JP2005077173A - Method and apparatus for sensing gas leak - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は漏洩ガス検出の方法及び装置に関するものであり、ある既知成分のガス中に他のガスが混入した場合にそのガス成分を識別するために、室温作動でき、また被検出ガスを反応、消費することなく熱源なしで検出する新しいタイプのガス検知方法とガスセンサに関する。 The present invention relates to a method and apparatus for detecting a leaked gas. When another gas is mixed in a gas having a certain known component, the gas component can be operated at room temperature to react with the detected gas. The present invention relates to a new type of gas detection method and gas sensor that detect without using a heat source without being consumed.
一般にイオン化やクロマトグラフを用いた質量分析法を行えば漏洩ガスを検出することが可能である。
その他のガス識別法として、様々なガスに対応したガスセンサを複数組み合わせることにより多成分を複数同時に識別しようとするもので、複数個のセンサーと各センサーからのシグナルを解析する情報処理装置からなるものが提案されている（特許文献１）。
また、クリスタルゲージ（水晶振動子）単体で、被測定ガスの高分子膜への吸着による粘性的性質の変化により共振抵抗値が変化することからクリスタルゲージの共振周波数変化と共振抵抗の変化の比を利用することによりガス識別を可能とその電気的インピーダンス変化と共振周波数変化の比を指標としそれぞれの値の組み合わせから成分を識別するガス識別センサーシステム（特許文献２）が提案されている。
また現在市販されているガスセンサとして、主流となっている半導体ガスセンサを含めたものに見られるように測定するガス自身を燃焼反応させることにより検出するものである（特許文献３）。このセンサは可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出するガス検出センサであって、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜を構成要素として含むことを特徴とする可燃性ガス検出センサである。
一方２成分とも既知である２成分混合気体の各濃度を測定する方法が開発されている（特許文献４）。この方法は物性値に敏感な圧力測定装置と、物性値に拠らない圧力測定装置で圧力を測定し、予め求めた物性値データに照らし合わせることによって２成分の各濃度を測定する方法である。この方法はガス成分の物性値に依存する圧力が成分によって異なることを基礎とした測定法である。
In general, leakage gas can be detected by performing mass spectrometry using ionization or chromatography.
Another gas identification method is to identify multiple components simultaneously by combining multiple gas sensors corresponding to various gases, and consists of multiple sensors and an information processing device that analyzes the signals from each sensor. Has been proposed (Patent Document 1).
In addition, since the resonance resistance value changes due to the change in the viscous properties due to the adsorption of the gas to be measured to the polymer film, the ratio of the change in the resonance frequency of the crystal gauge to the change in the resonance resistance. There has been proposed a gas identification sensor system (Patent Document 2) that makes it possible to identify a gas by using the above and identifies a component from a combination of each value using a ratio between a change in electrical impedance and a change in resonance frequency as an index.
Moreover, as a gas sensor currently marketed, it detects by carrying out the combustion reaction of the gas itself to be measured so that it may be seen including the mainstream semiconductor gas sensor (patent document 3). This sensor is a gas detection sensor that converts the heat generated by the catalytic reaction between the combustible gas and the catalyst material into a voltage signal by the thermoelectric conversion effect and detects it as a detection signal. And a thermoelectric conversion material film that converts a local temperature difference generated from heat generated by this reaction into a voltage signal, as a constituent element.
On the other hand, a method has been developed for measuring each concentration of a two-component gas mixture that is known for both components (Patent Document 4). This method is a method of measuring each concentration of two components by measuring pressure with a pressure measuring device sensitive to a physical property value and a pressure measuring device not depending on the physical property value, and comparing it with physical property value data obtained in advance. . This method is a measurement method based on the fact that the pressure depending on the physical property value of the gas component varies depending on the component.
しかし上記の例のうち、まず質量分析法は汎用性が高く検出感度、識別能も高い分析法であるが、これを実際に行うには高価で大掛かりな装置が必要である。
また、ガスセンサを複数個用いる方法（特許文献１）では検出する成分にガスセンサを揃えることが必要であり、ガスセンサが対応していない成分については識別することができないという本質的な欠点を持つ。また、情報処理用の装置類を含めるとかなり大掛かりな装置となり、情報処理計算に時間を要するためにリアルタイムでの測定が不可能である。
一方、特許文献２の技術では常温ガス成分に対する識別が記載されておらず、また本発明で対象とするような混合気体への応用についての記載も示唆もない。
また、現在市販されているガスセンサの検知方法ではその検知過程においてガスの燃焼反応を伴うためガス検出の際には危険性が伴う。この検出法では測定に際し被検出ガスの消費を伴うため厳密にはある状況下での成分濃度を正確に測定することができない。さらにこの種のセンサは検出感度を確保するために加熱することが必要であり、こうした点も可燃性ガス検出には安全性の観点から好ましくない。
したがって、上記のいずれの技術においても、既知成分の気体中に別の未知気体成分が混入した場合、混入した気体の成分を識別することは不可能である。
本発明は上記の問題を解決するため、簡便で熱源を用いず、また被検出ガス自身の反応、すなわち消費を伴わないガス識別法及び漏洩ガス検知法を提供することを目的とする。
However, among the above examples, the mass spectrometry is an analysis method that is versatile and has high detection sensitivity and discrimination ability. However, an expensive and large-scale apparatus is required to actually perform this method.
Further, the method using a plurality of gas sensors (Patent Document 1) has an essential drawback that it is necessary to align gas sensors with the components to be detected, and components that are not supported by the gas sensors cannot be identified. In addition, if information processing devices are included, the device becomes quite large, and information processing calculation takes time, so real-time measurement is impossible.
On the other hand, in the technique of
Moreover, since the gas sensor detection method currently on the market involves a gas combustion reaction in the detection process, there is a risk in detecting the gas. Strictly speaking, this detection method involves consumption of the gas to be detected, so it is not possible to accurately measure the component concentration under certain circumstances. Further, this type of sensor needs to be heated in order to ensure detection sensitivity, and this is also not preferable for the detection of combustible gas from the viewpoint of safety.
Therefore, in any of the above-described techniques, when another unknown gas component is mixed in the known component gas, it is impossible to identify the mixed gas component.
In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a gas identification method and a leakage gas detection method that are simple, do not use a heat source, and do not involve the reaction of the detected gas itself, that is, consumption.
本発明の上記の課題は、以下の手段により達成された。
（１）系の全圧の絶対圧力が変化しないかまたは増加もしくは減少する場合において、物性値に依存する圧力測定装置で系の圧力を測定し、その減少もしくは増加の変化を検知することによって、特定ガスの漏洩、混入を検知する方法。
（２）前記物性値は粘性とし、前記物性値に敏感な圧力測定装置として水晶摩擦真空計またはスピニングロータゲージを用い、物性値に影響を受けない圧力測定装置として隔膜真空計を用いた（１）記載の漏洩ガス検出方法。
（３）既知成分の気体中に別の未知１成分のガスが混入した際に物性値によらない絶対圧力計の増加または不変の出力に対して逆に圧力の減少の変化を示す物性値に敏感な圧力測定器の出力とを組み合わせることによって混入した気体漏洩を検知及び気体の成分を識別する方法。
（４）空気中に水素が漏洩混入した場合、絶対圧力真空計によって圧力の上昇または不変を検出すると同時に、該絶対圧力真空計と水素が増加したことによる粘性の低下を検出しうる、粘性に敏感な圧力計である水晶摩擦真空計、スピニングロータゲージ、もしくはその他の物性値に敏感な圧力測定子とを接続し、同時に圧力を測定して、両圧力測定値の変化の相違から空気中へ混入したガスの成分を識別する方法。
（５）大気中に水素またはヘリウムが漏洩した際に、大気圧センサと物性値に敏感な圧力測定装置の出力とを比較することにより水素またはヘリウムガスの漏洩を検知する方法。
（６）漏洩前後での変化を測定する物性値の影響を受けない圧力測定装置と、漏洩前後での変化を測定する物性値に敏感な圧力測定装置と上記のそれぞれの変化の相対変化を判定する回路からなる漏洩気体検知装置。
（７）微小な増加または不変化に対して減少の現象が起こった場合にそれを増幅して大きな変化として検出できる回路をさらに設けた（６）記載の漏洩気体検知装置。
（８）前記物性値に敏感な圧力測定装置として水晶摩擦真空計またはスピニングロータゲージを用い、物性値に影響を受けない圧力測定装置として隔膜真空計を用いた（６）記載の混合気体用の漏洩ガス検出装置。
（９）大気圧センサと、物性値に敏感な圧力測定装置と、両者の変化を比較する回路からなる、大気中への水素またはヘリウムガス漏洩検出装置。
The above object of the present invention has been achieved by the following means.
(1) When the absolute pressure of the total pressure of the system does not change or increases or decreases, by measuring the pressure of the system with a pressure measuring device depending on the physical property value and detecting the change of the decrease or increase, A method to detect leakage and contamination of specific gases.
(2) The physical property value is viscous, a quartz friction vacuum gauge or a spinning rotor gauge is used as a pressure measuring device sensitive to the physical property value, and a diaphragm vacuum gauge is used as a pressure measuring device not affected by the physical property value (1 ) Leakage gas detection method as described.
(3) When a gas of another unknown component is mixed in a gas of a known component, the physical property value indicates a change in pressure decrease with respect to an increase in the absolute pressure gauge or an unchanged output regardless of the physical property value. A method of detecting mixed gas leaks and identifying gas components by combining with the output of a sensitive pressure gauge.
(4) When hydrogen leaks into the air, the absolute pressure vacuum gauge detects an increase or no change in pressure, and at the same time it can detect a decrease in viscosity due to an increase in the absolute pressure vacuum gauge and hydrogen. Connect a sensitive pressure gauge, such as a quartz friction vacuum gauge, spinning rotor gauge, or other pressure gauge sensitive to physical properties, and measure the pressure at the same time. A method for identifying the components of mixed gases.
(5) A method of detecting leakage of hydrogen or helium gas by comparing an atmospheric pressure sensor and the output of a pressure measuring device sensitive to physical properties when hydrogen or helium leaks into the atmosphere.
(6) A pressure measuring device that is not affected by physical property values that measure changes before and after leakage, a pressure measuring device that is sensitive to physical property values that measure changes before and after leakage, and the relative change of each of the above changes Leakage gas detection device consisting of a circuit to perform.
(7) The leakage gas detection device according to (6), further comprising a circuit capable of amplifying the phenomenon when a decrease phenomenon occurs with respect to a minute increase or no change and detecting it as a large change.
(8) A quartz friction vacuum gauge or a spinning rotor gauge is used as a pressure measuring device sensitive to the physical property value, and a diaphragm vacuum gauge is used as a pressure measuring device not affected by the physical property value. Leakage gas detection device.
(9) A hydrogen or helium gas leak detection device into the atmosphere, comprising an atmospheric pressure sensor, a pressure measurement device sensitive to physical properties, and a circuit for comparing changes between the two.
本発明により既知成分気体に別の未知成分気体が混入した場合にその成分を識別することが可能になる。具体的には、例えば空気中への水素ガスの漏洩を検出することを可能にする。さらにこの検出法は熱源及び被測定対象の反応を伴わないため従来法と比べ安全に、かつ被測定対象を消費することなく検出できる方法である。また、この装置は小型化が可能なため携帯式の漏洩検知器としても応用できる。本発明は、とりわけ水素エネルギー関連の分野での利用が期待される。 According to the present invention, when another unknown component gas is mixed into the known component gas, the component can be identified. Specifically, for example, it is possible to detect leakage of hydrogen gas into the air. Furthermore, since this detection method does not involve the reaction of the heat source and the object to be measured, it can be detected more safely than the conventional method and without consuming the object to be measured. Moreover, since this apparatus can be reduced in size, it can be applied as a portable leak detector. The present invention is expected to be used particularly in the field related to hydrogen energy.
本発明は、系の絶対圧力が増加（減少）または不変の場合に粘性・熱伝導率・密度・分子量およびそれらの関数としての混合気体の物性値に依存する圧力が減少（もしくは増加）する現象を観測することによって漏洩した気体の成分を検知、識別するものである。
更に詳細には、粘性等の物性値に敏感な測定子Ａと、絶対圧力のみに敏感な測定子Ｂを同時に用いて対象混合気体を計測し、測定子Ａ、Ｂで測定した漏洩前後の圧力の変化を測定、比較することにより漏洩気体の検知、識別を行うものである。
本発明において、系の全圧の絶対圧力で変化しないかまたは増加する場合を例に述べると、これは例えば大気中や流れのある配管内のような、通常一定圧力にあり、かつ外からのガスの流入の可能性があるような状況下で、実際に気体が漏洩、混入した場合をいう。
In the present invention, when the absolute pressure of the system increases (decreases) or does not change, the pressure depending on the physical properties of the gas mixture as a function of viscosity, thermal conductivity, density, molecular weight, and the like decreases (or increases). Detecting and identifying the leaked gas component by observing.
In more detail, the target mixed gas is measured using the measuring element A sensitive to physical properties such as viscosity and the measuring element B sensitive only to absolute pressure, and the pressure before and after leakage measured by the measuring elements A and B is measured. The leakage gas is detected and identified by measuring and comparing these changes.
In the present invention, for example, when the absolute pressure of the total pressure of the system does not change or increases, this is usually at a constant pressure, for example, in the atmosphere or in a flowing pipe, and from the outside. This refers to the case where gas is actually leaked and mixed under the situation where there is a possibility of gas inflow.
物性値の差による漏洩気体識別については系の（物性値に依存しない）絶対圧力が変わらないか又は増加した場合、物性値と絶対圧力に依存する圧力測定装置で測定した系の圧力が減少したとすれば、その減少は絶対圧力によるものではないことから、減少の大きさに関わらず混合気体の物性値が変化したことによるものであることが帰結される。
例えば絶対圧力計で測定した大気の圧力が変化しないか増加した状態で水晶摩擦真空計で測定した圧力のみが減少した場合、その減少は水晶摩擦真空計が敏感に依存する物性である系の質量及び粘性等が大きく低下したことによるものであることが結論される。すなわち元々の構成気体である空気の質量及び粘性に比べて小さい気体が漏洩混入したことになる。この場合、後記の表1に見られるように空気に対してより小さい質量及び粘性を持つガスとしては水素、ヘリウム、窒素などがある。この場合、後述するように水素（またはヘリウム）を用いた場合は最小で２０００ppmの濃度においてもここで用いた水晶摩擦真空計の最小変化である１Ｔｏｒｒ以上を観測することが可能であるため、漏洩気体が水素（またはヘリウム）であることは実際に識別できる。
For leaked gas identification based on the difference in physical properties, when the absolute pressure of the system (independent of the physical properties) does not change or increases, the pressure of the system measured by a pressure measuring device that depends on the physical properties and absolute pressure decreases. If this is the case, the decrease is not due to the absolute pressure, so that it can be attributed to the change in the physical property value of the gas mixture regardless of the magnitude of the decrease.
For example, if the atmospheric pressure measured with an absolute pressure gauge does not change or increases, but only the pressure measured with a quartz friction vacuum gauge decreases, the decrease is the mass of the system whose physical properties are sensitive to the quartz friction vacuum gauge. It is concluded that this is due to a significant decrease in viscosity and the like. That is, a gas that is smaller than the mass and viscosity of air, which is the original constituent gas, leaks and enters. In this case, as shown in Table 1 described later, gases having a smaller mass and viscosity than air include hydrogen, helium, and nitrogen. In this case, as described later, when hydrogen (or helium) is used, it is possible to observe 1 Torr or more, which is the minimum change of the quartz friction vacuum gauge used here even at a minimum concentration of 2000 ppm. It can actually be identified that the gas is hydrogen (or helium).
上記から容易に推測されるように逆に系の（物性値に依存しない）絶対圧力が変わらないかまたは減少した場合に物性値と絶対圧力に依存する圧力測定装置で測定した系の圧力が増加したとすれば、その増加は絶対圧力によるものではないことから、増加の大きさに関わらず混合気体の物性値が変化したことによるものであることが帰結される。 As can be easily guessed from the above, when the absolute pressure of the system (independent of the physical property value) does not change or decreases, the pressure of the system measured by a pressure measuring device that depends on the physical property value and absolute pressure increases. If so, the increase is not due to the absolute pressure, so that it is due to the change in the physical property value of the gas mixture regardless of the magnitude of the increase.
後述するように上記測定子Ａと測定子Ｂに、測定子Ａの対象圧力範囲以外に対応した感受性を有する測定子Ｃを追加することでさらに測定圧力範囲を広げる装置の感度を増幅することができる。
本発明における使用される測定子の例としては、例えば液柱差真空計、圧縮真空計、隔膜真空計、ブルドン管真空計等の圧力のみに敏感なものや、圧力に依存して変わると共に、運動固体が気体から受ける摩擦力変化・固体から気体への熱伝導率変化・固体表面近傍で気体が反応したときの固体が受ける分解生成熱といった物理量のうち、いずれかの物理量が変化する圧力計があげられる。
前記圧力が変化すると共に物理量が変化する圧力計としては、例えば粘性（摩擦）を利用する水晶摩擦真空計やスピニングロータゲージ、熱伝導を利用する熱電対真空計やピラニー真空計、そのほかクヌーセン真空計等を用いることができ、また、電離現象を利用する例えば熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射線電離真空計等を使用することができる。これら測定子は、引火性・爆発性といった気体の性質・対象混合気体の濃度・圧力によって使い分けることができる。この圧力計は前記の測定子Ａとして用いられる。
As described later, it is possible to amplify the sensitivity of the device that further expands the measurement pressure range by adding a measurement probe C having sensitivity corresponding to the measurement probe A other than the target pressure range of the measurement probe A to the measurement probe A and the measurement probe B. it can.
Examples of the probe used in the present invention include, for example, a liquid column differential vacuum gauge, a compression vacuum gauge, a diaphragm vacuum gauge, a Bourdon tube vacuum gauge and the like that are sensitive only to pressure, and change depending on the pressure, Pressure gauge that changes any of the physical quantities such as the frictional force that the moving solid receives from the gas, the change in thermal conductivity from the solid to the gas, and the heat of decomposition generated by the solid when the gas reacts near the solid surface Is given.
Examples of pressure gauges that change in physical quantity as the pressure changes include quartz friction vacuum gauges and spinning rotor gauges that use viscosity (friction), thermocouple vacuum gauges and Pirani vacuum gauges that use heat conduction, and other Knudsen vacuum gauges. In addition, for example, a hot cathode ionization vacuum gauge, a cold cathode ionization vacuum gauge, a radiation ionization vacuum gauge, or the like using an ionization phenomenon can be used. These probes can be used properly depending on the gas properties such as flammability and explosiveness, the concentration and pressure of the target mixed gas. This pressure gauge is used as the measuring element A.
次に本発明の好ましい実施態様を図面に従って説明する。
なお図面中、同符号は同じものを示す。
Next, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the drawings, the same symbols indicate the same items.
図１に本発明を実施する装置の模式図を示す。同図に示されるように、被測定混合ガスが供給される配管４に連通管１０を接続し、この連通管に対して混合ガスの粘性や分子密度等の物性によって測定値が変化しない絶対圧力を測定することができる絶対圧力測定子１を接続すると共に、気体の粘度等の物性により表示圧力が変化し、且つ予めその特性が知られている圧力測定子、即ち圧力・物性値測定子２を接続している。
また、前記絶対圧力測定子１及び圧力・物性測定子２で測定した漏洩前後の圧力変化から特定の気体漏洩を判断する気体成分識別（気体漏洩検知）装置３を備えている。
FIG. 1 shows a schematic diagram of an apparatus for carrying out the present invention. As shown in the figure, a
Further, a gas component identification (gas leakage detection) device 3 is provided for judging a specific gas leakage from pressure changes before and after leakage measured by the
図２により具体的な実施態様を示す。図２は、空気中に水素ガスが混入した場合の水素検知装置の実施例であり、絶対圧力測定子として隔膜真空計５を用いている。この隔膜真空計５は物性値に無関係に気体圧力の絶対値を得ることができ、それにより気体の種別に無関係に漏洩前後の気体圧力を計測することができる。図中８は被測定混合ガスが供給される配管であり、７は気体成分識別装置である。
A specific embodiment is shown in FIG. FIG. 2 shows an embodiment of a hydrogen detector when hydrogen gas is mixed in the air, and a
図２の態様において、圧力・物性値測定子としては水晶摩擦真空計６を用いている。
この水晶摩擦真空計６の特性を図３に示す。これは例えば表１に示すように気体の分子量と粘性係数の違いによって水晶摩擦真空計の指示値が見かけ上異なる圧力を表示していることを示すものである。この理由は、水晶摩擦真空計が、気体に接した水晶振動子の受ける気体との摩擦力が、圧力が粘性流の領域では気体の分子量と気体の粘性係数の積の１／２乗に比例することから生じるものである。この水晶摩擦真空計は、常温で動作し、被測定気体を反応させることがないため測定によって被反応気体を消費せず、可燃性ガスを安全に検出、測定することが可能である。
In the embodiment of FIG. 2, a quartz
The characteristics of this quartz
特に測定子５の増加に対して測定子６の変化が逆に減少するような場合はその相対変化が大きく結果としてその変化が検出しやすくなるため、ガス識別を有効に行うことができる。このような例として、空気中への水素及びヘリウムの漏出がある。
In particular, when the change of the
図４は、図３の装置を用い、上記によって示された検出の例である。圧力のみに敏感な隔膜真空計５と圧力と例えば粘性等の物性値に敏感な水晶摩擦真空計６とで測定されている系において、空気中に他の未知成分ガスが混入した場合に隔膜真空計５の測定値ａは混入した分増加するが、水晶摩擦真空計６の測定値ｂは混合気体の物性値に応じてその変化量の割合は隔膜真空計５の変化量と比べて異なる値を示し、減少する結果を示した。
水晶摩擦真空計は測定対象の質量及び粘性に大きく依存することから、この場合空気中に空気と比較して質量または粘性の小さいガス、すなわち水素（またはヘリウム）が混入したことがわかる。
なお、ヘリウムの場合も同様な変化を検出した。
FIG. 4 is an example of the detection shown above using the apparatus of FIG. In a system in which a
Since the quartz friction vacuum gauge greatly depends on the mass and viscosity of the object to be measured, it can be understood that in this case, a gas having a smaller mass or viscosity than that of air, that is, hydrogen (or helium) is mixed in the air.
Similar changes were detected in the case of helium.
時間応答特性については、水晶摩擦真空計の最大変化の９０％までの立ち上がり時間は２００秒程度であったが、この時間にはガス流れの飽和に要する時間が含まれているため、実際の応答時間はより短い。また最大変化の９０％までの立ち下がり時間も１００秒程度であったが、この場合もここでの実施上水素ガスが完全に排出されるまでの時間が含まれているため実際の応答時間はこれよりも短い。本発明のガス漏洩検知方法は以上のような時間応答特性を持つため繰り返し特性において優れた方法である。
さらに本発明の方法では、濃度計算機と組み合わせて前述した「２種類混合気体の濃度測定方法および濃度測定装置（特許第３３３６３８４号）」の方法を用いることにより検知したガスの濃度が定量できる。
Regarding the time response characteristics, the rise time up to 90% of the maximum change of the quartz friction vacuum gauge was about 200 seconds, but this time includes the time required for saturation of the gas flow. The time is shorter. Also, the fall time to 90% of the maximum change was about 100 seconds, but in this case as well, the actual response time is Shorter than this. Since the gas leakage detection method of the present invention has the time response characteristics as described above, it is an excellent method in repetition characteristics.
Further, in the method of the present invention, the concentration of the detected gas can be quantified by using the method of “concentration measuring method and concentration measuring apparatus (Japanese Patent No. 3336384)” described above in combination with a concentration calculator.
図５は、本発明の変更実施態様を示し、前記図２に示す実施態様の装置に、更に配管１５の連通管にスピニングロータゲージ１３を接続し、３種類の真空計で構成された濃度計測装置の実施例を示す。隔膜式真空計１１は前記のように気体の種別に無関係に絶対圧力を計測し、水晶摩擦真空計１２は気体の粘性・分子量の物性値と圧力の双方に敏感であって使用圧力範囲は１０−２pa から１０−５pa であり、スピニングロータゲージ１３は水晶摩擦真空計１２と同様に気体の粘性・分子量の物性値と圧力の双方に敏感であって、使用圧力範囲は１０−５Pa から１Pa である。識別結果は気体成分識別装置１４より得られる。
FIG. 5 shows a modified embodiment of the present invention, in which the spinning
図６には前記スピニングロータゲージ１３の特性を示しており、この測定子は水晶摩擦真空計よりも真空度の高い領域を計測できる。同図に見られるように大気圧以上の圧力領域ではスピニングローターでの指示値において空気と水素の差は少なくとも２倍はあるため、その差から推測して水素ガス識別が可能である。
したがって、図５の気体成分識別装置１４においては、真空度の高い領域ではスピニングロータゲージ１３の表示値を用い、低い領域では水晶摩擦真空計１２の表示値に基づくことにより漏洩気体の識別を行うことができ、また、両者の値の有効な範囲では両者の値を用い、圧力の影響を演算処理して取り除くことで、気体の物性値を得ることにより漏洩気体の識別を行うことができる。
FIG. 6 shows the characteristics of the spinning
Therefore, in the gas
１ 絶対圧力測定子
２ 圧力・物性測定子
３ 気体成分識別（気体漏洩検知）装置
４ 配管
５ 隔膜真空計
６ 水晶摩擦真空計
７ 気体成分識別装置
８ 配管
１０ 連通管
１１ 隔膜式真空計
１２ 水晶摩擦真空計
１３ スピニングロータゲージ
１４ 気体成分識別装置
DESCRIPTION OF
Claims (9)
A hydrogen or helium gas leak detection device into the atmosphere, comprising an atmospheric pressure sensor, a pressure measurement device sensitive to physical properties, and a circuit that compares changes in both.
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