JP2005134895A - 微小可動デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ミラー4を保持する可動ロッド7を、変形S字状板ばねヒンジ6A〜6Dにより固定部10に支持し、ロッド7に固定した櫛歯電極5と、固定櫛歯電極8との間に電圧を印加し、その静電吸引力によりミラー4を中心部1cから抜き、その状態を、ヒンジ6A〜6Dの屈曲状態の反転により、印加電圧解除後も自己保持し、この状態で電極8と電極9間に電圧を印加して、ミラー4を中心部1cに移動させ、ヒンジ6A〜6Dが前の形状に反転し、印加電圧解除後もその状態を保持する。作製初期状態でヒンジ6A〜6Dとその両側の対向壁面との間隔D1とD3、またD2とD4をそれぞれ同一とする。
【選択図】 図1
Description
図3に特許文献1のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)光スイッチの構造を示す。基板100(図3では100aと100bに分割分離して示しているが一体のものである)の上面(100u)に4本のファイバ溝1A〜1Dが一端を互に連続して十字状に形成され、その互いに直角なファイバ溝1Aと1B間の基板100を駆動体形成部101とし、駆動体形成部101にファイバ溝1Aと1Bに対しそれぞれ45度をなすスロット103が上面(100u)に形成され、スロット103内に可動ロッド116が配され、可動ロッド116の両側に支持枠134A,134Bの一端が固定され、支持枠134A,134Bの他端が板ばねヒンジ128A,128Bにより固定支持部130A,130Bに固定され、可動ロッド116はその延長方向に、かつ基板100の板面(上面100u)と平行に移動自在に保持されている。4本の光ファイバ106A〜106Dがファイバ溝1A〜1D内に配置され、光ファイバ106A〜106Dの放射状配置の中心部1cにミラー102が位置して可動ロッド116の一端に支持され、可動ロッド116の他端に櫛歯型静電アクチュエータ122が連結される。
変形S字状板ばねヒンジ6A〜6Dは異なる屈曲状態を保持するものである。従ってこの光デバイスの作製直後の初期形状(第1安定状態)において、例えばミラー4が中心部1cに挿入されているようにする。この時、光ファイバ32Aから出射された光はミラー4によって反射され光ファイバ32Bに入射される。光ファイバ32Dから出射された光は光ファイバ32Cへ反射入射される。可動ロッド7、可動櫛歯電極5と板ばねヒンジ6A〜6Dを介して電気的につながれている駆動体形成部10、第2固定櫛歯電極9をそれぞれアースした状態で第1固定櫛歯電極8に電圧を印加すれば、第1固定櫛歯電極8と可動櫛歯電極5との間に静電吸引力が働き、その力が第1安定状態の保持力よりも大きい場合、板ばねヒンジ6A〜6Dは第2安定状態へと反転し、その電圧の印加を絶ってもその状態で自己保持される。この時、図8に示すようにミラー4は中心部1cから退避した状態となり、光ファイバ32A,32Dからの各出射光は光ファイバ32C,32Bにそれぞれ入射される。駆動体形成部10、第1固定櫛歯電極8をアースした状態で第2固定櫛歯電極9に電圧を印加すれば、第2固定櫛歯電極9と可動櫛歯電極5との間に静電吸引力が作用し、その力が第2安定状態よりも大きい場合には再び第1安定状態へと戻る。なお、第1又は第2固定櫛歯電極8又は9と可動電極5との間にそれぞれ電圧を印加するには
、例えば第1、第2固定櫛歯電極8,9にそれぞれボンディングワイヤを接続しておき、これらボンディングワイヤと駆動体形成部10との間に電圧を印加すればよい。また板ばねヒンジ6A〜6Bは2つの安定な異なる屈曲状態間を反転することができるものであればよい。
次に図4〜6に示した光デバイスを作製する方法としては以下のようにすることが考えられる。図9はその各工程における図4中5A−5A線断面を示す。
その基板31上、つまりシリコンデバイス層43上にマスク材層44を形成する。マスク材層44としては例えばシリコン酸化膜が用いられる。
次に例えばICP(Inductively Coupled Plasma)によるドライエッチングにより、マスク45をマスクとしてシリコンデバイス層43を、図9Cに示すように中間絶縁層41が露出するまで、基板31の板面に対し、ほぼ垂直にエッチングする。これによりファイバ溝1、ロッド溝33、ヒンジ用凹部14、各櫛歯電極の櫛歯などが形成される。
前記可動部は板ばねヒンジ6A〜6Dにより、移動自在に基板31に支持される。またこの例では中間絶縁層41とマスク材層44は同一材とし、マスク45も同時に除去している。
以上述べたように異なる2つの屈曲状態をもつばねヒンジを用いることにより、駆動部に電圧を印加してミラーを変位させた後、この電圧の印加を解除してもそのミラーの変位した状態が保持され消費電力を減少させることができる。
しかし、実際にこの光スイッチを試作したところ、図4中に破線で示すように、ヒンジの1乃至複数がこれと対向するヒンジ用凹部14の壁面に付いた状態になっているものが生じ、歩留りが期待できないことが判明した。このような問題が生じないようにするには、ヒンジ6A〜6Dの機械的剛性を大にすればよい、例えばヒンジ6A〜6Dの厚みを大きくすればよい。しかしこのようにするとミラーを変位させるための駆動電圧も大きなものが必要となり、このように微小デバイスを用いるモジュールや装置などに比較的大きな電圧源を用意することは適しない。
この発明目的は2つの異なる屈曲状態をもつヒンジにより可動部を支持し、その可動部の変位された状態を自己保持する微小可動デバイスであって、歩留りよく作製することができるものを提供することにある。
(6A)が壁面についたままになってしまうと考えられる。
この実施形態では、初期状態、つまり光スイッチを作製した時、図1ではミラー4が十字状ファイバ溝1の中心部1cに位置している状態で板ばねヒンジ6A,6B,6C,6Dの長手方向における各点の両側のヒンジ用凹部14a,14bとの対向壁面14a1,14a2,14a3,14a4,14b1,14b2,14b3,14b4との間隔(距離)は互いに等しくされている。図1の例ではヒンジ6A〜6Dと、これらそれぞれ対向するヒンジ用凹部14a,14bの対応壁面とは互いに平行し、ヒンジ6A及び6Bとその両側の壁面との間隔(距離)D1,D3、ヒンジ6C及び6Dと、その両側の対向壁面との各間隔(距離)D2,D4は全て等しくD1=D2=D3=D4とされている。しかしD1=D3かつD2=D4とするがD1≠D2であってもよい。更にこのように各ヒンジ6A〜6Dとその両側の壁面との間隔(距離)がそのヒンジ長手方向における各点で同一、つまり均一でなくてもよい。即ち図2に示すようにヒンジ6(6A)の可動ロッド7側の端部におけるヒンジ6と対向壁面14a1,14a2との間隔(距離)D3aとD1aは等しく、ヒンジ6の反対側の端部におけるヒンジ6と対向壁面14a1,14a2との間隔(距離)D3bとD1bは等しいが、これら両端部の間隔D3aとD3bは互いに異なっていてもよい。また上記のD3bとD1b等を等しくすることは、ヒンジ6A〜6Dの全長に亙らなくとも、少なくとも対向する壁面と接触可能な長手方向の各点において成立すればよい。
この実施形態1では、ヒンジ6A〜6Dと、その長手方向の各点でその両側のヒンジ用凹部14a,14bとの壁面との間隔が等しいため、図2に示すように蒸発遅れした液体15がヒンジ6A〜6Dの両側で同一量となり、ヒンジが壁面に引き寄せられたままになるおそれがない。しかも作製時のウエットエッチング後の乾燥工程で簡便な液体からの直接乾燥を利用することができ、かつ歩留りがよいものとなる。
基板31に形成され、外部に解放されているファイバ溝1や開放用溝16,19,20とつながっているため、作製時のウエットエッチング後の乾燥工程において、エッチング液を基板31から外部へ流出させることができ、それだけ乾燥工程を短かくすることができる。なおヒンジ用凹部14a,14bの板ばねヒンジ6A〜6Dの両側の部分は板ばねヒンジ6A〜6D、可動ロッド7と凹部14a,14bの底面との隙間でつながっているので、図示された開放用溝19、20を設けることなく開放用溝16のみを設ける構成であってもエッチング液を流出させ、乾燥工程を短くする効果が得られる。しかし開放用溝16のみの構成の場合は基板31の外部へ開放される溝に直結している凹部14aのヒンジ6A、6Bより壁面14a1、14a3側の部分および凹部14bのヒンジ6C、6Dより壁面14b2、14b4側の部分のエッチング液の方がより速く排出され、各凹部14a、14bのヒンジ6A〜6Dより壁面14a2、14a4及び14b1、14b3側の各部分のエッチング液の流出が相対的に遅くなる傾向をもつので、さらに開放用溝19,20も設けてこれらヒンジ6A〜6Dより壁面14a2、14a4、14b1、14b3側の各部分の液の流出を促進させ、乾燥工程におけるヒンジ両側の液の減少の平衡をより確実にすることが望ましい。
Claims (2)
- 基板上に形成され、その基板板面と平行に変位する可動部と、上記基板上に形成された駆動体形成部と、上記可動部と上記駆動体形成部とに両端が連結され、2つの相異なる屈曲状態で上記可動部を2つの位置に自己保持する双安定動作をするヒンジと、このヒンジの可動範囲を挟んで両側にヒンジと対向して上記駆動体形成部に形成されている壁面とを備える微小可動デバイスであって、
上記ヒンジとそのヒンジと接触可能な上記両側の壁面との各間隔が、上記ヒンジの2つの安定な屈曲状態の一方において、上記ヒンジの長手方向の各点で互いに等しいことを特徴とする微小可動デバイス。 - 上記ヒンジと上記両側の壁面とにより構成される各溝が、上記基板の上記駆動体形成部形成面に形成され、基板の辺縁に開放されている溝に連続していることを特徴とする請求項1記載の微小可動デバイス。
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