JP2005094384A - マイクロフォン用薄膜振動膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 振動膜の高機能化の実現並びにコストダウン。
【解決手段】 まず、コーティングA工程(a)において、支持基板21上にスピンコートまたはCAPコートによってPPS、PEN、PIなどから成る樹脂薄膜11を生成する。次に、コーティングB(b)工程において、樹脂薄膜11上に、スパッタリングまたは蒸着によりAuなどの金属被膜12を形成する。次に、集合基板接着工程(c)において、金属被膜12上に台座2を多数個配列した集合基板22を接着剤3により接着する。次に、支持基板剥離工程(d)において、支持基板21を剥離する。このとき、樹脂薄膜11に金属被膜12がコーティングされた薄膜振動膜である振動膜1は、集合基板22の方に接着されたまま残る。最後に、個片化工程(e)において、集合基板22をダイシングまたはレーザー加工することによって、振動膜1が接着された台座2が個片化する。
【選択図】 図1
【解決手段】 まず、コーティングA工程(a)において、支持基板21上にスピンコートまたはCAPコートによってPPS、PEN、PIなどから成る樹脂薄膜11を生成する。次に、コーティングB(b)工程において、樹脂薄膜11上に、スパッタリングまたは蒸着によりAuなどの金属被膜12を形成する。次に、集合基板接着工程(c)において、金属被膜12上に台座2を多数個配列した集合基板22を接着剤3により接着する。次に、支持基板剥離工程(d)において、支持基板21を剥離する。このとき、樹脂薄膜11に金属被膜12がコーティングされた薄膜振動膜である振動膜1は、集合基板22の方に接着されたまま残る。最後に、個片化工程(e)において、集合基板22をダイシングまたはレーザー加工することによって、振動膜1が接着された台座2が個片化する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、携帯電話などが備えるマイクロフォンに使用されているマイクロフォン用薄膜振動膜の製造法に関する。
図2は、携帯電話などに使用される小型コンデンサマイクロフォンの一般的な構造を示す縦断面図である。図2において、50は略円筒形状の小型コンデンサマイクロフォンである。51は樹脂薄膜から成る振動膜である。52は振動膜51を張設したAlやBsなどから成る枠状支持部材である。振動膜51のハンドリングを容易にするために用いられている。53はガラエポ又はセラミック等から成る基板であり、下面に凹部53aが形成され、上面に配線パターン53b及び背電極53cが同時に形成されている。54は振動膜51と背電極53cとの間隔を規定するスペーサである。55はガラエポ又はセラミック等から成る基板であり、下面に配線パターンであるアース端子55a及び出力端子55bが形成されている。
56は基板55上面に実装されたFETであり、57はノイズを除去するためのコンデンサである。振動膜51や背電極57は基板53に電気接続しなければならないので、スペーサ54や基板55等は、図示しないスルーホールなどによって、上下両面の電極が導通しており、これらの部品を積層すれば、部品表面の電極同士の接触やスルーホールを通じて、所要の接続が得られる構造である。58は小型コンデンサマイクロフォン50が組み込まれているシールドケースである。
支持部材に固定された薄膜振動膜を製造するには以下に説明するような方法(例えば、特許文献1参照。)や、多数個取りの方法により原価低減を図ったもの(例えば、特許文献2参照。)などがあった。
従来のマイクロフォン用薄膜振動膜の製造法の一例について図面を用いて説明する。図3は従来の小型マイクロフォン用薄膜振動膜の製造方法を工程順に示す部分断面図である。まず、図3(a)に示すコーティング工程において、61はPPS、PENなどの材料を延伸して成る樹脂フィルムであり、ロール状或いはシート状に形成して供給される。62は樹脂フィルム61の一面にAu、Ni、Al等の金属をスパッタリング又は蒸着によってコーティングを施した金属被膜である。51は、こうして形成された薄膜振動膜である。
次に、図3(b)に示す支持部材接着工程において、13は振動膜51を支持部材52に固定するためのエポキシなどの接着剤である。この工程では支持部材52の一面に適量の接着剤13を塗布し、その後、位置決め治具を用いて、支持部材52を振動膜51に対して加圧・加熱して接着剤13を硬化させる。
最後に、図3(c)に示す個片化工程において、支持部材52から外へはみ出している部分の振動膜51を位置決め治具を基準にして治具で抜くことによって切り離し、支持部材52を固定した振動膜51が完成する。
特開2003−199196号公報(第4頁、図2)
特開2002−345092号公報(第3頁、図1)
しかしながら、従来のこのような樹脂薄膜の製造方法では、延伸した樹脂薄膜或いは振動膜を取り扱う必要があるため、高精度なハンドリングが要求され、容易ではない。そして、高感度の振動膜が要求されるに伴ってフィルムの薄型化が必要になる。しかし、フィルムが薄くなるに従ってハンドリングがますます困難になるため、フィルムの厚さは最も薄いものでも約2μmであった。従って振動膜の高機能化が困難であった。また、台座を個別に加工して、個々にフィルムに貼付して、個々に切り抜きをするという個別加工のため、組立工数、部品コストが多くかかっていた。
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、振動板の高機能化が可能となる、また集合基板によるバッチ処理の利用によりコストダウンできる薄膜振動板の製造方法を提供することである。
前述した目的を達成するための本発明の手段は、枠状部材に振動膜を貼付した薄膜振動膜を製造する方法において、支持基板上にコーティングして樹脂薄膜を生成する工程と、前記樹脂薄膜上に金属被膜を被着させて前記支持基板上に集合振動膜を形成する工程と、前記集合振動膜の前記金属被膜上に複数のリング状台座を配列して成る集合基板を接着して集合基板付き振動膜を形成する工程と、この集合基板付き振動膜から前記支持基板を剥離する工程と、前記集合基板付き振動膜を切断することにより個片化した枠状部材付き振動膜を形成する工程とを有することを特徴とする。
また、前記樹脂薄膜を形成する工程と前記金属被膜を形成する工程とを交互に繰り返して、多層構造の前記集合振動膜を形成する工程を有することを特徴とする
本発明は、枠状部材に振動膜を貼付した薄膜振動膜を製造する方法において、支持基板上にコーティングして樹脂薄膜を生成する工程と、前記樹脂薄膜上に金属被膜を被着させて前記支持基板上に集合振動膜を形成する工程と、前記集合振動膜の前記金属被膜上に複数のリング状台座を配列して成る集合基板を接着して集合基板付き振動膜を形成する工程と、この集合基板付き振動膜から前記支持基板を剥離する工程と、前記集合基板付き振動膜を切断することにより個片化した枠状部材付き振動膜を形成する工程とを有するので、振動膜の高機能化が可能となった。また、集合基板によるバッチ処理の利用により枠状部材付き振動膜のコストダウンが達成できた。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の実施の形態である薄膜振動板の製造方法を工程順に示す各工程の部分断面図である。
まず、本発明の実施の形態である薄膜振動板の製造方法について説明する。図1(a)のコーティングA工程において、21はSiウエハーまたはガラス基板などから成る支持基板である。11は支持基板21上にスピンコート、CAPコートなどの方法によって生成したPPS、PEN、PIなどから成る樹脂薄膜である。樹脂薄膜11の厚さは0.1〜1.0μmである。
次に、図1(b)のコーティングB工程において、12は支持基板21上の硬化した樹脂薄膜11上に、スパッタリングまたは蒸着によりAuなどの金属をコーティングして形成した金属被膜である。金属被膜12の厚さは100〜1000Åである。
次に、図1(c)の集合基板接着工程において、22はコーティング済みの支持基板21上に液状またはシート状の接着剤3により接着した集合基板である。集合基板22はガラス入りエポキシやポリイミドなどの樹脂材料から成り、外形は角形状で、丸穴を有する後述の枠状支持部材である台座が多数個配列されて形成されている。
次に、図1(d)の支持基板剥離工程において、集合基板22を接着した支持基板21から、水などの剥離液中で支持基板21を剥離する。このとき、樹脂皮膜11及び金属被膜12は集合基板22の方に接着されたまま残る。23は、樹脂薄膜11に金属被膜12がコーティングされた薄膜振動膜である集合振動膜である。
最後に、図1(e)の個片化工程において、2は枠状支持部材である角形状の台座であり、集合基板22を集合振動膜23ごとダイシングまたはレーザー加工によって個片に切り離す。1は台座2に接着された個片の振動膜である。なお、以上のコーティングA及びBの工程は必要に応じて繰り返し、多層構造の振動膜を構成することができる。
次に、本発明の実施の形態の効果について説明する。支持基板上に生成した樹脂薄膜上に金属被膜をコーティングするので、薄いフィルムのハンドリングがなくなり、取り扱いが容易になる。また、振動膜の薄膜化(0.1〜1.0μm)が可能となり、振動膜の高感度化を実現できる。集合基板により多数個同時加工するので、コストダウンできる。多層膜をコンデンサマイクに応用した場合には、高チャージが可能となる。また、多層構造の振動膜の場合には耐湿性及び耐候性が向上して信頼性が高まる効果がある。
本発明は、携帯電話などが備えるマイクロフォンに使用されている薄膜の製造に利用できる。
1 振動膜
2 台座
11 樹脂薄膜
12 金属被膜
21 支持基板
22 集合基板
23 集合振動膜
2 台座
11 樹脂薄膜
12 金属被膜
21 支持基板
22 集合基板
23 集合振動膜
Claims (2)
- 枠状部材に振動膜を貼付した薄膜振動膜を製造する方法において、支持基板上にコーティングして樹脂薄膜を生成する工程と、前記樹脂薄膜上に金属被膜を被着させて前記支持基板上に集合振動膜を形成する工程と、前記集合振動膜の前記金属被膜上に複数の枠状部材を配列して成る集合基板を接着して集合基板付き振動膜を形成する工程と、この集合基板付き振動膜から前記支持基板を剥離する工程と、前記集合基板付き振動膜を切断することにより個片化した枠状部材付き振動膜を形成する工程とを有することを特徴とするマイクロフォン用薄膜振動膜の製造法。
- 前記樹脂薄膜を形成する工程と前記金属被膜を形成する工程とを交互に繰り返して、多層構造の前記集合振動膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロフォン用薄膜振動膜の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003325355A JP2005094384A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | マイクロフォン用薄膜振動膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003325355A JP2005094384A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | マイクロフォン用薄膜振動膜の製造方法 |
Publications (1)
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JP2005094384A true JP2005094384A (ja) | 2005-04-07 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2003325355A Pending JP2005094384A (ja) | 2003-09-17 | 2003-09-17 | マイクロフォン用薄膜振動膜の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010104000A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Htc Corp | エレクトレット振動板を製造するための方法 |
-
2003
- 2003-09-17 JP JP2003325355A patent/JP2005094384A/ja active Pending
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