JP2005128697A - Gas regulator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガス容器から供給される作用ガスの圧力を必要なガス圧に制御するガスレギュレータに関する。 The present invention relates to a gas regulator that controls the pressure of a working gas supplied from a gas container to a necessary gas pressure.
従来、ガス容器から供給される作用ガスの圧力を必要なガス圧に制御するためのガスレギュレータが広く使用されている。正圧ガスの圧力制御に用いられていたものとして例えば、図5に示すものが知られている。これは、特許文献1に開示されているものである。
図5は、従来のフリーポペット構造を備えるガスレギュレータ200の断面図である。
ガスレギュレータ200は、ガス容器に接続する入力ポート204とマスフローコントローラを介して真空ポンプに接続する出力ポート205の連通を制御する弁体209と、第2圧力室207のガス圧に応じて変位するダイアフラム211とを分離したフリーポペット構造を備える。
Conventionally, a gas regulator for controlling the pressure of a working gas supplied from a gas container to a necessary gas pressure has been widely used. For example, what is shown in FIG. 5 is known as what was used for pressure control of positive pressure gas. This is disclosed in
FIG. 5 is a cross-sectional view of a
The
ガスレギュレータ200は、バルブボディ201に中空状のシリンダ202が連結され、シリンダ202の上面に調整ハンドル203が進退可能に螺入されている。バルブボディ201は、入力ポート204と出力ポート205が第1圧力室206と第2圧力室207を介して連通するよう形成されている。第1圧力室206と第2圧力室207との間に、中空孔を備える弁部材208が配設されている。弁部材208に当接又は離間する弁体209は、第1圧力室206に摺動可能に収納され、復帰バネ210によって弁体209に常時上向きの力を作用させている。弁体209は、突出部209aが弁部材208の中空孔を通って第2圧力室207に突き出し、ダイアフラム211に当接している。
In the
ダイアフラム211は、弁部材208とシリンダ202との間で外縁部を狭持され、中央部に調圧スプリング212の下端が当接している。調圧スプリング212は、調整ハンドル203と連結し、調整ハンドル203の螺入量に応じて圧縮量を変更し、ダイアフラム211に付加する外圧が調整される。
このようなガスレギュレータ200では、正圧ガスを設定圧力に制御する場合、出力ポート205の圧力が所定値より上がった場合には、第2圧力室207の圧力が上昇し、ダイアフラム211が、上向きに作用する第2圧力室207の正圧が、調圧スプリング212の弾圧力による下向きの付勢力より大きくなるため、上向きに変位する。そして、弁体209が上向きに移動して、弁部材208との開度が減少し、ガスの供給を減少させ、出力ポート205へのガスの流れを減らして、ガス圧を低下させる。
また、出力ポート205の圧力が所定値より下がった場合には、第2圧力室207の圧力が下降し、ダイアフラム211が、上向きに作用する第2圧力室207の正圧が、調圧スプリング212の弾圧力による下向きの付勢力より小さくなるため、下向きに変位する。そして、弁体209が下向きに移動して、弁部材208との開度が増加し、ガスの供給を増加させ、出力ポート205へのガスの流れを増やして、ガス圧を上昇させる。
The
In such a
When the pressure of the
出力圧を精度良く制御しようとすると、ダイアフラム211は上下に移動する回数が増えるが、それによりダイアフラム211が上下に振動を起こす問題があった。ダイアフラム211が振動すると出力圧が不安定となることに加え、弁体209が弁部材208に当接する回数が異常に増加し、パーティクルの発生とシール不良とを起こす恐れがあり、問題であった。
ダイアフラムの振動を防止するために、特特許文献2においては、弁体の開弁動作方向に弾性感応要素を設けることが示されている。その他例示しないが、ゴム製のOリングにより摺動抵抗を与え振動を抑制する構造が知られている。
If the output pressure is to be controlled with high accuracy, the number of times the
In order to prevent the vibration of the diaphragm, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-228561 discloses that an elastic sensitive element is provided in the valve opening operation direction of the valve body. Although not exemplified, a structure that suppresses vibration by applying sliding resistance by a rubber O-ring is known.
しかしながら、従来のガスレギュレータ200は、以下の点で問題があった。
すなわち、図5に示すガスレギュレータ200においては、ダイアフラム211が、上下に振動を起こすことがあり、それにより出力圧が不安定となる問題があった。特に近年、摺動抵抗を低減させヒステリシスを低減しているため、振動を発生しやすい構造となっており、問題が大きくなっていた。
これを解決するために、Oリング等により摺動抵抗を与えると、第1には、パーティクルを発生する問題があり、半導体製造工程等においては、そのようなガスレギュレータを使用することができなかった。第2には、摺動抵抗は、Oリング等の摩擦面が経時的に変化するため、摺動抵抗も経時的に変化して振動防止が不充分となる問題があった。
また、第3には、摺動抵抗が増加するため、ヒステリシスを増加させてしまう問題があった。
However, the
That is, in the
In order to solve this problem, when sliding resistance is given by an O-ring or the like, first, there is a problem of generating particles, and such a gas regulator cannot be used in a semiconductor manufacturing process or the like. It was. Secondly, since the frictional surface of the O-ring or the like changes with time, the sliding resistance also changes with time, resulting in insufficient vibration prevention.
Third, there is a problem in that the hysteresis increases because the sliding resistance increases.
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、パーティクルを発生することなく、経時的にも変化することのなく安定して振動を防止することができ、ヒステリシスを増加させないガスレギュレータを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and is a gas that does not generate particles, can stably prevent vibration without changing over time, and does not increase hysteresis. An object is to provide a regulator.
本発明に係るガスレギュレータは、上記目的を達成するために次のような構成を有している。
(1)弁本体に設けられた弁座と、付勢部材により付勢されて前記弁座に当接する弁体と、圧力室に設けられたダイアフラムと、前記ダイアフラムの背圧面に付加する外圧を調整する調整機構と、を備え、前記ダイアフラムが前記調整機構で調整された外圧と前記圧力室の圧力との差圧に基づいて変位し、前記弁体を前記弁座に当接又は離間させるガスレギュレータであって、調整機構は、ダイアフラムに追従してシリンダ内を摺動するピストンを備え、ピストンは、摺動により弾性変形する第1弾性変形部材と第2弾性変形部材とを一体的に有し、ピストンが上向きに摺動するときに第1弾性変形部材が圧縮変形し、ピストンが下向きに摺動するときに第2弾性変形部材が圧縮変形する。
The gas regulator according to the present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
(1) A valve seat provided in the valve body, a valve body that is urged by an urging member to contact the valve seat, a diaphragm provided in a pressure chamber, and an external pressure applied to a back pressure surface of the diaphragm. An adjusting mechanism for adjusting the gas, and the diaphragm is displaced based on a differential pressure between the external pressure adjusted by the adjusting mechanism and the pressure in the pressure chamber, and causes the valve body to contact or separate from the valve seat The regulator includes a piston that slides in the cylinder following the diaphragm, and the piston integrally includes a first elastic deformation member and a second elastic deformation member that are elastically deformed by sliding. The first elastic deformation member is compressively deformed when the piston slides upward, and the second elastic deformation member is compressively deformed when the piston slides downward.
(2)(1)に記載するガスレギュレータにおいて、前記第1弾性変形部材及び第2弾性変形部材が、固体シリコンの分子間に流体シリコンを分散含有させた粘弾性体であることを特徴とする。
(3)(1)または(2)に記載するガスレギュレータにおいて、前記ピストンの周囲にリブ状の支持部が形成され、前記第1弾性変形部材が前記支持部の上面と第1リングとで挟まれて構成され、前記第2弾性変形部材が前記支持部の下面と第2リングとで挟まれて構成されていることを特徴とする。
(2) In the gas regulator described in (1), the first elastic deformation member and the second elastic deformation member are viscoelastic bodies in which fluid silicon is dispersedly contained between molecules of solid silicon. .
(3) In the gas regulator described in (1) or (2), a rib-like support portion is formed around the piston, and the first elastic deformation member is sandwiched between the upper surface of the support portion and the first ring. The second elastic deformation member is configured to be sandwiched between a lower surface of the support portion and a second ring.
次に、上記構成を有するガスレギュレータの作用・効果を説明する。
圧力室の圧力が低下したときには、ダイアフラムを上向きに押し上げる力より調整機構による外力が大きくなるため、ダイアフラムは下向きに変位する。このとき、調整機構を例えばバネで構成していると、振動が発生しようとする。しかし、第2弾性変形部材である固体シリコン分子間に流体シリコンを分散含有させゲル状とした第2シリコン粘弾性体の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第2リングを介してボディに接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
一方、圧力室の圧力が上昇したときには、ダイアフラムを上向きに押し上げる力より外力が小さくなるため、ダイアフラムは上向きに変位する。このとき、調整機構を例えばバネで構成していると、振動が発生しようとする。しかし、第1弾性変形部材である固体シリコン分子間に流体シリコンを分散含有させゲル状とした第1シリコン粘弾性体の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第1リングを介してボディに接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
Next, the operation and effect of the gas regulator having the above configuration will be described.
When the pressure in the pressure chamber decreases, the external force by the adjusting mechanism becomes larger than the force that pushes up the diaphragm upward, so that the diaphragm is displaced downward. At this time, if the adjustment mechanism is constituted by a spring, for example, vibration is likely to occur. However, one end of the second silicon viscoelastic body in which fluid silicon is dispersed and contained between the solid silicon molecules as the second elastic deformable member is in contact with the support portion of the piston and the other end is interposed through the second ring. Since it is in contact with the body, the silicon viscoelastic body compresses and absorbs the acceleration of vibration and attenuates the vibration.
On the other hand, when the pressure in the pressure chamber rises, the external force becomes smaller than the force that pushes the diaphragm upward, so that the diaphragm is displaced upward. At this time, if the adjustment mechanism is constituted by a spring, for example, vibration is likely to occur. However, one end of the first silicon viscoelastic body in which the fluid silicon is dispersed and contained between the solid silicon molecules as the first elastic deforming member is in contact with the support portion of the piston and the other end is interposed through the first ring. Since it is in contact with the body, the silicon viscoelastic body compresses and absorbs the acceleration of vibration and attenuates the vibration.
本発明に係るガスレギュレータの実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、ガスレギュレータ1の断面図である。
ガスレギュレータ1は、例えば、常温で液化する作用ガスを真空引きして気化するシステムに用いられる。ガスレギュレータ1は、作用ガスの流路を形成された流路ブロック2に、第1シリンダ部3と第2シリンダ部4とを連結したシリンダ5が螺合接続されて「ハウジング」を構成され、第2シリンダ部4に調整ハンドル6が回転可能に取り付けられている。流路ブロック2に内設された弁体7は、ダイアフラム8と分離して設けられたフリーポペット構造になっており、調整ハンドル6を回転させることにより調整機構9がダイアフラム8に付加する外圧を調整し、作用ガスの設定圧力を設定できるよう構成されている。
Embodiments of a gas regulator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of the
The
流路ブロック2は、ガス容器に接続される入力ポート11と、真空ポンプ側に接続される出力ポート12とが設けられ、弁体7を収納する第1圧力室13が入力ポート11と連通するよう形成されるとともに、上方に開口する凹部14が第1圧力室13と出力ポート12とを連通するよう形成されている。流路ブロック2の凹部14は、第1圧力室13と連通する部分に、PCTFE(三フッ化塩化エチレン)等の樹脂を材質とする弁座15を配置され、弁座15にシートホルダ16、ダイアフラム8、ダイアフラム押さえ17を順次積層されて、第1シリンダ部3を螺合接続されている。
The flow path block 2 is provided with an
これにより、ダイアフラム8は、シートホルダ16とダイアフラム押さえ17との間で狭持されて流路ブロック2の凹部14を気密に被覆し、第2圧力室18を形成している。また、シートホルダ16は、弁座15を通過した作用ガスを第2圧力室18に出力する供給流路16aが複数形成され、作用ガスを第2圧力室18に分散して出力するようになっており、さらに、供給流路16aの外側に出力ポート12と連通する排出流路16bが形成されている。従って、入力ポート11は、第1圧力室13、弁座15、シートホルダ16の供給流路16a、第2圧力室18、シートホルダ16の排出流路16bを介して出力ポート12と連通している。
弁座15のシールは、シート中央の内部シール部の真円度、外形に影響を与えないよう、面圧縮シール構造とはせず、ボディ側及びプレート側に相対する凹凸形状を設け、フラット形状シートを外周部で凹凸変形させ、凹凸のエッジでシールさせている。
As a result, the
The seal of the
第1圧力室13には、弁座15を開閉する弁体7が内設され、復帰バネ19によって弁体7に弁座15に当接する方向(上方向)の力を常時作用させている。弁体7は、突出部7aが弁座15を貫いて第2圧力室18に突出し、ダイアフラム8と分離して設けられている。
復帰バネ19は、ガス流路に設置されるため、従来、摺動や屈曲によりパーティクルが発生することが問題となっていた。本実施の形態では、第1圧力室13及び弁体7に接触して位置決めガイドされる部分は、バネ両端の密着座巻部のみが接触する構造とし、伸縮動作しても、摺動しないようにしている。また、バネ自体を表面研磨処理し、線材の屈曲によるパーティクルの発生も抑制している。
In the
Since the
ここで、ダイアフラム8の背室は、ダイアフラム押さえ17と第1シリンダ部3との間に形成された隙間や、ダイアフラム押さえ17と第1シリンダ部3に形成された貫通孔31などを介して大気と連通し、大気圧状態になっている。従って、ダイアフラム8は、第2圧力室18が負圧になると、受圧面方向(下方向)の力によって変位し、弁体7の突出部7aに当接する一方、第2圧力室18が正圧になると、背圧面方向(上方向)の力によって変位し、弁体7の突出部7aから離間することができる。
Here, the back chamber of the
かかるダイアフラム8は、調整機構9により背圧面に付加される外圧を調整される。調整機構9は、調整ハンドル6に固設された圧力調整ネジ21が第2シリンダ部4に挿通され、その圧力調整ネジ21に調圧スプリング22を介して摺動部材であるピストン23が連結している。ピストン23は、外周面に設けられた低摩擦部材32を介してダイアフラム押さえ17に摺動可能に装填され、さらに貫通してダイアフラム8に当接している。そのため、ダイアフラム8には、バネ受け23を介して調圧スプリング22の弾圧力が作用し、外圧を付加されている。従って、調整ハンドル6を回転することにより圧力調整ネジ21の位置調節を行い、圧力調整ネジ21とピストン23との間で調圧スプリング22の圧縮量を調整すれば、調圧スプリング22の弾圧力を調整し、調整機構9がダイアフラム8に付加する外圧を変更することができる。調圧スプリング22は、上下とも内径側で中心の位置決めをしている。これは、荷重が垂直に働くようにするためであり、調圧範囲の変更の際のバネの変更(線径変更)しても問題がないようにするためである。
In the
次に、本発明の主要部であるピストン23周辺の構造について説明する。図3にピストン組立体の組立図を示し、図4にピストン組立体の分解図を示す。
ピストン23は、中空形状で下面が閉ざされた円筒状であり、外周面下部に低摩擦部材32が嵌合されている。また、外周面の上部にリブ状の支持部23が全周に渡って形成されている。支持部23の上面には、リング形状の第1弾性変形部材26が当接して載せられ、その上に第1リング27が載せられる。
支持部23の下面には、リング形状の第2弾性変形部材25が当接して取り付けられ、第2リング24が下側に密着して取り付けられ、低摩擦部材32により落ちないように仮止めされている。
これにより、ピストン組立体は、一つの組立体として本体に取り付けることができるため、組立時の作業性が良い。
Next, the structure around the
The
A ring-shaped second
Thereby, since a piston assembly can be attached to a main body as one assembly, the workability | operativity at the time of an assembly is good.
ピストン組立体が本体に取り付けられている状態は、図1の通りである。第1弾性変形部材26の上面は、第1リング27を介して第2シリンダ部4の下面に当接し、第1弾性変形部材26の下面は支持部23の上面に当接している。また、第2弾性変形部材25の下面は、第2リング24を介してダイアフラム押え17の上面に当接し、第2弾性変形部材25の上面は支持部23の下面に当接している。
第1弾性変形部材26及び第2弾性変形部材25の材質は、固体シリコンの分子間に流体シリコンを分散含有させた粘弾性体である。本実施の形態では、株式会社ジェルテック製のαGEL(登録商標)を使用している。
The state where the piston assembly is attached to the main body is as shown in FIG. The upper surface of the first
The material of the first
続いて、上記構成を有するガスレギュレータ1の設定圧力の設定について説明する。
図1に示すガスレギュレータ1は、調整ハンドル6が最上端に位置し、調圧スプリング22の圧縮量を最小にしている。そのため、ダイアフラム8は、調整機構9から付加される外圧が最小であり、弁体7の突出部7aとの間に形成される隙間Sの距離が最大である。そこで、作用ガスの設定圧力を設定する場合、調整ハンドル6を所定方向に回転することにより調圧スプリング22を圧縮し、調圧スプリング22の弾圧力でダイアフラム8の中心部81を受圧面方向(下方向)に加圧して、負圧を設定する。
Next, setting of the set pressure of the
In the
すなわち、ガスレギュレータ1が作用ガスを負圧に制御する場合、ダイアフラム8の受圧面には、受圧面積と第2圧力室18の負圧とをかけ合わせた荷重が受圧面方向(下方向)に作用する。しかし、真空に至るまでに発生するこの力は、ダイアフラム8が変形することによる力と相殺されている。さらには、隙間Sが設定されている事により弁体7が開状態とはならず、ダイアフラム8と弁体7が接触する位置では、力はバランス状態である。ここに、調圧スプリング22の弾圧力による下方向の加圧が加わる事により、真空から大気方向への負圧と弾圧力がバランスし、負圧の設定が可能となる。
That is, when the
一方、負圧ガスレギュレータ1が作用ガスを正圧に制御する場合、ダイアフラム8の受圧面には、受圧面積と第2圧力室18の正圧とをかけ合わせた荷重が背圧面方向(上方向)に作用する。そこで、正圧ガスの設定圧力を設定する場合には、調整ハンドル6を所定方向に回転させることによりダイアフラム8を弁体7の突出部7aに当接させ、さらに、調整ハンドル6を所定方向に回転させ続けることにより、ダイアフラム8が弁体7を復帰バネ19に抗して押し下げる押圧力を調整する。これにより、ダイアフラム8は、第2圧力室18の圧力が設定された正圧に上昇するまでの間、弁体7を復帰バネ19に抗して押し下げ、作用ガスを第2圧力室18に供給する。
On the other hand, when the negative
次に、上記構成を有するガスレギュレータの作用を説明する。
第2圧力室18の圧力が上昇すると、調整機構9の外圧を第2圧力室18の圧力と復帰バネ19の付勢力との合力で相殺し、その圧力差に応じてダイアフラム8が背圧面方向(上方向)に変位する。これに追従して、弁体7は、復帰バネ19に付勢されて弁座15に近づく方向に移動し、作用ガスの流量を絞る。
このとき、調整機構9のバネにおいて振動が発生しようとする。しかし、図1に示すように、第1弾性変形部材26の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第1リングを介してボディの一部である第2シリンダ部4の下面に接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
Next, the operation of the gas regulator having the above configuration will be described.
When the pressure in the
At this time, vibration tends to occur in the spring of the
また、第2圧力室18の圧力が下降すると、調整機構9の外圧を第2圧力室18の圧力と復帰バネ19の付勢力との合力で相殺し、その圧力差に応じてダイアフラム8がガス圧面方向(下方向)に変位する。これに追従して、弁体7は、調整機構9に付勢されて弁座15から離れる方向に移動し、作用ガスの流量を増加させる。
このとき、調整機構9のバネと付勢バネ19とのバランスにおいて振動が発生しようとする。しかし、図2に示すように、第2弾性変形部材25の一端が、ピストンの支持部と接し、他端が第2リングを介してボディの一部であるダイアフラム押え17の上面に接しているので、シリコン粘弾性体が圧縮変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
When the pressure in the
At this time, vibration tends to occur in the balance between the spring of the
以上詳細に説明したように、本実施の形態のガスレギュレータによれば、弁本体に設けられた弁座15と、付勢バネ19により付勢されて弁座15に当接する弁体7と、圧力室18に弁体7と分離して設けられたダイアフラム8と、ダイアフラム8の背圧面に付加する外圧を調整する調整機構9とを備え、ダイアフラム8が調整機構9で調整された外圧と圧力室18の圧力との差圧に基づいて変位し、弁体7を弁座15に当接又は離間させるガスレギュレータであって、調整機構9はダイアフラム8に追従してシリンダ内を摺動するピストンを備え、ピストン23は摺動により弾性変形する第1弾性変形部材26と第2弾性変形部材25とを一体的に有し、ピストン23が上向きに摺動するときに第1弾性変形部材26が主に変形し、ピストン23が下向きに摺動するときに第2弾性変形部材25が主に変形するので、シリコン粘弾性体が主に変形して振動の加速度を吸収し、振動を減衰させる。
As described in detail above, according to the gas regulator of the present embodiment, the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施の形態のガスレギュレータは、負圧と正圧と兼用できるタイプであり、実施の形態では主として負圧使用の場合を説明したが、正圧のみのレギュレータや、ダイアフラムと弁体が連結されたタイト構造のレギュレータに本発明を用いても同様である。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various applications are possible.
For example, the gas regulator of the above embodiment is a type that can be used for both negative pressure and positive pressure. In the embodiment, the case of using mainly negative pressure has been described. The same applies to the case where the present invention is used for a regulator having a tight structure connected thereto.
1 ガスレギュレータ
2 流路ブロック
3 第1シリンダ部
4 第2シリンダ部
5 シリンダ
6 調整ハンドル
7 弁体
8 ダイアフラム
9 調整機構
13 第1圧力室
15 弁座
18 第2圧力室
19 復帰バネ
23 支持部
24 第2リング
25 第2弾性変形部材
26 第1弾性変形部材
27 第1リング
32 低摩擦部材
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記調整機構は、 前記ダイアフラムに追従してシリンダ内を摺動するピストンを備え、
前記ピストンは、摺動により弾性変形する第1弾性変形部材と第2弾性変形部材とを一体的に有し、
前記ピストンが上向きに摺動するときに前記第1弾性変形部材が圧縮変形し、
前記ピストンが下向きに摺動するときに前記第2弾性変形部材が圧縮変形することを特徴とするガスレギュレータ。 Adjustment that adjusts the external pressure applied to the back pressure surface of the diaphragm, the valve body provided in the valve body, the valve body that is urged by the urging member and contacts the valve seat, the diaphragm provided in the pressure chamber A gas regulator that displaces the diaphragm based on a differential pressure between an external pressure adjusted by the adjustment mechanism and a pressure of the pressure chamber, and makes the valve body contact or separate from the valve seat;
The adjustment mechanism includes a piston that slides in the cylinder following the diaphragm,
The piston integrally includes a first elastic deformation member and a second elastic deformation member that are elastically deformed by sliding,
When the piston slides upward, the first elastic deformation member is compressed and deformed,
The gas regulator according to claim 1, wherein the second elastically deforming member is compressed and deformed when the piston slides downward.
前記第1弾性変形部材及び第2弾性変形部材が、固体シリコンの分子間に流体シリコンを分散含有させた粘弾性体であることを特徴とするガスレギュレータ。 The gas regulator according to claim 1, wherein
The gas regulator according to claim 1, wherein the first elastic deformation member and the second elastic deformation member are viscoelastic bodies in which fluid silicon is dispersed and contained between molecules of solid silicon.
前記ピストンの周囲にリブ状の支持部が形成され、前記第1弾性変形部材が前記支持部の上面と第1リングとで挟まれて構成され、前記第2弾性変形部材が前記支持部の下面と第2リングとで挟まれて構成されていることを特徴とするガスレギュレータ。
In the gas regulator according to claim 1 or 2,
A rib-shaped support portion is formed around the piston, the first elastic deformation member is sandwiched between an upper surface of the support portion and a first ring, and the second elastic deformation member is a lower surface of the support portion. And a second ring. A gas regulator characterized in that the gas regulator is sandwiched between the second ring and the second ring.
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