JP2005078961A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】概略円筒形をしたエッチング処理室1内に円板形アンテナ5から電磁波を放射してエッチングガスをプラズマ化する方式のプラズマ処理装置において、円板形アンテナ5がスロット線路を複数個備え、これら複数個のスロット線路を、円板形アンテナ5から放射される電磁波により、エッチング処理室1内に発生する電界が、この処理室1の円周方向の成分を主体として形成されるように、円板形アンテナ5の放射方向に配置したもの。
【選択図】図1
Description
1:処理室
2:誘電体板
3:アンテナ室
4:基板電極(基板載置用の台)
5:円板形アンテナ
6:高周波電源
7:自動整合器
8:同軸線路
10:ノズル板
11:ガスノズル(ガス噴出孔)
12、13、14:コイル(静磁界発生装置として働くコイル)
15:自動整合器
16:高周波バイアス電源
17:短絡板
50:導体板
50A:上面中心部
50B:連結部
50C:上面扇形部
50D:側端面部
50E:下面扇形部
50F:下面中心部
51:誘電体板
S1〜S4:スロット線路
Claims (4)
- 概略円筒形をしたエッチング処理室内に円板形アンテナから電磁波を放射してエッチングガスをプラズマ化する方式のプラズマ処理装置において、
前記円板形アンテナが複数個のスロット線路を備え、
これら複数個のスロット線路は、
前記円板形アンテナから放射される電磁波により、前記エッチング処理室内に発生する電界が、当該処理室の円周方向の成分を主体として形成されるように、前記円板形アンテナの放射方向に配置されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項に記載のプラズマ処理装置において、
前記エッチング処理室内の処理対象物に静磁界を略垂直に印加する手段が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記電磁波の周波数が200MHz以上5GHz以下であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記複数個のスロット線路は、
前記円板形アンテナが前記エッチング処理室の電磁波導入窓に概略接しており、
前記円板形アンテナの前記電磁波導入窓側では、前記複数個のスロット線路が放射状に配置され、
前記円板形アンテナの前記電磁波導入窓とは反対側の面では、前記複数個のスロット線路が円周方向を向き、
前記放射状に配置されたスロット線路と前記円周方向を向いたスロット線路がスロット線路により接続されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
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JP2003308728A JP3814266B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | プラズマ処理装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2539863C1 (ru) * | 2013-10-18 | 2015-01-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук (ИСВЧПЭ РАН) | Устройство свч плазменной обработки пластин |
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2003
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