JP2005095757A - Paste application method and paste application apparatus - Google Patents

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達 田代
Hidenori Nakamura
英規 中村
Tomoya Kawashima
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus by which coating bubbles, coating unevenness and color mixing appearing at the time of applying phosphor paste to an irregular surface such as a plasma display panel back face plate by an application method of a dispensation process or an electric field jet process. <P>SOLUTION: The application apparatus of the dispensation process or the electric field jet process is provided with a slit nozzle for generating negative pressure at a position before an application nozzle. Otherwise, the application apparatus of the dispensation process or the electric field jet process is provided with the slit nozzle for generating positive pressure at a position after the application nozzle. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等の平面ディスプレイ、プリント基板、半導体等の製造分野に使用されるものであり、特に高粘度塗布液である蛍光体ペ−ストを塗布するプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)の技術分野に関するものである。   The present invention is used in the field of manufacturing flat displays such as plasma displays and liquid crystal displays, printed circuit boards, semiconductors, etc., and in particular, a plasma display panel (hereinafter referred to as a high-viscosity coating liquid). , Referred to as PDP).

近年、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、鮮明な表示と視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。一般に、PDPは、2枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造になっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。   In recent years, plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs) are being used in various display devices due to their thin depth, light weight, clear display, and wide viewing angle. In general, a PDP has a structure in which a pair of electrodes regularly arranged on two opposing glass substrates are provided, and a gas mainly composed of neon, xenon, or the like is enclosed therebetween. Then, a voltage is applied between these electrodes, and discharge is generated in minute cells around the electrodes, thereby causing each cell to emit light for display. In particular, in order to display information, the regularly arranged cells are selectively discharged to emit light.

ここで、PDPの構成を、図4に示すAC型PDPの一例をあげて説明しておく。図4はPDP構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板(ガラス基板41)と背面板(ガラス基板42)を実際より離した状態で示してある。図示のように2枚のガラス基板41、42が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板42上に互いに平行に設けられたリブ(障壁ともいう)43により、一定の間隔に保持されるようになっている。前面板となるガラス基板41の背面側には、透明電極よりなる放電維持電極44と金属電極よりなるバス電極45とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層46が形成されており、さらにその上に保護層47(MgO層)が形成されている。また、背面板となるガラス基板42の前面側には、前記複合電極と直交するようにリブ43の間に位置してアドレス電極48が互いに平行に形成されており、これを覆って誘電体層49が形成され、さらにリブ43の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光体50が設けられている。リブ43は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。このAC型PDPは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光体50を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認するようになっている。なお、DC型PDPにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない構造を有する点でAC型と相違するが、その放電効果は同じである。   Here, the configuration of the PDP will be described with reference to an example of the AC type PDP shown in FIG. FIG. 4 is a perspective view of the PDP configuration, but the front plate (glass substrate 41) and the back plate (glass substrate 42) are shown separated from each other for the sake of clarity. As shown in the figure, two glass substrates 41 and 42 are arranged in parallel and facing each other, and both are provided with ribs (also referred to as barriers) 43 provided in parallel with each other on the glass substrate 42 serving as a back plate. By this, it is held at a constant interval. On the back side of the glass substrate 41 serving as the front plate, a composite electrode composed of a discharge sustaining electrode 44 made of a transparent electrode and a bus electrode 45 made of a metal electrode is formed in parallel with each other, covering the dielectric layer 46 is formed, and a protective layer 47 (MgO layer) is further formed thereon. Further, on the front side of the glass substrate 42 serving as a back plate, address electrodes 48 are formed in parallel with each other so as to be positioned between the ribs 43 so as to be orthogonal to the composite electrode. 49 is formed, and the phosphor 50 is provided so as to cover the wall surface of the rib 43 and the cell bottom surface. The rib 43 is for partitioning the discharge space, and each partitioned discharge space is called a cell or a unit light emitting region. The AC type PDP is a surface discharge type, and has a structure in which an AC voltage is applied between the composite electrodes on the front plate to discharge. In this case, since alternating current is applied, the direction of the electric field changes corresponding to the frequency. The phosphor 50 is caused to emit light by the ultraviolet rays generated by this discharge, and the observer visually recognizes the light transmitted through the front plate. The DC type PDP is different from the AC type in that the electrode has a structure not covered with a dielectric layer, but the discharge effect is the same.

上記の如きPDPの背面板は、ガラス基板42の上にアドレス電極48を形成し、必要に応じて、それを覆うように誘電体層49を形成した後、リブ43を形成して、そのリブ43の間に蛍光体層50を設けることで製造される。電極48の製造方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、めっき法、厚膜法等によってガラス基板2上に電極材料の膜を形成し、これをフォトリソグラフイ法によってパタ−ニングする方法と、厚膜ペ−ストを用いたスクリ−ン印刷法とが知られている。また、誘電体層49はスクリ−ン印刷等により形成される。リブ43はスクリ−ン印刷による重ね刷り、あるいはサンドブラスト法等によってパタ−ン形成される。   In the back plate of the PDP as described above, an address electrode 48 is formed on a glass substrate 42, and a dielectric layer 49 is formed so as to cover it, and then a rib 43 is formed. It is manufactured by providing the phosphor layer 50 between 43. As a manufacturing method of the electrode 48, a film of an electrode material is formed on the glass substrate 2 by a vacuum deposition method, a sputtering method, a plating method, a thick film method, etc., and this is patterned by a photolithography method, A screen printing method using a thick film paste is known. The dielectric layer 49 is formed by screen printing or the like. The ribs 43 are patterned by overprinting by screen printing or by sandblasting.

そして、蛍光体層50は、リブ43の間に赤(R)、緑(G)、青(B)の各色用の蛍光体ペ−ストを選択的に充填した後、乾燥させてから焼成することで形成されており、従来、その蛍光体ペ−ストの充填にはスクリ−ン印刷法やフォトリソグラフイ法が用いられている。スクリーン印刷法は、蛍光体ペ−ストをスクリ−ン印刷でリブ間に選択的に充填して乾燥させる工程を3回繰り返し、その後焼成するようにしている。ところが、スクリーン印刷法は、PDPの高精細化および大面積化に伴い、それに対応したスクリーン版を使用する必要があるが、このようなスクリ−ン版は、伸びたり歪んだりするために、背面板のガラス基板との位置合せが難しく、蛍光体ペ−ストの充填を正確に行えないという問題があった。   The phosphor layer 50 is selectively filled with phosphor pastes for each color of red (R), green (G), and blue (B) between the ribs 43, and then dried and fired. Conventionally, a screen printing method or a photolithographic method is used for filling the phosphor paste. In the screen printing method, the phosphor paste is selectively filled between ribs by screen printing and dried three times, and then fired. However, the screen printing method needs to use a screen plate corresponding to the high definition and large area of the PDP. However, such a screen plate is stretched and distorted, so There is a problem that it is difficult to align the face plate with the glass substrate, and the phosphor paste cannot be filled accurately.

また、フォトリソグラフイ法は、感光性の蛍光体ペ−ストを塗布し、露光、現像し、乾燥させる工程を3回繰り返し、その後焼成して蛍光体層を形成する。しかし、ペ−スト中の蛍光体が紫外線の透過を阻害し感度が低くなるために、感光性蛍光体ペ−ストの塗布厚を厚くすることができず、そのために、得られる蛍光面の輝度が十分でないという問題があった。さらに、フォトリソグラフイ法ゆえに、相当量の蛍光体ペーストは現像時に除去されてしまい、蛍光体の回収が困難であることにより、使用する蛍光体の有効利用率が低く、コスト面で不利であった。   In the photolithography method, a process of applying a photosensitive phosphor paste, exposing, developing, and drying is repeated three times, followed by firing to form a phosphor layer. However, since the phosphor in the paste hinders the transmission of ultraviolet rays and the sensitivity becomes low, it is not possible to increase the coating thickness of the photosensitive phosphor paste. There was a problem that was not enough. Furthermore, due to the photolithographic method, a considerable amount of the phosphor paste is removed during development, and it is difficult to recover the phosphor, so that the effective utilization rate of the phosphor used is low, which is disadvantageous in terms of cost. It was.

そこで、最近では、塗布方向と直角な方向に吐出孔を有するペ−スト塗布用ノズルを使用し、塗布ノズルを基板と対向させ、基板もしくは塗布ノズルのどちらか一方を相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加して、蛍光体ペ−ストをリブ間に充填するようにしたディスペンス法による塗布方法が提案されている。塗布ノズルを複数設ければ、一度の塗布工程で3色の蛍光体ペ−ストを大面積に塗布することも可能である。ディスペンス法は、さらに、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布する電界ジェット法と称する方法へと発展してきている(例えば、特許文献1参照。)。   Therefore, recently, a paste coating nozzle having discharge holes in a direction perpendicular to the coating direction is used, the coating nozzle is opposed to the substrate, and either the substrate or the coating nozzle is moved relatively, There has been proposed a coating method by a dispensing method in which a pressure is applied in the coating nozzle to fill the phosphor paste between the ribs. If a plurality of application nozzles are provided, it is possible to apply phosphor pastes of three colors over a large area in a single application process. The dispensing method has further developed into a method called an electric field jet method in which a paste is applied while applying a voltage between an electrode provided in the vicinity of a paste discharge port of a coating nozzle and an object to be coated. (For example, refer to Patent Document 1).

ディスペンス法や電界ジェット法による塗布方法では、PDP背面板のように凹凸のある面に塗布する場合、塗布ムラを軽減するために、例えば、塗布したいセルの両側にあるリブ頂部に蛍光体ペーストを吐出し触れさせながら充填する方法が行われる(例えば、特許文献2参照。)。図3にその時の塗布状態を、塗布ノズル進行方向に沿って断面模式図として示す。
特開2001−88306号公報 特開2001−347210号公報
In the application method by the dispense method or the electric field jet method, when applying to an uneven surface such as a PDP back plate, in order to reduce unevenness of application, for example, a phosphor paste is applied to the tops of ribs on both sides of a cell to be applied. A method of filling while discharging and touching is performed (for example, see Patent Document 2). FIG. 3 shows the application state at that time as a schematic cross-sectional view along the application nozzle traveling direction.
JP 2001-88306 A JP 2001-347210 A

しかしながら、図3に示される従来の塗布方法では、塗布ノズル33から基板31上の被塗布面32であるリブ上に塗布した蛍光体ペースト34は、高粘度のため被塗布面32に対し塗布ノズル進行方向と逆な水平な方向に大きく曲げられてしまう。そのため、塗布されたペ−スト34内に泡が入り易くなり、リブ間にペ−スト34を充填してからペ−スト34が自然にレベリングするまでの間に、リブとペーストで囲まれた空間にある空気が抜け出しきれずに、ペ−スト内に泡を噛んでしまう現象が生じる。特に塗布速度を高速化するほど、この泡噛み現象は顕著に表れてくる。一度ペ−スト内に入ってしまった空気は、蛍光体ペ−ストが50〜200poise程度の高粘度であるために、時間をおいて抜け出る際に、周辺の蛍光体を押し出すために、蛍光体の混色や塗布ムラの原因となる。   However, in the conventional coating method shown in FIG. 3, the phosphor paste 34 coated on the rib that is the coated surface 32 on the substrate 31 from the coating nozzle 33 has a high viscosity, so that the coating nozzle is applied to the coated surface 32. It is bent greatly in the horizontal direction opposite to the traveling direction. Therefore, it becomes easy for bubbles to enter the applied paste 34, and the rib 34 and the paste 34 are surrounded by the rib and paste after the paste 34 is filled between the ribs until the paste 34 is naturally leveled. A phenomenon occurs in which air in the space cannot completely escape and the bubbles are bitten in the paste. In particular, as the coating speed is increased, this bubble biting phenomenon becomes more prominent. Once the air has entered the paste, the phosphor paste has a high viscosity of about 50 to 200 poise. Cause color mixing and coating unevenness.

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、ディスペンス法や電界ジェット法の塗布方法によりPDPの蛍光体ペ−ストのような高粘度ペ−ストを塗布する場合に、吐出ペーストが被塗布面に対し水平な方向に曲げられ、泡を巻き込むのを抑え、塗布泡による欠陥発生を低減し、蛍光体の混色や塗布ムラをなくし、蛍光体層を均一に形成することができるペ−スト塗布方法及びペ−スト塗布装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and is applied when a high-viscosity paste such as a phosphor paste of a PDP is applied by a dispensing method or an electric field jet method. The paste is bent in the horizontal direction with respect to the surface to be coated, suppresses entrainment of bubbles, reduces the occurrence of defects due to the applied bubbles, eliminates phosphor color mixing and coating unevenness, and forms the phosphor layer uniformly. Another object of the present invention is to provide a paste coating method and a paste coating apparatus.

上記の課題を解決するために、請求項1の発明に係わる塗布装置は、ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布する機構を有するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布前の位置に負圧を発生させるスリットノズルを具備しているようにしたものである。   In order to solve the above-mentioned problems, a coating apparatus according to the invention of claim 1 is a coating nozzle while moving either one of a coating nozzle filled with paste and a surface to be coated relative to the other. In a dispensing method or electric field jet method coating apparatus having a mechanism for applying a paste to a surface to be coated by applying a pressure inside, a slit nozzle for generating a negative pressure at a position before coating than the coating nozzle is provided. It is what you have done.

請求項2の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布前の位置に同時に負圧を発生させるようにしたものである。   In the coating apparatus according to the second aspect of the present invention, the slit nozzle for generating the negative pressure has one rectangular opening perpendicular to the paste application direction, and simultaneously at a position before application of the plurality of discharge ports of the application nozzle. A negative pressure is generated.

請求項3の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いているようにしたものである。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus in which a large number of holes are opened in the slit nozzle that generates the negative pressure.

請求項4の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっているようにしたものである。   In a coating apparatus according to a fourth aspect of the present invention, the slit nozzle for generating the negative pressure is integrated with the coating nozzle.

請求項5の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルが負圧を調整できる機構を有するようにしたものである。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus in which the slit nozzle for generating the negative pressure has a mechanism capable of adjusting the negative pressure.

請求項6の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするものである。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a paste coating method using the coating apparatus according to any one of the first to fifth aspects.

請求項7の発明に係わる塗布装置は、ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布後の位置に加圧を発生させるスリットノズルを具備しているようにしたものである。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus that applies pressure to the coating nozzle while moving either one of the coating nozzle filled with paste or the surface to be coated relative to the other. A dispensing method or an electric field jet coating device that applies a strike to a surface to be coated is provided with a slit nozzle that generates pressure at a position after coating rather than the coating nozzle.

請求項8の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布後の位置に同時に加圧を発生させるようにしたものである。   In the coating apparatus according to an eighth aspect of the present invention, the slit nozzle for generating the pressurization has one rectangular opening perpendicular to the paste coating direction, and simultaneously at the positions after coating of the plurality of discharge ports of the coating nozzle. The pressure is generated.

請求項9の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いているようにしたものである。   In the coating apparatus according to the ninth aspect of the invention, a plurality of holes are opened in the slit nozzle for generating the pressurization.

請求項10の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっているようにしたものである。   According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus in which the slit nozzle for generating the pressure is integrated with the coating nozzle.

請求項11の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルが加圧を調整できる機構を有するようにしたものである。   In a coating apparatus according to an eleventh aspect of the invention, the slit nozzle for generating the pressurization has a mechanism capable of adjusting the pressurization.

請求項12の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項7ないし11のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするものである。   According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a paste coating method using the coating apparatus according to any one of the seventh to eleventh aspects.

請求項13の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項6および請求項12に記載のペ−ストが、プラズマディスプレイパネルの蛍光体ペ−ストであることを特徴とするものである。   According to a thirteenth aspect of the present invention, the paste application method is characterized in that the paste according to the sixth and twelfth aspects is a phosphor paste of a plasma display panel.

ディスペンス法もしくは電界ジェット法におけるペ−スト塗布において、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズルに負圧発生用のスリットノズルを設置し、塗布ノズルより吐出される塗布ペーストを被塗布面に対してより垂直な塗布角度で塗布することで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。さらに、塗布速度を従来の2倍にしても塗布泡による欠陥が生じないので、塗布ラインの高速化が可能となる。   According to the paste application method and apparatus of the present invention, in the dispense method or the electric field jet method, a slit nozzle for generating negative pressure is installed in the application nozzle, and the application paste discharged from the application nozzle is applied. By applying at a coating angle that is more perpendicular to the surface to be coated, a coating film surface with no coating bubbles and no coating unevenness or color mixing can be obtained uniformly. Furthermore, even if the coating speed is doubled compared to the conventional method, no defects due to the coating bubbles occur, so that the speed of the coating line can be increased.

また、塗布角度が垂直に近いので、AC型PDPのストライプ状のリブへの蛍光体ペーストの塗布はもとより、マトリックス状のリブへの蛍光体ペーストの塗布も容易とするものである。   Further, since the application angle is close to vertical, not only the application of the phosphor paste to the stripe ribs of the AC type PDP but also the application of the phosphor paste to the matrix ribs is facilitated.

また、ディスペンス法もしくは電界ジェット法におけるペ−スト塗布において、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズルに加圧発生用の加圧ノズルを設置し、塗布されたペーストを、泡の混入が生じる前に強制的にリブ間に押し込むことで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。さらに、塗布速度を従来の2倍にしても塗布泡による欠陥が生じないので、塗布ラインの高速化が可能となる。   Further, in the paste application in the dispensing method or the electric field jet method, according to the paste application method and apparatus of the present invention, a pressure nozzle for generating pressure is installed in the application nozzle, and the applied paste is By forcibly pushing between the ribs before mixing of bubbles occurs, no coating bubbles are generated, and a high-quality coating film surface with no coating unevenness and color mixing can be obtained uniformly. Furthermore, even if the coating speed is doubled compared to the conventional method, no defects due to the coating bubbles occur, so that the speed of the coating line can be increased.

また、塗布角度が垂直に近いので、AC型PDPのストライプ状のリブへの蛍光体ペーストの塗布はもとより、マトリックス状のリブへの蛍光体ペーストの塗布も容易とするものである。   Further, since the application angle is close to vertical, not only the application of the phosphor paste to the stripe ribs of the AC type PDP but also the application of the phosphor paste to the matrix ribs is facilitated.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は本発明に係わる第1の実施形態を説明する断面模式図であり、基板11上に被塗布面12が形成されており、塗布ノズルは矢印方向へ移動している。塗布ノズル13はディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布ノズルを示す。なお、電界ジェット法の場合には、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布するが、図1ではその部分は省略してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a first embodiment according to the present invention. A surface to be coated 12 is formed on a substrate 11, and a coating nozzle is moved in the direction of an arrow. The coating nozzle 13 represents a dispensing nozzle or a field jet coating nozzle. In the case of the electric field jet method, the paste is applied while applying a voltage between the electrode provided near the paste discharge port of the application nozzle and the object to be coated. In FIG. It is omitted.

図1では、塗布ノズル13の塗布前の位置には、負圧を発生させるスリットノズル15が設置されており、負圧スリットノズル15はチャンバー16を介して真空ポンプなどの負圧発生用吸引装置に繋がっている。チャンバー16は塗布ノズル13に接続されて、負圧スリットノズル15は塗布ノズル13と一体になっており、スリットノズル15が塗布ノズル13に連動してXY方向に同じ動きをし、スリットノズル15の先端にある負圧発生部は塗布ノズルの吐出口13aに対して、ペ−ストの吸引効果が得られるように近接して設けられている。   In FIG. 1, a slit nozzle 15 for generating a negative pressure is installed at a position before application of the application nozzle 13, and the negative pressure slit nozzle 15 is a negative pressure generation suction device such as a vacuum pump via a chamber 16. It is connected to. The chamber 16 is connected to the coating nozzle 13, and the negative pressure slit nozzle 15 is integrated with the coating nozzle 13. The slit nozzle 15 moves in the XY direction in conjunction with the coating nozzle 13, and the slit nozzle 15 The negative pressure generating portion at the tip is provided close to the discharge port 13a of the application nozzle so as to obtain a paste suction effect.

図1では、塗布ノズル13のノズル先端斜面が被塗布面に対し45°で形成されているので、負圧スリットノズルの先端15aは塗布ノズル13に近接し得るように、45°の傾斜角度で長方形の開口部がペースト塗布方向に直角に設けられている例を示す。塗布ノズル13から吐出されるペ−スト14は、スリットノズル15の負圧によりスリットノズル15側に引き寄せられて、被塗布面12に対してほぼ垂直方向に吐出されるようになる。その結果、塗布されたペ−スト14内に泡が巻き込まれることが抑制される。負圧の真空度としては、1×10-2Torr以下が好ましい。また、本発明において、負圧スリットノズル15には負圧を調整できる機構を持たせることが好ましい。 In FIG. 1, the nozzle tip slope of the coating nozzle 13 is formed at 45 ° with respect to the surface to be coated, and therefore the tip 15 a of the negative pressure slit nozzle is inclined at 45 ° so that it can be close to the coating nozzle 13. An example in which a rectangular opening is provided perpendicular to the paste application direction is shown. The paste 14 discharged from the coating nozzle 13 is drawn toward the slit nozzle 15 by the negative pressure of the slit nozzle 15 and is discharged in a direction substantially perpendicular to the surface to be coated 12. As a result, entrainment of bubbles in the applied paste 14 is suppressed. The vacuum degree of the negative pressure is preferably 1 × 10 −2 Torr or less. In the present invention, the negative pressure slit nozzle 15 is preferably provided with a mechanism capable of adjusting the negative pressure.

上記のように、負圧スリットノズル15の形状は、塗布ノズル13の形状に合せた形状にするのが好ましい。塗布ノズル13の吐出口形状は円または多角形が用いられることも多いが、例えば、塗布ノズル13が横長の長方形断面形状の場合には、スリットノズル15の先端部分も横長の長方形断面形状とするのが好ましい。   As described above, the shape of the negative pressure slit nozzle 15 is preferably a shape that matches the shape of the coating nozzle 13. For example, when the application nozzle 13 has a horizontally long rectangular cross section, the tip portion of the slit nozzle 15 also has a horizontally long rectangular cross section. Is preferred.

さらに、本発明においては、ペースト塗布ノズルの各吐出口13aに相当する数の穴を持つスリットノズルを配置することもできるし、塗布ノズル13の複数の各吐出口13aをペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有する1つの負圧スリットノズルで同時に負圧を発生させて吸引する形態も可能である。   Further, in the present invention, a slit nozzle having a number of holes corresponding to each discharge port 13a of the paste application nozzle can be arranged, and each of the plurality of discharge ports 13a of the application nozzle 13 is perpendicular to the paste application direction. A form in which negative pressure is simultaneously generated and sucked by one negative pressure slit nozzle having one rectangular opening is also possible.

また、本発明において、負圧スリットノズル15の吐出ペ−ストを引き寄せる吸引効果を高めるために、塗布ノズルの吐出口13a近くのスリットノズル15の先端部分に、多数の小孔を設けた形状とすることも好ましい形態である。さらに、本発明においては、塗布ノズル13と負圧スリットノズル15は一定間隔でXY方向に同じ動きをするので、塗布ノズル13と負圧スリットノズル15を一体とすることも好ましい形態である。   Further, in the present invention, in order to enhance the suction effect of attracting the discharge paste of the negative pressure slit nozzle 15, a shape in which a large number of small holes are provided at the tip portion of the slit nozzle 15 near the discharge port 13a of the coating nozzle. It is also a preferred form. Furthermore, in the present invention, since the coating nozzle 13 and the negative pressure slit nozzle 15 move in the XY directions at regular intervals, it is also preferable that the coating nozzle 13 and the negative pressure slit nozzle 15 are integrated.

本発明の塗布ノズル13の材質としては、従来と同じく、セラミック、樹脂が使用できる。負圧スリットノズル15の材質としては、ステンレス、セラミック、樹脂が用いられる。   As the material of the application nozzle 13 of the present invention, ceramic and resin can be used as in the conventional case. As the material of the negative pressure slit nozzle 15, stainless steel, ceramic, and resin are used.

上記のように、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズル13より吐出される塗布ペースト14を被塗布面に対してより垂直な塗布角度で塗布することで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。   As described above, according to the paste application method and apparatus of the present invention, the application foam 14 is formed by applying the application paste 14 discharged from the application nozzle 13 at an application angle more perpendicular to the surface to be applied. It does not occur, and a high-quality coating film surface with no coating unevenness and color mixing can be obtained uniformly.

また、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布角度が垂直に近いので、図4に示したようなAC型PDPのストライプ状のリブ43を有する背面板への蛍光体ペーストの塗布はもとより、図5および図6に示すような、リブ51a、51b、51cと補助リブ52a〜52dまたは62a〜62dを設けたマトリックス状のリブを有する背面板53への蛍光体ペーストの塗布も容易となる。図5、図6は、AC型PDPのリブ形状の一例を示す斜視図であり、図5において、補助リブ52a〜52dの断面は台形または長方形に近い形状であり、図6において、補助リブ62a〜62dの断面における2つの稜は背面版53の表面に向かって広がる形状を有している。通常、補助リブの高さはリブの高さよりも低くしている。   Further, according to the paste coating method and apparatus of the present invention, since the coating angle is nearly vertical, the phosphor paste is applied to the back plate having the stripe ribs 43 of the AC type PDP as shown in FIG. In addition to coating, phosphor paste is also applied to a back plate 53 having matrix-like ribs provided with ribs 51a, 51b, 51c and auxiliary ribs 52a-52d or 62a-62d as shown in FIGS. It becomes easy. 5 and 6 are perspective views showing an example of the rib shape of the AC type PDP. In FIG. 5, the cross-sections of the auxiliary ribs 52a to 52d are trapezoidal or nearly rectangular, and in FIG. The two ridges in the cross section of ˜62d have a shape that widens toward the surface of the back plate 53. Usually, the height of the auxiliary rib is lower than the height of the rib.

図2は本発明の第2の実施形態を説明する断面模式図で、基板21上に被塗布面22が形成されており、塗布ノズルは矢印方向へ移動している。塗布ノズル23はディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布ノズルを示す。電界ジェット法の場合には、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布するが、図2では、その部分は省略してある。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a second embodiment of the present invention. A surface to be coated 22 is formed on a substrate 21, and the coating nozzle is moved in the direction of the arrow. The coating nozzle 23 is a dispensing nozzle or an electric field jet coating nozzle. In the case of the electric field jet method, the paste is applied while applying a voltage between the electrode provided in the vicinity of the paste discharge port of the application nozzle and the object to be applied, but this portion is omitted in FIG. It is.

塗布ノズル23よりも塗布後の位置には、加圧を発生させるスリットノズル25が設置されており、スリットノズル25はコンプレッサー等の加圧空気発生機に繋がっている。スリットノズル25は塗布ノズル23に連動してXY方向に同じ動きをし、その先端近傍にある加圧発生スリットノズルの先端25aは塗布ノズル23の吐出口23aに近接して設けられる。塗布ノズル23からペ−スト24が塗布されると、すぐにスリットノズル25が加圧を発生させながら塗布後のペ−スト24を強制的にリブ間に押し込むことにより、塗布されたペ−スト24内に泡が巻き込まれるのを抑制する。加圧の圧力としては、30〜200kPa程度が好ましい。また、本発明において、加圧スリットノズル25には加圧を調整できる機構を持つことが好ましい。   A slit nozzle 25 for generating pressurization is installed at a position after application rather than the application nozzle 23, and the slit nozzle 25 is connected to a pressurized air generator such as a compressor. The slit nozzle 25 moves in the X and Y directions in conjunction with the application nozzle 23, and the tip 25 a of the pressurizing slit nozzle near the tip is provided close to the discharge port 23 a of the application nozzle 23. As soon as the paste 24 is applied from the application nozzle 23, the slit nozzle 25 forcibly pushes the applied paste 24 between the ribs while generating pressure, thereby applying the applied paste. It suppresses that a bubble is caught in 24. The pressurizing pressure is preferably about 30 to 200 kPa. In the present invention, the pressure slit nozzle 25 preferably has a mechanism capable of adjusting the pressure.

加圧スリットノズル25の形状は、塗布ノズル23の吐出口形状に合せた形状にするのが好ましい。例えば、塗布ノズル23が横長の長方形断面形状の場合には、スリットノズル25の先端部分も横長の長方形断面形状とするのが好ましい。   The shape of the pressure slit nozzle 25 is preferably a shape that matches the discharge port shape of the application nozzle 23. For example, when the application nozzle 23 has a horizontally long rectangular cross-sectional shape, it is preferable that the tip portion of the slit nozzle 25 also has a horizontally long rectangular cross-sectional shape.

さらに、本発明においては、ペースト塗布ノズルの各吐出口23aに相当する数の穴を持つスリットノズルを配置することもできるし、塗布ノズル23の複数の各吐出口23aをペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有する1つのスリットノズルで同時に加圧を発生させる形態も可能である。   Furthermore, in the present invention, a slit nozzle having a number of holes corresponding to each discharge port 23a of the paste application nozzle can be arranged, and each of the plurality of discharge ports 23a of the application nozzle 23 is perpendicular to the paste application direction. A configuration in which pressure is simultaneously generated by one slit nozzle having one rectangular opening is also possible.

また、本発明において、ペ−スト塗布後、塗布されたペ−スト24をリブ間に押し込む効果を高めるためには、スリットノズル25の先端部分に、多数の小孔を設けた形状とすることも好ましい形態である。さらに、本発明において、塗布ノズル23と加圧スリットノズル25は一定間隔でXY方向に同じ動きをするので、塗布ノズル23と加圧スリットノズル25を一体とすることも好ましい形態である。   In the present invention, after applying the paste, in order to enhance the effect of pushing the applied paste 24 between the ribs, the tip of the slit nozzle 25 is provided with a number of small holes. Is also a preferred form. Furthermore, in the present invention, since the coating nozzle 23 and the pressure slit nozzle 25 move in the same direction in the XY direction at regular intervals, it is also preferable that the coating nozzle 23 and the pressure slit nozzle 25 are integrated.

本発明の塗布ノズル23の材質としては、前述の第1の実施形態と同じくセラミック、樹脂が使用でき、また、加圧スリットノズル25の材質としては、ステンレス、セラミック、樹脂が用いられる。   As the material of the application nozzle 23 of the present invention, ceramic and resin can be used as in the first embodiment, and as the material of the pressure slit nozzle 25, stainless steel, ceramic and resin are used.

上記のように、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズル23より吐出される塗布ペーストを、泡の混入が生じる前に強制的にリブ間に押し込むことで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。   As described above, according to the paste application method and apparatus of the present invention, the application foam discharged from the application nozzle 23 is forcibly pushed between the ribs before the foam is mixed, so that the application foam is formed. It does not occur, and a high-quality coating film surface with no coating unevenness and color mixing can be obtained uniformly.

また、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布角度が垂直に近いので、図4に示したようなAC型PDPのストライプ状のリブ43への蛍光体ペーストの塗布はもとより、図5および図6に示すような、リブ51a、51b、51cと補助リブ52a〜52dまたは62a〜62dを設けたマトリックス状のリブを有する背面板53への蛍光体ペーストの塗布も容易となる。   Further, according to the paste coating method and apparatus of the present invention, since the coating angle is nearly vertical, not only the phosphor paste is coated on the stripe ribs 43 of the AC type PDP as shown in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, the phosphor paste can be easily applied to the back plate 53 having matrix ribs provided with ribs 51a, 51b, 51c and auxiliary ribs 52a to 52d or 62a to 62d.

42インチのAC型PDP背面板の蛍光体ペ−ストの形成を、第1の実施形態により電界ジェット法で行った。まず、ガラス基板の上にアドレス電極をパタ−ン形成した後、それを覆って誘電体層を形成し、その誘電体層の上にサンドブラスト法でライン状のリブを形成した。形成したリブのピッチは300μm、高さは120μm、リブ頂部幅は60μm、リブ底部幅は110μm、セル断面積は0.026mm2 である。 The 42-inch AC type PDP back plate phosphor paste was formed by the electric field jet method according to the first embodiment. First, after patterning an address electrode on a glass substrate, a dielectric layer was formed covering the address electrode, and line-shaped ribs were formed on the dielectric layer by sandblasting. The pitch of the formed rib is 300 μm, the height is 120 μm, the rib top width is 60 μm, the rib bottom width is 110 μm, and the cell cross-sectional area is 0.026 mm 2 .

塗布装置は、XYZ方向に移動機能を持つ電界ジェット法による塗布ノズルと、負圧を発生させるスリットノズルより構成した。スリットノズルは塗布ノズルに固定し、一体となる動きが可能となるようにした。   The coating apparatus was composed of a coating nozzle by an electric field jet method having a moving function in the XYZ directions, and a slit nozzle that generates a negative pressure. The slit nozzle was fixed to the application nozzle so that it could move as a unit.

塗布ノズルおよび負圧スリットノズルの材料には、MCナイロン樹脂を用いた。塗布ノズルの吐出部は、楕円形(進行方向に対して垂直辺長さが700μm、平行辺長さが400μm)の吐出口を、ピッチ0.9mmで有している。負圧スリットノズルの先端のスリット部の開口幅は、4mmの横長のスリット形状とし、塗布ノズルの複数の各吐出口を1つのスリットノズルで吸引できるようにした。   MC nylon resin was used as the material for the coating nozzle and the negative pressure slit nozzle. The discharge part of the coating nozzle has an elliptical discharge port (a vertical side length of 700 μm and a parallel side length of 400 μm with respect to the traveling direction) with a pitch of 0.9 mm. The opening width of the slit portion at the tip of the negative pressure slit nozzle was a 4 mm horizontally long slit shape so that a plurality of discharge ports of the coating nozzle could be sucked by one slit nozzle.

塗布条件は、塗布ノズル吐出部先端と被塗布面との距離を0.4mm、塗布速度を70mm/秒とし、高圧パルスとして、振幅が5kVでオフセット0Vの矩形波の電圧パルスを800Hzの周波数で印加するようにした。負圧スリットノズル先端と被塗布面との距離は0.9mmとし、負圧スリットノズル先端と塗布ノズル吐出口先端との距離は1mmとした。負圧発生は負圧スリットノズルをチャンバーを介して吸引装置に接続することにより行った。   The coating conditions are as follows: the distance between the tip of the coating nozzle discharge portion and the surface to be coated is 0.4 mm, the coating speed is 70 mm / second, a high-voltage pulse is a rectangular wave voltage pulse with an amplitude of 5 kV and an offset of 0 V at a frequency of 800 Hz. Applied. The distance between the tip of the negative pressure slit nozzle and the surface to be coated was 0.9 mm, and the distance between the tip of the negative pressure slit nozzle and the tip of the application nozzle discharge port was 1 mm. Negative pressure was generated by connecting a negative pressure slit nozzle to a suction device through a chamber.

次に、基板のリブ方向と塗布ノズル、スリットノズルの位置合せを行い、電圧パルスを印加し、負圧スリットノズルで吸引しながら塗布を行った。塗布状態の評価は、CCDカメラにより塗布状態を観察することで行った。   Next, the rib direction of the substrate was aligned with the application nozzle and the slit nozzle, application was performed while applying a voltage pulse and suctioning with a negative pressure slit nozzle. The application state was evaluated by observing the application state with a CCD camera.

ペ−スト塗布後、塗布基板を評価したところ、負圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラのない良質な塗布膜面が得られた。   After the paste application, the coated substrate was evaluated. As a result, the substrate using the negative pressure generating slit nozzle produced no coating bubbles, and a good coated film surface with no coating unevenness was obtained.

さらに、塗布速度のみを2倍の140mm/秒とし、他は同じ条件で塗布したところ、比較のために実施した負圧発生スリットノズルを用いない場合には、基板の被塗布面の全面に塗布泡が発生したのに対し、負圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が得られた。   Furthermore, when the coating speed is only doubled to 140 mm / sec and the other conditions are applied under the same conditions, the coating is performed on the entire coated surface of the substrate when the negative pressure generating slit nozzle used for comparison is not used. In contrast to the generation of bubbles, the substrate using the negative pressure generating slit nozzle did not generate coating bubbles, and a good coating film surface free from coating unevenness and color mixing was obtained.

42インチのAC型PDP用背面板の蛍光体ペ−ストの形成を、第2の実施形態により電界ジェット法で行った。基板、塗布ノズル、蛍光体ペ−ストは実施例1と同じである。   The 42-inch AC type PDP back plate phosphor paste was formed by the electric field jet method according to the second embodiment. The substrate, coating nozzle, and phosphor paste are the same as those in the first embodiment.

塗布装置は、XYZ方向に移動機能を持つ電界ジェット法による実施例1と同じ塗布ノズルと、加圧を発生させるスリットノズルより構成した。   The coating apparatus was composed of the same coating nozzle as in Example 1 by the electric field jet method having a moving function in the XYZ directions, and a slit nozzle that generates pressure.

加圧スリットノズルの材料は、易切削性セラミックを用いた。加圧を発生させるスリットノズルは、塗布ノズルと同じく長方形の形状であり、加圧スリットノズルのスリット部の進行方向に対する垂直辺長さは700μm、平行辺長さは200μmである。加圧発生は加圧スリットノズルにコンプレッサ−から圧搾空気を送り込むことにより実施した。   As a material for the pressure slit nozzle, an easy-cutting ceramic was used. The slit nozzle that generates pressure has a rectangular shape similar to the application nozzle, and the vertical side length with respect to the traveling direction of the slit portion of the pressure slit nozzle is 700 μm, and the parallel side length is 200 μm. The generation of pressurization was carried out by sending compressed air from the compressor to the pressurization slit nozzle.

次に、基板のリブ方向に対し、塗布ノズルおよびスリットノズルの位置合せを行い、塗布ノズル吐出部先端と被塗布面との距離を0.5mm、塗布速度を70mm/秒とし、高圧パルスとして、振幅が5kVでオフセット0Vの矩形波の電圧パルスを800Hzの周波数で印加するようにした。加圧スリットノズル先端と被塗布面との距離は0.5mmとし、加圧スリットノズル先端と塗布ノズル吐出口先端との距離は5mmに保つようにした。続いて、電圧を印加し、塗布ノズルでペ−ストを吐出塗布した直後に、背圧0.15kg/cmを印加した加圧スリットノズルで、塗布ペ−ストを強制的にリブ間に押し込みながら塗布を行った。塗布状態の評価は、CCDカメラにより塗布状態を観察することで行った。   Next, the position of the coating nozzle and the slit nozzle is aligned with respect to the rib direction of the substrate, the distance between the tip of the coating nozzle discharge part and the surface to be coated is 0.5 mm, the coating speed is 70 mm / second, A rectangular wave voltage pulse with an amplitude of 5 kV and an offset of 0 V was applied at a frequency of 800 Hz. The distance between the pressure slit nozzle tip and the surface to be coated was 0.5 mm, and the distance between the pressure slit nozzle tip and the coating nozzle discharge port tip was kept at 5 mm. Subsequently, immediately after applying the voltage and discharging and applying the paste with the application nozzle, the application paste is forcibly pushed between the ribs with a pressure slit nozzle to which a back pressure of 0.15 kg / cm is applied. Application was performed. The application state was evaluated by observing the application state with a CCD camera.

ペ−スト塗布後、塗布状態を評価したところ、加圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラのない良質な塗布膜面が得られた。   After the paste application, the application state was evaluated. As a result, the substrate using the pressure generating slit nozzle did not generate application bubbles, and a good coating film surface without application unevenness was obtained.

本発明の第1の実施形態を説明する断面模式図Schematic cross-sectional view for explaining the first embodiment of the present invention 本発明の第2の実施形態を説明する断面模式図Cross-sectional schematic diagram for explaining a second embodiment of the present invention 従来の塗布方法を説明する断面模式図Cross-sectional schematic diagram explaining conventional coating method AC型PDPの一構成例を示す分解斜視図An exploded perspective view showing an example of the configuration of an AC type PDP 本発明を適用し得るAC型PDPのリブ形状の一例(その1)を示す斜視図The perspective view which shows an example (the 1) of the rib shape of AC type PDP which can apply this invention 本発明を適用し得るAC型PDPのリブ形状の一例(その2)を示す斜視図The perspective view which shows an example (the 2) of the rib shape of AC type PDP which can apply this invention

符号の説明Explanation of symbols

11、21、31 基板
12、22、32 被塗布面
13、23、33 塗布ノズル
13a、23a、33a 塗布ノズル吐出口
14、24、34 ペースト
15 負圧発生スリットノズル
15a 負圧発生スリットノズルの先端
16 チャンバー
25 加圧発生スリットノズル
25a 加圧発生スリットノズルの先端
41、42 ガラス基板
43 リブ
44 放電維持電極
45 バス電極
46、49 誘電体層
47 保護層(MgO層)
48 アドレス電極
50 蛍光体層
51a、51b、51c リブ
52a、52b、52c、52d、62a、62b、62c、62d 補助リブ
53 背面板









































11, 21, 31 Substrate 12, 22, 32 Surface to be coated 13, 23, 33 Coating nozzle 13a, 23a, 33a Coating nozzle discharge port 14, 24, 34 Paste 15 Negative pressure generating slit nozzle 15a Tip of negative pressure generating slit nozzle 16 Chamber 25 Pressure generation slit nozzle 25a Pressure generation slit nozzle tip 41, 42 Glass substrate 43 Rib 44 Discharge sustaining electrode 45 Bus electrode 46, 49 Dielectric layer 47 Protective layer (MgO layer)
48 Address electrode 50 Phosphor layer 51a, 51b, 51c Rib 52a, 52b, 52c, 52d, 62a, 62b, 62c, 62d Auxiliary rib 53 Back plate









































Claims (13)

ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布する機構を有するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布前の位置に負圧を発生させるスリットノズルを具備していることを特徴とする塗布装置。 A mechanism for applying the paste to the application surface by applying pressure in the application nozzle while moving either the application nozzle filled with paste or the application surface relative to the other. A dispensing apparatus or an electric field jet coating apparatus, comprising a slit nozzle that generates a negative pressure at a position before coating than a coating nozzle. 請求項1に記載の塗布装置において、前記負圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布前の位置に同時に負圧を発生させることを特徴とする塗布装置。 2. The coating apparatus according to claim 1, wherein the slit nozzle that generates the negative pressure has one rectangular opening perpendicular to the paste application direction, and is simultaneously negative at positions before application of the plurality of discharge ports of the application nozzle. An applicator that generates pressure. 請求項1に記載の塗布装置において、前記負圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いていることを特徴とする塗布装置。 The coating apparatus according to claim 1, wherein a plurality of holes are opened in the slit nozzle that generates the negative pressure. 請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記負圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっていることを特徴とする塗布装置。 4. The coating apparatus according to claim 1, wherein the slit nozzle for generating the negative pressure is integrated with the coating nozzle. 請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記負圧を発生させるスリットノズルが負圧を調整できる機構を有することを特徴とする塗布装置。 5. The coating apparatus according to claim 1, wherein the slit nozzle that generates the negative pressure has a mechanism capable of adjusting the negative pressure. 請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするペ−ストの塗布方法。 A paste coating method using the coating apparatus according to claim 1. ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布後の位置に加圧を発生させるスリットノズルを具備していることを特徴とする塗布装置。 A dispensing method in which either a coating nozzle filled with paste or a surface to be coated is moved relative to the other while pressure is applied in the coating nozzle to apply the paste to the surface to be coated, or An electric field jet coating apparatus comprising a slit nozzle that generates pressure at a position after coating rather than the coating nozzle. 請求項7に記載の塗布装置において、前記加圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に1つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布後の位置に同時に加圧を発生させることを特徴とする塗布装置。 8. The coating apparatus according to claim 7, wherein the slit nozzle for generating pressure has one rectangular opening perpendicular to the paste application direction, and is simultaneously applied to the positions after application of the plurality of discharge ports of the application nozzle. An applicator that generates pressure. 請求項7に記載の塗布装置において、前記加圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いていることを特徴とする塗布装置。 8. The coating apparatus according to claim 7, wherein a plurality of holes are opened in the slit nozzle that generates the pressurization. 請求項7ないし9のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記加圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっていることを特徴とする塗布装置。 10. The coating apparatus according to claim 7, wherein the slit nozzle that generates the pressure is integrated with the coating nozzle. 請求項7ないし10のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記加圧を発生させるスリットノズルが加圧を調整できる機構を有することを特徴とする塗布装置。 11. The coating apparatus according to claim 7, wherein the slit nozzle for generating the pressurization has a mechanism capable of adjusting the pressurization. 請求項7ないし11のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするペ−ストの塗布方法。 12. A paste coating method using the coating apparatus according to claim 7. 請求項6および請求項12に記載のペ−ストが、プラズマディスプレイパネルの蛍光体ペ−ストであることを特徴とするペ−ストの塗布方法。















13. The paste coating method according to claim 6, wherein the paste according to claim 6 is a phosphor paste of a plasma display panel.















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