SU567985A1

SU567985A1 - Method of detecting influx of air into a high-vacuum system

Info

Publication number: SU567985A1
Application number: SU7602320812A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Ильич Евлампиев; Любовь Ефремовна Левина; Игорь Алексеевич Мясников; Владимир Иванович Цивенко
Original assignee: Предприятие П/Я А-7629
Priority date: 1976-02-06
Filing date: 1976-02-06
Publication date: 1977-08-05

Description

Изобретение относитс к испытательной технике в частности к способам контрол I герметичности.The invention relates to a testing technique, in particular, to methods for monitoring I tightness.

Известен способ обнаружени натекани воздуха в вакуумную систему при помощи манометров, измер ющих повышение давлени в системе после откачки l}. Однако поскольку повышение давлени в системе обусловлено не только натеканием, но и газовыделением со стенок, .необходимоThere is a known method for detecting air leakage into a vacuum system using pressure gauges that measure the pressure increase in the system after pumping l}. However, since the increase in pressure in the system is due not only to leakage, but also to gas evolution from the walls,

значительное врем дл достижени стацио- варного уровн га:зовыделени .significant time to reach the stationary level: discharge.

Известен также способ обнаружени на текани воздуха в высоковакуумную систему при помоги масс спектрометрического течеискател 2J.-Реализаци данного способа сложна, а сами приборы громоздки и дороги.There is also a known method for detecting air flow into a high-vacuum system with the aid of a 2J-mass spectrometric leak detector. The implementation of this method is complex, and the instruments themselves are cumbersome and expensive.

Наиболее близким по технической сушно- Ьти к предлагаемому вл етс способ обнаружени натекани воздуха в высоковакуу мную систему, заключающийс в том, что в систему помещают пленочный чувствител1 ный элемент из легко окисл ющегос металла и по изменению его сопротивлени за The closest in technical drying technology to the present invention is a method for detecting air leakage in a high-vacuum system, which consists in placing a film sensing element made of an easily oxidizing metal and changing its resistance.

счет окислени при натекании воздуха в снЬтему суд гг о ее герметичности З,Способ позвол ет производить только однократное обнаружение натекани воздуха в специалысые технологические системы, изобретени - повышение производительности за счет многократного использовани ч увствительного элемента.due to oxidation during air leakage, the trial of its leaktightness, 3, The method allows only one-time detection of air leakage into special technological systems, the invention enhancing productivity due to multiple use of the critical element.

Эта цель достигаетс тем, что в качеспве материала чувствительного элемента используют з(;имически и термически устойчивые окислы I металлов с электронной прово-; димостыо измен ющейс при хемосорбаии кислорода.This goal is achieved by using h (; imically and thermally stable metal oxides I with electronic wire; dimost varying with oxygen chemisorbium).

Сушность способа состоит в том, что в высоковакуумную систему помешают пленочный чувствительный элемент, например, из 2liO, CdO или Т( OfThe dryness of the method is that a film sensing element, for example, from 2liO, CdO or T (for

При натекании воздуха в систему элемент измен ет свое сопротивление за счет хемосорбции кислорода на поверхности пленки . По изменению сопротивлени элемента суд т о герметичности системы.,When air leaks into the system, the element changes its resistance due to oxygen chemisorption on the film surface. By changing the resistance of the element, the tightness of the system is judged

Чувствительный элемент готовитс термическим вакуумным напылением металлаThe sensing element is prepared by thermal vacuum deposition of metal

(соответственно Zti, Сd или T-i ) на кварцевую подложку, снабженную даум платиновыми контактами, с последующим окисле, нием металла на воздухе при температуре ОКСМ10 .(respectively, Zti, Cd or T-i) on a quartz substrate equipped with a platinum platinum contact, followed by oxide, in which the metal is exposed to air at the temperature of OXM10.

После обнаружени натекани регенераци элемента осуществл етс нагревом элемента до ЗОО-З56. Чувствительный элемент fte измен ет свои свойства при храйении его; на воздухе в течение длительного времени.After detecting the leakage, the regeneration of the element is carried out by heating the element to ZOO-H56. The fte sensing element changes its properties when hryenii it; on the air for a long time.

Способ позвол ет осуществл ть многократное использование чувствительного элемента дл контрол высоковакуумных систем в широком диапазоне натеканий 10 10 лмкм рт.ст.сек .The method allows multiple use of the sensing element to control high-vacuum systems in a wide range of 10 10 lμm Hg.

Claims

Invention Formula

A method of detecting air leakage in a high vacuum system, which concludes with: The system is placed on a film sensing element made of a conductive material and, due to the change in its resistance when air leaks into the system, it is judged that it is airtight, about l and -. This is due to the fact that, in order to increase productivity due to the repeated use of the sensitive element, chemically "thermally stable metal oxides with electronic conductivity, measured by oxygen during oxygen chemisfaction, are used as the material of the sensitive element.

Sources of information taken into consideration during the examination:

1 Laris V A, j Levina L. E, Technique of vacuum tests. M.-L, Gosanergoijedat, 1963, p. 139-144. . 2, the same page 151.

3. Copyright certificate № 462224, CL. GM 3/16, 1973.