JP2005101333A - 半導体膜のレーザアニーリング方法とそれに用いる装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ光学系によりレーザ光源からのレーザビームを、その断面形状が細長矩形状に成形した照射ビームを半導体膜上に照射しながら、該照射ビームをその長手方向に対しほぼ垂直な方向に走査させ、且つ、半導体膜への照射ビームの照射光軸をガラス基板の法線方向に対して走査による進行方向に若しくはその反対方向に傾斜させる照射角を設けて、照射ビームの一部が半導体膜を透過してガラス基板の裏面で反射して半導体膜へ照射する反射ビームを、半導体膜での上記照射ビームから実質的に離間させる。
【選択図】 図3
Description
本発明のレーザアニーリング方法を適用するガラス基板は、半導体膜、特に、半導体膜を担持する支持体であり、半導体膜はその面域に多数のトランジスタを形成して半導体装置とするのに利用され、且つ、基板を透明体にして光学系の透光性を確保している。そのような半導体装置は、例えば、液晶ディスプレー装置の液晶を制御装置として利用され、液晶ディスプレーに一体に取着されて配置される。
図1は、本発明のレーザアニーリング方法及び装置において、照射レーザ21とガラス基板上シリコン膜5との関係を示すが、シリコン膜に対する照射ビーム21の照射光軸60をシリコン膜表面の法線50に対して適当な角度θだけ傾斜させており、照射ビーム21が、シリコン膜に照射され、その照射部位22を局部的に加熱する。照射ビーム21の一部は、シリコン膜の照射部位22を透過してガラス基板7に入り、ガラス中の透過ビーム23は、その一部が、ガラス基板7の裏面71で反射して、基板表面70側に向い、この反射ビーム24は、シリコン膜5に入射する。この際、反射ビームのシリコン膜への入射位置は、上記入射角度θを適当に設定することにより、上記の照射部位22を外すことができ、反射ビーム24が、照射ビーム21と干渉することが防止できる。
wo=M2λ/(2πNa) ・・・・(1)
で与えられる。
wz=wo[1+{M2λz/(πwo 2)}2]1/2 ・・・・(2)
により表される。
z=(1/n1)(2t/cosθ) ・・・・(3)
X=1/M2 ・・・・(4)
Dmin= (Wo+Wz)−2WoX ・・・・(5)
θmin=sin−1[n1sin{tan−1(Dmin/2t)}] ・・・(6)
Ps=Po・cosθ
の関係がある。
照射角θの上限は、照射ビームの照射部位におけるエネルギー密度が垂直照射の場合のエネルギー密度の50%以下とする角度が好ましく、この場合の照射角θは、60°以下である。好ましくは、照射ビームの照射部位におけるエネルギー密度が71%以上であり、照射角θの上限は45°とすることができる。さらに好ましくは、照射角の上限は、照射ビームの照射部位におけるエネルギー密度が垂直照射の場合のエネルギー密度の80%である照射角より小さくなるように、設定され、この上限の角度は、27°とする。
レーザアニーリングの方法と装置は、レーザ光学系の光軸を、ガラス基板を支持するステージに対して相対的に傾斜させて、該照射角を設定することを含む。
本発明の方法と装置は、レーザ光学系の光路に反射鏡を介装して、上記照射光軸を上記照射角に設定することもできる。図4は、この実施形態に係るレーザアニーリング装置の別の例を示すが、この例の概要は、下方に、シリコン膜5を表面に形成したガラス基板7を上面11に支持するためのステージ装置10と、ステージ装置10の上方に配置したレーザ光学系と、から成っている。この例は、ステージ装置には、ステージ10をx−y二次元走査する走査手段(不図示)を含んでいる。レーザ光学系は、上記と同様に、レーザ光源1として固体レーザ発振器と、レーザ発振器からのレーザビーム2の強度分布をレーザビーム2の断面内一方向(この図では、y 方向)に均一化する強度分布均一化手段30と、強度分布均一化手段30によりy方向に均一化したビームをx方向に収束して、ステージ装置10の上面のガラス基板上のシリコン膜5に照射するビーム形状調整手段40とから構成されている。
また。別の実施形態は、上記照射角が、ガラス基板の法線方向に対して走査方向に傾斜させて、ガラス基板からの反射ビームを照射部位22より後方に配向することができる。
照射角θは、シリコン膜に対して照射ビームの進行方向92の反対側に照射ビームを傾けて配置することもできる。進行方向92の後方に(反対方向に)傾斜して設けると、図6に示すように、ガラス基板内での反射ビーム24は、照射ビーム21とは干渉を生じることなく、しかも、未照射のシリコン膜である非晶質域52を照射して、その領域を予熱することができる。
反射ビームのエネルギーを適切有効に利用するには、カラス基板の裏面には、反射膜を形成することが好ましく、反射膜は、ガラス基板中の透過ビームの反射率を大きくさせて、反射ビーム24のパワーを高めて、実施形態5で述べたように、非晶質域52への入力を高めて、微細結晶化を促進するものである。
照射角を設定するための別の実施形態は、光学系とステージ装置の上面との間の光路に楔状板を介装して、楔状板で照射ビームの光軸をシリコン膜の法線に対して傾斜させるものである。
n0sinθw=n1sin(θw−θ3)
n1sinθ3=n0sinθ
ここで、n0とn1は、それぞれ、空気と楔状板6の屈折率である。
n1sinθw=n0sin(θ+θw)
ここで、n0とn1は、それぞれ、空気と楔状板6の屈折率である。
Claims (18)
- ガラス基板の表面上に形成した半導体膜に、レーザ光学系から放射されて半導体膜に部分透光性のレーザビームを走査しながら照射して、半導体膜を加熱して結晶化させるレーザアニーリング方法において、
レーザ光学系によりレーザ光源からのレーザビームを、その断面形状が細長矩形状に成形した照射ビームを半導体膜上に照射しながら、該照射ビームをその長手方向に対しほぼ垂直な方向に走査させ、且つ、半導体膜への照射ビームの照射光軸にガラス基板の法線方向に対して走査による進行方向に若しくはその反対方向に傾斜させる照射角を設けて、該照射角が、半導体膜上の照射ビームの光軸と反射ビームの光軸との距離が、照射ビームの半導体膜上での強度分布の1/e2半幅と反射ビームの半導体膜での強度分布の1/e2半幅との和と照射ビームの空間的可干渉距離との差より大きくなるように、設定し、照射ビームの一部が半導体膜を透過してガラス基板の裏面で反射して半導体膜へ照射する反射ビームを、半導体膜での上記照射ビームから実質的に離間させたことを特徴とする半導体膜のレーザアニーリング方法。 - レーザ光学系の光軸を、ガラス基板を支持するステージに対して相対的に傾斜させて、上記照射角を設定する請求項1に記載のレーザアニーリング方法。
- レーザ光学系の光路に反射鏡を介装して、上記照射ビームの光軸を上記照射角に設定した請求項1に記載のレーザアニーリング方法。
- 上記レーザ光学系とガラス基板上半導体膜との間の照射ビームの光路に、透光性の楔状板を介して、上記照射角を設定する請求項1に記載のレーザアニーリング方法。
- 上記照射ビームを、ガラス基板の法線方向に対して走査方向の反対方向に傾斜させて、上記半導体膜を透過してガラス基板からの反射ビームを照射部位より前方に配向した請求項1ないし4いずれかに記載のレーザアニーリング方法。
- 上記照射ビームを、ガラス基板の法線方向に対して走査方向に傾斜させて、ガラス基板からの反射ビームを照射部位より後方に配向した請求項1ないし3いずれかに記載のレーザアニーリング方法。
- 上記ガラス基板の裏面に反射膜が形成されて、上記半導体膜を透過した透過光を反射させて、照射部位より前方の半導体膜を予熱するようにした請求項1ないし5いずれかに記載のレーザアニーリング方法。
- 上記反射膜が、高反射率を有する金属皮膜である請求項7に記載のレーザアニーリング方法。
- 上記の半導体膜がシリコン膜であり、レーザ光源が、Nd:YAGレーザ発振器の第一高調波を放射する請求項1ないし8いずれかに記載のレーザアニーリング方法。
- ガラス基板の表面上に形成したシリコン膜上にレーザ光学系から放射した半導体膜に部分透光性のレーザビームを走査しながら照射して、半導体膜を加熱して結晶化させるレーザアニーリング装置において、
レーザ光学系が、レーザ光源からのレーザビームを、断面形状を細長矩形状に成形した照射ビームにして半導体膜上に照射するビーム形状成形手段を含んで、該装置が、照射ビームをその長手方向に対しほぼ垂直な方向に走査させる走査手段を含み、
該装置が、半導体膜への照射ビームの照射光軸をガラス基板の法線方向に対して走査方向に若しくはその反対方向に傾斜させる照射角を設け、該照射角が、半導体膜上の照射ビームの光軸と反射ビームの光軸との距離が、照射ビームの半導体膜上での強度分布の1/e2半幅と反射ビームの半導体膜での強度分布の1/e2半幅との和と照射ビームの空間的可干渉距離との差より大きくなるように、設定されて、照射ビームの一部が半導体膜を透過してガラス基板の裏面で反射して半導体膜を照射する反射ビームを半導体膜での照射ビームから実質的に離間させることを特徴とする半導体膜のレーザアニーリング装置。 - レーザ光学系の光軸を、ガラス基板を支持するステージに対して相対的に傾斜させて、該照射角を設定する請求項10に記載のレーザアニーリング装置。
- レーザ光学系の光路に反射鏡を介装して、上記照射光軸を上記照射角に設定した請求項10に記載のレーザアニーリング装置。
- 上記レーザ光学系とガラス基板上半導体膜との間の照射ビームの光路に、透光性の楔状板を介して、上記照射角を設定する請求項10に記載のレーザアニーリング装置。
- 上記照射ビームを、ガラス基板の法線方向に対して走査方向の反対方向に傾斜させて、上記半導体膜を透過してガラス基板からの反射光を照射部位より前方に配向した請求項10ないし13いずれかに記載のレーザアニーリング装置。
- 上記照射ビームを、ガラス基板の法線方向に対して走査方向に傾斜させて、ガラス基板からの反射光を照射部位より後方に配向した請求項10ないし13いずれかに記載のレーザアニーリング装置。
- 上記ガラス基板の裏面に反射膜が形成されて、上記半導体膜を透過した透過光を反射させて、照射部位より前方の半導体膜を予熱するようにした請求項10ないし14いずれかに記載のレーザアニーリング装置。
- 上記反射膜が、高反射率を有する金属皮膜である請求項16に記載のレーザアニーリング装置。
- 上記半導体膜がシリコン膜であり、レーザ光源が、Nd:YAGレーザ発振器の第一高調波を放射する請求項10ないし17いずれかに記載のレーザアニーリング装置。
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JP2003333881A JP2005101333A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 半導体膜のレーザアニーリング方法とそれに用いる装置 |
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---|---|---|---|---|
WO2007122062A1 (de) * | 2006-04-22 | 2007-11-01 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Vorrichtung sowie verfahren zum erhitzen eines substrats |
KR20170056748A (ko) * | 2015-11-13 | 2017-05-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 엑시머 레이저 어닐링 방법 |
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2003
- 2003-09-25 JP JP2003333881A patent/JP2005101333A/ja active Pending
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KR20170056748A (ko) * | 2015-11-13 | 2017-05-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 엑시머 레이저 어닐링 방법 |
KR102440115B1 (ko) | 2015-11-13 | 2022-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 엑시머 레이저 어닐링 방법 |
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