JP2005039334A - サブスレッショルド漏れ電流を抑制する半導体回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】電源電圧1V以下でも有効で、遮断スイッチのゲート酸化膜における高電圧のストレスがなく、スタンバイから動作までの回復時間が短い、サブスレッショルド漏れ電流を抑制する半導体回路を提供する。
【解決手段】ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成した。
【選択図】 図5
【解決手段】ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成した。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体回路に関し、例えばバッテリ駆動の携帯機器用LSIなどに用いられる低しきい値CMOS回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
CMOS回路において、電源電圧VDDが下がる際、動作速度が下がらないようにしきい値電圧を下げるべきである。ところが、0.1V程度までしきい値電圧を下げると、サブスレッショルド漏れ電流が急増してしまう。例えば、電源電圧0.6Vの70nmプロセスのCMOS回路では、サブスレッショルド漏れ電流は40nA/μm程度になる。このような大きいサブスレッショルド漏れ電流は、バッテリ駆動のシステムにとっては許容しがたいため、いくつかの漏れ電流抑制回路が開発されている。
【0003】
上述したような漏れ電流抑制回路の一例として、Multi−Threshold Voltage CMOS(MTCMOS)がある。図1は、このような先行技術であるMTCMOSの構成を示す回路図である。MTCMOS1は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部10と、高しきい値のPMOS遮断スイッチ11とを具える。MTCMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。この図において、ロジック部10には例としてロジックゲートND1およびIV1を示してある。PMOS遮断スイッチ11は、スタンバイ時にサブスレッショルド漏れ電流を抑制するために高しきい値である。PMOS遮断スイッチ11のゲート電圧(VCUT)は、スタンバイ時にはVDDになり、動作時にはVSS(=0V)になる。仮想VDD(VDDV)は、スタンバイ時にはVSSになり、動作時にはVDDになる。このようにして、高しきい値トランジスタと低しきい値トランジスタの特長を効果的に用いることで、高速動作とスタンバイ時の低電力化を実現させている。しかしながら、MTCMOSは、高しきい値の遮断スイッチが動作時の速度を急激に悪化させるので、1V以下の電源電圧ではもはや有効ではないという問題があった。
【0004】
漏れ電流抑制回路の他の例として、Super Cut−off CMOS(SCCMOS)がある。図2は、このような先行技術であるSSCMOSの構成を示す回路図である。SCCMOS2は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部20と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ21とを具える。SCCMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。この図において、ロジック部20には例としてロジックゲートND1およびIV1を示してある。MTCMOSと違いSCCMOSは高しきい値の遮断スイッチを用いない。PMOS遮断スイッチ21のゲート電圧(VCUT)は、動作時にはロジック部20に電流を供給するためにVSSになり、スタンバイ時にはサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVDDより高い電圧になる。スタンバイ開始時にVDDだったVDDVは、VSSに放電を開始する。VDDVがVSSまで放電するとVGD1がVDDより大きくなるので、PMOS遮断スイッチ21のゲート酸化膜に高電圧ストレスを引き起こす。この高電圧ストレスを避けるために、図3に示すように直列にPMOS遮断スイッチ30を接続する。図3は、SCCMOSの他の例であり、SCCMOS3は、PMOS遮断スイッチ30を具える以外は図2のSCCMOS2と同様である。PMOS遮断スイッチ30は、PMOS遮断スイッチ21のゲート酸化膜にかかる高電圧ストレスを緩和する。VCUTはPMOS遮断スイッチ21のゲート電圧である。スタンバイ時には、VCUTはサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVDDより高い電圧にし、例えばVDD+0.3Vとする。動作時には、VCUTはロジック部20に電流を供給するためにVSSにする。VG2はPMOS遮断スイッチ30のゲート電圧である。スタンバイ時にはVG2はVDDに、動作時にはVSSにする。ここで、サブスレッショルド領域における2つのPMOS遮断スイッチ21および30は、各々のゲートソース間の電圧に大きく依存する。図3において、PMOS遮断スイッチ21および30には同じ電流が流れるので、両者が同じ大きさで基板効果を考慮しなければ、スタンバイ時にはVD1(VS2)はVDD−0.3Vになる。図3に示すこの構造は、図2の構造におけるゲート酸化膜の信頼性の問題を解決するが、同時に動作速度を悪化させるという問題がある。また、SCCMOSでもMTCMOSと同様に、スタンバイ時にH(VDD)のノードにおいて情報が蒸発するといった問題や、スタンバイから動作までの回復時間が長いといった問題もある。これらも、スタンバイ時にVDDVがVSSに放電するためである。そのため、動作開始時にVDDVをVDDに充電しなければならない。
【0005】
漏れ電流抑制回路のさらに他の例として、Boosted−Gate MOS(BGMOS)がある。図4は、このような先行技術であるBGMOSの構成を示す回路図である。BGMOS4は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部40と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ41とを具える。BGMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。PMOS遮断スイッチ41のゲート酸化膜は、VDDを超える高電圧も許容し、十分厚いので、SCCMOSのように他のPMOS遮断スイッチを直列接続する必要はない。MTCMOSやSCCMOSと同様に、スタンバイ時にVDDVをVSSに放電し、動作開始時にVDDまで充電しなければならないので、スタンバイから動作までの回復時間が長くかかってしまうという欠点がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような先行技術のサブスレッショルド漏れ電流抑制技術の欠点を克服し、電源電圧1V以下でも有効で、遮断スイッチのゲート酸化膜における高電圧ストレスがなく、回復時間が短い、サブスレッショルド漏れ電流を抑制する半導体回路を提供することを目的とする。本発明は、さらに、同様の発想に基づいて遮断スイッチを用いたクロックゲーティングを行う半導体回路も提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体回路の第1実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。本明細書中において、a〜b信号という表記は、aからbまでの振幅を持った信号という意味であるとする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、スタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果のために仮想電源線がVSSまで放電せず、中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0008】
本発明による半導体回路の第2実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、スタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果のために仮想接地線がVDDまで充電せず、中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0009】
本発明による半導体回路の第3実施形態は、ロジック部と、各々のゲートが各々のレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチおよび低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、仮想電源線および仮想接地線ともに中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0010】
本発明による半導体回路の第4実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想電源線がスタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果のために中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0011】
本発明による半導体回路の第5実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想接地線がスタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果のために中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0012】
本発明による半導体回路の第6実施形態は、ロジック部と、各々のゲートが各々レベルシフタからの信号によって制御され、各々厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチおよび高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想電源線および仮想接地線ともにスタンバイ時に中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0013】
本発明による半導体回路の第7実施形態は、各々が低しきい値PMOS遮断スイッチおよび低しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N<VSSとして、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、遮断スイッチのゲート電圧を、プロセスや温度のばらつきにかかわらず遮断スイッチを通るサブスレッショルド漏れ電流が抑制されるように適応的に制御することが可能になる。
【0014】
本発明による半導体回路の第8実施形態は、各々が厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチおよび高しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、VS S〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする。このようにすれば、遮断スイッチのゲート電圧を、プロセスや温度のばらつきにかかわらず遮断スイッチを通るサブスレッショルド漏れ電流が抑制されるように適応的に制御することが可能になる。
【0015】
本発明による半導体回路の第9実施形態は、スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った低しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った低しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する低しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、クロックゲーティングと同時に遮断スイッチを実装でき、遮断スイッチはラッチされたイネーブル信号によって制御される。イネーブル信号がHになると、クロックはANDゲートを通る。このとき遮断スイッチはオンし、仮想接地線と仮想電電線は、それぞれVSSとVDDになる。イネーブル信号がLになると、クロックはマスクされ、遮断スイッチはスレッショルド漏れ電流を抑制するためにオフされる。
【0016】
本発明による半導体回路の第10実施形態は、スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する厚い酸化膜を有する高しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする。このようにすれば、クロックゲーティングと同時に遮断スイッチを実装でき、遮断スイッチはラッチされたイネーブル信号によって制御される。イネーブル信号がHになると、クロックはANDゲートを通る。このとき遮断スイッチはオンし、仮想接地線と仮想電源線は、それぞれVSSとVDDになる。イネーブル信号がLになると、クロックはマスクされ、遮断スイッチはスレッショルド漏れ電流を抑制するためにオフされる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図5は、請求項1に対応する本発明の第1実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。半導体回路5は、ロジック部50と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ51と、レベルシフタ52とを具える。PMOS遮断スイッチ51のしきい値は、例えば、−0.1V程度である。VDDは電源電圧であり、VDDVは仮想電源線である。VSSは接地電位である。レベルシフタ52は、動作時にPMOS遮断スイッチ51のゲートをロジック部50に電流を供給するためにVSSによってオンし、スタンバイ時にPMOS遮断スイッチ51のゲートをサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVPUMP,Pによってオフする。すなわち、レベルシフタ52は、VSS〜VDD信号である
【外1】
をVSS〜VPUMP,P信号であるVCUT,Pに変換する。ここで、VPUMP,PはVDDより高い電圧である。VDDVは、動作時にはVDDになる。この図において(L)はスタンバイ時にLであることを示し、PMOS遮断スイッチ51に接続するロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。こうすることにより、スタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果によりVDDVは、VSSとVDDの間のある中間電圧に飽和し、SCCMOSの場合とは異なり、VSSまで放電しない。この飽和電圧は、VPUMP,P、PMOS遮断スイッチ52のゲート幅、PMOS遮断スイッチ52に接続されているロジック部50の総ゲート幅、基板効果まで考慮したそれらのしきい値、温度などによって決められ、VDDVは、PMOS遮断スイッチ52のゲート酸化膜にVDDを超える高電圧のストレスをかけることなく制御できる。半導体回路5では、VDDVだけが飽和電圧からVDDに戻され、回復すべき容量とVDDVの振幅がSCCMOSの場合よりずっと小さいので、回復時間はSCCMOSよりもずっと短い。スタンバイ時にVPUMP,Pを、チャージポンプ(図示せず)によって発生し、レベルシフタ52によって制御する。また、VPUMP,Pを外部から供給してもよい。
【0018】
図6Aは、請求項2に対応する本発明の第2実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第1実施形態の半導体回路における遮断スイッチをNMOS遮断スイッチとして構成したものである。半導体回路6は、ロジック部60と、低しきい値のNMOS遮断スイッチ61と、レベルシフタ62とを具える。NMOS遮断スイッチ61のしきい値は、例えば、0.1V程度である。VSSVは仮想接地線である。レベルシフタ62は、スタンバイ時にNMOS遮断スイッチ61のゲートをサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVPUMP,Nによってオフし、動作時にNMOS遮断スイッチ61のゲートをロジック部60に電流を供給するためにVDDによってオンする。すなわち、レベルシフタ62は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,N〜VDD信号であるVCUT,Nに変換する。ここで、VPUMP,NはVSSより低い電圧である。VSSVは、動作時にはVSSになる。この図において(H)はスタンバイ時にHであることを示し、NMOS遮断スイッチ61に接続するロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。こうすることにより、スタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果によりVSSVは、VSSとVDDの間のある中間電圧に飽和し、SCCMOSの場合とは異なり、VDDまで充電しない。この飽和電圧は、VPUMP,N、NMOS遮断スイッチ62のゲート幅、NMOS遮断スイッチ62に接続されているロジック部60の総ゲート幅、基板効果まで考慮したそれらのしきい値、温度などによって決められ、VSSVは、NMOS遮断スイッチ62のゲート酸化膜にVDDを超える高電圧のストレスをかけることなく制御できる。半導体回路6では、VSSVだけが飽和電圧からVSSに戻され、回復すべき容量とVSSVの振幅がSCCMOSの場合よりずっと小さいので、回復時間はSCCMOSよりもずっと短い。スタンバイ時にVPUMP,Nを、チャージポンプ(図示せず)によって発生し、レベルシフタ62によって制御する。また、VPUMP,Nを外部から供給してもよい。例えば、VDD=0.6V、VPUMP,N=−0.3Vの場合に、高電圧ストレスがかからないレベルシフタ62の回路例を図6Bに示す。
【0019】
図7は、請求項3に対応する本発明の第3実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第1および第2実施形態を組み合わせたものである。半導体回路7は、ロジック部70と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ71と、低しきい値のNMOS遮断スイッチ72と、PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73と、NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74とを具える。PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,P信号であるVCUT,Pに反転変換する。ここで、VPUMP,PはVDDより高い電圧である。NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,N〜VDD信号であるVCUT,Nに変換する。ここで、VPUMP,NはVSSより低い電圧である。PMOS遮断スイッチ71に接続するロジック部70のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。NMOS遮断スイッチ72に接続するロジック部70のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。この図において、ゲートがクロック信号によって制御されているPMOSトランジスタMP2およびNMOSトランジスタMN2に接続されているI5は、クロックドゲートである。MP2およびMN2の双方がオフするスタンバイ時には、I5の出力は高インピーダンス状態になる。このときI5の出力は、I5と出力を共有するI6によって決定される。この出力が(L)ならば、I5はPMOS遮断スイッチ71に接続されるべきである。この出力が(H)ならば、I5はNMOS遮断スイッチ72に接続されるべきである。
【0020】
図8は、請求項4に対応する本発明の第4実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。半導体回路8は、ロジック部80と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ81と、レベルシフタ82とを具える。レベルシフタ82は、VSS〜VDD信号である
【外2】
をVPUMP,P〜VDD信号であるVCUT,Pに変換する。ここでVPUMP,PはVSSより低い電圧である。レベルシフタ82は、スタンバイ時にはPMOS遮断スイッチ81のゲートをVDDによってオフし、動作時にはPMOS遮断スイッチ81のゲートをVPUMP,Pによってオンする。PMOS遮断スイッチ81は高しきい値であるため、スレッショルド漏れ電流は、スタンバイ時には完全に抑制される。PMOS遮断スイッチ81のゲート酸化膜は、ロジック部80のゲート酸化膜より厚いため、VDDを超える高電圧のストレスは問題にならない。VPUMP,Pをチャージポンプ回路(図示せず)で発生させる場合に必要な電力は動作時にのみ消費されることが、本実施形態の利点である。スタンバイ時には、余計な電力を消費することなく、PMOS遮断スイッチ81のゲートはVDDによりオフされる。VDDVは、動作時にはVDDになり、スタンバイ時にはVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。これはPMOS遮断スイッチ81に接続するロジック部80のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限するためである。こうすることにより、スタンバイ時には、VDDVは、BGMOSと違ってVSSにまで放電せず、ロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果によってVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。前記第1実施形態と同様に、本実施形態もスタンバイから動作までの回復時間が短い。なお、VPUMP,Pを外部から供給してもよい。
【0021】
図9は、請求項5に対応する本発明の第5実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第4実施形態の半導体回路における遮断スイッチをNMOS遮断スイッチとして構成したものである。半導体回路9は、ロジック部90と、厚い酸化膜を有する高しきい値のNMOS遮断スイッチ91と、レベルシフタ92とを具える。レベルシフタ92は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,N信号であるVCUT,Nに変換する。ここでVPUMP,NはVDDより高い電圧である。レベルシフタ92は、スタンバイ時にはNMOS遮断スイッチ91のゲートをVSSによってオフし、動作時にはNMOS遮断スイッチ91のゲートをVPUMP,Nによってオンする。NMOS遮断スイッチ91は高しきい値であるため、スレッショルド漏れ電流は、スタンバイ時には完全に抑制される。NMOS遮断スイッチ91のゲート酸化膜は、ロジック部90のゲート酸化膜より厚いため、VDDを超える高電圧のストレスは問題にならない。VPUMP,Nをチャージポンプ回路(図示せず)で発生させる場合に必要な電力は動作時にのみ消費されることが、本実施形態の利点である。スタンバイ時には、余計な電力を消費することなく、NMOS遮断スイッチ91のゲートはVSSによりオフされる。VSSVは、動作時にはVSSになり、スタンバイ時にはVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。これはNMOS遮断スイッチ91に接続するロジック部90のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限するためである。こうすることにより、スタンバイ時には、VSSVは、BGMOSと違ってVDDにまで充電せず、ロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果によってVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。前記第2実施形態と同様に、本実施形態もスタンバイから動作までの回復時間が短い。なお、VPUMP,Nを外部から供給してもよい。
【0022】
図10は、請求項6に対応する本発明の第6実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第4および第5実施形態を組み合わせたものである。半導体回路12は、ロジック部100と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ101と、厚い酸化膜を有する高しきい値のNMOS遮断スイッチ102と、PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103と、NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104とを具える。PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,P〜VDD信号であるVCUT,Pに反転変換する。ここでVPUMP,PはVSSより低い電圧である。NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,N信号であるVCUT,Nに変換する。ここでVPUMP,NはVDDより高い電圧である。PMOS遮断スイッチ101に接続するロジック部100のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。NMOS遮断スイッチ102に接続するロジック部100のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。この図において、ゲートがクロック信号によって制御されているPMOSトランジスタMP2およびNMOSトランジスタMN2に接続されているI5は、クロックドゲートである。MP2およびMN2の双方がオフするスタンバイ時には、I5の出力は高インピーダンス状態になる。このときI5の出力は、I5と出力を共有するI6によって決定される。この出力が(L)ならば、I5はPMOS遮断スイッチ71に接続されるべきである。この出力が(H)ならば、I5はNMOS遮断スイッチ72に接続されるべきである。
【0023】
図11は、前述した図7に示す第3実施形態の半導体回路の制御回路を具体的に示した本発明の第7実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、請求項7に対応する。図7と同様の構成要素を同じ参照符で示す。本実施形態では、PMOS遮断スイッチ用制御回路網111と、NMOS遮断スイッチ用制御回路網112とをさらに設ける。PMOS遮断スイッチ用制御回路網111は、図7と同様のPMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73に加えて、チャージポンプ113と、電圧レベル検出器114と、リングオシレータ(R1、R2、R3、R4およびR5)とを具える。NMOS遮断スイッチ用制御回路網112は、図7と同様のNMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74に加えて、チャージポンプ115と、電圧レベル検出器116と、リングオシレータ(R6、R7、R8、R9およびR10)とを具える。ロジック部70におけるロジックゲートのうち、スタンバイ直前において出力がLであるゲートをPMOS遮断スイッチ71に、出力がHであるゲートをNMOS遮断スイッチ72に接続する。ACTがHになると、動作が開始される。このとき、PMOS遮断スイッチ71とNMOS遮断スイッチ72のゲート電圧VCUT,PとVCUT,NはそれぞれVSSとVDDになる。ACTがLになると、スタンバイが開始される。このとき、PMOS遮断スイッチ71のゲートは、VDDより高いVPUMP,Pによって完全にオフされ、NMOS遮断スイッチ72のゲートは、VSSより低いVPUMP,Nによって完全にオフされる。VPUMP,PおよびVPUMP,Nは、それぞれチャージポンプ113および115によって供給される。電圧レベル検出器114は、VPUMP,Pをスタンバイ時に検出し、目標電圧より低ければチャージポンプ113を動かすようにラン信号をR5に送る。電圧レベル検出器116は、VPUMP,Nをスタンバイ時に検出し、目標電圧より高ければチャージポンプ115を動かすようにラン信号をR10に送る。電圧レベル検出器114および116によってそれぞれ制御されるチャージポンプ113および115は、ブースト電圧を作るためにDRAMやEEPROMなどにも使われているチャージポンプを用いてもよい。クロスカップルされた構造を持つこの種のチャージポンプは、VDDを超える高電圧のストレスがなく、VDD=0.6V程度の低電源電圧においても−VDDと2VDDを発生できる。
【0024】
図12は、図11の電圧検出器114の構成の一例を示す回路図である。電圧検出器114は、比較器121と、PMOSトランジスタ122および123とを具える。VPUMP,Pが上昇すると、PMOSトランジスタ123のコンダクタンスがPMOSトランジスタ122のコンダクタンスより小さくなり、比較器121は、停止信号を図11のPMOS遮断スイッチ用制御回路網111内のリングオシレータに送る。図13は、図11の電圧検出器116の構成の一例を示す回路図である。電圧検出器116は、比較器131と、PMOSトランジスタ132と、NMOSトランジスタ133とを具える。VPUMP,Nが低下すると、NMOSトランジスタ133のコンダクタンスがPMOSトランジスタ132のコンダクタンスより小さくなり、比較器131は、停止信号を図11のNMOS遮断スイッチ用制御回路網112内のリングオシレータに送る。これらの構成は単なる例であり、電圧検出器には種々の設計方法を用いることができる。図14の電圧検出器144および146も同様に構成することができる。
【0025】
図14は、前述した図10に示す第6実施形態の半導体回路の制御回路を具体的に示した本発明の第8実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、請求項8に対応する。図10と同様の構成要素を同じ参照符で示す。本実施形態では、PMOS遮断スイッチ用制御回路網141と、NMOS遮断スイッチ用制御回路網142とをさらに設ける。PMOS遮断スイッチ用制御回路網141は、図10と同様のPMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103に加えて、チャージポンプ143と、電圧レベル検出器144と、リングオシレータ(S1、S2、S3、S4およびS5)とを具える。NMOS遮断スイッチ用制御回路網142は、図10と同様のNMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104に加えて、チャージポンプ145と、電圧レベル検出器146と、リングオシレータ(S6、S7、S8、S9およびS10)とを具える。動作は上述した第7実施形態と類似している。PMOS遮断スイッチ101およびNMOS遮断スイッチ102が、それぞれチャージポンプ143および145によって供給されるそれぞれVPUMP,PおよびVPUMP,Nに対して十分厚い酸化膜を有する場合は、電圧検出器144および146はなくてもよい。
【0026】
図15は、請求項9に対応する本発明の第9実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態では、フリップフロップ151は、mビットの入力データA[1−m]を受け、クロック信号CLKに同期し、mビットの出力データFA[1−m]を発生する。制御部152は、FA[1−m]を受け、イネーブル信号ENを発生する。ラッチ153によりENをCLKに同期してラッチした信号ENLが反転と非反転の両方の出力を持ったレベルシフタ154とANDゲート155の入力となる。もしENLがHならば、CLKはANDゲート155でマスクされず、フリップフロップ156のクロック入力ENCLKとなる。ENLは、低しきい値のPMOS遮断スイッチ157と160および低しきい値のNMOS遮断スイッチ158と161を制御するレベルシフタ154の入力ともなる。PMOS遮断スイッチ157はフリップフロップ156のためのPMOS遮断スイッチであり、PMOS遮断スイッチ160はロジック部159のためのPMOS遮断スイッチである。これら2つのPMOS遮断スイッチを1つにすることもできる。NMOS遮断スイッチ158はフリップフロップ156のためのNMOS遮断スイッチであり、NMOS遮断スイッチ161はロジック部159のためのNMOS遮断スイッチである。これら2つのNMOS遮断スイッチを1つにすることもできる。VCUT,PはPMOS遮断スイッチ157と160のゲート信号であり、VCUT,NはNMOS遮断スイッチ158と161のゲート信号である。D[1−n]はフリップフロップ156のnビットの入力データであり、Q[1−n]はフリップフロップ156のnビットの出力データである。ロジック部159は、Q[1−n]を入力とするスタティックまたはダイナミックな組み合わせ回路である。図16は、本実施形態における信号の波形を表すグラフである。ここで、ENLがHになったとき、VCUT,PはVDDより高い電圧からVSSまで変化し、VCUT,NはVSSより低い電圧からVDDまで変化する。類似の回路を、厚い酸化膜を有する高しきい値の遮断スイッチを用いても実施可能であり、請求項10に対応する。
【0027】
以上、具体例を示しながら発明の実施に形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない範疇においてあらゆる変形や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】先行技術であるMTCMOSの構成を示す回路図である。
【図2】先行技術であるSCCMOSの構成を示す回路図である。
【図3】SCCMOSの他の例の構成を示す回路図である。
【図4】先行技術であるBGMOSの構成を示す回路図である。
【図5】本発明の第1実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図6】Aは本発明の第2実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、BはAのレベルシフタ62の構成の一例を示す回路図である。
【図7】本発明の第3実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図8】本発明の第4実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図9】本発明の第5実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図10】本発明の第6実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図11】本発明の第7実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図12】図11の電圧検出器114の構成の一例を示す回路図である。
【図13】図11の電圧検出器116の構成の一例を示す回路図である。
【図14】本発明の第8実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図15】本発明の第9実施形態による半導体回路構成を示す回路図である。
【図16】図15の構成における信号の波形を表すグラフである。
【符号の説明】
1 MTCMOS
2、3 SCCMOS
4 BGMOS
5、6、7、8、9、12 半導体回路
10、20、40、50、60、70、80、90、100、159 ロジック部
11、21、51、71 低しきい値PMOS遮断スイッチ
30 PMOS遮断スイッチ
41、81 高しきい値PMOS遮断スイッチ
52、62、73、74 レベルシフタ
61、72、82 低しきい値NMOS遮断スイッチ
73 PMOS遮断スイッチ用レベルシフタ
74 NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体回路に関し、例えばバッテリ駆動の携帯機器用LSIなどに用いられる低しきい値CMOS回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
CMOS回路において、電源電圧VDDが下がる際、動作速度が下がらないようにしきい値電圧を下げるべきである。ところが、0.1V程度までしきい値電圧を下げると、サブスレッショルド漏れ電流が急増してしまう。例えば、電源電圧0.6Vの70nmプロセスのCMOS回路では、サブスレッショルド漏れ電流は40nA/μm程度になる。このような大きいサブスレッショルド漏れ電流は、バッテリ駆動のシステムにとっては許容しがたいため、いくつかの漏れ電流抑制回路が開発されている。
【0003】
上述したような漏れ電流抑制回路の一例として、Multi−Threshold Voltage CMOS(MTCMOS)がある。図1は、このような先行技術であるMTCMOSの構成を示す回路図である。MTCMOS1は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部10と、高しきい値のPMOS遮断スイッチ11とを具える。MTCMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。この図において、ロジック部10には例としてロジックゲートND1およびIV1を示してある。PMOS遮断スイッチ11は、スタンバイ時にサブスレッショルド漏れ電流を抑制するために高しきい値である。PMOS遮断スイッチ11のゲート電圧(VCUT)は、スタンバイ時にはVDDになり、動作時にはVSS(=0V)になる。仮想VDD(VDDV)は、スタンバイ時にはVSSになり、動作時にはVDDになる。このようにして、高しきい値トランジスタと低しきい値トランジスタの特長を効果的に用いることで、高速動作とスタンバイ時の低電力化を実現させている。しかしながら、MTCMOSは、高しきい値の遮断スイッチが動作時の速度を急激に悪化させるので、1V以下の電源電圧ではもはや有効ではないという問題があった。
【0004】
漏れ電流抑制回路の他の例として、Super Cut−off CMOS(SCCMOS)がある。図2は、このような先行技術であるSSCMOSの構成を示す回路図である。SCCMOS2は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部20と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ21とを具える。SCCMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。この図において、ロジック部20には例としてロジックゲートND1およびIV1を示してある。MTCMOSと違いSCCMOSは高しきい値の遮断スイッチを用いない。PMOS遮断スイッチ21のゲート電圧(VCUT)は、動作時にはロジック部20に電流を供給するためにVSSになり、スタンバイ時にはサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVDDより高い電圧になる。スタンバイ開始時にVDDだったVDDVは、VSSに放電を開始する。VDDVがVSSまで放電するとVGD1がVDDより大きくなるので、PMOS遮断スイッチ21のゲート酸化膜に高電圧ストレスを引き起こす。この高電圧ストレスを避けるために、図3に示すように直列にPMOS遮断スイッチ30を接続する。図3は、SCCMOSの他の例であり、SCCMOS3は、PMOS遮断スイッチ30を具える以外は図2のSCCMOS2と同様である。PMOS遮断スイッチ30は、PMOS遮断スイッチ21のゲート酸化膜にかかる高電圧ストレスを緩和する。VCUTはPMOS遮断スイッチ21のゲート電圧である。スタンバイ時には、VCUTはサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVDDより高い電圧にし、例えばVDD+0.3Vとする。動作時には、VCUTはロジック部20に電流を供給するためにVSSにする。VG2はPMOS遮断スイッチ30のゲート電圧である。スタンバイ時にはVG2はVDDに、動作時にはVSSにする。ここで、サブスレッショルド領域における2つのPMOS遮断スイッチ21および30は、各々のゲートソース間の電圧に大きく依存する。図3において、PMOS遮断スイッチ21および30には同じ電流が流れるので、両者が同じ大きさで基板効果を考慮しなければ、スタンバイ時にはVD1(VS2)はVDD−0.3Vになる。図3に示すこの構造は、図2の構造におけるゲート酸化膜の信頼性の問題を解決するが、同時に動作速度を悪化させるという問題がある。また、SCCMOSでもMTCMOSと同様に、スタンバイ時にH(VDD)のノードにおいて情報が蒸発するといった問題や、スタンバイから動作までの回復時間が長いといった問題もある。これらも、スタンバイ時にVDDVがVSSに放電するためである。そのため、動作開始時にVDDVをVDDに充電しなければならない。
【0005】
漏れ電流抑制回路のさらに他の例として、Boosted−Gate MOS(BGMOS)がある。図4は、このような先行技術であるBGMOSの構成を示す回路図である。BGMOS4は、低しきい値のCMOSで構成されたロジック部40と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ41とを具える。BGMOSは、遮断スイッチをNMOSとしても構成可能である。PMOS遮断スイッチ41のゲート酸化膜は、VDDを超える高電圧も許容し、十分厚いので、SCCMOSのように他のPMOS遮断スイッチを直列接続する必要はない。MTCMOSやSCCMOSと同様に、スタンバイ時にVDDVをVSSに放電し、動作開始時にVDDまで充電しなければならないので、スタンバイから動作までの回復時間が長くかかってしまうという欠点がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような先行技術のサブスレッショルド漏れ電流抑制技術の欠点を克服し、電源電圧1V以下でも有効で、遮断スイッチのゲート酸化膜における高電圧ストレスがなく、回復時間が短い、サブスレッショルド漏れ電流を抑制する半導体回路を提供することを目的とする。本発明は、さらに、同様の発想に基づいて遮断スイッチを用いたクロックゲーティングを行う半導体回路も提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体回路の第1実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。本明細書中において、a〜b信号という表記は、aからbまでの振幅を持った信号という意味であるとする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、スタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果のために仮想電源線がVSSまで放電せず、中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0008】
本発明による半導体回路の第2実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、スタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果のために仮想接地線がVDDまで充電せず、中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0009】
本発明による半導体回路の第3実施形態は、ロジック部と、各々のゲートが各々のレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチおよび低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、仮想電源線および仮想接地線ともに中間電圧で飽和するために高電圧ストレスがなく、SCCMOSと違い直列遮断スイッチが要らず、動作時の高速動作も可能になる。さらに、スタンバイから動作までの回復時間が短くなる。
【0010】
本発明による半導体回路の第4実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想電源線がスタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果のために中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0011】
本発明による半導体回路の第5実施形態は、ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想接地線がスタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果のために中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0012】
本発明による半導体回路の第6実施形態は、ロジック部と、各々のゲートが各々レベルシフタからの信号によって制御され、各々厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチおよび高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする。このようにすれば、仮想電源線および仮想接地線ともにスタンバイ時に中間電圧で飽和するため、スタンバイから動作までの回復時間がBGMOSより短くなる。
【0013】
本発明による半導体回路の第7実施形態は、各々が低しきい値PMOS遮断スイッチおよび低しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N<VSSとして、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、遮断スイッチのゲート電圧を、プロセスや温度のばらつきにかかわらず遮断スイッチを通るサブスレッショルド漏れ電流が抑制されるように適応的に制御することが可能になる。
【0014】
本発明による半導体回路の第8実施形態は、各々が厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチおよび高しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、VS S〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする。このようにすれば、遮断スイッチのゲート電圧を、プロセスや温度のばらつきにかかわらず遮断スイッチを通るサブスレッショルド漏れ電流が抑制されるように適応的に制御することが可能になる。
【0015】
本発明による半導体回路の第9実施形態は、スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った低しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った低しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する低しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする。このようにすれば、MTCMOSでは高しきい値を用いるために不可能であった1V以下の電源電圧においてもサブスレッショルド漏れ電流の抑制が可能になる。また、クロックゲーティングと同時に遮断スイッチを実装でき、遮断スイッチはラッチされたイネーブル信号によって制御される。イネーブル信号がHになると、クロックはANDゲートを通る。このとき遮断スイッチはオンし、仮想接地線と仮想電電線は、それぞれVSSとVDDになる。イネーブル信号がLになると、クロックはマスクされ、遮断スイッチはスレッショルド漏れ電流を抑制するためにオフされる。
【0016】
本発明による半導体回路の第10実施形態は、スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する厚い酸化膜を有する高しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする。このようにすれば、クロックゲーティングと同時に遮断スイッチを実装でき、遮断スイッチはラッチされたイネーブル信号によって制御される。イネーブル信号がHになると、クロックはANDゲートを通る。このとき遮断スイッチはオンし、仮想接地線と仮想電源線は、それぞれVSSとVDDになる。イネーブル信号がLになると、クロックはマスクされ、遮断スイッチはスレッショルド漏れ電流を抑制するためにオフされる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図5は、請求項1に対応する本発明の第1実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。半導体回路5は、ロジック部50と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ51と、レベルシフタ52とを具える。PMOS遮断スイッチ51のしきい値は、例えば、−0.1V程度である。VDDは電源電圧であり、VDDVは仮想電源線である。VSSは接地電位である。レベルシフタ52は、動作時にPMOS遮断スイッチ51のゲートをロジック部50に電流を供給するためにVSSによってオンし、スタンバイ時にPMOS遮断スイッチ51のゲートをサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVPUMP,Pによってオフする。すなわち、レベルシフタ52は、VSS〜VDD信号である
【外1】
をVSS〜VPUMP,P信号であるVCUT,Pに変換する。ここで、VPUMP,PはVDDより高い電圧である。VDDVは、動作時にはVDDになる。この図において(L)はスタンバイ時にLであることを示し、PMOS遮断スイッチ51に接続するロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。こうすることにより、スタンバイ時にロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果によりVDDVは、VSSとVDDの間のある中間電圧に飽和し、SCCMOSの場合とは異なり、VSSまで放電しない。この飽和電圧は、VPUMP,P、PMOS遮断スイッチ52のゲート幅、PMOS遮断スイッチ52に接続されているロジック部50の総ゲート幅、基板効果まで考慮したそれらのしきい値、温度などによって決められ、VDDVは、PMOS遮断スイッチ52のゲート酸化膜にVDDを超える高電圧のストレスをかけることなく制御できる。半導体回路5では、VDDVだけが飽和電圧からVDDに戻され、回復すべき容量とVDDVの振幅がSCCMOSの場合よりずっと小さいので、回復時間はSCCMOSよりもずっと短い。スタンバイ時にVPUMP,Pを、チャージポンプ(図示せず)によって発生し、レベルシフタ52によって制御する。また、VPUMP,Pを外部から供給してもよい。
【0018】
図6Aは、請求項2に対応する本発明の第2実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第1実施形態の半導体回路における遮断スイッチをNMOS遮断スイッチとして構成したものである。半導体回路6は、ロジック部60と、低しきい値のNMOS遮断スイッチ61と、レベルシフタ62とを具える。NMOS遮断スイッチ61のしきい値は、例えば、0.1V程度である。VSSVは仮想接地線である。レベルシフタ62は、スタンバイ時にNMOS遮断スイッチ61のゲートをサブスレッショルド漏れ電流を抑制するためにVPUMP,Nによってオフし、動作時にNMOS遮断スイッチ61のゲートをロジック部60に電流を供給するためにVDDによってオンする。すなわち、レベルシフタ62は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,N〜VDD信号であるVCUT,Nに変換する。ここで、VPUMP,NはVSSより低い電圧である。VSSVは、動作時にはVSSになる。この図において(H)はスタンバイ時にHであることを示し、NMOS遮断スイッチ61に接続するロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。こうすることにより、スタンバイ時にロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果によりVSSVは、VSSとVDDの間のある中間電圧に飽和し、SCCMOSの場合とは異なり、VDDまで充電しない。この飽和電圧は、VPUMP,N、NMOS遮断スイッチ62のゲート幅、NMOS遮断スイッチ62に接続されているロジック部60の総ゲート幅、基板効果まで考慮したそれらのしきい値、温度などによって決められ、VSSVは、NMOS遮断スイッチ62のゲート酸化膜にVDDを超える高電圧のストレスをかけることなく制御できる。半導体回路6では、VSSVだけが飽和電圧からVSSに戻され、回復すべき容量とVSSVの振幅がSCCMOSの場合よりずっと小さいので、回復時間はSCCMOSよりもずっと短い。スタンバイ時にVPUMP,Nを、チャージポンプ(図示せず)によって発生し、レベルシフタ62によって制御する。また、VPUMP,Nを外部から供給してもよい。例えば、VDD=0.6V、VPUMP,N=−0.3Vの場合に、高電圧ストレスがかからないレベルシフタ62の回路例を図6Bに示す。
【0019】
図7は、請求項3に対応する本発明の第3実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第1および第2実施形態を組み合わせたものである。半導体回路7は、ロジック部70と、低しきい値のPMOS遮断スイッチ71と、低しきい値のNMOS遮断スイッチ72と、PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73と、NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74とを具える。PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,P信号であるVCUT,Pに反転変換する。ここで、VPUMP,PはVDDより高い電圧である。NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,N〜VDD信号であるVCUT,Nに変換する。ここで、VPUMP,NはVSSより低い電圧である。PMOS遮断スイッチ71に接続するロジック部70のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。NMOS遮断スイッチ72に接続するロジック部70のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。この図において、ゲートがクロック信号によって制御されているPMOSトランジスタMP2およびNMOSトランジスタMN2に接続されているI5は、クロックドゲートである。MP2およびMN2の双方がオフするスタンバイ時には、I5の出力は高インピーダンス状態になる。このときI5の出力は、I5と出力を共有するI6によって決定される。この出力が(L)ならば、I5はPMOS遮断スイッチ71に接続されるべきである。この出力が(H)ならば、I5はNMOS遮断スイッチ72に接続されるべきである。
【0020】
図8は、請求項4に対応する本発明の第4実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。半導体回路8は、ロジック部80と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ81と、レベルシフタ82とを具える。レベルシフタ82は、VSS〜VDD信号である
【外2】
をVPUMP,P〜VDD信号であるVCUT,Pに変換する。ここでVPUMP,PはVSSより低い電圧である。レベルシフタ82は、スタンバイ時にはPMOS遮断スイッチ81のゲートをVDDによってオフし、動作時にはPMOS遮断スイッチ81のゲートをVPUMP,Pによってオンする。PMOS遮断スイッチ81は高しきい値であるため、スレッショルド漏れ電流は、スタンバイ時には完全に抑制される。PMOS遮断スイッチ81のゲート酸化膜は、ロジック部80のゲート酸化膜より厚いため、VDDを超える高電圧のストレスは問題にならない。VPUMP,Pをチャージポンプ回路(図示せず)で発生させる場合に必要な電力は動作時にのみ消費されることが、本実施形態の利点である。スタンバイ時には、余計な電力を消費することなく、PMOS遮断スイッチ81のゲートはVDDによりオフされる。VDDVは、動作時にはVDDになり、スタンバイ時にはVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。これはPMOS遮断スイッチ81に接続するロジック部80のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限するためである。こうすることにより、スタンバイ時には、VDDVは、BGMOSと違ってVSSにまで放電せず、ロジックゲートのPMOSの逆バイアス効果によってVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。前記第1実施形態と同様に、本実施形態もスタンバイから動作までの回復時間が短い。なお、VPUMP,Pを外部から供給してもよい。
【0021】
図9は、請求項5に対応する本発明の第5実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第4実施形態の半導体回路における遮断スイッチをNMOS遮断スイッチとして構成したものである。半導体回路9は、ロジック部90と、厚い酸化膜を有する高しきい値のNMOS遮断スイッチ91と、レベルシフタ92とを具える。レベルシフタ92は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,N信号であるVCUT,Nに変換する。ここでVPUMP,NはVDDより高い電圧である。レベルシフタ92は、スタンバイ時にはNMOS遮断スイッチ91のゲートをVSSによってオフし、動作時にはNMOS遮断スイッチ91のゲートをVPUMP,Nによってオンする。NMOS遮断スイッチ91は高しきい値であるため、スレッショルド漏れ電流は、スタンバイ時には完全に抑制される。NMOS遮断スイッチ91のゲート酸化膜は、ロジック部90のゲート酸化膜より厚いため、VDDを超える高電圧のストレスは問題にならない。VPUMP,Nをチャージポンプ回路(図示せず)で発生させる場合に必要な電力は動作時にのみ消費されることが、本実施形態の利点である。スタンバイ時には、余計な電力を消費することなく、NMOS遮断スイッチ91のゲートはVSSによりオフされる。VSSVは、動作時にはVSSになり、スタンバイ時にはVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。これはNMOS遮断スイッチ91に接続するロジック部90のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限するためである。こうすることにより、スタンバイ時には、VSSVは、BGMOSと違ってVDDにまで充電せず、ロジックゲートのNMOSの逆バイアス効果によってVSSとVDDの間のある中間電圧に飽和する。前記第2実施形態と同様に、本実施形態もスタンバイから動作までの回復時間が短い。なお、VPUMP,Nを外部から供給してもよい。
【0022】
図10は、請求項6に対応する本発明の第6実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態は、前述の第4および第5実施形態を組み合わせたものである。半導体回路12は、ロジック部100と、厚い酸化膜を有する高しきい値のPMOS遮断スイッチ101と、厚い酸化膜を有する高しきい値のNMOS遮断スイッチ102と、PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103と、NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104とを具える。PMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103は、VSS〜VDD信号であるACTをVPUMP,P〜VDD信号であるVCUT,Pに反転変換する。ここでVPUMP,PはVSSより低い電圧である。NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104は、VSS〜VDD信号であるACTをVSS〜VPUMP,N信号であるVCUT,Nに変換する。ここでVPUMP,NはVDDより高い電圧である。PMOS遮断スイッチ101に接続するロジック部100のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がLであるゲートに制限する。NMOS遮断スイッチ102に接続するロジック部100のロジックゲートを、スタンバイ直前において出力がHであるゲートに制限する。この図において、ゲートがクロック信号によって制御されているPMOSトランジスタMP2およびNMOSトランジスタMN2に接続されているI5は、クロックドゲートである。MP2およびMN2の双方がオフするスタンバイ時には、I5の出力は高インピーダンス状態になる。このときI5の出力は、I5と出力を共有するI6によって決定される。この出力が(L)ならば、I5はPMOS遮断スイッチ71に接続されるべきである。この出力が(H)ならば、I5はNMOS遮断スイッチ72に接続されるべきである。
【0023】
図11は、前述した図7に示す第3実施形態の半導体回路の制御回路を具体的に示した本発明の第7実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、請求項7に対応する。図7と同様の構成要素を同じ参照符で示す。本実施形態では、PMOS遮断スイッチ用制御回路網111と、NMOS遮断スイッチ用制御回路網112とをさらに設ける。PMOS遮断スイッチ用制御回路網111は、図7と同様のPMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ73に加えて、チャージポンプ113と、電圧レベル検出器114と、リングオシレータ(R1、R2、R3、R4およびR5)とを具える。NMOS遮断スイッチ用制御回路網112は、図7と同様のNMOS遮断スイッチ用レベルシフタ74に加えて、チャージポンプ115と、電圧レベル検出器116と、リングオシレータ(R6、R7、R8、R9およびR10)とを具える。ロジック部70におけるロジックゲートのうち、スタンバイ直前において出力がLであるゲートをPMOS遮断スイッチ71に、出力がHであるゲートをNMOS遮断スイッチ72に接続する。ACTがHになると、動作が開始される。このとき、PMOS遮断スイッチ71とNMOS遮断スイッチ72のゲート電圧VCUT,PとVCUT,NはそれぞれVSSとVDDになる。ACTがLになると、スタンバイが開始される。このとき、PMOS遮断スイッチ71のゲートは、VDDより高いVPUMP,Pによって完全にオフされ、NMOS遮断スイッチ72のゲートは、VSSより低いVPUMP,Nによって完全にオフされる。VPUMP,PおよびVPUMP,Nは、それぞれチャージポンプ113および115によって供給される。電圧レベル検出器114は、VPUMP,Pをスタンバイ時に検出し、目標電圧より低ければチャージポンプ113を動かすようにラン信号をR5に送る。電圧レベル検出器116は、VPUMP,Nをスタンバイ時に検出し、目標電圧より高ければチャージポンプ115を動かすようにラン信号をR10に送る。電圧レベル検出器114および116によってそれぞれ制御されるチャージポンプ113および115は、ブースト電圧を作るためにDRAMやEEPROMなどにも使われているチャージポンプを用いてもよい。クロスカップルされた構造を持つこの種のチャージポンプは、VDDを超える高電圧のストレスがなく、VDD=0.6V程度の低電源電圧においても−VDDと2VDDを発生できる。
【0024】
図12は、図11の電圧検出器114の構成の一例を示す回路図である。電圧検出器114は、比較器121と、PMOSトランジスタ122および123とを具える。VPUMP,Pが上昇すると、PMOSトランジスタ123のコンダクタンスがPMOSトランジスタ122のコンダクタンスより小さくなり、比較器121は、停止信号を図11のPMOS遮断スイッチ用制御回路網111内のリングオシレータに送る。図13は、図11の電圧検出器116の構成の一例を示す回路図である。電圧検出器116は、比較器131と、PMOSトランジスタ132と、NMOSトランジスタ133とを具える。VPUMP,Nが低下すると、NMOSトランジスタ133のコンダクタンスがPMOSトランジスタ132のコンダクタンスより小さくなり、比較器131は、停止信号を図11のNMOS遮断スイッチ用制御回路網112内のリングオシレータに送る。これらの構成は単なる例であり、電圧検出器には種々の設計方法を用いることができる。図14の電圧検出器144および146も同様に構成することができる。
【0025】
図14は、前述した図10に示す第6実施形態の半導体回路の制御回路を具体的に示した本発明の第8実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、請求項8に対応する。図10と同様の構成要素を同じ参照符で示す。本実施形態では、PMOS遮断スイッチ用制御回路網141と、NMOS遮断スイッチ用制御回路網142とをさらに設ける。PMOS遮断スイッチ用制御回路網141は、図10と同様のPMOS遮断スイッチ用反転レベルシフタ103に加えて、チャージポンプ143と、電圧レベル検出器144と、リングオシレータ(S1、S2、S3、S4およびS5)とを具える。NMOS遮断スイッチ用制御回路網142は、図10と同様のNMOS遮断スイッチ用レベルシフタ104に加えて、チャージポンプ145と、電圧レベル検出器146と、リングオシレータ(S6、S7、S8、S9およびS10)とを具える。動作は上述した第7実施形態と類似している。PMOS遮断スイッチ101およびNMOS遮断スイッチ102が、それぞれチャージポンプ143および145によって供給されるそれぞれVPUMP,PおよびVPUMP,Nに対して十分厚い酸化膜を有する場合は、電圧検出器144および146はなくてもよい。
【0026】
図15は、請求項9に対応する本発明の第9実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。本実施形態では、フリップフロップ151は、mビットの入力データA[1−m]を受け、クロック信号CLKに同期し、mビットの出力データFA[1−m]を発生する。制御部152は、FA[1−m]を受け、イネーブル信号ENを発生する。ラッチ153によりENをCLKに同期してラッチした信号ENLが反転と非反転の両方の出力を持ったレベルシフタ154とANDゲート155の入力となる。もしENLがHならば、CLKはANDゲート155でマスクされず、フリップフロップ156のクロック入力ENCLKとなる。ENLは、低しきい値のPMOS遮断スイッチ157と160および低しきい値のNMOS遮断スイッチ158と161を制御するレベルシフタ154の入力ともなる。PMOS遮断スイッチ157はフリップフロップ156のためのPMOS遮断スイッチであり、PMOS遮断スイッチ160はロジック部159のためのPMOS遮断スイッチである。これら2つのPMOS遮断スイッチを1つにすることもできる。NMOS遮断スイッチ158はフリップフロップ156のためのNMOS遮断スイッチであり、NMOS遮断スイッチ161はロジック部159のためのNMOS遮断スイッチである。これら2つのNMOS遮断スイッチを1つにすることもできる。VCUT,PはPMOS遮断スイッチ157と160のゲート信号であり、VCUT,NはNMOS遮断スイッチ158と161のゲート信号である。D[1−n]はフリップフロップ156のnビットの入力データであり、Q[1−n]はフリップフロップ156のnビットの出力データである。ロジック部159は、Q[1−n]を入力とするスタティックまたはダイナミックな組み合わせ回路である。図16は、本実施形態における信号の波形を表すグラフである。ここで、ENLがHになったとき、VCUT,PはVDDより高い電圧からVSSまで変化し、VCUT,NはVSSより低い電圧からVDDまで変化する。類似の回路を、厚い酸化膜を有する高しきい値の遮断スイッチを用いても実施可能であり、請求項10に対応する。
【0027】
以上、具体例を示しながら発明の実施に形態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない範疇においてあらゆる変形や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】先行技術であるMTCMOSの構成を示す回路図である。
【図2】先行技術であるSCCMOSの構成を示す回路図である。
【図3】SCCMOSの他の例の構成を示す回路図である。
【図4】先行技術であるBGMOSの構成を示す回路図である。
【図5】本発明の第1実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図6】Aは本発明の第2実施形態による半導体回路の構成を示す回路図であり、BはAのレベルシフタ62の構成の一例を示す回路図である。
【図7】本発明の第3実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図8】本発明の第4実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図9】本発明の第5実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図10】本発明の第6実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図11】本発明の第7実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図12】図11の電圧検出器114の構成の一例を示す回路図である。
【図13】図11の電圧検出器116の構成の一例を示す回路図である。
【図14】本発明の第8実施形態による半導体回路の構成を示す回路図である。
【図15】本発明の第9実施形態による半導体回路構成を示す回路図である。
【図16】図15の構成における信号の波形を表すグラフである。
【符号の説明】
1 MTCMOS
2、3 SCCMOS
4 BGMOS
5、6、7、8、9、12 半導体回路
10、20、40、50、60、70、80、90、100、159 ロジック部
11、21、51、71 低しきい値PMOS遮断スイッチ
30 PMOS遮断スイッチ
41、81 高しきい値PMOS遮断スイッチ
52、62、73、74 レベルシフタ
61、72、82 低しきい値NMOS遮断スイッチ
73 PMOS遮断スイッチ用レベルシフタ
74 NMOS遮断スイッチ用レベルシフタ
Claims (10)
- ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- ロジック部と、各々のゲートが各々のレベルシフタからの信号によって制御される低しきい値NMOS遮断スイッチおよび低しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N<VSSとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P>VDDとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- ロジック部と、ゲートがレベルシフタからの信号によって制御され、厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- ロジック部と、各々のゲートが各々レベルシフタからの信号によって制御され、各々厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチおよび高しきい値PMOS遮断スイッチとを具える半導体回路において、前記NMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にHを出力するゲートに制限し、前記PMOS遮断スイッチに接続されている前記ロジック部のロジックゲートをスタンバイ時にLを出力するゲートに制限し、VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,N>VDDとして、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、前記NMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフし、VPUMP,P<VSSとして、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、前記PMOS遮断スイッチ用レベルシフタが、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするように構成したことを特徴とする半導体回路。
- 各々が低しきい値PMOS遮断スイッチおよび低しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,P信号に変換し、動作時にはVSSによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N<VSSとして、VSS〜VDD信号をVPUMP,N〜VDD信号に変換し、動作時にはVDDによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする半導体回路。 - 各々が厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチおよび高しきい値NMOS遮断スイッチを具える半導体回路において、
VDDを電源電圧、VSSを接地電位、VPUMP,P<VSSとして、VSS〜VDD信号をVPUMP,P〜VDD信号に変換し、動作時にはVPUMP,Pによって前記PMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVDDによって前記PMOS遮断スイッチをオフするPMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,N>VDDとして、VSS〜VDD信号をVSS〜VPUMP,N信号に変換し、動作時にはVPUMP,Nによって前記NMOS遮断スイッチをオンし、スタンバイ時にはVSSによって前記NMOS遮断スイッチをオフするNMOS遮断スイッチ用レベルシフタと、
VPUMP,PおよびVPUMP,Nを発生するチャージポンプと、
前記チャージポンプをオンオフさせるクロック信号を発生するリングオシレータと、
前記チャージポンプが発生したVPUMP,PおよびVPUMP,Nを任意に調節する電圧検出器とを具えることを特徴とする半導体回路。 - スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った低しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った低しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する低しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする半導体回路。 - スタティックまたはダイナミックな組み合わせロジック部と、
クロックに同期したm(整数)ビットの入力データを持ったフリップフロップと、
前記フリップフロップの出力を受け、前記ロジック部をイネーブルする信号を発生する制御部と、
クロックの立ち上がりで前記イネーブル信号をラッチするラッチと、
ラッチされた前記イネーブル信号を受け、VDDを電源電圧、VSSを接地電位として、VSSより低い電圧からVDDまでの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値PMOS遮断スイッチのゲート信号と、VSSからVDDより高い電圧までの振幅を持った厚い酸化膜を有する高しきい値NMOS遮断スイッチのゲート信号とに変換するレベルシフタと、
ラッチされた前記イネーブル信号とクロックとを論理積するANDゲートと、
n(整数)ビットデータと、前記イネーブル信号と論理積されたクロックとを受け、前記ロジック部に出力するフリップフロップを具えるレジスタ群と、
前記PMOS遮断スイッチのゲート信号とNMOS遮断スイッチのゲート信号とを受け、前記レジスタ群およびロジック部を流れるサブスレッショルド漏れ電流を制御する厚い酸化膜を有する高しきい値遮断スイッチとを具えることを特徴とする半導体回路。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008078892A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路装置及び電子装置 |
JP2008199517A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Kobe Univ | センサネットワークにおける無線トランシーバ用電圧増幅器 |
US7844923B2 (en) | 2006-10-20 | 2010-11-30 | Panasonic Corporation | Semiconductor integrated circuit designing method, semiconductor integrated circuit device, and electronic device |
JP2011034545A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-02-17 | Fujitsu Ltd | 電圧レギュレータ回路 |
JP2012039520A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Powerchip Technology Corp | 半導体デバイス回路 |
-
2003
- 2003-07-15 JP JP2003197194A patent/JP2005039334A/ja active Pending
Cited By (6)
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---|---|---|---|---|
JP2008078892A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体集積回路装置及び電子装置 |
US7844923B2 (en) | 2006-10-20 | 2010-11-30 | Panasonic Corporation | Semiconductor integrated circuit designing method, semiconductor integrated circuit device, and electronic device |
JP2008199517A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Kobe Univ | センサネットワークにおける無線トランシーバ用電圧増幅器 |
JP2011034545A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-02-17 | Fujitsu Ltd | 電圧レギュレータ回路 |
US8717003B2 (en) | 2009-07-10 | 2014-05-06 | Fujitsu Limited | Voltage regulator circuit including pulse generators |
JP2012039520A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Powerchip Technology Corp | 半導体デバイス回路 |
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