JP2005085540A - オージェー光電子コインシデンス分光器、及びオージェー光電子コインシデンス分光法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 同軸対称鏡電子エネルギー分析器を準備し、この同軸対称鏡電子エネルギー分析器内において同心状にミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器を配置する。前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で所定の試料からの光電子を検出し、前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器で前記試料からのオージェ電子を検出する。次いで、マルチチャンネルスケーラーを準備し、前記マルチチャンネルスケーラーのトリガー側に前記光電子のシグナルを導入し、前記マルチチャンネルスケーラーの入力側に前記オージェ電子のシグナルを導入して、前記オージェ電子シグナルを前記光電子シグナルでトリガーし、得られたオージェー光電子コインシデンスシグナルを検出する。
【選択図】図1
Description
円筒形状の第1の内電極、この第1の内電極と同心円状に配置された第1の外電極、並びに前記第1の内電極及び前記第1の外電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置された電子検出器を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の、前記内電極内に配置され、円筒形状の第2の内電極、この第2の内電極と同心円状に配置された第2の外電極、並びに前記第2の内電極及び前記第2の外電極の後方に配置された電子増倍管を含むミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器と、
を具えることを特徴とする、オージェー光電子コインシデンス分光器に関する。
20 同軸対称鏡電子エネルギー分析器
21 第1の内電極
22 第2の外電極
23 電子検出器
24 補助電極
30 ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器
31 第2の内電極
32 第2の外電極
33 電子像倍管
41、43 増幅器
42、44 弁別器
45 遅延装置
46 マルチチャンネルスケーラー
47 計算機
48 電源
Claims (21)
- 円筒形状の第1の内電極、この第1の内電極と同心円状に配置された第1の外電極、並びに前記第1の内電極及び前記第1の外電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置された電子検出器を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の、前記内電極内に配置され、円筒形状の第2の内電極、この第2の内電極と同心円状に配置された第2の外電極、並びに前記第2の内電極及び前記第2の外電極の後方に配置された電子増倍管を含むミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器と、
を具えることを特徴とする、オージェー光電子コインシデンス分光器。 - 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器と前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器とは同軸上に配置したことを特徴とする、請求項1に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- コンフラットフランジを具え、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器は、前記コンフラットフランジ上で一体的に組み立てられたことを特徴とする、請求項2に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の、前記第2の内電極はメッシュ状であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の外径が26mm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の立体角が0.72sr以上であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は、前記第1の内電極及び前記第1の外電極の少なくとも一方の端部において、補助電極を含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- xyz位置調整機構を具えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- ティルト調整機構を具えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は光電子を検出し、前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器はオージェ電子を検出することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- オージェー光電子コインシデンスシグナルを生成するためのマルチチャンネルスケーラーを具えることを特徴とする、請求項10に記載のオージェー光電子コインシデンス分光器。
- 円筒形状の第1の内電極、この第1の内電極と同心円状に配置された第1の外電極、並びに前記第1の内電極及び前記第1の外電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置された電子検出器を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器を準備する工程と、
円筒形状の第2の内電極、この第2の内電極と同心円状に配置された第2の外電極、並びに前記第2の内電極及び前記第2の外電極の後方に配置された電子増倍管を含むミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器を、前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の、前記内電極内に配置する工程と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の前方に設けられた試料に対して放射光を入射させ、得られた光電子を前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器で検出し、得られたオージェ電子を前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器で検出する工程と、
を具えることを特徴とする、オージェー光電子コインシデンス分光法。 - 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器と前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器とは同軸上に配置することを特徴とする、請求項12に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器及び前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器は、コンフラットフランジ上で一体的に組み立てられることを特徴とする、請求項13に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の、前記第2の内電極はメッシュ状とすることを特徴とする、請求項12〜14のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の外径が26mm以下であることを特徴とする、請求項12〜15のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記ミニチュア円筒鏡電子エネルギー分析器の立体角が0.72sr以上であることを特徴とする、請求項12〜16のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器は、前記第1の内電極及び前記第1の外電極の少なくとも一方の端部において、補助電極を含むことを特徴とする、請求項12〜17のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- マルチチャンネルスケーラーを準備し、前記マルチチャンネルスケーラーのトリガー側に前記光電子のシグナルを導入し、前記マルチチャンネルスケーラーの入力側に前記オージェ電子のシグナルを導入して、前記オージェ電子シグナルを前記光電子シグナルでトリガーし、得られたオージェー光電子コインシデンスシグナルを検出することを特徴とする、請求項12〜18のいずれか一に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記マルチチャンネルスケーラーに対して、前記オージェ電子シグナルを前記光電子シグナルよりも所定時間遅延させて入力することを特徴とする、請求項19に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
- 前記オージェー光電子コインシデンスシグナルは、前記光電子と前記オージェ電子との飛行時間差をパラメータとして検出することを特徴とする、請求項19又は20に記載のオージェー光電子コインシデンス分光法。
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