JP2005063835A - Glass composition for plasma display panel formation and plasma display panel using it - Google Patents

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川 良 美 白
Jun Fujimoto
本 順 藤
Kenji Yoshida
田 健 二 吉
Kenji Horio
尾 研 二 堀
Kazuhiko Yamanaka
中 一 彦 山
Yozo Kosaka
坂 陽 三 小
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass composition for PDP formation satisfying glass-baking conditions and excellent in electric PDP characteristics and a PDP using the glass composition. <P>SOLUTION: The glass composition for forming a dielectric layer constituting a plasma display panel, ribs, or a sealing layer for panel sealing contains glass frit, a vehicle and a filler, with a content of boron oxide of the glass frit of 8 mol% or less. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明はプラズマディスプレイパネル(以下、PDPともいう)を構成する誘電体層、リブ、および、パネル封着用シール層を形成するためのガラス組成物、およびそのガラス組成物を用いたPDPに関する。   The present invention relates to a dielectric layer, a rib, and a glass composition for forming a panel sealing seal layer constituting a plasma display panel (hereinafter also referred to as PDP), and a PDP using the glass composition.

PDPは、一般に、前面ガラス基板と背面ガラス基板とを対向させ封着し、その両基板の間にNeやXe等の希ガスを封入した構造となっている。両基板の表面には電極が形成されこれら電極が誘電体層で覆われており、また、両基板の空間には隔壁(リブ)で区切られたガス放電セルが設けられている。隣り合う透明電極の間に交流電圧を印加すると、セル内にガス放電が生じプラズマが形成される。ここで生じた紫外線が蛍光体を励起して可視光を発光し前面板を通して表示発光を得る。   In general, a PDP has a structure in which a front glass substrate and a back glass substrate are opposed to each other and sealed, and a rare gas such as Ne or Xe is sealed between the two substrates. Electrodes are formed on the surfaces of both substrates, these electrodes are covered with a dielectric layer, and gas discharge cells separated by partition walls (ribs) are provided in the space of both substrates. When an AC voltage is applied between adjacent transparent electrodes, a gas discharge is generated in the cell and plasma is formed. The ultraviolet rays generated here excite the phosphor to emit visible light, and display emission is obtained through the front plate.

上記の両基板を封着するための封着剤、誘電体層、および隔壁を形成する材料としては、一般にガラス材料が使用される。このガラス材料はガラス基板の変形を抑制するため、600℃以下で焼成できることが必要とされる。また、誘電体や隔壁を形成する材料は、PDPの消費電力を抑えるために誘電率を下げるような材料特性を有することが要求される。   A glass material is generally used as a material for forming the sealing agent, the dielectric layer, and the partition wall for sealing both the substrates. This glass material is required to be able to be fired at 600 ° C. or lower in order to suppress deformation of the glass substrate. In addition, the material forming the dielectric and the partition is required to have material characteristics that lower the dielectric constant in order to suppress the power consumption of the PDP.

これらの要求特性を実現するため、ガラス材料としては、酸鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化カルシウムからなる酸化鉛系ガラスや、酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化カルシウムからなる酸化ビスマス系ガラスなど、比較的軟化温度の低い材料が用いられている。上記ガラス材料においては、軟化点調整や熱膨張係数調整のため、ならびに低誘電率化やガラス化領域を広げるため、その構成成分として酸化ホウ素が含まれている。   In order to realize these required characteristics, glass materials include lead oxide glass consisting of lead oxide, boron oxide, silicon oxide, zinc oxide, calcium oxide, bismuth oxide, boron oxide, silicon oxide, zinc oxide, calcium oxide. A material having a relatively low softening temperature, such as bismuth oxide glass made of, is used. In the glass material, boron oxide is included as a constituent component for adjusting the softening point and adjusting the thermal expansion coefficient, and for reducing the dielectric constant and expanding the vitrification region.

しかしながら、酸化ホウ素を含有するガラス材料を用いたPDPにあっては、PDPの電気特性が安定しないといった問題があった。   However, the PDP using a glass material containing boron oxide has a problem that the electrical characteristics of the PDP are not stable.

発明の概要Summary of the Invention

本発明者らは、今般、ガラス中の酸化ホウ素含有量が高いと、PDPパネル製造工程における熱処理時にガラス中からホウ素単体もしくはホウ素化合物が拡散し、MgO層の表面や蛍光体表面に付着もしくはパネル空間中に存在して、PDPの電気的特性に悪影響を与えることを見出すとともに、酸化ホウ素の組成量を所定の値にすることによりPDPの電気特性が向上することを見出したものである。   In general, when the boron oxide content in the glass is high, the present inventors diffuse boron alone or boron compounds from the glass during the heat treatment in the PDP panel manufacturing process, and adhere to the surface of the MgO layer or the phosphor surface. It has been found that it exists in the space and adversely affects the electrical characteristics of the PDP, and that the electrical characteristics of the PDP are improved by setting the composition amount of boron oxide to a predetermined value.

従って、本発明は、PDPに用いられるガラス組成物において、ガラス焼成条件を満足しつつ、PDP電気的特性に優れるPDP形成用ガラス組成物、およびそのガラス組成物を用いたPDPを提供することを目的としている。   Therefore, the present invention provides a glass composition for forming PDP that is excellent in PDP electrical characteristics while satisfying the glass firing conditions in a glass composition used for PDP, and a PDP using the glass composition. It is aimed.

すなわち、本発明によるプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物は、プラズマディスプレイパネルを構成する誘電体層、リブ、またはパネル封着用シール層を形成するためのガラス組成物であって、ガラスフリットと、ビヒクルと、フィラーとを含んでなり、前記ガラスフリットの酸化ホウ素の含有量が、8mol%以下である。   That is, a glass composition for forming a plasma display panel according to the present invention is a glass composition for forming a dielectric layer, a rib, or a panel sealing seal layer constituting a plasma display panel, and comprises a glass frit and a vehicle. And a filler, and the content of boron oxide in the glass frit is 8 mol% or less.

また、別の態様として、本発明によるプラズマディスプレイパネルは、誘電体層、リブ、およびパネル封着用シール層の少なくともいずれかが、上記のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物からなるプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層、リブ、またはパネル封着用シール層の表面のホウ素存在量が、7atomic%以下である。   As another aspect, the plasma display panel according to the present invention is a plasma display panel in which at least one of a dielectric layer, a rib, and a panel sealing seal layer is made of the above glass composition for forming a plasma display panel. The amount of boron present on the surface of the dielectric layer, rib, or panel sealing seal layer is 7 atomic% or less.

さらに、別の態様として、本発明によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、上記プラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物を用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、基板上に、プラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物からなる誘電体層およびリブを形成して、背面板を作製する工程、前記背面板を焼成する工程、焼成後、前記背面板を洗浄する工程、および、洗浄後に、さらに背面板を焼成する工程、
を含んでなるものである。
Furthermore, as another aspect, a method for producing a plasma display panel according to the present invention is a method for producing a plasma display panel using the glass composition for forming a plasma display panel, wherein the glass for forming a plasma display panel is formed on a substrate. Forming dielectric layers and ribs made of the composition to produce a back plate, firing the back plate, washing the back plate after firing, and firing the back plate after washing The process of
Is included.

本発明によるガラス組成物を用いることにより、製造時のガラス焼成条件を満足しつつ、電気特性に優れるPDPを得ることができる。   By using the glass composition according to the present invention, it is possible to obtain a PDP having excellent electrical characteristics while satisfying the glass firing conditions during production.

発明の具体的説明DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

以下、本発明によるPDP形成用ガラス組成物、そのガラス組成物を用いたPDP、およびそのPDPの製造方法について詳細に説明する。   Hereinafter, the glass composition for PDP formation by this invention, PDP using the glass composition, and the manufacturing method of the PDP are demonstrated in detail.

1.PDP形成用ガラス組成物
本発明によるPDP形成用ガラス組成物は、ガラスフリットと、ビヒクルと、フィラーとを含んでなり、前記ガラスフリットの酸化ホウ素の含有量が8mol%以下である。ここで、本願明細書中の「酸化ホウ素の含有量」とは、PDP形成用ガラス組成物中のガラスフリットの組成を、各酸化物のモル数の百分率で表した数値である。このような組成のガラス組成物を用いることにより、PDPのリブ等の表面のホウ素存在量を7atomic%以下とすることができ、放電特性に優れるPDPを得ることができる。
1. PDP Forming Glass Composition The PDP forming glass composition according to the present invention comprises a glass frit, a vehicle, and a filler, and the content of boron oxide in the glass frit is 8 mol% or less. Here, the “boron oxide content” in the present specification is a numerical value representing the composition of the glass frit in the glass composition for PDP formation as a percentage of the number of moles of each oxide. By using a glass composition having such a composition, the amount of boron present on the surface of ribs and the like of the PDP can be reduced to 7 atomic% or less, and a PDP having excellent discharge characteristics can be obtained.

該ガラス組成物中の酸化ホウ素の含有量は、好ましくは5mol%以下、さらに好ましくは3mol%以下、特に、0mol%であることが好ましい。   The content of boron oxide in the glass composition is preferably 5 mol% or less, more preferably 3 mol% or less, and particularly preferably 0 mol%.

一般に、PDP形成用ガラス組成物を用いて誘電体層やリブを形成する際は、該ガラス組成物中に含まれるガラスフリットは粉末化して用いられる。粉末化されたガラスフリットは、ペーストやグリーンシートなどの形態で使用することができる。例えば、ガラスペーストは、ガラス粉末、セラミック粉末、および有機ビークルなどを混練することで作製される。一方、グリーンシートは、ガラス粉末、セラミック粉末、および樹脂と混練され、該混練物をPET等のフィルム上に塗布し乾燥させることによって作製される。   In general, when a dielectric layer or rib is formed using a glass composition for forming a PDP, the glass frit contained in the glass composition is used after being powdered. The powdered glass frit can be used in the form of a paste or a green sheet. For example, the glass paste is produced by kneading glass powder, ceramic powder, an organic vehicle, and the like. On the other hand, the green sheet is kneaded with glass powder, ceramic powder, and resin, and is produced by applying the kneaded material onto a film such as PET and drying it.

このペーストおよびグリーンシートをガラス基板の所定位置に塗布もしくは貼付して焼成することにより、誘電体層、リブ(隔壁)、または封着層を形成する。   The paste and the green sheet are applied to or pasted at predetermined positions on the glass substrate and baked to form a dielectric layer, ribs (partition walls), or a sealing layer.

一般的にPDPにおいては、ガラス基板の変形を防止するために600℃以下で焼成される。また、ガラス組成物は、ペーストおよびグリーンシート中の有機樹脂の分解が完了する約400℃以下では軟化しないことが要求される。したがって、このガラスフリットのガラス転移点(Tg)は、当該ガラス組成物中に含まれるペーストとして用いる樹脂が、焼成により完全に消失する温度以上であることが望ましい。さらにガラスフリットの軟化点はガラス基板が変形する温度以下でなければならない。具体的には、Tgが350〜500℃、軟化点が、350〜650℃、好ましくは400〜600℃の間で適宜選択される。   In general, PDP is baked at 600 ° C. or lower in order to prevent deformation of the glass substrate. Further, the glass composition is required not to be softened at about 400 ° C. or lower when the decomposition of the organic resin in the paste and the green sheet is completed. Therefore, it is desirable that the glass transition point (Tg) of the glass frit is equal to or higher than the temperature at which the resin used as the paste contained in the glass composition completely disappears upon firing. Furthermore, the softening point of the glass frit must be below the temperature at which the glass substrate is deformed. Specifically, Tg is appropriately selected between 350 to 500 ° C. and the softening point is 350 to 650 ° C., preferably 400 to 600 ° C.

上記のPDP形成用組成物を構成するガラスフリットは、その粒径がD50値において0.5〜10.0μmであることが好ましい。ガラスフリットの粒径が0.5μm未満であると、ガラスフリットの凝集により該ガラス組成物(ペースト)の分散性が低下する。一方、ガラスフリットの粒径が10μmを超えるとリブ形成時の焼結性が悪化したり、リブに欠陥を生じたりする。   The glass frit constituting the PDP forming composition preferably has a particle size of 0.5 to 10.0 μm in D50 value. When the particle size of the glass frit is less than 0.5 μm, the dispersibility of the glass composition (paste) decreases due to aggregation of the glass frit. On the other hand, if the particle size of the glass frit exceeds 10 μm, the sinterability at the time of rib formation is deteriorated, or defects are generated in the rib.

本発明においては、ガラスフリットは、酸化鉛、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化銅、酸化セリウム、酸化スズ、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、および酸化ストロンチウム等からなる群から選択されるアルカリ土類金属酸化物、またはこれらアルカリ土類金属酸化物の一種または二種以上の混合物を含んでなるものであることが好ましい。また、必要に応じて酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムなどのアルカリ金属酸化物を混合してもよい。   In the present invention, the glass frit is selected from the group consisting of lead oxide, silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, bismuth oxide, copper oxide, cerium oxide, tin oxide, magnesium oxide, calcium oxide, barium oxide, and strontium oxide. It is preferable that the alkaline earth metal oxide selected or one or a mixture of two or more of these alkaline earth metal oxides is included. Moreover, you may mix alkali metal oxides, such as lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide, as needed.

さらに、本発明によるガラス組成物においては、残留歪を極力小さくして、ガラス基板の反りや誘電体層ないしリブのクラックの発生を抑えるため、ガラスフリットの熱膨張係数(α)は、ガラス基板、下地層、誘電体層の熱膨張係数に近いことが好ましい。   Furthermore, in the glass composition according to the present invention, the thermal expansion coefficient (α) of the glass frit is set so that the residual strain is minimized and the warpage of the glass substrate and the occurrence of cracks in the dielectric layer or rib are suppressed. It is preferable that the thermal expansion coefficient is close to that of the underlayer and the dielectric layer.

このようなPDP形成用ガラス組成物は、上記ガラスフリット、フィラー、および所望により着色剤を混合した後、有機ビヒクルを加え三本ロール、ビーズミルなどにより混練、分散することによって得られる。該組成物は、上記ガラスフリットを40〜95重量%、また上記フィラーを1〜60重量%の範囲で含有することが好ましい。   Such a glass composition for forming a PDP is obtained by mixing the glass frit, filler, and colorant as required, adding an organic vehicle, and kneading and dispersing with a three roll, bead mill or the like. The composition preferably contains 40 to 95% by weight of the glass frit and 1 to 60% by weight of the filler.

2.プラズマディスプレイパネル
以下、本発明によるガラス組成物を、リブ材料へ適用してPDPを形成する場合を一例としてさらに説明するが、誘電体層またはパネル封着用シール層に適用できることは言うまでもない。
2. The following plasma display panel, the glass composition according to the invention is further illustrated by way of example the case of forming a PDP by applying the rib material, can of course be applied to the dielectric layer or panel sealing sealing layer.

本発明によるプラズマディスプレイは、リブ表面のホウ素存在量が7atomic%以下、好ましくは、5atomic%以下、特に好ましくは、0atomic%である。ここで、本願明細書中の「atomic%」とは、PDPを構成する誘電体層、リブ、またはシール層の表面組成を、光電子分光分析装置にて測定し、酸素以外の全ての元素の原子数に対して百分率で表した値を意味するものである。このようにPDPのリブ表面のホウ素存在量を7atomic%以下とすることにより、熱によるホウ素の拡散を有効に抑制できるため、ホウ素による蛍光体または保護膜(MgO)の汚染を低減できる。   In the plasma display according to the present invention, the amount of boron present on the rib surface is 7 atomic% or less, preferably 5 atomic% or less, and particularly preferably 0 atomic%. Here, “atomic%” in the specification of the present application means that the surface composition of the dielectric layer, rib, or seal layer constituting the PDP is measured with a photoelectron spectrometer, and atoms of all elements other than oxygen are measured. It means a value expressed as a percentage of the number. In this way, by setting the boron abundance on the rib surface of the PDP to 7 atomic% or less, diffusion of boron due to heat can be effectively suppressed, so that contamination of the phosphor or the protective film (MgO) by boron can be reduced.

本発明らは、リブ中に含まれるホウ素が、PDP製造工程の乾燥、焼成、洗浄、またはPDP放電時の熱エネルギーや放電エネルギーによって隔壁間のセル内に転移または拡散し、このホウ素の移転または拡散により、希ガス、蛍光体またはMgOが汚染され、放電特性などのディスプレイ特性を低下させてしまうことを見出した。このようなホウ素の転移または拡散を抑制するためには、リブ表面のホウ素量を厳密に制御する必要がある。このホウ素量は、リブを形成するガラス組成物の酸化ホウ素の含有量を調整することにより制御できる。すなわち、上記の本発明によるガラス組成物を用いることにより、上記範囲のホウ素量を実現することができる。   In the present invention, the boron contained in the ribs is transferred or diffused in the cells between the barrier ribs by the thermal energy or discharge energy at the time of drying, firing, cleaning, or PDP discharge in the PDP manufacturing process. It has been found that, due to diffusion, rare gas, phosphor or MgO is contaminated, and the display characteristics such as discharge characteristics are deteriorated. In order to suppress such boron transfer or diffusion, it is necessary to strictly control the amount of boron on the rib surface. This boron amount can be controlled by adjusting the boron oxide content of the glass composition forming the ribs. That is, by using the glass composition according to the present invention, a boron amount in the above range can be realized.

なお、リブ表面のホウ素存在量を上記の範囲になるように厳密に制御するには、本発明による酸化ホウ素の含有量が制御されたガラス組成物を用いることの他、リブ形成後に、リブを乾燥や焼成等の熱処理、水ないし溶剤洗浄、アルカリ処理、酸処理、UV処理、オゾン処理、またはプラズマ処理などを行うことによっても、リブ表面のホウ素量を所定範囲に制御することができる。また、酸化ホウ素含有量が8mol%を超えるガラス組成物を用いてリブを形成した後、ホウ素含有量の少ないガラス組成物や、酸化ホウ素を含有しない無機材料等により、リブをオーバーコートしてもよい。   In addition, in order to strictly control the amount of boron present on the rib surface so as to be in the above range, in addition to using the glass composition with controlled boron oxide content according to the present invention, the rib is formed after the rib is formed. The amount of boron on the rib surface can also be controlled within a predetermined range by performing heat treatment such as drying or firing, water or solvent cleaning, alkali treatment, acid treatment, UV treatment, ozone treatment, or plasma treatment. Further, after the rib is formed using a glass composition having a boron oxide content exceeding 8 mol%, the rib may be overcoated with a glass composition having a low boron content or an inorganic material not containing boron oxide. Good.

3.プラズマディスプレイパネルの製造方法
次に本発明のPDPの製造方法について、AC型のPDPを一例に図1を参照しながら説明する。
3. Manufacturing Method of Plasma Display Panel Next, the manufacturing method of the PDP of the present invention will be described with reference to FIG. 1 taking an AC type PDP as an example.

本発明によるPDPの製造方法においては、基板上に、上記のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物からなる誘電体層およびリブを形成して、背面板を作製する工程、前記背面板を焼成する工程、焼成後、前記背面板を洗浄する工程、および、洗浄後に、さらに背面板を焼成する工程を含んでなるものである。このようにリブ等を焼成して一旦形成した後に、洗浄を行い、さらに焼成を行うことによって、焼成等で拡散した酸化ホウ素の付着量を低減することができる。   In the method for producing a PDP according to the present invention, a step of forming a dielectric layer and ribs made of the above glass composition for forming a plasma display panel on a substrate to produce a back plate, and a step of firing the back plate The step of washing the back plate after firing and the step of firing the back plate after washing are further included. After the ribs and the like are baked and formed once in this manner, cleaning is performed and further calcination is performed, whereby the amount of boron oxide diffused by calcination or the like can be reduced.

一般に、PDPは、図1に示されるように、ガラス板からなる前面板1と背面板2とが密封されたセルを構成するように一定間隔で固着されている。前面板1の背面側には、透明電極である維持電極4と金属電極であるバス電極5とから成る複合電極が互いに平行に形成され、これを覆うように誘電体6およびMgO層7が順次形成されている。背面板2の前面側には、複合電極と直交するとともにリブの間に位置するようにアドレス電極8がストライプ上に互いに平行に形成され、またアドレス電極8上のセル底面上に蛍光体層9が設けられている。また、図2にその断面図が示されるように、ガラス基板2にアドレス電極8を設け、さらに誘電体層6’を積層した後、リブ3、蛍光体層9を設けた構造としたものである。   In general, as shown in FIG. 1, the PDP is fixed at regular intervals so as to form a cell in which a front plate 1 and a back plate 2 made of glass are sealed. On the back side of the front plate 1, a composite electrode composed of a sustain electrode 4 that is a transparent electrode and a bus electrode 5 that is a metal electrode is formed in parallel with each other, and a dielectric 6 and an MgO layer 7 are sequentially formed so as to cover this. Is formed. On the front side of the back plate 2, address electrodes 8 are formed in parallel to each other on the stripe so as to be perpendicular to the composite electrode and between the ribs, and the phosphor layer 9 is formed on the cell bottom surface on the address electrode 8. Is provided. Further, as shown in the sectional view of FIG. 2, the structure is such that the address electrode 8 is provided on the glass substrate 2, the dielectric layer 6 ′ is further laminated, and then the rib 3 and the phosphor layer 9 are provided. is there.

本発明の製造方法においては、まず、ガラス基板2の上にアドレス電極8をパターン形成する。電極8の形成方法としては、(1)スパッタ法、真空蒸着法等の薄膜形成プロセスとフォトプロセスを組み合わせる方法、(2)スクリーン印刷によってパターンを形成する方法、および(3)スクリーン印刷やブレードコート、ダイコート、ロールコート等のコーティング法とフォトプロセスを組み合わせる方法が挙げられる。   In the manufacturing method of the present invention, first, the address electrode 8 is patterned on the glass substrate 2. The electrode 8 can be formed by (1) a method of combining a thin film formation process such as sputtering or vacuum deposition and a photo process, (2) a method of forming a pattern by screen printing, and (3) screen printing or blade coating. And a method of combining a photo process with a coating method such as die coating or roll coating.

フォトプロセスとしては、フォトレジストを塗布して乾燥させた後、露光および現像工程によりパターニングする方法、あるいは、ドライフィルムレジストを用いて同様にパターニングする方法などがある。   As a photo process, there are a method of applying a photoresist and drying it, and then patterning by an exposure and development process, or a method of patterning in the same manner using a dry film resist.

電極の膜厚は、例えば、電極材料としてCrを用いてスパッタ法により成膜を行った場合は、約0.5μm程度であり、成膜されたCr薄膜をフォトレジストを用いてパターニングして電極が形成される。なお、電極材料およびパターニング方法は必ずしもこれらの方法に限定されるものではない。   The film thickness of the electrode is, for example, about 0.5 μm when the film is formed by sputtering using Cr as the electrode material, and the electrode is formed by patterning the formed Cr thin film using a photoresist. Is formed. The electrode material and the patterning method are not necessarily limited to these methods.

上記いずれかの方法を使用して所定パターンのアドレス電極8を形成した後、リブ3を形成する。該リブの形成方法としては、上述のPDP形成用ガラス組成物を用いてスクリーン印刷により隔壁形状にパターン印刷する方法や、スクリーン印刷、ブレードコート、ダイコート等によりベタ膜を作製した後、ベタ膜上に耐サンブラ性を有するマスクをパターン上に形成し、サンドブラストにより隔壁形成材の不要部分を除去して所定のリブ形状にする方法が例示できる。リブ3の高さは50〜250μm程度が好ましい。   The ribs 3 are formed after the address electrodes 8 having a predetermined pattern are formed by using any one of the above methods. The rib may be formed by a method of pattern printing in a partition shape by screen printing using the above-mentioned glass composition for PDP formation, or after a solid film is produced by screen printing, blade coating, die coating, etc. An example is a method in which a mask having samba resistance is formed on a pattern, and unnecessary portions of the partition wall forming material are removed by sand blasting to obtain a predetermined rib shape. The height of the rib 3 is preferably about 50 to 250 μm.

具体的実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明がこれら実施例に限定されるものではない。   Although a specific example is shown and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to these Examples.

1.ガラス組成物の調整
PDP背面板のリブを形成するため、ガラスフリットを準備した。ガラスフリットは、PbOとSiOとBとを主成分とし、表1に示す各B含有量のものを用いた。
1. Preparation of glass composition A glass frit was prepared in order to form ribs of the PDP back plate. As the glass frit, PbO, SiO 2 and B 2 O 3 were used as main components, and the respective B 2 O 3 contents shown in Table 1 were used.

次に、上記のガラスフリットを用いて、下記成分を均一に混合した後、三本ロールミルにて混練することにより、ガラス組成物を調整した。
ガラスフリット 70重量部
フィラー 30重量部
アルミナ(D50=2.5μm) 15重量部
チタニア(D50=0.2μm) 15重量部
有機ビヒクル 22重量部
エトセルSTD−100FP 2重量部
ジエチレングリコールものブチルエーテルアセテート 10重量部
スクリーンオイル759 10重量部
Next, after mixing the following components uniformly using said glass frit, the glass composition was adjusted by kneading | mixing with a three roll mill.
Glass frit 70 parts by weight Filler 30 parts by weight Alumina (D50 = 2.5 μm) 15 parts by weight Titania (D50 = 0.2 μm) 15 parts by weight Organic vehicle 22 parts by weight Ethosel STD-100FP 2 parts by weight Diethylene glycol butyl ether acetate 10 parts by weight 10 parts by weight of screen oil 759

2.PDPの作製
ガラス基板(PD200)上に、感光性Agペーストをスクリーン印刷にて印刷し、80℃にて乾燥した。次に、マスクを介して400mJ/cmで露光し、0.4%の炭酸ナトリウム水溶液にて現像後、580℃にて焼成し、電極を形成した。
2. Production of PDP A photosensitive Ag paste was printed on a glass substrate (PD200) by screen printing and dried at 80 ° C. Next, it exposed at 400 mJ / cm < 2 > through the mask, developed with 0.4% sodium carbonate aqueous solution, and baked at 580 degreeC, and formed the electrode.

基板に形成した電極上に、上記で得られたガラス組成物をスクリーン印刷にて塗布し、120℃にて乾燥後、570℃にて焼成を行い誘電体層を形成した。   On the electrode formed on the substrate, the glass composition obtained above was applied by screen printing, dried at 120 ° C. and baked at 570 ° C. to form a dielectric layer.

次に、該誘電体上にガラス組成物を塗布し、120℃で乾燥を行った。ドライフィルムレジストをラミネートし、マスクを介して150mJ/cmで露光し、0.2%炭酸ナトリウムにて現像してサンドブラスト用マスクを形成した。乾燥させた塗布面をサンドブラストした後、ドライフィルムレジストを1.5%NaOH水溶液にて剥離し、560℃で焼成してリブを形成した。 Next, a glass composition was applied on the dielectric and dried at 120 ° C. A dry film resist was laminated, exposed at 150 mJ / cm 2 through a mask, and developed with 0.2% sodium carbonate to form a sandblast mask. After the dried coated surface was sandblasted, the dry film resist was peeled off with a 1.5% NaOH aqueous solution and baked at 560 ° C. to form ribs.

このリブの間に、R、G、Bの蛍光体をスクリーン印刷にて充填し、120℃で乾燥後、470℃で焼成を行った。このようにして得られた背面板を前面板と張り合わすことによりPDP装置を作製した。   Between the ribs, phosphors of R, G, and B were filled by screen printing, dried at 120 ° C., and fired at 470 ° C. The back plate thus obtained was bonded to the front plate to produce a PDP device.

3.リブ表面のホウ素量測定
このようにして得られたPDP装置の前面板を背面板から剥離し、該背面板のリブ頂部表面のホウ素存在量を、XPSにて測定した。測定条件を以下に示す。
X線源:単色化AL-Kα線(15kV、10W)
X線ビーム径:50μmφ
光電子検出角:45°
得られた結果を表1に示す。
3. Measurement of the amount of boron on the rib surface The front plate of the PDP device thus obtained was peeled off from the back plate, and the amount of boron present on the rib top surface of the back plate was measured by XPS. The measurement conditions are shown below.
X-ray source: Monochromatic AL-Kα ray (15 kV, 10 W)
X-ray beam diameter: 50 μmφ
Photoelectron detection angle: 45 °
The obtained results are shown in Table 1.

4.ホウ素拡散量の評価
上記で得られた背面板について水洗浄を行ったものと、水洗浄後、550℃で焼成したものを準備した。これら、洗浄などを行ったものと未洗浄の背面板とについて、該背面板のリブ上にシリコンウエハーを重ね、その上に1kgの重りを載せて400℃、10時間放置した。その後、シリコンウエハーを背面板から取り除き、該シリコンウエハーのリブと接していた側の表面に存在するホウ素量を、飛行時間型2次イオン質量分析装置を用いて測定した。
4). Evaluation of Boron Diffusion Amount The back plate obtained above was washed with water, and was fired at 550 ° C. after washing with water. For these cleaned and uncleaned back plates, a silicon wafer was placed on the ribs of the back plate, and a 1 kg weight was placed thereon and left at 400 ° C. for 10 hours. Thereafter, the silicon wafer was removed from the back plate, and the amount of boron present on the surface of the silicon wafer that was in contact with the ribs was measured using a time-of-flight secondary ion mass spectrometer.

測定条件を以下に示す。
1次イオンビーム:Ga(15Kv)
1次イオンビーム径:2μm
真空度:6.7×10−8 Pa以下
測定面積:200μm×200μm
The measurement conditions are shown below.
Primary ion beam: Ga (15 Kv)
Primary ion beam diameter: 2 μm
Degree of vacuum: 6.7 × 10 −8 Pa or less Measurement area: 200 μm × 200 μm

上記の測定により、シリコンウエハー表面においてホウ素が検出されたものを×、ホウ素が検出されなかったものを○とした。   By the above measurement, the case where boron was detected on the surface of the silicon wafer was indicated as x, and the case where boron was not detected was indicated as ◯.

評価結果を表1に示す。

Figure 2005063835
The evaluation results are shown in Table 1.
Figure 2005063835

本実施例は、PDPを構成するリブについてのみ評価を行ったが、誘電体層やシール層についても同様な効果が得られることは言うまでもない。   In this example, only the rib constituting the PDP was evaluated, but it goes without saying that the same effect can be obtained for the dielectric layer and the seal layer.

本発明の一実施態様であるAC型のプラズマディスプレイパネルの概略図である。It is the schematic of the AC type plasma display panel which is one embodiment of this invention. AC型プラズマディスプレイパネルの背面板の断面図である。It is sectional drawing of the backplate of an AC type plasma display panel.

Claims (8)

プラズマディスプレイパネルを構成する誘電体層、リブ、またはパネル封着用シール層を形成するためのガラス組成物であって、ガラスフリットと、ビヒクルと、フィラーとを含んでなり、前記ガラスフリットの酸化ホウ素の含有量が、8mol%以下である、プラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物。   A glass composition for forming a dielectric layer, a rib, or a panel sealing seal layer constituting a plasma display panel, comprising a glass frit, a vehicle, and a filler, and the boron oxide of the glass frit The glass composition for plasma display panel formation whose content is 8 mol% or less. 前記酸化ホウ素の含有量が、0mol%である、請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物。   The glass composition for forming a plasma display panel according to claim 1, wherein the boron oxide content is 0 mol%. PbOが実質的に含まれていない、請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネル形成用組成物。   The composition for forming a plasma display panel according to claim 1, wherein PbO is substantially not contained. 軟化点が、350〜650℃である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物。   The glass composition for plasma display panel formation of any one of Claims 1-3 whose softening point is 350-650 degreeC. 耐熱顔料をさらに含んでなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物。   The glass composition for forming a plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, further comprising a heat-resistant pigment. 誘電体層、リブ、およびパネル封着用シール層の少なくともいずれかが、請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物からなるプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層、リブ、またはパネル封着用シール層の表面のホウ素存在量が、7atomic%以下である、プラズマディスプレイパネル。   A plasma display panel comprising the glass composition for forming a plasma display panel according to any one of claims 1 to 5, wherein at least one of a dielectric layer, a rib, and a panel sealing seal layer, wherein the dielectric The plasma display panel, wherein the amount of boron present on the surface of the body layer, rib, or panel sealing seal layer is 7 atomic% or less. 前記ホウ素存在量が、0atomic%である、請求項6に記載のプラズマディスプレイパネル。   The plasma display panel according to claim 6, wherein the boron abundance is 0 atomic%. 請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物を用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
基板上に、プラズマディスプレイパネル形成用ガラス組成物からなる誘電体層およびリブを形成して、背面板を作製する工程、
前記背面板を焼成する工程、
焼成後、前記背面板を洗浄する工程、および、
洗浄後に、さらに背面板を焼成する工程、
を含んでなる、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
It is a manufacturing method of the plasma display panel using the glass composition for plasma display panel formation of any one of Claims 1-5,
Forming a dielectric layer and ribs made of a glass composition for forming a plasma display panel on a substrate to produce a back plate;
Firing the back plate,
Washing the back plate after firing, and
A step of firing the back plate after washing,
A method for producing a plasma display panel, comprising:
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