JP2005071714A - Conductive paste and laminated ceramic electronic component - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide conductive paste suitable for forming an internal conductor film thinly layered as a dielectric ceramic layer is thinly layered, in order to help the miniaturization of a laminated ceramic capacitor and enlarging its capacity. <P>SOLUTION: This conductive paste contains conductive powder such as nickel powder and an organic vehicle, and it also contains an organic barium compound and an organic hafnium compound. Each content of the barium compound and the organic hafnium compound in terms of an barium atom and a hafnium atom is 0.05-1.00 mol to 1.00 mol of the conductive powder, and the content of the organic hafnium compound in terms of the hafnium atom is 0.98-1.02 mol to 1.00 mol of the barium compound in terms of the barium atom. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明は、導電性ペーストおよびこの導電性ペーストを内部導体膜の形成のために用いて構成された積層セラミック電子部品に関するもので、特に積層セラミック電子部品において薄層化および多層化を有利に図り得るようにするための改良に関するものである。   The present invention relates to a conductive paste and a multilayer ceramic electronic component configured by using the conductive paste for forming an internal conductor film. Particularly, the multilayer ceramic electronic component is advantageously thinned and multilayered. It is about the improvement to make it get.

積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品本体は、積層された複数のセラミック層およびセラミック層間の界面に沿って延びる内部導体膜からなる積層構造を有している。このような部品本体は、一般にセラミック層となるセラミックグリーンシート上に、内部導体膜となる導電性ペーストからなる膜を印刷等により形成し、このような導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層し、得られた生の積層体を高温で焼成することによって製造されている。   A multilayer ceramic electronic component body such as a multilayer ceramic capacitor has a multilayer structure including a plurality of laminated ceramic layers and an internal conductor film extending along an interface between the ceramic layers. Such a component body is generally formed by printing a film made of a conductive paste serving as an internal conductor film on a ceramic green sheet serving as a ceramic layer, and the ceramic green sheet formed with such a conductive paste film. Are produced by laminating a plurality of ceramic green sheets containing, and firing the resulting green laminate at a high temperature.

上述の導電性ペーストとしては、導電性粉末を有機バインダと溶剤とからなる有機ビヒクル中に分散させてペースト化したものが用いられている。内部導体膜のための導電性ペーストにあっては、そこに含まれる導電性粉末として、従来パラジウムや白金等の貴金属からなる粉末が用いられていた。しかしながら、製品コストの低減のため、低コストであるニッケルなどの卑金属からなる粉末が導電性ペーストに含まれる導電性粉末として用いられるようになってきている。   As the conductive paste described above, a paste obtained by dispersing conductive powder in an organic vehicle composed of an organic binder and a solvent is used. In the conductive paste for the internal conductor film, a powder made of a noble metal such as palladium or platinum has been conventionally used as the conductive powder contained therein. However, in order to reduce the product cost, low-cost powder made of a base metal such as nickel has been used as the conductive powder contained in the conductive paste.

他方、市場において積層セラミック電子部品に対しては、小型化かつ多層化の要望が高まり、特に積層セラミックコンデンサにあっては小型化かつ大容量化の要望が高まっている。そのため、セラミック層の薄層化が進みこのセラミック層の薄層化に伴って、内部導体膜の薄膜化も進んでいる。内部導体膜を薄膜化するためには、導電性ペーストにおいて含まれる導電性粉末を微粒化することが有効である。   On the other hand, there is a growing demand for miniaturization and multilayering of multilayer ceramic electronic components in the market, and in particular for multilayer ceramic capacitors, there is an increasing demand for miniaturization and large capacity. For this reason, the ceramic layer has been made thinner, and the internal conductor film has been made thinner as the ceramic layer is made thinner. In order to reduce the thickness of the internal conductor film, it is effective to atomize the conductive powder contained in the conductive paste.

導電性粉末として、たとえばニッケル粉末が用いられる場合、ニッケル自体は高温下にて酸化されやすい。そのため、焼成工程は不活性雰囲気や還元性雰囲気などの非酸化性雰囲気中で行なわれる。しかしながら、ニッケルの酸化速度はニッケル粉末の比表面積に大きく依存するため、たとえ非酸化性雰囲気中で焼成しても、ニッケル粉末がより微粒化されるに従ってニッケルがより酸化されやすくなり、応じてニッケルの酸化による構造欠陥がより発生しやすくなる。   For example, when nickel powder is used as the conductive powder, the nickel itself is easily oxidized at a high temperature. Therefore, the firing process is performed in a non-oxidizing atmosphere such as an inert atmosphere or a reducing atmosphere. However, since the oxidation rate of nickel greatly depends on the specific surface area of the nickel powder, even if it is fired in a non-oxidizing atmosphere, the nickel is more easily oxidized as the nickel powder becomes more finely divided. Structural defects due to oxidation of the metal are more likely to occur.

また、焼成工程において、ニッケル粉末が微粒化されるに従って焼成過程の比較的早い段階でニッケル粉末の焼結および収縮が開始されるようになるため、生の積層体を一体焼成した場合、セラミック層と導電性ペースト膜との間で熱収縮開始温度や収縮量の差が大きくなり、その結果、積層体の内部に比較的大きな応力が発生し、それによってもデラミネーションやクラック等の構造欠陥が生じやすくなる。   Also, in the firing process, as the nickel powder is atomized, the sintering and shrinkage of the nickel powder starts at a relatively early stage of the firing process. The difference in thermal shrinkage start temperature and shrinkage amount between the conductive paste film and the conductive paste film increases, resulting in a relatively large stress inside the laminate, which also causes structural defects such as delamination and cracks. It tends to occur.

この問題を解決するため、導電性ペーストの焼結収縮を抑制ないしは制御することを目的として、セラミック層に含まれるセラミック原料粉末と同一または近似した組成のセラミック原料粉末が導電性ペーストに添加されている(たとえば、特許文献1参照)。このように、導電性ペーストに添加されるセラミック原料粉末は、生の積層体が焼結する際、導電性ペースト中のニッケル粒子間に存在して、ピンニング材として作用することにより内部導体膜となる導電性ペースト膜の焼結収縮を抑制する機能を果たしていると考えられている。
特開2002−245874号公報
In order to solve this problem, a ceramic raw material powder having the same or similar composition as the ceramic raw material powder contained in the ceramic layer is added to the conductive paste for the purpose of suppressing or controlling the sintering shrinkage of the conductive paste. (For example, see Patent Document 1). Thus, the ceramic raw material powder added to the conductive paste is present between the nickel particles in the conductive paste when the raw laminate is sintered, and acts as a pinning material, thereby forming the inner conductive film. The conductive paste film is considered to have a function of suppressing sintering shrinkage.
JP 2002-245874 A

しかしながら、積層セラミック電子部品において、内部導体膜をより薄膜化するため、導電性ペーストにおいてたとえば平均粒径0.2μm以下といった微粒のニッケル粉末を用いた場合、微粒化に応じてニッケル粉末自体の比表面積がより大きくなり、また、導電性ペースト中においてニッケル粒子同士の接触頻度がより高くなることから、前述したようなセラミック原料粉末の添加のみでは十分な焼結抑制効果を発揮させることが困難になってくる。   However, in a multilayer ceramic electronic component, in order to make the inner conductor film thinner, when a fine nickel powder having an average particle size of 0.2 μm or less is used in the conductive paste, the ratio of the nickel powder itself in accordance with the atomization. Since the surface area becomes larger and the contact frequency between nickel particles becomes higher in the conductive paste, it is difficult to exert a sufficient sintering suppression effect only by adding the ceramic raw material powder as described above. It becomes.

また、ニッケル粉末の微粒化が進むにつれて、ニッケル粉末の焼結による球状化がより生じやすくなる。このニッケルの球状化は、内部導体膜の連続性を阻害し内部導体膜のカバレッジを低下させる原因となる。ニッケルの球状化は前述したようなセラミック原料粉末の添加によってもある程度防止することはできるが、ニッケル粉末の微粒化がより進んだ場合これを完全に防止することが困難になってくる。そのため、内部導体膜を薄膜化するに従って内部導体膜の連続性が損なわれ、カバレッジが低下し、その結果積層セラミックコンデンサにあっては、設計どおりの静電容量が得られなくなることがある。   Further, as the atomization of the nickel powder proceeds, spheroidization due to the sintering of the nickel powder is more likely to occur. This spheroidization of nickel hinders the continuity of the inner conductor film and reduces the coverage of the inner conductor film. Nickel spheroidization can be prevented to some extent by addition of the ceramic raw material powder as described above, but it becomes difficult to completely prevent the nickel powder from being further atomized. For this reason, as the thickness of the inner conductor film is reduced, the continuity of the inner conductor film is impaired and the coverage is lowered. As a result, in the multilayer ceramic capacitor, the designed capacitance may not be obtained.

なお、上述の説明は主としてニッケル粉末について行なったが、銀、銀−パラジウム合金、銅等の粉末の場合であっても実質的に同様の問題に遭遇し得る。   In addition, although the above-mentioned description was mainly performed about nickel powder, even if it is the case of powders, such as silver, a silver-palladium alloy, and copper, a substantially similar problem can be encountered.

そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る導電性ペーストおよびこの導電性ペーストを用いて構成された積層セラミック電子部品を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a conductive paste capable of solving the above-described problems and a multilayer ceramic electronic component configured using the conductive paste.

この発明に係る導電性ペーストは導電性粉末と有機ビヒクルとを含み、上述した技術的課題を解決するため、さらに有機バリウム化合物と有機ハフニウム化合物とを含み、これら有機バリウム化合物および有機ハフニウム化合物のバリウム原子およびハフニウム原子に換算した各含有量が、ともに、導電性粉末1.00モルに対して、0.05〜1.00モルであり、有機ハフニウム化合物のハフニウム原子に換算した含有量が、有機バリウム化合物のバリウム原子に換算した1.00モルに対して、0.98〜1.02モルであることを特徴としている。   The conductive paste according to the present invention includes a conductive powder and an organic vehicle, and further includes an organic barium compound and an organic hafnium compound in order to solve the technical problems described above, and these organic barium compounds and barium of the organic hafnium compounds. Each content converted into atoms and hafnium atoms is 0.05 to 1.00 mol with respect to 1.00 mol of the conductive powder, and the content converted into hafnium atoms in the organic hafnium compound is organic. It is characterized by being 0.98 to 1.02 mol with respect to 1.00 mol in terms of barium atoms of the barium compound.

上述した導電性粉末として、好ましくはニッケル粉末が用いられる。   As the conductive powder, nickel powder is preferably used.

この発明に係る導電性ペーストは、そこに含まれる導電性粉末の平均粒径が0.2μm以下のとき、特に有利に適用される。   The conductive paste according to the present invention is particularly advantageously applied when the average particle size of the conductive powder contained therein is 0.2 μm or less.

この発明に係る導電性ペーストは、積層された複数のセラミック層間に沿って延びる内部導体膜を形成するために有利に用いられる。   The conductive paste according to the present invention is advantageously used for forming an internal conductor film extending along a plurality of laminated ceramic layers.

この発明は、また、積層された複数のセラミック層およびセラミック層間の界面に沿って延びる内部導体膜を備える積層セラミック電子部品にも向けられる。この発明に係る積層セラミック電子部品は、上述の内部導体膜がこの発明に係る導電性ペーストを焼成して得られたものであることを特徴としている。   The present invention is also directed to a multilayer ceramic electronic component including a plurality of laminated ceramic layers and an inner conductor film extending along an interface between the ceramic layers. The multilayer ceramic electronic component according to the present invention is characterized in that the internal conductor film is obtained by firing the conductive paste according to the present invention.

上述のセラミック層は、好ましくはチタン酸バリウム系セラミックから構成される。   The above ceramic layer is preferably composed of a barium titanate ceramic.

この発明に係る積層セラミック電子部品は、積層セラミックコンデンサにおいてより有利に適用される。この場合、内部導体膜はセラミック層を介して静電容量が得られるように配置され、さらに、積層セラミック電子部品は複数のセラミック層をもって構成される積層体の外表面上に形成され、かつ静電容量を取り出すため内部導体膜の特定のものに電気的に接続される外部電極を備えている。   The multilayer ceramic electronic component according to the present invention is more advantageously applied to a multilayer ceramic capacitor. In this case, the inner conductor film is disposed so as to obtain a capacitance through the ceramic layer, and the multilayer ceramic electronic component is formed on the outer surface of the multilayer body including a plurality of ceramic layers, and is static. An external electrode is provided which is electrically connected to a specific one of the internal conductor films in order to extract the capacitance.

この発明に係る導電性ペーストによれば、前記構成を備えているため、これが用いられる積層セラミック電子部品の電気的特性に悪影響を及ぼすことなく、たとえば積層セラミックコンデンサの容量温度特性を変化させることなく、導電性粉末がたとえば平均粒径0.2μm以下というように微粒化されてもその焼結を抑制することができる。   Since the conductive paste according to the present invention has the above-described configuration, it does not adversely affect the electrical characteristics of the multilayer ceramic electronic component in which the conductive paste is used, for example, without changing the capacitance-temperature characteristics of the multilayer ceramic capacitor. Even if the conductive powder is atomized to have an average particle size of 0.2 μm or less, for example, the sintering can be suppressed.

したがって、この導電性ペーストを用いて形成された内部導体膜の薄膜化と同時に、高いカバレッジを得ることができるようになり、またこの導電性ペーストを用いて構成された積層セラミック電子部品の構造欠陥を生じにくくすることができる。   Therefore, it becomes possible to obtain high coverage simultaneously with the thinning of the inner conductor film formed using this conductive paste, and the structural defect of the multilayer ceramic electronic component configured using this conductive paste. Can be made difficult to occur.

このことから、この発明に係る導電性ペーストが特に積層セラミックコンデンサに備える内部導体膜の形成のために用いられたときには、高い信頼性を維持しながら積層セラミックコンデンサの小型化かつ大容量化を有利に進めることができる。   Therefore, when the conductive paste according to the present invention is used for forming an inner conductor film provided in a multilayer ceramic capacitor, it is advantageous to reduce the size and increase the capacity of the multilayer ceramic capacitor while maintaining high reliability. Can proceed.

図1は、この発明に係る導電性ペーストを用いて構成される積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1を図解的に示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a multilayer ceramic capacitor 1 as an example of a multilayer ceramic electronic component constructed using the conductive paste according to the present invention.

積層セラミックコンデンサ1は、積層体2を備えている。積層体2は、積層された複数の誘電体セラミック層3と、複数の誘電体セラミック層3間の界面に沿ってそれぞれ形成された複数の内部導体膜4および5とを備えている。   The multilayer ceramic capacitor 1 includes a multilayer body 2. The multilayer body 2 includes a plurality of laminated dielectric ceramic layers 3 and a plurality of internal conductor films 4 and 5 respectively formed along the interfaces between the plurality of dielectric ceramic layers 3.

内部導体膜4および5は積層体2の外表面にまで到達するように形成される。より詳細には、積層体2の一方の端面6にまで引き出される内部導体膜4と他方の端面7にまで引き出される内部導体膜5とが、積層体2の内部において誘電体セラミック層3を介して静電容量が得られるように互いに対向しながら交互に配置されている。   The inner conductor films 4 and 5 are formed so as to reach the outer surface of the multilayer body 2. More specifically, the inner conductor film 4 drawn to one end face 6 of the multilayer body 2 and the inner conductor film 5 drawn to the other end face 7 are disposed inside the multilayer body 2 via the dielectric ceramic layer 3. Thus, they are arranged alternately while facing each other so as to obtain a capacitance.

上述の静電容量を取り出すため、積層体2の外表面上の端面6および7上には内部導体膜4および5のいずれか特定のものに電気的に接続されるように、外部電極8および9がそれぞれ形成されている。また、外部電極8および9上には、必要に応じて、ニッケル、銅などからなるめっき層がそれぞれ形成され、さらにその上には、半田、錫などからなるめっき層がそれぞれ形成されることがある。   In order to take out the above-mentioned capacitance, the external electrodes 8 and 7 are electrically connected to any one of the internal conductor films 4 and 5 on the end faces 6 and 7 on the outer surface of the multilayer body 2. 9 are formed. In addition, a plating layer made of nickel, copper, or the like is formed on the external electrodes 8 and 9 as necessary, and a plating layer made of solder, tin, or the like is further formed thereon. is there.

このような積層セラミックコンデンサ1は、たとえば、次のようにして製造される。   Such a multilayer ceramic capacitor 1 is manufactured as follows, for example.

たとえばチタン酸バリウム系のような誘電体セラミックのための原料粉末および適当な添加物を含むスラリーが用意され、このスラリーをシート状に成形することによって、誘電体セラミック層3となるべきセラミックグリーンシートが用意される。次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを用いて所望のパターンを有する内部導体膜4および5のための導電性ペースト膜が印刷等によって形成される。   For example, a slurry containing raw material powder for a dielectric ceramic such as barium titanate and appropriate additives is prepared, and the ceramic green sheet to be the dielectric ceramic layer 3 is formed by forming the slurry into a sheet. Is prepared. Next, conductive paste films for the internal conductor films 4 and 5 having a desired pattern are formed on the ceramic green sheet by printing or the like using a conductive paste.

次に、上述のように、導電性ペースト膜がそれぞれ形成されたセラミックグリーンシートが必要枚数積層されるとともに、その上下に導電性ペースト膜が形成されていないセラミックグリーンシートが積層され、熱圧着されることによって一体化された積層体2の生の状態のものが得られる。この生の積層体2を得るため、上述した熱圧着の後に切断されることが多い。   Next, as described above, the required number of ceramic green sheets each having a conductive paste film formed thereon are laminated, and ceramic green sheets having no conductive paste film formed thereon are laminated and thermocompression bonded. Thus, the integrated laminate 2 in a raw state can be obtained. In order to obtain this raw laminated body 2, it is often cut after the thermocompression bonding described above.

次に、生の積層体2は焼成され、それによって焼結した積層体2が得られる。なお、後述するように、内部導体膜4および5のための導電性ペーストがニッケル粉末のような卑金属粉末を導電性粉末として含む場合、この焼成工程は不活性雰囲気や還元性雰囲気のような非酸化性雰囲気中で実施される。また、このように非酸化性雰囲気中で焼成される場合、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック原料粉末としては耐還元性のものが用いられる。焼結後の積層体2において、前述したセラミックグリーンシートは焼結されて誘電体セラミック層3となり、導電性ペースト膜は焼結されて内部導体膜4および5となる。   Next, the raw laminate 2 is fired, thereby obtaining a sintered laminate 2. As will be described later, when the conductive paste for the inner conductor films 4 and 5 includes a base metal powder such as nickel powder as the conductive powder, this firing step is not performed in an inert atmosphere or a reducing atmosphere. It is carried out in an oxidizing atmosphere. In addition, when firing in a non-oxidizing atmosphere in this way, a reduction-resistant material is used as the ceramic raw material powder contained in the ceramic green sheet. In the laminated body 2 after sintering, the ceramic green sheet described above is sintered to become the dielectric ceramic layer 3, and the conductive paste film is sintered to become the internal conductor films 4 and 5.

次に、積層体2の端面6および7上に、それぞれ外部電極8および9が内部導体膜4および5のいずれか特定のものに電気的に接続されるように形成される。外部電極8および9は、導電成分としての金属粉末を含みかつガラスフリット添加した導電性ペーストを付与しこれを焼き付けることによって形成される。   Next, external electrodes 8 and 9 are formed on end surfaces 6 and 7 of laminate 2 so as to be electrically connected to any one of internal conductor films 4 and 5, respectively. The external electrodes 8 and 9 are formed by applying and baking a conductive paste containing metal powder as a conductive component and added with glass frit.

次いで、外部電極8および9上に、ニッケル、銅などのめっきを施して第1のめっき層10および11を形成し、さらにその上に、半田、錫などのめっきを施して第2のめっき層12および13を形成する。これによって図1に示した積層セラミックコンデンサ1が完成する。   Next, nickel, copper or the like is plated on the external electrodes 8 and 9 to form first plating layers 10 and 11, and further, solder, tin or the like is plated on the second plating layer. 12 and 13 are formed. Thereby, the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 is completed.

このような積層セラミックコンデンサ1において、内部導体膜4および5を形成するために用いられる導電性ペーストは、導電性粉末と有機ビヒクルとを含むとともに、有機バリウム化合物と有機ハフニウム化合物とを含み、有機バリウム化合物および有機ハフニウム化合物のバリウム原子およびハフニウム原子に換算した各含有量が、ともに、導電性粉末1.00モルに対して、0.05〜1.00モルであり、有機ハフニウム化合物のハフニウム原子に換算した含有量が、有機バリウム化合物のバリウム原子に換算した1.00モルに対して、0.98〜1.02モルであることを特徴としている。   In such a multilayer ceramic capacitor 1, the conductive paste used to form the inner conductor films 4 and 5 includes a conductive powder and an organic vehicle, an organic barium compound and an organic hafnium compound, and an organic paste. Each content in terms of barium atoms and hafnium atoms of the barium compound and organic hafnium compound is 0.05 to 1.00 mol with respect to 1.00 mol of the conductive powder, and the hafnium atom of the organic hafnium compound It is characterized in that the content in terms of is 0.98 to 1.02 mol with respect to 1.00 mol in terms of barium atoms of the organic barium compound.

上述した有機バリウム化合物としては、たとえば、1-メトキシ-2-プロポキシド、エトキシド、メトキシドなどのバリウムアルコキシド、アビエチン酸(ロジン)などのバリウム塩、オクチル酸、ナフテン酸、ステアリン酸、オレイン酸などの脂肪酸バリウム塩を適用することができる。   Examples of the organic barium compounds described above include barium alkoxides such as 1-methoxy-2-propoxide, ethoxide, and methoxide, barium salts such as abietic acid (rosin), octylic acid, naphthenic acid, stearic acid, and oleic acid. Fatty acid barium salts can be applied.

また、有機ハフニウム化合物としては、たとえば、1-メトキシ-2-プロポキシハフニウム、テトラブトキシハフニウム、テトラエトキシハフニウム、テトラプロポキシハフニウム、テトラメトキシハフニウム、アビエチン酸ハフニウム、オクチル酸ハフニウム、ナフテン酸ハフニウムなどがある。   Examples of the organic hafnium compound include 1-methoxy-2-propoxy hafnium, tetrabutoxy hafnium, tetraethoxy hafnium, tetrapropoxy hafnium, tetramethoxy hafnium, hafnium abietic acid, hafnium octylate, and hafnium naphthenate.

導電性ペーストにおいて採用された前述のような組成は、次のような実験を経て得られた知見に基づいて求められたものである。   The above-mentioned composition adopted in the conductive paste has been obtained based on knowledge obtained through the following experiment.

まず、ハフニウムを有機金属化合物の溶液として、ニッケル粉末を含む導電性ペーストに添加し、均一に混合したものを作製した。本件発明者は、このハフニウム成分を含む導電性ペーストを焼成するとき、その過程で酸化ハフニウムが生成し、この酸化ハフニウムが超微粒のピンニングポイントとして機能することによって焼結抑制効果を発揮させることを考えたのである。   First, hafnium was added as an organometallic compound solution to a conductive paste containing nickel powder, and a uniform mixture was prepared. The present inventor, when firing the conductive paste containing the hafnium component, hafnium oxide is generated in the process, and the hafnium oxide functions as a pinning point of ultrafine particles, thereby exhibiting a sintering suppressing effect. I thought.

そこで、TMA(熱機械分析)により、この導電性ペーストの乾燥膜を粉砕して得られた粉から成形した圧粉体の焼結収縮挙動を調査したところ、ハフニウム成分を添加した導電性ペーストによれば、無添加のものと比べて焼結収縮開始温度が高温側へシフトすることがわかった。   Therefore, when TMA (thermomechanical analysis) investigated the sintering shrinkage behavior of the green compact formed from the powder obtained by pulverizing the dry film of this conductive paste, the conductive paste added with the hafnium component was examined. According to the results, it was found that the sintering shrinkage start temperature shifts to the high temperature side compared to the additive-free one.

次に、誘電体セラミック層の材料として、チタン酸バリウム(BaTiO3 )系の誘電体材料を用い、かつ、内部導体膜の材料として上述したハフニウム成分を含む導電性ペーストを用いて、積層セラミックコンデンサを作製したところ、積層体の焼結過程においてハフニウムが酸化ハフニウムとして内部導体膜から誘電体セラミック層側へと拡散し、イオン半径の近いチタン(B)サイトに固溶したため、Bサイトが過剰になり、当初設計された積層セラミックコンデンサの容量温度特性から外れてしまうという不具合が生じた。 Next, a multilayer ceramic capacitor using a barium titanate (BaTiO 3 ) -based dielectric material as the material of the dielectric ceramic layer and the conductive paste containing the above-described hafnium component as the material of the internal conductor film In the sintering process of the laminate, hafnium was diffused as hafnium oxide from the inner conductor film to the dielectric ceramic layer side and was dissolved in the titanium (B) site having a close ionic radius, so that the B site was excessive. As a result, there was a problem that the capacitance-temperature characteristics of the multilayer ceramic capacitor originally designed deviated.

そこで、ハフニウム成分とともに、Aサイト成分であるバリウム成分を有機化合物として導電性ペーストに添加したところ、積層セラミックコンデンサの容量温度特性を実質的に変化させることなく、内部導体膜となる導電性ペーストの焼結を抑制でき、同時に内部導体膜において高いカバレッジを得ることができた。   Therefore, when the barium component, which is the A site component, is added to the conductive paste as an organic compound together with the hafnium component, the conductive paste serving as the internal conductor film is not substantially changed without changing the capacitance-temperature characteristics of the multilayer ceramic capacitor. Sintering could be suppressed, and at the same time high coverage could be obtained in the inner conductor film.

このようなことから、導電性ペーストにはバリウム成分とハフニウム成分との双方、すなわち、有機バリウム化合物と有機ハフニウム化合物との双方を添加することが好ましいことがわかった。   From this, it was found that it is preferable to add both a barium component and a hafnium component, that is, both an organic barium compound and an organic hafnium compound, to the conductive paste.

次に、これら有機バリウム化合物および有機ハフニウム化合物の各含有量について調査したところ、次のことがわかった。   Next, when the contents of these organic barium compounds and organic hafnium compounds were investigated, the following was found.

まず、バリウム/ハフニウムのモル比が1.02より大きい、または0.98未満であると、導電性ペーストへのこれらの添加量にも依存するが、積層セラミックコンデンサの容量温度特性が顕著に変化してしまった。このことから、有機ハフニウム化合物のハフニウム原子に換算した含有量が、前述したように、有機バリウム化合物のバリウム原子に換算した1.00モルに対して、0.98〜1.02モルの範囲に選ばれなければならないことがわかった。   First, if the molar ratio of barium / hafnium is greater than 1.02 or less than 0.98, the capacitance-temperature characteristics of the multilayer ceramic capacitor change significantly, depending on the amount of addition to the conductive paste. have done. From this, as described above, the content of the organic hafnium compound converted to hafnium atoms is in the range of 0.98 to 1.02 mol with respect to 1.00 mol converted to barium atoms of the organic barium compound. I knew I had to be chosen.

また、バリウム/ニッケルのモル比およびハフニウム/ニッケルのモル比の双方について、0.05未満であると、ニッケルの焼結を抑制する効果が十分ではなく、1.00より大きいと、誘電体セラミック層へのバリウムおよびハフニウムの拡散および固溶が過剰になるため、容量温度特性が変化してしまった。このようなことから、バリウムおよびハフニウムは、ストイキオメトリックに近い比率であり、かつ、ニッケル1.00モルに対して、ともに、0.05〜1.00モルの含有量でなければならないことがわかった。   In addition, when both the molar ratio of barium / nickel and the molar ratio of hafnium / nickel are less than 0.05, the effect of suppressing the sintering of nickel is not sufficient. The diffusion of barium and hafnium into the layer and the solid solution became excessive, so that the capacity-temperature characteristic was changed. For this reason, barium and hafnium are in a ratio close to stoichiometric, and must be 0.05 to 1.00 mol of content relative to 1.00 mol of nickel. all right.

さらに、上述の実験によって得られた焼成後の積層体を電解剥離し、内部導体膜と誘電体セラミック層との界面近傍をX線回折により分析した結果、均一な状態でBaHfO3 結晶が生成していることが確認された。 Furthermore, as a result of electrolytic peeling of the fired laminate obtained by the above experiment and analyzing the vicinity of the interface between the inner conductor film and the dielectric ceramic layer by X-ray diffraction, BaHfO 3 crystals were formed in a uniform state. It was confirmed that

このように、導電性ペーストにバリウム成分およびハフニウム成分を有機化合物溶液として添加することによって、誘電体セラミック層に含まれるセラミックと共通するセラミック原料粉末のような固形酸化物を添加する場合に比べて、より均一に導電性ペースト内にバリウム成分およびハフニウム成分を分散させることができる。そして、導電性ペースト中に液滴として均一に拡散したバリウム成分およびハフニウム成分は、焼結過程にて、超微粒状のBaHfO3 結晶を生成し、ニッケル粒子間をピンニングすることにより、ニッケルの焼結を効果的に抑制できるのである。 Thus, by adding a barium component and a hafnium component as an organic compound solution to the conductive paste, compared to the case where a solid oxide such as a ceramic raw material powder common to the ceramic contained in the dielectric ceramic layer is added. The barium component and the hafnium component can be dispersed more uniformly in the conductive paste. The barium component and the hafnium component uniformly dispersed as droplets in the conductive paste produce ultrafine BaHfO 3 crystals in the sintering process, and pinning between the nickel particles, thereby firing the nickel. It is possible to effectively suppress the ligation.

導電性ペーストへの添加物として、バリウム成分およびハフニウム成分に加えて、上述したような固形酸化物を併用することを妨げるものではない。このような固形酸化物の併用によれば、当初設計された積層セラミックコンデンサの電気的特性を損なうことなくより効果的に内部導体膜の焼結を抑制できるものと考えられる。   As an additive to the conductive paste, in addition to the barium component and the hafnium component, the use of the solid oxide as described above is not prevented. By using such a solid oxide in combination, it is considered that sintering of the internal conductor film can be more effectively suppressed without impairing the electrical characteristics of the originally designed multilayer ceramic capacitor.

なお、上述の説明はニッケル粉末を導電性粉末として用いた実験について行なったが、銀、銀−パラジウム合金、銅等の他の金属からなる導電性粉末についても同様の結果が得られている。   In addition, although the above description was performed about the experiment which used nickel powder as electroconductive powder, the same result is obtained also about electroconductive powder which consists of other metals, such as silver, a silver-palladium alloy, and copper.

また、以上のように主として積層セラミックコンデンサについて説明したが、この発明に係る導電性ペーストは積層された複数のセラミック層およびセラミック層間の界面に沿って延びる内部導体膜を備える積層セラミック電子部品であれば、積層セラミックコンデンサ以外の積層セラミック電子部品においても内部導体膜を形成するために有利に用いることができる。   Further, as described above, the multilayer ceramic capacitor has been mainly described. However, the conductive paste according to the present invention may be a multilayer ceramic electronic component including a plurality of laminated ceramic layers and an internal conductor film extending along an interface between the ceramic layers. For example, it can be advantageously used to form an internal conductor film in a multilayer ceramic electronic component other than a multilayer ceramic capacitor.

次に、この発明の範囲を決定するために実施した実験例について説明する。   Next, experimental examples carried out to determine the scope of the present invention will be described.

実験例Experimental example

まず、次のようにして、積層セラミックコンデンサの内部導体膜を形成するための導電性ペーストを作製した。   First, a conductive paste for forming an inner conductor film of a multilayer ceramic capacitor was produced as follows.

平均粒径0.15μmのニッケル粉末45.0重量%、および平均粒径0.03μmのチタン酸バリウム系セラミック原料粉末5.0重量%に対してエチルセルロース10重量%をジヒドロテルピニルアセテート90重量%に溶解して作製した有機ビヒクル35重量%、およびジヒドロテルピニルアセテート15重量%を加えたものを基本組成とするとともに、さらに、この基本組成に有機バリウム化合物としての1-メトキシ-2-プロポキシバリウム、および有機ハフニウム化合物としての1-メトキシ-2-プロポキシシハフニウムとを、表1に示すような添加量をもって加えて3本ロールミルにより分散混合処理を行なうことによって良好に分散した導電性ペーストを作製した。   90% by weight of dihydroterpinyl acetate with 10% by weight of ethyl cellulose for 5.0% by weight of nickel powder having an average particle size of 0.15 μm and 5% by weight of barium titanate ceramic raw material powder having an average particle size of 0.03 μm The basic composition is obtained by adding 35% by weight of an organic vehicle dissolved in 15% by weight and 15% by weight of dihydroterpinyl acetate, and further adding 1-methoxy-2- Conductive paste well dispersed by adding propoxy barium and 1-methoxy-2-propoxy hafnium as an organic hafnium compound with an addition amount as shown in Table 1 and carrying out dispersion mixing treatment with a three-roll mill. Was made.

表1において、「Baモル比率」は、ニッケル粉末1.00モルに対する1-メトキシ-2-プロポキシバリウムのバリウム原子に換算した含有量をモル値で示したものであり、「Hfモル比率」は、ニッケル粉末1.00モルに対する1-メトキシ-2-プロポキシシハフニウムのハフニウム原子に換算した含有量をモル値で示したものである。また、「Ba:Hf」は、1-メトキシ-2-プロポキシバリウムのバリウム原子に換算した含有量と1-メトキシ-2-プロポキシシハフニウムのハフニウム原子に換算した含有量の比率をモル比で示したものである。   In Table 1, “Ba molar ratio” indicates the content converted to barium atoms of 1-methoxy-2-propoxybarium with respect to 1.00 mol of nickel powder in terms of molar value, and “Hf molar ratio” The content of 1-methoxy-2-propoxy hafnium converted to hafnium atoms with respect to 1.00 mol of nickel powder is shown in terms of molar value. “Ba: Hf” is a molar ratio of the content of 1-methoxy-2-propoxybarium converted to barium atoms and the content of 1-methoxy-2-propoxyhafnium converted to hafnium atoms. It is a thing.

他方、積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層となるセラミックグリーンシートを次のようにして作製した。   On the other hand, a ceramic green sheet to be a dielectric ceramic layer of the multilayer ceramic capacitor was produced as follows.

すなわち、平均粒径0.2μmのチタン酸バリウムを主成分とする耐還元性誘電体セラミック原料粉末に、ポリビニルブチラール系バインダおよびエタノール等の有機溶剤を加えてボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを得た。次に、このセラミックスラリーをドクターブレード法により焼成後の誘電体セラミック層の厚みが1μmになるような厚みをもってシート状に成形し、矩形のセラミックグリーンシートを得た。   That is, a ceramic slurry is obtained by adding a polyvinyl butyral binder and an organic solvent such as ethanol to a reduction-resistant dielectric ceramic raw material powder mainly composed of barium titanate having an average particle diameter of 0.2 μm and wet-mixing it with a ball mill. It was. Next, this ceramic slurry was formed into a sheet shape with a thickness such that the thickness of the dielectric ceramic layer after firing was 1 μm by a doctor blade method, to obtain a rectangular ceramic green sheet.

次に、セラミックグリーンシート上に前述した導電性ペーストをスクリーン印刷し、導電性ペースト膜を形成した。このとき、蛍光X線装置を用いて計測されたニッケル塗布厚みが0.45μmとなるように、導電性ペースト膜の厚みを設定した。   Next, the conductive paste described above was screen printed on the ceramic green sheet to form a conductive paste film. At this time, the thickness of the conductive paste film was set so that the nickel coating thickness measured using a fluorescent X-ray apparatus was 0.45 μm.

次に、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを含む複数のセラミックグリーンシートを積層し、熱プレスして一体化し、その後所定の寸法に切断することによって生の積層体を得た。この生の積層体において、一方の端面に引き出された導電性ペースト膜と他方の端面に引き出された導電性ペースト膜とが積層方向に交互に配列されるようにした。   Next, a plurality of ceramic green sheets including the ceramic green sheet on which the conductive paste film was formed were laminated, integrated by hot pressing, and then cut into a predetermined size to obtain a raw laminate. In this raw laminated body, the conductive paste film drawn to one end face and the conductive paste film drawn to the other end face were arranged alternately in the stacking direction.

次に、生の積層体を窒素雰囲気中において350℃の温度に加熱してバインダを分解させた後、酸素分圧10-9〜10-12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において最高焼成温度1180℃で2時間保持するプロファイルにて焼成し、焼結した積層体を得た。 Next, the raw laminate was heated to a temperature of 350 ° C. in a nitrogen atmosphere to decompose the binder, and then the H 2 —N 2 —H 2 O gas having an oxygen partial pressure of 10 −9 to 10 −12 MPa was used. In a reducing atmosphere, the laminate was fired and sintered in a profile maintained at a maximum firing temperature of 1180 ° C. for 2 hours.

次に、焼結後の積層体の両端面上に、B23−Li2O−SiO2−BaO系のガラスフリットを含有するとともに銀を導電成分とする導電性ペーストを塗布し、窒素雰囲気中において600℃の温度で焼き付け、内部導体膜と電気的に接続された外部電極を形成した。 Next, a conductive paste containing a B 2 O 3 —Li 2 O—SiO 2 —BaO-based glass frit and containing silver as a conductive component is applied to both end faces of the sintered laminate. Baking was performed at a temperature of 600 ° C. in an atmosphere to form an external electrode electrically connected to the internal conductor film.

このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は幅0.8mm、長さ1.6mmおよび厚さ0.8mmであり、内部導体膜間に介在する誘電体セラミック層の厚みは1μmであった。また、有効誘電体セラミック層の数は350であり、1層あたりの内部導体膜の有効対向面積は0.9mm2 であった。 The outer dimensions of the multilayer ceramic capacitor thus obtained were 0.8 mm in width, 1.6 mm in length and 0.8 mm in thickness, and the thickness of the dielectric ceramic layer interposed between the internal conductor films was 1 μm. It was. The number of effective dielectric ceramic layers was 350, and the effective opposing area of the inner conductor film per layer was 0.9 mm 2 .

次に、得られた各試料に係る積層セラミックコンデンサについて、表1にその結果が示されているように、「カバレッジ」、「静電容量」および「容量温度変化率」をそれぞれ評価した。   Next, for the obtained multilayer ceramic capacitor according to each sample, as shown in Table 1, “coverage”, “capacitance”, and “capacitance temperature change rate” were evaluated.

より詳細には、「カバレッジ」は、各試料に係る積層セラミックコンデンサを内部導体膜に沿って剥離し、内部導体膜に穴が空いている様子を顕微鏡写真に撮り、これを画像解析処理することによって内部導体膜に覆われている程度を定量化したものである。   More specifically, “coverage” is the process of peeling the multilayer ceramic capacitor according to each sample along the inner conductor film, taking a micrograph of the inner conductor film having holes, and subjecting this to image analysis processing. The amount covered with the inner conductor film is quantified.

また、「静電容量」は、得られた試料となる積層セラミックコンデンサの中から無作為に200個の試料を抜き取り、温度25℃・1kHz・1Vrmsの条件下で測定したものである。   “Capacitance” is measured under the conditions of a temperature of 25 ° C., 1 kHz, and 1 Vrms by randomly extracting 200 samples from the obtained multilayer ceramic capacitor.

「容量温度変化率」は、上述のようにして求めた「静電容量」を基準として、温度85℃にて、4.0Vの直流電圧を印加しながら静電容量を測定し、その変化率を求めたものである。   “Capacitance temperature change rate” is based on the “capacitance” obtained as described above, and the capacitance is measured while applying a DC voltage of 4.0 V at a temperature of 85 ° C. Is what we asked for.

Figure 2005071714
Figure 2005071714

表1を参照して、試料1〜5と比較例としての試料8とを比較すると、導電性ペースト中のニッケルに対して、バリウムおよびハフニウムの各々を、モル比率で0.05〜1.00の範囲で添加した試料1〜5によれば、これらバリウムおよびハフニウムのいずれをも添加しなかった試料8に比べ、添加量の増加に伴って、カバレッジおよび静電容量が増加することがわかる。なお、容量温度変化率については、試料1〜5と試料8との間で、実質的な差が認められない。   Referring to Table 1, when comparing Samples 1 to 5 and Sample 8 as a comparative example, each of barium and hafnium in a molar ratio of 0.05 to 1.00 with respect to nickel in the conductive paste. According to Samples 1 to 5 added in the range, it can be seen that the coverage and the capacitance increase as the addition amount increases as compared with Sample 8 to which neither of these barium and hafnium is added. In addition, about a capacity | capacitance temperature change rate, the substantial difference is not recognized between the samples 1-5 and the sample 8. FIG.

次に、試料3と試料6および7とを比較すると、試料3では、バリウムおよびハフニウムが、それぞれニッケルに対してモル比率で0.50および0.50というように互いに等モル(1:1)となるように導電性ペーストに添加されているのに対し、試料6および7ではバリウムに対するハフニウムのモル比が、それぞれ、0.98および1.02となるようにずらされている。しかしながら、試料6および7のように、Ba:Hfが1:0.98から1:1.02の範囲でずらされても、等モルの場合の試料3との間で、表1に示したいずれの評価項目についても、顕著な差は認められない。   Next, comparing sample 3 with samples 6 and 7, in sample 3, barium and hafnium are equimolar (1: 1) to each other, such as 0.50 and 0.50, respectively, in molar ratios to nickel. Is added to the conductive paste so that the molar ratio of hafnium to barium is shifted to 0.98 and 1.02, respectively. However, even if Ba: Hf is shifted in the range of 1: 0.98 to 1: 1.02 as in samples 6 and 7, it is shown in Table 1 with sample 3 in the case of equimolarity. There is no significant difference in any of the evaluation items.

これらに対して、比較例としての試料9では、ニッケルに対するバリウムおよびハフニウムの各々の含有量が、ともにモル比率で0.03となるように導電性ペーストに添加されている。それにも関わらずこの試料9による各評価結果は無添加の試料8との間で実質的な差はなく、したがって試料9において添加されたバリウムおよびハフニウムの各添加量が少な過ぎて十分な効果が発揮されていないことがわかる。   On the other hand, in the sample 9 as a comparative example, each content of barium and hafnium with respect to nickel is added to the conductive paste so that the molar ratio is 0.03. Nevertheless, each evaluation result by this sample 9 is not substantially different from that of the non-added sample 8. Therefore, the addition amount of barium and hafnium added in the sample 9 is too small, and a sufficient effect is obtained. It turns out that it is not demonstrated.

次の比較例としての試料10では、ニッケルに対するバリウムおよびハフニウムの各含有量が、ともにモル比率で1.20となるように導電性ペーストに添加されている。この試料10によれば容量温度変化率が大きくなっている。これはニッケルに対するバリウムおよびハフニウムの各添加量が過剰になり、これらの成分の誘電体セラミック層中への拡散が過剰になったためであると考えられる。   In the sample 10 as the next comparative example, each content of barium and hafnium with respect to nickel is added to the conductive paste so that the molar ratio is 1.20. According to this sample 10, the capacity temperature change rate is large. This is considered to be due to the excessive addition of barium and hafnium to nickel and the diffusion of these components into the dielectric ceramic layer.

次に、試料11では、バリウムに対するハフニウムの比率が、モル比で0.90となっている。この試料11では、カバレッジが低下し、静電容量も比較的小さくなっている。これは、ハフニウムに対してバリウムが過剰であり、誘電体セラミック層中に拡散したバリウム成分が、内部導体膜との界面近傍でのセラミック組成比をAサイト過剰にするため、誘電体セラミック層における焼結が抑制されたためであると考えられる。   Next, in sample 11, the ratio of hafnium to barium is 0.90 in terms of molar ratio. In this sample 11, the coverage is lowered and the capacitance is relatively small. This is because barium is excessive with respect to hafnium, and the barium component diffused in the dielectric ceramic layer makes the ceramic composition ratio in the vicinity of the interface with the internal conductor film excessive at the A site. This is probably because the sintering was suppressed.

次に、試料12では、バリウムに対するハフニウムの比率がモル比で1.10となっている。この試料12によれば、ハフニウムがバリウムに対して過剰であり、内部導体膜との界面近傍での誘電体セラミック層のセラミック組成がBサイト過剰になり、誘電体セラミック層における焼結が促進され、これによって静電容量が向上するが、容量温度変化率については無添加の試料8に比べてより高くなっている。   Next, in sample 12, the ratio of hafnium to barium is 1.10 in molar ratio. According to this sample 12, hafnium is excessive with respect to barium, the ceramic composition of the dielectric ceramic layer in the vicinity of the interface with the internal conductor film is excessive at the B site, and sintering in the dielectric ceramic layer is promoted. This improves the capacitance, but the rate of change in capacitance temperature is higher than that of the additive-free sample 8.

この発明に係る導電性ペーストを用いて構成される積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサ1を図解的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically illustrating a multilayer ceramic capacitor 1 as an example of a multilayer ceramic electronic component configured using a conductive paste according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 誘電体セラミック層
4,5 内部導体膜
8,9 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer ceramic capacitor 2 Laminated body 3 Dielectric ceramic layer 4,5 Internal conductor film 8,9 External electrode

Claims (7)

導電性粉末と有機バリウム化合物と有機ハフニウム化合物と有機ビヒクルとを含み、前記有機バリウム化合物および前記有機ハフニウム化合物のバリウム原子およびハフニウム原子に換算した各含有量が、ともに、前記導電性粉末1.00モルに対して、0.05〜1.00モルであり、前記有機ハフニウム化合物のハフニウム原子に換算した含有量が、前記有機バリウム化合物のバリウム原子に換算した1.00モルに対して、0.98〜1.02モルである、導電性ペースト。   The conductive powder, the organic barium compound, the organic hafnium compound, and the organic vehicle, and the contents of the organic barium compound and the organic hafnium compound converted to barium atoms and hafnium atoms are both the conductive powder 1.00. It is 0.05-1.00 mol with respect to mol, and the content converted to hafnium atom of the organic hafnium compound is 0.00 with respect to 1.00 mol converted to barium atom of the organic barium compound. A conductive paste that is 98 to 1.02 moles. 前記導電性粉末は、ニッケル粉末である、請求項1に記載の導電性ペースト。   The conductive paste according to claim 1, wherein the conductive powder is nickel powder. 前記導電性粉末の平均粒径は0.2μm以下である、請求項1または2に記載の導電性ペースト。   The electrically conductive paste of Claim 1 or 2 whose average particle diameter of the said electrically conductive powder is 0.2 micrometer or less. 積層された複数のセラミック層間の界面に沿って延びる内部導体膜を形成するために用いられる、請求項1、2または3に記載の導電性ペースト。   The conductive paste according to claim 1, 2, or 3, which is used for forming an internal conductor film extending along an interface between a plurality of laminated ceramic layers. 積層された複数のセラミック層および前記セラミック層間の界面に沿って延びる内部導体膜を備える、積層セラミック電子部品であって、
前記内部導体膜は、請求項1、2または3に記載の導電性ペーストを焼成して得られたものである、積層セラミック電子部品。
A multilayer ceramic electronic component comprising a plurality of laminated ceramic layers and an inner conductor film extending along an interface between the ceramic layers,
The said internal conductor film is a multilayer ceramic electronic component obtained by baking the electrically conductive paste of Claim 1, 2 or 3.
前記セラミック層は、チタン酸バリウム系セラミックからなる、請求項5に記載の積層セラミック電子部品。   The multilayer ceramic electronic component according to claim 5, wherein the ceramic layer is made of a barium titanate ceramic. 前記内部導体膜は、前記セラミック層を介して所望の静電容量が得られるように配置され、さらに、前記複数のセラミック層をもって構成される積層体の外表面上に形成され、かつ前記静電容量を取り出すため前記内部導体膜の特定のものに電気的に接続される外部電極を備え、それによって、積層セラミックコンデンサが構成されている、請求項5または6に記載の積層セラミック電子部品。   The inner conductor film is disposed so as to obtain a desired capacitance through the ceramic layer, and is further formed on an outer surface of a laminate composed of the plurality of ceramic layers, and the electrostatic 7. The multilayer ceramic electronic component according to claim 5, further comprising an external electrode electrically connected to a specific one of the internal conductor films for taking out a capacitance, thereby forming a multilayer ceramic capacitor.
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JP2009081033A (en) * 2007-09-26 2009-04-16 Noritake Co Ltd Conductive paste for high-speed calcination

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