JP2005038784A - 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 - Google Patents
有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005038784A JP2005038784A JP2003276524A JP2003276524A JP2005038784A JP 2005038784 A JP2005038784 A JP 2005038784A JP 2003276524 A JP2003276524 A JP 2003276524A JP 2003276524 A JP2003276524 A JP 2003276524A JP 2005038784 A JP2005038784 A JP 2005038784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- dye
- substrate
- red
- green
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 68
- 239000010408 film Substances 0.000 description 21
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 5
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- -1 4-biphenylyl Chemical group 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- FQJQNLKWTRGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-(4-tert-butylphenyl)-5-[3-[5-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazol-2-yl]phenyl]-1,3,4-oxadiazole Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=C(C=CC=2)C=2OC(=NN=2)C=2C=CC(=CC=2)C(C)(C)C)O1 FQJQNLKWTRGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 7-[(z)-3-methyl-4-(4-methyl-5-oxo-2h-furan-2-yl)but-2-enoxy]chromen-2-one Chemical compound C=1C=C2C=CC(=O)OC2=CC=1OC/C=C(/C)CC1OC(=O)C(C)=C1 CFNMUZCFSDMZPQ-GHXNOFRVSA-N 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N monobenzene Natural products C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CRGSMSNUTNRNQM-UHFFFAOYSA-N 2-(4-tert-butylphenyl)-1,3,4-oxadiazole Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=CO1 CRGSMSNUTNRNQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLYPIBBGWLKELC-RMKNXTFCSA-N 2-[2-[(e)-2-[4-(dimethylamino)phenyl]ethenyl]-6-methylpyran-4-ylidene]propanedinitrile Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1\C=C\C1=CC(=C(C#N)C#N)C=C(C)O1 YLYPIBBGWLKELC-RMKNXTFCSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 1
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 1
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 1
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 1
- NLESIEMIRNKQEI-UHFFFAOYSA-N [Ir]c1cccnc1-c1ccccc1 Chemical compound [Ir]c1cccnc1-c1ccccc1 NLESIEMIRNKQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004035 chlorins Chemical class 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N coumarin 460 Chemical compound CC1=CC(=O)OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C21 AFYCEAFSNDLKSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N coumarin 6 Chemical compound C1=CC=C2SC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000004880 oxines Chemical class 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】 少なくとも第一の電極(画素電極)11、青色発光色素14Bが分散された発光層13とを第一の基板10上に設け、第一の電極11の配列に対応した凹部22を形成した第二の基板(スタンプ)21と対向して配置する。凹部22に充填された赤色発光色素14Rまたは緑色発光色素14Gを加熱し、蒸発させることで発光層13内に拡散させる。
【選択図】 図8
Description
そこで本発明では、高精細で、製造工程を簡略化することができる有機EL素子の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
2 供給ロール
3 巻取りロール
10 シート基板
11 画素電極(陽極)
13 発光層
14R 赤色発光色素
14G 緑色発光色素
14B 青色発光色素
15 陰極
20 色素拡散系
21 スタンプ
22 凹部
25 ヒータ
30 真空蒸着成膜槽
31 真空スパッタ成膜槽
Claims (2)
- 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法において、
少なくとも、複数の第一の電極と、青色発光色素が分散された発光層とが形成された第一の基板に対し、前記第一の電極の配列に対応した複数の凹部が形成されており、前記複数の凹部に赤色発光色素または緑色発光色素が充填されている第二の基板を、前記第一の電極と前記凹部とが対応するように対向させて配置する工程と、
前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素を加熱して蒸発させ、前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素を前記第一の基板の前記発光層内に拡散させる工程と、
前記発光層内に前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素が拡散した前記第一の基板に、第二の電極を形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法。 - 有機エレクトロルミネセンス素子の製造装置において、
少なくとも、複数の第一の電極と、青色発光色素が分散された発光層とが形成された第一の基板に対し、前記第一の電極の配列に対応した複数の凹部が形成されている第二の基板を、前記第一の電極と前記凹部とが対応するように対向させて配置するための配置手段と、
前記凹部に赤色発光色素または緑色発光色素を充填するための色素充填手段と、
前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素を加熱して蒸発させ、前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素を前記第一の基板の前記発光層内に拡散させるための色素拡散手段と、
前記発光層内に前記赤色発光色素及び前記緑色発光色素が拡散した前記第一の基板に、第二の電極を形成する成膜手段と、
前記第一の基板を前記配置手段から前記成膜手段へと搬送するための基板搬送手段とを備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003276524A JP4352379B2 (ja) | 2003-07-18 | 2003-07-18 | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003276524A JP4352379B2 (ja) | 2003-07-18 | 2003-07-18 | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005038784A true JP2005038784A (ja) | 2005-02-10 |
JP4352379B2 JP4352379B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=34212820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003276524A Expired - Fee Related JP4352379B2 (ja) | 2003-07-18 | 2003-07-18 | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4352379B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007109592A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
JP2007149482A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機el素子の製造方法 |
JP2007227086A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置および発光素子の製造方法 |
JP2008071726A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Hirano Tecseed Co Ltd | 有機elシート製造装置 |
US7615790B2 (en) | 2005-09-30 | 2009-11-10 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
US10276836B2 (en) | 2015-08-06 | 2019-04-30 | V. Technology Co., Ltd. | Method of manufacturing organic EL element |
-
2003
- 2003-07-18 JP JP2003276524A patent/JP4352379B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7615790B2 (en) | 2005-09-30 | 2009-11-10 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
US8349632B2 (en) | 2005-09-30 | 2013-01-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same |
JP2007109592A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
JP4696832B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-06-08 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
JP2007149482A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機el素子の製造方法 |
JP2007227086A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置および発光素子の製造方法 |
US8158012B2 (en) | 2006-02-22 | 2012-04-17 | Tokyo Electron Limited | Film forming apparatus and method for manufacturing light emitting element |
JP2008071726A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Hirano Tecseed Co Ltd | 有機elシート製造装置 |
US10276836B2 (en) | 2015-08-06 | 2019-04-30 | V. Technology Co., Ltd. | Method of manufacturing organic EL element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4352379B2 (ja) | 2009-10-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6066357A (en) | Methods of making a full-color organic light-emitting display | |
KR100403544B1 (ko) | 유기발광소자의 제조방법 | |
JP3789991B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス媒体を熱転写するためのドナーシート及びフルカラー有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法 | |
JP5603289B2 (ja) | エレクトロルミネセンスデバイスを製造する方法 | |
JP4882508B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP4378186B2 (ja) | 有機el素子アレイ | |
TW200835387A (en) | Depositing organic material onto an OLED substrate | |
JP2005538511A (ja) | フルカラー有機エレクトロルミネセンス・デバイスの製造方法 | |
US20130017752A1 (en) | Method for manufacturing substrate for light-emitting device | |
US7977866B2 (en) | Organic electroluminescence element having partition wall covered by insulating layer | |
JP2009141077A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法および表示装置 | |
JP2010080086A (ja) | パターン塗布用基板および有機el素子 | |
JP4352379B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及び製造装置 | |
US7090890B1 (en) | Modification of polymer optoelectronic properties after film formation by impurity addition or removal | |
US7449252B2 (en) | Organic electroluminescent device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus | |
US20070216295A1 (en) | Electroluminescent element and production method thereof | |
JP2009230956A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 | |
JP3917461B2 (ja) | 有機el正孔注入層用インクおよびその製造方法、有機el表示装置の製造方法、ならびに有機el表示装置 | |
KR20010111056A (ko) | 유기 광방출 장치용 방출층의 제조방법 | |
JP2008088464A (ja) | 蒸着装置、蒸着方法および有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法 | |
WO1999053529A2 (en) | Modification of polymer optoelectronic properties after film formation impurity addition or removal | |
KR101850147B1 (ko) | 유기발광다이오드 소자 및 그 제조방법 | |
JP2011040375A (ja) | 転写用ドナー基板とその製造方法及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP5413180B2 (ja) | パターニング方法及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP2007042311A (ja) | 有機el素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090716 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |