JP2005127825A - 座標測定機の簡易精度評価プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 パーソナルコンピュータ等を用いてユーザ自身で座標測定機の精度評価を簡単に行うことのできる、座標測定機の精度評価プログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】 マスタブロック２に設けられた12個のブッシュＢ１〜Ｂ１２の端面Ｃ１位置での穴Ｃ２中心の座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）、及び、それぞれのブッシュ穴径寸法の測定を、基準位置と、マスタブロック２の垂直軸（Ｚ軸）線回りに180度反転した反転位置で行い、測定データに基づいて、測定に用いた座標測定機２の幾何学精度（真直度上下・左右、直角度、指示誤差）を自動的に計算するプログラムあって、コンピュータに入力されたブッシュＢ１〜Ｂ１２の位置データを解析してマスタブロック自体の精度誤差を補償する計算プロセスと、前記補償された位置データに基づいて、座標測定機の誤差評価を行う計算プロセスとをコンピュータに実行させる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、マスタブロックの測定データに基づき、座標測定機の簡易的な精度評価をコンピュータを用いて行うためプログラムに関する。

従来、自動車用のエンジンや変速機のケース類のような機械部品類の各部寸法の測定には、測定テーブル（ベッド）上にセッティングした被測定物に対してプローブ（測定子）の先端を接触させて３次元方向の測定を行うことが可能な、座標測定機が広く用いられている。

この種の測定機は、測定精度を維持するために、高精度に仕上げられたマスタブロックを用いて、定期的に精度の検査や測定誤差の校正が行われている。
マスタブロックは、測定機のプローブが接触する複数の測定基準面を備えており、測定機による各測定基準面の実測データをマスタブロックの基準値と比較することにより、測定機のプローブが移動する各軸の方向の真直度、軸間の直角度、各軸方向の表示誤差等の評価が行われる。

本出願人も立方体状あるいは円筒状のブロック本体の上面と側面に、測定機のプローブ先端を接触させるブッシュ（基準部材）を備えた検査用マスタブロックを提案している。
特開平２００１−３１１６１８

このようなマスタブロックを用いて、現状で行われている座標測定機の精度検査方法の一例を図１により説明する。同図に示すように、マスタブロック１は、座標測定機２の測定テーブル３に取り付けられた治具パレット４に固定されて用いられる。

座標測定機２は、測定テーブル３の両側に同図に示すＸ方向にスライド自在に支持された門型の可動フレーム５と、前記可動フレーム５にスライド自在に支持されて前記Ｘ方向と直角なＹ方向にスライド自在なヘッド部６と、前記ヘッド部６に対し、上下方向すなわち同図Ｚ方向に上下動自在に支持された昇降軸７とを有し、昇降軸７の下端に固定されたプローブ８を３次元方向に移動位置決めできるようになっている。

前記プローブ８の先端部は、人造ルビーやセラミックス等の硬質で耐摩耗性のある素材で高精度の球状に形成されており、通常の測定作業においては、座標測定機２は測定テーブル３上に載せたエンジンブロック等のワークの仕上げ面にプローブ８の先端部を接触させて、前記プローブ８の基準位置からの変位を測定し、ワークが規定通りの寸法に仕上げられているかどうかの検査を行う。

一方、座標測定機２自体の精度検査を行う場合には、ワークの代わりにマスタブロック１に設けられたブッシュ（基準部材）の測定基準面に、プローブ８先端を接触させて、例えば、マスタブロック１に設けられた２つのブッシュの測定基準面間の距離を実測して基準値と比較し、実測値と基準値との誤差を調べ、また、前記実測誤差に基づいて座標測定機の校正を行う。

従来においては、座標測定機の精度検査における誤差評価の計算手順が煩雑であるため、座標測定機の定期的な精度検査は、一般的に、そのユーザが座標測定機のメーカー等の専門の業者に依頼して行っており、ユーザー自身では座標測定機の精度評価を簡単に行えない問題があった。

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決し、パーソナルコンピュータ等を用いてユーザ自身で座標測定機の精度評価を簡単に行うことのできる、座標測定機の精度評価プログラムを提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明は、第１に、前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸方向の真直度をマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムである。

前記マスタブロックは、座標測定機に保持されるブロック本体と複数のブッシュによって構成され、これらのブッシュは、測定基準面である端面と、前記端面に垂直に開口され、内周面が測定基準面である横断面円形の穴を有し、それぞれ端面を外向きにしてブロック本体の上面と側面に固定され、ブロック本体上面のブッシュは、前記上面に近接した基準平面内に各端面が配置され、且つ、前記基準平面内で互いに直交するＸ軸とＹ軸上で、それぞれ、これらの軸が交差する原点に対して互いに反対側の対称な位置に２つずつ、合計４個配置され、ブロック本体側面のブッシュのうち４個は、Ｘ軸を含む垂直面内で、Ｘ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに、且つ基準平面と原点で直交する垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置され、残りの４個のブッシュは、Ｙ軸を含む垂直面内で、Ｙ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに前記垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置されたものである。

本発明の簡易精度評価プログラムにおいては、前記垂直軸線をＺ軸とし、前記基準平面をＺ＝０の面としてマスタブロック上に設定した基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の各座標軸が、座標測定機の各機械軸と平行になる基準位置に、マスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュにおける端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｆｉ，Ｙｆｉ，Ｚｆｉと、前記マスタブロックの基準位置でのｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系における基準値Ｘｓｉ，Ｙｓｉ、Ｚｓｉと、前記基準位置からＺ軸回りに１８０°反転した反転位置にマスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｒｉ，Ｙｒｉ，Ｚｒｉとを基礎入力データとして用いる。

このプログラムでは、Ｘ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と前後の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、コンピュータに、
Ｅｙｆｉ＝Ｙｆｉ−Ｙｓｉと、
Ｅｙｒｉ＝Ｙｒｉ＋Ｙsｉ、および、
これらの平均値Ｅｙｍｉ＝（Ｅｙｆｉ＋Ｅｙｒｉ）／２を計算させ、Ｘ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｙｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｙｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＸ方向機械軸の左右方向に対する真直度として出力装置に出力させる。

また、Ｘ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と前後の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
Ｅｚｆｉ＝Ｚｆｉ−Ｚｓｉと、
Ｅｚｒｉ＝Ｚｒｉ−Ｚsｉ、および
これらの平均値Ｅｚｍｉ＝（Ｅｚｆｉ＋Ｅｚｒｉ）／２を計算させ、Ｘ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｚｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｚｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＸ方向機械軸の上下方向に対する真直度として出力装置に出力させる。

また、Ｙ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と左右の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
Ｅｘｆｉ＝Ｘｆｉ−Ｘｓｉと、
Ｅｘｒｉ＝Ｘｒｉ＋Ｘsｉ、および、
これらの平均値Ｅｘｍｉ＝（Ｅｘｆｉ＋Ｅｘｒｉ）／２を計算させ、Ｙ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｘｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｘｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＹ方向機械軸の前後方向に対する真直度として出力装置に出力させる。

また、Ｙ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と左右の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
Ｅｚｆｉ＝ Ｚｆｉ−Ｚｓｉと、
Ｅｚｒｉ＝ Ｚｒｉ−Ｚsｉ、および
これらの平均値Ｅｚｍｉ＝（Ｅｚｆｉ＋Ｅｚｒｉ）／２を計算させ、Ｙ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｚｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｚｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＹ方向機械軸の上下方向に対する真直度として出力装置に出力させる。

また、ＺＸ面内において、並べて配列され、Ｚ軸に対してＸ方向に互いに対称的に配置されているｉ番目とｊ番目のブッシュの対に対して、前記コンピュータに、
ＹｆｉとＹｆｊの平均値Ｅｙｆｉｊ＝（Ｙｆｉ＋Ｙｆｊ）／２を計算させるとともに、
ＹｒｉとＹｒｊの平均値Ｅｙｒｉｊ＝（Ｙｒｉ＋Ｙｒｊ）／２を計算させ、
さらに、上記ＥｙｆｊｊとＥｙｒｉｊの平均値Ｅｙｍｉｊ＝（Ｅｙｆｉｊ＋Ｅｙｒｉｊ）／２を計算させ、Ｚ軸に対してＸ方向に互いに対称的に配置されている３対のブッシュの各対の中間点のうち、Ｚ軸方向に並んだ中間点の両端の２つの座標値Ｅｙｍｉｊを結ぶ直線に対して、これらの間の中間点のＥｙｍｉｊの値の振れ幅を、前記両端の中間点間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＺ方向機械軸の左右方向の真直度として出力装置に出力させる。

また、ＹＺ面内において、並べて配列され、Ｚ軸に対してＹ方向に互いに対称的に配置されているｉ番目とｊ番目のブッシュの対に対して、前記コンピュータに、
ＸｆｉとＸｆｊの平均値Ｅｘｆｉｊ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｆｊ）／２を計算させるとともに、
ＸｒｉとＸｒｊの平均値Ｅｘｒｉｊ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｆｊ）／２を計算させ、
上記ＥｘｆｉｊとＥｘｒｉｊの平均値Ｅｘｍｉｊ＝（Ｅｙｆｉｊ＋Ｅｙｒｉｊ）／２を計算させ、Ｚ軸に対してＹ方向に互いに対称的に配置されている３対のブッシュの各対の中間点のうち、Ｚ軸方向に並んだ中間点の両端の２つの座標値Ｅｘｍｉｊを結ぶ直線に対して、これらの間の中間点のＥｘｍｉｊの値の振れ幅を、前記両端の中間点間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＺ方向機械軸の前後方向の真直度として出力装置に出力させる

また、本発明は、第２に、前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸方向の直角度を前述したマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムである。

このプログラムでは、基準位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｆ１，Ｙｆ１）、（Ｘｆ３，Ｙｆ３）、Ｙ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標をそれぞれ（Ｘｆ２，Ｙｆ２）、（Ｘｆ４，Ｙｆ４）とするとき、コンピュータに、Ｒｘｙｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１−Ｙｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ２−Ｘｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））を計算させる。

また、反転位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｒ１，Ｙｒ１）、（Ｘｒ３，Ｙｒ３）、Ｙ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標をそれぞれ（Ｘｒ２，Ｙｒ２）、（Ｘｒ４，Ｙｒ４）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｘｙｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１−Ｙｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ２−Ｘｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））を計算させ、次いで、ＲｘｙｆとＲｘｙｒの平均値Ｒｘｙｍ＝（Ｒｘｙｆ＋Ｒｘｙｒ）／２を計算させる。

さらに、これらのブッシュに対応するＸ、Ｙ座標の基準値をそれぞれ（Ｘｓ１，Ｙｓ１）、（Ｘｓ３，Ｙｓ３）、（Ｘｓ２，Ｙｓ２）、（Ｘｓ４，Ｙｓ４）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｘｙｓ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｓ１−Ｙｓ３）／（Ｘｓ１−Ｘｓ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｓ２−Ｘｓ４）／（Ｙｓ２−Ｙｓ４））を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、 機械軸Ｘと機械軸Ｙ間の直角度δｘｙを、δｘｙ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｘｙｍ−９０°）−ｔａｎ（Ｒｘｙｓ−９０°））として計算させてその結果を出力装置に出力させる。

また、基準位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｆ１，Ｚｆ１）、（Ｘｆ３，Ｚｆ３）、Ｘ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｆ５，Ｚｆ５）、（Ｘｆ６，Ｚｆ６）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｆ９，Ｚｆ９）、（Ｘｆ１０，Ｚｆ１０）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ５−Ｘｆ６）／（Ｚｆ５−Ｚｆ６））を計算させる。

また、反転位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｒ１，Ｚｒ１）、（Ｘｒ３，Ｚｒ３）、Ｘ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｒ５，Ｚｒ５）、（Ｘｒ６，Ｚｒ６）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｒ９，Ｚｒ９）、（Ｘｒ１０，Ｚｒ１０）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ５−Ｘｒ６）／（Ｚｒ５−Ｚｒ６））を計算させ、次いで、ＲｘｚｆとＲｘｚｒの平均値Ｒｘｚｍ＝（Ｒｘｚｆ＋Ｒｘｚｒ）／２を計算させる。

また、前記コンピュータに、Ｒ’ｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ９−Ｘｆ１０）／（Ｚｆ９−Ｚｆ１０））を計算させ、Ｒ’ｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ９−Ｘｒ１０）／（Ｚｒ９−Ｚｒ１０））を計算させ、次いで、Ｒ’ｘｚｆとＲ’ｘｚｒの平均値Ｒ’ｘｚｍ＝（Ｒ’ｘｚｆ＋Ｒ’ｘｚｒ）／２を計算させる。

さらに、ＲｘｚｍとＲ’ｘｚｍとの平均値Ｒｘｚ＝（Ｒｘｚｍ＋Ｒ’ｘｚｍ）／２を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、機械軸Ｘと機械軸Ｚ間の直角度δｘｚをδｘｚ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｘｚ−９０°）として計算させてその結果を出力装置に出力させる。

また、基準位置におけるブロック本体上面のＹ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｙｆ２，Ｚｆ２）、（Ｙｆ４，Ｚｆ４）、Ｙ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｆ７，Ｚｆ７）、（Ｙｆ８，Ｚｆ８）、Ｙ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｆ１１，Ｚｆ１１）、（Ｙｆ１２，Ｚｆ１２）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ７−Ｙｆ８）／（Ｚｆ７−Ｚｆ８））を計算させる。

また、反転位置におけるブロック本体上面のＹ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｙｒ２，Ｚｒ２）、（Ｙｒ４，Ｚｒ４）、Ｙ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｒ７，Ｚｒ７）、（Ｙｒ８，Ｚｒ８）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｒ１１，Ｚｒ１１）、（Ｙｒ１２，Ｚｒ１２）とするとき、前記コンピュータに、Ｒｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ７−Ｙｒ８）／（Ｚｒ７−Ｚｒ８））を計算させ、次いで、ＲｙｚｆとＲｙｚｒの平均値Ｒｙｚｍ＝（Ｒｙｚｆ＋Ｒｙｚｒ）／２を計算させる。

また、前記コンピュータに、Ｒ’ｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１１−Ｙｆ１２）／（Ｚｆ１１−Ｚｆ１２））を計算させ、Ｒ’ｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１１−Ｙｒ１２）／（Ｚｒ１１−Ｚｒ１２））を計算させ、次いで、Ｒ’ｙｚｆとＲ’ｙｚｒの平均値Ｒ’ｙｚｍ＝（Ｒ’ｙｚｆ＋Ｒ’ｙｚｒ）／２を計算させる。

さらに、ＲｙｚｍとＲ’ｙｚｍとの平均値Ｒｙｚ＝（Ｒｙｚｍ＋Ｒ’ｙｚｍ）／２を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、機械軸Ｙと機械軸Ｚ間の直角度δｙｚをδｙｚ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｙｚ−９０°）として計算させて、その結果を出力装置に出力させる。

また、本発明は、第３に、前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸方向の指示誤差をマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムである。

本発明の簡易精度評価プログラムにおいては、前述した実測値Ｘｆｉ，Ｙｆｉ，Ｚｆｉ、Ｘｒｉ，Ｙｒｉ，Ｚｒｉ、及び、基準値Ｘｓｉ，Ｙｓｉ、Ｚｓｉの他に、マスタブロックの基準位置におけるｉ番目のブッシュの穴径の実測値Ｄｆｉと、マスタブロックの反転位置におけるｉ番目のブッシュの穴径の実測値Ｄｒｉと、ｉ番目のブッシュの穴径の基準値Ｄｓｉとを基礎入力データとして用いる。

このプログラムでは、コンピュータに、各ブッシュの基準位置と反転位置における、各座標値の平均値Ｘｉ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｒｉ）／２、Ｙｉ＝（Ｙｆｉ＋Ｙｒｉ）／２、Ｚｉ＝（Ｚｆｉ＋Ｚｒｉ）／２、及び、穴径の平均値Ｄｉ＝（Ｄｆｉ＋Ｄｒｉ）／２を計算させる。

次いで、これらの座標値及び穴径の平均値と基準値との差、δＸｉ＝Ｘｉ−Ｘｓｉ、δＹｉ＝Ｙｉ−Ｙｓｉ、δＺｉ＝Ｚｉ−Ｚｓｉ、δＤｉ＝Ｄｉ−Ｄｓｉを計算させて、前記コンピュータに、δＸｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＸ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させる。

また、δＹｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＹ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させ、また、δＺｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＺ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させる。

請求項１記載の座標測定機の精度評価プログラムによれば、特別な知識や技術を必要とすることなく、座標測定機の精度評価を行うための各機械軸の真直度をパソコン等のコンピュータにより容易に計算することができる。

また、請求項２記載の座標測定機の精度評価プログラムによれば、特別な知識や技術を必要とすることなく、座標測定機の精度評価を行うための各機械軸間の直角度をパソコン等のコンピュータにより容易に計算することができる。

さらに、請求項３記載の座標測定機の精度評価プログラムによれば、特別な知識や技術を必要とすることなく、座標測定機の精度評価を行うための各機械軸の最大指示誤差をパソコン等のコンピュータにより容易に計算することができる。

また、請求項１乃至３記載の座標測定機の精度評価プログラムにおいては、市販の表計算ソフトウェアが有しているマクロ機能を利用して容易に作成することが可能である。

図２は、本発明の精度評価プログラムをコンピュータに実行させるに際し、コンピュータに入力する実測データを得るために用いられるマスタブロックの斜視図である。同図に示すように、マスタブロック１は、平坦な上面Ｓ１を有し、また、上面Ｓ１と直角をなして平坦に仕上げられた４つの平坦な側面Ｓ２を有する円筒状のブロック本体１Ａを備えており、このブロック本体１Ａの上面Ｓ１の４カ所と、平坦な４つの側面Ｓ２のそれぞれ上下に２カ所ずつ、合計１２個のブッシュＢ１〜Ｂ１２が取り付けられている。

これらのブッシュＢ１〜Ｂ１２は、平坦に仕上げられた端面Ｃ１と、この端面Ｃ１に対して垂直に形成された円形の穴Ｃ２を有しており、これらの端面Ｃ１と穴Ｃ２の内周面が、図１に示す座標測定機２のプローブ８先端が当接する測定基準面となっている。

ブロック本体１Ａ上面Ｓ１に取り付けられている４つのブッシュＢ１〜Ｂ４は、それぞれの端面Ｃ１が、ブロック本体１Ａ上面Ｓ１と平行な基準平面Ｐ内に位置し、それぞれの穴Ｃ２の中心が、図３に示すように、前記平面Ｐ内で互いに直交する２つの直線（Ｘ軸、Ｙ軸）上で、且つ、これらの直線の交点Ｏから同一距離離れた位置にくるように配置されている。

また、ブロック本体１Ａの側面Ｓ２の８つのブッシュＢ５〜Ｂ１２は、それぞれの平坦な側面Ｓ２に上下に２つずつ、各端面Ｃ１がこれらの側面Ｓ２に平行に設けられ、且つ、各ブッシュＢ５〜Ｂ１２の穴Ｃ２の中心軸線がそれぞれ、互いに直交し且つ平面Ｐとも直交する一対の垂直面Ｖ１またはＶ２内に位置するように配置されている。

本発明の座標測定機の精度評価プログラムは、図２及び図３に示す、12個のブッシュＢ１〜Ｂ１２の端面Ｃ１上での穴Ｃ２の中心の座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）、及び、それぞれのブッシュ穴径寸法の測定を、マスタブロック１をその垂直軸（Ｚ軸）線に対して0度位置と、180度反転させた位置で繰り返し行い、得られた測定データから測定に用いた座標測定機２の幾何学精度（真直度上下・左右、直角度、指示誤差）を自動的に計算する事を目的に作成されたプログラムであって、コンピュータに入力されたブッシュＢ１〜Ｂ１２の座標データを解析してマスタブロック１自体の製作誤差を除去する計算プロセスと、前記誤差が補償された座標データに基づいて、座標測定機の誤差評価を行う計算プロセスからなる。

本発明の座標測定機の精度評価プログラムにおいては、コンピュータに入力された各ブッシュの座標データから、座標測定機２のプローブ８を３次元の各移動方向に沿って動かしたときの、所定長の移動距離当たりの、移動方向と直角方向のプローブ８の蛇行幅の最大値をそれぞれの機械軸（移動軸）の真直度としてコンピュータに計算させるようにしている。

また、本発明の座標測定機の精度評価プログラムにおいては、コンピュータに入力された各ブッシュの座標データから、座標測定機２のプローブ８が移動する各方向がなす角度の直角からのずれを直角度としてコンピュータに計算させるようにしている。

さらに、本発明の座標測定機の精度評価プログラムにおいては、コンピュータに入力された各ブッシュの座標データから、座標測定機２のプローブ８が移動する各方向に対して、座標測定機２の指示誤差を計算している。

以下、本発明の座標測定機の精度評価プログラムの具体的な実施例を説明する。
本発明のプログラムを用いて座標測定機２の精度評価を実施するための準備として、マスタブロック１の各ブッシュＢ１〜Ｂ１２の端面上の穴中心の位置、及び、穴径の基準値の実測を行う。

実測を行う前に、マスタブロック１は十分温度慣らしが行われ、キズ・打痕・ゴミの付着等が無くきれいに清掃されていることを確認しておく。なお、測定に使用されるマスタブロック１は、各ブッシュＢ１〜Ｂ１２の端面上の穴中心の位置、及び、穴径の基準値は、米国標準研究所（Ｎ．Ｉ．Ｓ．Ｔ）の基準に基づいて高精度に測定された値としてあらかじめ判っている。

マスタブロック１は、図２及び図３に示すように、ブッシュＢ５、Ｂ６が設けられている側面を座標測定機１の機械座標系におけるＸ軸の正方向に向け、図１に示すように座標測定機１の測定テーブル３上に治具パレット４を介して固定する。

次に、マスタブロック１を基準とした基準座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を設定する。そのために、まずマスタブロック１上面に取り付けられているブッシュＢ１〜Ｂ４の各端面Ｃ１を一点ずつ、合計４点にプローブ８を当てて位置を測定し、これらの４点で形成される平面Ｐを前記基準座標系のＺ軸基準面（Ｚ＝０）とする。

次にブッシュＢ１〜Ｂ４の穴Ｃ２の内径測定を行って内周面各4点でそれぞれ穴中心を求め、ブッシュＢ1、Ｂ.3及びブッシュＢ２、Ｂ４の中心を結んでその交点を、原点（０，０，０）とする。以上の手順によって、基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が決定される。

なお、ここでは、図１における座標測定機２の３つの機械軸方向に設定されている機械座標系と、ここで求めた基準座標系とは、共に、Ｘ、Ｙ、Ｚで表記しているが、これらは異なる座標系であり、以下では、基準座標系を用いて説明する。

前述した手順によって基準座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を決定したら、次に、座標測定機２により、基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）におけるマスタブロック１の各ブッシュＢ１〜Ｂ１２の端面上の穴中心の位置、及び、穴径の測定を、マスタブロック１の垂直軸回りの０°位置、すなわち、図１のように座標測定機２にマスタブロック１をセットした位置と、180度反転位置、すなわち座標測定機２にマスタブロック１を前後反対向きにセットした位置にて各々3回ずつ繰り返し実測して平均値を計算し、コンピュータに入力するための下記の基本データを収集する。

（マスタブロック１の０°位置）
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｆ１ 基準値：Ｘｓ１
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｆ１ 基準値：Ｙｓ１
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｆ１ 基準値：Ｚｓ１
ブッシュＢ１の穴径（平均値） ：Ｄｆ１ 基準値：Ｄｓ１

なお、基準値は、マスタブロック１の基準座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に対する数値である。
ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｆ２ 基準値：Ｘｓ２
ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｆ２ 基準値：Ｙｓ２
ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｆ２ 基準値：Ｚｓ２
ブッシュＢ２の穴径（平均値） ：Ｄｆ２ 基準値：Ｄｓ２
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ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｆ１２ 基準値：Ｘｓ１２
ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｆ１２ 基準値：Ｙｓ１２
ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｆ１２ 基準値：Ｚｓ１２
ブッシュＢ１２の穴径（平均値） ：Ｄｆ１２ 基準値：Ｄｓ１２

（マスタブロック１の１８０°反転位置）
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｒ１
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｒ１
ブッシュＢ１端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｒ１
ブッシュＢ１の穴径（平均値） ：Ｄｒ１

ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｒ２
ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｒ２
ブッシュＢ２端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｒ２
ブッシュＢ２の穴径（平均値） ：Ｄｒ２
・
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・
ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＸ座標（平均値）：Ｘｒ１２
ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＹ座標（平均値）：Ｙｒ１２
ブッシュＢ１２端面と、穴の中心軸との交点のＺ座標（平均値）：Ｚｒ１２
ブッシュＢ１２の穴径（平均値） ：Ｄｒ１２

真直度計算手順（Ｘ軸のＹ方向真直度Δｘｙ）
ここでは、プローブ８がＸ軸方向に移動して測定する際のＹ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９のＹ座標実測データＹｆ１、Ｙｆ３、Ｙｆ５、Ｙｆ９、Ｙｒ１、Ｙｒ３、Ｙｒ５、Ｙｒ９、及び、Ｙ座標基準値、Ｙｓ１、Ｙｓ３、Ｙｓ５、Ｙｓ９を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の０°位置で求めた、これらのブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９の実測データについて、コンピュータ上で下記の値を算出する。
ブッシュＢ１の実測値と基準値の差：Ｅｙｆ１＝Ｙｆ１−Ｙｓ１
ブッシュＢ３の実測値と基準値の差：Ｅｙｆ３＝Ｙｆ３−Ｙｓ３
ブッシュＢ５の実測値と基準値の差：Ｅｙｆ５＝Ｙｆ５−Ｙｓ５
ブッシュＢ９の実測値と基準値の差：Ｅｙｆ９＝Ｙｆ９−Ｙｓ９

（ステップ２）
次に、マスタブロック１の１８０°位置で求めた、これらのブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９の実測データについて、コンピュータ上で下記の値を算出する。
ブッシュＢ１の実測値と基準値の差：Ｅｙｒ１＝Ｙｒ１＋Ｙｓ１
ブッシュＢ３の実測値と基準値の差：Ｅｙｒ３＝Ｙｒ３＋Ｙｓ３
ブッシュＢ５の実測値と基準値の差：Ｅｙｒ５＝Ｙｒ５＋Ｙｓ５
ブッシュＢ９の実測値と基準値の差：Ｅｙｒ９＝Ｙｒ９＋Ｙｓ９

（ステップ３）
次に、コンピュータ上で、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値をそれぞれのブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９について計算する。
すなわち、
ブッシュＢ１の前記差の平均値：Ｅｙｍ１＝（Ｅｙｆ１＋Ｅｙｒ１）／２
ブッシュＢ３の前記差の平均値：Ｅｙｍ３＝（Ｅｙｆ３＋Ｅｙｒ３）／２
ブッシュＢ５の前記差の平均値：Ｅｙｍ５＝（Ｅｙｆ５＋Ｅｙｒ５）／２
ブッシュＢ９の前記差の平均値：Ｅｙｍ９＝（Ｅｙｆ９＋Ｅｙｒ９）／２
前記ステップ３の演算により、マスタブロック１自体の有している誤差は排除され、Ｅｘｙｍ１、Ｅｘｙｍ３、Ｅｘｙｍ５、Ｅｘｙｍ９は、Ｘ軸の左右方向真直度計算の基準データとなる。

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＸ軸方向に沿って、ブッシュＢ５、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３、ブッシュＢ９の順に並んでいるので、ブッシュＢ５のＥｙｍ５を基準（＝０）として、プローブ８がブッシュＢ９まで移動する間のＹ軸方向の振れを求め、振れ幅の最大値Δｙを真直度とする。

すなわち、
ブッシュＢ５におけるＹ軸方向の振れ：δＹ５＝Ｅｙｍ５−Ｅｙｍ５＝０
ブッシュＢ１におけるＹ軸方向の振れ：δＹ１＝Ｅｙｍ１−Ｅｙｍ５
ブッシュＢ３におけるＹ軸方向の振れ：δＹ３＝Ｅｙｍ３−Ｅｙｍ５
ブッシュＢ９のおけるＹ軸方向の振れ：δＹ９＝Ｅｙｍ９−Ｅｙｍ５

図４〜図６は、前述した手順で計算された各ブッシュ位置におけるプローブ８の振れをプロットして図示したものであって、図４は、プローブ８のＸ軸方向の移動につれて、Ｓ字状にうねる場合を示している。また、図５と図６は、それぞれ片側に弓形にうねる場合を示している。

ここで、Ｘ軸のＹ方向真直度Δｘｙは、ブッシュＢ５とブッシュＢ９を結んだ直線Ｌ方向へプローブが移動する際に、その移動距離（本実施例においては２５０ｍｍ）に対する最大振れ幅として求められる。ここで、δＹ９の値は、ブッシュＢ５とブッシュＢ９間のＸ軸方向距離（それぞれの端面と穴中心軸線との交点間距離）２５０ｍｍに対してほとんど無視できる量であるので、真直度ΔｘｙはＸ軸方向の２５０ｍｍの変位に対するものとして差し支えない。

なお、図４のように直線Ｌの両側に振れる場合には、真直度Δｘｙ＝Ｈ１＋Ｈ３となる。また、図５、図６のように直線Ｌに対して片側に振れる場合には、ΔｘｙはＨ１とＨ３のうちの何れか大きい方となる。

Ｈ１とＨ３は、図７を参照して以下のように厳密に計算することができる。ここでは、ブッシュＢ５とブッシュＢ３間のＸ軸方向距離が２００ｍｍ、ブッシュＢ５とブッシュＢ１間のＸ軸方向距離が５０ｍｍとする。

同図において、θは、ブッシュＢ５のずれ分δＹ５＝０として、ブッシュＢ９のずれ分δＹ９がＸ軸方向２５０ｍｍのストロークで作る角度で、
θ＝ａｒｃｔａｎ(δＹ９／２５０ｍｍ）

αは、ブッシュＢ５のずれ分δＹ５＝０として、ブッシュＢ３のずれ分δＹ３がＸ軸方向２００ｍｍのストロークで作る角度で、
α＝ａｒｃｔａｎ(δＹ３／２００ｍｍ）

βは、ブッシュＢ５のずれ分δＹ５＝０として、ブッシュＢ１のずれ分δＹ１がＸ軸方向５０ｍｍのストロークで作る角度で、
β＝ａｒｃｔａｎ(δＹ１／５０ｍｍ）

ここで、α、βは非常に小さい角度であるので、Ｈ１，Ｈ３は次のようになる。
Ｈ１（ｍｍ）＝５０ｍｍ×ｓｉｎ（θ−β）
Ｈ３（ｍｍ）＝２００ｍｍ×ｓｉｎ（θ−α）
上記の計算式により、図４〜図６の各ケースについて、真直度Δｘｙは、Ｈ１、Ｈ３、δＹ５（＝０）、δＹ３のそれぞれの絶対値どうしを比較して、その最小値と最大値の和によって求められる。

（Ｘ軸のＺ方向真直度：Δｘｚ）
ここでは、プローブ８がＸ軸方向に移動して測定する際のＺ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９のＺ座標実測データＺｆ１、Ｚｆ３、Ｚｆ５、Ｚｆ９、Ｚｒ１、Ｚｒ３、Ｚｒ５、Ｚｒ９、及び、Ｚ座標基準値、Ｚｓ１、Ｚｓ３、Ｚｓ５、Ｚｓ９を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の０°位置で求めた、これらのブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ１の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ１＝Ｚｆ１−Ｚｓ１
ブッシュＢ３の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ３＝Ｚｆ３−Ｚｓ３
ブッシュＢ５の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ５＝Ｚｆ５−Ｚｓ５
ブッシュＢ９の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ９＝Ｚｆ９−Ｚｓ９

（ステップ２）
次に、マスタブロック１の１８０°位置で求めた、これらのブッシュＢ１、Ｂ３、Ｂ５、Ｂ９の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ１の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ１＝Ｚｒ１−Ｚｓ１
ブッシュＢ３の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ３＝Ｚｒ３−Ｚｓ３
ブッシュＢ５の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ５＝Ｚｒ５−Ｚｓ５
ブッシュＢ９の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ９＝Ｚｒ９−Ｚｓ９

（ステップ３）
次に、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値をそれぞれのブッシュＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４について計算する。
すなわち、
ブッシュＢ１の前記差の平均値：Ｅｚｍ１＝（Ｅｚｆ１＋Ｅｚｒ１）／２
ブッシュＢ３の前記差の平均値：Ｅｚｍ３＝（Ｅｚｆ３＋Ｅｚｒ３）／２
ブッシュＢ５の前記差の平均値：Ｅｚｍ５＝（Ｅｚｆ５＋Ｅｚｒ５）／２
ブッシュＢ９の前記差の平均値：Ｅｚｍ９＝（Ｅｚｆ９＋Ｅｚｒ９）／２

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＸ軸方向に沿って、ブッシュＢ５、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３、ブッシュＢ９の順に並んでいるので、ブッシュＢ５のＥｚｍ５を基準（＝０）として、プローブ８がブッシュＢ９まで移動する間のＺ軸方向の振れを求め、振れ幅の最大値Δｘzを真直度とする。

すなわち、
ブッシュＢ５におけるＺ軸方向の振れ：δＺ５＝Ｅｚｍ５−Ｅｚｍ５＝０
ブッシュＢ１におけるＺ軸方向の振れ：δＺ１＝Ｅｚｍ１−Ｅｚｍ５
ブッシュＢ３におけるＺ軸方向の振れ：δＺ３＝Ｅｚｍ３−Ｅｚｍ５
ブッシュＢ９のおけるＺ軸方向の振れ：δＺ９＝Ｅｚｍ９−Ｅｚｍ５

真直度Δｘzは、前述したＸ軸のＹ方向真直度を計算した場合と同様に、ブッシュＢ５とブッシュＢ９を結んだ直線長に対しての最大振れ幅として求められる。ここで、δＺ９の値は、ブッシュＢ５とブッシュＢ９間のＸ軸方向距離（それぞれの端面が含まれる平面と穴中心軸線との交点間の距離）２５０ｍｍに対してほとんど無視できる量であるので、真直度ΔｘzはＸ軸方向の２５０ｍｍの移動量に対するものとして差し支えない。

（Ｙ軸のＸ方向真直度：Δｙｘ）
ここでは、プローブ８がＹ軸方向に移動して測定する際のＸ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１のＸ座標実測データＸｆ２、Ｘｆ４、Ｘｆ７、Ｘｆ１１、Ｘｒ２、Ｙｒ４、Ｙｒ７、Ｙｒ１１、及び、Ｘ座標基準値、Ｘｓ２、Ｘｓ４、Ｘｓ７、Ｘｓ１１を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の０°位置で求めた、これらのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ２の実測値と基準値の差：Ｅｘｆ２＝Ｘｆ２−Ｘｓ２
ブッシュＢ４の実測値と基準値の差：Ｅｘｆ４＝Ｘｆ４−Ｘｓ４
ブッシュＢ７の実測値と基準値の差：Ｅｘｆ７＝Ｘｆ７−Ｘｓ７
ブッシュＢ１１の実測値と基準値の差：Ｅｘｆ１１＝Ｘｆ１１−Ｘｓ１１

（ステップ２）
次に、マスタブロック１の１８０°位置で求めた、これらのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ２の実測値と基準値の差：Ｅｘｒ２＝Ｘｒ２＋Ｘｓ２
ブッシュＢ４の実測値と基準値の差：Ｅｘｒ４＝Ｘｒ４＋Ｘｓ４
ブッシュＢ７の実測値と基準値の差：Ｅｘｒ７＝Ｘｒ７＋Ｘｓ７
ブッシュＢ１１の実測値と基準値の差：Ｅｘｒ１１＝Ｘｒ１１＋Ｘｓ１１

（ステップ３）
次に、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値をそれぞれのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１について計算する。
すなわち、
ブッシュＢ２の前記差の平均値：Ｅｘｍ２＝（Ｅｘｆ２＋Ｅｘｒ２）／２
ブッシュＢ４の前記差の平均値：Ｅｘｍ４＝（Ｅｘｆ４＋Ｅｘｒ４）／２
ブッシュＢ７の前記差の平均値：Ｅｘｍ７＝（Ｅｘｆ７＋Ｅｘｒ７）／２
ブッシュＢ１１の前記差の平均値：Ｅｘｍ１１＝（Ｅｘｆ１１＋Ｅｘｒ１１）／２

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＹ軸方向に沿って、ブッシュＢ７、ブッシュＢ２、ブッシュＢ４、ブッシュＢ１１の順に並んでいるので、ブッシュＢ７のＥｘｍ７を基準（＝０）として、プローブ８がブッシュＢ１１まで移動する間のＸ軸方向の振れを求め、振れ幅の最大値Δｙxを真直度とする。

すなわち、
ブッシュＢ７におけるＸ軸方向の振れ：δＸ７＝Ｅｘｍ７−Ｅｘｍ７＝０
ブッシュＢ２におけるＸ軸方向の振れ：δＸ２＝Ｅｘｍ２−Ｅｘｍ７
ブッシュＢ４におけるＸ軸方向の振れ：δＸ４＝Ｅｘｍ４−Ｅｘｍ７
ブッシュＢ１１のおける軸Ｘ方向の振れ：δＸ１１＝Ｅｘｍ１１−Ｅｘｍ７

真直度Δｙｘは、前述したＸ軸のＹ方向真直度を計算した場合と同様に、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１を結んだ直線長に対しての最大振れ幅として求められる。ここで、δＸ１１の値は、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１間のＹ軸方向距離２５０ｍｍに対してほとんど無視できる量であるので、真直度ΔｙｘはＹ軸方向の２５０ｍｍの変位に対するものとして差し支えない。

（Ｙ軸のＺ方向真直度：Δｙｚ）
ここでは、プローブ８がＹ軸方向に移動して測定する際のＺ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１のＺ座標実測データＺｆ２、Ｚｆ４、Ｚｆ７、Ｚｆ１１、Ｚｒ２、Ｚｒ４、Ｚｒ７、Ｚｒ１１、及び、Ｚ座標基準値、Ｚｓ２、Ｚｓ４、Ｚｓ７、Ｚｓ１１を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の０°位置で求めた、これらのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ２の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ２＝Ｚｆ２−Ｚｓ２
ブッシュＢ４の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ４＝Ｚｆ４−Ｚｓ４
ブッシュＢ７の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ７＝Ｚｆ７−Ｚｓ７
ブッシュＢ１１の実測値と基準値の差：Ｅｚｆ１１＝Ｚｆ１１−Ｚｓ１１

（ステップ２）
次に、マスタブロック１の１８０°位置で求めた、これらのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１の実測データについて、下記の演算を行う。
ブッシュＢ２の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ２＝Ｚｒ２−Ｚｓ２
ブッシュＢ４の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ４＝Ｚｒ４−Ｚｓ４
ブッシュＢ７の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ７＝Ｚｒ７−Ｚｓ７
ブッシュＢ１１の実測値と基準値の差：Ｅｚｒ１１＝Ｚｒ１１−Ｚｓ１１

（ステップ３）
次に、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値をそれぞれのブッシュＢ２、Ｂ４、Ｂ７、Ｂ１１について計算する。
すなわち、
ブッシュＢ２の前記差の平均値：Ｅｚｍ２＝（Ｅｚｆ２＋Ｅｚｒ２）／２
ブッシュＢ４の前記差の平均値：Ｅｚｍ４＝（Ｅｚｆ４＋Ｅｚｒ４）／２
ブッシュＢ７の前記差の平均値：Ｅｚｍ７＝（Ｅｚｆ７＋Ｅｚｒ７）／２
ブッシュＢ１１の前記差の平均値：Ｅｚｍ１１＝（Ｅｚｆ１１＋Ｅｚｒ１１）／２

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＹ軸方向に沿って、ブッシュＢ７、ブッシュＢ２、ブッシュＢ４、ブッシュＢ１１の順に並んでいるので、ブッシュＢ７のＥｚｍ７を基準（＝０）として、プローブ８がブッシュＢ１１まで移動する間のＺ軸方向の振れを求め、振れ幅の最大値Δｙzを真直度とする。

すなわち、
ブッシュＢ７におけるＺ軸方向の振れ：δＺ７＝Ｅｚｍ７−Ｅｚｍ７＝０
ブッシュＢ２におけるＺ軸方向の振れ：δＺ２＝Ｅｚｍ２−Ｅｚｍ７
ブッシュＢ４におけるＺ軸方向の振れ：δＺ４＝Ｅｚｍ４−Ｅｚｍ７
ブッシュＢ１１のおけるＺ軸方向の振れ：δＺ１１＝Ｅｚｍ１１−Ｅｚｍ７

真直度Δｙｚは、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１を結んだ直線長に対しての最大振れ幅として求められる。ここで、δＺ１１の値は、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１間のＹ軸方向距離２５０ｍｍに対してほとんど無視できる量であるので、真直度ΔｙzはＹ軸方向の２５０ｍｍの変位に対するものとして差し支えない。

（Z軸のY方向真直度Δｚｙ）
ここでは、プローブ８がZ軸方向に移動して測定する際のＹ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ２とブッシュＢ４、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１、ブッシュＢ８とブッシュ１２のＹ座標実測データＹｆ２、Ｙｆ４、Ｙｆ７、Ｙｆ１１、Ｙｆ８、Ｙf１２、Ｙｒ２、Ｙｒ４、Ｙｒ７、Ｙｒ１１、Ｙｒ８、Ｙｒ１２を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の垂直中心軸線に対して互いに対称的に配置されているブッシュＢ２とブッシュＢ４、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１、ブッシュＢ８とブッシュ１２の、マスタブロック１の０°位置（基準位置）で求めた実測データについて、下記の演算を行なって、中点Ｙ座標値を計算する。

ブッシュＢ２とブッシュＢ４の中点Ｙ座標値：Ｅｙｆ２４＝（Ｙｆ２＋Ｙｆ４）／２
ブッシュＢ７とブッシュＢ１１の中点Ｙ座標値：Ｅｙｆ７１１＝（Ｙｆ７＋Ｙｆ１１）／２
ブッシュＢ８とブッシュＢ１２の中点Ｙ座標値：Ｅｙｆ８１２＝（Ｙｆ８＋Ｙｆ１２）／２

（ステップ２）
マスタブロック１の垂直中心軸線に対して互いに対称的に配置されているブッシュＢ２とブッシュＢ４、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１、ブッシュＢ８とブッシュ１２の、マスタブロック１の１８０°位置（反転位置）で求めた実測データについて、下記の演算を行なって、中点Ｙ座標値を計算する。

ブッシュＢ２とブッシュＢ４の中点Ｙ座標値：Ｅｙｒ２４＝（Ｙｒ２＋Ｙｒ４）／２
ブッシュＢ７とブッシュＢ１１の中点Ｙ座標値：Ｅｙｒ７１１＝（Ｙｒ７＋Ｙｒ１１）／２
ブッシュＢ８とブッシュＢ１２の中点Ｙ座標値：Ｅｙｒ８１２＝（Ｙｒ８＋Ｙｒ１２）／２

（ステップ３）
次に、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値を下記のようにそれぞれの計算する。
ブッシュＢ２とブッシュＢ４の中点Ｙ座標値の平均値：Ｅｙｍ２４＝（Ｅｙｆ２４＋Ｅｙｒ２４）／２
ブッシュＢ７とブッシュＢ１１の中点Ｙ座標値の平均値：Ｅｙｍ７１１＝（Ｅｙｆ７１１＋Ｅｙｒ７１１）／２
ブッシュＢ８とブッシュＢ１２の中点Ｙ座標値の平均値：Ｅｙｍ８１２＝（Ｅｙｆ８１２＋Ｅｙｒ８１２）／２

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＺ軸方向に沿って、ブッシュＢ２及びブッシュＢ４の中点、ブッシュＢ７とブッシュＢ１１の中点、ブッシュＢ８とブッシュＢ１２の中点の順に並んでいるので、ブッシュＢ２とブッシュＢ４の中点Ｙ座標値の平均値Ｅｙｍ２４を基準（＝０）としたときに、これらの各中点における振れを下記のように計算する。

δＹ２４＝Ｅｙｍ２４−Ｅｙｍ２４＝０
δＹ７１１＝Ｅｙｍ７１１−Ｅｙｍ２４
δＹ８１２＝Ｅｙｍ８１２−Ｅｙｍ２４
ここで、真直度Δｚｙは、中点Ｅｙ２４とＥｙ８１２を結んだ直線長（この実施例においては、１５０ｍｍ）に対しての最大振れ幅として求められる。

（Z軸のＸ方向真直度Δｚｘ）
ここでは、プローブ８がZ軸方向に移動して測定する際のＸ軸方向への振れ量を計算するため、前述したブッシュＢ１とブッシュＢ３、ブッシュＢ５とブッシュＢ９、ブッシュＢ６とブッシュ１０の
Ｘ座標実測データＸｆ１、Ｘｆ３、Ｘｆ５、Ｘｆ９、Ｘｆ６、Ｘf１０、Ｘｒ１、Ｘｒ３、Ｘｒ５、Ｘｒ９、Ｘｒ６、Ｘｒ１０を選定する。

（ステップ１）
マスタブロック１の垂直中心軸線に対して互いに対称的に配置されているブッシュＢ１とブッシュＢ３、ブッシュＢ５とブッシュＢ９、ブッシュＢ６とブッシュ１０の、マスタブロック１の０°位置で求めた実測データについて、下記の演算を行なって、中点Ｘ座標値を計算する。

ブッシュＢ１とブッシュＢ３の中点Ｘ座標値：Ｅｘｆ１３＝（Ｘｆ１＋Ｘｆ３）／２
ブッシュＢ５とブッシュＢ９の中点Ｘ座標値：Ｅｘｆ５９＝（Ｘｆ５＋Ｘｆ９）／２
ブッシュＢ６とブッシュＢ１０の中点Ｘ座標値：Ｅｘｆ６１０＝（Ｘｆ６＋Ｘｆ１０）／２

（ステップ２）
マスタブロック１の垂直中心軸線に対して互いに対称的に配置されているブッシュＢ１とブッシュＢ３、ブッシュＢ５とブッシュＢ９、ブッシュＢ６とブッシュ１０の、マスタブロック１の１８０°位置で求めた実測データについて、下記の演算を行なって、中点Ｘ座標値を計算する。

ブッシュＢ１とブッシュＢ３の中点Ｘ座標値：Ｅｘｒ１３＝（Ｘｒ１＋Ｘｒ３）／２
ブッシュＢ５とブッシュＢ９の中点Ｘ座標値：Ｅｘｒ５９＝（Ｘｒ５＋Ｘｒ９）／２
ブッシュＢ６とブッシュＢ１０の中点Ｘ座標値：Ｅｘｒ６１０＝（Ｘｒ６＋Ｘｒ１０）／２

（ステップ３）
次に、前記ステップ１とステップ２で求めた値の平均値を下記のようにそれぞれの計算する。
ブッシュＢ１とブッシュＢ３の中点Ｘ座標値の平均値：Ｅｘｍ１３＝（Ｅｘｆ１３＋Ｅｘｒ１３）／２
ブッシュＢ５とブッシュＢ９の中点Ｘ座標値の平均値：Ｅｘｍ５９＝（Ｅｘｆ５９＋Ｅｘｒ５９）／２
ブッシュＢ６とブッシュＢ１０の中点Ｘ座標値の平均値：Ｅｘｍ６１０＝（Ｅｘｆ６１０＋Ｅｘｒ６１０）／２

（ステップ４）
ここでは、基準座標系のＺ軸方向に沿って、ブッシュＢ１及びブッシュＢ３の中点、ブッシュＢ５とブッシュＢ９の中点、ブッシュＢ６とブッシュＢ１０の中点の順に並んでいるので、ブッシュＢ１とブッシュＢ３の中点Ｘ座標値の平均値Ｅｘｍ１３を基準（＝０）としたときに、これらの各中点における振れはそれぞれ、
δＸ１３＝Ｅｘｍ１３−Ｅｘｍ１３＝０
δＸ５９＝Ｅｘｍ５９−Ｅｘｍ１３
δＸ６１０＝Ｅｘｍ６１０−Ｅｘｍ１３
となる。

ここで、真直度Δｚｘは、中点Ｅｘｍ１３とＥｘｍ６１０を結んだ直線長（この実施例においては、１５０ｍｍ）に対しての最大振れ幅として求められる。

Ｘ−Ｙ軸実測値による機械の直角度の計算手順（Ｘ軸とＹ軸間の直角度）
座標測定機の機械軸における、Ｘ軸とＹ軸間の直角度は、図８に示すように、基準座標系のＸＹ平面内において、ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線がなす角度の直角からのずれの度合いを示すものである。

（ステップ１）
ブッシュＢ１、ブッシュＢ２、ブッシュＢ３、ブッシュＢ４の中心の０°側（基準位置側）で求めた各座標値（Ｘｆ１、Ｙｆ１）、（Ｘｆ２、Ｙｆ２）、（Ｘｆ３、Ｙｆ３）、（Ｘｆ４、Ｙｆ４）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｘｙｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１−Ｙｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ２−Ｘｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））

（ステップ２）
ブッシュＢ１、ブッシュＢ２、ブッシュＢ３、ブッシュＢ４の中心の１８０°側（反転位置側）で求めた各座標値（Ｘｒ１、Ｙｒ１）、（Ｘｒ２、Ｙｒ２）、（Ｘｒ３、Ｙｒ３）、（Ｘｒ４、Ｙｒ４）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｘｙｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１−Ｙｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ２−Ｘｒ４）／（Ｙｆｒ−Ｙｒ４））

（ステップ３）
次に、０°側（基準位置側）で算出した角度Ｒｘｙｆと１８０°側（反転位置側）で算出した角度Ｒｘｙｒの平均値：Ｒｘｙｍ＝（Ｒｘｙｆ＋Ｒｘｙｒ）／２を算出する。

（ステップ４）
Ｒｘｙｍに基づく見かけ上の直角度δｘｙａを下記の式で算出する。
δｘｙａ＝Ｌ１×ｔａｎ（Ｒｘｙｍ−９０°）
ここで、Ｌ１は、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３間、及び、ブッシュＢ２、ブッシュＢ４間の中心間距離であり、本実施例においては、これらの距離は１５０ｍｍとしている。

（ステップ５）
マスタブロック自体の基準値によるブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線がなす角度：Ｒｘｙｓ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｓ１−Ｙｓ３）／（Ｘｓ１−Ｘｓ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｓ２−Ｘｓ４）／（Ｙｓ２−Ｙｓ４））を算出する。

（ステップ６）
Ｒｘｙｓに基づくマスタブロックのブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線との間の直角度δｘｙｓを下記の式で算出する。
δｘｙｓ＝Ｌ１×ｔａｎ（Ｒｘｙｓ−９０°）

（ステップ７）
これから、マスタブロック自体の角度誤差を排除した真のＸ軸とＹ軸間の直角度δｘｙを下記の式で算出する。
δｘｙ＝δｘｙａ−δｘｙｓ＝Ｌ１×（ｔａｎ（Ｒｘｙｍ−９０°）−ｔａｎ（Ｒｘｙｓ−９０°））

Ｘ−Ｚ軸実測値による機械の直角度の計算手順（Ｘ軸とＺ軸間の直角度）
座標測定機の機械軸における、Ｘ軸とＺ軸間の直角度は、基準座標系のＸＺ平面内において、ブッシュＢ１とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ５、ブッシュＢ６の中心を結ぶ直線または、ブッシュＢ９、ブッシュＢ１０の中心を結ぶ直線がなす角度の直角からのずれの度合いを示すものであって、以下のステップ１〜ステップ８の手順にしたがって算出することができる。

（ステップ１）
ブッシュＢ１、ブッシュＢ３とブッシュＢ５、ブッシュＢ６の中心の０°側（基準位置側）で求めた各座標値（Ｘｆ１、Ｚｆ１）、（Ｘｆ３、Ｚｆ３）、（Ｘｆ５、Ｚｆ５）、（Ｘｆ６、Ｚｆ６）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ５、ブッシュＢ６の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ５−Ｘｆ６）／（Ｚｆ５−Ｚｆ６））

（ステップ２）
ブッシュＢ１、ブッシュＢ３とブッシュＢ５、ブッシュＢ６の中心の１８０°側（反転位置側）で求めた各座標値（Ｘｒ１、Ｚｒ１）、（Ｘｒ３、Ｚｒ３）、（Ｘｒ５、Ｚｒ５）、（Ｘｒ６、Ｚｒ６）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ５、ブッシュＢ６の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ５−Ｘｒ６）／（Ｚｒ５−Ｚｒ６））

（ステップ３）
次に、０°側（基準位置側）で算出した角度Ｒｘｚｆと１８０°側（反転位置側）で算出した角度Ｒｘｚｒの平均値：Ｒｘｚｍ＝（Ｒｘｚｆ＋Ｒｘｚｒ）／２を算出する。

（ステップ４）
次に、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３、ブッシュＢ９、ブッシュＢ１０の中心の０°側（基準位置側）で求めた各座標値（Ｘｆ１、Ｚｆ１）、（Ｘｆ３、Ｚｆ３）、（Ｘｆ９、Ｚｆ９）、（Ｘｆ１０、Ｚｆ１０）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ９の中心とブッシュＢ１０の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒ’ｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ９−Ｘｆ１０）／（Ｚｆ９−Ｚｆ１０））

（ステップ５）
次に、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３、ブッシュＢ９、ブッシュＢ１０の中心の１８０°側（反転位置側）で求めた各座標値（Ｘｆ１、Ｚｆ１）、（Ｘｆ３、Ｚｆ３）、（Ｘｆ９、Ｚｆ９）、（Ｘｆ１０、Ｚｆ１０）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ１の中心とブッシュＢ３の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ９の中心とブッシュＢ１０の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：
Ｒ’ｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ９−Ｘｒ１０）／（Ｚｒ９−Ｚｒ１０））

（ステップ６）
次に、０°側（基準位置側）で算出した角度Ｒ’ｘｚｆと１８０°側（反転位置側）で算出した角度Ｒ’ｘｚｒの平均値：Ｒ’ｘｚｍ＝（Ｒ’ｘｚｆ＋Ｒ’ｘｚｒ）／２を算出する。

（ステップ７）
次に、先に算出したＲｘｚｍとＲ’ｘｚｍとの平均値Ｒｘｚ＝（Ｒｘｚｍ＋Ｒ’ｘｚｍ）／２を算出する。
この演算により、マスタブロック自体の誤差は排除される。

（ステップ８）
以上の結果に基づいて、Ｘ軸とＺ軸間の直角度δｘzを下記の式に基づいて算出する。
δｘｚ＝Ｌ１ｔａｎ（Ｒｘｚ−９０°）
ここで、Ｌ１は、ブッシュＢ１、ブッシュＢ３間、ブッシュＢ５、ブッシュＢ６間、ブッシュＢ９、ブッシュＢ１０間のそれぞれの距離であって、本実施例においては、Ｌ１＝１５０ｍｍである。

Ｙ−Ｚ軸実測値による機械の直角度の計算手順（Ｙ軸とＺ軸間の直角度）
座標測定機の機械軸における、Ｙ軸とＺ軸間の直角度は、基準座標系のＹＺ平面において、ブッシュＢ２とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ７、ブッシュＢ８の中心を結ぶ直線または、
ブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２の中心を結ぶ直線がなす角度の直角からのずれの度合いを示すものであって、以下のステップ１〜ステップ８の手順に従って算出することができる。

（ステップ１）
ブッシュＢ２、ブッシュＢ４とブッシュＢ７、ブッシュＢ８の中心の０°側（基準位置側）で求めた各座標値（Ｙｆ２、Ｚｆ２）、（Ｙｆ４、Ｚｆ４）、（Ｙｆ７、Ｚｆ７）、（Ｙｆ８、Ｚｆ８）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ７、ブッシュＢ８の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ７−Ｙｆ８）／（Ｚｆ７−Ｚｆ８））

（ステップ２）
ブッシュＢ２、ブッシュＢ４とブッシュＢ７、ブッシュＢ８の中心の１８０°側（反転位置側）で求めた各座標値（Ｙｒ２、Ｚｒ２）、（Ｙｒ４、Ｚｒ４）、（Ｙｒ７、Ｚｒ７）、（Ｙｒ８、Ｚｒ８）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ７、ブッシュＢ８の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ７−Ｙｒ８）／（Ｚｒ７−Ｚｒ８））

（ステップ３）
次に、０°側（基準位置側）で算出した角度Ｒｙｚｆと１８０°側（反転位置側）で算出した角度Ｒｙｚｒの平均値：Ｒｙｚｍ＝（Ｒｙｚｆ＋Ｒｙｚｒ）／２を算出する。

（ステップ４）
次に、ブッシュＢ２、ブッシュＢ４、ブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２の中心の０°側（基準位置側）で求めた各座標値（Ｙｆ２、Ｚｆ２）、（Ｙｆ４、Ｚｆ４）、（Ｙｆ１１、Ｚｆ１１）、（Ｙｆ１２、Ｚｆ１２）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒ’ｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１１−Ｙｆ１２）／（Ｚｆ１１−Ｚｆ１２））

（ステップ５）
ブッシュＢ２、ブッシュＢ４とブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２の中心の１８０°側（反転位置側）で求めた各座標値（Ｙｒ２、Ｚｒ２）、（Ｙｒ４、Ｚｒ４）、（Ｙｒ１１、Ｚｒ１１）、（Ｙｒ１２、Ｚｒ１２）のデータから、下記の値を算出する。

ブッシュＢ２の中心とブッシュＢ４の中心を結ぶ直線と、ブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２の中心を結ぶ直線どうしがなす角度：Ｒ’ｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１１−Ｙｒ１２）／（Ｚｒ１１−Ｚｒ１２））

（ステップ６）
次に、０°側（基準位置側）で算出した角度Ｒ’ｙｚｆと１８０°側（反転位置側）で算出した角度Ｒ’ｙｚｒの平均値：Ｒ’ｙｚｍ＝（Ｒ’ｙｚｆ＋Ｒ’ｙｚｒ）／２を算出する。

（ステップ７）
次に、先に算出したＲｙｚｍとＲ’ｙｚｍとの平均値Ｒｙｚ＝（Ｒｙｚｍ＋Ｒ’ｙｚｍ）／２を算出する。
この演算により、マスタブロック自体の誤差は排除される。

（ステップ８）
以上の結果に基づいて、Ｙ軸とＺ軸間の直角度δｙzを下記の式に基づいて算出する。
δｙｚ＝Ｌ１ｔａｎ（Ｒｙｚ−９０°）
ここで、Ｌ１は、ブッシュＢ２、ブッシュＢ４間、ブッシュＢ７、ブッシュＢ８間、ブッシュＢ１１、ブッシュＢ１２間のそれぞれの距離であって、本実施例においては、Ｌ１＝１５０ｍｍである。

Ｘ・Ｙ・Ｚ軸最大指示誤差の計算・表示手順
（ステップ１）
ブッシュＢ１〜Ｂ１２の０°位置と１８０°反転位置において測定した座標値の平均値Ｘ１・・Ｘ１２，Ｙ１・・Ｙ１２，Ｚ１・・Ｚ１２と、それぞれの穴径Ｄ１・・Ｄ１２をそれぞれ計算する。
Ｘ１＝（Ｘｆ１＋Ｘｒ１）／２， Ｙ１＝（Ｙｆ１＋Ｙｒ１）／２， Ｚ１＝（Ｚｆ１＋Ｚｒ１）
Ｘ２＝（Ｘｆ２＋Ｘｒ２）／２， Ｙ２＝（Ｙｆ２＋Ｙｒ２）／２， Ｚ２＝（Ｚｆ２＋Ｚｒ２）
・
・
Ｘ１２＝（Ｘｆ１２＋Ｘｒ１２）／２，Ｙ１２＝（Ｙｆ１２＋Ｙｒ１２）／２，Ｚ１２＝（Ｚｆ１２＋Ｚｒ１２）／２
Ｄ１＝（Ｄｆ１＋Ｄｒ２）／２
Ｄ２＝（Ｄｆ２＋Ｄｒ２）／２
・
・
Ｄ１２＝（Ｄｆ１２＋Ｄｒ１２）／２

（ステップ２）
Ｘｍｉ＝Ｘｉ−Ｘｓｉ，Ｙｍｉ＝Ｙｉ−Ｙｓｉ，Ｚｍｉ＝Ｚｉ−Ｚｓｉ，Ｄｍｉ＝Ｄｉ−Ｄｓｉ（ただし、ｉ＝１，２，・・１２）をそれぞれ計算し、
Ｘｍｉ、Ｄｍｉの絶対値の中で最大のものを選択し、これをＸ軸最大指示誤差とする。
Ｙｍｉ、Ｄｍｉの絶対値の中で最大のものを選択し、これをＹ軸最大指示誤差とする。
Ｚｍｉ、Ｄｍｉの絶対値の中で最大のものを選択し、これをＺ軸最大指示誤差とする。

本発明の精度評価プログラムは、はじめから専用のプログラムとして製作することもできるが、パソコン用に市販されている既存の表計算ソフトウェア上でマクロプログラムとして作成し、実行させることも可能である。

マスタブロックを装着した状態を示す、座標測定機の斜視図である。 本発明の座標測定機の精度評価プログラムで入力データの作成のために用いられるマスタブロックの斜視図である。 マスタブロックに設けられている１２個のブッシュの配置状態を示す図である。 座標測定機のＸ方向機械軸のＹ方向の振れパターンの一例を示す図である。 座標測定機のＸ方向機械軸のＹ方向の振れパターンの一例を示す図である。 座標測定機のＸ方向機械軸のＹ方向の振れパターンの一例を示す図である。 真直度の計算方法を説明する図である。 直角度の計算方法を説明する図である。

符号の説明

１ 検査用マスタ
１Ａ ブロック本体
２ 座標測定機
３ 測定テーブル
４ 治具パレット
５ 可動フレーム、
６ ヘッド部
７ 昇降軸
８ プローブ
Ｂ１〜Ｂ１２ ブッシュ

Claims (3)

1. 前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸方向の真直度をマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムであって、
   前記マスタブロックは、座標測定機に保持されるブロック本体と複数のブッシュによって構成され、
   これらのブッシュは、測定基準面である端面と、前記端面に垂直に開口され、内周面が測定基準面である横断面円形の穴を有し、それぞれ端面を外向きにしてブロック本体の上面と側面に固定され、
   ブロック本体上面のブッシュは、前記上面に近接した基準平面内に各端面が配置され、且つ、前記基準平面内で互いに直交するＸ軸とＹ軸上で、それぞれ、これらの軸が交差する原点に対して互いに反対側の対称な位置に２つずつ、合計４個配置され、
   ブロック本体側面のブッシュのうち４個は、Ｘ軸を含む垂直面内で、Ｘ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに、且つ基準平面と原点で直交する垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置され、
   残りの４個のブッシュは、Ｙ軸を含む垂直面内で、Ｙ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに前記垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置されたものであり、
   前記垂直軸線をＺ軸とし、前記基準平面をＺ＝０の面としてマスタブロック上に設定した基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の各座標軸が、座標測定機の各機械軸と平行になる基準位置に、マスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュにおける端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｆｉ，Ｙｆｉ，Ｚｆｉと、
   前記マスタブロックの基準位置でのｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系における基準値Ｘｓｉ，Ｙｓｉ、Ｚｓｉと、
   前記基準位置からＺ軸回りに１８０°反転した反転位置にマスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｒｉ，Ｙｒｉ，Ｚｒｉとを基礎入力データとし、
   Ｘ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と前後の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、コンピュータに、
   Ｅｙｆｉ＝Ｙｆｉ−Ｙｓｉと、
   Ｅｙｒｉ＝Ｙｒｉ＋Ｙsｉ、および、
   これらの平均値Ｅｙｍｉ＝（Ｅｙｆｉ＋Ｅｙｒｉ）／２を計算させ、
   Ｘ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｙｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｙｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＸ方向機械軸の左右方向に対する真直度として出力装置に出力させ、
   Ｘ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と前後の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
   Ｅｚｆｉ＝Ｚｆｉ−Ｚｓｉと、
   Ｅｚｒｉ＝Ｚｒｉ−Ｚsｉ、および
   これらの平均値Ｅｚｍｉ＝（Ｅｚｆｉ＋Ｅｚｒｉ）／２を計算させ、
   Ｘ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｚｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｚｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＸ方向機械軸の上下方向に対する真直度として出力装置に出力させ、
   また、Ｙ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と左右の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
   Ｅｘｆｉ＝Ｘｆｉ−Ｘｓｉと、
   Ｅｘｒｉ＝Ｘｒｉ＋Ｘsｉ、および、
   これらの平均値Ｅｘｍｉ＝（Ｅｘｆｉ＋Ｅｘｒｉ）／２を計算させ、
   Ｙ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｘｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｘｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＹ方向機械軸の前後方向に対する真直度として出力装置に出力させ、
   また、Ｙ軸方向に並べて配列されたブロック本体の上面と左右の側面の合計４つのブッシュに対してそれぞれ、前記コンピュータに、
   Ｅｚｆｉ＝ Ｚｆｉ−Ｚｓｉと、
   Ｅｚｒｉ＝ Ｚｒｉ−Ｚsｉ、および
   これらの平均値Ｅｚｍｉ＝（Ｅｚｆｉ＋Ｅｚｒｉ）／２を計算させ、
   Ｙ軸方向に並んだ４つのブッシュの両端の２つの座標値Ｅｚｍｉを結ぶ直線に対して、内側の２つのブッシュのＥｚｍｉの値の振れ幅を、前記両端のブッシュ間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＹ方向機械軸の上下方向に対する真直度として出力装置に出力させ、
   また、ＺＸ面内において、並べて配列され、Ｚ軸に対してＸ方向に互いに対称的に配置されているｉ番目とｊ番目のブッシュの対に対して、前記コンピュータに、
   ＹｆｉとＹｆｊの平均値Ｅｙｆｉｊ＝（Ｙｆｉ＋Ｙｆｊ）／２を計算させるとともに、
   ＹｒｉとＹｒｊの平均値Ｅｙｒｉｊ＝（Ｙｒｉ＋Ｙｒｊ）／２を計算させ、
   さらに、上記ＥｙｆｊｊとＥｙｒｉｊの平均値Ｅｙｍｉｊ＝（Ｅｙｆｉｊ＋Ｅｙｒｉｊ）／２を計算させ、
   Ｚ軸に対してＸ方向に互いに対称的に配置されている３対のブッシュの各対の中間点のうち、Ｚ軸方向に並んだ中間点の両端の２つの座標値Ｅｙｍｉｊを結ぶ直線に対して、これらの間の中間点のＥｙｍｉｊの値の振れ幅を、前記両端の中間点間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＺ方向機械軸の左右方向の真直度として出力装置に出力させ、
   また、ＹＺ面内において、並べて配列され、Ｚ軸に対してＹ方向に互いに対称的に配置されているｉ番目とｊ番目のブッシュの対に対して、前記コンピュータに、
   ＸｆｉとＸｆｊの平均値Ｅｘｆｉｊ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｆｊ）／２を計算させるとともに、
   ＸｒｉとＸｒｊの平均値Ｅｘｒｉｊ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｆｊ）／２を計算させ、
   上記ＥｘｆｉｊとＥｘｒｉｊの平均値Ｅｘｍｉｊ＝（Ｅｙｆｉｊ＋Ｅｙｒｉｊ）／２を計算させ、
   Ｚ軸に対してＹ方向に互いに対称的に配置されている３対のブッシュの各対の中間点のうち、Ｚ軸方向に並んだ中間点の両端の２つの座標値Ｅｘｍｉｊを結ぶ直線に対して、これらの間の中間点のＥｘｍｉｊの値の振れ幅を、前記両端の中間点間のプローブ移動距離に対する座標測定機のＺ方向機械軸の前後方向の真直度として出力装置に出力させることを特徴とする座標測定機の簡易精度評価プログラム。
2. 前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸間の直角度をマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムであって、
   前記マスタブロックは、座標測定機に保持されるブロック本体と複数のブッシュによって構成され、
   これらのブッシュは、測定基準面である端面と、前記端面に垂直に開口され、内周面が測定基準面である横断面円形の穴を有し、それぞれ端面を外向きにしてブロック本体の上面と側面に固定され、
   ブロック本体上面のブッシュは、前記上面に近接した基準平面内に各端面が配置され、且つ、前記基準平面内で互いに直交するＸ軸とＹ軸上で、それぞれ、これらの軸が交差する原点に対して互いに反対側の対称な位置に２つずつ、合計４個配置され、
   ブロック本体側面のブッシュのうち４個は、Ｘ軸を含む垂直面内で、Ｘ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに、且つ基準平面と原点で直交する垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置され、
   残りの４個のブッシュは、Ｙ軸を含む垂直面内で、Ｙ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに前記垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置されたものであり、
   前記垂直軸線をＺ軸とし、前記基準平面をＺ＝０の面としてマスタブロック上に設定した基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の各座標軸が、座標測定機の各機械軸と平行になる基準位置に、マスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュにおける端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｆｉ，Ｙｆｉ，Ｚｆｉと、
   前記マスタブロックの基準位置でのｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系における基準値Ｘｓｉ，Ｙｓｉ、Ｚｓｉと、
   前記基準位置からＺ軸回りに１８０°反転した反転位置にマスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｒｉ，Ｙｒｉ，Ｚｒｉとを基礎入力データとし、
   基準位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｆ１，Ｙｆ１）、（Ｘｆ３，Ｙｆ３）、Ｙ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標をそれぞれ（Ｘｆ２，Ｙｆ２）、（Ｘｆ４，Ｙｆ４）とするとき、コンピュータに、
   Ｒｘｙｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１−Ｙｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ２−Ｘｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））を計算させ、
   反転位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｒ１，Ｙｒ１）、（Ｘｒ３，Ｙｒ３）、Ｙ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｙ座標をそれぞれ（Ｘｒ２，Ｙｒ２）、（Ｘｒ４，Ｙｒ４）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｘｙｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１−Ｙｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ２−Ｘｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））を計算させ、
   次いで、ＲｘｙｆとＲｘｙｒの平均値Ｒｘｙｍ＝（Ｒｘｙｆ＋Ｒｘｙｒ）／２を計算させ、
   さらに、これらのブッシュに対応するＸ、Ｙ座標の基準値をそれぞれ（Ｘｓ１，Ｙｓ１）、（Ｘｓ３，Ｙｓ３）、（Ｘｓ２，Ｙｓ２）、（Ｘｓ４，Ｙｓ４）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｘｙｓ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｓ１−Ｙｓ３）／（Ｘｓ１−Ｘｓ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｓ２−Ｘｓ４）／（Ｙｓ２−Ｙｓ４））を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、 機械軸Ｘと機械軸Ｙ間の直角度δｘｙを、
   δｘｙ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｘｙｍ−９０°）−ｔａｎ（Ｒｘｙｓ−９０°））として計算させてその結果を出力装置に出力させ、
   また、基準位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｆ１，Ｚｆ１）、（Ｘｆ３，Ｚｆ３）、Ｘ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｆ５，Ｚｆ５）、（Ｘｆ６，Ｚｆ６）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｆ９，Ｚｆ９）、（Ｘｆ１０，Ｚｆ１０）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ５−Ｘｆ６）／（Ｚｆ５−Ｚｆ６））を計算させ、
   反転位置におけるブロック本体上面のＸ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｘｒ１，Ｚｒ１）、（Ｘｒ３，Ｚｒ３）、Ｘ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｒ５，Ｚｒ５）、（Ｘｒ６，Ｚｒ６）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｘｒ９，Ｚｒ９）、（Ｘｒ１０，Ｚｒ１０）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ５−Ｘｒ６）／（Ｚｒ５−Ｚｒ６））を計算させ、
   次いで、ＲｘｚｆとＲｘｚｒの平均値Ｒｘｚｍ＝（Ｒｘｚｆ＋Ｒｘｚｒ）／２を計算させ、
   また、前記コンピュータに、
   Ｒ’ｘｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ１−Ｚｆ３）／（Ｘｆ１−Ｘｆ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｆ９−Ｘｆ１０）／（Ｚｆ９−Ｚｆ１０））を計算させ、
   Ｒ’ｘｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ１−Ｚｒ３）／（Ｘｒ１−Ｘｒ３））−ａｒｃｔａｎ（（Ｘｒ９−Ｘｒ１０）／（Ｚｒ９−Ｚｒ１０））を計算させ、
   次いで、Ｒ’ｘｚｆとＲ’ｘｚｒの平均値Ｒ’ｘｚｍ＝（Ｒ’ｘｚｆ＋Ｒ’ｘｚｒ）／２を計算させ、さらに、Ｒｘｚｍ
   とＲ’ｘｚｍとの平均値Ｒｘｚ＝（Ｒｘｚｍ＋Ｒ’ｘｚｍ）／２を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、機械軸Ｘと機械軸Ｚ間の直角度δｘｚを
   δｘｚ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｘｚ−９０°）として計算させてその結果を出力装置に出力させ、
   また、基準位置におけるブロック本体上面のＹ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｙｆ２，Ｚｆ２）、（Ｙｆ４，Ｚｆ４）、Ｙ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｆ７，Ｚｆ７）、（Ｙｆ８，Ｚｆ８）、Ｙ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＸ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｆ１１，Ｚｆ１１）、（Ｙｆ１２，Ｚｆ１２）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ７−Ｙｆ８）／（Ｚｆ７−Ｚｆ８））を計算させ、
   反転位置におけるブロック本体上面のＹ軸上の正側と負側に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標の実測値をそれぞれ（Ｙｒ２，Ｚｒ２）、（Ｙｒ４，Ｚｒ４）、Ｙ軸正側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｒ７，Ｚｒ７）、（Ｙｒ８，Ｚｒ８）、Ｘ軸負側に向いたブロック本体側面の上下に並んだ２つのブッシュのＹ、Ｚ座標をそれぞれ、（Ｙｒ１１，Ｚｒ１１）、（Ｙｒ１２，Ｚｒ１２）とするとき、前記コンピュータに、
   Ｒｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ７−Ｙｒ８）／（Ｚｒ７−Ｚｒ８））を計算させ、
   次いで、ＲｙｚｆとＲｙｚｒの平均値Ｒｙｚｍ＝（Ｒｙｚｆ＋Ｒｙｚｒ）／２を計算させ、
   また、前記コンピュータに、
   Ｒ’ｙｚｆ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｆ２−Ｚｆ４）／（Ｙｆ２−Ｙｆ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｆ１１−Ｙｆ１２）／（Ｚｆ１１−Ｚｆ１２））を計算させ、
   Ｒ’ｙｚｒ＝９０°−ａｒｃｔａｎ（（Ｚｒ２−Ｚｒ４）／（Ｙｒ２−Ｙｒ４））−ａｒｃｔａｎ（（Ｙｒ１１−Ｙｒ１２）／（Ｚｒ１１−Ｚｒ１２））を計算させ、
   次いで、Ｒ’ｙｚｆとＲ’ｙｚｒの平均値Ｒ’ｙｚｍ＝（Ｒ’ｙｚｆ＋Ｒ’ｙｚｒ）／２を計算させ、さらに、ＲｙｚｍとＲ’ｙｚｍとの平均値Ｒｙｚ＝（Ｒｙｚｍ＋Ｒ’ｙｚｍ）／２を計算させ、プローブ移動距離Ｌに対して、機械軸Ｙと機械軸Ｚ間の直角度δｙｚを
   δｙｚ＝Ｌ（ｔａｎ（Ｒｙｚ−９０°）として計算させて、その結果を出力装置に出力させることを特徴とする座標測定機の簡易精度評価プログラム。
3. 前後、左右、上下の互い直交する３つの機械軸方向に移動可能なプローブを備えた座標測定機における、各機械軸方向の指示誤差をマスタブロックの測定データから評価するための簡易精度評価プログラムであって、
   前記マスタブロックは、座標測定機に保持されるブロック本体と複数のブッシュによって構成され、
   これらのブッシュは、測定基準面である端面と、前記端面に垂直に開口され、内周面が測定基準面である横断面円形の穴を有し、それぞれ端面を外向きにしてブロック本体の上面と側面に固定され、
   ブロック本体上面のブッシュは、前記上面に近接した基準平面内に各端面が配置され、且つ、前記基準平面内で互いに直交するＸ軸とＹ軸上で、それぞれ、これらの軸が交差する原点に対して互いに反対側の対称な位置に２つずつ、合計４個配置され、
   ブロック本体側面のブッシュのうち４個は、Ｘ軸を含む垂直面内で、Ｘ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに、且つ基準平面と原点で直交する垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置され、
   残りの４個のブッシュは、Ｙ軸を含む垂直面内で、Ｙ軸下方に平行に離間した２つの直線上に穴の中心軸線が一致するように横向きに前記垂直軸線に対して互いに反対側の側面の対称位置に、それぞれ上下２個ずつ配置されたものであり、
   前記垂直軸線をＺ軸とし、前記基準平面をＺ＝０の面としてマスタブロック上に設定した基準座標系（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の各座標軸が、座標測定機の各機械軸と平行になる基準位置に、マスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュにおける端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｆｉ，Ｙｆｉ，Ｚｆｉと、
   前記マスタブロックの基準位置でのｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系における基準値Ｘｓｉ，Ｙｓｉ、Ｚｓｉと、
   前記基準位置からＺ軸回りに１８０°反転した反転位置にマスタブロックをセッティングして測定したｉ番目のブッシュの端面を含む平面内の穴中心位置の前記基準座標系に対する座標の実測値Ｘｒｉ，Ｙｒｉ，Ｚｒｉと、
   マスタブロックの基準位置におけるｉ番目のブッシュの穴径の実測値Ｄｆｉと、
   マスタブロックの反転位置におけるｉ番目のブッシュの穴径の実測値Ｄｒｉと、
   ｉ番目のブッシュの穴径の基準値Ｄｓｉとを基礎入力データとし、
   コンピュータに、各ブッシュの基準位置と反転位置における、各座標値の平均値Ｘｉ＝（Ｘｆｉ＋Ｘｒｉ）／２、Ｙｉ＝（Ｙｆｉ＋Ｙｒｉ）／２、Ｚｉ＝（Ｚｆｉ＋Ｚｒｉ）／２、及び、穴径の平均値Ｄｉ＝（Ｄｆｉ＋Ｄｒｉ）／２
   を計算させ、
   次いで、これらの座標値及び穴径の平均値と基準値との差、δＸｉ＝Ｘｉ−Ｘｓｉ、δＹｉ＝Ｙｉ−Ｙｓｉ、δＺｉ＝Ｚｉ−Ｚｓｉ、δＤｉ＝Ｄｉ−Ｄｓｉを計算させて、前記コンピュータに、
   δＸｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＸ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させ、
   δＹｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＹ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させ、
   δＺｉの絶対値の最大値とδＤｉの絶対値の最大値の何れか大きい方をＺ軸方向の最大指示誤差として出力装置に出力させることを特徴とする座標測定機の簡易精度評価プログラム。

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