1300部を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は11,000であった。
<Production of phenol resin used in Examples 1 to 4 and Comparative Example 1>
In a 5 L four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer and a heat exchanger, 750 parts of m-cresol, 500 parts of p-cresol (P1 = 1250 parts), 938.4 parts of 37% formalin (A) (molar ratio) (A / P1 = 1.0) and 62.5 parts of triethylamine were charged and reacted at pH 8.5 at a reaction temperature of 68 to 72 ° C. for 4 hours (primary reaction). At the end of the primary reaction, the content of three or more nuclei was 55%. Thereafter, 350 parts of 10% aqueous oxalic acid was added for neutralization (pH = 5.2), and 175 parts of m-cresol and 1237.5 parts of p-cresol (P2 = 1412.5 parts; molar ratio A / (P1 + P2) = 0.47, P1 / P2 = 0.88) and 38.5 parts of oxalic acid were added, and the mixture was reacted (secondary reaction) at pH 2.0 and a reaction temperature of 98 to 102 ° C. for 4 hours. After the completion of the secondary reaction, the mixture was cooled to 70 ° C., 125 parts of acetone and 1250 parts of ion-exchanged water were added, and the mixture was stirred and left at about 70 ° C. After removing the separated water, a water washing operation was performed again using 125 parts of acetone and 1250 parts of ion-exchanged water. Thereafter, the mixture was dehydrated under normal pressure to an internal temperature of 160 ° C., and further dehydrated and demonomerized to 195 ° C. under a reduced pressure of 60 torr to obtain 1300 parts of a phenol resin. The weight average molecular weight of the obtained resin was 11,000.

<比較例2に使用するアクリル樹脂の製造>
メチルメタクリレート40部、ブチルアクリレート40部、スチレン15部、アクリル酸5部及びアゾビスイソブチロニトリル2部からなる混合物を、窒素ガス雰囲気下において、110℃に保持したプロピレングリコールモノメチルエーテル90部中に3時間を要して滴下した。滴下後、1時間熟成させ、アゾビスジメチルバレロニトリル1部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル10部からなる混合液を1時間要して滴下し、さらに5時間熟成させてアクリル樹脂溶液を得た。
<Production of acrylic resin used in Comparative Example 2>
A mixture of 40 parts of methyl methacrylate, 40 parts of butyl acrylate, 15 parts of styrene, 5 parts of acrylic acid and 2 parts of azobisisobutyronitrile in 90 parts of propylene glycol monomethyl ether kept at 110 ° C. under a nitrogen gas atmosphere. Was added dropwise over 3 hours. After the dropwise addition, the mixture was aged for 1 hour, and a mixed solution composed of 1 part of azobisdimethylvaleronitrile and 10 parts of propylene glycol monomethyl ether was added dropwise for 1 hour, and aged for 5 hours to obtain an acrylic resin solution.

<実施例1>
上述のようにして製造したフェノール樹脂を、シクロヘキサノンに固形分が50%となるように溶解し、増粘剤として球状酸化ケイ素(微紛シリカ、日本アエロジル株式会社製、商品名アエロジルR812、平均粒子径7nm)を、樹脂固形分100部に対して50部加え、3本ロールで分散し、スクリーン印刷用レジスト液を得た。
<Example 1>
The phenol resin produced as described above is dissolved in cyclohexanone so that the solid content becomes 50%, and spherical silicon oxide (fine silica, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name Aerosil R812, average particle size) is used as a thickener. (Diameter: 7 nm) was added to 100 parts of the resin solids in an amount of 50 parts, and the mixture was dispersed with a three-roll mill to obtain a screen printing resist solution.

この液を500メッシュのスクリーン印刷にて、ライン/スペース=100/100μmのパターンをガラスに蒸着された銅基板上に形成し、ホットプレートで100℃30分間加熱した。その後、4%の塩化第二鉄水溶液に浸漬することによりエッチングを行った。   This liquid was screen-printed on a 500 mesh to form a line / space = 100/100 μm pattern on a copper substrate deposited on glass, and heated on a hot plate at 100 ° C. for 30 minutes. Thereafter, etching was performed by immersion in a 4% aqueous ferric chloride solution.

<実施例2〜4、比較例1及び2>
表1に示す配合を採用したこと以外は、実施例1と同様にしてレジスト液を調製し、エッチングを行った。
<Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 and 2>
A resist solution was prepared and etched in the same manner as in Example 1 except that the composition shown in Table 1 was employed.

実施例及び比較例の試験結果を、下記表1に示す。   The test results of Examples and Comparative Examples are shown in Table 1 below.

Figure 2004260143
増粘剤a:球状酸化ケイ素(日本アエロジル株式会社製、商品名アエロジルR812、平均粒子径7nm)
増粘剤b:脂肪酸アマイドワックス(楠本化成株式会社製、商品名ディスパロン6900)
増粘剤c:硫酸バリウム(堺化学工業株式会社製、商品名硫酸バリウムBF−20P、平均粒子径30nm)/脂肪酸アマイドワックス(楠本化成株式会社製、商品名ディスパロン6900)
粘度:B型粘度計 6rpm at25℃
パターン形成:「○」はラインが100±5μmで形成できているもの、「×」はラインが100±5μmで形成できていないいもの。
エッチング耐性:「○」はレジスト膜剥がれがないもの、「×」はレジスト膜剥がれたもの。
Figure 2004260143
Thickener a: spherical silicon oxide (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name Aerosil R812, average particle diameter 7 nm)
Thickener b: fatty acid amide wax (Kusumoto Kasei Co., Ltd., trade name: Dispalon 6900)
Thickener c: barium sulfate (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., trade name barium sulfate BF-20P, average particle diameter 30 nm) / fatty acid amide wax (manufactured by Kusumoto Chemicals, trade name Disparon 6900)
Viscosity: B-type viscometer 6 rpm at 25 ° C
Pattern formation: “○” indicates that the line was formed at 100 ± 5 μm, and “×” indicates that the line was not formed at 100 ± 5 μm.
Etching resistance: "O" indicates that the resist film did not peel off, and "X" indicates that the resist film peeled off.

Claims (10)

フェノール樹脂を主要樹脂成分とし、さらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物。   A resist composition for printing ink comprising a phenolic resin as a main resin component and further containing a thickener. フェノール樹脂が、ノボラック樹脂及びポリビニルフェノール樹脂の一方又は両方である請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, wherein the phenol resin is one or both of a novolak resin and a polyvinyl phenol resin. 増粘剤が、粒子径3nm〜10μmの無機質微粒子である請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, wherein the thickener is an inorganic fine particle having a particle diameter of 3 nm to 10 µm. 増粘剤が、ワックスである請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, wherein the thickener is a wax. 増粘剤の含有量が、樹脂固形分100重量部に対して、10重量部〜500重量部である請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, wherein the content of the thickener is 10 parts by weight to 500 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin solid content. 有機溶媒系レジスト組成物である請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, which is an organic solvent-based resist composition. 回転粘度計(6rpm、測定温度25℃)で測定した粘度が、1Pa・s〜300Pa・sである請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The printing ink resist composition according to claim 1, wherein the viscosity measured by a rotational viscometer (6 rpm, measurement temperature: 25 ° C) is 1 Pa · s to 300 Pa · s. スクリーン印刷インキ用レジスト組成物である請求項1記載の印刷インキ用レジスト組成物。   The resist composition for a printing ink according to claim 1, which is a resist composition for a screen printing ink. 表面に金属層を有する基板の表面に、フェノール樹脂を主要樹脂成分としさらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程を有するレジスト膜形成方法。   Forming a resist film of a desired pattern on the surface of a substrate having a metal layer on the surface by using a resist composition for a printing ink comprising a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener. A method for forming a resist film comprising: (1)表面に金属層を有する基板の表面に、フェノール樹脂を主要樹脂成分としさらに増粘剤を含有してなる印刷インキ用レジスト組成物を用いてスクリーン印刷を行い、所望パターンのレジスト膜を形成する工程、
(2)前記レジスト膜が形成されていない部分の金属層をエッチング液により現像して除去を行う工程、及び、
(3)前記工程(2)の後に、レジスト膜を除去する工程
を有する金属層パターンを有する基板の製造方法。
(1) Screen printing is performed on the surface of a substrate having a metal layer on the surface using a resist composition for a printing ink containing a phenol resin as a main resin component and further containing a thickener to form a resist film having a desired pattern. Forming,
(2) a step of developing and removing the metal layer in a portion where the resist film is not formed by using an etchant;
(3) A method for manufacturing a substrate having a metal layer pattern, comprising a step of removing a resist film after the step (2).
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