JP2005087775A - 電子部品の洗浄治具、洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電子部品を洗浄する際に損傷しにくくしかも電子部品を効率的に洗浄することができる、電子部品の洗浄治具を提供する。
【解決手段】電子部品の洗浄治具１０は、矩形板状の洗浄治具本体１２を含む。洗浄治具本体１２の一方主面側には、電子部品を収納して保持するためのキャビティ１４が、縦横に２５６個配列された状態で形成される。洗浄治具本体１２には、各キャビティ１４の底部において、キャビティ１４の中央および４隅に対応する部分に、洗浄液などを流通するための流通用穴１６ａおよび１６ｂがそれぞれ形成される。
【選択図】図１

Description

この発明は電子部品の洗浄治具、洗浄方法および洗浄装置に関し、特に、たとえば複数の積層セラミックコンデンサ素子を積み重ねて金属端子にはんだ付けしたスタックコンデンサなどのように組立て工程におけるはんだ付け後の洗浄を必要とする電子部品を洗浄する際に用いられる電子部品の洗浄治具などに関する。

この発明の背景となる従来の洗浄装置がたとえば特開平７−２１４０１４号公報に開示されている。特開平７−２１４０１４号公報に開示されている洗浄装置では、複数の被洗浄物が、メッシュ状のバスケットに入れられた状態で、洗浄槽内の洗浄液に漬けられて洗浄される。そして、このように洗浄された複数の被洗浄物は、バスケットに入れられた状態で、リンス槽内のリンス液に漬けられてリンスが行われた後、乾燥槽で乾燥される。

特開平７−２１４０１４号公報

ところが、上述の従来の洗浄装置では、複数の電子部品を洗浄する際に複数の電子部品を乱雑にバスケットに入れて洗浄するので、洗浄中に、電子部品同士が接触して、電子部品に割れや欠けを発生させ、電子部品を損傷してしまうおそれがある。
そこで、メッシュ状のバスケットを用いる代わりに複数のキャビティを形成したプレートを用い、複数の電子部品をプレートの複数のキャビティにそれぞれ収納した状態で洗浄することが考えられるが、この場合、電子部品に対して洗浄液の流通性が悪くなり、超音波を用いて電子部品を洗浄することができなく、洗浄効率が悪くなってしまう。

それゆえに、この発明の主たる目的は、電子部品を洗浄する際に損傷しにくくしかも電子部品を効率的に洗浄することができる、電子部品の洗浄治具、洗浄方法および洗浄装置を提供することである。

この発明にかかる電子部品の洗浄治具は、電子部品を洗浄液で洗浄する際に用いられる電子部品の洗浄治具であって、板状の洗浄治具本体を備え、洗浄治具本体の一方主面側に、それぞれが洗浄すべき電子部品を保持して電子部品の位置ずれを防止するための複数のキャビティが形成され、洗浄治具本体において複数のキャビティの底部に流通用穴がそれぞれ形成された、電子部品の洗浄治具である。
この発明にかかる電子部品の洗浄治具では、洗浄治具本体においてキャビティの外側に洗浄治具本体の一方主面から他方主面に抜ける抜き穴が形成されてもよい。
また、この発明にかかる電子部品の洗浄治具では、洗浄治具本体は、底板と、底板の上に設けられる中板と、中板の上に設けられる上板とを備え、キャビティは、上板および中板を貫通するようにして略直方体状に形成され、流通用穴は、底板においてキャビティの中央に対応する部分およびキャビティの４隅に対応する部分に形成され、抜き穴は、上板、中板および底板を貫通するようにして形成されてもよい。
さらに、この発明にかかる電子部品の洗浄治具では、中板は、洗浄すべき電子部品の大きさに応じて上板および底板間で複数枚積層されてもよい。

この発明にかかる電子部品の洗浄方法は、この発明にかかる電子部品の洗浄治具の複数のキャビティに複数の電子部品を収納することによって複数の電子部品を洗浄治具の複数のキャビティで保持するステップと、複数の電子部品を洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で洗浄するステップと、洗浄した複数の電子部品を洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で乾燥するステップとを備えた、電子部品の洗浄方法である。
この発明にかかる電子部品の洗浄方法では、洗浄するステップは、洗浄治具を搬送治具に取り付けた状態で行われてもよい。
また、この発明にかかる電子部品の洗浄方法では、洗浄するステップは、超音波を用いて行われてもよい。
さらに、この発明にかかる電子部品の洗浄方法では、乾燥するステップは、洗浄治具を乾燥箱上に取り付け、乾燥箱内の空気を外部に排気し、外部から洗浄治具の流通用穴を通して乾燥箱内に空気を供給することによって行われてもよい。

この発明にかかる電子部品の洗浄装置は、この発明にかかる電子部品の洗浄治具と、洗浄治具が取り付けられ、洗浄治具を搬送するための搬送治具と、搬送治具に取り付けられた洗浄治具の複数のキャビティで保持されている複数の電子部品を洗浄するための洗浄機と、洗浄機で洗浄した複数の電子部品を洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で乾燥するための乾燥機とを備えた、電子部品の洗浄装置である。

この発明によれば、電子部品を洗浄する際に損傷しにくくしかも電子部品を効率的に洗浄することができる。

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。

図１はこの発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる洗浄治具の一例を示す平面図であり、図２はその洗浄治具の要部断面図であり、図３はその洗浄治具に用いられる上板を示す平面図であり、図４はその洗浄治具に用いられる中板を示す平面図であり、図５はその洗浄治具に用いられる底板を示す平面図である。図１に示す洗浄治具１０は、たとえば略矩形板状の洗浄治具本体１２を含む。洗浄治具本体１２は、積層された状態で接合される上板１２ａ、中板１２ｂおよび底板１２ｃを含む。この場合、上板１２ａ、中板１２ｂおよび下板１２ｃは、それぞれステンレス板をエッチングすることによって形成され、底板１２ｃの上には中板１２ｂが設けられ、中板１２ｂの上には上板１２ａが設けられ、それらが熱圧着されて貼り合わされまたはスポット溶接されて接合される。また、この場合、中板１２ｂは、洗浄すべき電子部品の大きさに応じて、上板１２ａおよび底板１２ｃ間にたとえば１０枚積層される。

洗浄治具本体１２の一方主面側には、たとえば２５６個の略直方体状のキャビティ１４、１４、・・が形成される。この場合、これらのキャビティ１４、１４、・・は、洗浄治具本体１２の長手方向において間隔を隔てて１６個並びかつ洗浄治具本体１２の幅方向においても間隔を隔てて１６個並ぶように、縦横に配列された状態で形成される。また、各キャビティ１４は、図２、図３および図４に示すように、上板１２ａおよび中板１２ｂを貫通するようにして形成される。さらに、各キャビティ１４は、一部分を図３および図４に拡大して示すように、４隅が略円柱状に形成される。これらのキャビティ１４、１４、・・は、それぞれ、洗浄すべき電子部品を保持して電子部品の位置ずれを防止するためのものである。

また、洗浄治具本体１２には、図２に示すように、各キャビティ１４の底部の中央に対応する部分に、たとえば円形の流通用穴１６ａがそれぞれ形成される。さらに、洗浄治具本体１２には、各キャビティ１４の底部の４隅に対応する部分に、たとえば円形の流通用穴１６ｂがそれぞれ形成される。これらの流通用穴１６ａおよび１６ｂは、図５に示すように、底板１２ｃに形成される。これらの流通用穴１６ａおよび１６ｂは、電子部品を洗浄する洗浄液や電子部品を乾燥する気体を流通するためのものである。

さらに、洗浄治具本体１２には、それらのキャビティ１４、１４、・・の外側であって洗浄治具本体１２の幅方向における両側に、たとえば直方体状の４つの抜き穴１８、１８、・・が、洗浄治具本体１２の一方主面から他方主面に抜けるように形成される。この場合、各抜き穴１８は、上板１２ａ、中板１２ｂおよび底板１２ｃを貫通するようにして形成される。これらの抜き穴１８、１８、・・は、電子部品を洗浄する洗浄液を流通するためのものである。

また、洗浄治具本体１２には、それらキャビティ１４、１４、・・の間において、上板１２ａに４５個の円形の抜き穴２０ａ、２０ａ、・・が横に１５個並びかつ縦に３つ並ぶ配列で形成され、中板１２ｂに１５個の縦長の抜き穴２０ｂ、２０ｂ、・・が横に間隔を隔てて形成され、底板１２ｃに６０個の円形の抜き穴２０ｃ、２０ｃ、・・が横に１５個並びかつ縦に４つ並ぶ配列で形成される。これらの抜き穴２０ａ、２０ｂおよび２０ｃは、縦に並ぶ３つずつの抜き穴２０ａと縦に並ぶ４つずつの抜き穴２０ｃとが各抜き穴２０ｂに通じるように形成される。これらの抜き穴２０ａ、２０ｂおよび２０ｃは、洗浄液を流通するためのものである。

さらに、洗浄治具本体１２には、それらのキャビティ１４、１４、・・の外側において、上板１２ａに８つの円形の抜き穴２２ａ、２２ａ、・・が形成され、中板１２ｂに４つの長方形状の抜き穴２２ｂ、２２ｂ、・・が形成され、底板１２ｃに１２個の円形の抜き穴２２ｃ、２２ｃ、・・が形成される。これらの抜き穴２２ａ、２２ｂおよび２２ｃは、２つずつの抜き穴２２ａと３つずつの抜き穴２２ｃとが各抜き穴２２ｂに通じるように形成される。これらの抜き穴２２ａ、２２ｂおよび２２ｃも、洗浄液を流通するためのものである。

また、洗浄治具本体１２において互いに隣り合わない２つの隅には、たとえば円柱状の２つの位置決め用穴２４、２４が、洗浄治具本体１２の一方主面から他方主面に抜けるように形成される。各位置決め用穴２４は、上板１２ａ、中板１２ｂおよび底板１２ｃを貫通するようにして形成される。これらの位置決め用穴２４、２４は、上板１２ａ、中板１２ｂおよび底板１２ｃを積層した状態で貼り合わせまたは接合する際に、それらを互いに位置決めするために用いられるものである。また、これらの位置決め用穴２４、２４は、洗浄治具本体１２を後述する搬送治具３０や乾燥機５０に取り付ける際に、搬送治具３０や乾燥機５０に対して洗浄治具本体１２を位置決めするために用いられるものである。

この洗浄治具１０の各キャビティ１２には、洗浄すべき電子部品としてたとえば図６に示すスタックコンデンサ１が、図７に示すように収納され保持される。このスタックコンデンサ１は、２つの積層セラミックコンデンサ素子２、２を有する。各積層セラミックコンデンサ素子２は、一端部に外部電極３ａが形成され、他端部に外部電極３ｂが形成されている。これらの積層セラミックコンデンサ素子２、２は積み重ねられ、一端部の外部電極３ａ、３ａが一方の金属端子４ａにはんだ付けされ、他端部の外部電極３ｂ、３ｂが他方の金属端子４ｂにはんだ付けされている。なお、スタックコンデンサは、取得容量に応じて任意の数だけ積層セラミックコンデンサ素子が積み重ねられる。

図８はこの発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる搬送治具の一例を示す斜視図である。図８に示す搬送治具３０は、たとえば中間部が細い棒状の２つの支持部材３２、３２を含む。各支持部材３２は、洗浄治具１０の幅方向における寸法と略同じ長さを有する。これらの支持部材３２、３２は、洗浄治具１０のキャビティ１４、流通用穴１６ａ、１６ｂおよび抜き穴１８、２０ａ〜２０ｃ、２２ａ〜２２ｃを塞がない開放した状態で、その上に洗浄治具１０を図９に示すように載置するためのものである。
これらの支持部材３２、３２は、洗浄治具１０の長手方向における寸法と略同じ間隔を隔てて配置され、両端が略Ｕ字状の２つの支持板３４、３４の下部にそれぞれ固着される。一方の支持部材３２の一端部の上および他方に支持部材３２の他端部の上には、円柱状の位置決め用突出部３６、３６が形成される。これらの位置決め用突出部３６、３６は、洗浄治具１０の位置決め用穴２４、２４に対応するように形成される。これらの位置決め用突出部３６、３６は、洗浄治具１０を図９に示すように支持部材３２、３２上に載置した場合に、洗浄治具１０の位置決め用穴２４、２４に嵌って、洗浄治具１０を搬送治具３０に対して位置決めするとともに搬送治具３０に取り付けるためのものである。
また、２つの支持板３４、３４の上端には、円柱状の２本の握棒３８、３８の両端が固着される。これらの握棒３８、３８は、洗浄治具１０を搬送治具３０に取り付けて搬送する際に握られるものである。

図１０はこの発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる洗浄機の一例を示す斜視図である。図１０に示す洗浄機４０は、洗浄槽４２を含む。洗浄槽４２の内部は、搬送治具３０より若干大きく形成される。この洗浄槽４２内には、洗浄液が溜められる。また、洗浄槽４２の外面には、洗浄槽４２内の洗浄液に超音波振動を与えるための超音波振動発生器（図示せず）が固着される。

図１１はこの発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる乾燥機の一例を示す斜視図である。図１１に示す乾燥機５０は、乾燥箱５２を含む。乾燥箱５２の上部には、矩形状の２つの吸引穴５４、５４が形成される。各吸引穴５４は、乾燥箱５２上に洗浄治具１０を図１２に示すように載置した場合に洗浄治具１０の流通用穴１６ａおよび１６ｂが乾燥箱５２内に通じるように、洗浄治具１０のキャビティ１４、１４、・・が形成される領域と略同じ大きさに形成される。また、乾燥箱５２の上部には、２つの吸引穴５４、５４の周辺部分に、円柱状の４つの位置決め用突起５６、５６、・・が形成される。これらの位置決め用突起５６、５６、・・は、２つの洗浄治具１０、１０を図１２に示すように乾燥箱５２上に載置した場合に、２つの洗浄治具１０の４つの位置決め用穴２４、２４に嵌って、２つの洗浄治具１０を乾燥箱５２に対して位置決めするとともに乾燥箱５２に取り付けるためのものである。
また、乾燥箱５２内には、吸気ダクト５８を介して、ブロア６０の吸気側が接続される。さらに、ブロア６０の排気側は、排気ダクト６２に接続される。

次に、上述の洗浄治具１０、搬送治具３０、洗浄機４０および乾燥機５０を用いた洗浄装置で電子部品としてのスタックコンデンサ１を洗浄する洗浄方法について説明する。

まず、洗浄治具１０の各キャビティ１４には、図７に示すように、スタックコンデンサ１がそれぞれ収納され保持される。

そして、スタックコンデンサ１、１、・・を保持している洗浄治具１０は、図９に示すように、搬送治具３０に位置決めされて取り付けられる。この場合、洗浄治具１０が搬送治具３０の支持部材３２、３２上に載置され、洗浄治具１０の位置決め用穴２４、２４に搬送治具３０の位置決め用突出部３６、３６が嵌められる。また、この場合、洗浄治具１０のキャビティ１４、流通用穴１６ａ、１６ｂ、抜き穴１８、２０ａ〜２０ｃ、２２ａ〜２２ｃは、搬送治具３０で塞がれず、開放されている。

なお、洗浄治具１０が搬送治具３０に位置決めされて取り付けられてから、洗浄治具１０の各キャビティ１４にスタックコンデンサ１がそれぞれ収納され保持されてもよい。

そして、スタックコンデンサ１、１、・・を保持している洗浄治具１０は、図１０に示すように、搬送治具３０の握部３８、３８以外の大部分とともに、洗浄機４０の洗浄槽４２内に入れられ、洗浄槽４２内の洗浄液に漬けられる。

そして、洗浄治具１０で保持されているスタックコンデンサ１、１、・・は、洗浄機４０によって洗浄槽４２内の洗浄液中において超音波で洗浄される。

洗浄されたスタックコンデンサ１、１、・・は、洗浄治具１０とともに、搬送治具３０によって洗浄槽４２内の洗浄液から引き出される。

そして、洗浄液で洗浄されたスタックコンデンサ１、１、・・は、洗浄治具１０とともに、搬送治具３０から外される。

このようにして搬送治具３０から外された洗浄治具１０は、乾燥機５０に位置決めされて取り付けられる。この場合、図１２に示すように、洗浄治具１０が乾燥機５０の乾燥箱５２上に載置され、洗浄治具１０の位置決め用穴２４、２４に乾燥機５０の位置決め用突起５４、５４が嵌められる。また、この場合、洗浄治具１０は、キャビティ１４および流通用穴１６ａ、１６ｂが乾燥箱５２内に通じるように配置される。

そして、洗浄箱５２内の空気を吸気ダクト５８、ブロア６０および排気ダクト６２で排気し、外部から洗浄治具１０のキャビティ１４および流通用穴１６ａ、１６ｂを通して乾燥箱５２内に空気を供給することによって、キャビティ１４内のスタックコンデンサ１が乾燥される。

上述のようにしてスタックコンデンサ１を洗浄して乾燥すれば、以下のような効果を奏する。

洗浄治具１０の個々のキャビティ１４に個々のスタックコンデンサ１を収納した状態で洗浄して乾燥するので、スタックコンデンサ１同士が接触せず、スタックコンデンサ１に割れや欠けなどの損傷が生じにくく、洗浄されたスタックコンデンサ１の品質の安定化が可能である。

また、洗浄治具１０の各キャビティ１４の底部に流通用穴１６ａ、１６ｂが形成されているので、キャビティ１４内のスタックコンデンサ１の周囲に洗浄液が回り込みやすいとともに超音波の浸透性が良好である。そのため、超音波を用いてスタックコンデンサ１を洗浄することができ、洗浄効率がよく、洗浄時間を短くすることができ、生産性や加工コストの削減が可能となる。

さらに、洗浄治具１０のキャビティ１４および流通用穴１６ａ、１６ｂに外部の空気を流通してキャビティ１４内のスタックコンデンサ１を乾燥するので、スタックコンデンサ１の乾燥効率がよく、乾燥時間を短くすることができ、この点においても、生産性の向上や加工コストの削減が可能となる。

なお、上述のように流通用穴１６ａ、１６ｂが形成された洗浄治具１０などを用いた洗浄方法では、そのような流通用穴が形成されていない洗浄治具などを用いた洗浄方法と比べて、同じ数のスタックコンデンサ１を洗浄して乾燥する際に、たとえば１０分間という長時間からたとえば３分間という短時間に、洗浄時間および乾燥時間の処理時間を大幅に短縮することができた。

また、上述のように流通用穴１６ａ、１６ｂが形成された洗浄治具１０などを用いた洗浄方法では、そのような流通用穴が形成されていない洗浄治具などを用いた洗浄方法と比べて、洗浄後のスタックコンデンサ１の表面に残る残渣（外部電極３ａ、３ｂと金属端子４ａ、４ｂとをはんだ付けする際に用いられたフラックス分）が少なくなり、スタックコンデンサ１の品質が向上していた。

また、上述の洗浄治具１０では、上板１２ａ、中板１２ｂおよび底板１２ｃがスレンレス板をエッチング加工することによって高精度に形成されるので、キャビティ１４や位置決め穴２４などの位置精度が高い。そのため、上述の洗浄治具１０では、キャビティ１４の内部にスタックコンデンサ１が引っ掛かりにくく、キャビティ１４にスタックコンデンサ１を収納しやすく、キャビティ１４からスタックコンデンサ１を取る出しやすく、しかも、洗浄搬送治具３０や乾燥機５０への取り付け位置精度もよい。

さらに、上述の洗浄治具１０では、中板１２ｂが複数枚積層されるので、中板１２ｂの積層数を調整することによって、洗浄治具１０の厚みを洗浄すべき電子部品の大きさに応じた厚みに調整可能である。

なお、上述の洗浄治具１０は、他の構造のものに変更されてもよい。たとえば、洗浄治具１０の全体の形状や形状、洗浄治具１０に形成されるキャビティ、流通用穴、抜き穴の数、位置、形状や大きさなどが変更されてもよい。

また、搬送治具３０、洗浄機４０の洗浄槽４２、乾燥機５０の乾燥箱５２についても、形状や大きさが変更されてもよい。

さらに、搬送治具３０や乾燥機５０に取り付けられる洗浄治具１０の数は、洗浄機４０の洗浄能力や乾燥機５０の乾燥能力に応じて変更されてもよい。

また、洗浄治具１０を搬送治具３０や乾燥機５０に取り付ける手段は、位置決め用穴、位置決め用突出部、位置決め用突起に限らず、一方が凹部で他方が凸部であってもよく、また、一方が挟まれる被挟持部であり他方がその被挟持部を挟持する挟持部であってもよく、どのような手段であってもよい。

この発明にかかる電子部品の洗浄治具、洗浄方法および洗浄装置は、たとえばスタックコンデンサなどの電子部品の洗浄に適用できる。

この発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる洗浄治具の一例を示す平面図である。 図１に示す洗浄治具の要部断面図である。 図１に示す洗浄治具に用いられる上板を示す平面図である。 図１に示す洗浄治具に用いられる中板を示す平面図である。 図１に示す洗浄治具に用いられる底板を示す平面図である。 この発明にかかる電子部品の洗浄装置で洗浄されるスタックコンデンサの一例を示す斜視図である。 図１に示す洗浄治具のキャビティに図６に示すスタックコンデンサが収納された状態を示す図解図である。 この発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる搬送治具の一例を示す斜視図である。 図１に示す洗浄治具が図８に示す搬送治具に取り付けられた状態を示す斜視図である。 この発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる洗浄機の一例を示す斜視図である。 この発明にかかる電子部品の洗浄装置に用いられる乾燥機の一例を示す斜視図である。 図１に示す洗浄治具が図１１に示す乾燥機に取り付けられた状態を示す斜視図である。

符号の説明

１０ 洗浄治具
１２ 洗浄治具本体
１２ａ 上板
１２ｂ 中板
１２ｃ 底板
１４ キャビティ
１６ａ、１６ｂ 流通用穴
１８ 抜き穴
２０ａ〜２０ｃ 抜き穴
２２ａ〜２２ｃ 抜き穴
２４ 位置決め用穴
３０ 搬送治具
３２ 支持部材
３４ 支持板
３６ 位置決め用突出部
３８ 握棒
４０ 洗浄機
４２ 洗浄槽
５０ 乾燥機
５２ 乾燥箱
５４ 吸引穴
５６ 位置決め用突起
５８ 吸気ダクト
６０ ブロア
６２ 排気ダクト

Claims (9)

1. 電子部品を洗浄液で洗浄する際に用いられる電子部品の洗浄治具であって、
   板状の洗浄治具本体を備え、
   前記洗浄治具本体の一方主面側に、それぞれが洗浄すべき電子部品を保持して電子部品の位置ずれを防止するための複数のキャビティが形成され、
   前記洗浄治具本体において前記複数のキャビティの底部に流通用穴がそれぞれ形成された、電子部品の洗浄治具。
2. 前記洗浄治具本体において前記キャビティの外側に前記洗浄治具本体の一方主面から他方主面に抜ける抜き穴が形成された、請求項１に記載の電子部品の洗浄治具。
3. 前記洗浄治具本体は、
   底板、
   前記底板の上に設けられる中板、および
   前記中板の上に設けられる上板を備え、
   前記キャビティは、前記上板および前記中板を貫通するようにして略直方体状に形成され、
   前記流通用穴は、前記底板において前記キャビティの中央に対応する部分および前記キャビティの４隅に対応する部分に形成され、
   前記抜き穴は、前記上板、前記中板および前記底板を貫通するようにして形成された、請求項２に記載の電子部品の洗浄治具。
4. 前記中板は、洗浄すべき電子部品の大きさに応じて前記上板および前記底板間に複数枚積層される、請求項３に記載の電子部品の洗浄治具。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の電子部品の洗浄治具の複数のキャビティに複数の電子部品を収納することによって前記複数の電子部品を前記洗浄治具の複数のキャビティで保持するステップ、
   前記複数の電子部品を前記洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で洗浄するステップ、および
   前記洗浄した複数の電子部品を前記洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で乾燥するステップを備えた、電子部品の洗浄方法。
6. 前記洗浄するステップは、前記洗浄治具を搬送治具に取り付けた状態で行われる、請求項５に記載の電子部品の洗浄方法。
7. 前記洗浄するステップは、超音波を用いて行われる、請求項５または請求項６に記載の電子部品の洗浄方法。
8. 前記乾燥するステップは、前記洗浄治具を乾燥箱上に取り付け、前記乾燥箱内の空気を外部に排気し、外部から前記洗浄治具の流通用穴を通して前記乾燥箱内に空気を供給することによって行われる、請求項５ないし請求項７のいずれかに記載の電子部品の洗浄方法。
9. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の電子部品の洗浄治具、
   前記洗浄治具が取り付けられ、前記洗浄治具を搬送するための搬送治具、
   前記搬送治具に取り付けられた前記洗浄治具の複数のキャビティで保持されている複数の電子部品を洗浄するための洗浄機、および
   前記洗浄機で洗浄した複数の電子部品を前記洗浄治具の複数のキャビティで保持した状態で乾燥するための乾燥機を備えた、電子部品の洗浄装置。

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